JPWO2009028527A1 - ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
このステージ装置105は、ベース板111を有しており、ベース板111は、裏面の四隅に配置された脚部112a〜112dによって、床面上に載置されている。
この吐出液は、例えば、液晶配向膜用の有機薄膜の原料や、液晶表示装置のスペーサの分散液、有機EL素子の発光層の原料等であり、ステージ装置105は、大きな基板に吐出液を吐出するのに用いられている。
そこで従来技術でも対策が取られており、ベース板を分割して運搬する試みが成されている。
また、本発明は、前記主ベース板上で直線状に延設され、互いに平行に配置された第一、第二の主レールと、前記二枚の副ベース板上にそれぞれ配置され、前記第一、第二の主レールの端部にそれぞれ接続される副レールとを有し、前記移動部材は、前記第一、第二の主レール上と前記二枚の副ベース板の前記副レール上を走行し、前記主ベース板の上方位置と、前記二枚の副ベース板の間の上方位置との間を移動可能に構成されたステージ装置である。
10……主載置台
11……主ベース板
13……移動部材(ガントリ)
16……主位置決め部材
20a〜20d……副載置台
21……副ベース板
241,242……副位置決め部材
30……調整機構
33……連結部材
このステージ装置5は、一台の主載置台10と二台、又は四台(ここでは四台)の副載置台20a〜20dを有している。
主載置台10と副載置台20a〜20dの上部には、それぞれ表面が平坦で四辺形形状の主ベース板11と副ベース板21とが設けられている。
主ベース板11の表面上には、互いに平行な第一、第二の主レール17a,17bが配置されており、副ベース板21の表面上には、一本の副レール18が配置されている。
ここでは、第一、第二の主レール17a,17bの両端が、第一、第二の主レール17a,17bとは垂直な二辺までそれぞれ伸ばされている。
主ベース板11の四辺のうち、第一、第二の主レール17a,17bの端部が位置する二辺を主接続辺Fとし、副レール18の一端が位置する辺を副接続辺Bとすると、各副載置台20a〜20dは、その上部の副ベース板21上の副レール18の端部が第一、第二の主レール17a,17bの端部に密着するように、副ベース板21の副接続辺Bが、主ベース板11の主接続辺Fと密着して配置されており、副載置台が二台の場合は第一、第二の主レール17a,17bが、副レール18によって、同じ側に延長されるように構成され、四台の場合は、第一、第二の主レール17a,17bの両端が、副レール18の端部と密着し、第一、第二の主レール17a,17bが副レール18によって両端部方向に延長されるように構成されている。
主ベース板11上には移動部材であるガントリ13が配置されている。このガントリ13の底面部分には、印刷ヘッド(不図示)が設けられており、ガントリ13には吐出液が配置されたタンク14が接続されている。
ガントリ13は、第一、第二の延長レール19a,19b上に乗せられており、第一、第二の延長レール19a,19b上を走行できるように構成されている。
この構成により、仮設置場所で組み立て、位置合わせをした後分離させ、仮設置場所から本設置場所に搬送し、本設置場所に於いて、仮設置場所で位置合わせをした状態を復元することができる。
主ベース板11の裏面の四隅付近には脚部12a〜12dが配置されている。
同図(a)(及び後述する図3、図4)では、主ベース板11と主レール17a,17bを二点鎖線で示し、脚部12a〜12dを実線で示している。脚部12a〜12dは主ベース板11の裏面に固定されている。
副載置台20a〜20dはそれぞれ台車22を有しており、副ベース板21は台車22上に乗せられている。
台車22には複数の搬送車輪23が設けられている。ここでは、台車22は台座27を有しており、搬送車輪23は、台座27の底面の四カ所に設けられている。
ここでは副位置決め部材241,242は二個設けられており、台座27上の、副載置台20a〜20dの前進方向先頭には、進行する向きの両側位置に互いに離間して配置されている。
主位置決め部材16は、副位置決め部材241,242と同じ高さに配置されているが、副位置決め部材241,242の間隔は、予め、主位置決め部材16の幅よりも広くされており、台座27は、副位置決め部材241,242と主位置決め部材16が接触せずに、主位置決め部材16の下に挿入され、同図の副載置台20bのように、副ベース板21と主ベース板11とが接触される。
この状態では、主ベース板11と副ベース板21の間の理想的な位置関係からの誤差は大きい。
この調整機構30は、副ベース板21の高さ、傾き、水平面内の位置、及び向きを、概略変更できる粗調整機構31と、粗調整機構31よりも精密に変更できる微調整機構32を有している。
粗調整がされた状態では、副ベース板21は主ベース板11と接触しており、副載置台20a〜20dは、前進はできなくても左右方向と後進方向には移動することができる。
微調整後、微調整機構32(の微調整ネジ)を固定すると、微調整がされた状態が維持される。
このような位置合わせ誤差E4は、微調整誤差E3と同程度の大きさであり、粗調整がされた状態は維持されている。
要するに、本発明のステージ装置5、6は、インクジェット装置に限定されるものではない。
更に、移動部材はガントリ13に限定されず、主ベース板11上と副ベース板21上を移動するものであれば、例えば、基板等の処理対象物が載置される載置台であってもよい。
Claims (2)
- 四辺形形状の主ベース板と、
前記主ベース板の一辺に固定され、互いに分離可能な二枚の副ベース板と、
前記主ベース板の上方位置と、前記主ベース板に固定された前記二枚の副ベース板の間の上方位置との間を移動可能に構成された移動部材と、
前記二枚の副ベース板は、前記主ベース板から分離可能に構成されたステージ装置。 - 前記主ベース板上で直線状に延設され、互いに平行に配置された第一、第二の主レールと、
前記二枚の副ベース板上にそれぞれ配置され、前記第一、第二の主レールの端部にそれぞれ接続される副レールとを有し、
前記移動部材は、前記第一、第二の主レール上と前記二枚の副ベース板の前記副レール上を走行し、前記主ベース板の上方位置と、前記二枚の副ベース板の間の上方位置との間を移動可能に構成されたステージ装置。
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