KR101203982B1 - 스테이지 장치 조립 방법 - Google Patents

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Abstract

본 설치 장소에서의 조립 정밀도가 높고, 작업이 용이한 조립 방법을 제공한다. 주재치대(10)에 설치된 주베이스판(11)에 대하여, 부재치대(20a~20d)에 설치된 부베이스판(21)을 가설치 장소에서 위치 맞춤하고, 그 상태가 보존되도록 한 후, 주재치대(10)와 부재치대(20a~20d)를 분리하고 나서 본 설치 장소에 반송하여 위치 결정 상태를 복원한다. 위치 맞춤 작업을 가설치 장소에서 할 수 있기 때문에, 본 설치 장소에서의 작업이 경감된다. 또한, 본 설치 장소에서 미세 조정할 수 있기 때문에 위치 맞춤 정밀도가 향상한다.

Description

스테이지 장치 조립 방법{STAGE APPARATUS ASSEMBLING METHOD}
본 발명은 스테이지 장치의 기술 분야에 관한 것으로, 특히 스테이지 장치의 조립 방법에 관한 것이다.
도 9의 부호 105는 종래 기술의 스테이지 장치를 나타내고 있다.
이 스테이지 장치(105)는 베이스판(111)을 가지고 있으며, 베이스판(111)은 이면의 네 모서리에 배치된 다리부(112a~112d)에 의해 바닥면 위에 놓여 있다.
베이스판(111)의 표면 상에는 레일(114a, 114b)이 깔려 있고, 그 위에는 토출 장치(113)가 실려 있다. 토출 장치(113)의 베이스판(111)에 대면하는 면에는 인쇄 헤드가 배치되어 있다. 인쇄 헤드는 탱크(119)에 접속되어 있으며, 탱크(119)로부터 인쇄 헤드에 토출액을 공급하여, 베이스판(111) 위에 기판(107)을 실어 인쇄 헤드로부터 토출액을 토출하면, 토출액은 기판(107) 상에 착탄한다.
토출 장치(113)는 레일(114a, 114b) 위를 이동 가능하게 구성되어 있고, 도 10에 나타내는 바와 같이 기판(107)의 상방에서 토출액을 토출하면, 기판(107) 표면의 원하는 위치에 토출액을 착탄시킬 수 있다.
이 토출액은 예를 들면 액정 배향막용의 유기 박막의 원료나, 액정 표시 장치의 스페이서의 분해액, 유기 EL 소자의 발광층의 원료 등이며, 스테이지 장치(105)는 큰 기판에 토출액을 토출하는데 이용되고 있다.
그러나, 토출 대상인 기판은 대형의 일로를 걷고 있으며, 그에 대응하여 스테이지 장치도 대형화하여, 비용의 문제나 법규상의 문제로 인해, 공장에서 제조한 스테이지 장치를 설치 장소까지 운반하는 것이 곤란해지고 있다.
그런 점에서 종래 기술에서도 그 대책으로서, 베이스판을 분할하여 운반하는 시도가 이루어지고 있다.
특허문헌 1: 일본 특허공개 2007-73688호 공보
그러나 일단 분할한 베이스판을 설치 장소에서 조립하는 경우, 위치 맞춤에 과도한 수고가 요구되거나, 조립 정밀도가 악화되는 등, 그 해결이 요망되고 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 분리 가능한 스테이지 장치 조립방법에 있어서, 대략 조정기구에 의하여, 주베이스판을 갖는 주재치대에, 부베이스판을 갖는 부재치대를 대략 조정오차 범위에서 위치결정하고, 상기 대략 조정기구를 고정하는 대략 조정공정과, 상기 주재치대에 설치되며, 상기 주재치대에 대하여 가동되는 가이드부를, 상기 부재치대에 설치된 위치결정부재에 접촉시키고, 상기 가이드부를 고정하는 가위치 결정공정과, 미세 조정기구에 의하여, 상기 주베이스판에 상기 부베이스판을 미세 조정오차 범위 내에서 위치결정하고, 상기 미세 조정기구를 고정하는 미세 조정 공정과, 상기 주재치대에 대하여 상기 부재치대를 이동시켜, 상기 주재치대와 부재치대를 분리하는 분리공정과, 이동된 상기 주재치대에 상기 부재치대를, 상기 가이드부에 상기 위치결정 기구가 상기 가위치 결정 공정과 동일하게 위치되도록 이동시키는 조립공정을 가지며, 상기 미세 조정오차는 상기 대략 조정오차보다 작은, 스테이지 장치 조립방법이다.
또한, 본 발명은, 상기 조립공정 후에, 상기 미세 조정기구에 의하여 상기 주베이스판에 상기 부베이스판을 재차 미세 조정하는, 재 미세조정 공정을 갖는 스테이지 장치 조립방법이다.
또한, 본 발명은, 상기 가이드부는 롤러를 가지며, 상기 위치결정부재는 상기 주재치대와 상기 부재치대가 이간된 상태에서 상기 가이드부와 접촉하고, 상기 주재치대에 상기 부재치대를 근접시킬 때, 상기 위치결정부재는 상기 가이드부를 따라 이동하고, 상기 가이드부의 롤러는 회전하면서 상기 위치결정부재를 가이드하는 스테이지 장치 조립방법이다.
주베이스판과 부베이스판의 위치 맞춤 정밀도가 향상한다.
설치 장소에서의 작업이 간단해진다.
도 1(a)는 가설치 장소의 주재치대를 설명하기 위한 평면도, (b)는 그 측면도.
도 2(a)는 가설치 장소의 부재치대를 설명하기 위한 평면도, (b)는 그 측면도.
도 3은 가설치 장소에서 주재치대에 대하여 부재치대를 연결하는 순서를 설명하기 위한 내부 평면도.
도 4는 가설치 장소 또는 본 설치 장소에서 연결된 주재치대와 부재치대의 상태를 설명하기 위한 내부 평면도.
도 5(a)는 토출 장치가 본 설치 장소에서 조립된 스테이지 장치의 부재치대 상에 위치하는 상태의 평면도, (b)는 그 측면도.
도 6(a)는 토출 장치가 본 설치 장소에서 조립된 스테이지 장치의 주재치대 상에 위치하는 상태의 평면도, (b)는 그 측면도.
도 7은 본 설치 장소에서 부재치대를 주재치대에 연결하는 순서를 설명하기 위한 평면도.
도 8은 부재치대의 다른 예를 설명하기 위한 평면도.
도 9(a)는 종래 기술의 스테이지 장치의 평면도(1), (b)는 그 측면도(1).
도 10(a)는 종래 기술의 스테이지 장치의 평면도(2), (b)는 그 측면도(2).
도 5(a), (b)의 부호 5는 본 발명의 스테이지 장치를 나타내고 있다. 도 5(a)는 평면도, 도 5(b)는 측면도이다.
이 스테이지 장치(5)는 주재치대(10)와, 복수의 부재치대(20a~20d)를 가지고 있다.
주재치대(10)와 부재치대(20a~20d)는 표면이 평탄한 주베이스판(11)과 부베이스판(21)을 각각 가지고 있다. 주베이스판(11)과 부베이스판(21)의 표면은 각각 같은 높이로 수평이 되도록 배치되어 있다.
주베이스판(11)의 평면 형상은 직사각형이고, 그 네 변 중, 서로 평행한 두 변을 따라 레일(14a, 14b)이 깔려 있다.
각 레일(14a, 14b)의 양단은 주베이스판(11)보다도 외측으로 더 길게 배치되어 있고, 더 길게 나온 부분의 아래에는, 부재치대(20a~20d)가 갖는 부베이스판(21)이 각각 배치되어 있다. 따라서, 각 레일(14a, 14b)은 양단이 부재치대(20a~20d) 위에 위치하고, 그 사이의 부분이 주재치대(10) 위에 위치하고 있다.
레일(14a, 14b) 상에는 이동 가능한 이동 부재(여기에서는 갠트리)가 설치되며, 갠트리 상에는 토출 장치(13)가 실려 있다.
이 토출 장치(13)의 저면 부분에는 인쇄 헤드(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 토출 장치(13)에는 토출액이 배치된 탱크(19)가 접속되어 있고, 탱크(19)로부터 토출액을 공급하면서 인쇄 헤드를 동작시키면, 인쇄 헤드로부터 토출액이 토출되도록 구성되어 있다.
레일(14a)과 레일(14b) 사이의 주재치대(10) 상에는 기판(7)이 배치되어 있다.
토출 장치(13)는 레일(14a, 14b) 위를 주행할 수 있도록 구성되어 있고, 도 6에 나타내는 바와 같이, 토출 장치(13)가 기판(7) 상에 위치하는 상태에서 인쇄 헤드로부터 토출액이 토출되면, 토출액은 기판(7) 표면에 착탄한다. 토출 장치(13)를 이동시키면, 기판(7) 표면의 원하는 위치에 토출액을 착탄시킬 수 있다.
이 스테이지 장치(5)는 기판(7)으로의 토출 작업이 수행되는 본 설치 장소에 배치되는데, 주베이스판(11)이 크기 때문에, 도 5, 6에 나타낸 바와 같이 부재치대(20a~20d)를 주재치대(10)에 연결하여 주베이스판(11)와 부베이스판(21)을 조립한 상태에서는, 조립 장소로부터 본 설치 장소에 반송할 수가 없다.
따라서, 본 발명의 스테이지 장치(5)는 주재치대(10)와 부재치대(20a~20d)가 분리된 상태에서 본 설치 장소에 반입하여, 본 설치 장소에서 정확하고 신속하게 주베이스판(11)과 부베이스판(21)을 위치 맞춤하여 연결하는 것이 바람직하다. 그 때문에, 본 설치 장소에서의 작업을 가능한 한 적게 하기 위하여 본 설치 장소로 반입하기 전의 작업이 필요하게 된다.
도 1(a)는 본 설치 장소가 아니라, 가설치 장소에 놓여진 상태의 주재치대(10)의 평면도를 나타내고 있고, 도 1(b)는 그 주재치대(10)의 측면도를 나타내고 있다.
주베이스판(11)의 이면의 네 모서리 부근에는 다리부(12a~12d)가 배치되어 있다.
도 1(a)에서는 주베이스판(11)을 이점쇄선으로 나타내고, 다리부(12a~12d)를 실선으로 나타내고 있다. 다리부(12a~12d)는 주베이스판(11)의 이면에 고정되어 있다.
다음으로, 도 2(a)는 부재치대(20a~20d)의 평면도, 도 2(b)는 그 측면도이다.
부재치대(20a~20d)는 차부(22)를 가지고 있으며, 부베이스판(21)은 차부(22) 상에 실려 있다.
차부(22)에는 복수의 반송 차륜(23)이 설치되어 있다. 여기에서는, 반송 차륜(23)은 차부(22)의 대좌(27) 저면의 4개소에 설치되어 있다.
주베이스판(11)과 부베이스판(21)은 직사각형 또는 정사각형 형상이고, 부베이스판(21)의 폭은 주베이스판(11)의 폭의 절반 이하의 크기로 되어, 주베이스판(11)으로부터 레일(14a, 14b)이 더 연장되어 나오는 두 변에 각각 두 개씩 접속할 수 있도록 되어 있다.
반송 차륜(23)은 부베이스판(21)이 주베이스판(11)에 접속되는 부분을 선두로 하여 적어도 전진과 후진이 가능한 방향으로 설치되어 있고, 반송 차륜(23)을 바닥에 접지하여 전진 방향 또는 후진 방향을 향해 힘을 가하면, 반송 차륜(23)이 회전하여 부재치대(20a~20d)는 바닥 위를 힘을 가한 방향으로 주행한다.
차부(22)에는 대좌(27)가 설치되어 있고, 부재치대(20a~20d)의 전진 방향 선두에는, 진행하는 방향의 양측 위치에, 롤러로 이루어진 위치결정 부재(241, 242)가 서로 이간하여 배치되어 있다.
다리부(12a~12d)는 바닥면에 접촉하여 주베이스판(11)을 지지하는 지지부(15)와, 지지부(15)의 외주 측면에 설치된 판 형상의 가이드부(16)를 가지고 있다. 가이드부(16)는 바닥면으로부터 일정 거리만큼 상방으로 배치되어 있고, 가이드부(16)와 바닥면 사이에는 극간이 형성되어 있다.
위치 결정 부재(241, 242)는 대좌(27) 상에서의 위치를 변경할 수 있도록 구성되어 있으며, 미리 위치 결정 부재(241, 242)간의 거리를 크게 해 두고, 도 3의 부재치대(20b)와 같이, 그 선두를 주베이스판(11)에 부베이스판(21)이 접속되는 부분을 향하게 하여 전진시켜, 도 3의 부재치대(20a)와 같이, 대좌(27)를 가이드부(16)와 바닥면 사이에 삽입한다.
가이드부(16)는 다리부(12a~12d)의 측면 중, 부재치대(20a~20d)의 전진 방향과 평행한 부분을 따라 배치되어 있다.
위치 결정 부재(241, 242)는 가이드부(16)와 같은 높이에 배치되어 있지만, 양 위치 결정 부재(241, 242)는 미리 가이드부(16)의 폭보다도 이간되어 있어, 위치 결정 부재(241, 242)는 가이드부(16)와 접촉하지 않아도 대좌(27)를 가이드부(16)의 아래로 삽입할 수 있다.
도 3의 부재치대(20b)와 같이, 부베이스판(21)과 주베이스판(11)이 서로 접속되어야 할 변이 접촉할 때까지 전진된다.
이 상태에서는 주베이스판(11)과 부베이스판(21) 사이의 이상적인 위치 관계로부터의 오차는 크다.
부재치대(20a~20d), 또는 주재치대(10)에는 부베이스판(21)의 높이 방향의 위치, 기울기, 부베이스판(21)의 주베이스판(11)에 대한 수평면 내의 위치와 방향을 조절할 수 있는 대략 조정 기구(31)와 미세 조정 기구(32)가 설치되어 있다.
대략 조정 기구(31)의 조정 정밀도보다도 미세 조정 기구(32)의 조정 정밀도가 정밀하지만, 대략 조정 기구(31)의 조정량이 미세 조정 기구(32)의 조정량보다도 크기 때문에, 먼저 부재치대(20a~20d)마다 대략 조정 기구(31)에 의해 주베이스판(11)에 대한 부베이스판(21)의 위치 맞춤을 수행한다.
가설치 장소의 바닥면은 수평이고, 주베이스판(11)은 주재치대(10)에 설치된 주조정 기구(도시하지 않음)에 의해 미리 표면이 수평으로 되어 있는 것으로 하면, 대략 조정 기구(31)에 의해, 부베이스판(21)은 주베이스판(11)의 표면과 거의 같은 높이로 수평이 됨과 동시에, 주베이스판(11)과의 상대적인 위치와 방향이 대략 조정되어, 대략의 위치 맞춤이 이루어진다.
이 상태에서는, 이상적으로 위치 맞춤된 상태로부터의 오차를 포함하고 있지만, 대략 조정 전의 오차량(절대값)을 개시 오차(E1)라 하고, 대략 조정 후의 오차량(절대값)을 대략 조정 오차(E2)라 하면, 대략 조정된 만큼, 대략 조정 오차(E2)는 개시 오차(E1)보다도 작아진다.
대략 조정이 된 상태에서는, 부베이스판(21)은 주베이스판(11)과 접촉하고 있어, 부재치대(20a~20d)는 전진은 할 수 없어도 좌우 방향과 후진 방향으로는 이동할 수 있다.
다음으로, 대략 조정 기구(31)를 고정함으로써 부베이스판(21)과 주베이스판(11)의 대략 조정이 이루어져, 부베이스판(21)과 주베이스판(11) 사이의 오차가 대략 조정 오차(E2)보다도 커지지 않도록 해 두고, 그 상태가 변화하지 않도록 하면서 위치 결정 부재(241, 242)끼리를 접근시켜, 양 위치 결정 부재(241, 242)를 가이드부(16)의 측면에 접촉시키고, 위치 결정 부재(241, 242)에 의해, 가이드부(16)의 부분은 다리부(12a~12d) 사이에 오게 된다.
지지부(15)는 주베이스판(11)의 외주보다도 내측에 위치하고 있고, 가이드부(16)는 지지부(15)에 근접하는 주베이스판(11)의 외주로부터 먼 부분이 폭이 넓고, 주베이스판(11)의 외주에 가까운 쪽이 폭이 좁게 형성되어 있다. 위치 결정 부재(241, 242)로 가이드부(16)를 사이에 끼운 상태에서 위치 결정 부재(241, 242)를 대좌(27)에 고정하면, 부재치대(20a~20d)는 후퇴(후진)는 할 수 있지만, 다리부(12a~12d)에 대하여 전진도 좌우 방향 이동도 할 수 없게 된다. 즉, 부베이스판(21)은 주베이스판(11)에 대하여, 전진 방향과 좌우 방향의 대략적인 위치 맞춤이 된 상태가 된다. 높이 방향도 대략적인 위치 맞춤이 된 상태이다.
이어서, 미세 조정 기구(32)에 의해, 부베이스판(21)의 높이, 기울기, 주베이스판(11)에 대한 위치, 방향을 부재치대(20a~20d)마다 정밀하게 조정한다.
미세 조정이 된 상태에서의 부베이스판(21)의 주베이스판(11)에 대한 이상적인 위치로부터의 오차량(절대값)을 미세 조정 오차(E3)라 하면, 미세 조정 오차(E3)는 제로에 가까워져, E1>E2>E3≒0이다.
미세 조정 기구(32)를 고정하여 미세 조정이 된 상태가 변화하지 않도록 한 후, 부재치대(20a~20d)의 부재와 주재치대(10)의 다리부(12a~12d) 사이에 연결판(도시하지 않음)을 나사 결합 고정하는 등에 의해, 도 4에 나타내는 바와 같이, 일단 부재치대(20a~20d)를 주재치대(10)에 고정하여 조립한다. 조립이 가능한 것이 확인되면 가조립 공정은 종료한다.
이러한 가조립 공정을 가설치 장소에서 수행한 후, 가조립 장소에서 주재치대(10)와 부재치대(20a~20d) 사이의 연결을 해제한다. 이 상태에서도 부베이스판(21)과 주베이스판(11)은 위치 맞춤이 된 상태이지만, 부재치대(20a~20d)를 후퇴시켜 주재치대(10)와 부재치대(20a~20d)를 분리하면, 따로따로 반송할 수 있는 상태가 된다.
이 때, 위치 결정 부재(241, 242)의 대좌(27)에 대한 고정은 해제하지 말아 위치 결정 부재(241, 242)간의 거리는 변경되지 않도록 하고, 또한, 대략 조정 기구(31)나 미세 조정 기구(32)의(조동(粗動) 나사나 미동(微動) 나사의) 고정도 유지하여 대략 조정과 미세 조정이 된 상태가 변화하지 않도록 해 둔다.
주재치대(10)와 부재치대(20a~20d)는 각각 차량 등에 탑재하여 육로나 해로 등에 의해 본 설치 장소까지 반송하고, 먼저 주재치대(10)를 본 설치 장소의 소정 위치에 배치한다.
이어서, 부재치대(20a~20d)를 다리부(12a~12d)를 향하게 하여 배치하고, 도 7에 나타내는 바와 같이 각 부재치대(20a~20d)를, 가설치 장소에서 조립된 상태가 복원될 수 있도록 주재치대(10)를 향하게 하여, 각 부재치대(20a~20d)의 대좌(27)를 가이드부(16) 아래로 삽입하면서 부재치대(20a~20d)를 전진시켜 주재치대(10)에 근접시킨다.
가이드부(16)의 폭은 부재치대(20a~20d)의 진행 방향의 안쪽 방향을 향해 넓어지고 있기 때문에, 각 부재치대(20a~20d)의 대좌(27)가 가이드부(16)의 아래로 들어가면, 위치 결정 부재(241, 242) 사이에 가이드부(16)가 삽입되어 위치 결정 부재(241, 242)와 가이드부(16)가 접촉하면, 부재치대(20a~20d)의 전진이 정지한다.
가설치 장소와 본 설치 장소의 바닥면이 수평이고, 위치 결정 부재(241, 242)와 가이드부(16)가 가설치 장소에서 접촉하고 있던 위치와 같은 위치에서 접촉하고 있는 경우에는, 부재치대(20a~20d)와 주재치대(10)의 가조립 장소에서의 위치 관계가 복원된다.
즉, 부베이스판(21)과 주베이스판(11)은 대략 조정과 미세 조정이 된 상태와 같아지고, 부재치대(20a~20d)의 부재와 주재치대(10)의 다리부(12a~12d) 사이에 연결판을 나사 결합 고정하는 등에 의해 부재치대(20a~20d)를 주재치대(10)에 연결 고정하면, 도 4에 나타낸 것과 같이 조립된다.
단, 부재치대(20a~20d)와 주재치대(10) 사이의 연결을 일단 해제하고, 부재치대(20a~20d)와 주재치대(10)를 분리하여 반송하였기 때문에, 작은 위치 맞춤 오차(E4)가 발생하고 있는 경우가 있다.
이 위치 맞춤 오차(E4)는 반송시의 진동이나 온도 변화와, 주베이스판(11)의 표면을 본 설치 장소에서 수평으로 재설정한 것에 기인하는 것으로, 미세 조정 오차(E3)와 비슷한 정도의 크기이다.
위치 맞춤 오차(E4)를 해소하기 위해서는, 부재치대(20a~20d)를 주재치대(10)에 연결 고정하기 전에, 먼저 주조정 기구에 의해 주베이스판(11)의 표면을 수평으로 하고, 이어서 미세 조정 기구(32)에 의해 부재치대(20a~20d)의 상하 방향의 높이, 기울기, 주베이스판(11)에 대한 위치와 방향을 미세 조정하여 연결 고정하면, 위치 맞춤 오차(E4)가 작아져, 주베이스판(11)과 부베이스판(21)의 위치 맞춤 오차를, 반송 전의 미세 조정 오차(E3)와 같은 정도의 크기로 할 수 있다.
도 5(a), (b)는 이상의 순서에 따라 본 설치 장소에 조립한 스테이지 장치(5)의 평면도와 측면도로서, 주재치대(10)와 부재치대(20a~20d) 상에 걸쳐 레일(14a, 14b)이 똑바로 부설되어 있다.
도 5에서는 토출 장치(13)는 주대치대(10)의 외측 위치의 부재치대(20b, 20c) 상에 위치하고 있다. 이 위치에서는 인쇄 헤드의 클리닝 등을 수행할 수 있다. 또한 토출 장치(13)가 기판 상에 없기 때문에, 주재치대(10) 상의 기판(7)을 교환할 수 있다. 위치 맞춤의 정밀도가 높기 때문에, 도 6(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 토출 장치(13)를 부재치대(20a~20d) 상과 주재치대(10) 상 사이에서 이동시켜도 진동이 발생하는 일은 없다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에서는, 본 설치 장소에서 부재치대(20a~20d)와 주재치대(10)를 조립하기 전에, 미리 이 스테이지 장치(5)를 제조한 공장 내 등의 가설치 장소에서 부베이스판(21)과 주베이스판(11)을 위치 맞춤한 상태에서, 위치 결정 부재(241, 242)와 가이드부(16)의 상대적인 위치 관계를 고정하여, 부베이스판(21)과 주베이스판(11)을 위치 맞춤 상태를 복원할 수 있도록 하고 있다.
따라서, 주재치대(10)와 부재치대(20a~20d)를 분리하여 운반하여도, 위치 결정 부재(241, 242)와 가이드부(16)의 위치 관계를 복원하면, 부베이스판(21)과 주베이스판(11)의 위치 관계도 복원되어 위치 맞춤의 상태를 재현할 수 있다.
상기 실시예에서는 가이드부(16)를 판 형상의 부재로 구성하고, 위치 결정 부재(241, 242)를 그 측면에 접촉하는 롤러로 구성하였으나, 그에 한정되는 것이 아니라, 부베이스판(21)과 주베이스판(11)의 상대적인 위치 관계를 재현할 수 있는 부재이면 무방하다. 가이드부를 롤러로 구성하고, 위치 결정 부재를 판 형상 부재로 구성할 수도 있다. 이 경우, 주재치대측의 가이드부를 주재치대에 대하여 이동 가능하게 구성하고, 부재치대의 위치 결정 부재에 접촉시켜 고정할 수도 있다.
이상은, 부베이스판(21)을 각각 갖는 4대의 부재치대(20a~20d)를 4대의 다리부(12a~12d)에 각각 1대씩 연결하였으나, 도 8에 나타내는 바와 같이, 두 줄의 레일(14a, 14b)의 일단부를 한 장의 부베이스판(21)으로 지지하도록, 폭이 넓은 부베이스판(21)을 두 대의 부재치대(20e, 20f)에 설치하고, 각 부재치대(20e, 20f)를 두 개의 다리부(12a~12d)에 대하여 연결할 수도 있다. 이 경우에도, 미리 가설치 장소에서 부재치대(20e, 20f)의 부베이스판(21)과 주재치대(10)의 주베이스판(11)을 위치 맞춤해 두고, 본 설치 장소에서 위치 맞춤을 복원한다.
또한, 상기 실시예에서는 본 발명의 스테이지 장치(5)의 주재치대(10) 및 부재치대(20a~20d) 상에는 토출 장치(13)가 배치되어, 잉크젯 장치로서 이용되고 있었지만, 본 발명은 그에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 스테이지 장치(5)에 레이저 조사 장치를 배치하여, 가열 장치, 검사 장치, 또는 노광 장치로서 이용할 수도 있고, 기판 위치 맞춤 장치를 배치하여 얼라이너로서 이용할 수도 있다.
즉, 본 발명의 스테이지 장치(5)는 잉크젯 장치에 한정되는 것이 아니다.
또한, 레일(14a, 14b) 상을 이동 가능한 이동 부재는 갠트리에 한정되지 않고, 예를 들면, 기판 등의 처리 대상물이 재치되는 재치대여도 무방하다.
5 스테이지 장치
10 주재치대
11 주베이스판
13 토출 장치
16 가이드부
20a~20f 부재치대
21 부베이스판
241, 242 위치 결정 부재

Claims (3)

  1. 분리 가능한 스테이지 장치 조립방법에 있어서,
    대략 조정기구에 의하여, 주베이스판을 갖는 주재치대에, 부베이스판을 갖는 부재치대를 대략 조정오차 범위에서 위치결정하고, 상기 대략 조정기구를 고정하는 대략 조정공정과,
    상기 주재치대에 설치되며, 상기 주재치대에 대하여 가동되는 가이드부를, 상기 부재치대에 설치된 위치결정부재에 접촉시키고, 상기 가이드부를 고정하는 가위치 결정공정과,
    미세 조정기구에 의하여, 상기 주베이스판에 상기 부베이스판을 미세 조정오차 범위 내에서 위치결정하고, 상기 미세 조정기구를 고정하는 미세 조정 공정과,
    상기 주재치대에 대하여 상기 부재치대를 이동시켜, 상기 주재치대와 부재치대를 분리하는 분리공정과,
    이동된 상기 주재치대에 상기 부재치대를, 상기 가이드부에 상기 위치결정 기구가 상기 가위치 결정 공정과 동일하게 위치되도록 이동시키는 조립공정을 가지고, 상기 미세 조정오차는 상기 대략 조정오차보다 작으며,
    상기 가이드부는 롤러를 가지며, 상기 위치결정부재는 상기 주재치대와 상기 부재치대가 이간된 상태에서 상기 가이드부와 접촉하고, 상기 주재치대에 상기 부재치대를 근접시킬 때, 상기 위치결정부재는 상기 가이드부를 따라 이동하고, 상기 가이드부의 롤러는 회전하면서 상기 위치결정부재를 가이드하는 스테이지 장치 조립방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 조립공정 후에, 상기 미세 조정기구에 의하여 상기 주베이스판에 상기 부베이스판을 재차 미세 조정하는, 재 미세조정 공정을 갖는 스테이지 장치 조립방법.
  3. 삭제
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