JP2021111213A - 物品搬送設備 - Google Patents

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Abstract

【課題】物品搬送車を適切に制御して物品搬送車が障害物に接触することを回避できる物品搬送設備の実現。【解決手段】走行経路１に沿って走行する物品搬送車３は、検知エリアＥ２に存在する障害物を検知する障害物センサ２１と、障害物センサ２１の検知情報に基づいて物品搬送車３の走行速度を制御する制御部と、を備え、障害物センサ２１の検知可能エリアＥ１内に、障害物センサ２１による障害物の検知を行わない非検知エリアＥ３が設定され、検知エリアＥ２の一部と障害物センサ２１とを結ぶ検出ラインＱ上に非検知エリアＥ３が存在する状況を特定状況として、制御部は、特定状況であって、かつ、非検知エリアＥ３に遮蔽物Ｕが存在するために検知エリアＥ２の中に障害物を検知できない検知不可エリアＥ４が存在する状況になった場合には、物品搬送車３を第１走行速度より低速の第２走行速度に減速させる。【選択図】図１６

Description

本発明は、走行経路に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備に関する。
このような物品搬送設備として、例えば、特開２０１８−１７７０３７号公報（特許文献１）に記載されたものが知られている。以下、背景技術の説明において、かっこ書きの符号又は名称は、先行技術文献における符号又は名称とする。この特許文献１に記載の物品搬送設備では、物品搬送車（３）が、当該物品搬送車の前方側の予定走行軌跡の形状に合わせて設定された検知エリア（Ｅ）に存在する障害物を検知する障害物センサ（障害物検出センサ２１）と、障害物センサの検知情報に基づいて物品搬送車の走行速度を制御する制御部（Ｈ）と、を備えている。このように、物品搬送車に障害物センサを備えることで、走行する物品搬送車が、予定走行軌跡に存在する障害物を検知できるようになっている。
特開２０１８−１７７０３７号公報
障害物センサには、障害物を検知可能な検知可能範囲があり、検知可能範囲のうちの一部の範囲を、実際に障害物を検知する検知エリアとし、残る範囲を、障害物を検知しない非検知エリアとして設定することができるものがある。具体的には、例えば、障害物センサには、障害物センサから検知可能範囲の全体に亘って検出光を投光して検知可能範囲の障害物の検知が可能であるが、非検知エリアについては障害物が存在していたとしてもその障害物の検知を行わないように設定できるものがある。
このような障害物センサを物品搬送車に備えた場合、検知エリアが湾曲しているために、検知エリアの一部と障害物センサとを結ぶライン上に存在する非検知エリアに遮蔽物が存在する場合があり得る。このような場合では、障害物センサが投光した検出光が遮蔽物によって遮られるために、検出光を検知エリアの一部に到達させることができず、障害物を検知すべきエリアの中に障害物を検知できない検知不可エリアが存在するという状況が起こり得た。このような状況においても、物品搬送車が障害物に接触することは回避すべきであるが、これまで、このような状況を想定した物品搬送車の制御技術は知られていなかった。
そこで、障害物を検知すべきエリアの中に障害物を検知できない検知不可エリアが存在する状況においても、物品搬送車を適切に制御して物品搬送車が障害物に接触することを回避できる物品搬送設備の実現が望まれる。
上記に鑑みた、物品搬送設備の特徴構成は、走行経路に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車を備え、
前記物品搬送車は、当該物品搬送車の前方側の予定走行軌跡の形状に合わせて設定された検知エリアに存在する障害物を検知する障害物センサと、前記障害物センサの検知情報に基づいて前記物品搬送車の走行速度を制御する制御部と、を備え、前記障害物センサの検知可能エリア内であって前記予定走行軌跡から外れた領域に、前記障害物センサによる前記障害物の検知を行わない非検知エリアが設定され、前記検知エリアが湾曲しているために、前記検知エリアの一部と前記障害物センサとを結ぶ検出ライン上に前記非検知エリアが存在する状況を特定状況として、前記制御部は、前記物品搬送車を第１走行速度で走行させている状態において、前記特定状況であって、かつ、前記非検知エリアに遮蔽物が存在するために前記検知エリアの中に前記障害物を検知できない検知不可エリアが存在する状況になった場合には、前記物品搬送車を前記第１走行速度より低速の第２走行速度に減速させる点にある。
この特徴構成によれば、障害物センサの検知可能エリア内に、物品搬送車の前方側の予定走行軌跡の形状に合わせて設定された検知エリアが設定されていると共に、予定走行軌跡から外れた領域に障害物の検知を行わない非検知エリアが設定されている。そのため、予定走行軌跡に存在する障害物を障害物センサによって検知することができ、その検知結果に応じて、物品搬送車を適切に走行させることができる。
ここで、物品搬送車の前方側の予定走行軌跡の形状によっては、検知エリアが湾曲している場合があり、これによって、検知エリアの一部と障害物センサとを結ぶ検出ライン上に非検知エリアが存在する特定状況となる場合がある。このような特定状況で、非検知エリアに遮蔽物がある場合には、この遮蔽物の存在によって検知エリアの中に障害物を検知することができない検知不可エリアが存在するという状況が起こり得る。もしも、このような検知不可エリアに障害物が存在する場合には、障害物センサによって事前に検知できないために物品搬送車が障害物に接触する可能性が生じる。しかし、本構成によれば、物品搬送車が第１走行速度で走行している状態において、前記特定状況であって、かつ、非検知エリアに遮蔽物が存在するために検知エリアの中に検知不可エリアが存在する状況になった場合には、検知不可エリアにおける実際の障害物の有無に関わらず、物品搬送車の走行速度を第１走行速度から第２走行速度に減速させる。このため、もしも検知不可エリアに障害物が存在していた場合であっても、物品搬送車を迅速に停止させることが可能となる。すなわち、物品搬送車を適切に制御して物品搬送車が障害物に接触することを回避することができる。
物品搬送設備の平面図 物品搬送車の側面図 物品搬送車の正面図 制御ブロック図 検知可能エリアを示す図 第１検知エリアを示す図 分岐する箇所が存在する場合の第１検知エリアを示す図 第２検知エリアを示す図 検知エリアの変化を示す図 検知エリアの変化を示す図 検知エリアの変化を示す図 検知エリアの変化を示す図 検知エリアの変化を示す図 障害検知距離を示す図 物品搬送車が停止位置に停止する場合の検知エリアを示す図 検知不可エリアが存在する検知エリアを示す図 障害物を検知するに伴う物品搬送車の速度変化を示す図
１．実施形態
物品搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１から図３に示すように、物品搬送設備は、走行経路１に沿って走行する物品Ｗを搬送する物品搬送車３を備えている。本実施形態では、物品搬送設備は、物品搬送車３に加えて、走行経路１に沿って設置された走行レール２を備えており、物品搬送車３は、走行レール２に案内されながら走行レール２上を走行することで、走行経路１に沿って走行する。尚、本実施形態では、物品搬送車３は、半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を物品Ｗとして搬送する。
図１に示すように、走行経路１は、１つの環状の主経路４と、複数の物品処理部を経由する環状の副経路５と、これら主経路４と副経路５とを接続する接続経路６と、を備えている。走行経路１は、副経路５を複数備えている。物品搬送車３は、主経路４及び複数の副経路５においては、いずれも同じ周回方向（本実施形態では時計回り）に走行する。尚、図１においては、物品搬送車３の走行方向を矢印で示している。接続経路６として、主経路４から副経路５に向けて物品搬送車３を分岐走行させる分岐用の接続経路６と、副経路５から主経路４に向けて物品搬送車３を合流走行させる合流用の接続経路６と、が備えられている。
走行経路１は、直線状に設定された直線部１Ａと曲線状に設定された曲線部１Ｂとを備えている。具体的には、主経路４は、平行な一対の直線部１Ａと、一対の直線部１Ａの端部同士を接続する一対の曲線部１Ｂと、で形成されている。複数の副経路５の夫々は、主経路４と同様に、一対の直線部１Ａと一対の曲線部１Ｂとで形成されている。接続経路６は、主経路４に接続される曲線部１Ｂと、副経路５に接続される直線部１Ａと、で形成されている。このように、走行経路１は、直線部１Ａと曲線部１Ｂとを組み合わせて設定されている。
次に、物品搬送車３について説明する。尚、走行経路１に沿う方向を経路長手方向Ｘと称し、上下方向Ｚに沿う上下方向視で、経路長手方向Ｘに対して直交する方向を経路幅方向Ｙと称して説明する。また、走行経路１において、物品搬送車３の走行方向（物品搬送車３が走行する方向）を前方側と称して説明する。ちなみに、例えば、物品搬送車３が走行経路１の直線状の部分を走行しているときは、物品搬送車３の前後方向と走行経路１の経路長手方向Ｘとは同じ方向となり、物品搬送車３の左右方向と走行経路１の経路幅方向Ｙとは同じ方向となる。
本実施形態では、図２及び図３に示すように、物品搬送車３は、天井から吊り下げ支持された走行レール２上をその走行レール２に沿って走行する走行部９と、走行レール２の下方に位置して走行部９に吊り下げ支持された本体部１０と、を備えている。本体部１０には、本体部１０に昇降自在に備えられて物品Ｗを吊り下げ状態で支持する支持機構１３が備えられている。
走行部９は、物品搬送車３の前後方向に並ぶ第１走行機構９Ｆと第２走行機構９Ｒとを備えている。第１走行機構９Ｆは、電動式の走行用モータ１４と、この走行用モータ１４により回転駆動される左右一対の走行輪１５と、を備えている。この左右一対の走行輪１５は、走行レール２（左右一対のレール部７）の上面を転動するように構成されている。また、第１走行機構９Ｆは、上下方向Ｚに沿う縦軸心周り（上下軸心周り）で回転自在な左右一対の案内輪１６を備えている。この左右一対の案内輪１６は、左右一対のレール部７の間に位置して左右一対のレール部７の互いに対向する側面を転動するように構成されている。尚、左右一対の案内輪１６については、前後方向に並ぶ状態で第１走行機構９Ｆに２組設けられている。第２走行機構９Ｒは、第１走行機構９Ｆと同様に、１組の左右一対の走行輪１５と２組の左右一対の案内輪１６とを備えている。
第１走行機構９Ｆ及び第２走行機構９Ｒは、走行輪１５の下端より下方に突出する連結軸１９を備えている。第１走行機構９Ｆの連結軸１９と本体部１０とは、上下方向Ｚに沿う縦軸心周りに相対回転自在に連結されている。第２走行機構９Ｒの連結軸１９と本体部１０とは、上下方向Ｚに沿う縦軸心周りに相対回転自在に連結されている。
物品搬送車３は、第１走行機構９Ｆ及び第２走行機構９Ｒの案内輪１６が一対の走行レール２により案内されることによって、経路幅方向Ｙでの位置が規制されながら、第１走行機構９Ｆ及び第２走行機構９Ｒの走行輪１５が走行用モータ１４により回転駆動されることで、走行経路１に沿って走行する。また、物品搬送車３は、第１走行機構９Ｆ及び第２走行機構９Ｒが本体部１０に対して縦軸心周りに揺動することにより、曲線部１Ｂであっても走行経路１に沿って走行できるようになっている。
図４に示すように、物品搬送車３は、障害物センサ２１と、走行距離センサ２２と、位置検出センサ２３と、制御部Ｈと、を備えている。図５から図１６に示すように、障害物センサ２１は、物品搬送車３の前方側の予定走行軌跡Ｃの形状に合わせて設定された検知エリアＥ２に存在する障害物Ｓを検知する。本実施形態では、障害物センサ２１は、例えばレーザー等の光を利用した距離センサを用いて構成されている。障害物センサ２１は、当該障害物センサ２１が備えられた物品搬送車３の前方側に存在する別の物品搬送車３や、物品搬送車３の走行軌跡内に侵入した人や物等を障害物Ｓとしている。走行距離センサ２２は、ロータリエンコーダ等により構成されており、走行経路１上に設定された基準位置からの物品搬送車３の走行距離を計測する。位置検出センサ２３は、走行経路１に沿って複数設置された被検出体Ｔ（図３参照）を検出して位置情報を取得する。
走行経路１は、物品搬送車３が走行すべき仮想の経路である。走行経路１は、走行レール２の形状によって規定される。制御部Ｈは、走行用マップ情報を記憶している。走行用マップ情報は、走行経路１の形状及び接続関係の情報である基本マップ情報に、走行経路１の被検出体Ｔが設置されている地点や物品Ｗの移載位置等に設定された規定の停止位置Ｖ等、特定の位置を示す位置情報を関連付けた情報である。制御部Ｈは、走行距離センサ２２の検出情報と位置検出センサ２３の検出情報と走行用マップ情報とに基づいて、走行経路１における物品搬送車３の位置を判別する。そして、制御部Ｈは、上位のコントローラから搬送指令が指令されると、走行用マップ情報に基づいて搬送指令により指定された搬送元から搬送先に物品Ｗを搬送するための経路を設定し、その設定した経路に沿って走行して物品Ｗを搬送元から搬送先に搬送するように物品搬送車３を制御する。
また、制御部Ｈには、物品搬送車３の走行速度を示す情報である走行速度情報が走行用マップ情報に関連付けられた状態で記憶されている。本実施形態では、走行経路１の形状に応じて基準走行速度が設定されており、物品搬送車３が曲線部１Ｂを走行する場合の基準走行速度を、物品搬送車３が直線部１Ａを走行する場合の基準走行速度よりも低く設定している。具体的には、直線部１Ａを走行する場合の基準走行速度として、直線用走行速度が設定されており、曲線部１Ｂを走行する場合の基準走行速度として、直線用走行速度より低速の曲線用走行速度が設定されている。尚、このように基準走行速度として設定された直線用走行速度及び曲線用走行速度が、第１走行速度に相当する。
制御部Ｈは、物品搬送車３が直線部１Ａから曲線部１Ｂに向かって走行する場合は、曲線部１Ｂに進入する前に基準走行速度を直線用走行速度から曲線用走行速度に変更する。これにより、物品搬送車３の走行速度が直線用走行速度から曲線用走行速度に減速される。よって、物品搬送車３は、曲線用走行速度で曲線部１Ｂに進入し、曲線部１Ｂを曲線用走行速度で走行する。また、制御部Ｈは、物品搬送車３が曲線部１Ｂから直線部１Ａに向かって走行する場合は、直線部１Ａに進入した後に基準走行速度を曲線用走行速度から直線用走行速度に変更する。これにより、直線部１Ａにおいて物品搬送車３の走行速度が曲線用走行速度から直線用走行速度に加速される。よって、物品搬送車３は、直線部１Ａを直線用走行速度で走行する。
図５に示すように、障害物センサ２１は、検知可能エリアＥ１に存在する障害物Ｓを検知可能であると共にその障害物Ｓまでの距離を計測可能に構成されている。本実施形態では、障害物センサ２１は、障害物検知用のレーザーを投光する投光部を縦軸心周りに回転させて障害物センサ２１を中心とした、上下方向視で扇形状の検知可能エリアＥ１内における障害物Ｓを検知可能に構成されている。また、本実施形態では、障害物センサ２１は、物品搬送車３の前端部に装備されており、前方側から横側方側（左右方向両側）に亘り検出ラインＱに沿って障害物検知用のレーザーを投光して、物品搬送車３の前方側に半径Ｌ１の半円形状の平面的な検知可能エリアＥ１を形成している。そして、障害物センサ２１は、制御部Ｈからの指令に基づいて、検知可能エリアＥ１内に設定する検知エリアＥ２の形状を設定変更することができるように構成されている。
図５に示すように、障害物センサ２１は、検知可能エリアＥ１の中に検知エリアＥ２を設定する。本実施形態では、障害物センサ２１は、図５から図７に示すように、直線部１Ａを走行する場合に設定される直線状の第１検知エリアＥＡや、図８に示すように、曲線部１Ｂを走行する場合に設定される曲線状の第２検知エリアＥＢを、設定するように構成されている。また本実施形態では、第１検知エリアＥＡや第２検知エリアＥＢは、物品搬送車３の走行速度に応じて長さが変更される。つまり、図５に示す物品搬送車３は、図６に示す物品搬送車３より高い速度で走行しており、図５に示す第１検知エリアＥＡの長さＬ２は、図６に示す第１検知エリアＥＡの長さＬ３より長くなっている。尚、図５は、物品搬送車３が直線用走行速度で走行している場合の第１検知エリアＥＡを示している。このように、第１検知エリアＥＡは、物品搬送車３の走行速度が高いほど長い領域が設定される。また、第２検知エリアＥＢは、曲線部１Ｂの曲率半径等に応じた形状に設定されると共に、第１検知エリアＥＡと同様に、物品搬送車３の走行速度が高いほど長い領域が設定される。そして、制御部Ｈが、物品搬送車３の走行速度が高くなるに従って検知エリアＥ２の走行経路１に沿った長さが長くなるように検知エリアＥ２の設定を行う。
本実施形態では、第１検知エリアＥＡや第２検知エリアＥＢは、上下方向Ｚに沿う上下方向視で帯状に形成されている。第１検知エリアＥＡには、図５、図６、及び図８に示すように、経路幅方向Ｙの幅Ｗ２が物品搬送車３の経路幅方向Ｙの幅Ｗ１より狭い幅に設定されている幅狭の第１検知エリアＥＡと、図７に示すように、物品搬送車３に対して経路幅方向Ｙの一方側に突出する幅に設定されている幅広の第１検知エリアＥＡとがある。第１検知エリアＥＡが、走行経路１が分岐する箇所や合流する箇所に位置する場合に、幅広の第１検知エリアＥＡとすることで、物品搬送車３が走行する経路に加えて分岐又は合流する経路に存在する他の物品搬送車３も検知できるようになっている。
図９から図１３に示すように、障害物センサ２１は、物品搬送車３が直線部１Ａから曲線部１Ｂに向かって走行する場合には、検知エリアＥ２が走行経路１に合わせた形状となるように、第１検知エリアＥＡと第２検知エリアＥＢとが混在するエリアを設定する。つまり、検知エリアＥ２の前方側から順に直線状の第１検知エリアＥＡから曲線状の第２検知エリアＥＢに変化するように、検知エリアＥ２の形状が設定される。また、障害物センサ２１は、物品搬送車３が曲線部１Ｂから直線部１Ａに向かって走行する場合にも、検知エリアＥ２が走行経路１に合わせた形状となるように、第１検知エリアＥＡと第２検知エリアＥＢとが混在するエリアを設定する。つまり、検知エリアＥ２の前方側から順に曲線状の第２検知エリアＥＢから直線状の第１検知エリアＥＡに変化するように、検知エリアＥ２の形状が設定される。
制御部Ｈは、走行距離センサ２２の検出情報と位置検出センサ２３の検出情報と走行用マップ情報とに基づいて、走行経路１における物品搬送車３の位置を判別すると共に、物品搬送車３の前方側の走行経路１の形状も判別する。そして、制御部Ｈは、物品搬送車３の前方側の走行経路１の形状に合わせて検知エリアＥ２の形状を随時変更させて検知エリアＥ２の設定を行う。これにより、検知エリアＥ２は、物品搬送車３の前方側の走行経路１の形状（予定走行軌跡Ｃの形状）に合わせた形状に設定される。
また、図５に示すように、障害物センサ２１の検知可能エリアＥ１内であって予定走行軌跡Ｃから外れた領域に障害物センサ２１による障害物Ｓの検知を行わない非検知エリアＥ３が設定されている。本実施形態では、検知可能エリアＥ１内であって検知エリアＥ２（第１検知エリアＥＡ及び第２検知エリアＥＢ）以外の領域を、非検知エリアＥ３としている。障害物センサ２１は、非検知エリアＥ３に障害物Ｓが存在していたとしても当該障害物Ｓを検知せず、検知エリアＥ２に障害物Ｓが存在している場合に当該障害物Ｓを検知する。
制御部Ｈは、検知エリアＥ２において障害物Ｓが検知されない場合は、物品搬送車３を基準走行速度（直線用走行速度又は曲線用走行速度）で走行させ、検知エリアＥ２において障害物Ｓが検知された場合には、物品搬送車３を基準走行速度より低速の非常用走行速度に減速させる。そして、物品搬送車３から検知エリアＥ２において検知された障害物Ｓまでの走行経路１に沿った距離を障害検知距離Ｌ５（図１４参照）として、制御部Ｈは、障害検知距離Ｌ５が短くなるに従って非常用走行速度が低くなるように当該非常用走行速度を設定する。
本実施形態では、図１７に示すように、非常用走行速度として、複数の速度が設定されている。この複数の非常用走行速度は、何れも直線用走行速度より低速に設定されている。また、複数の非常用走行速度の一部は、曲線用走行速度より低速に設定されている。本実施形態では、複数の非常用走行速度として、６つの非常用走行速度（第１非常用走行速度Ｒ１から第６非常用走行速度Ｒ６）が設定されている。そして、６つの非常用走行速度の全てが直線用走行速度より低速に設定されている。また、６つの非常用走行速度の１つである第３非常用走行速度Ｒ３が曲線用走行速度と同じ速度に設定され、第４非常用走行速度Ｒ４から第６非常用走行速度Ｒ６が曲線用走行速度より低速に設定されている。本実施形態では、直線及び曲線のそれぞれについて、基準走行速度（第１走行速度）より低速の非常用走行速度が、第３走行速度に相当する。なお、本実施形態では、第６非常用走行速度Ｒ６はゼロ（停止）に設定されている。
そして、制御部Ｈは、障害検知距離Ｌ５が短くなるに従って非常用走行速度が低くなるように非常用走行速度を設定する。例えば、物品搬送車３が直線用走行速度で走行している場合において、障害物センサ２１によって障害物Ｓが検知された場合は、障害検知距離Ｌ５が短くなるに伴って、物品搬送車３の走行速度が直線用走行速度から、第１非常用走行速度Ｒ１、第２非常用走行速度Ｒ２、第３非常用走行速度Ｒ３、第４非常用走行速度Ｒ４、第５非常用走行速度Ｒ５、第６非常用走行速度Ｒ６の順に設定変更される。これによって、物品搬送車３の走行速度が次第に減速し、第６非常用走行速度Ｒ６となることで停止する。また例えば、物品搬送車３が曲線用走行速度で走行している場合において、障害物センサ２１によって障害物Ｓが検知された場合は、障害検知距離Ｌ５が短くなるに伴って、物品搬送車３の走行速度が曲線用走行速度から、第４非常用走行速度Ｒ４、第５非常用走行速度Ｒ５、第６非常用走行速度Ｒ６の順に設定変更される。これによって、物品搬送車３の走行速度が減速していき、第６非常用走行速度Ｒ６となることで停止する。このように、制御部Ｈは、障害物センサ２１の検知情報に基づいて、障害物センサ２１によって検知エリアＥ２内の障害物Ｓが検知されたことに伴って、物品搬送車３を減速させる。
また、本実施形態では、図１５に示すように、制御部Ｈは、規定の停止位置Ｖに前記物品搬送車を停止させる場合に、検知エリアＥ２の走行経路１に沿った長さを、障害物センサ２１から停止位置Ｖまでの長さＬ４に設定する。つまり、制御部Ｈは、停止位置Ｖまでの距離に応じて、検知エリアＥ２の経路長手方向Ｘの長さを変更する。本実施形態では、検知エリアＥ２の長さＬ４は、物品搬送車３が直線用走行速度で走行した場合の検知エリアＥ２の長さＬ１より短い長さであって、停止位置Ｖに停止していると仮定した場合の物品搬送車３の前方側端部までの長さ、又は、当該物品搬送車３の前方側端部より設定距離だけ前方側までの長さとしている。ここで、停止位置Ｖは、例えば、物品Ｗの移載位置に設定されている。物品Ｗの移載位置は、物品搬送車３が物品Ｗの搬送元又は搬送先の場所との間で物品Ｗの移載を行う場合の物品搬送車３の位置であり、例えば、物品Ｗに対する処理を行う処理装置との受け渡し部に対応する位置や、物品Ｗを収容する収容設備との受け渡し部に対応する位置である。
ところで、物品搬送車３が曲線部１Ｂを走行する場合等、前方側の予定走行軌跡の形状が湾曲している場合には、上記のとおり、曲線状の第２検知エリアＥＢが設定される。このような場合、検知エリアＥ２が湾曲しているために、検知エリアＥ２の一部と障害物センサ２１とを結ぶ検出ラインＱ上に非検知エリアＥ３が存在する状況となる場合がある。そこで、制御部Ｈは、このような状況を特定状況として、物品搬送車３を第１走行速度で走行させている状態において、当該特定状況であって、かつ、非検知エリアＥ３に遮蔽物Ｕが存在するために検知エリアＥ２の中に障害物Ｓを検知できない検知不可エリアＥ４が存在する状況になった場合には、物品搬送車３を第１走行速度より低速の第２走行速度に減速させる。
例えば、図１６に示すように、物品搬送車３が曲線部１Ｂを走行する場合、検知エリアＥ２の一部又は全部が曲線状の第２検知エリアＥＢとなる。すなわち、検知エリアＥ２の一部又は全部が湾曲することになる。このような場合では、検知エリアＥ２の一部の領域と障害物センサ２１とを結ぶ検出ラインＱ上に非検知エリアＥ３が存在する特定状況となる。更に、このような非検知エリアＥ３、例えば、一対の直線部１Ａの間に、仕切り体等の遮蔽物Ｕが設置されている場合がある。物品搬送車３が曲線部１Ｂの周辺を走行する場合に、このような遮蔽物Ｕが非検知エリアＥ３に存在すると、障害物センサ２１が投光する障害物検知用のレーザーが遮蔽物Ｕによって遮られ、検知エリアＥ２の前方側端部を含む一部の領域にレーザーが到達することができず、その領域の障害物Ｓを検知することができない状況となる場合がある。この場合、障害物Ｓを検知することができない領域が検知不可エリアＥ４となる。
このように、上述した特定状況であって、かつ、非検知エリアＥ３に遮蔽物Ｕが存在するために検知エリアＥ２の中に障害物Ｓを検知できない検知不可エリアＥ４が存在する状況になった場合には、制御部Ｈは、物品搬送車３を基準走行速度（第１走行速度）より低速の非常用走行速度（第２走行速度）に減速させる。更に、本実施形態では、物品搬送車３から検知不可エリアＥ４までの走行経路１に沿った距離を検知不可距離Ｌ６として、制御部Ｈは、検知不可距離Ｌ６が短くなるに従って非常用走行速度（第２走行速度）が低くなるように非常用走行速度を設定する。尚、本実施形態では、基準走行速度（第１走行速度）より低速の非常用走行速度が、第２走行速度に相当する。すなわち、基準走行速度が直線用走行速度である状態において検知不可エリアＥ４が存在する状況になった場合には、第１非常用走行速度Ｒ１から第６非常用走行速度Ｒ６のそれぞれが、第２走行速度に相当する。また、基準走行速度が曲線用走行速度である状態において検知不可エリアＥ４が存在する状況になった場合には、第４非常用走行速度Ｒ４から第６非常用走行速度Ｒ６のそれぞれが、第２走行速度に相当する。なお、本実施形態では、第２走行速度と、検知エリアＥ２において障害物Ｓが検知された場合に減速する第３走行速度とを特に区別せず、同様の速度設定としている。
つまり、制御部Ｈは、検知不可距離Ｌ６が短くなるに従って非常用走行速度が低くなるように非常用走行速度を設定する。例えば、物品搬送車３が曲線用走行速度で走行している場合において、検知エリアＥ２に検知不可エリアＥ４が存在する状況になった場合は、検知不可距離Ｌ６が短くなるに伴って、物品搬送車３の走行速度が曲線用走行速度から、第４非常用走行速度Ｒ４、第５非常用走行速度Ｒ５、第６非常用走行速度Ｒ６の順に設定変更される。これによって、物品搬送車３の走行速度が次第に減速する。ここで、検知不可エリアＥ４に障害物Ｓが存在していた場合には、物品搬送車３が進行することによって障害物センサ２１により障害物Ｓが検知されることになる。その場合、制御部Ｈは、障害物センサ２１の検知情報に基づいて、上述したような障害物Ｓが検知された場合の制御を実行し、物品搬送車３を減速させる。一方、検知不可エリアＥ４に障害物Ｓが存在しない場合には、物品搬送車３が進行することによって検知不可エリアＥ４が減少するため、物品搬送車３が第６非常用走行速度Ｒ６となって停止することなく、物品搬送車３の走行が継続される。そして、物品搬送車３が進行して検知不可エリアＥ４がなくなった場合には、物品搬送車３の走行速度が再び曲線用走行速度に設定され、これによって、物品搬送車３が加速する。
２．その他の実施形態
次に、物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。
（１）上記の実施形態では、検知可能エリアＥ１が、図５に示すような上下方向視で扇形状、或いは半円形状の領域である構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。例えば、検知可能エリアＥ１が、上下方向視で矩形状や三角形状等、扇形状以外の形状であってもよい。また、上記の実施形態では、検知可能エリアＥ１が、投光部を縦軸心周りに回転させて得られる平面的な領域である構成を例として説明した。しかし、これには限定されず、例えば、投光部を縦軸心周りに回転させることに加えて水平軸心周りに回転させることで、検知可能エリアＥ１が、立体的な領域とされていてもよい。
（２）上記の実施形態では、検知エリアＥ２が、上下方向視で帯状の領域とされた構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。例えば、検知エリアＥ２が、上下方向視で半円形状や三角形状等、帯状以外の形状であってもよい。
（３）上記の実施形態では、障害検知距離Ｌ５が短くなるに従って非常用走行速度（第３走行速度）が低くなるように非常用走行速度が設定された構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。例えば、障害物Ｓが検知された場合の非常用走行速度（第３走行速度）が、基準走行速度（第１走行速度）より低い１つの速度のみであってもよい。また、この場合の非常用走行速度（第３走行速度）が、直線用走行速度から減速する場合の１つの速度と、曲線用走行速度から減速する場合の１つの速度との２つの設定であってもよい。また、この非常用走行速度（第３走行速度）がゼロであってもよい。この場合、制御部Ｈは、障害物センサ２１によって障害物Ｓが検知されたことに伴って、直ちに物品搬送車３を停止させる。
（４）上記の実施形態では、検知不可距離Ｌ６が短くなるに従って非常用走行速度（第２走行速度）が低くなるように非常用走行速度が設定された構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。例えば、検知不可エリアＥ４が存在する場合の非常用走行速度（第２走行速度）が、基準走行速度（第１走行速度）より低い１つの速度のみであってもよい。また、この場合の非常用走行速度（第２走行速度）が、直線用走行速度から減速する場合の１つの速度と、曲線用走行速度から減速する場合の１つの速度との２つの設定であってもよい。また、この非常用走行速度（第２走行速度）がゼロであってもよい。この場合、制御部Ｈは、検知不可エリアＥ４が存在する状況になったことに伴って、直ちに物品搬送車３を停止させる。
（５）上記の実施形態では、検知不可エリアＥ４が存在する場合の非常用走行速度である第２走行速度と、障害物Ｓが検知された場合の非常用走行速度である第３走行速度とが、同様の速度設定である構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されず、第２走行速度と第３走行速度とが異なる設定であってもよい。例えば、検知不可エリアＥ４が存在する場合であっても、その検知不可エリアＥ４に実際に障害物Ｓが存在するとは限らないため、実際に障害物Ｓが検知された場合の第３走行速度よりも、第２走行速度を高く設定しても好適である。
（６）上記の実施形態では、制御部Ｈが、物品搬送車３の走行速度が高くなるに従って検知エリアＥ２の長さが長くなるように検知エリアＥ２の設定を行う構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。例えば、制御部Ｈが、物品搬送車３の走行速度に関わらず検知エリアＥ２の長さを一定に設定する構成としてもよい。
（７）上記の実施形態では、既定の停止位置Ｖに物品搬送車３を停止させる場合に、検知エリアＥ２の長さを、障害物センサ２１から停止位置Ｖまでの長さに設定する構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。例えば、既定の停止位置Ｖに物品搬送車３を停止させる場合でも、検知エリアＥ２の長さを、既定の停止位置Ｖに物品搬送車３を停止させない場合と同様の長さとしてもよい。
（８）上記の実施形態では、物品搬送車３が天井近から吊り下げ支持された走行レール２に沿って走行する構成を例として説明した。しかし、このような構成に限定されない。例えば、物品搬送車３が、床面上に設置された走行レール２に沿って走行する構成としてもよい。また、物品搬送車３が、床面上を走行する無軌道式の車両であってもよい。そして、無軌道式の物品搬送車３とした場合において、走行経路１の位置が固定された構成としてもよく、走行経路１の位置がその都度変更される構成としてもよい。
（９）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。
物品搬送設備は、走行経路に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車を備え、
前記物品搬送車は、当該物品搬送車の前方側の予定走行軌跡の形状に合わせて設定された検知エリアに存在する障害物を検知する障害物センサと、前記障害物センサの検知情報に基づいて前記物品搬送車の走行速度を制御する制御部と、を備え、前記障害物センサの検知可能エリア内であって前記予定走行軌跡から外れた領域に、前記障害物センサによる前記障害物の検知を行わない非検知エリアが設定され、前記検知エリアが湾曲しているために、前記検知エリアの一部と前記障害物センサとを結ぶ検出ライン上に前記非検知エリアが存在する状況を特定状況として、前記制御部は、前記物品搬送車を第１走行速度で走行させている状態において、前記特定状況であって、かつ、前記非検知エリアに遮蔽物が存在するために前記検知エリアの中に前記障害物を検知できない検知不可エリアが存在する状況になった場合には、前記物品搬送車を前記第１走行速度より低速の第２走行速度に減速させる。
本構成によれば、障害物センサの検知可能エリア内に、物品搬送車の前方側の予定走行軌跡の形状に合わせて設定された検知エリアが設定されていると共に、予定走行軌跡から外れた領域に障害物の検知を行わない非検知エリアが設定されている。そのため、予定走行軌跡に存在する障害物を障害物センサによって検知することができ、その検知結果に応じて、物品搬送車を適切に走行させることができる。
ここで、物品搬送車の前方側の予定走行軌跡の形状によっては、検知エリアが湾曲している場合があり、これによって、検知エリアの一部と障害物センサとを結ぶ検出ライン上に非検知エリアが存在する特定状況となる場合がある。このような特定状況で、非検知エリアに遮蔽物がある場合には、この遮蔽物の存在によって検知エリアの中に障害物を検知することができない検知不可エリアが存在するという状況が起こり得る。もしも、このような検知不可エリアに障害物が存在する場合には、障害物センサによって事前に検知できないために物品搬送車が障害物に接触する可能性が生じる。しかし、本構成によれば、物品搬送車が第１走行速度で走行している状態において、前記特定状況であって、かつ、非検知エリアに遮蔽物が存在するために検知エリアの中に検知不可エリアが存在する状況になった場合には、検知不可エリアにおける実際の障害物の有無に関わらず、物品搬送車の走行速度を第１走行速度から第２走行速度に減速させる。このため、もしも検知不可エリアに障害物が存在していた場合であっても、物品搬送車を迅速に停止させることが可能となる。すなわち、物品搬送車を適切に制御して物品搬送車が障害物に接触することを回避することができる。
ここで、前記制御部は、前記検知エリアにおいて前記障害物が検知されない場合に、前記物品搬送車を前記第１走行速度で走行させ、前記検知エリアにおいて前記障害物が検知された場合には、前記物品搬送車を前記第１走行速度より低速の第３走行速度に減速させると好適である。
本構成によれば、検知エリアにおいて障害物が検知された場合に、物品搬送車を第１走行速度から第３走行速度に減速する。これにより、物品搬送車が障害物に接触する可能性がある場合に、物品搬送車を迅速に停止させることが可能となり、物品搬送車が障害物に接触することを回避することができる。一方、検知エリアにおいて障害物が検知されない場合には、物品搬送車を減速させず第１走行速度で走行させるので、物品搬送車を目的の箇所まで迅速に走行させることができる。なお、第３走行速度は、上記第２走行速度と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
また、前記物品搬送車から前記検知エリアにおいて検知された前記障害物までの前記走行経路に沿った距離を障害検知距離として、前記制御部は、前記障害検知距離が短くなるに従って前記第３走行速度が低くなるように前記第３走行速度を設定すると好適である。
本構成によれば、検知エリアにおいて障害物が検知されている状態において、障害検知距離が長い場合は物品搬送車が比較的高めの速度で走行し、物品搬送車の走行速度を必要以上に低くすることを回避できるため、物品搬送車を目的の箇所まで早期に到達させ易くなる。また、障害検知距離が短い場合は物品搬送車の走行速度を十分に低下させるため、物品搬送車が障害物に接触する前に、物品搬送車を適切に停止させることができる。
また、前記物品搬送車から前記検知不可エリアまでの前記走行経路に沿った距離を検知不可距離として、前記制御部は、前記検知不可距離が短くなるに従って前記第２走行速度が低くなるように前記第２走行速度を設定すると好適である。
本構成によれば、検知不可距離が長い場合は物品搬送車が比較的高めの速度で走行し、物品搬送車の走行速度を必要以上に低くすることを回避できるため、物品搬送車を目的の箇所まで早期に到達させ易くなる。また、検知不可距離が短い場合は物品搬送車の走行速度を十分に低下させるため、もしも検知不可エリアに障害物が存在していた場合であっても、物品搬送車を適切に停止させることができる。
また、前記制御部は、前記物品搬送車の前方側の前記走行経路の形状に合わせて前記検知エリアの形状を随時変更させて前記検知エリアの設定を行うと好適である。
本構成によれば、検知エリアの形状を走行経路の形状に合わせて随時変更させることで、物品搬送車の前方側の走行経路上にある障害物を適切に検出することができると共に、物品搬送車の走行予定軌跡から外れた領域に存在する、物品搬送車に接触する可能性のないものを障害物として誤検知することを回避し易くなる。
また、前記制御部は、前記物品搬送車の走行速度が高くなるに従って前記検知エリアの前記走行経路に沿った長さが長くなるように前記検知エリアの設定を行うと好適である。
本構成によれば、走行速度が高くなるに従って障害物をより遠くから検知できるようになる。そのため、障害物センサによって障害物が検知されない場合には物品搬送車の走行速度を高くして、物品搬送車を目的の箇所まで早期に到達させ易くしつつ、物品搬送車が障害物に接触することを適切に回避することができる。
また、前記制御部は、規定の停止位置に前記物品搬送車を停止させる場合に、前記検知エリアの前記走行経路に沿った長さを、前記障害物センサから前記停止位置までの長さに設定すると好適である。
物品搬送車を規定の停止位置に停止させる場合に、停止位置より先にある障害物があったとしても、停止位置から再発進するまでは物品搬送車が障害物に接触する可能性はない。本構成によれば、規定の停止位置に物品搬送車を停止させる場合は、検知エリアの走行経路に沿った長さを、障害物センサから停止位置までの長さに設定するため、停止位置より先にある障害物を障害物センサによって検知しない。これにより、物品搬送車が不必要に減速することを回避でき、物品搬送車を目的の箇所まで早期に到達させ易くなる。
本開示に係る技術は、走行経路に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備に利用することができる。
１：走行経路
３：物品搬送車
２１：障害物センサ
Ｃ：予定走行軌跡
Ｅ１：検知可能エリア
Ｅ２：検知エリア
Ｅ３：非検知エリア
Ｅ４：検知不可エリア
Ｈ：制御部
Ｌ４：長さ
Ｌ５：障害検知距離
Ｌ６：検知不可距離
Ｑ：検出ライン
Ｓ：障害物
Ｕ：遮蔽物
Ｖ：停止位置
Ｗ：物品

Claims (7)

  1. 走行経路に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車を備えた物品搬送設備であって、
    前記物品搬送車は、当該物品搬送車の前方側の予定走行軌跡の形状に合わせて設定された検知エリアに存在する障害物を検知する障害物センサと、前記障害物センサの検知情報に基づいて前記物品搬送車の走行速度を制御する制御部と、を備え、
    前記障害物センサの検知可能エリア内であって前記予定走行軌跡から外れた領域に、前記障害物センサによる前記障害物の検知を行わない非検知エリアが設定され、
    前記検知エリアが湾曲しているために、前記検知エリアの一部と前記障害物センサとを結ぶ検出ライン上に前記非検知エリアが存在する状況を特定状況として、
    前記制御部は、
    前記物品搬送車を第１走行速度で走行させている状態において、前記特定状況であって、かつ、前記非検知エリアに遮蔽物が存在するために前記検知エリアの中に前記障害物を検知できない検知不可エリアが存在する状況になった場合には、前記物品搬送車を前記第１走行速度より低速の第２走行速度に減速させる、物品搬送設備。
  2. 前記制御部は、前記検知エリアにおいて前記障害物が検知されない場合に、前記物品搬送車を前記第１走行速度で走行させ、前記検知エリアにおいて前記障害物が検知された場合には、前記物品搬送車を前記第１走行速度より低速の第３走行速度に減速させる、請求項１に記載の物品搬送設備。
  3. 前記物品搬送車から前記検知エリアにおいて検知された前記障害物までの前記走行経路に沿った距離を障害検知距離として、
    前記制御部は、前記障害検知距離が短くなるに従って前記第３走行速度が低くなるように前記第３走行速度を設定する、請求項２に記載の物品搬送設備。
  4. 前記物品搬送車から前記検知不可エリアまでの前記走行経路に沿った距離を検知不可距離として、
    前記制御部は、前記検知不可距離が短くなるに従って前記第２走行速度が低くなるように前記第２走行速度を設定する、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  5. 前記制御部は、前記物品搬送車の前方側の前記走行経路の形状に合わせて前記検知エリアの形状を随時変更させて前記検知エリアの設定を行う、請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  6. 前記制御部は、前記物品搬送車の走行速度が高くなるに従って前記検知エリアの前記走行経路に沿った長さが長くなるように前記検知エリアの設定を行う、請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  7. 前記制御部は、規定の停止位置に前記物品搬送車を停止させる場合に、前記検知エリアの前記走行経路に沿った長さを、前記障害物センサから前記停止位置までの長さに設定する、請求項１から６のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020144996A1 (ja) 2019-01-10 2020-07-16 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 撮像装置およびキャリブレーション方法
US11676841B2 (en) * 2021-04-16 2023-06-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Overhead hoist transport device and method of using the same
CN117316830B (zh) * 2023-11-28 2024-02-02 成都高投芯未半导体有限公司 一种半导体封装系统及控制方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10161745A (ja) * 1996-11-29 1998-06-19 Murata Mach Ltd 無人走行車の制御装置
JP2011145975A (ja) * 2010-01-18 2011-07-28 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd 自動搬送車
JP2017114405A (ja) * 2015-12-25 2017-06-29 マツダ株式会社 運転支援装置
JP2018113937A (ja) * 2017-01-20 2018-07-26 株式会社クボタ 自動走行作業車
JP2018136844A (ja) * 2017-02-23 2018-08-30 株式会社ダイフク 物品搬送車
US20180306591A1 (en) * 2017-04-21 2018-10-25 X Development Llc Aisle-based Roadmap Generation
JP2018177037A (ja) * 2017-04-14 2018-11-15 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP2018185180A (ja) * 2017-04-25 2018-11-22 アイシン精機株式会社 物体検知装置
JP2019109768A (ja) * 2017-12-19 2019-07-04 株式会社ダイヘン 移動体
JP2019168888A (ja) * 2018-03-23 2019-10-03 ヤンマー株式会社 障害物検知システム

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3027482B1 (en) * 2013-07-31 2021-09-15 Rail Vision Ltd System and method for obstacle identification and avoidance
JP6471651B2 (ja) * 2015-08-27 2019-02-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備
SG10202001794YA (en) * 2016-01-11 2020-04-29 Opex Corp Material handling apparatus with delivery vehicles
JP2018077037A (ja) 2016-10-25 2018-05-17 三星電子株式会社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 空気調和装置
JP6696454B2 (ja) * 2017-02-13 2020-05-20 株式会社ダイフク 検査システム
JP6693481B2 (ja) * 2017-06-26 2020-05-13 株式会社ダイフク 物品搬送設備、及び、物品搬送車

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10161745A (ja) * 1996-11-29 1998-06-19 Murata Mach Ltd 無人走行車の制御装置
JP2011145975A (ja) * 2010-01-18 2011-07-28 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd 自動搬送車
JP2017114405A (ja) * 2015-12-25 2017-06-29 マツダ株式会社 運転支援装置
JP2018113937A (ja) * 2017-01-20 2018-07-26 株式会社クボタ 自動走行作業車
JP2018136844A (ja) * 2017-02-23 2018-08-30 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP2018177037A (ja) * 2017-04-14 2018-11-15 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US20180306591A1 (en) * 2017-04-21 2018-10-25 X Development Llc Aisle-based Roadmap Generation
JP2018185180A (ja) * 2017-04-25 2018-11-22 アイシン精機株式会社 物体検知装置
JP2019109768A (ja) * 2017-12-19 2019-07-04 株式会社ダイヘン 移動体
JP2019168888A (ja) * 2018-03-23 2019-10-03 ヤンマー株式会社 障害物検知システム

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