JP2009147298A - ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ装置1は、基台10と、基台10上で移動可能に設けられるガントリ部30と、基台10を支持する除振ユニット50とを備える。基台10は、缶材を枠状に連結して構築された上部フレーム12と、缶材を枠状に連結して構築され上部フレーム12と上下に離間して設けられた下部フレーム22と、上部フレーム12と下部フレーム22とを連結する連結材18と、を有する。基台10は、水平方向に複数のブロックに分割するための分割部16,26を有し、分割部16,26は、上部フレーム12及び下部フレーム22を構成する缶材を切断した切断面を有し、缶材の切断面には、外向きフランジ16a,26aが設けられている。
【選択図】図1
Description
切断された前記上部フレームの切断部分における一対の缶材間には、補強材が横架されていると好ましい。
また、基台10を分割する場合、基台10が缶材により構成されていると接合面の剛性が低く、ガントリ部30の駆動時に歪みを生じさせる可能性があるが、本実施形態の基台10はボックス構造であり、上部フレーム12と下部フレーム26における上下の接合面を合わせると接合面が増加しているため、歪みを生じさせるおそれを低減することができ、基台10の分割に有利な構造となっている。
なお、張り出し片52の下面には、缶材12c,12dの外側面との間に架設された複数の補強リブ54が設けられており、分割された基台10は、この補強リブ54を介しても連結される。ここで、従来のステージ構造の場合は、分割しようとすると連結のためのフランジをステージの側面に飛び出すように設ける必要があり、横方向のサイズが大きくなってしまうという問題があるが、本実施形態では、補強リブ54や分割部16,26が張り出し片52よりも側方に飛び出ることを抑えることができるため、大型化を抑制することができる。
なお、張り出し片152の下面には、缶材112c,112dの外側面との間に架設された複数の補強リブ154が設けられており、分割された基台110は、この補強リブ154を介しても連結される。ここで、従来のステージ構造の場合は、分割しようとすると連結のためのフランジをステージの側面に飛び出すように設ける必要があり、横方向のサイズが大きくなってしまうという問題があるが、本実施形態では、補強リブ154や分割部116,126が張り出し片152よりも側方に飛び出ることを抑えることができるため、大型化を抑制することができる。
また、基台110を分割する場合、基台110が缶材により構成されていると接合面の剛性が低く、ガントリ部130の駆動時に歪みを生じさせる可能性があるが、本実施形態の基台110はボックス構造であり、上部フレーム112と下部フレーム126における上下の接合面を合わせると接合面が増加しているため、歪みを生じさせるおそれを低減することができ、基台110の分割に有利な構造となっている。
Claims (5)
- 基台と、前記基台上で一軸方向に移動可能に設けられるガントリと、前記基台を支持する除振ユニットとを備えたステージ装置であって、
前記基台は、
缶材を枠状に連結して構築された上部フレームと、
缶材を枠状に連結して構築され前記上部フレームと上下に離間して設けられた下部フレームと、
前記上部フレームと前記下部フレームとを連結する連結材と、を有し、
前記基台は、該基台を水平方向に複数のブロックに分割するための分割部を有し、
前記分割部は、前記上部フレーム及び前記下部フレームを構成する缶材を切断した切断面を有し、前記缶材の切断面には、外向きフランジが設けられていることを特徴とするステージ装置。 - 前記分割部は、前記上部フレーム及び前記下部フレームを構成する缶材を上下対応する位置で切断して構成されていることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記除振ユニットを介して前記基台を支持する架台を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のステージ装置。
- 分割された前記複数のブロックそれぞれにおいて、前記上部フレーム及び前記下部フレームの少なくとも一方の枠内には、枠状に連結された管材に対して斜め方向に補強材が架設されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のステージ装置。
- 切断された前記上部フレームの切断部分における一対の缶材間には、補強材が横架されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のステージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008244714A JP4964853B2 (ja) | 2008-09-24 | 2008-09-24 | ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008244714A JP4964853B2 (ja) | 2008-09-24 | 2008-09-24 | ステージ装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007321307A Division JP4195497B2 (ja) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | ステージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009147298A true JP2009147298A (ja) | 2009-07-02 |
JP4964853B2 JP4964853B2 (ja) | 2012-07-04 |
Family
ID=40917524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008244714A Active JP4964853B2 (ja) | 2008-09-24 | 2008-09-24 | ステージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4964853B2 (ja) |
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JP4964853B2 (ja) | 2012-07-04 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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