JP2018037475A - ウェーハ搬送装置 - Google Patents
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- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 44
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 9
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000002801 charged material Substances 0.000 description 1
- 210000003746 feather Anatomy 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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- ウェーハを格納する格納箱からウェーハを取り出し、当該取り出されたウェーハを、ウェーハを指定の位置に搬送するロボットと、当該ロボットの移動方向を規定する走行軸と、前記ロボット及び前記走行軸を空気清浄空間内に収容する箱状体を備えたウェーハ搬送装置において、
前記箱状体の内部空間であり、前記走行軸の端部より、前記走行の軸の端部に対向する前記箱状体の内壁面側であって、前記ロボットによって搬送されるウェーハの移動軌道より前記箱状体の床面側に、異物吸着部材を配置したことを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記箱状体の内部空間であり、前記走行軸の端部より、前記走行の軸端部に対向する前記箱状体の内壁面側であって、前記ロボットによって搬送されるウェーハの移動軌道より前記箱状体の床面側に、帯電体を設置したことを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記箱状体の内部空間であり、前記走行軸の端部より、前記走行の軸端部に対向する前記箱状体の内壁面側であって、前記ロボットによって搬送されるウェーハの移動軌道より前記箱状体の床面側に、粘着物を設置したことを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記箱状体の天井に前記箱状体内に清浄な空気を導入するファンフィルタユニットと、当該ファンフィルタユニットを制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記ロボットにウェーハが搭載されていない状態で、前記ウェーハの搬送時より送風量を上げることを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1おいて、
前記ロボットに取り付けられる圧縮空気排出機構と、当該圧縮空気排出機構を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記ロボットを走行軸方向に移動させながら前記床面に向かって圧縮空気を排出するように、前記圧縮空気排出機構を制御することを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記ロボットの前記床面に対向する位置に設置されるファンを備えたことを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項6において、
前記ロボットに取り付けられ、前記ウェーハの移動軌道と前記ファンとの間の隔壁となる板状体を備えたことを特徴とするウェーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016167475A JP6674869B2 (ja) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | ウェーハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016167475A JP6674869B2 (ja) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | ウェーハ搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018037475A true JP2018037475A (ja) | 2018-03-08 |
JP6674869B2 JP6674869B2 (ja) | 2020-04-01 |
Family
ID=61567553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016167475A Expired - Fee Related JP6674869B2 (ja) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | ウェーハ搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6674869B2 (ja) |
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- 2016-08-30 JP JP2016167475A patent/JP6674869B2/ja not_active Expired - Fee Related
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