JP5253246B2

JP5253246B2 - 凍結真空乾燥装置

Info

Publication number: JP5253246B2
Application number: JP2009060310A
Authority: JP
Inventors: 隆史花本; 勝彦伊藤; 貴夫木下; 薫樹伊藤
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2009-03-12
Filing date: 2009-03-12
Publication date: 2013-07-31
Anticipated expiration: 2029-03-12
Also published as: JP2010216664A

Description

本発明は真空処理装置の技術分野に係り、特に、真空処理装置のメンテナンスやトラブル対処時にスムーズな対応ができる真空処理装置に関する。

図６の符号３００は、従来技術の真空処理装置を示している。
この真空処理装置３００は、真空槽３２１を有しており、その大開口３２２は、防塵用天井３１１と防塵用壁３１２とで形成された処理室３０１内に位置するように真空槽３２１自体は処理室３０１とは区分けされた機械室３０２に配置されている。
この真空処理装置３００には、大開口３２２を開閉する大扉３３１が設けられており、大扉３３１によって大開口３２２を閉じ、大扉３３１に形成された小開口３３７から乾燥対象物を真空槽３２１内に搬入し、乾燥対象物を真空槽３２１内に配置された棚３２５上に配置し、小開口３３７を小扉３３９によって閉じ、真空槽３２１内を真空排気して搬送対象物を真空乾燥できるように構成されている。
このような真空処理装置３００では、防塵フード３１６によって空気清浄機３１５から送風される清浄な空気が大扉３３１前面位置に導かれ、防塵フード３１６によって形成された清浄な雰囲気中で、真空槽３２１内への搬出入が行われるようになっている。

上述したように、乾燥対象物の真空処理では、大扉３３１を開ける必要は生じないが、真空槽３２１内のメンテナンスを行うときや、真空槽３２１内で事故が生じたときには、大扉３３１を開ける必要がある。
しかしながらこの真空処理装置３００では、防塵フード３１６は防塵用天井３１１や防塵用壁３１２に取り付けられており、大扉３３１を開ける際の大扉３３１が移動する範囲内にある。
従って、大扉３３１を開けるためには防塵フード３１６を、防塵用天井３１１や防塵用壁３１２等から取り外す必要があり、大扉３３１の開閉には長時間を要していた。
薬品などの処理対象物を凍結真空乾燥処理するための装置は、例えば下記文献に記載されている。

特開２０００−３２０９６３号公報

本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、防塵フードを取り外さないで、大扉を開閉させることのできる真空処理装置を提供することである。

上記課題を解決するために本発明は、真空排気系が接続され、真空排気可能に構成された真空槽と、前記真空槽の立設する側面に設けられた大開口と、前記真空槽に設けられ、前記大開口を開閉する大扉と、前記大扉に設けられた小開口と、前記小開口を開閉させる小扉と、前記小開口の前面位置に除塵した空気を送風する空気清浄機と、前記空気清浄機と前記小開口の前記前面位置との間を覆う防塵フードとを有し、前記空気清浄機から送風された空気は、前記防塵フードで覆われた空洞内を通って前記小開口の前記前面位置を通過する真空処理装置であって、前記空気清浄機と前記防塵フードは、前記大扉に取り付けられた真空処理装置である。
また、本発明は、前記空気清浄機は、前記小開口の上方位置に配置された真空処理装置である。
また、本発明は、前記防塵フードの水平方向の両端である両脇位置には、前記小開口と同じ高さに入口開口と出口開口が設けられ、前記真空槽の内部に搬入・搬出される処理対象物が、前記入口開口を通って前記小開口の前記前面位置に到達し、前記真空槽から搬出された前記処理対象物が、前記出口開口を通って前記防塵フードで覆われた前記空洞の外部に出るように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、前記小開口の正面位置の前記防塵フードの部分には出入開口が設けられ、前記真空槽内に搬出入される処理対象物が、前記出入開口を通って前記防塵フードで覆われた空洞内に出入りできるようにされた真空処理装置である。

防塵フードや空気清浄機を取り外さなくても大扉を開閉することができる。

本発明の凍結真空乾燥装置の一例を説明するための図面その凍結真空乾燥装置にバイアル瓶を搬入する手順を説明するための図面その凍結真空乾燥装置の内部を説明するための図面本発明の凍結真空乾燥装置の他の例を説明するための図面その凍結真空乾燥装置で真空槽内にバイアル瓶を押し込む状態を説明するための図面従来の凍結真空乾燥装置の一例を示す図面

本発明の真空処理装置を説明する。
本発明の真空処理装置が配置される建物内は、真空処理を行う処理対象物が汚染されないようにするための無塵の処理室と、処理対象物を処理する装置をメンテナンスするための機械室とが区分けされている。
図１の符号１１０は、建物の天井であり、この天井１１０の下方の一部領域には、防塵用天井１１１と防塵用壁１１２が設けられており、防塵用天井１１１と防塵用壁１１２とは密着して取り付けられ、天井１１０下方の機械室１０２から、機械室１０２とは分離された無塵の処理室(無菌室)１０１が形成されている。
処理室１０１の内部には、不図示の処理室用空気清浄装置のフィルタによって清浄された空気が噴出され、処理室１０１内部は清浄な環境にされている。

本発明の真空処理装置の一例として、本発明に含まれる凍結真空乾燥処理装置を説明する。
同図符号２０は、その凍結真空乾燥装置を示しており、該凍結真空乾燥装置２０は、真空乾燥炉２１と、空気清浄装置５１を有している。
真空乾燥炉２１は、真空槽１２１を有しており、真空槽１２１の一側壁には、大開口１２２が設けられている。
処理室１０１と機械室１０２との間に配置され、処理室１０１と機械室１０２とを区分けする防塵用壁１１２には、孔が設けられており、真空槽１２１は、大開口１２２が形成された側壁を処理室１０１内部に向け、反対側の側壁を機械室１０２の内部に向けてその孔内に嵌め込まれている。孔の周囲の側壁端部は、真空槽１２１と密着し、処理室１０１の内部雰囲気と機械室１０２の内部雰囲気との分離が維持されている。
真空槽１２１には、大開口１２２を覆う位置に不図示の支持部品が設けられ、支持部品を中心とした回転移動によって、大開口１２２を開閉する大扉１３１が、この支持部品を介して、真空槽１２１に設けられている。
大扉１３１には、その一部に小開口１３７が形成されている。
小開口１３７よりも下方には、シリンダー１３８が配置されており、シリンダー１３８には、小扉１３９が取り付けられ、シリンダー１３８が動作すると小扉１３９が上下移動し、小開口１３７が開閉されるように構成されている。

次に、空気清浄装置５１を説明すると、空気清浄装置５１は、本体１６１と、防塵フード１５１と、ファン１６５と、フィルタ１６６とを有している。
本体１６１は筒形状であり、その筒形状の一方の底面には吸気口が配置され、他方の底面には噴出口が配置されている。ファン１６５は本体１６１内部に配置されており、ファン１６５を回転させるとファン１６５は、吸気口から本体１６１の外部の空気を本体１６１内へ吸引し、噴出口から噴出させる。
フィルタ１６６は噴出口を覆う位置に配置されており、吸気口から吸入された空気は噴出口から噴出される際に、フィルタ１６６を通って菌やパーティクルが除去されるように構成されている。

このフィルタ１６６は、不図示の処理室用の空気清浄装置のフィルタよりも細かくされており、処理室１０１の空気は、そのフィルタによって既に除塵されているが、空気清浄装置５１によって、更に小さい菌やパーティクルが除去される。
防塵フード１５１は、筒形状が中心軸線を含む平面で二分された半筒形状に成型されており、半筒形状の截断面に位置する側面の端部は、大扉１３１の、真空槽１２１の外部側の表面に密着し、鉛直に取り付けられている。その結果、防塵フード１５１によって、大扉１３１の一部が覆われている。
防塵フード１５１の下端部は、小開口１３７よりも下方に位置し、上端部は小開口１３７よりも上方に位置している。従って、小開口１３７は、大扉１３１のうち、防塵フード１５１によって覆われた部分に形成されている。
空気清浄装置５１の本体１６１は、防塵フード１５１の上端部に挿入され、噴出口が下方を向き、吸気口が上方を向けて大扉１３１に取り付けられている。
従って、本体１６１で清浄にされた空気は、防塵フード１５１で覆われた空洞内に噴出され、小開口１３７の前面位置を通る。本体１６１と防塵フード１５１とは密着しており、防塵フード１５１の外部雰囲気の空気は、防塵フード１５１の内部に進入しない。

次に、本発明の真空処理装置の処理対象物について説明すると、本発明の真空処理装置が凍結真空乾燥処理装置２０である場合は、その処理対象物は薬品が配置されたバイアル瓶であり、先ず、液状の薬品が配置されたバイアル瓶を凍結真空乾燥処理装置２０に搬出入し、薬品を乾燥させる工程について説明する。
凍結真空乾燥処理装置２０を使用する際には、大扉１３１と小扉１３９を閉じて、空気清浄装置５１を作動させておき、小開口１３７を閉じて、小扉１３９の前面位置に清浄な空気を流しておく。
小開口１３７の前面位置の下側には、支持部１７４が配置され、支持部１７４の上部には、整列台７２が設けられている。
整列台７２は、防塵フード１５１で覆われた空洞内に配置され、小開口１３７と同程度の高さに設けられている。
小開口１３７と整列台７２とは細長に形成され、その長手方向が水平になるようにされ、小開口１３７は鉛直に配置され、整列台７２はその表面が水平になるようにされている。
防塵フード１５１には、整列面１７２の長手方向を延長したときに、その延長面と交叉する位置に搬入用開口１５３と搬出用開口１５５が形成され、搬入用開口１５３と整列面１７２と搬出用開口１５５とは一直線に並ぶように配置されている。

図３の符号１１は、本発明の凍結真空乾燥装置２０に、搬入装置９１と、搬出装置９２と、押込装置８１と、押出装置８２とを取り付けた乾燥システムを示している。
同図の符号１はバイアル瓶であり、液体の薬品が、この凍結真空乾燥装置２０から離間した充填場所１０３にてバイアル瓶１に充填され、次いで、押込装置８１によって凍結真空乾燥装置２０に搬送され、押込装置８１で真空槽１２１内に搬出され、真空処理された後、押出装置８２によって搬出され、乾燥した薬品が配置されたバイアル瓶１は、搬出装置９２によって集積場所まで搬送される。
搬入装置９１と搬出装置９２を説明すると、搬入装置９１と搬出装置９２は同じ構成であって、同じ部材には同じ符号を付して一緒に説明する。
搬入装置９１と搬出装置９２は、ベルトコンベアやチェーンコンベアなどのコンベア１９５を有している。
コンベア１９５は、屈曲可能な搬送面が始点位置から終点位置まで一方向に移動して搬送面上に配置された搬送対象物が搬送されるように構成されている。
搬入装置９１では、そのコンベア１９５の始点位置は充填場所１０３に配置されており、終点位置は搬入用開口１５３の前面に配置されており、搬出装置９２では、そのコンベア１９５の始点位置は搬出用開口１５５の前面に配置され、終点位置は集積場所１０４に配置されている。
コンベア１９５の始点位置上にバイアル瓶１を乗せてコンベア１９５を動作させると、コンベア１９５上のバイアル瓶１は、搬入装置９１のコンベア１９５上では充填場所１０３から搬入用開口１５３の前面に搬送され、搬出装置９２のコンベア１９５上では搬出用開口１５５の前面から集積場所１０４に搬送される。
コンベア１９５の搬送方向に沿って、コンベア１９５の両側には、防塵板１９４が配置され、コンベア１９５の真上には、不図示の、コンベア用空気清浄装置が配置されている。

コンベア用空気清浄装置は、処理室１０１内の空気を吸い込んでパーティクルを除去して清浄にし、その清浄にされた空気を、防塵板１９４と防塵板１９４の間に吹き出し、その清浄な空気はコンベア１９５に当たるようにされている。
防塵板１９４は搬入用開口１５３側の端部または搬出用開口１５５側の端部で防塵フード１５１に密着されており、搬入用開口１５３は搬入装置９１の防塵板１９４の間に位置し、搬出用開口１５５は搬出装置９２の防塵板１９４の間に位置している。かつ、防塵板１９４はコンベア用空気清浄装置に気密に取り付けられており、処理室１０１内の空気が、防塵板１９４と防塵板１９４の間の部分に入らないようになっている。従って、防塵板１９４と防塵板１９４の間に吹き出された清浄な空気はコンベア１９５に当たり、コンベア１９５上の雰囲気が、搬入装置９１の防塵板１９４の外側の雰囲気よりも清浄となるようにされている。
バイアル瓶１は充填場所１０３から搬入用開口１５３前面までの間と、搬出用開口１５５前面から集積場所１０４までの間を、処理室１０１内よりも清浄な雰囲気の中を搬送される。

次に整列台７２を説明する。整列台７２の上部露出部分はコンベアで構成されており、コンベアの上側の搬送対象物を載置する面が整列面１７２にされている。図１〜３では、コンベアの上側に向けられた面には、整列面と同じ符号１７２を付して整列面として説明する。
整列面１７２のうち、始点位置は搬入用開口１５３の近くに配置され、終点位置は搬出用開口１５５の近くに配置されており、その間の部分は、小開口１３７の前面に位置するように配置されている。
搬入装置９１のコンベア１９５を作動させ、バイアル瓶１が終点位置まで到達すると、到達したバイアル瓶１は、搬入装置９１のコンベア１９５から離間し、搬入用開口１５３を通過して整列台７２のコンベアに乗る。従って、バイアル瓶１は搬入装置９１から整列面１７２に移載される。
充填場所１０３では、搬入装置９１のコンベア１９５の上に、搬送方向に沿って一列に並ぶようにバイアル瓶１が乗せられている。バイアル瓶１は、コンベア１９５上で一列に並んで搬送され、搬入用開口１５３の前面に到達した順に、整列面１７２上に移載される。
整列台７２の整列面１７２も、始点位置から終点位置に搬送対象物を搬送するように動作しており、整列面１７２に乗せられたバイアル瓶１は、整列面１７２の始点位置から終点位置方向に一列の状態で搬送される。
ここでは小扉１３９は下方に移動して小開口１３７が既に開けられており、後述する棚板１２５の幅方向に乗る個数のバイアル瓶１が小開口１３７の前面位置に並んだところで、整列面１７２の移動を一旦静止させると、バイアル瓶１は、小扉１３９によって閉じられた小開口１３７前に一列に並ぶ。

真空乾燥炉２１は、不図示の真空乾燥炉２１の動力装置と複数枚の棚板１２５を有している。各棚板１２５は真空槽１２１内部に水平に配置され、真空乾燥炉２１の動力装置を作動させると、各棚板１２５は、真空槽１２１内で上下に移動できるようになっている。
予め各棚板１２５は、小開口１３７よりも下方に配置されている。小扉１３９を開ける際には、最も上にある棚板１２５が移動し、その上側を向いた面が整列面１７２と同程度の高さとなるところで静止している。
防塵フード１５１には、小開口１３７の前面の位置に押込用開口１５４が形成されている。
防塵フード１５１の外側であって、防塵フード１５１の押込用開口１５４前には、押込装置８１が配置されている。
押込装置８１は押込棒１８５と押込装置８１の本体１８３を有している。押込装置８１の本体１８３の内部には動力装置が配置されている。押込棒１８５は、アーム１８４を介して押込装置８１の本体１８３の取付位置において押込装置８１の動力装置に接続され、押込装置８１の動力装置によって押込棒１８５は、水平面内で押込棒１８５の軸線方向と同じ方向に往復移動できるようになっている。
ここでは押込棒１８５は、その長さが小開口１３７の水平方向の幅よりも短く形成され、その高さが小開口１３７の高さと同程度となるよう配置されており、押込用開口１５４付近から、棚板１２５のうちの真空槽１２１の開口と反対側の辺付近までの距離を往復移動できるようにされている。

押込用開口１５４は、押込棒１８５を出入させられる大きさにされており、押込棒１８５を押込用開口１５４前に位置させ、押込装置８１の動力装置を作動させると、押込棒１８５は、押込用開口１５４と小開口１３７を通過して真空槽１２１の外側から内部へと挿入され、押込用開口１５４前と真空槽１２１内の間を往復移動可能とされている。
複数のバイアル瓶１が整列面１７２に並んで静止した状態で、押込装置８１の動力装置を作動させる。アーム１８４によって押込棒１８５は、押込用開口１５４から、防塵フード１５１で覆われた領域の内部に挿入され、整列面１７２上に一列に並んだ複数のバイアル瓶１に接触し、一列に並んだバイアル瓶１を押す。

図２は、押込棒１８５が押込用開口１５４から筒状体の中へと挿入され、バイアル瓶１に接触する前を示している。
一列に並んだバイアル瓶１は、押込棒１８５によって押され、小開口１３７を通って真空槽１２１内へ入り、整列面１７２上から棚板１２５上へ移載される。なお、棚板１２５と整列面１７２とが離間している場合には、予めこれらと同程度の高さの渡り板１７３を、棚板１２５と整列面１７２の間に置く。
次いで、押込棒１８５を戻し、搬入装置９１のコンベア１９５と整列台７２のコンベアを再び作動させ、小開口１３７の前面にバイアル瓶１を一列に並べ、押込棒１８５によって、真空槽１２１内の棚板１２５上にバイアル瓶１を乗せる。
このように、棚板１２５上に一列のバイアル瓶１を乗せる動作を繰り返し、棚板１２５上に所定の個数のバイアル瓶１が乗ると、その棚板１２５を上昇させ、隣接する下方の棚板１２５を上昇させてバイアル瓶１を乗せられる位置で静止させ、上記操作を繰り返してバイアル瓶１を乗せる。
上記の操作を繰り返し、真空槽１２１内の所定数の棚板１２５にバイアル瓶１が乗ると、小扉１３９を閉じ、真空槽１２１に接続された真空排気装置１２７によって真空槽１２１内を真空排気し、薬液に含まれた水分を気化させ、各バイアル瓶１の中の液状の薬品に含まれる水分を除去して薬品を乾燥させる。
乾燥処理が終了した後、真空槽１２１内に乾燥した清浄な空気を導入し、大気圧と同程度になったところで小扉１３９を開ける。

機械室１０２の、真空槽１２１の大開口１２２と反対側の側壁付近には押出装置８２が配置されている。
押出装置８２は押出棒２８５と押出装置８２の本体２８３を有しており、その内部には動力装置が配置されている。
押出装置８２の本体２８３は機械室１０２内に位置し、押出棒２８５は真空槽１２１内に位置しており、押出装置８２は、押出装置８２の動力装置によって、真空槽１２１の内部雰囲気と機械室１０２の内部雰囲気との分離を維持した状態で、真空槽１２１の内部で押出棒２８５を移動させるようになっている。
ここでは、真空槽１２１の側壁上には押出棒挿入口１２６が形成されており、押出棒２８５はこの押出棒挿入口１２６を挿通されたアーム２８４を介して押出装置８２の動力装置に接続され、アーム２８４はベローズ２８６の中を気密に挿通され、またベローズ２８６によって押出棒挿入口１２６の開口は気密に覆われており、機械室１０２の内部雰囲気と真空槽１２１の内部雰囲気は分離されている。アーム２８４の動きとともにベローズ２８６が伸縮し、アーム２８４を介して押出棒２８５が移動しても、真空槽１２１の内部雰囲気と機械室１０２の内部雰囲気との分離は維持される。

真空槽１２１内のバイアル瓶１の乾燥が終了したとき、整列台７２上にバイアル瓶１は配置されないようになっており、乾燥処理を終えたバイアル瓶１の乗った棚板１２５の一つを整列面１７２と同程度の高さで静止させ、押出棒２８５を真空槽１２１の奥側から小開口１３７側に移動させ、乾燥処理を終えたバイアル瓶１を押し出し、小開口１３７の近くに位置するバイアル瓶１を整列面１７２上に移動させる。
整列面１７２と搬出装置９２のコンベア１９５は動作させておき、整列面１７２に乗ったバイアル瓶１は、防塵フード１５１や防塵板１９４が形成する清浄な雰囲気中を集積場所に向かって移動する。
バイアル瓶１を押し出して棚板１２５を空にすると、バイアル瓶１が乗った棚板１２５を整列面１７２と同じ高さに位置させ、押出棒２８５によってバイアル瓶１を押し出す。
上記の操作を繰り返し、真空槽１２１内の乾燥処理を終えたバイアル瓶１がすべて、真空槽１２１内から押し出されると、乾燥処理は終了する。
なお、真空槽１２１内の棚板１２５を上下に移動させるときには、予め押出棒２８５やアーム２８４を、棚板１２５の上下移動を妨げない退避位置に位置させておけばいよい。

以上によりバイアル瓶１の真空処理手順を説明したが、乾燥処理を開始する前に真空槽１２１内を点検する場合や乾燥処理の途中で真空槽１２１内のバイアル瓶１が破損した場合には、大扉１３１を開ける必要がある。

本発明では、防塵フード１５１と空気清浄装置５１は大扉１３１に取り付けられているから、取り外さなくても大扉１３１と一緒に移動するため、大扉１３１を開閉することができる。
なお、押込装置８１は車輪１８７を有しており、大扉１３１を開閉する際に、押込装置８１は簡単に移動させておくことができる。
なお、凍結真空乾燥装置２０の横方向にはリターンダクト５９が配置されており、その本体１５９に内蔵されたファンにより、小開口１３７手前を通過した空気が小開口１３７下方位置で吸引され、機械室に排気されるようになっており、床１１３上のダストが舞い上がらないようにされている。

次に本発明の第二の実施例を説明する。
第二の実施例の凍結真空乾燥装置２０は真空乾燥炉２１と、空気清浄装置５１とを有している。前述の第一の実施例と同じ部材には同じ符号を付して説明を省略する。
図４の符号１２は、第二例の凍結真空乾燥装置２０を有する乾燥システムを示しており、この乾燥システム１２は、上記乾燥システム１１と同様に、凍結真空乾燥装置２０の他、押出装置８２と、押込装置８１とを有している。
第二例の凍結真空乾燥装置２０では、その手前位置に、第一の乾燥システム１１には配置されていない移動搬入装置９３が配置されている。押込装置８１と整列台７２は、移動搬入装置９３の内部に設けられている。この乾燥システム１２においても、押込装置８１は本体１８３と押込棒１８５とを有している。

移動搬入装置９３は、整列台７２と押込装置８１の他に移動用空気清浄装置９７を有している。
押込装置８１の本体１８３の内部には、整列台７２を水平方向に移動させる動力装置が配置されている。
整列台７２の表面である整列面１７２は水平にされており、押込装置８１内の動力装置によって、整列台７２が移動して、整列面１７２が水平面内を移動するようになっている。
整列面１７２には、搬送対象物を乗せる領域が設けられており、整列台７２が移動することで、処理対象物を乗せる領域は、押込装置８１の本体１８３に近い状態と、離れた状態のいずれの状態でもとれる。
また、押込棒１８５も押込装置８１の動力装置によって、水平面内を移動できるようにされている。押込棒１８５は整列面１７２の高さよりも高い位置に配置されており、押込棒１８５は、その高さで水平面内を移動可能にされている。

移動用空気清浄装置９７は、移動防塵板１９８と、ファン１１５とフィルタ１１６が配置された本体１１７を有している。
移動防塵板１９８は中空の筒状であり、その両端の開口は上下に向けて配置され、移動防塵板１９８は、整列台７２が本体１８３に近い位置にある状態では、整列台７２と押込棒１８５とが移動防塵板１９８に取り囲まれるように本体１８３に取り付けられている。
移動防塵板１９８の側面には搬送台用開口１９９が形成されており、整列台７２を、本体１８３に近い状態から水平面内を移動させ、本体１８３から離れた状態にするときに、整列台７２は搬送台用開口１９９を通過して移動防塵板１９８の外部に出るようになっている。このとき、搬送対象物を乗せる領域は移動防塵板１９８の外部に出る。
押込棒１８５は、整列台７２が離れた状態にあるときに、整列台７２上を一端から他端まで移動できるようにされており、整列面１７２上に乗せられた処理対象物を、整列面１７２の外側に押し出せるようになっている。

移動用空気清浄装置９７の本体１１７は、吸気口を上方に向け、噴出口を下方に向けて、移動防塵板１９８の上端に取り付けられており、本体１１７は、処理室１０１内の空気を吸気口から吸い込み、噴出口から吹き出して移動防塵板１９８で取り囲まれた領域に清浄な空気を流すようにされている。移動用空気清浄装置９７のフィルタ１１６は空気から細菌やパーティクルを除去し、処理室１０１内よりも清浄な空気を噴出口から吹き出す。
移動防塵板１９８の上側の開口には、噴出口が移動防塵板１９８の内側に向き、吸気口が処理室１０１に向けて本体１１７が取り付けられている。
本体１１７と移動防塵板１９８との間は密閉されており、処理室１０１内の空気は、移動防塵板１９８が取り囲む領域には入らない。
移動防塵板１９８には、整列台７２よりも下方位置に隙間が設けられており、移動用空気清浄装置９７が吹き出した空気は移動防塵板１９８に取り囲まれた領域の内側を通って整列台７２よりも下方へ到達し、隙間を通って移動防塵板１９８の外部へ流出するようになっている。
押込装置８１の本体１８３の下方には車輪１８７が設けられており、車輪１８７によって、移動搬入装置９３は走行可能である。
従って、整列台７２が移動防塵板１９８によって取り囲まれた領域内に位置するとき、整列面１７２には清浄な空気が当たり、清浄な雰囲気において移動することができる。

この実施例におけるバイアル瓶１の真空処理を説明する。
移動防塵板１９８によって囲まれた領域内に位置する整列面１７２の上には、液状の薬品が配置されたバイアル瓶１が複数個乗せられており、移動用空気清浄装置９７は動作した状態にあり、バイアル瓶１は清浄な空気雰囲気中にあるものとすると、予め、大扉１３１と小扉１３９を閉じ、空気清浄装置５１を作動させておき、小開口１３７前面の空気を清浄な状態に維持しておき、先ず、移動搬入装置９３を走行させ、防塵フード１５１の押込用開口１５４前に位置させる。
押込用開口１５４と搬送台用開口１９９は同程度の高さに形成されており、移動防塵板１９８と防塵フード１５１とを近づけて密着させた後、整列台７２を移動させて防塵フード１５１の内部で静止させる。
小扉１３９を開けた後、押込棒１８５を動作させ、図５に示すように、小開口１３７から真空槽１２１内部に整列面１７２上のバイアル瓶１を押し込み、棚板１２５上に乗せる。

バイアル瓶１が配置された複数の移動搬入装置９３から、真空槽１２１内にバイアル瓶１が押し込まれ、複数の棚板１２５上にバイアル瓶１が配置された後、小開口１３７を閉じ、乾燥の真空処理を開始する。
真空処理が終了すると、乾燥された薬品が配置されたバイアル瓶１は、真空槽１２１内から移動防塵板１９８内の整列面１７２上に移載する。
この実施例でも、空気清浄装置５１は大扉１３１に取り付けられており、大扉１３１を開閉する際に、空気清浄装置５１を大扉１３１から取り外す必要はない。

なお、上記各例では、バイアル瓶１を処理対象とする凍結真空乾燥装置であったが、本発明はそれに限定されるものではなく、真空槽の大扉に空気清浄機と防塵フードが取り付けられた真空処理装置であって、真空炉、真空凍結庫、真空凍結乾燥炉等、周囲よりも清浄な雰囲気から真空槽内に処理対象物を搬出入する真空処理装置を広く含む。

２０……真空処理装置
２１……真空乾燥炉
５１……空気清浄装置
１２２……開口
１３１……大扉
１３７……小開口
１５１……防塵フード
１６１……空気清浄装置本体

Claims

真空排気系が接続され、真空排気可能に構成された真空槽と、
前記真空槽の立設する側面に設けられた大開口と、
前記真空槽に設けられ、前記大開口を開閉する大扉と、
前記大扉に設けられた小開口と、
前記小開口を開閉させる小扉と、
前記小開口の前面位置に除塵した空気を送風する空気清浄機と、
前記空気清浄機と前記小開口の前記前面位置との間を覆う防塵フードとを有し、
前記空気清浄機から送風された空気は、前記防塵フードで覆われた空洞内を通って前記小開口の前記前面位置を通過する真空処理装置であって、
前記空気清浄機と前記防塵フードは、前記大扉に取り付けられた真空処理装置。
前記空気清浄機は、前記小開口の上方位置に配置された請求項１記載の真空処理装置。
前記防塵フードの水平方向の両端である両脇位置には、前記小開口と同じ高さに入口開口と出口開口が設けられ、前記真空槽の内部に搬入・搬出される処理対象物が、前記入口開口を通って前記小開口の前記前面位置に到達し、前記真空槽から搬出された前記処理対象物が、前記出口開口を通って前記防塵フードで覆われた前記空洞の外部に出るように構成された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の真空処理装置。
前記小開口の正面位置の前記防塵フードの部分には出入開口が設けられ、前記真空槽内に搬出入される処理対象物が、前記出入開口を通って前記防塵フードで覆われた空洞内に出入りできるようにされた請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の真空処理装置。