CN101790785B - 机台装置 - Google Patents

Abstract

提供了一种在正式设置场所的组装精度较高且作业容易的机台装置。在本发明的机台装置(5)中，分别连接于主底座板(11)上的第一、第二主轨道(17a、17b)且使第一、第二主轨道(17a、17b)延长的副轨道(18)设置于各个副底座板(21)上。所以，当对副底座板(21)进行对位并固定于主底座板(11)时，不影响已经固定在主底座板(11)的副底座板(21)的对位精度。

Description

机台装置

技术领域

本发明涉及机台装置的技术领域，尤其涉及可分解的机台装置。 

背景技术

图9的符号105显示了现有技术的机台装置。 

该机台装置105具有底座板111，底座板111由配置于背面的四角的脚部112a～112d载置于地面上。 

在底座板111的表面上铺设有轨道117、118，在其上方承载有起重机架113。在起重机架113的与底座板111面对的面，配置有印刷头。印刷头连接于箱114，并从箱114将吐出液供给至印刷头，如果使基板107承载于底座板111上并从印刷头将吐出液吐出，则吐出液着陆于基板107上。 

起重机架113构成为可在轨道117、118上移动，如图10所示，如果在基板107的上方将吐出液吐出，则能够使吐出液着陆于基板107表面的期望位置。 

该吐出液例如为液晶取向膜用的有机薄膜的原料，或液晶显示装置的间隔件的分散液、有机EL元件的发光层的原料等，机台装置105用于将吐出液吐出至大的基板。 

然而，吐出对象的基板一直向大型化发展，与此相对应地，机台装置也大型化，从成本的问题或法规上的问题看，难以将在工厂中所制造的机台装置搬运至设置场所。 

因此，在现有技术中也采取对策，尝试将底座板分割搬运。 

专利文献1：日本特开2007-73688号公报 

发明内容

然而，当在设置场所组装暂时分割的底座板时，需要花费极大的人工进行对位，此外，当连接轨道时，如果轨道的组装精度恶化，则存在着印刷头的行走不稳定的问题。 

为了解决上述问题，本发明的机台装置具有：四边形形状的主底座板；两片副底座板，固定在上述主底座板的一边且能够互相分离；以及移动部件，构成为能够在上述主底座板的上方位置和固定于上述主底座板的上述两片副底座板间的上方位置之间移动，其中，上述两片副底座板构成为能够从上述主底座板分离。 

此外，本发明的机台装置具有：第一、第二主轨道，直线状地延伸设置在上述主底座板上且互相平行地配置；以及副轨道，分别配置在上述两片副底座板上且分别接连于上述第一、第二主轨道的端部，其中，上述移动部件，在上述第一、第二主轨道上和上述两片副底座板的上述副轨道上行走，构成为能够在上述主底座板的上方位置和上述两片副底座板间的上方位置之间移动。 

由于能够相对于主底座板而独立地对第一、第二副底座板进行对位，因而在正式设置场所的对位作业简便，对位精度提高。 

附图说明

图1(a)是用于说明暂时设置场所的主载置台的俯视图，(b)为其侧视图。 

图2(a)是用于说明暂时设置场所的副载置台的俯视图，(b)为其侧视图。 

图3是用于说明在暂时设置场所相对于主载置台而联接副载置台的顺序的内部俯视图。 

图4是用于说明在暂时设置场所或正式设置场所联接的主载置台和副载置台的状态的内部俯视图。 

图5(a)是本发明的一个示例的机台装置的俯视图，(b)为其侧视图。 

图6(a)是用于说明该机台装置的动作状态的俯视图，(b)为其侧视 图。 

图7是用于说明在正式设置场所将副载置台联接于主载置台的顺序的俯视图。 

图8(a)是用于说明本发明的其它示例的机台装置的俯视图，(b)为其侧视图。 

图9(a)是现有技术的机台装置的俯视图(1)，(b)为其侧视图(1)。 

图10(a)是现有技术的机台装置的俯视图(2)，(b)为其侧视图(2)。 

符号说明

5：机台装置 

10：主载置台 

11：主底座板 

13：移动部件(起重机架) 

16：主定位部件 

20a～20f：副载置台 

21：副底座板 

24₁、24₂：副定位部件 

30：调整机构 

33：联接部件 

具体实施方式

图5(a)、(b)的符号5显示了本发明的机台装置。同图(a)为俯视图，同图(b)为侧视图。 

该机台装置5具有一台主载置台10以及两台或四台(在此，为四台)副载置台20a～20d。 

在主载置台10和副载置台20a～20d的上部，分别设置有表面平坦的四边形形状的主底座板11和副底座板21。 

在主底座板11的表面上，配置有互相平行的第一、第二主轨道 17a、17b，在副底座板21的表面上，配置有一条副轨道18。 

第一、第二主轨道17a、17b配置成与主底座板11的四边之中的两边平行且与其它两边垂直，第一、第二主轨道17a、17b的至少一端延伸至主底座板11的四边之中的与第一、第二主轨道17a、17b垂直的同一边。 

在此，第一、第二主轨道17a、17b的两端分别延伸至与第一、第二主轨道17a、17b垂直的两边。 

副轨道18也配置成与副底座板21的四边之中的两边平行且与其它两边垂直，两端中的至少一端延伸至与副轨道18垂直的一边。 

主底座板11和副底座板21的表面配置成在相同的高度分别成为水平。 

主底座板11的四边之中，如果以第一、第二主轨道17a、17b的端部所位于的两边为主连接边F，以副轨道18的一端所位于的边为副连接边B，则各副载置台20a～20d以其上部的副底座板21上的副轨道18的端部密接于第一、第二主轨道17a、17b的端部的方式，使副底座板21的副连接边B与主底座板11的主连接边F密接而配置，在副载置台为两台的情况下，第一、第二主轨道17a、17b构成为通过副轨道18而延长至相同侧，在为四台的情况下，第一、第二主轨道17a、17b的两端与副轨道18的端部密接，第一、第二主轨道17a、17b构成为通过副轨道18而延长至两端部方向。 

图中，符号19a、19b分别表示第一、第二主轨道17a、17b通过副轨道18而延长的第一、第二延长轨道。 

在主底座板11上，配置有作为移动部件的起重机架13。在该起重机架13的底面部分，设置有印刷头(图中未显示)。配置有吐出液的箱14连接于起重机架13。 

构成为如果从箱14供给吐出液，并使印刷头内部的吐出机构进行动作，则从设置于印刷头的多个吐出孔向着主底座板11上吐出吐出液。 

在位于主底座板11表面的主轨道17a、17b之间的部分的上方，配置有基板7。 

起重机架13承载于第一、第二延长轨道19a、19b上，并构成为能够在第一、第二延长轨道19a、19b上行走。 

印刷头通过控制装置(图中未显示)来控制吐出，如图6(a)、(b)所示，如果在起重机架13位于基板7上的状态下，从印刷头将吐出液吐出，则吐出液着陆于基板7表面。如果移动起重机架13，则能够使吐出液着陆于基板7表面的期望位置。 

该机台装置5配置在对基板7进行吐出作业的正式设置场所，但由于主底座板11较大，因而如图5、6所示，在将副载置台20a～20d联接于主载置台10并使主底座板11和副底座板21密接的状态下，无法从制造机台装置5时进行组装的暂时设置场所搬送至正式设置场所。 

在本发明的机台装置5中，副载置台20a～20d构成为能够相对于主载置台10而分别独立地装卸，在安装的状态下，各副载置台20a～20d上的副底座板21的副连接边B密接于主底座板11的主连接边F，在脱离的状态下，副底座板21构成为能够从主底座板11脱离并被独立地搬送。 

通过该构成，在暂时设置场所进行组装和对位后分离，从暂时设置场所搬送至正式设置场所，并能够在正式设置场所复原在暂时设置场所经过对位的状态。 

对其顺序进行说明，图1(a)显示了不放置在正式设置场所而是放置在暂时设置场所的状态的主载置台10的俯视图，同图(b)显示了该主载置台10的侧视图。 

在主底座板11的背面的四角附近，配置有脚部12a～12d。 

在同图(a)(以及后述的图3(a)、图4)中，以两点划线表示主底座板11和主轨道17a、17b，以实线表示脚部12a～12d。脚部12a～12d固定于主底座板11的背面。 

接着，图2(a)为副载置台20a～20d的俯视图，同图(b)为其侧视图。 

副载置台20a～20d分别具有台车22，副底座板21承载于台车22上。 

在台车22上设置有多个搬送车轮23。在此，台车22具有台座27，搬送车轮23设置于台座27的底面的四处。 

主底座板11和副底座板21为长方形或正方形形状。副底座板21为主底座板11的一半以下的大小，副底座板21在主底座板的两旁，能够分别在每侧连接两个。 

搬送车轮23设置在副底座板21以连接于主底座板11的部分为先头而至少能够前进和后退的方向，如果使搬送车轮23接触于地面并向着前进方向或后退方向施加力，则搬送车轮23旋转，副载置台20a～20d沿施加力的方向在地面上行走。 

在台座27上，设置有一个乃至多个由辊和旋转轴形成的副定位部件24₁、24₂。 

在此，副定位部件24₁、24₂设置有两个，在台座27上的副载置台20a～20d的前进方向先头，互相离开地配置在行进方向的两侧位置。 

脚部12a～12d接触于地面，并具有支撑主底座板11的支撑部15和设置于支撑部15的外周侧面的板状的主定位部件16。主定位部件16配置于离地面一定距离的上方，在主定位部件16和地面之间形成有间隙。 

副定位部件24₁、24₂构成为相对于台座27能够移动和固定，预先增大副定位部件24₁、24₂之间的距离，如图3的副载置台20d所示，如果以主轨道17a或17b和副轨道18成为一条直线的方式使副载置台20d的先头部分向着脚部12b前进，则如同图的副载置台20a所示，台座27插入主定位部件16和地面之间。 

主定位部件16配置于脚部12a～12d的侧面之中的与主轨道17a、17b平行的侧面。 

主定位部件16配置在与副定位部件24₁、24₂相同的高度，但副 定位部件24₁、24₂的间隔，预先形成为比主定位部件16的宽度更宽，台座27在副定位部件24₁、24₂和主定位部件16不接触的情况下，插入主定位部件16的下方，如同图的副载置台20b所示，副底座板21和主底座板11接触。 

在该状态下，偏离主底座板11和副底座板21之间的理想位置关系的误差较大。 

在副载置台20a～20d上设置有能够变更副底座板21的高度、斜率以及水平方向的位置和方向的调整机构30。 

该调整机构30具有能够粗略变更副底座板21的高度、斜率、水平面内的位置、方向的粗调整机构31以及能够比粗调整机构31更精密地变更的微调整机构32。 

粗调整机构31构成为能够比微调整机构32更大幅地变更副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置，首先，由粗调整机构31对每个副载置台20a～20d进行副底座板21相对于主底座板11的粗略的对位。 

如果暂时设置场所的地面为水平，且主底座板11由设置于主载置台10的主调整机构(图中未显示)预先使表面水平，则由粗调整机构31使副底座板21在与主底座板11的表面大致相同的高度成为水平，并且，粗调整与主底座板11相对的位置和方向，进行粗略的对位。 

在该状态下，虽然包含偏离理想的对位状态的误差，但如果以粗调整前的误差量(绝对值)为开始误差E₁，以粗调整后的误差量(绝对值)为粗调整误差E₂，则粗调整误差E₂比开始误差E₁小经过粗调整的程度。 

在经过粗调整的状态下，副底座板21与主底座板11接触，副载置台20a～20d即使无法前进，也能够向左右方向和后退方向移动。 

接着，固定粗调整机构31(的粗调整螺丝)，一边使经过粗调整的副底座板21和主底座板11的相对位置不变化，一边移动副定位部件24₁、24₂，如果在接触于主定位部件16的状态下，将副定位部件24₁、 24₂固定于台座27，则主定位部件16被副定位部件24₁、24₂夹着。 

支撑部15比主底座板11的外周更位于内侧，主定位部件16形成为远离主底座板11的外周的部分的宽度宽，接近主底座板11的外周的部分的宽度窄，在由副定位部件24₁、24₂夹着主定位部件16的状态下，副载置台20a～20d能够向主底座板11的外侧方向移动(后退方向)，但无法相对于脚部12a～12d前进，也无法向左右方向移动。 

接着，由微调整机构32调整副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置和方向，并对每个副载置台20a～20d微调整副底座板21相对于主底座板11的位置。 

如果以偏离经过微调整的状态的副底座板21和主底座板11的相对位置关系的理想位置关系的误差量(绝对值)为微调整误差E₃，则微调整误差E₃接近于零，为 

如果在微调整后固定微调整机构32(的微调整螺丝)，则维持了经过微调整的状态。 

在台座27和副底座板21之间，配置有架台25。副底座板21固定于架台25。在该架台25上设置有联接部件33，如果由该联接部件33将架台25固定于脚部12a～12d，则主底座板11和副底座板21在经过粗调整和微调整的状态下，经由架台25和脚部12a～12d而固定相对位置。 

通过以上的顺序，在副底座板21和主底座板11对位的状态下，组装机台装置5，副轨道18笔直地连接于主轨道17a、17b的两端，获得直线状的第一、第二延长轨道19a、19b。 

如果在暂时设置场所进行了该暂时组装后，卸下联接部件33，解除主载置台10和副载置台20a～20d之间的联接，使副载置台20a～20d后退，分离主载置台10和副载置台20a～20d，则成为能够分别搬送的状态。 

此时，不解除副定位部件24₁、24₂的固定，使副定位部件24₁、24₂之间的距离不变更。此外，也维持粗调整机构31和微调整机构 32(的粗调整螺丝和微调整螺丝)，从而使经过粗调整和微调整的状态不变化。 

将主载置台10和副载置台20a～20d分别搭载于车辆等，通过陆路或海路等而搬送至正式设置场所，并首先将主载置台10配置于正式设置场所的规定位置。 

接着，向着脚部12a～12d而配置副载置台20a～20d，如图7所示，以能够复原在暂时设置场所将各副载置台20a～20d组装的状态的方式，使副载置台20a～20d分别向着脚部12a～12d前进。 

由于主定位部件16的宽度向着副载置台20a～20d的行进方向的纵深方向扩大，因而，如果各副载置台20a～20d的台座27进入主定位部件16的下方，则主定位部件16插入副定位部件24₁、24₂之间，如果副定位部件24₁、24₂和主定位部件16接触，则副载置台20a～20d的前进停止。 

该状态与图4所示的状态相同，暂时设置场所和正式设置场所的地面为水平，当副定位部件24₁、24₂和主定位部件16在与位于暂时设置场所中所接触的位置相同的位置处接触时，副载置台20a～20d和主载置台10在暂时设置场所的位置关系复原。 

即，由于副底座板21和主底座板11变得与经过粗调整和微调整的状态相同，因而，如果由联接部件33联接固定副载置台20a～20d的架台25和主载置台10的脚部12a～12d，并相对于脚部12a～12d而固定台座27，则结束在正式设置场所的正式组装。 

但是，由于解除了副载置台20a～20d和主载置台10之间的联接，再分离搬送副载置台20a～20d和主载置台10，因而有时候因搬送时的振动或温度变化等而产生小的对位误差E₄。 

此外，在正式设置场所不水平且将主底座板11表面重新设定为水平的情况下，也产生对位误差。 

该对位误差E₄为与微调整误差E₃相同的程度的大小，被维持在经过粗调整的状态。 

所以，在主底座板11的表面为水平后，解除微调整机构32的固定，并由微调整机构32对副载置台20a～20d的上下方向的高度、斜率以及水平方向的位置和方向进行微调整，由联接部件33联接固定副载置台20a～20d的架台25和主载置台10的脚部12a～12d，则副底座板21相对于主底座板11的位置变更，对位误差E₄变小，能够使主底座板11和副底座板21的对位误差成为与搬送前的微调整误差E₃相同的程度的大小。 

尤其是在本发明的机台装置5中，能够独立地对每个各副载置台20a～20d的副底座板21进行对位，与其它副载置台20a～20d的副底座板21的对位无关。当在一片副底座板上设置两条副轨道，并与第一、第二主轨道17a、17b连接时，如果在一方的副轨道和第一或第二主轨道17a、17b的对位结束的状态下，进行另一方的副轨道和第一或第二主轨道17a、17b的对位，则在对位结束的副轨道和第一或第二主轨道17a、17b之间产生对位误差，但在本发明的机台装置5中，由于一方的副底座板21的对位作业不对另一方的副底座板21的对位状态产生影响，因而，在已经对位的副底座板21上不产生误差。 

图5(a)、(b)是通过以上顺序而在正式设置场所进行组装，直线状地连接主载置台10上的主轨道17a、17b和副载置台20a～20d上的副轨道18并形成第一、第二延长轨道19a、19b，在第一、第二延长轨道19a、19b上承载起重机架13的状态的机台装置5的俯视图和侧视图。 

在同图中，起重机架13位于主载置台10的外侧位置的副载置台20c、20d上，在该位置，能够进行印刷头的清洁等。此外，由于起重机架13不位于基板上，因而能够更换主载置台10上的基板7。 

由于主底座板11和副底座板21之间的对位精度高，因而如图6(a)、(b)所示，即使在副载置台20a～20d上和主载置台10上之间使起重机架13移动，也不产生振动。 

架台25可从台车22分离，如果通过联接部件33而将架台25固 定于脚部12a～12d，则如同图(b)所示，即使从架台25的下方拔去台车22，副底座板21也成为相对于主底座板11而固定的状态。 

如上所述，依照本发明，在正式设置场所组装副载置台20a～20d和主载置台10之前，预先在制造该机台装置5的工厂内等的暂时设置场所，进行副底座板21和主底座板11的对位，然后，以能够复原该状态的方式进行分离、搬送，并能够在正式设置场所进行组装。 

另外，组装中所用的联接部件33可以设置于副载置台20a～20d，也可以设置于主载置台10。此外，也可以从副载置台20a～20d和主载置台10的两者卸下。 

在上述实施例中，由板状的部件构成主定位部件16，由接触于其侧面的辊构成副定位部件24₁、24₂，但并不限定于此，只要是能够再现副底座板21和主底座板11的相对位置关系的部件即可。也能够由辊构成主定位部件，由板状部件构成副定位部件。 

此外，在上述实施例中，主定位部件16被固定在脚部12a～12d内，主定位部件16和主底座板11之间的位置关系固定，另一方面，副定位部件24₁、24₂构成为相对于台座27可移动和固定，但也可与此相反，副定位部件24₁、24₂和副底座板21的位置关系固定，可变更和固定主定位部件16和主底座板11之间的相对位置。这种情况下，可以在粗调整后，由联接部件33进行固定，然后，使主定位部件16移动并与副定位部件24₁、24₂接触，固定主定位部件16相对于主底座板11的位置。 

另外，图8的符号6表示两片副底座板21连接于一片主底座板11的一个主连接边F且副底座板不连接于另一边的机台装置。 

此外，在上述实施例中，在本发明的机台装置5、6的主载置台10和副载置台20a～20d上配置有起重机架13，并作为喷墨装置而使用，但本发明并不限定于此，也能够在本发明的机台装置5、6配置激光照射装置，并作为加热装置、检查装置、或曝光装置而使用，或者也能够配置基板对位装置，并作为对准器而使用。 

总而言之，本发明的机台装置5、6并不限定于喷墨装置。 

而且，移动部件并不限定于起重机架13，只要能够在主底座板11上和副底座板21上移动，那么，例如可以为载置有基板等处理对象物的载置台。 

Claims (1)

1.一种机台装置，具有：

四边形形状的主底座板；

两片副底座板，固定在所述主底座板的同一边且能够互相分离；

第一、第二主轨道，直线状地延伸设置在所述主底座板上且互相平行地配置；

副轨道，分别配置在所述两片副底座板上且分别接连于所述第一、第二主轨道的端部；

移动部件，在所述第一、第二主轨道上和所述两片副底座板的所述副轨道上行走，构成为能够在所述主底座板的上方位置和固定于所述主底座板的所述同一边的所述两片副底座板间的上方位置之间移动；以及

调整机构，能够独立地对每个所述副底座板变更所述副底座板相对于所述主底座板的高度、斜率以及水平方向的位置和方向，

其中，

所述两片副底座板构成为分别能够从所述主底座板的所述同一边分离。

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