JP2002110759A - オープンカセット用ロードポート - Google Patents
オープンカセット用ロードポートInfo
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- JP2002110759A JP2002110759A JP2000289339A JP2000289339A JP2002110759A JP 2002110759 A JP2002110759 A JP 2002110759A JP 2000289339 A JP2000289339 A JP 2000289339A JP 2000289339 A JP2000289339 A JP 2000289339A JP 2002110759 A JP2002110759 A JP 2002110759A
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- JP
- Japan
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- mounting table
- open cassette
- cassette
- load port
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オープンカセット用ロードポートのフラッシ
ュマウント方式の設置を可能とする。 【解決手段】 クリーンルーム２内に配置され、ウェハ
Ｗを装填したオープンカセット６を受け取って載置する
載置台７と、該載置台７をロボット室４に接続可能なイ
ンタフェース５とを具備するとともに、載置台７の上方
に配置され、該載置台７に載置されたオープンカセット
６の周囲に供給する下降流を発生するファン１４と、該
ファン１４と載置台７との間に配置されたフィルタ１５
とを具備するロードポート１を提供する。
ュマウント方式の設置を可能とする。 【解決手段】 クリーンルーム２内に配置され、ウェハ
Ｗを装填したオープンカセット６を受け取って載置する
載置台７と、該載置台７をロボット室４に接続可能なイ
ンタフェース５とを具備するとともに、載置台７の上方
に配置され、該載置台７に載置されたオープンカセット
６の周囲に供給する下降流を発生するファン１４と、該
ファン１４と載置台７との間に配置されたフィルタ１５
とを具備するロードポート１を提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、クリーンルーム
内に設置されて、該クリーンルーム内を搬送されてきた
オープンカセットを受け取るとともに、該オープンカセ
ット内に装填されているウェハを、メインフレームに供
給するためのマニピュレータに引き渡すオープンカセッ
ト用ロードポートに関するものである。
内に設置されて、該クリーンルーム内を搬送されてきた
オープンカセットを受け取るとともに、該オープンカセ
ット内に装填されているウェハを、メインフレームに供
給するためのマニピュレータに引き渡すオープンカセッ
ト用ロードポートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウェハをメインフレームに供給する方法
としては、オープンカセットを用いる方法と密閉された
ボックス式カセットを用いる方法とがある。従来、我国
では、２００ｍｍウェハをメインフレームに供給する方
法としてオープンカセットを用いる方法が主として採用
されてきた。
としては、オープンカセットを用いる方法と密閉された
ボックス式カセットを用いる方法とがある。従来、我国
では、２００ｍｍウェハをメインフレームに供給する方
法としてオープンカセットを用いる方法が主として採用
されてきた。
【０００３】この方法では、マニピュレータを備えたロ
ボット室と一体的に形成された開放式のロードポートを
使用している。すなわち、ロードロックを介してメイン
フレームに接続されたロボット室およびロードポート
は、一体としてクリーンルーム内に配置されることによ
り、ウェハの周囲の空気清浄度を高く保持するようにな
っている。そして、クリーンルーム内を走行する無人搬
送車（以下、ＡＧＶと呼ぶ。）によって運ばれてきたオ
ープンカセットがロードポートに引き渡されると、マニ
ピュレータの作動によってオープンカセットからウェハ
が引き出されて、メインフレームに供給されるようにな
っていた。
ボット室と一体的に形成された開放式のロードポートを
使用している。すなわち、ロードロックを介してメイン
フレームに接続されたロボット室およびロードポート
は、一体としてクリーンルーム内に配置されることによ
り、ウェハの周囲の空気清浄度を高く保持するようにな
っている。そして、クリーンルーム内を走行する無人搬
送車（以下、ＡＧＶと呼ぶ。）によって運ばれてきたオ
ープンカセットがロードポートに引き渡されると、マニ
ピュレータの作動によってオープンカセットからウェハ
が引き出されて、メインフレームに供給されるようにな
っていた。
【０００４】一方、ボックス式カセットを用いる方法
は、近年、３００ｍｍウェハを供給する方法として、海
外で主流となっている。この方法は、密封されたボック
ス式カセット内に多数のウェハを収容し、カセット内を
高清浄度に保持するもので、ＦＯＵＰ方式として海外で
は業界標準となっている。
は、近年、３００ｍｍウェハを供給する方法として、海
外で主流となっている。この方法は、密封されたボック
ス式カセット内に多数のウェハを収容し、カセット内を
高清浄度に保持するもので、ＦＯＵＰ方式として海外で
は業界標準となっている。
【０００５】すなわち、ＦＯＵＰ方式は、それ自体で高
清浄度に保たれたカセットを使用し、同じく空気清浄度
が高く維持されたロボット室にカセットを連結した後
に、両者間の隔壁を開いて、ロボット室内のマニピュレ
ータによりカセット内のウェハを取り出す方法である。
この方法によれば、密封されたカセットによってウェハ
周囲の空気の清浄度が高く保たれるので、カセットを搬
送する環境を高清浄度のクリーンルームとする必要がな
く、例えば、高速の搬送手段である天井走行機構を利用
できるという利点がある。
清浄度に保たれたカセットを使用し、同じく空気清浄度
が高く維持されたロボット室にカセットを連結した後
に、両者間の隔壁を開いて、ロボット室内のマニピュレ
ータによりカセット内のウェハを取り出す方法である。
この方法によれば、密封されたカセットによってウェハ
周囲の空気の清浄度が高く保たれるので、カセットを搬
送する環境を高清浄度のクリーンルームとする必要がな
く、例えば、高速の搬送手段である天井走行機構を利用
できるという利点がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＦＯＵ
Ｐ方式では、カセット内部を高清浄度に保つ必要がある
ために、該カセットの開閉機構が複雑で高価なものとな
り、また、カセットの開閉時に塵埃が発生すること、さ
らには、カセット自体の洗浄が困難である等の問題があ
る。
Ｐ方式では、カセット内部を高清浄度に保つ必要がある
ために、該カセットの開閉機構が複雑で高価なものとな
り、また、カセットの開閉時に塵埃が発生すること、さ
らには、カセット自体の洗浄が困難である等の問題があ
る。
【０００７】また、ＦＯＵＰ方式では、上述したよう
に、密封式のカセットを用いてウェハを搬送するもので
あるため、メインフレームからロボット室までを高清浄
度に保っておき、搬送されてきた密封式カセットをロボ
ット室に気密状態に直接連結した後に、両者間の隔壁を
開くこととすれば、ウェハ周囲の雰囲気を高い清浄度に
維持することができる。このために、ＦＯＵＰ方式で
は、メインフレームからロボット室までを、高清浄度に
保った１つのユニットとして提供するとともに、密封式
カセットにロボット室に接続するためのインタフェース
を設けることとしている。
に、密封式のカセットを用いてウェハを搬送するもので
あるため、メインフレームからロボット室までを高清浄
度に保っておき、搬送されてきた密封式カセットをロボ
ット室に気密状態に直接連結した後に、両者間の隔壁を
開くこととすれば、ウェハ周囲の雰囲気を高い清浄度に
維持することができる。このために、ＦＯＵＰ方式で
は、メインフレームからロボット室までを、高清浄度に
保った１つのユニットとして提供するとともに、密封式
カセットにロボット室に接続するためのインタフェース
を設けることとしている。
【０００８】しかしながら、従来より２００ｍｍウェハ
供給用にオープンカセット方式を採用してきた我国の企
業においては、既に、ウェハを搬送する環境としてクリ
ーンルームが設置されており、この設備を利用するため
に、３００ｍｍウェハに対してもオープンカセットによ
るウェハの供給方法を踏襲することが望まれる場合もあ
る。この場合に、ロボット室までのユニットとして提供
されるメインフレームに対しても、オープンカセットに
よる供給方法を採用できることが必要となる。
供給用にオープンカセット方式を採用してきた我国の企
業においては、既に、ウェハを搬送する環境としてクリ
ーンルームが設置されており、この設備を利用するため
に、３００ｍｍウェハに対してもオープンカセットによ
るウェハの供給方法を踏襲することが望まれる場合もあ
る。この場合に、ロボット室までのユニットとして提供
されるメインフレームに対しても、オープンカセットに
よる供給方法を採用できることが必要となる。
【０００９】また、クリーンルームにおいては、一般
に、ウェハを装填したカセットをロードポートに供給す
るためにＡＧＶが使用される。かかるＡＧＶは、定めら
れた軌道上を移動するものであるため、軌道は短く直線
的であることが効率的である。したがって、クリーンル
ーム内に配置されるロードポートについても、クリーン
ルーム内を走行するＡＧＶの障害とならないように、ク
リーンルームの壁面と面一に設置する、いわゆるフラッ
シュマウント方式が採用されることが好ましい。
に、ウェハを装填したカセットをロードポートに供給す
るためにＡＧＶが使用される。かかるＡＧＶは、定めら
れた軌道上を移動するものであるため、軌道は短く直線
的であることが効率的である。したがって、クリーンル
ーム内に配置されるロードポートについても、クリーン
ルーム内を走行するＡＧＶの障害とならないように、ク
リーンルームの壁面と面一に設置する、いわゆるフラッ
シュマウント方式が採用されることが好ましい。
【００１０】この発明は、上述した事情に鑑みてなされ
たものであって、ＦＯＵＰ方式用に設計されたメインフ
レームに対して、オープンカセットを用いたウェハの供
給を可能とし、フラッシュマウント方式を採用すること
ができるロードポートを提供することを目的としてい
る。
たものであって、ＦＯＵＰ方式用に設計されたメインフ
レームに対して、オープンカセットを用いたウェハの供
給を可能とし、フラッシュマウント方式を採用すること
ができるロードポートを提供することを目的としてい
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、メインフレームにウェハを供給するマ
ニピュレータを備えたロボット室に接続され、クリーン
ルーム内を搬送されてきたオープンカセット内のウェハ
を前記マニピュレータに引き渡すロードポートであっ
て、クリーンルーム内に配置され、ウェハを装填したオ
ープンカセットを受け取って載置する載置台と、該載置
台を前記ロボット室に接続可能なインタフェースとを具
備するとともに、前記載置台の上方に配置され、該載置
台に載置されたオープンカセットの周囲に供給する下降
流を発生するファンと、該ファンと載置台との間に配置
されたフィルタとを具備するオープンカセット用ロード
ポートを提案している。
に、この発明は、メインフレームにウェハを供給するマ
ニピュレータを備えたロボット室に接続され、クリーン
ルーム内を搬送されてきたオープンカセット内のウェハ
を前記マニピュレータに引き渡すロードポートであっ
て、クリーンルーム内に配置され、ウェハを装填したオ
ープンカセットを受け取って載置する載置台と、該載置
台を前記ロボット室に接続可能なインタフェースとを具
備するとともに、前記載置台の上方に配置され、該載置
台に載置されたオープンカセットの周囲に供給する下降
流を発生するファンと、該ファンと載置台との間に配置
されたフィルタとを具備するオープンカセット用ロード
ポートを提案している。
【００１２】
【作用】本発明に係るオープンカセット用ロードポート
によれば、クリーンルーム内に配置した載置台を、イン
タフェースを用いてロボット室に接続し、クリーンルー
ム内を搬送されてくるオープンカセットを載置台上に載
置することにより、ロボット室内のマニピュレータが載
置台上に載置されたオープンカセットからウェハを取り
出すことができる。これにより、ロボット室まで１つの
ユニットとして提供されるメインフレームに対しても、
オープンカセットによるウェハの供給が可能となる。
によれば、クリーンルーム内に配置した載置台を、イン
タフェースを用いてロボット室に接続し、クリーンルー
ム内を搬送されてくるオープンカセットを載置台上に載
置することにより、ロボット室内のマニピュレータが載
置台上に載置されたオープンカセットからウェハを取り
出すことができる。これにより、ロボット室まで１つの
ユニットとして提供されるメインフレームに対しても、
オープンカセットによるウェハの供給が可能となる。
【００１３】この場合において、本発明のロードポート
によれば、載置台の上方に、下降流を発生するファンお
よびフィルタが配置されているので、ファンにおいて発
生され、フィルタにおいて塵埃を除去された下降流が、
載置台上のオープンカセットの周囲に供給される。すな
わち、ロードポートが、クリーンルームの壁面から一段
凹んだスペースに配置され、クリーンルームにおいて供
給される下降流を利用できない場合においても、載置台
上のオープンカセットの周囲に下降流を供給することが
できるので、ロードポートのフラッシュマウントを達成
することができ、クリーンルームの効率的な利用を図る
ことが可能となる。
によれば、載置台の上方に、下降流を発生するファンお
よびフィルタが配置されているので、ファンにおいて発
生され、フィルタにおいて塵埃を除去された下降流が、
載置台上のオープンカセットの周囲に供給される。すな
わち、ロードポートが、クリーンルームの壁面から一段
凹んだスペースに配置され、クリーンルームにおいて供
給される下降流を利用できない場合においても、載置台
上のオープンカセットの周囲に下降流を供給することが
できるので、ロードポートのフラッシュマウントを達成
することができ、クリーンルームの効率的な利用を図る
ことが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るロードポート
の一実施形態について、図面を参照して説明する。この
実施形態に係るロードポート１は、図１に示されるよう
に、クリーンルーム２の一壁面３に開口するように配置
されたロボット室４に接続するためのインタフェース部
５を具備する箱状の装置であって、その高さ方向の中央
付近に、ウェハＷを装填したオープンカセット６を受け
取る載置台７を具備している。
の一実施形態について、図面を参照して説明する。この
実施形態に係るロードポート１は、図１に示されるよう
に、クリーンルーム２の一壁面３に開口するように配置
されたロボット室４に接続するためのインタフェース部
５を具備する箱状の装置であって、その高さ方向の中央
付近に、ウェハＷを装填したオープンカセット６を受け
取る載置台７を具備している。
【００１５】前記載置台７は、水平に配置され、載置さ
れるオープンカセット６を位置決めする突起のような位
置決め手段（図示せず）が設けられている。この載置台
７の周囲には、ロボット室４側に配される後壁部８のみ
が配置され、前面および両側面には側壁がなく、広い開
口部９が確保されている。
れるオープンカセット６を位置決めする突起のような位
置決め手段（図示せず）が設けられている。この載置台
７の周囲には、ロボット室４側に配される後壁部８のみ
が配置され、前面および両側面には側壁がなく、広い開
口部９が確保されている。
【００１６】前記後壁部８には、ロボット室４に接続
し、該ロボット室４内のマニピュレータ１０が載置台７
上のオープンカセット６からウェハＷを取り出すために
出入り可能な窓部１１が形成されている。そして、この
窓部１１には、載置台７の下方から昇降させられて、該
窓部１１を開閉する後側ドア１２が設けられている。ま
た、前記インタフェース部５は、この後壁部８の背面に
設けられている。
し、該ロボット室４内のマニピュレータ１０が載置台７
上のオープンカセット６からウェハＷを取り出すために
出入り可能な窓部１１が形成されている。そして、この
窓部１１には、載置台７の下方から昇降させられて、該
窓部１１を開閉する後側ドア１２が設けられている。ま
た、前記インタフェース部５は、この後壁部８の背面に
設けられている。
【００１７】また、前記載置台７の前面および両側面に
は、該載置台７の下方から昇降させられて、載置台７の
周囲を開閉する前側ドア１３が設けられている。この前
側ドア１３は、図２に示す例では、前面および両側面を
同時に開閉する断面コ字状のドアであるが、前面および
両側面を別々に開閉するドアであってもよい。
は、該載置台７の下方から昇降させられて、載置台７の
周囲を開閉する前側ドア１３が設けられている。この前
側ドア１３は、図２に示す例では、前面および両側面を
同時に開閉する断面コ字状のドアであるが、前面および
両側面を別々に開閉するドアであってもよい。
【００１８】前記載置台７の上方には、該載置台７か
ら、オープンカセット６を収容可能なスペースを空けて
下向きの空気流を発生させるファン１４と、該ファン１
４からの空気流を通過させることにより塵埃を除去する
フィルタ１５とが配置され、前記後壁部８の上端によっ
て支持されている。
ら、オープンカセット６を収容可能なスペースを空けて
下向きの空気流を発生させるファン１４と、該ファン１
４からの空気流を通過させることにより塵埃を除去する
フィルタ１５とが配置され、前記後壁部８の上端によっ
て支持されている。
【００１９】このように構成された本実施形態に係るロ
ードポート１の作用について、以下に説明する。本実施
形態に係るロードポート１は、図１に示されるように、
クリーンルーム２内の壁面３ａから一段凹んだスペース
に配置される。そして、後壁部８のインタフェース部５
を用いて、クリーンルーム２の外部に該クリーンルーム
２の一壁面３に開口して配置されているロボット室４に
接続される。これにより、ロボット室４内のマニピュレ
ータ１０が、後壁部８の窓部１１を介して、ロードポー
ト１の載置台７まで伸び、該載置台７上に載置されてい
るオープンカセット６内のウェハＷを取り出して、ロー
ドロック１７内の固定カセット１８に移載することが可
能となる。
ードポート１の作用について、以下に説明する。本実施
形態に係るロードポート１は、図１に示されるように、
クリーンルーム２内の壁面３ａから一段凹んだスペース
に配置される。そして、後壁部８のインタフェース部５
を用いて、クリーンルーム２の外部に該クリーンルーム
２の一壁面３に開口して配置されているロボット室４に
接続される。これにより、ロボット室４内のマニピュレ
ータ１０が、後壁部８の窓部１１を介して、ロードポー
ト１の載置台７まで伸び、該載置台７上に載置されてい
るオープンカセット６内のウェハＷを取り出して、ロー
ドロック１７内の固定カセット１８に移載することが可
能となる。
【００２０】このように設定されたロードポート１にお
いて、クリーンルーム２内を走行してきたＡＧＶ１６
が、ウェハＷを装填したオープンカセット６を載置台７
上に引き渡す。このとき、ロードポート１の前側ドア１
３は開かれる。これにより、載置台７の前面および両側
面が開放され、ＡＧＶ１６の移載アーム（図示せず）と
ロードポート１との干渉が低減される。また、この時点
で、後壁部８の窓部１１の後部ドア１２は閉鎖されてい
る。したがって、ＡＧＶ１６の移載アームや、移載中の
オープンカセット６と、ロボット室４内のマニピュレー
タ１０とが干渉することが回避される。
いて、クリーンルーム２内を走行してきたＡＧＶ１６
が、ウェハＷを装填したオープンカセット６を載置台７
上に引き渡す。このとき、ロードポート１の前側ドア１
３は開かれる。これにより、載置台７の前面および両側
面が開放され、ＡＧＶ１６の移載アーム（図示せず）と
ロードポート１との干渉が低減される。また、この時点
で、後壁部８の窓部１１の後部ドア１２は閉鎖されてい
る。したがって、ＡＧＶ１６の移載アームや、移載中の
オープンカセット６と、ロボット室４内のマニピュレー
タ１０とが干渉することが回避される。
【００２１】次いで、ＡＧＶ１６による移載が終了し、
載置台７上からＡＧＶ１６の移載アームが離れた状態
で、前側ドア１３が閉じられる。これにより、載置台７
に載置されているオープンカセット６の周囲が全周にわ
たって閉鎖される。そして、ファン１４の作動により、
発生した下降流がフィルタ１５を通過して塵埃を除去さ
れた後に、載置台７上のオープンカセット６の周囲に供
給され、該オープンカセット６に付着していた塵埃が載
置台７の下方に向かって洗い流される。
載置台７上からＡＧＶ１６の移載アームが離れた状態
で、前側ドア１３が閉じられる。これにより、載置台７
に載置されているオープンカセット６の周囲が全周にわ
たって閉鎖される。そして、ファン１４の作動により、
発生した下降流がフィルタ１５を通過して塵埃を除去さ
れた後に、載置台７上のオープンカセット６の周囲に供
給され、該オープンカセット６に付着していた塵埃が載
置台７の下方に向かって洗い流される。
【００２２】この場合において、載置台７の周囲は、前
側ドア１３および後側ドア１２によって閉鎖されること
により、流路が画定されている。したがって、ファン１
４によって供給された下降流が、オープンカセット６の
周囲において乱れることが最小限に抑制される。このた
め、塵埃をオープンカセット６の周囲に留まらせること
なく、載置台７の下方に流すことができる。
側ドア１３および後側ドア１２によって閉鎖されること
により、流路が画定されている。したがって、ファン１
４によって供給された下降流が、オープンカセット６の
周囲において乱れることが最小限に抑制される。このた
め、塵埃をオープンカセット６の周囲に留まらせること
なく、載置台７の下方に流すことができる。
【００２３】この後に、後側ドア１２を開くことによ
り、窓部１１が開放され、ロボット室４内のマニピュレ
ータ１０がオープンカセット６からウェハＷを取り出す
ことが可能となる。後側ドア１２が開かれる前に、オー
プンカセット６周囲の塵埃が下降流により流されている
ので、塵埃がロボット室４内に入り込むことが防止され
る。
り、窓部１１が開放され、ロボット室４内のマニピュレ
ータ１０がオープンカセット６からウェハＷを取り出す
ことが可能となる。後側ドア１２が開かれる前に、オー
プンカセット６周囲の塵埃が下降流により流されている
ので、塵埃がロボット室４内に入り込むことが防止され
る。
【００２４】また、この時点で前側ドア１３は閉じられ
ているので、クリーンルーム２内で作業する作業者が、
誤って載置台７上に手を入れ、マニピュレータ１０と接
触する等の事故の発生を未然に防止することができる。
ているので、クリーンルーム２内で作業する作業者が、
誤って載置台７上に手を入れ、マニピュレータ１０と接
触する等の事故の発生を未然に防止することができる。
【００２５】このように、本実施形態に係るロードポー
ト１によれば、ＦＯＵＰ方式に適合するようにロボット
室４までを含めて一体的に構成されたメインフレームに
対しても、既存のクリーンルーム２を活用してオープン
カセット６を用いたウェハＷの供給を可能にすることが
できる。したがって、ＦＯＵＰ方式に合わせた新たな設
備の構築に要するコストを最小限に抑えることができる
という利点がある。
ト１によれば、ＦＯＵＰ方式に適合するようにロボット
室４までを含めて一体的に構成されたメインフレームに
対しても、既存のクリーンルーム２を活用してオープン
カセット６を用いたウェハＷの供給を可能にすることが
できる。したがって、ＦＯＵＰ方式に合わせた新たな設
備の構築に要するコストを最小限に抑えることができる
という利点がある。
【００２６】また、開閉機構が複雑であり、洗浄が困難
であるとともに、機構部において塵埃が発生しやすく、
高価である等の問題が多い密閉式のカセットを使用する
ことを回避することができ、上記諸問題の発生を防止す
ることができる。
であるとともに、機構部において塵埃が発生しやすく、
高価である等の問題が多い密閉式のカセットを使用する
ことを回避することができ、上記諸問題の発生を防止す
ることができる。
【００２７】さらに、このように構成されたロードポー
ト１によれば、クリーンルーム２の天井から供給される
下降流を利用することができない場所に設置される場合
においても、専用のファン１４の作動によって載置台７
上のオープンカセット６の周りに下降流を発生させ、塵
埃を除去することができるという効果を奏する。
ト１によれば、クリーンルーム２の天井から供給される
下降流を利用することができない場所に設置される場合
においても、専用のファン１４の作動によって載置台７
上のオープンカセット６の周りに下降流を発生させ、塵
埃を除去することができるという効果を奏する。
【００２８】すなわち、クリーンルーム２の壁面に対し
て、ロードポート１をフラッシュマウント方式で設置す
ることができ、ＡＧＶ１６の移動に対する障害物をでき
るだけ減らして、クリーンルーム２の有効利用、およ
び、ＡＧＶ１６の効率的な移動経路を確保することがで
きる。
て、ロードポート１をフラッシュマウント方式で設置す
ることができ、ＡＧＶ１６の移動に対する障害物をでき
るだけ減らして、クリーンルーム２の有効利用、およ
び、ＡＧＶ１６の効率的な移動経路を確保することがで
きる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るロー
ドポートによれば、ＦＯＵＰ方式のために提供されるメ
インフレームに対して、オープンカセットによるウェハ
の供給を行うことができる。その結果、既存の設備であ
るクリーンルームをそのまま利用することができ、製造
コストの削減を図ることができるとともに、複雑な構造
のために、塵埃の発生やコスト高等の問題を生じ易い密
閉式のカセットを使用せずに済むという利点がある。
ドポートによれば、ＦＯＵＰ方式のために提供されるメ
インフレームに対して、オープンカセットによるウェハ
の供給を行うことができる。その結果、既存の設備であ
るクリーンルームをそのまま利用することができ、製造
コストの削減を図ることができるとともに、複雑な構造
のために、塵埃の発生やコスト高等の問題を生じ易い密
閉式のカセットを使用せずに済むという利点がある。
【００３０】また、専用のファンを具備するので、載置
台上に載置されたオープンカセットから塵埃を除去する
ことができるとともに、フラッシュマウント方式の採用
を可能とし、ＡＧＶの経路上に配される障害物を排除し
て、クリーンルームを効率的に活用することができると
いう効果を奏する。
台上に載置されたオープンカセットから塵埃を除去する
ことができるとともに、フラッシュマウント方式の採用
を可能とし、ＡＧＶの経路上に配される障害物を排除し
て、クリーンルームを効率的に活用することができると
いう効果を奏する。
【図１】 本発明の一実施形態に係るロードポートの設
置状態を概略的に示す縦断面図である。
置状態を概略的に示す縦断面図である。
【図２】 図１のロードポートを示す斜視図である。
Ｗ ウェハ １ ロードポート ２ クリーンルーム ４ ロボット室 ５ インタフェース ６ オープンカセット ７ 載置台 １０ マニピュレータ １４ ファン １５ フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 武 千葉県成田市新泉14−３ 野毛平工業団地 内 アプライド マテリアルズ ジャパン 株式会社内 (72)発明者 澤戸 一利 千葉県成田市新泉14−３ 野毛平工業団地 内 アプライド マテリアルズ ジャパン 株式会社内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA01 FA12 FA15 NA03 PA26
Claims (1)
- 【請求項１】 メインフレームにウェハを供給するマニ
ピュレータを備えたロボット室に接続され、クリーンル
ーム内を搬送されてきたオープンカセット内のウェハを
前記マニピュレータに引き渡すロードポートであって、 前記クリーンルーム内に配置され、ウェハを装填したオ
ープンカセットを受け取って載置する載置台と、該載置
台を前記ロボット室に接続可能なインタフェースとを具
備するとともに、 前記載置台の上方に配置され、該載置台に載置されたオ
ープンカセットの周囲に供給する下降流を発生するファ
ンと、該ファンと載置台との間に配置されたフィルタと
を具備することを特徴とするオープンカセット用ロード
ポート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000289339A JP2002110759A (ja) | 2000-09-22 | 2000-09-22 | オープンカセット用ロードポート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000289339A JP2002110759A (ja) | 2000-09-22 | 2000-09-22 | オープンカセット用ロードポート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002110759A true JP2002110759A (ja) | 2002-04-12 |
Family
ID=18772765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000289339A Withdrawn JP2002110759A (ja) | 2000-09-22 | 2000-09-22 | オープンカセット用ロードポート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002110759A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7967917B2 (en) * | 2006-08-24 | 2011-06-28 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method of cleaning storage case |
| JP2020150091A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Ｅｆｅｍ |
-
2000
- 2000-09-22 JP JP2000289339A patent/JP2002110759A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7967917B2 (en) * | 2006-08-24 | 2011-06-28 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method of cleaning storage case |
| JP2020150091A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Ｅｆｅｍ |
| JP7299474B2 (ja) | 2019-03-13 | 2023-06-28 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Ｅｆｅｍ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20071204 |