CN100590836C - 台架装置 - Google Patents

Abstract

本发明的台架装置能分割地进行陆路运输，同时确保对被处理基板进行准确处理。台架装置备有支承被处理基板(W)的基板支承面、夹着基板支承面相向配置的一对导架(13X)、在一对导架(13X)之间延伸并可移动地支承在一对导架(13X)上的门形架(13Y)、和设置在门形架(13Y)上的基板处理单元(14)；导架(13X)由主架部(15A)和副架部(15B)的结合体构成；主架部(15A)形成基板处理单元(14)进行基板处理所需的门形架(13Y)的移动路径(作业区域(R1))，副架部(15B)与主架部(15A)的长度方向一端部或两端部连接，形成门形架(13Y)的到达非作业位置(非作业区域(R2))的移动路径。

Description

台架装置

技术领域

本发明涉及门形架移动型的台架装置，具体地说，涉及例如对液晶板用的玻璃基板涂敷密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材时使用的台架装置，或者在采用照相机的表面检查或表面不平度计测等时使用的台架装置。

背景技术

已往，例如在对液晶板用的玻璃基板涂敷密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材的涂敷工序中，或者在采用照相机的表面检查工序等中，要使用门形架移动型的台架装置，该门形架移动型的台架装置使喷出膏状材的喷嘴或照相机沿玻璃基板的面内两个方向移动(例如见下述专利文献1)。

图9是表示此种已往台架装置的概略构造的平面图。图示的已往台架装置1备有在XY面内支承被处理基板的载置台2、夹着该载置2设置并沿X轴方向延伸的一对导架3X、在该一对导架之间延伸的门形架3Y、和设在该门形架3Y上的基板处理单元4。

门形架3Y能沿着导架3X、3X的上面移动地安装在该导架3X、3X上。基板处理单元4由喷出密封剂、液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材的喷嘴、或者观察基板表面的照相机单元等构成，能沿着门形架3Y的下面自由移动地安装在该门形架3Y上。门形架3Y和基板处理单元4被线性马达等的驱动源驱动，分别沿着导架3X和门形架3Y移动。

在上述构造的已往的台架装置1中，基板处理单元4与支承在载置台2上的被处理基板表面相向地被移送，对被处理基板表面进行上述各种膏状材的涂敷、或表面性状的摄影。并且，使基板处理单元4分别沿着X轴、Y轴移动，用该基板处理单元4连续地或间歇地对被处理基板整个区域进行预定的处理动作。

另外，在这种台架装置中，为了将被处理基板运入、运出载置台2，或者为了基板处理单元4的维护、检修等，导架3X设有作业区域R1和非作业区域R2，作业区域R1规定出进行基板处理所必需的门形架3Y的移动路径，非作业区域R2与作业区域R1不同，用于使门形架3Y避开载置台2正上方位置。即，已往的台架装置1中的导架3X要具有能形成作业区域R1和非作业区域R2的长度。

专利文献1：日本特许第3701882号公报

专利文献2：日本特开2006-12911号公报

发明要解决的课题

近年来，被处理基板有日益大型化的倾向，随之，对被处理基板进行处理的台架装置也必须大型化。

但是，随着台架装置的大型化，存在不能运输该台架装置的问题。例如，当被处理基板的尺寸为3000mm×2800mm时，台架装置的短边必须在3500mm以上，这样的尺寸在现有的道路上是不能实现陆路运输的。

为了解决这一问题，已往提出了将台架装置分割成若干部分的方法(例如专利文献2)。但是，在图9所示那样的门形架移动型的台架装置1中，如果在门形架3Y的移动路径上存在导架3X的接缝，则在通过该接缝时，会诱发门形架3Y的振动或移动速度的变化，这样，基板处理单元4就不能准确地进行基板处理。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的是提供一种台架装置，该台架装置能分割而适应陆路运输，并且能确保对被处理基板进行准确的处理。

解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本发明的台架装置备有：支承被处理基板的基板支承面；夹着上述基板支承面地相向配置的一对导架；在上述一对导架之间延伸并可移动地支承在上述一对导架上的门形架；设置在上述门形架上的基板处理单元；其特征在于，上述导架由主架部和副架部的结合体构成；上述主架部形成上述基板处理单元进行基板处理所需的上述门形架的移动路径；上述副架部与上述主架部的长度方向一端部或两端部相接，形成上述门形架的到达非作业位置的移动路径。

在上述构造的本发明台架装置中，由于引导门形架移动的导架，做成为上述主架部和副架部的分割构造，所以，可以将台架装置缩短到能进行陆路运输的长度。另外，由于导架的分割位置不在门形架的作业区域内，所以，门形架不会产生振动及移动速度的变化，可以确保对被处理基板进行准确的处理。

另外，在本发明的台架装置中，只要至少对形成基板处理所需的门形架移动路径的区域确保高的移送精度即可。因此，上述主架部与副架部相比，门形架的移送精度设计得较高。这样，无需将整个导架做成为高精度，所以，可以减低导架的制作成本及设置作业工作量。

另外，在导架上，敷设了引导门形架直行移动的线性引导件；该线性引导件在与导架的分割位置不同的位置处接合。这样，可以减少导架分割位置处的门形架移送精度的降低，同时，可以缓和上述主架部与副架部之间的组装精度，提高作业性。

另外，本发明的另一个台架装置，设置着被处理基板，具有第1引导部、第2引导部、第1架部、第2架部。上述第1引导部包含上述门形架在被处理基板上移动时起引导作用的部分；上述第2引导部不包含门形架在被处理基板上移动时起引导作用的部分；上述第1架部设置着第1引导部，载置着被处理基板；上述第2架部设置着第2引导部；第1架部和第2架部可以分离地进行运输。

上述第、第2引导部相当于例如引导门形架直行移动的线性引导件。把该第1、第2引导部分别设置在可自由分离的上述第1、第2架部上，可得与上述同样的作用效果。这时，第1、第2引导部可分别在第1、第2架部上各设置一对。

发明效果

如上所述，根据本发明，由于把引导门形架移动的导架做成为分割的构造，所以，可将台架装置缩短到能陆路运输的长度。另外，由于导架的分割位置不在门形架的作业区域上，所以，门形架上不会产生振动及移动速度的变化，可确保对被处理基板进行准确的处理。

附图说明

图1是本发明实施方式的台架装置的概略构造图，A是表示组装后状态的整体立体图，B是表示组装前状态的整体立体图。

图2是本发明实施方式的台架装置的、从X轴方向看时的断面图。

图3是表示本发明实施方式的台架装置的、可动部概略构造的断面立体图。

图4是本发明实施方式的台架装置的、导架的主要部分侧面图。

图5是本发明实施方式的台架装置的、导架的主要部分侧面图。

图6是表示本发明实施方式的台架装置的、导架变型例的主要部分侧面图。

图7是表示本发明实施方式的台架装置的变型例的概略平面图。

图8是表示本发明实施方式的台架装置的变型例的概略立体图。

图9是表示已往的台架装置构造的概略平面图。

附图标记说明

11台架装置

12载置台

13X导架

13Y门形架

14基板处理单元

15A主架部(第1架部)

15B副架部(第2架部)

16架台

17线性引导件

17a导轴

17a1、17a2第1、第2引导部

17b引导轴承

18磁铁

19电枢线圈

20可动部

21位置检测传感器

22直线标尺

22a、22b  第1、第2标尺

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。

图1A、B是表示本发明实施方式的台架装置11的概略构造的整体立体图，A表示组装后的状态，B表示组装前的状态。图2是从X轴方向看台架装置11时的断面图。

本实施方式的台架装置11，备有支承玻璃基板等被处理基板W的载置台12、夹着该载置台12设置并沿X轴方向延伸的一对导架13X、13X、在该一对导架13X、13X之间延伸的门形架13Y、设在该门形架13Y上的基板处理单元14。

载置台12具有在XY面内支承被处理基板W的基板支承面。载置台12设置在架台16的上，该架台16用于使一对导架13X、13X保持相互平行并且具有一定的间隔地相向配置着。一对导架13X、13X通过架台16固定成一体。载置台20备有例如利用真空吸附等方式将被处理基板W保持在基板支承面上的机构。在图1A、B中未示出载置台12。另外，架台16的一部分也可以构成上述的基板支承面。

门形架13Y沿着与导架13X、13X的延伸方向(X轴方向)交叉的方向、在本实施方式中是直交的方向(Y轴方向)延伸。门形架13Y的两脚部，通过可动部20，相对于导架13X、13X可沿该导架13X、13X的上面移动地受到支承。

基板处理单元14由对支承在载置台12上的被处理基板W的表面喷出密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种膏状材的喷嘴、或者观察基板表面的照相机单元等构成。该基板处理单元14，相对于门形架13Y可沿该门形架13Y的下面移动地受到支承。

门形架13Y和基板处理单元14，以线性马达作为驱动源，分别沿着导架13X和门形架13Y移动。图3表示设在导架13X、13X与门形架13Y之间的可动部20的一例构造。下述的构造也同样地适用于门形架13Y与基板处理单元14之间。

如图3所示，可动部20备有线性引导件17、磁铁18、和电枢线圈19。线性引导件17由敷设在导架13X上面的一对导轴17a、17a、和设置在门形架13Y的脚部下面的一对引导轴承17b、17b构成。磁铁18在一对导轴17a、17a之间呈直线地设置在导架13X的上面。电枢线圈19与磁铁18隔开间隔相向地安装在门形架13Y的脚部下面。由这些磁铁18和电枢线圈19构成了线性马达。

在可动部20上，还设有用于检测门形架13Y相对于导架13X的相对位置的位置检测传感器21。位置检测传感器21通过光学地检测设置在导架13X侧面的线性标尺22，进行门形架13Y的位置检测。

另外，台架装置11还备有控制部(图未示)，该控制部接受上述构成的位置检测传感器的检测输出，进行门形架13Y及基板处理单元14的移动控制，该控制部的说明从略。

借助门形架13Y相对于导架13X、13X的X轴方向的水平移动、以及基板处理单元14相对于门形架13Y的Y轴方向的水平移动，可以在XY面内的两个方向，将基板处理单元14与支承在载置台12上的被处理基板W的表面整个区域相向地配置。这样，台架装置11作为XY台架，其可以用基板处理单元14对被处理基板W连续地或间歇地进行预定的基板处理动作(本例中是密封剂或液晶材料、含间隔基的树脂的涂敷、或者表面检查)。

另外，在本实施方式的台架装置11中，导架13X、13X是由在其延伸方向分割的主架部(第1架部)15A和副架部(第2架部)15B的结合体构成的。因此，台架装置11如图1B所示，导架13X、13X在主架部15A与副架部15B之间是可分割的。这时，被处理基板W载置在主架部15A侧。

如上所述，由于把导架13X、13X做成为在其延伸方向可以分离的构造，所以，可以把台架装置11在X轴方向分割成两部分进行运输。

例如，即使台架装置11具有X轴方向的长度尺寸为5500mm以上、Y轴方向的宽度尺寸为4500mm以上的大小时，只要把台架装置11在X轴方向分割成两部分，对于每个分割结构体单位，X轴方向长度可抑制在3500mm以下。这样，可以避免道路状况等的限制，实现台架装置11的陆路运输。

在本实施方式中，导架13X、13X的分割位置、即主架部15A与副架部15B之间的交界线D，设定在导架13X、13X上的、作业区域R1与非作业区域R2的交界位置。作业区域R1规定出基板处理单元14进行基板处理所必需的门形架13Y的移动路径。非作业区域R2用于使门形架13Y避开载置台12上的正上方位置。

另外，非作业区域R2规定出了在被处理基板W运入、运出载置台12时以及对基板处理单元14进行维护、检修等时作为门形架13Y的退避位置，即非动作位置。

因此，主架部15A形成了基板处理单元14进行基板处理所必需的、门形架13Y的移动路径。另外，副架部15B与主架部15A的长度方向的一端侧连接，形成了门形架13Y的到达非作业位置的移动路径。

如上所述，把构成导架13X、13X的主架部15A和副架部15B的交界D，设置在导架13X、13X上的门形架13Y的作业区域R1与非作业区域R2的交界线上，可得到以下的效果。

第一，一般在门形架移动型的台架装置中，对基板处理时，必须要进行门形架的高精度的移送控制，但根据本实施方式，只要把划定出门形架13Y的作业区域R1的主架部15A设计成具有可获得预定的高标准移送精度的构造即可。因此，副架部15B与主架部15A相比，不需要严密的移送精度，所以，可减低台架装置11的整体制作成本。

这里，所说的门形架13Y的移送精度，包含门形架13Y的移动面的刚性、平坦度、门形架13Y的等速移动性等，为了得到这些特性，导架通常是采用花岗岩或大理石等的石材、SiC等的硬质陶瓷那样的加工精度高的较高价的材料。在本实施方式中，可以仅对主架部15A用这些材料制作，与其相比，副架部15B可以用能得到一定移送精度那样程度的比较低价的材料制作。

第二，由于在门形架13Y的作业区域R1内，导架13X、13X上没有接缝(交界D)，所以，可以避免在通过接缝时产生的门形架13Y的振动及速度变化，可以确保基板处理单元14对被处理基板W进行准确的基板处理。

第三，由于把导架13X、13X的分割位置(交界D)设定在门形架13Y的作业区域R1与非作业区域R2的交界上，所以，可以提高台架装置11的组装作业性。

即，如果导架13X、13X的分割位置在门形架13Y的作业区域R1内，则为了确保门形架13Y的高移送精度，必须高精度地进行导架的连接，这样，设置作业工作量增大，根据本实施方式，则可以避免这一问题，可以减轻导架13X、13X的设置作业工作量。

另外，如图1B所示，由于可在将门形架13Y组装在主架部15A上的状态下进行运输，所以，可以省略掉现场的可动部20的组装作业。这样，可提高台架装置11的设置作业性。另外，可以在确保了门形架13Y被高精度地组装在主架部15A上的状态，将台架装置11装货运出。

另一方面，在导架13X上引导门形架13Y移动的线性引导件17，也与导架13X、13X同样地做成为分割构造，本实施方式中，线性引导件17在与导架13X、13X的分割位置不同的位置处接合。

图4是表示导架13X的分割位置的侧面图。导架13X是由主架部15A和副架部15B结合构成的，在主架部15A和副架部15B的上面，分别敷设了线性引导件17的导轴(第1、第2引导部)17a1、17a2。第1引导部17a1包含了在门形架13Y在被处理基板W上移动时起引导作用的部分(作业区域R1)。另外，第2引导部17a2不包含门形架13Y在被处理基板W上移动时起引导作用的部分。

第1、第2引导部17a1、17a2相互敷设在同一轴线上，其接缝d设定在与导架13X的分割位置(交界D)不同的位置。即，如图4所示，第1引导部17a1从主架部15A朝副架部15B侧突出，突出的第1引导部17a1的部分固定在副架部15B上。第2引导部17a2在副架部15B上与第1引导部17a1的突出端接合，这样，构成了连续的导轴17a。

如图4所示，第1、第2引导部17a1、17a2的接缝d，设定在与导架13X的分割位置D不同的位置，这样，能用第1引导部17a1覆盖住导架13X的分割位置D的上面，所以，在主架部15A和副架部15B之间组装时产生的导架上面的不平度，可以被第1引导部17a1吸收。这样，可以有效地抑制门形架13Y在通过分割位置D时产生的振动。另外，主架部15A和副架部15B之间的连接也不需要严密的组装精度，可以更加提高导架13X的设置作业性。

另外，第1、第2引导部17a1、17a2，是在将主架部15A和副架部15B连接后，用螺丝部件23固定在该组装好的导架13X上的。

为了提高台架装置11的设置作业性，把门形架13Y的位置检测所必须的线性标尺22，也做成为相对于导架13X分割的构造。即，如图5所示，线性标尺22被分割成为设置在主架部15A上的第1标尺22a、和设置在副架部15B上的第2标尺22b。做成这样的构造，可以避免使用长尺寸的线性标尺时因热膨胀而导致的精度降低，所以，可提高门形架13Y的移送精度。

这时，在门形架13Y上，在其行进方向并排地至少设置2个检测第1、第2标尺22a、22b的线性标尺检测部。作为该线性标尺检测部，可以设置2个以上的上述位置检测传感器21，也可以在一个位置检测传感器21上并排配置2个检测部(元件)。这些检测部的配置间隔大于标尺22a、22b的设置间隔，这样，可以进行跨越标尺22a、22b之间的位置检测。

在上述构造中，门形架13Y在通过主架部15A和副架部15B的连接部时，上述线性标尺检测部中的一方检测第1标尺22a，另一方检测第2标尺22b，这样，进行架连接部的位置修正。具体地说，当一方检测部通过标尺的连接部时，根据另一方的检测输出和这些检测部之间的配置间隔，计算求出该一方检测部的位置。这样，即使标尺22a、22b分离设置时，也能高精度地进行门形架13Y的位置检测，并且，标尺22a、22b的设置间隔不需要高精度，可提高作业性。

另外，线性标尺检测部的设置数目不限定是2个，其个数也可以增加。另外，线性标尺的分割位置也不是只限定在上述各架部的连接位置。

上面，说明了本发明的实施方式，当然，本发明并不局限于该实施方式。在本发明技术思想的范围内，可作各种变型。

例如，上述实施方式中，构成导架13X的主架部15A和副架部15B的各相接面，由与门形架13Y的行进方向垂直的面构成，但并不限定于此。图6表示主架部15A和副架部15B的各相接面倾斜于门形架13Y的行进方向的例子。根据该构造，可容易地实现主架部15A和副架部15B的交界D处的架上面的高度精度，可提高导架13X的设置作业性。

另外，上述实施方式中，是把台架装置11的导架13X、13X分割为两部分，但也可以如图7示意地示出那样，把导架13X、13X分割成为三部分。在该例中示出了这样的构成，即，在主架部15A的两端部上，分别连接了副架部15B。

另外，也可以进一步增加导架13X、13X的分割数。这时，如图8所示，显示了由主架部15A和副架部15B交替连接而成的台架装置的构造。根据该构造，可以在同一个台架装置上，并排地处理若干块被处理基板W。

Claims (9)

1.一种台架装置，其用于进行被处理基板的处理或检查；其特征在于，具备：

基板支承面，该基板支承面对所述被处理基板进行支承；

基板处理单元，该基板处理单元对支承在所述基板支承面上的被处理基板进行处理或检查；

门形架，该门形架支承所述基板处理单元，并且可在支承于所述基板支承面的被处理基板之上自由移动；

一对引导部，该一对引导部分别具有第1引导部和第2引导部，其中，所述第1引导部夹着所述基板支承面地相向配置，形成由所述基板处理单元进行基板处理时所需的所述门形架的作业区域的移动路径，而所述第2引导部可沿该第1引导部的延伸方向相对于所述第1引导部自由分离地连接，形成所述门形架的非作业区域的移动路径；

主架，该主架支承所述第1引导部；以及

副架，该副架支承所述第2引导部，并且可自如地与所述主架分离。

2.如权利要求1所述的台架装置，其特征在于，与所述副架相比，所述主架的所述门形架的移送精度设计得高。

3.如权利要求1所述的台架装置，其特征在于，所述第1引导部以及所述第2引导部分别包括引导所述门形架直行移动的线性引导件；

所述各线性引导件在不同于所述主架和所述副架的分割位置的位置上接合。

4.如权利要求1所述的台架装置，其特征在于，所述基板处理单元可沿着该门形架的延伸方向自由移动地支承在所述门形架上。

5.一种台架装置，其用于进行被处理基板的处理或检查；其特征在于，具备：

第1架部，该第1架部载置所述被处理基板；

第2架部，该第2架部构成为能够相对于所述第1架部分离而进行运输；

门形架，该门形架在所述被处理基板之上移动；

第1引导部，该第1引导部在长度方向上呈一体，设置在所述第1架部上，包含所述门形架在所述被处理基板上移动时进行引导的部分；以及

第2引导部，该第2引导部以与所述第1引导部敷设在同一轴线上的方式设置在所述第2架部上，不包含所述门形架在所述被处理基板上移动时进行引导的部分。

6.如权利要求5所述的台架装置，其特征在于，所述第1架部的所述门形架的移送精度比所述第2架部高。

7.如权利要求5所述的台架装置，其特征在于，所述第1引导部具有从所述第1架部突出的部分，该突出的所述第1引导部的部分固定在所述第2架部上，所述第1引导部和所述第2引导部构成连续的引导部。

8.如权利要求5所述的台架装置，其特征在于，所述第1架部和所述第2架部的相接面相对于所述门形架的移动方向倾斜地形成。

9.如权利要求5所述的台架装置，其特征在于，还具备：

第1线性标尺，该第1线性标尺设置在所述第1架部上；

第2线性标尺，该第2线性标尺设置在所述第2架部上；以及

至少两个线性标尺检测部，所述线性标尺检测部设置在所述门形架上，在所述门形架通过所述第1架部和所述第2架部的连接部时，利用所述第1线性标尺检测所述门形架的位置，而且利用所述第2标尺检测所述门形架的位置，由此进行所述连接部的位置修正。

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