KR200472836Y1 - 절삭 유닛 및 그 응용설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 절삭 유닛을 개시한다. 상기 절삭 유닛은 적어도 두 개로 구성된 적재운송기구가 설치되어 있고, 각각의 상기 적재운송기구는 가공물에 대한 적재운송을 위하여 적어도 두 개로 구성되고 상기 적재운송기구들의 길이방향과 동일한 제1 방향으로의 이동이 가능한 적재 테이블이 설치되어 구성된 수송장치를 포함하고, 적어도 두 개로 구성된 절삭공구 세트가 미리 결정된 유격을 갖고 상호 마주하는 형태로 설치되어 있고, 각각의 상기 절삭공구 세트는 적어도 두 개로 구성되어 상기 적재 테이블 상의 가공물에 대한 절삭이 가능한 절삭공구가 설치되어 구성된 절삭장치를 포함하며, 상기 절삭공구 세트는 상기 적재운송기구 별로 순차적으로 상기 적재 테이블들 상의 가공물에 대한 절삭작업을 수행할 수 있도록 상기 두 적재운송기구와 미리 결정된 유격을 갖고 상기 제1 방향과 크로스되는 방향으로 배치되는 기계 프레임에 상기 기계 프레임을 따라 이동 가능하게 배치되는 것을 특징으로 한다.

Description

절삭 유닛 및 그 응용설비{CUTTING UNIT AND APPLIED EQUIPMENT OF THE CUTTING UNIT }
본 발명은 절삭장치의 적어도 네 개로 구성된 절삭공구가 동기화로 작동하는 것을 이용하여 두 개의 적재 테이블 상에서 절삭 대기 중인 각각의 가공물을 절삭하고, 다른 두 개의 적재 테이블은 가공물을 적재하고 내리는 동작을 수행토록 하여 절삭장치가 오랜 시간 동안 대기하면서 공회전하는 것을 방지함에 따라 절삭에 따른 생산 효율을 높임과 아울러 작업 시간을 절감하는 절삭 유닛을 제공한다.
현재, 절삭 유닛은 각각 다른 가공물(예:전자 유닛, 유리 등)에 대한 절삭에 광범위하게 응용되고 있다.
웨이퍼 절삭을 예로 들면, 한 장으로 구성된 웨이퍼를 복수 개의 IC로 제작할 수 있도록 복수 개의 칩으로 절삭한다.
도1을 참조하면, 이는 종래 기술에 따른 대만 특허 제89112026번에 의한 '절삭기' 특허건으로서, 이에 따른 기계 본체(11) 상에는 절삭 대기 중인 웨이퍼를 적재하기 위한 구동원(12)에 의한 구동으로 Y 방향으로 이동하는 클램프(13)가 설치되어 있다.
아울러, 상기 기계 본체(11)의 지지대 프레임(111) 상에는, 제1 절삭기구(14) 및 제2 절삭기구(15)가 설치되어 있다.
상기 제1 절삭기구(14)에는, 웨이퍼에 대한 절삭이 가능한 제1 절삭공구(141)가 설치되어 있고, 상기 제1 절삭공구(141)를 각각 X-Z 방향으로 이동토록 구동하는 제1 구동원(142) 및 제2 구동원(143)이 설치되어 있다.
상기 제2 절삭기구(15)에는, 웨이퍼에 대한 절삭이 가능한 제2 절삭공구(151)가 설치되어 있고, 상기 제2 절삭공구(151)를 각각 X-Z 방향으로 이동토록 구동하는 제3 구동원(152) 및 제4 구동원(153)이 설치되어 있다.
이러한 절삭 유닛은, 사용시 상기 클램프(13)는 절삭 대기 중인 웨이퍼(16)를 적재할 수 있고, 상기 구동원(12)의 구동에 의하여 Y 방향에 위치한 절삭 지역으로 이동하고, 상기 제1 절삭기구(14)는 상기 제1 및 제2 구동원(142, 143)이 상기 제1 절삭공구(141)를 구동하여 X-Z 방향에 위치한 절삭 지역으로 이동하도록 제어하고, 상기 제2 절삭기구(15)도 상기 제3 및 제4 구동원(152, 153)이 상기 제2 절삭공구(141)를 구동하여 X-Z 방향에 위치한 절삭 지역으로 이동하도록 제어한다.
이때, 상기 구동원(12)의 구동에 의하여 상기 클램프(13)가 Y 방향으로 이동할 경우, 상기 제1 및 제2 절삭공구(141 및 151)로 하여금 상기 클램프(13) 상의 상기 웨이퍼(16)를 절삭하도록 한다.
그러나, 이러한 절삭기는 사용함에 있어 다음과 같은 문제점를 가지고 있다.
첫째, 상기한 바와 같은 절삭기에는 상기 웨이퍼(16) 적재를 위한 단 하나의 상기 클램프(13)만이 설치되어 있어 상기 제1 및 제2 절삭기구(14 및 15)의 상기 제1 및 제2 절삭공구(141 및 151)는 한번에 단 하나의 상기 웨이퍼(16)만을 절삭할 수 밖에 없음에 따라 절삭에 따른 생산 효율이 미흡한 문제점을 초래한다.
둘째, 상기한 바와 같은 절삭기는 단 하나의 상기 클램프(13)만이 설치되어 있고, 상기 클램프(13) 상의 상기 웨이퍼(16)에 대한 절삭이 완료될 경우, 상기 제1 및 제2 절삭기구(14 및 15)는 즉시 작동이 정지되고, 이에 기계의 로봇 암이 상기 클램프(13) 상에서 절삭이 완료된 상기 웨이퍼(16)를 내린 다음 다시 다음 차례로 절삭 대기 중인 웨이퍼를 상기 클램프(13) 상에 적재하고 절삭 작업을 수행하는데 많은 시간이 소요되고, 이로 인해 상기 제1 및 제2 절삭기구(14 및 15)의 상기 클램프(13) 상의 가공물이 적재되고 내려지는 작업 시간 동안 절삭장치는 대기하면서 공회전하는 시간이 증가함에 따라 절삭에 따른 생산 효율이 저하되는 문제점을 초래한다.
이에, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 일실시예로, 본 발명은, 적어도 두 개로 구성된 적재운송기구 및 적어도 두 개로 구성된 절삭공구 세트를 포함하여 구성되고, 상기 각 적재운송기구는 가공물에 대한 적재운송을 위하여 적어도 두 개로 구성되고 상기 적재운송기구들의 길이방향과 동일한 제1 방향으로의 이동이 가능한 적재 테이블이 설치되어 구성된 수송장치를 포함하고, 상기 각 절삭공구 세트는 미리 결정된 유격을 갖고 상호 마주하는 형태로 설치되어 있고, 각각의 상기 절삭공구 세트는 적어도 두 개로 구성되어 상기 적재 테이블 상의 가공물에 대한 절삭이 가능한 절삭공구가 설치되어 구성된 절삭장치를 포함하며, 상기 절삭공구 세트는 상기 적재운송기구 별로 순차적으로 상기 적재 테이블들 상의 가공물에 대한 절삭작업을 수행할 수 있도록 상기 두 적재운송기구와 미리 결정된 유격을 갖고 상기 제1 방향과 크로스되는 방향으로 배치되는 기계 프레임에 상기 기계 프레임을 따라 이동 가능하게 배치되는 것을 특징으로 한다. 또한 본 발명은 추가로 상기 절삭장치에는 각각의 절삭공구가 제2 및 제3 방향으로 이동하도록 구동할 수 있는 이동기구가 설치되어 있으며, 이에 상기 절삭장치의 네 개의 절삭공구가 동기화로 작동할 수 있도록 제어하여 상기 적재운송기구에 설치된 두 개의 적재 테이블 상에서 절삭 대기 중인 각각의 가공물을 절삭하고, 한 차례에 걸친 절삭 위치 이동 스트록에서 두 개의 가공물에 대한 절삭 작업을 수행함에 따라 절삭에 따른 생산 효율을 높이는 실용적인 효과를 얻는 절삭 유닛을 제공한다.
또한 본 발명은, 상기 수송장치 중에서 하나의 적재운송기구에 설치된 두 개의 적재 테이블에 적재된 절삭 대기 중인 가공물에 대한 절삭 작업이 상기 절삭장치 쪽에서 수행될 경우, 다른 하나의 적재운송기구에 설치된 두 개의 적재 테이블이 가공물을 적재하고 내리는 작업 및 이미지 형상화, 포지셔닝 등의 사전 작업을 수행할 수 있도록 하고, 상기 적재운송기구에 설치된 두 개의 적재 테이블 상의 가공물에 대한 절삭이 완료될 경우, 상기 절삭장치는 다른 적재운송기구 쪽으로 신속하게 이동하여 다른 두 개의 적재 테이블 상에서 절삭 대기 중인 가공물에 대한 절삭을 지속적으로 수행할 수 있으므로 각각의 적재 테이블이 가공물을 적재하고 내리는 작업을 수행하는 동안 상기 절상장치가 오랜 시간 동안 대기하면서 공회전하는 것을 방지함에 따라 작업 시간을 효과적으로 단축시키는 실용적인 효과를 얻는 절삭 유닛을 제공한다.
또한 본 발명은, 기계 본체에는 절삭 유닛과 적어도 하나로 구성된 가공물 적재장치 및 가공물 이동장치가 배치되어 있고, 상기 절삭 유닛은 전술한 절삭 유닛과 마찬가지로 수송장치 및 절삭장치를 포함하여 구성되고, 상기 적재운송기구에는 적어도 두 개의 절삭 대기 중인 가공물에 대한 적재운송을 위한 적어도 두 개로 구성된 적재 테이블이 설치되어 있고, 상기 절삭장치에는 각각의 적재 테이블 상의 절삭 대기 중인 가공물을 절삭하기 위한 적어도 두 개의 복수 개의 절삭공구를 구비한 절삭공구 세트가 설치되어 있고, 적어도 하나로 구성된 가공물 적재장치는 적어도 하나의 가공물을 적재하는 것으로서 사용되고, 가공물 이동장치는 상기 절삭 유닛 및 가공물 적재장치 사이에서 가공물을 이동하고 적재하는 것으로서 사용됨에 따라 절삭에 따른 생산 효율을 높이는 실용적인 효과를 가진 절삭 유닛에 응용되는 설비를 제공한다.
도1은 종래 기술에 따른 제89112026번에 의한 「절삭기」특허건을 도시한 사시도이다.
도2는 본 발명에 따른 절삭 유닛을 도시한 사시도이다.
도3은 본 발명에 따른 절삭 유닛의 사용 상태를 도시한 제1사시도이다.
도4는 본 발명에 따른 절삭 유닛의 사용 상태를 도시한 제2사시도이다.
도5는 본 발명에 따른 절삭 유닛의 사용 상태를 도시한 제3사시도이다.
도6는 본 발명에 따른 절삭 유닛의 사용 상태를 도시한 제4사시도이다.
도7은 본 발명에 따른 절삭 유닛의 사용 상태를 도시한 제5사시도이다.
도8은 본 발명에 따른 절삭 유닛을 응용하는 절삭 설비를 도시한 사시도이다.
도9는 본 발명에 따른 절삭 설비의 사용 상태를 도시한 제1사시도이다.
도10은 본 발명에 따른 절삭 설비의 사용 상태를 도시한 제2사시도이다.
도11은 본 발명에 따른 절삭 설비의 사용 상태를 도시한 제3사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조 하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도2를 참조하면, 본 발명에 따른 절삭 유닛(20)은 각각 다른 가공물(예 : 전자 유닛, 유리 등)에 응용될 수 있는 것으로서, 수송장치 및 절삭장치를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 수송장치에는 적어두 두 개의 적재운송기구가 설치되어 있는데, 본 실시예에서는 제1 적재운송기구(21) 및 제2 적재운송기구(22)가 설치되어 있다.
상기 제1 적재운송기구(21)에는 절삭 대기 중인 가공물에 대한 적재운송을 위한 적어도 두 개로 구성된 제1 방향(예 : Y 방향)으로의 이동이 가능한 적재 테이블이 설치되어 있다.
또한, 상기 제1 적재운송기구(21)는 절삭 작업에 따른 필요성을 감안하여 제2 방향(예 : X 방향) 및 제3 방향(예 : Z 방향)으로 이동하여 위치를 조절하도록 각각의 적재 테이블을 구동할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 적재운송기구(21)에는 제1 방향으로 배치된 구동원(도면 미도시)이 설치될 수 있다.
상기 구동원은 적어도 하나로 구성된 모터 및 전동 세트를 포함하여 구성된다.
상기 전동 세트는 풀리 세트 또는 스크류/너트 세트 등으로 구성될 수 있고, 상기 전동 세트로 두 개의 절삭 대기 중인 가공물을 적재할 수 있는 제1 및 제2 적재 테이블(23, 24)을 동기화된 움직임으로 작동시키거나 제1 방향으로 개별적으로 이동시킨다.
상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)에는 절삭 대기 중인 가공물의 위치를 고정시킬 수 있는 포지셔닝 기구가 설치되어 있다.
상기 포지셔닝 기구에는 적어도 하나로 구성된 클램프 또는 배기장치(도면 미도시)의 흡입구멍에 연통이 가능한 포지셔닝 유닛이 설치되어 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 포지셔닝 기구는 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24) 상에서 절삭 대기 중인 가공물을 흡착하여 위치를 고정시킬 수 있는 제1 및 제2 흡입구멍(231 및 241)이 각각 설치되어 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)은 절삭 작업에 따른 필요성을 감안하여 가공물의 절삭 대기 방향을 전환시킬 수 있도록 적어도 하나의 회전 구동원이 구동하여 각도를 회전시킬 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)에는 독립적인 회전 작동이 가능한 제1 및 제2 회전 구동원(232 및 242)이 각각 설치되어 있다.
상기 제2 적재운송기구(22)에는 절삭 대기 중인 가공물에 대한 적재운송을 위한 적어도 두 개로 구성된 제1 방향으로의 이동이 가능한 적재 테이블이 설치되어 있다.
또한, 상기 제2 적재운송기구(22)는 절삭 작업에 따른 필요성을 감안하여 제2 및 제3 방향으로 이동하여 위치를 조절하도록 각각의 적재 테이블을 구동할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 적재운송기구(22)에는 제1 방향으로 배치된 구동원(도면 미도시)이 설치될 수 있다.
상기 구동원은 적어도 하나로 구성된 모터 및 전동 세트를 포함하여 구성된다.
상기 전동 세트는 풀리 세트 또는 스크류/너트 세트 등으로 구성될 수 있고, 상기 전동 세트로 두 개의 절삭 대기 중인 가공물을 적재할 수 있는 제3 및 제4 적재 테이블(25 및 26)을 동기화된 움직임으로 작동시키거나 제1 방향으로 개별적으로 이동시킨다.
상기 제3 및 제4 적재 테이블(25 및 26)에는 절삭 대기 중인 가공물의 위치를 고정시킬 수 있는 포지셔닝 기구가 설치되어 있다.
상기 포지셔닝 기구에는 적어도 하나로 구성된 클램프 또는 배기장치(도면 미도시)의 흡입구멍에 연통이 가능한 포지셔닝 유닛이 설치되어 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 포지셔닝 기구는 상기 제3 및 제4 적재 테이블(25 및 26) 상에서 절삭 대기 중인 가공물을 흡착하여 위치를 고정시킬 수 있는 제3 및 제4 흡입구멍(251 및 261)이 각각 설치되어 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)은 절삭 작업의 필요성을 감안하여 가공물의 절삭 대기 방향을 전환시킬 수 있도록 적어도 하나의 회전 구동원이 구동하여 각도를 회전시킬 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제3 및 제4 적재 테이블(25 및 26)에는 독립적인 회전 작동이 가능한 제3 및 제4 회전 구동원(252 및 262)이 각각 설치되어 있다.
상기 절삭장치에는 적어도 두 개로 구성된 절삭공구 세트가 설치되어 있다.
상기 절삭공구 세트에는 적어도 두 개의 가공물에 대한 절삭이 가능한 절삭공구가 각각 설치되어 있다.
또한, 상기 절삭장치에는 각각의 상기 절삭공구가 제2 및 제3 방향으로 이동하도록 구동할 수 있는 이동기구가 설치되어 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 절삭장치는 상기 제1 및 제2 적재운송기구(21 및 22) 사이에서 이동하는 작동을 수행한다.
상기 이동기구는 구통을 통하여 기계 프레임(271) 상의 제1 및 제2 절삭공구 세트의 절삭공구를 제2 및 제3 방향으로 이동시킬 수 있는 네 개로 구성된 제1, 제2, 제3 및 제4 구동원이 설치되어 있다.
상기 제1 및 제2 구동원에는 상기 기계 프레임(271)의 일 측단에 제2 방향으로의 배치가 가능한 제1 및 제2 이동기(272 및 273)가 각각 설치되어 있다.
상기 제1 및 제2 이동기(272 및 273)는 적어도 하나로 구성된 모터 및 전동 세트를 포함하여 구성된다
상기 전동 세트는 풀리 세트 또는 스크류/너트 등으로 구성될 수 있고, 상기 전동 세트로 제1 및 제2 구동기(274 및 275)를 각각 제2 방향으로 이동시킨다.
상기 제1 및 제2 구동기(274 및 275)는 제3 방향으로의 배치가 가능하고 각각 적어도 하나로 구성된 모터 및 전동 세트를 포함하여 구성된다.
상기 전동 세트는 스크류/너트 세트 등으로 구성될 수 있다.
아울러, 각각의 상기 전동 세트에는 제1 절삭공구 세트의 제1 및 제2 동력원(281 및 282)이 각각 설치되어 있다.
상기 제1 및 제2 동력원(281 및 282)은 가공물을 절삭하는 것으로서 사용되는 제1 및 제2 절삭공구(283 및 284)를 각각 구동할 수 있고, 이에 상기 제1 및 제2 절삭공구(283 및 284)는 각각 X-Z 방향으로 이동함에 따라 간격 및 높이의 위치를 조절할 수 있다.
상기 제3 및 제4 구동원에는 상기 기계 프레임(271)의 다른 일 측단에 제2방향으로의 배치가 가능한 제3 및 제4 이동기(276 및 277)가 각각 설치되어 있다.
상기 제3 및 제4 이동기(276 및 277)는 적어도 하나로 구성된 모터 및 전동 세트를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 전동 세트는 풀리세트 또는 스크류/너트 세트 등으로 구성될 수 있고, 상기 전동 세트로 제3 및 제4 구동기(278 및 279)를 제2 방향으로 이동시킨다.
상기 제3 및 제4 구동기(278 및 279)는 제3 방향으로의 배치가 가능하고 적어도 하나로 구성된 모터 및 전동 세트를 포함하여 구성된다.
상기 전동 세트는 스크류/너트 세트 등으로 구성될 수 있다.
아울러, 각각의 상기 전동 세트에는 제2 절삭공구 세트의 제3 및 제4 동력원(285 및 286)이 각각 설치되어 있다.
상기 제3 및 제4 동력원(285 및 286)은 가공물을 절삭하는 것으로서 사용되는 제3 및 제4 절삭공구(287 및 288)를 각각 구동할 수 있고, 이에 상기 제3 및 제4 절삭공구(285 및 286)는 각각 X-Z 방향으로 이동함에 따라 간격 및 높이의 위치를 조절할 수 있다.
또한, 상기 절삭 유닛(20)에는 절삭 대기 중인 가공물에 대한 검사을 위한 적어도 하나의 탐지기가 구비된 탐지장치가 설치되어 있는데, 본 실시예에서는 상기 제1 및 제2 적재운송기구(21 및 22)의 사이에 탐지장치(29)가 설치되어 있다.
상기 탐지장치(29)에는 절삭 대기 중인 가공물의 이미지를 형상화하고 가공물이 놓여지는 위치 및 절삭 홈의 상태 등을 검사하기 위한 CCD(291)로 구성될 수 있는 탐지기가 설치되어 있다.
도3을 참조하면, 웨이퍼 절삭을 사용되는 예를 들면, 상기 제1 적재운송기구(21) 상의 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)은 절삭 대기 중인 웨이퍼(31, 32)를 각각 적재할 수 있고, 복수 개의 상기 제1 및 제2 흡입구멍(231 및 241)을 이용하여 상기 웨이퍼(31, 32)를 각각 흡착하고 위치를 고정시킨다.
이때, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)는 아직 제3 방향으로 하강하는 위치 이동을 진행하지 않는다. 그러므로, 상기 제1 적재운송기구(21)는 동기화된 움직임으로 제1 방향으로 이동하여 상기 탐지장치(29)를 통과하도록 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)을 구동할 수 있다.
이때, 상기 탐지장치(29)는 제2 방향으로의 위치 이동에 맞춰 위치를 이동하고 상기 웨이퍼(31, 32)가 정확한 위치에 배치되었는지의 여부를 검사하기 위한 이미지 형상화를 위하여 상기 CCD(291)를 구동한다.
여거서, 만일 배치된 위치가 정확할 경우, 상기 제1 적재운송기구(21)는 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)를 동기화된 움직임으로 절삭장치 쪽으로 위치를 이동토록 하고, 이미 상기 웨이퍼(31)가 적재된 상기 제1 적재 테이블(23)이 상기 제1 및 제2 절삭공구(283 및 284)의 하단 절삭공구 위치에 위치하도록 함과 아울러 이미 상기 웨이퍼(32)가 적재된 상기 제2 적재 테이블(24)이 상기 제3 및 제4 절삭공구(287 및 288)의 하단 절삭공구 위치에 위치하도록 한다.
도4를 참조하면, 상기 절삭장치는 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 구동기(274, 275, 278 및 279)를 제어하여 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)가 동기화된 움직임으로 제3 방향 아래 방향으로 지정된 하단 절삭공구 위치까지 이동토록 한다.
이때, 상기 제1 적재운송기구(21)는 동기화된 움직임으로 제1 방향으로 위치를 이동하도록 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)을 구동한다.
이때, 상기 제1 및 제2 절삭공구(283 및 284)는 상기 제1 적재 테이블(23) 상의 상기 웨이퍼(31)에 두 개의 절삭 홈이 형성되도록 절삭하고, 상기 제3 및 제4 절삭공구(287 및 288)는 상기 제2 적재 테이블(24) 상의 상기 웨이퍼(32)에 두 개의 절삭 홈이 형성되도록 절삭한다.
이에, 상기 절삭장치는 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)가 동기화된 움직임으로 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24) 상의 상기 웨이퍼(31, 32)를 각각 절삭하도록 제어한다.
이에, 한 차례에 걸친 절삭 위치 이동 스트록에서 상기 웨이퍼(31, 32)에 대한 절삭 작업이 수행될 수 있는 것이다.
또한, 상기 제1 적재운송기구(21)의 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)에서 상기 웨이퍼(31, 32)를 적재하여 절삭 작업을 수행할 경우, 상기 제2 적재운송기구(22)의 상기 제3 및 제4 적재 테이블(25 및 26)은 다른 두 개의 웨이퍼(33, 34)를 적재하는 가공물 적재 작업을 수행할 수 있고, 각각 복수 개의 상기 제3 및 제4 흡입구멍(251 및 261)을 이용하여 상기 웨이퍼(33, 34)를 흡입하여 위치를 고정시킴으로써 상기 제3 및 제4 적재 테이블(25 및 26)에 가공물이 적재되는 과정에서 상기 절삭장치가 대기하는 시간이 소모되는 것을 방지하고, 이에 따라 작업 시간이 절감된다.
도5를 참조하면, 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)이 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)를 개별적으로 통과한 다음 상기 절삭장치의 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 구동기(274, 275, 287 및 279)는 제3 방향의 반대 반향으로 이동하여 위치 복귀하도록 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)를 각각 구동하고, 상기 제1 적재운송기구(21)는 다시 상기 웨이퍼(31, 32)를 적재하고 동기화된 움직임으로 제1 방향의 반대 반향으로 이동하여 위치를 복귀하도록 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)를 구동한다.
이때, 상기 절삭장치는 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 이동기(272, 283, 276 및 277)가 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 구동기(274, 275, 278 및 279) 및 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)가 동기화된 움직임으로 제2 방향으로 위치를 이동토록 제어하여 다음 절삭 위치를 조절하고, 이어 상기 제1 적재운송기구(21)는 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)가 동기화된 움직임으로 제1 방향으로 이동하여 상기 절삭장치 쪽으로 위치를 이동토록 제어하고, 상기 절삭장치는 다시 상기 제1 및 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)가 동기화로 작동되도록 제어하여 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24) 상의 각각의 상기 웨이퍼(31, 32) 상에 다른 두 개의 절삭 홈이 형성되도록 함으로써 각각의 상기 위이퍼(31, 32) 상에 복구 개의 설삭 홈이 빠르게 형성될 수 있도록 절삭한다.
또한, 상기 제1 적재운송기구(21)의 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)이 상기 웨이퍼(31, 32)를 적재하고 절삭 작업을 수행할 경우, 상기 제2 적재운송기구(22)는 동기화된 움직임으로 제1 방향으로 위치를 이동하여 상기 탐지장치(29)를 통과하도록 상기 제3 및 제4 적재 테이블(25 및 26)을 구동할 수 있다.
이때, 상기 탕지장치(29)는 제2 방향으로의 이동에 맞추어 위치를 이동하고 상기 웨이퍼(33, 34)가 정확한 위치에 배치되었는지의 여부를 검사하기 위한 이미지 형상화를 위하여 상기 CCD(291)를 구동한다.
도6 및 도7을 참조하면, 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)는 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)가 각각의 상기 웨이퍼(31, 32) 상에서 복구 개의 제1 및 제2 방향이 서로 교차되는 절삭 홈을 절삭해낼 수 있도록 상기 제1 및 제2 회전 구동원(232 및 242)을 이용하여 각도 회전을 수행할 수 있고, 각각의 상기 웨이퍼(31, 32)의 절삭 대기 방향을 조절할 수 있다.
이 경우, 상기 제2 적재운송기구(22)의 상기 제3 미 제4 적재 테이블(25 및 26)은 이미 절삭 대기 중인 상기 위이퍼(33, 34)를 각각 적재하고 있으므로, 상기 제1 적재운송기구(21)의 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24) 상의 상기 웨이퍼(31, 32)에 대한 절삭이 완료될 경우, 상기 절삭장치는 상기 제3 및 제4 적재 테이블(25 및 26) 상의 상기 웨이퍼(33, 34)를 계속 절삭하기 위한 수단으로서 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 구동기(274, 275, 278 및 279) 및 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)가 동기화된 움직임으로 제2 방향으로 이동하여 상기 제2 적재운송기구(22)에서 각각 조절될 때가지 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 이동기(272, 273, 276 및 277)를 제어한다.
이때, 상기 제1 적재운송기구(21)의 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)는 절삭이 완료된 상기 웨이퍼(31, 32)를 적재하고 상기 탐지장치(29)를 통과할 수 있다.
이때, 상기 탐지장치(29)는 제2 방향으로의 이동에 맞춰 위치를 이동하고 상기 웨이퍼(31, 32) 표면에 형성된 절삭 홈의 상태를 검사하기 위한 이미지 형상화를 위하여 상기 CCD(291)를 구동한다.
검사가 완료되면, 각각의 상기 위이퍼(31, 32)를 내리는 작업과 아울러 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)로 하여금 다은 두 개의 절삭 대기 중인 웨이퍼 적재 작업을 수행함에 따라 절삭에 따른 생산 효율을 제고시킬 수 있다.
도8을 참조하면, 도8은 절삭 유닛(20)을 응용하는 절삭 설비로서, 기계 본체(40), 절삭 유닛(20), 적어도 하나로 구성된 가공물 적재장치, 세척장치 및 가공물 이동장치를 포함하여 구성된다.
상기 절삭 유닛(20)은 전술한 절삭 유닛(도2 참조 바람)과 동일하고, 상기 기계 본체(40) 상단에 배치되고, 수송장치 및 절삭장치를 포함하여 구성된다.
상기 수송장치에는 적어도 두 개로 구성된 제1 적재운송기구(21) 및 제2 적재운송기구(22)가 설치되어 있다.
상기 제1 및 제2 적재 테이블(21 및 22)에는 적어도 두 개로 구성되고 절삭 대기 중인 가공물에 대한 적재운송을 위해 사용되는 제1 방향으로의 이동이 가능한 제1, 제2, 제3 및 제4 적재 테이블(23, 24, 25 및 26)이 설치되어 있다.
상기 절삭장치는 적어도 두 개로 구성된 제1 절삭공구 세트 및 제2 절삭공구 세트가 설치되어 있다.
상기 제1 절삭공구 세트에는 적어도 두 개로 구성되고 가공물에 대한 절삭이 가능한 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)이 각각 설치되어 있고, 다른 절삭장치에는 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)를 제2 및 제3 방향으로 이동하도록 구동할 수 있는 이동기구가 설치되어 있다.
상기 이동기구에는 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)를 각각 제2 및 제3 방향으로 이동시키기 위한 제1, 제2, 제3 및 제4 이동기(272, 273, 276 및 277) 및 제1, 제2, 제3 및 제4 구동기(274, 275, 278 및 279)이 설치되어 있다.
적어도 하나로 구성된 상기 가공물 적재장치는 상기 기계 본체(40) 상단에 배치되어 적어도 하나의 가공물을 적재하는 것으로사 사용되는데, 본 실시예에 있어서 상기 기계 본체(40) 상단에는 제1 가공물 적재장치(50) 및 제2 가공물 적재장치(60)가 설치되어 있다.
여거서, 상기 제1 가공물 적재장치(50)는 적어도 하나의 절삭 대기 중인 가공물을 적재하는 것으로, 그리고 상기 제2 가공물 적재장치(60)는 적어도 하나의 절삭된 가공물을 적재하는 것으로 사용된다.
상기 세척장치(70)는 상기 기계 본체(40) 상단에 배치되어 절삭 후의 가공물을 세척하고 건조하는 것으로 사용된다.
상기 가공물 이동장치(80)는 상기 기계 본체(40) 상단에 배치되어 가공물을 이동, 적재하는 것으로 사용되는데, 본 실시예에 있어서 상기 가공물 이동장치(80)에는 적어도 하나의 상기 제1 및 제2 가공물 적재장치(50 및 60) 및 상기 절삭 유닛(20) 및 상기 세척장치(70) 사이에서 절삭 대기 / 절삭 완료된 가공물에 대한 이동, 적재를 위한 픽앤플레이스( Pick & Place) 장치(81)가 설치되어 있다.
도9, 도10 및 도11(도3 내지 도7 참조 바람)을 참조하면, 절삭 설비를 이용한 웨이퍼 절삭을 예로 들면, 상기 가공물 이동장치(80)는 상기 픽앤플레이스( Pick & Place) 장치(81)로 상기 제1 가공물 적재장치(50)에서 절삭 대기 중인 상기 웨이퍼(31)를 취출하고, 상기 웨이퍼(31)를 상기 절삭 유닛(20)의 상기 제1 적재운송기구(21)의 상기 제1 적재 테이블(23) 상단으로 이동하여 적재한다.
이 경우, 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)는 순서에 따라 상기 웨이퍼(31, 32)를 적재한 다음 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24)은 곧 제1 방향으로 상기 웨이퍼(31, 32)를 상기 절삭장치까지 이동한다.
이때, 상기 절삭장치는 동기화된 움직임으로 대응하는 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24) 상에 위치한 상기 웨이퍼(31, 32)를 각각 절삭하도록 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 절삭공구(283, 284, 287 및 288)를 제어한다.
이때, 상기 가공물 이동장치(80)의 상기 픽앤플레이스( Pick & Place) 장치(81)는 상기 제1 가공물 적재장치(50) 쪽에서 다음 차례로 절삭 대기 중인 상기 웨이퍼(33)를 취출하고 상기 제3 적재 테이블(25) 상단으로 이동, 적재할 수 있다.
상기 웨이퍼(31, 32)에 대한 절삭이 완료되면, 상기 가공물 이동장치(80)의 픽앤플레이스( Pick & Place) 장치(81)는 다시 상기 제1 적재운송기구(21)의 상기 제1 및 제2 적재 테이블(23 및 24) 상에서 순서에 따라 상기 웨이퍼(31, 32)를 취출하고 상기 세척장치(70)로 이동, 적재하여 세척 작업을 수행한다.
여기서, 세척이 완료된 상기 웨이퍼(31)는 상기 제2 가공물 적재장치(60) 쪽으로 이동, 적재되어 수집되고, 상기 제2 적재운송기구(22) 상의 상기 제3 및 제4 적재 테이블(25 및 26)은 상기 웨이퍼(31, 32)를 제1 방향으로 이동, 적재하여 절삭 작업을 지속적으로 수행할 수 있다.
<종래의 기술>
11 : 기계 본체 111 : 지지대 프레임
12 : 구동원 13 : 클램프
14 : 제1 절삭기구 141 : 제1 절삭공구
142 : 제1 구동원 143 : 제2 구동원
15 : 제2 절삭기구 151 : 제2 절삭공구
152 : 제3 구동원 153 : 제4 구동원
16 : 웨이퍼
<본 발명>
20 : 절삭 유닛 21 : 제1 적재운송기구
22 : 제2 적재운송기구 23 : 제1 적재 테이블
231 : 제1 흡입구멍 232 : 제1 회원 구동원
24 : 제2 적재 테이블 241 : 제2 흡입구멍
242 : 제2 회전 구동원 25 : 제3 적재 테이블
251 : 제3 흡입구멍 252 : 제3 회전 구동원
26 : 제4 적재 테이블 261 : 제4 흡입구멍
262 : 제4 회전 구동원 271 : 기계 프레임
272 : 제1 이동기 273 : 제2 이동기
274 : 제1 구동기 275 : 제2 구동기
276 : 제3 이동기 277 : 제4 이동기
278 : 제3 구동기 279 : 제4 구동기
281 : 제1 동력원 282 : 제2 동력원
283 : 제1 절삭공구 284 : 제2 절삭공구
285 : 제3 동력원 286 : 제4 동력원
287 : 제3 절삭공구 288 : 제4 절삭공구
29 : 탐지장치 291 : CCD
31, 32, 33, 34 : 웨이퍼 40 : 기계 본체
50 : 제1 가공물 적재장치 60 : 제2 가공물 적재장치
70 : 세척장치 80 : 가공물 이동장치
81 : 픽앤플레이스( Pick & Place) 장치

Claims (10)

  1. 적어도 두 개로 구성된 적재운송기구가 설치되어 있고, 각각의 상기 적재운송기구는 가공물에 대한 적재운송을 위하여 적어도 두 개로 구성되고 상기 적재운송기구들의 길이방향과 동일한 제1 방향으로의 이동이 가능한 적재 테이블이 설치되어 구성된 수송장치를 포함하고,
    적어도 두 개로 구성된 절삭공구 세트가 미리 결정된 유격을 갖고 상호 마주하는 형태로 설치되어 있고, 각각의 상기 절삭공구 세트는 적어도 두 개로 구성되어 상기 적재 테이블 상의 가공물에 대한 절삭이 가능한 절삭공구가 설치되어 구성된 절삭장치를 포함하며,
    상기 절삭공구 세트는 상기 적재운송기구 별로 순차적으로 상기 적재 테이블들 상의 가공물에 대한 절삭작업을 수행할 수 있도록 상기 두 적재운송기구와 미리 결정된 유격을 갖고 상기 제1 방향과 크로스되는 방향으로 배치되는 기계 프레임에 상기 기계 프레임을 따라 이동 가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 절삭 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 수송장치의 각각의 적재 테이블에는 가공물에 대한 위치고정이 가능한 포지셔닝 기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 포지셔닝 기구는 각각의 적재 테이블 상에 적어도 하나의 가공물에 대한 위치고정이 가능한 포지셔닝 유닛이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 유닛.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 수송장치에는 적어도 하나의 각각의 적재 테이블을 회전 작동할 수 있도록 구동하는 회전 구동원이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 유닛.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 절삭장치에는 각각의 상기 절삭공구를 제3 방향으로 이동할 수 있도록 구동하는 이동기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 유닛.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 이동기구는 기계 프레임 상에 복수 개의 구동원이 설치되어 있고, 각각의 상기 구동원에는 각각의 상기 절삭공구를 적어도 제3 방향으로 이동할 수 있도록 구동하는 구동기가 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 이동기구의 각각의 구동원에는 각각의 상기 절삭공구를 제2 방향으로 이동할 수 있도록 구동하는 이동기가 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 유닛.
  8. 제1항에 있어서,
    가공물을 탐지하기 위한 탐지장치를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 절삭 유닛.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 탐지장치에는 적어도 하나의 가공물에 대한 탐지가 가능한 탐지기가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 유닛.
  10. 가공물을 수송하고 절삭하기 위한 제1항에 따른 상기 절삭 유닛이 배치되는 기계 본체,
    적어도 하나의 가공물을 적재하고 상기 기계 본체의 상단에 배치되는 적어도 하나의 가공물 적재장치, 그리고 가공물을 이동, 적재하기 위하여 상기 기계 본체의 상단에 배치되는 가공물 이동장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 절삭 유닛을 응용하는 설비.
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