TWI406734B - 機台裝置 - Google Patents

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TWI406734B
TWI406734B TW097132918A TW97132918A TWI406734B TW I406734 B TWI406734 B TW I406734B TW 097132918 A TW097132918 A TW 097132918A TW 97132918 A TW97132918 A TW 97132918A TW I406734 B TWI406734 B TW I406734B
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Junpei Yuyama
Mitsuru Yahagi
Hirofumi Minami
Makoto Takahashi
Shinya Ito
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Description

機台裝置
本發明係關於機台裝置之技術領域，尤其關於可分解之機台裝置。
第9圖的圖號105，係顯示先前技術之機台裝置。
此機台裝置105係具有底座板111，底座板111係藉由配置於內面的四個角落之腳部112a~112d，載置於地面上。
於底座板111的表面上鋪設有軌道117、118，於其上方乘載有移動台架113。於移動台架113之與底座板111面對的面，配置有印刷頭。印刷頭連接於液槽114，並從液槽114將吐出液供應至印刷頭，當使基板107乘載於底座板111上並從印刷頭將吐出液吐出時，吐出液彈著於基板107上。
移動台架113係構成為可於軌道117、118上移動，如第10圖所示，當於基板107的上方將吐出液吐出時，可將吐出液彈著於基板107表面的期望位置。
此吐出液例如為液晶配向膜用的有機薄膜原料，或是液晶顯示裝置之間隔件的分散液、有機電激發光顯示元件之發光層的原料等，機台裝置105係使用於將吐出液吐出至較大基板者。
然而，吐出對象的基板乃朝向大型化的方向發展，因應此發展，亦使機台裝置逐漸大型化，就成本的問題或法規上的問題來看，係難以將在工廠中所製造出的機台裝置搬運至設置場所。
因此，於先前技術中亦採取對策，以嘗試將底座板分割而搬運。
[專利文獻1]日本特開2007-73688號公報
然而，當在設置場所組裝分割了的底座板時，對位會花費極大手續，此外，當連接軌道時，若軌道的組裝精度惡化，則具有印刷頭的行走無法達到安定之問題。
為了解決上述課題，本發明為具備：四邊形形狀的主底座板；及固定在前述主底座板的一邊，且互相能夠分離之兩片副底座板；以及能夠在前述主底座板的上方位置與被固定在前述主底座板之前述兩片副底座板間的上方位置之間進行移動而構成的移動構件；前述兩片副底座板係構成為可從前述主底座板分離。
此外，本發明為機台裝置，其係具備：直線狀延伸設置在前述主底座板上，且互相平行地設置之第一、第二主軌道；以及分別配置於前述兩片副底座板上，且分別接連於前述第一、第二主軌道的端部之副軌道；前述移動構件，係於前述第一、第二主軌道上與前述兩片副底座板的前述副軌道上行進，且能夠在前述主底座板的上方位置與前述兩片副底座板間的上方位置之間進行移動而構成。
由於可使第一、第二副底座板獨立地對主底座板進行對位，所以在正式設置場所中之對位作業變得簡單，而提升對位精度。
第5圖(a)、(b)之圖號5，係顯示本發明之機台裝置。同圖(a)為俯視圖，同圖(b)為側視圖。
此機台裝置5係具備一台的主載置台10，以及兩台或四台(在此為四台)副載置台20a~20d。
於主載置台10與副載置台20a~20d的上部，分別設置有表面為平坦之四邊形形狀的主底座板11及副底座板21。
於主底座板11的表面上，配置有互為平行之第一、第二主軌道17a、17b，於副底座板21的表面上，配置有一條副軌道18。
第一、第二主軌道17a、17b，係配置為與主底座板11之四邊當中的兩邊平行且與其他兩邊垂直，第一、第二主軌道17a、17b的至少一端，係延伸至主底座板11之四邊當中與第一、第二主軌道17a、17b垂直的同一邊為止。
在此，第一、第二主軌道17a、17b的兩端，係分別延伸至與第一、第二主軌道17a、17b垂直的兩邊為止。
副軌道18亦配置為與副底座板21之四邊當中的兩邊平行且與其他兩邊垂直，該兩端中的至少一端，係延伸至與副軌道18垂直的一邊為止。
主底座板11及副底座板21的表面，分別以相同高度且呈水平地配置。
主底座板11的四邊當中，若以第一、第二主軌道17a、17b的端部所位在之兩邊為主連接邊F，以副軌道18的一端所位在之邊為副連接邊B，則各副載置台20a~20d係以該上部的副底座板21上之副軌道18的端部密接於第一、第二主軌道17a、17b的端部之方式，使副底座板21的副連接邊B與主底座板11的主連接邊F密接而配置，當副載置台為兩台時，第一、第二主軌道17a、17b係藉由副軌道18往相同側延長而構成，為四台時，第一、第二主軌道17a、17b的兩端係與副軌道18密接，第一、第二主軌道17a、17b藉由副軌道18往兩端部方向延長而構成。
圖中，圖號19a、19b，分別顯示藉由副軌道18使第一、第二主軌道17a、17b之第一、第二延長軌道。
於主底座板11上配置有移動構件之移動台架13。於此移動台架13的底面部分，設置有印刷頭(圖中未顯示)。配置有吐出液之液槽14係連接於移動台架13。
當從液槽14供應吐出液，並使印刷頭內部的吐出機構動作時，可從設置於印刷頭之複數個吐出孔，朝向主底座板11上將吐出液吐出而構成。
位於主底座板11表面的主軌道17a、17b之間之部分的上方，配置有基板7。
移動台架13係乘載於第一、第二延長軌道19a、19b上，並構成為可於第一、第二延長軌道19a、19b上行走。
印刷頭係藉由控制裝置(圖中未顯示)來控制吐出，如第6圖(a)、(b)所示，當在移動台架13位於基板7上之狀態下，從印刷頭將吐出液吐出時，可將吐出液彈著於基板7表面。當移動移動台架13時，可將吐出液彈著於基板7表面的期望位置。
此機台裝置5係配置於對基板7進行吐出作業之正式設置場所，但由於主底座板11較大，如第5、6圖所示，在將副載置台20a~20d連結於主載置台10，並組裝了主底座板11及副底座板21之狀態下，乃無法從製造機台裝置5時所組裝之組裝場所，搬運至正式設置場所。
於本發明之機台裝置5中，係構成為副載置台20a~20d可獨立地裝卸於主載置台10，在安裝之狀態下，各副載置台20a~20d上之副底座板21的副連接邊B密接於主底座板11的主連接邊F，在脫離之狀態下，副底座板21可從主底座板11脫離並且獨立地被搬運。
藉由此構成，於暫時設置場所進行組裝以及對位後分離，從暫時設置場所搬運至正式設置場所，並能夠於正式設置場所復原經過對位之狀態。
以下依照此步驟進行說明，第1圖(a)係顯示並非在正式設置場所，而是放置在暫時設置場所之狀態下的主載置台10之俯視圖，同圖(b)係顯示該主載置台10之側視圖。
於主底座板11內面的四個角落附近，配置有腳部12a~12d。
於同圖(a)(以及後述之第3圖、第4圖)中，以兩點虛線表示主底座板11與主軌道17a、17b，以實線表示腳部12a~12d。腳部12a~12d係固定於主底座板11的內面。
接著，第2圖(a)為副載置台20a~20d之俯視圖，同圖(b)為該側視圖。
副載置台20a~20d分別具有台車22，副底座板21乘載於台車22上。
於台車22設置有複數個搬運車輪23。在此，台車22具有台座27，搬運車輪23設置於台座27之底面的四處。
主底座板11與副底座板21，為長方形或正方形形狀。副底座板21被設定為主底座板11之一半以下的大小，副底座板21於主底座板11的兩邊側，可分別於每側連接兩個。
搬運車輪23係設置為副底座板21以連接於主底座板11之部分為前頭而至少能夠前進及後退之朝向，當使搬運車輪23接觸於地面並朝向前進方向或後退方向施力時，搬運車輪23旋轉，使副載置台20a~20d往對地面上施力之方向行走。
於台座27上，由滾筒及旋轉軸所形成之副定位構件241 、242 係設置有一個至複數個。
在此，副定位構件241 、242 設置有兩個，並且於台座27上之副底座板21的前進方向前頭，互相間離開地配置於行進朝向的兩側位置。
腳部12a~12d接觸於地面，並具有支撐主底座板11之支撐部15以及設置於支撐部15的外周側面之板狀的主定位構件16。主定位構件16係配置於從地面為一定距離之上方，於主定位構件與地面之間形成間隙。
副定位構件241 、242 係構成為相對於台座27可移動及固定，預先增大副定位構件241 、242 之間的距離，如第3圖的副載置台20d所示，當以主軌道17a或17b與副軌道18呈一直線之方式，使副載置台20d的前頭部分朝向腳部12d前進時，如同圖的副載置台20a所示，台座27被插入於主定位構件16與地面之間。
主定位構件16，係配置於腳部12a~12d的側面當中與主軌道17a、17b平行之側面。
主定位構件16，係配置為與副定位構件241 、242 相同高度，但副定位構件241 、242 的間隔，可預先形成為較主定位構件16的寬度更寬，即使副定位構件241 、242 不與主定位構件16接觸，台座27亦可被插入於主定位構件16的下方，如同圖的副載置台20b所示，副底座板21與主底座板11互相接觸。
在此狀態下，距離主底座板11與副底座板21之間之理想的位置關係之誤差仍大。
於副載置台20a~20d設置有調整機構30，其可調整副底座板21的高度、斜率，以及水平方向的位置及朝向。
此調整機構30係具有：可概略地變更副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置、及朝向之粗略調整機構31；以及較粗略調整機構31更能夠精密地進行變更之微細調整機構32。
粗略調整機構31係構成為較微細調整機構32更可大幅變更副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置，首先藉由粗略調整機構31，對每個副載置台20a~20d進行副底座板21相對於主底座板11之概略的對位。
暫時設置場所的地面為水平，當主底座板11藉由設置於主載置台10之主調整機構(圖中未顯示)預先使表面呈水平時，可藉由粗略調整機構31，使副底座板21成為在主底座板11的表面大致相同的高度中呈水平，並且進行與主底座板11之相對位置與朝向之粗略調整，而進行概略的對位。
在此狀態下，雖然包含距離理想的對位狀態之誤差，但當以粗略調整前的誤差量(絕對值)為開始誤差E1 ，以粗略調整後的誤差量(絕對值)為粗略調整誤差E2 時，經過粗略調整後，粗略調整誤差E2 係較開始誤差E1 還小。
在經過粗略調整的狀態下，副底座板21與主底座板11接觸，副載置台20a~20d即使無法前進，亦可往左右方向及後退方向移動。
接著固定粗略調整機構31(的粗略調整螺絲)，一邊使經過粗略調整之副底座板21與主底座板11的相對位置不會改變，一邊移動副定位構件241 、242 ，當在接觸於主定位構件16之狀態下將副定位構件241 、242 固定於台座27時，主定位構件16係由副定位構件241 、242 所夾持。
支撐部15係位於較主底座板11的外周更內側，主定位構件16之距離主底座板11的外周較遠的部分，其寬度較寬，較接近主底座板11的外周之部分，其寬度較窄，在副定位構件241 、242 夾持主定位構件16之狀態下，雖然副載置台20a~20d可往主底座板11的外側方向移動(後退方向)，但相對於腳部12a~12d則無法往前進及左右方向移動。
接著藉由微細調整機構32，對每個副載置台20a~20d，調整副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置及朝向，並對副底座板21相對於主底座板11之位置進行微細調整。
當以經過微細調整的狀態之副底座板21相對於主底座板11的相對位置關係之距離理想的位置關係之誤差量(絕對值)為微細調整誤差E3 時，微細調整誤差E3 接近於零，而成為E1 ＞E2 ＞E3 ≒0。
當經過微細調整後固定微細調整機構32(的微細調整螺絲)時，可維持經過微細調整之狀態。
於台座27與副底座板21之間，配置有架台25。副底座板21係固定於架台25。於此架台25設置有連結構件33，當藉由此連結構件33將架台25固定於腳部12a~12d時，主底座板11與副底座板21，係在經過粗略調整與微細調整的狀態下，夾介架台25及腳部12a~12d而固定其相對位置。
藉由上述步驟，在副底座板21與主底座板11成為經過對位之狀態下組裝機台裝置5，副軌道18筆直地連接於主軌道17a、17b的兩端，而獲得直線狀的第一、第二延長軌道19a、19b。
於暫時設置場所進行此暫時組裝後，卸下連結構件33來解除主載置台10與副載置台20a~20d之間的連結，當使副載置台20a~20d後退而分離主載置台10與副載置台20a~20d時，乃成為可分別搬運之狀態。
此時，不解除副定位構件241 、242 之固定，使副定位構件241 、242 之間的距離不會改變。此外，亦維持粗略調整機構31或微細調整機構32(的粗略調整螺絲或微細調整螺絲)的固定狀態，而使經過粗略調整與微細調整之狀態不會改變。
將主載置台10與副載置台20a~20d裝載於各車輛等，藉由陸運或海運等搬運至正式設置場所，並首先將主載置台10配置於正式設置場所的特定位置。
接著將副載置台20a~20d朝向腳部12a~12d而配置，如第7圖所示，以可將各副載置台20a~20d復原成在暫時設置場所中經過組裝的狀態，分別使各副載置台20a~20d朝向腳部12a~12d前進。
由於主定位構件16的寬度係朝向副載置台20a~20d之行進方向的縱深方向擴大，所以，當各副載置台20a~20d的台座27進入於主定位構件16的下方時，主定位構件16插入於副定位構件241 、242 之間，當副定位構件241 、242 與主定位構件16接觸時，係停止副載置台20a~20d的前進。
此狀態係與第4圖所示的狀態相同，暫時設置場所與正式設置場所的地面為水平，當副定位構件241 、242 與主定位構件16在與暫時設置場所中所接觸之位置為相同的位置上接觸時，係使副載置台20a~20d與主載置台10在暫時設置場所中之位置關係復原。
亦即，副底座板21與主底座板11同樣成為經過粗略調整與微細調整之狀態，因此，當藉由連結構件33連結固定副載置台20a~20d的架台25與主載置台10的腳部12a~12d，並將台座27固定於腳部12a~12d時，係結束於正式設置場所之正式組裝。
然而，由於是解除副載置台20a~20d與主載置台10之間的連結，再分離搬運副載置台20a~20d與主載置台10，所以會因搬運時的振動或溫度變化等，可能會有產生較小的對位誤差E4 時。
此外，當正式設置場所不是水平而將主底座板11的表面重新設定為水平時，亦會產生對位誤差。
此對位誤差E4 大約為與微細調整誤差E3 同等程度的大小，乃維持在經過粗略調整之狀態。
因此，在將主底座板11的表面設定為水平後，解除微細調整機構32的固定，並藉由微細調整機構32，對副載置台20a~20d之上下方向的高度、斜率，以及相對於主底座板11之位置及朝向進行微細調整，然後藉由連結構件33連結固定副載置台20a~20d的架台25與主載置台10的腳部12a~12d時，副底座板21相對於主底座板11之位置改變，使對位誤差E4 降低，而將主底座板11與副底座板21的對位誤差降低為與搬運前之微細調整誤差E3 同等程度的大小。
尤其於本發明之機台裝置5中，對於每個各副載置台20a~20d的副底座板21，均能夠與其他副載置台20a~20d的副底座板21之對位無關而獨立地進行對位。當於一片副底座板上設置兩條副軌道，並與第一、第二主軌道17a、17b連接時，當在結束一方的副軌道與第一或第二主軌道17a、17b之對位的狀態下，進行另一方的副軌道與第一或第二主軌道17a、17b之對位時，雖然於結束了對位之副軌道與第一或第二主軌道17a、17b之間產生對位誤差，但於本發明之機台裝置5中，由於一方的副底座板21之對位作業不會對另一方的副底座板21之對位狀態產生影響，因此，已經過對位之副底座板21，並不會產生誤差。
第5圖(a)、(b)為藉由以上步驟在正式設置場所上進行組裝之機台裝置5的俯視圖及側視圖，此機台裝置5係處於直線狀地連接主載置台10上的主軌道17a、17b與副載置台20a~20d上的副軌道18而形成第一、第二延長軌道19a、19b，並於第一、第二延長軌道19a、19b上乘載移動台架13之狀態。
於同圖中，移動台架13係位於主載置台10的外側位置之副載置台20c、20d上，於此位置上，可進行印刷頭的清潔等。此外，由於移動台架13不位在基板上，所以可更換主載置台10上的基板7。
由於主底座板11與副底座板21之間的對位精度極高，如第6圖(a)、(b)所示，即使在副載置台20a~20d上與主載置台10之間使移動台架13移動，亦不會產生振動。
架台25可從台車22分離，當藉由連結構件33將架台25固定於腳部12a~12d時，如同圖(b)所示，即使從架台25的下方卸下台車22，副底座板21亦能夠成為固定在主底座板11之狀態。
如以上所說明，根據本發明，係在正式設置場所組裝副載置台20a~20d與主載置台10之前，預先於製造該機台裝置5之工廠內等的暫時設置場所，在對副底座板21與主底座板11進行了對位之後，以能夠復原該狀態之方式進行分離及搬運，並能夠在正式設置場所進行組裝。
組裝中所使用之連結構件33，可設置於副載置台20a~20d，或是設置於主載置台10。此外，亦可構成為能夠從副載置台20a~20d與主載置台10兩者取出。
於上述實施例中，係以板狀構件構成主定位構件16，並以接觸於其側面之滾筒構成副定位構件241 、242 ，但並不限定於此，只要是可重現副底座板21與主底座板11之相對的位置關係之構件即可。亦能夠以滾筒構成主定位構件，並以板狀構件構成副定位構件。
此外，於上述實施例中，主定位構件16被固定於腳部12a~12d內，而使主定位構件16與主底座板11之間的位置關係成為固定，另一方面，副定位構件241 、242 構成為相對於台座27可移動及固定，但可與此相反，使副定位構件241 、242 與副底座板21的位置關係成為固定，並構成為可變更及固定主定位構件16與主底座板11之間的位置關係。此時，於粗略調整後，藉由連結構件33予以固定後，使主定位構件16移動並與副定位構件241 、242 接觸，而固定主定位構件16相對於主底座板11之位置。
第8圖的圖號6，係表示兩片副底座板21連接於一片主底座板11的一個主連接邊F，且於另一邊未連接副底座板之機台裝置。
此外，於上述實施例中，係於本發明之機台裝置5、6的主及副載置台10、20a~20d上配置移動台架13，並作為噴墨裝置使用，但本發明並不限定於此，亦可在本發明之機台裝置5、6配置雷射照射裝置，並作為加熱裝置、檢查裝置、或曝光裝置使用，或是配置基板對位裝置而作為對準裝置使用。
總而言之，本發明之機台裝置5、6並不限定於噴墨裝置。
再者，移動構件並不限定於移動台架，只要可於主底座板11上與副底座板21上移動，例如可為載置有基板等處理對象物之載置台。
5．．．機台裝置
10．．．主載置台
11．．．主底座板
13．．．移動構件(移動台架)
16．．．主定位構件
20a~20d．．．副載置台
21．．．副底座板
241 、242 ．．．副定位構件
30．．．調整機構
33．．．連結構件
第1圖(a)係用以說明暫時設置場所的主載置台之俯視圖，(b)為該側視圖。
第2圖(a)係用以說明暫時設置場所的副載置台之俯視圖，(b)為該側視圖。
第3圖係用以說明在暫時設置場所將副載置台連結於主載置台之工序的內部俯視圖。
第4圖係用以說明於暫時設置場所或正式設置場所上所連結之主載置台與副載置台的狀態之內部俯視圖。
第5圖(a)係顯示本發明的一例之機台裝置的俯視圖，(b)為該側視圖。
第6圖(a)係用以說明該機台裝置的動作狀態之俯視圖，(b)為該側視圖。
第7圖係用以說明在正式設置場所將副載置台連結於主載置台之工序的俯視圖。
第8圖(a)係用以說明本發明之其他例子的機台裝置之俯視圖，(b)為該側視圖。
第9圖(a)係顯示先前技術的機台裝置之俯視圖(1)，(b)為該側視圖(1)。
第10圖(a)係顯示先前技術的機台裝置之俯視圖(2)，(b)為該側視圖(2)。
10．．．主載置台
11．．．主底座板
12a~12d．．．腳部
15．．．支撐部
16．．．主定位構件
17a．．．第1主軌道
17b．．．第2主軌道
18．．．副軌道
20a~20d．．．副載置台
21．．．副底座板
22．．．台車
23．．．搬運車輪
241 、242 ．．．副定位構件
25．．．架台
27．．．台座
30．．．調整機構
31．．．粗略調整機構
32．．．微細調整機構
33．．．連結構件
B．．．副連接邊
F．．．主連接邊

Claims (2)

  1. 一種機台裝置，其特徵為：係具備：四邊形形狀的主底座板；及固定在前述主底座板的一邊，且互相能夠分離之兩片副底座板；及能夠在前述主底座板的上方位置與被固定在前述主底座板之前述兩片副底座板間的上方位置之間進行移動而構成的移動構件；以及能夠對每個前述副底座板獨立地進行前述副底座板相對於前述主底座板的高度、斜率、以及水平方向的位置及朝向的變更之調整機構；前述兩片副底座板係構成為可從前述主底座板分離。
  2. 如申請專利範圍第1項的機台裝置，其中，係具備：直線狀延伸設置在前述主底座板上，且互相平行地設置之第一、第二主軌道；以及分別配置於前述兩片副底座板上，且分別接連於前述第一、第二主軌道的端部之副軌道；前述移動構件，係於前述第一、第二主軌道上與前述兩片副底座板的前述副軌道上行進，且能夠在前述主底座板的上方位置與前述兩片副底座板間的上方位置之間進行移動而構成。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101203982B1 (ko) * 2007-08-28 2012-11-23 울박, 인크 스테이지 장치 조립 방법
JPWO2011059003A1 (ja) * 2009-11-10 2013-04-04 株式会社アルバック 検査装置
CN102529442A (zh) * 2011-12-08 2012-07-04 苏州工业园区高登威科技有限公司 可调节式打标装置
JP5939089B2 (ja) * 2012-08-31 2016-06-22 セイコーエプソン株式会社 インクジェット記録装置
TWI804412B (zh) * 2022-08-09 2023-06-01 京元電子股份有限公司 機台對接調整裝置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07124831A (ja) * 1993-06-11 1995-05-16 Mori Seiki Co Ltd リニアガイド装置
US6652054B2 (en) * 2000-02-01 2003-11-25 Aprion Digital Ltd. Table and a motion unit for adjusting the height thereof
JP2004209411A (ja) * 2003-01-06 2004-07-29 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器
JP2007073688A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Shinko Electric Co Ltd Ｘｙステージ装置及びその製造方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3562736B2 (ja) * 1995-06-08 2004-09-08 東京エレクトロン株式会社 処理装置およびその製造方法
JP2003121572A (ja) * 2001-10-10 2003-04-23 Fuji Photo Optical Co Ltd 載物ステージ
CN2693441Y (zh) * 2004-04-02 2005-04-20 青岛地恩地机电科技股份有限公司 分体式木工车床
JP4315295B2 (ja) * 2006-09-12 2009-08-19 芝浦メカトロニクス株式会社 ペースト塗布装置
JP4150411B2 (ja) * 2007-03-27 2008-09-17 住友重機械工業株式会社 ステージ装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07124831A (ja) * 1993-06-11 1995-05-16 Mori Seiki Co Ltd リニアガイド装置
US6652054B2 (en) * 2000-02-01 2003-11-25 Aprion Digital Ltd. Table and a motion unit for adjusting the height thereof
JP2004209411A (ja) * 2003-01-06 2004-07-29 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器
JP2007073688A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Shinko Electric Co Ltd Ｘｙステージ装置及びその製造方法

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