JP2007073688A - Xyステージ装置及びその製造方法 - Google Patents

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Shoji Morita
将司 森田
Akira Shiozaki
明 塩崎
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Shinko Electric Co Ltd
神鋼電機株式会社
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Abstract

【課題】 例えばフラットディスプレイパネル基板等の各種基板の製造又は検査工程に用いられるXYステージ装置において、パネル基板の大型化に対応できる、製造コスト及び運送コストの低いXYステージ装置を提供する。
【解決手段】 XYステージ装置1は、平坦な平面を有するベース板2と、前記平面に沿って移動可能なXY移動機構3と、を少なくとも備える。そして前記ベース板2は、幅方向に2分割した分割体11・12を接合して構成されている。このXYステージ装置1は、分割体11・12の状態で製造され、分割体11・12の状態で納入先の工場24へ搬送された後、当該納入先の工場24で接合され、更にXY移動機構3を取り付けることで製造される。
【選択図】 図2

Description

本発明は、フラットディスプレイパネル基板(例えば液晶基板)等の各種基板の製造又は検査工程に用いられるXYステージ装置の構成、及びその製造方法に関する。
従来から、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの製造の際、XYステージ装置を用いて製造や検査等を行うことが知られている。
例えば特許文献1の第5図には、光学部品などの表面測定において用いられる二軸移動装置が開示されており、この二軸移動装置によって製造や検査を行うことが考えられる。この二軸移動装置は、板状のベースの上に2本のガイド棒を互いに直交するように配設し、それぞれのガイド棒はリニアモータによりXおよびY方向に駆動される。そして、2本のガイド棒の交差箇所に移動テーブルが配置され、移動テーブルがベースの上面に沿って移動するように構成している。
特開昭64−81246号公報(第5図、ベース12、ガイド棒1,2、移動テーブル11)
ここで、上記のようなフラットパネルディスプレイ基板は、マザーガラス基板のサイズが大きいほど1枚から取れるパネルの数が増えてコストを低減できることから、近年ではマザーガラス基板は大型化の一途をたどっているのが実情である。実例を挙げると、マザーガラス基板は現在は第5世代(1300mm×1500mm)及び第6世代(1500mm×1800mm)が稼動しているが、将来的には第7世代(1800mm×2200mm)や第8世代(2200mm×2400mm)の計画が示されている。従って、そのような大型パネル基板を製造・検査する際に用いられるXYステージについても、大型化の要請が年々強くなってきている。
しかしながら、そのような大型パネル基板用のXYステージ装置は、前記ベース板が大サイズかつ大重量となり、XYステージ装置の納入先への搬送が困難になりつつある。例えばXYステージ装置を陸路で運搬する場合、前記ベース板が道路法などの規制で定められている大きさの制限や重量制限を超えてしまい、特殊車両通行許可が必要になる場合がある。
また、上記のように大きなベース板を一体物で製造しようとしても、通常の工作機械で加工することが困難であり、ベース板の製造コストも増大しつつあるのが現状である。
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、大型パネル基板に適用可能なXYステージ装置であって、製造コスト及び搬送コストを抑制できる構成、及び、当該XYステージ装置の製造方法を提供することにある。
課題を解決するための手段及び効果
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
本発明の第1の観点によれば、以下のように構成する、XYステージ装置が提供される。平坦な平面を有するベース板と、このベース板に取り付けられたXY移動機構と、を少なくとも備える。前記ベース板は、少なくとも幅方向又は奥行き方向に分割した複数の分割体を接合して構成されている。
これにより、ベース板を分割された状態で製造・搬送して、搬送先で接合してベース板とする製造方法を採ることができるので、ベース板の運搬コスト及び製造コストを顕著に低減できる。この結果、XYステージ装置の製造コストを低減できる。
前記のXYステージ装置においては、前記分割体は鉄製とされていることが好ましい。
これにより、いわゆる石製のベース板とする場合に比べて調達や加工が容易となり、製造コストを一層削減することができる。
前記のXYステージ装置は、フラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置に用いられるXYステージ装置であることが好ましい。
即ち、上記の構成は、対象基板が年々大型化し、前記ベース板の大型化が特に必要とされているフラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置用のXYステージ装置としての用途に特に好適である。
本発明の第2の観点によれば、平坦な平面を有するベース板と、このベース板に取り付けられたXY移動機構と、を少なくとも備えるXYステージ装置の、以下のような製造方法が提供される。前記ベース板を少なくとも幅方向又は奥行き方向に分割した複数の分割体を製造する第1工程と、製造された複数の前記分割体を搬送する第2工程と、搬送された複数の前記分割体を搬送先で接合して前記ベース板とする第3工程と、前記ベース板に前記XY移動機構を取り付ける第4工程と、を含む。
このように、ベース板を分割された状態で製造・搬送して、搬送先で接合してベース板とする製造方法とすることで、ベース板の運搬コスト及び製造コストを顕著に低減できる。この結果、XYステージ装置を安価に提供できる。
前記のXYステージ装置の製造方法においては、前記分割体は鉄製とされていることが好ましい。
これにより、いわゆる石製のベース板とする場合に比べて調達や加工が容易となり、製造コストを一層削減することができる。
前記のXYステージ装置の製造方法においては、フラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置に用いられるXYステージ装置を製造することが好ましい。
即ち、上記の製造方法は、対象基板が年々大型化し、前記ベース板の大型化が特に必要とされているフラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置用のXYステージ装置の製造に特に好適である。
次に、発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の一実施形態に係るXYステージ装置の全体的な構成を示した概略斜視図、図2はXYステージ装置の製造方法を示す説明図である。
図1に示す本実施形態のXYステージ装置1は、フラットディスプレイパネル基板としての図示しない液晶マザーガラス基板を検査するものである。このXYステージ装置1は、その上面に前記液晶基板(検査対象基板)を載置・吸着可能なベース板2と、その上側に取り付けられたXY移動機構3と、を備えて構成されている。
ベース板2は鉄製とされており、例えば幅wが3m程度、奥行きdが3.3m程度である厚板状に構成されている。また、このベース板2は、幅方向に2分割された2つの分割体11・12を互いに接合することで構成されている。
前記XY移動機構3は、所定のストロークで直線方向に移動可能な門型の第1移動体4と、この第1移動体4に取り付けられるとともに当該第1移動体4の移動方向と垂直に移動可能な第2移動体5と、を備えている。第1移動体4及び第2移動体5にはそれぞれリニアモータが備えられて、第1移動体4をY方向に、第2移動体5をX方向に、それぞれ駆動するように構成されている。
この第2移動体5には図示しない画像測定装置の測定ヘッドが設けられて、ベース板2上に載置された液晶基板を撮像して検査できるようになっている。この測定ヘッドとしては、例えばCCDカメラを備える構成が考えられる。測定ヘッドで撮影された画像は図示しない制御部へ送信され、適宜の画像処理が行われて、表示装置等の出力装置に出力されたり、あるいは液晶基板の欠陥の自動検出に用いられたりする。
そして、以上の構成のXYステージ装置1は、図2に示す方法で製造・納入される。即ち、ステージ装置作成工場21内で、前記分割体11・12をそれぞれ機械加工により製造する。そして、分割体11・12のそれぞれをトレーラ(搬送手段)22・22に別個に積載し、納品先としての液晶パネル製造工場24へ向かって道路23上を搬送させる。
搬送されて液晶パネル製造工場24へ到着した各分割体11・12は、当該工場24内で互いに接合されて前記ベース板2となる。なお、この接合の際は、接合後のベース板2の精度を出すために、シム調整や例えばレーザ等を使った測定、位置決めピン等を用いて精密な位置決めを行うこととする。その後、ベース板2上に、前記分割体11・12とは別に搬送されたXY移動機構3を取り付け、XYステージ装置1が完成する。
本実施形態ではこのような方法でXYステージ装置1が製造されるので、幅が2分割された状態のベース板2を搬送するだけでよく、上述の道路法等の法規制を免れる余地があり、運搬コストを低減できる。また、ベース板2が一体物でなく分割された状態で製造され、分割体11・12があまり大きくならないので、ステージ装置作成工場21での分割体11・12の製造の際も通常の工作機械で加工を行うことができ、製造コストを低減することができる。
以上に示すように本実施形態のXYステージ装置1は、液晶基板を載置可能なベース板2と、このベース板2に取り付けられたXY移動機構3と、を少なくとも備える。前記ベース板2は、図1に示すように、幅方向に分割した複数の分割体11・12を接合して構成されている。
従って、ベース板2を分割した状態で製造・搬送して接合する製造工程(図2を参照)を採ることができ、ベース板2の加工コストや運送コストを顕著に低減することができる。この効果は、年々大型化している液晶基板の検査工程に用いられるXYステージ装置1に特に好適であるということができる。
また、前記分割体11・12は鉄製とされているので、いわゆる石製のベース板2とする場合に比べ調達や加工が容易であり、製造コストを一層削減することができる。
また、本実施形態のXYステージ装置1は、図2に示すように、以下の方法で製造される。前記ベース板2を幅方向に分割した複数の分割体11・12をステージ装置作成工場21で製造し、この製造された複数の前記分割体11・12を(個別に)搬送し、搬送先の液晶パネル製造工場24で複数の前記分割体11・12を接合して前記ベース板2とする。そして、前記ベース板2の上に前記XY移動機構3を取り付ける。
上記のような製造方法を採ることで、ベース板2の加工コストや運送コストを顕著に低減することができる。
以上に本発明の好適な実施形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
本実施形態のXYステージ装置1は、ベース板2上に液晶基板を載置し、その上を測定ヘッドがXY移動機構3によってXY方向に移動する、いわゆるガントリータイプの構成とされている。この結果、大型の液晶基板の検査を可能としつつ、設置スペースのコンパクト化が実現されている。しかしながら、XY移動機構は、いわゆる重ねタイプ(X軸移動機構とY軸移動機構がZ方向に重ねられた構成で、液晶基板をXY方向に移動させるもの)や、分離タイプ(測定ヘッドをX軸方向に移動させ、液晶基板をY軸方向に移動させる構成)のもの等に変更することができる。
ベース板2は、幅方向に2分割することに代えて、奥行き方向に2分割したり、幅及び奥行き方向に2分割ずつ、計4分割したりする構成に変更することができる。あるいは、幅方向や奥行き方向に3つ以上に分割する構成に変更することができる。
ベース板2は、鉄製とせず、他の金属製や、石製(いわゆる石定盤)等のものに変更することができる。
前記のXYステージ装置1は、液晶基板の検査でなく製造工程に用いるように変更することができる。また、液晶以外のフラットパネルディスプレイ基板、あるいは半導体基板の製造・検査工程に用いるように変更することもできる。
本発明の一実施形態に係るXYステージ装置の全体的な構成を示した概略斜視図。 XYステージ装置の製造方法を示す説明図。
符号の説明
1 XYステージ装置
2 ベース板
3 XY移動機構
4 第1移動体
5 第2移動体
11・12 分割体

Claims (6)

  1. 平坦な平面を有するベース板と、このベース板に取り付けられたXY移動機構と、を少なくとも備えるXYステージ装置において、
    前記ベース板は、少なくとも幅方向又は奥行き方向に分割した複数の分割体を接合して構成されていることを特徴とする、XYステージ装置。
  2. 請求項1に記載のXYステージ装置であって、前記分割体は鉄製とされていることを特徴とするXYステージ装置。
  3. 請求項1又は2に記載のXYステージ装置であって、フラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置に用いられることを特徴とするXYステージ装置。
  4. 平坦な平面を有するベース板と、このベース板に取り付けられたXY移動機構と、を少なくとも備えるXYステージ装置の製造方法において、
    前記ベース板を少なくとも幅方向又は奥行き方向に分割した複数の分割体を製造する第1工程と、
    製造された複数の前記分割体を搬送する第2工程と、
    搬送された複数の前記分割体を搬送先で接合して前記ベース板とする第3工程と、
    前記ベース板に前記XY移動機構を取り付ける第4工程と、
    を含むことを特徴とする、XYステージ装置の製造方法。
  5. 請求項4に記載のXYステージ装置の製造方法であって、前記分割体は鉄製とされていることを特徴とするXYステージ装置の製造方法。
  6. 請求項4又は5に記載のXYステージ装置の製造方法であって、フラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置に用いられるXYステージ装置の製造方法。
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