TWI804412B - 機台對接調整裝置 - Google Patents

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TWI804412B
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黃建豪
詹勳亮
梁居平
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京元電子股份有限公司
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Abstract

一種機台對接調整裝置包含有一第一對接模組以及一第二對接模組。第一對接模組包含有一第一基座、一第一定位板安裝於第一基座之上、以及一定位套環組可拆卸地安裝於第一定位板。第二對接模組用以對接該第一對接模組,且包含有一第二基座、一第二定位板安裝於第二基座之上、以及一定位凸柱安裝於第二定位板。第二對接模組的定位凸柱係用來對準第一對接模組的定位套環組。

Description

機台對接調整裝置
本發明有關於一種機台對接調整裝置,特別是有關於一種快速機台對接調整裝置。
隨著半導體元件的功能日益強大,半導體產品之封裝測試的程序與設備也日益的複雜。
現有測試機設備在安裝時,兩台以上的測試機台對接(Docking)後,必須要調整兩測試機台之間的相對位置,以使兩測試機台準確地對接。然而,由於測試機台的尺寸龐大,且重量相當的重。因此,進行兩測試機台之間的對準,需耗費大量人力及時間,才能準確地進行兩測試機台之間的對準。
此外,現有測試機台對接後,兩測試機台緊密接觸,雖能確保測試機台間的相對位置不會偏移,但如此,兩測試機台運作時,將容易將震動,由一測試機台傳遞至另一測試機台,反而影響測試的精準度,特別是在測試如麥克風等微機電系統(micro electro mechanical systems;MEMS)等積體電路時。
因此,如何能改善測試機台之間的對接程序,將有助於提升測試機台之間的對準精度,且提升測試機台的測試精準度。
本發明之一目的在於提供一種機台對接調整裝置,用以解決以上先前技術所提到的問題。
根據本發明之一實施例,係提供一種機台對接調整裝置,機台對接調整裝置包含有一第一對接模組以及一第二對接模組。第一對接模組包含有一第一基座、一第一定位板安裝於第一基座之上、以及一定位套環組可拆卸地安裝於第一定位板,而第二對接模組用以對接該第一對接模組,且包含有一第二基座、一第二定位板安裝於第二基座之上、以及一定位凸柱安裝於第二定位板。第二對接模組的定位凸柱係用來對準第一對接模組的定位套環組。
在一些實施例中,定位凸柱以及定位套環組形成一第一調整結構,以定位第一對接模組的第一定位板以及第二對接模組的第二定位板。
在一些實施例中,定位凸柱包含有一定位螺栓以及一階梯狀凸起部。定位螺栓的前端形成一固定螺牙,而階梯狀凸起部則套設於定位螺栓,並露出固定螺牙。
在一些實施例中,階梯狀凸起部包含有一小徑區段、一中徑區段以及一大徑區段,依序形成於階梯狀凸起部的表面,以逐步將定位凸柱對準定位套環組。
在一些實施例中,機台對接調整裝置更包含有一定位套環收納座,安裝於第一基座,以用來收納定位套環組。
在一些實施例中,機台對接調整裝置更包含有一視覺定位單元,視覺定位單元包含有一第一定位標誌以及一第二定位標誌,分別形成於定位凸柱以及定位套環組,以用來對準第一定位板以及第二定位板。
在一些實施例中,第一對接模組包含有二限位軌道,夾持第一定位板,以使第一定位板在第一基座之中移動。
在一些實施例中,定位套環組包含有一定位環、一支撐環以及一牽引器。支撐環連接於定位環,而牽引器抵接於支撐環,以用來鎖固定位螺栓的固定螺牙。
在一些實施例中,第一對接模組更包含有一第二調整結構,安裝於第一基座以及第一定位板之間。
在一些實施例中,第二調整結構包含有一第一調整部、一第二調整部、一推進螺栓以及一牽引螺栓。第一調整部固定於第一定位板,第二調整部固定於第一基座,推進螺栓安裝於第一調整部以及第二調整部之間,以增加第一調整部以及第二調整部之間的一距離,而牽引螺栓亦安裝於第一調整部以及第二調整部之間,以縮減第一調整部以及第二調整部之間的距離。
在一些實施例中,第一對接模組更包含有一第三調整結構,安裝於第一基座,以調整第一基座的一高度。
在一些實施例中,第三調整結構包含有二推進螺栓以及一牽引螺栓。二推進螺栓連接於第一基座與一第一機台的一承載板之間,以增加第一基座與第一機台的承載板的一距離,而牽引螺栓設置於二推進螺栓之間,並連接於第一基座與第一機台的承載板之間,以減少第一基座與第一機台的承載板的距離。
在一些實施例中,第三調整結構更包含有二承壓螺栓,分別設置於第一基座的一凹孔之中,並對應觸壓二推進螺栓,用以配合二推進螺栓調整第一基座與第一機台的承載板的距離。
在一些實施例中,機台對接調整裝置更包含有一基準面調整結構,安裝於第一定位板,用以設定第一對接模組的第一定位板與第二對接模組的第二定位板之間的距離。
在一些實施例中,基準面調整結構,包含有一基準件,以及至少一基準件調整器,連接基準件,以用來調整第一對接模組的第一定位板與第二對接模組的第二定位板之間的距離。
在一些實施例中,基準件調整器包含有一頂出滑塊、二頂出螺栓、一調整器底座以及一距離調整單元。頂出螺栓鎖附於第一定位板,以用來推出頂出滑塊,調整器底座固定於第一基座,而距離調整單元耦合於調整器底座,並用來拉回頂出滑塊。
因此,透過以上各實施例之所述架構,本發明的機台對接調整裝置,可以有效地降低機台組裝的人力成本、且可進行單人操作,快速及準確地調整對準兩機台之間的相對位置,有效地節省人員工時以及費用,且在多部機台對接時,更能提升對接效率,且使得機台之間的誤差小於±0.05mm,更能在機台作業時,有效地避免機台產生的震動產生相互的影響。因此,本發明的機台對接調整裝置,可使多個獨立測試機台的對接更有效率,降低所需花費的時間及人力,且增加對接精準度,更能使各測試模組不相互接觸,避免干涉,降低震動影響測試結果。
以上所述僅係用以闡述本發明所欲解決的問題、解決問題的技術手段、及其產生的功效等等,本發明之具體細節將在下文的實施方式及相關圖式中詳細介紹。
以下將以圖式揭露本發明之複數個實施例,為明確說明起見,許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而,應瞭解到,這些實務上的細節不應用以限制本發明。也就是說,在本發明實施例中,這些實務上的細節是非必要的。此外,為簡化圖式起見,一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之。
第1圖係繪示一種機台對接調整裝置的示意圖,第2圖則係繪示機台對接調整裝置安裝於測試機台的示意圖,第3圖係繪示機台對接調整裝置的第一調整結構的示意圖,第4圖係繪示機台對接調整裝置的定位套環安裝前後的示意圖,第5圖係繪示機台對接調整裝置的基準件以及基準件調整器的示意圖,第6圖係繪示機台對接調整裝置的第二調整結構的示意圖,第7圖係繪示機台對接調整裝置的第三調整結構的示意圖,第8圖係繪示機台對接調整裝置的視覺定位單元的示意圖,而第9圖係繪示機台對接調整裝置安裝於探針測試機台的示意圖。
首先參閱第2圖,如圖中所示,機台對接調整裝置100包含有一第一對接模組101以及一第二對接模組102,分別安裝於一第一機台210以及一第二機台220的側面,以用來將第一機台210以及第二機台220進行定位,進而對齊第一機台210的承載板212以及第二機台220的承載板222。
進一步同時參閱第1圖、第2圖及第3圖,機台對接調整裝置100包含有第一對接模組101以及第二對接模組102。第二對接模組102係用來對接第一對接模組101。其中,第一對接模組101則包含有一第一基座110、一第一定位板112安裝於第一基座110之上、以及一定位套環組134可拆卸地安裝於第一定位板112。而第二對接模組102則包含有一第二基座120、一第二定位板122安裝於第二基座120之上、以及一定位凸柱132安裝於第二定位板122。其中,第二對接模組102的定位凸柱132則係用來對準第一對接模組101的定位套環組134。
其中,前述之定位凸柱132以及定位套環組134,形成一第一調整結構130,以有效地定位第一對接模組101的第一定位板112以及第二對接模組102的第二定位板122的相對位置。
在一些實施例中,定位凸柱132包含有一定位螺栓310以及一階梯狀凸起部320。定位螺栓310穿設於階梯狀凸起部320之中,以使階梯狀凸起部320套設於定位螺栓310,用以將階梯狀凸起部320固定於第二定位板122之上。值得注意的是,定位螺栓310的前端則形成一固定螺牙312,以用來與定位套環組134耦合,並露出固定螺牙312。
在一些實施例中,階梯狀凸起部320較佳地包含有一小徑區段322、一中徑區段324以及一大徑區段326,依序形成於階梯狀凸起部320的表面,用以逐步將定位凸柱132對準定位套環組134。
在一些實施例中,定位套環組134包含有一定位環330、一支撐環340以及一牽引器350。支撐環340連接於定位環330,以將定位環330安裝於第一定位板112的表面。其中,定位環330較佳地具有最大的外徑,與階梯狀凸起部320的大徑區段326的外徑相匹配,而支撐環340較佳地具有複數個不同的內徑,以逐漸導引階梯狀凸起部320的大徑區段326對準定位環330。而牽引器350則具有內螺紋,以嚙合固定螺牙312,並用來鎖緊固定螺牙312,以將第一對接模組101的第一定位板112以及第二對接模組102的第二定位板122,牽引至預定的位置,進而將第一機台210與第二機台220牽引至預定的位置。
當第一機台210與第二機台220欲進行對接時,先將定位凸柱132對準定位套環組134,然後,逐漸地將定位凸柱132插入定位套環組134,以使第一機台210對齊第二機台220。然後利用牽引器350鎖緊定位螺栓310的固定螺牙312,以牽引第一機台210與第二機台220穩定地對接在一起。在一些實施例中,牽引器350可拆卸地抵接於支撐環340。
進一步參閱第4圖,參閱第4圖右方,定位套環組134安裝於第一定位板112之上,而在第一機台210與第二機台220定位完成後,則定位套環組134可以由第一定位板112上移除,並將定位套環組134容置於定位套環收納座380之中,以將定位套環組134收納於定位套環收納座380,參閱圖式中虛線繪製的定位套環組134。此時,參閱左方圖式,由於定位套環組134由第一定位板112上移除後,定位凸柱132裸露於開口410中,且定位凸柱132並未接觸第一定位板112。因此,第一機台210與第二機台220,並未實質接觸,故當實際運轉時,第一機台210與第二機台220是相互分離的,且可獨立的工作,而不會造成不同機台間的干擾。特別是能夠有效地避免了兩機台運作時的干涉,當一機台運作時不會將震動傳遞至另一機台,進而避免影響積體電路測試的精確度,例如是避免影響測試麥克風等微機電系統積體電路的測試精度。
參閱第3圖,機台對接調整裝置100更安裝有一基準面調整結構150,其安裝於第一定位板112,用以設定第一對接模組101的第一定位板112與第二對接模組102的第二定位板122之間的距離。如圖中所示,基準面調整結構150包含有一基準件360以及一基準件調整器370。基準件360可移動地安裝於第一定位板112,而基準件調整器370連接於基準件360,以用來調整第一對接模組101的第一定位板112與第二對接模組102的第二定位板122之間的距離。
進一步參閱第5圖,基準件調整器370包含有一頂出滑塊510、二頂出螺栓520、一調整器底座530以及一距離調整單元540。距離調整單元540則包含有一調整旋鈕542以及一加壓螺栓544。
頂出滑塊510可滑動地安裝於第一定位板112,並透過加壓螺栓544頂接基準件360,頂出滑塊510設置於頂出螺栓520及第一定位板112之間,二頂出螺栓520則鎖附於第一定位板112,以用來將頂出滑塊510向第二定位板122的方向推出,進而使基準件360向第二定位板122的方向推出。另一方面,調整器底座530則固定於第一基座110,而距離調整單元540的調整旋鈕542則耦合於調整器底座530並嚙合於頂出滑塊510,以用配合頂出螺栓520於未鎖緊頂出滑塊510的狀態下,利用距離調整單元540的調整旋鈕542協助將頂出滑塊510反向移動,以拉回頂出滑塊510,進而使基準件360向後移動,以使基準件360與第二定位板122分離。進一步參閱第4圖與第5圖,基準件360上下兩端分別設置基準件調整器370,用以調整基準件360垂直度,確保第一機台210在垂直狀態下,對接第二機台220。當進行第一機台210以及第二機台220對準時,可以利用頂出螺栓520以及距離調整單元540調整基準件360的凸出高度,以設定第一定位板112以及第二定位板122之間的距離,以便於設定第一機台210以及第二機台220之間的預定距離。而當第一機台210與第二機台220定位完成後,則可將頂出滑塊510向後滑動,以與第二機台220的第二定位板122分離,此時,第一機台210與第二機台220,亦可避免實質接觸,故當實際運轉時,第一機台210與第二機台220亦能相互獨立的工作,不會造成不同機台間的干擾,特別是有效地避免了將一台機台運轉時所產生的震動傳遞至另一機台,進而避免影響積體電路測試的精確度,例如是避免影響測試麥克風等微機電系統積體電路的測試精度。
在一些實施例中,第一對接模組101更包含有一第二調整結構140,安裝於第一基座110以及第一定位板112之間。第二調整結構140,例如是一Y軸調整結構。同時參閱第6圖,如圖中所示,第二調整結構140包含有一第一調整部610、一第二調整部620、一推進螺栓630以及一牽引螺栓640。第一調整部610固定於第一定位板112,而第二調整部620則固定於第一基座110。此外,推進螺栓630則安裝於第一調整部610以及第二調整部620之間,以用來增加第一調整部610以及第二調整部620之間的距離,以用來微調第一定位板112與第一基座110水平方向的相對位置,而牽引螺栓640亦安裝於第一調整部610以及第二調整部620之間,以用來縮減第一調整部610以及第二調整部620之間的距離。換言之,利用推進螺栓630以及牽引螺栓640可以有效地進行第一機台210以及第二機台220的水平對準,以微調第一機台210以及第二機台220之間的水平對準精確度。
在一些實施例中,第一對接模組101更包含有一第三調整結構160,例如是Z軸調整結構,安裝於第一基座110以及第一機台210上方的承載板212之間,以調整第一基座110的一高度,換言之,藉由第三調整結構160,可以調整第一機台210與第一基座110的相對高度,進而調整第一機台210的承載板212以及第二機台220的承載板222的相對高度。在一些實施例中,第三調整結構160亦可安裝於第二基座120以及第二機台220上方的承載板222之間,以調整第二機台220與第二基座120的相對高度,進而調整第一機台210的承載板212以及第二機台220的承載板222的相對高度。
在一些實施例中,參閱第7圖,第三調整結構160包含有二推進螺栓710以及一牽引螺栓720。二推進螺栓710連接於第一基座110與第一機台210的承載板212之間,以用來調整第一基座110與第一機台210的承載板212的水平度及調整第一基座110與第一機台210的承載板212之間的距離,而牽引螺栓720則設置於二推進螺栓710之間,並連接於第一基座110與第一機台210的承載板212之間,以用來調整第一基座110與第一機台210的承載板212的距離。在一些實施例中,承載板212形成有二螺紋孔730以及一沉孔740,其中,推進螺栓710則嚙合於承載板212的螺紋孔730,而牽引螺栓720則安裝於承載板212的沉孔740之中,而牽引螺栓720則嚙合於第一基座110的螺紋孔731之中。
此外,第一基座110則包含二凹孔750以及一螺紋孔731,而第三調整結構160另包含承壓螺栓760,且承壓螺栓760設置於第一基座110的凹孔750之中,而推進螺栓710一端可觸壓承壓螺栓760,用以配合推進螺栓710調整第一基座110與第一機台210的承載板212的距離。當二推進螺栓710分別向下旋壓第一基座110上的承壓螺栓760,可一併同時調整承壓螺栓760的升降高度,並配合牽引螺栓720嚙合於第一基座110的螺紋孔731的位置,以更精確微調第一基座110水平位置以及第一機台210與第一基座110兩者的相對高度。
在一些實施例中,參閱第8圖,機台對接調整裝置100更包含有一視覺定位單元800,其包含有一第一定位標誌810以及一第二定位標誌820,分別形成於定位凸柱132以及定位套環組134之上,以用來對準第一定位板112以及第二定位板122,亦即利用視覺初步對準第一機台210以及第二機台220,而後再以第一調整結構130、基準面調整結構150、第二調整結構140以及第三調整結構160對準與微調。
在一些實施例中,再次參閱第1圖,如圖中所示,第一對接模組101包含有二限位軌道114,以用來夾持第一定位板112,並配合第二調整結構140的作動,以使第一定位板112可在第一基座110之中移動,並再加以固定。相同地,第二對接模組102亦可以包含有二限位軌道124,以用來夾持第二定位板122,當定位套環組134帶動定位凸柱132,以使第二定位板122可在第二基座120之中移動,並再加以固定。
參閱第9圖,如圖中所示,機台對接調整裝置100係可應用於晶圓測試設備900。晶圓測試設備900包含一測試頭翻轉機台910、一針測機台(Prober)920以及一測試頭(Testing Head)930。其中機台對接調整裝置100可以安裝於測試頭翻轉機台910及針測機台920之間,利用機台對接調整裝置100將測試頭翻轉機台910與針測機台920微調對準後,測試頭翻轉機台910上的測試頭930,亦可以準確地與穩定地對準搭接於針測機台920,且能避免因為機台之間的干涉,以致於影響晶圓測試結果。
如此,透過以上各實施例之所述架構,本發明的機台對接調整裝置,可以有效地降低機台組裝的人力成本、且可進行單人操作,快速及準確地調整對準兩機台之間的相對位置,有效地節省人員工時費用,且在多部機台對接時,更能提升對接效率,且使得機台之間的誤差小於±0.05mm,更能在機台作業時,有效地避免機台產生的震動產生相互的影響。本發明的機台對接調整裝置,可使多個獨立測試機台的對接更有效率,降低所需花費的時間及人力,且增加對接精準度,更能使各測試模組不相互接觸,避免干涉,降低震動影響測試結果。
最後,上述所揭露之各實施例中,並非用以限定本發明,任何熟習此技藝者,在不脫離本發明之精神和範圍內,當可作各種之更動與潤飾,皆可被保護於本發明中。因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
100:機台對接調整裝置 101:第一對接模組 102:第二對接模組 110:第一基座 112:第一定位板 114:限位軌道 120:第二基座 122:第二定位板 124:限位軌道 130:第一調整結構 132:定位凸柱 134:定位套環組 140:第二調整結構 150:基準面調整結構 160:第三調整結構 210:第一機台 212:承載板 220:第二機台 222:承載板 310:定位螺栓 312:固定螺牙 320:階梯狀凸起部 322:小徑區段 324:中徑區段 326:大徑區段 330:定位環 340:支撐環 350:牽引器 360:基準件 370:基準件調整器 380:定位套環收納座 410:開口 510:頂出滑塊 520:頂出螺栓 530:調整器底座 540:距離調整單元 542:調整旋鈕 544:加壓螺栓 610:第一調整部 620:第二調整部 630:推進螺栓 640:牽引螺栓 710:推進螺栓 720:牽引螺栓 730:螺紋孔 731:螺紋孔 740:沉孔 750:凹孔 760:承壓螺栓 800:視覺定位單元 810:第一定位標誌 820:第二定位標誌 900:晶圓測試設備 910:測試頭翻轉機台 920:針測機台 930:測試頭
為讓本發明之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂,所附圖式之說明如下: 第1圖係根據本發明之一實施例之機台對接調整裝置的示意圖; 第2圖係本發明之一實施例之機台對接調整裝置安裝於測試機台的示意圖; 第3圖係本發明之一實施例之機台對接調整裝置的第一調整結構的示意圖; 第4圖為本發明之一實施例之機台對接調整裝置的定位套環安裝前後的示意圖; 第5圖為本發明之一實施例之機台對接調整裝置的基準件以及基準件調整器的示意圖; 第6圖為本發明之一實施例之機台對接調整裝置的第二調整結構的示意圖; 第7圖為本發明之一實施例之機台對接調整裝置的第三調整結構的示意圖; 第8圖為本發明之一實施例之機台對接調整裝置的視覺定位單元的示意圖;以及 第9圖係本發明之一實施例之機台對接調整裝置安裝於探針測試機台的示意圖。
100:機台對接調整裝置
101:第一對接模組
102:第二對接模組
110:第一基座
112:第一定位板
114:限位軌道
120:第二基座
122:第二定位板
124:限位軌道
130:第一調整結構
132:定位凸柱
134:定位套環組
140:第二調整結構
150:基準面調整結構
160:第三調整結構

Claims (16)

  1. 一種機台對接調整裝置,包含: 一第一對接模組,其中該第一對接模組包含一第一基座、一第一定位板安裝於該第一基座之上、以及一定位套環組可拆卸地安裝於該第一定位板;以及 一第二對接模組,用以對接該第一對接模組,其中該第二對接模組包含一第二基座、一第二定位板安裝於該第二基座之上、以及一定位凸柱安裝於該第二定位板,其中該第二對接模組的該定位凸柱用以對準該第一對接模組的該定位套環組。
  2. 如請求項1所述之機台對接調整裝置,其中該定位凸柱以及該定位套環組,形成一第一調整結構,以定位該第一對接模組的該第一定位板以及該第二對接模組的該第二定位板。
  3. 如請求項2所述之機台對接調整裝置,其中該定位凸柱,包含: 一定位螺栓,前端形成一固定螺牙;以及 一階梯狀凸起部,套設於該定位螺栓,並露出該固定螺牙。
  4. 如請求項3所述之機台對接調整裝置,其中該階梯狀凸起部,包含: 一小徑區段; 一中徑區段;以及 一大徑區段,依序形成於該階梯狀凸起部的表面,以逐步將該定位凸柱對準該定位套環組。
  5. 如請求項1所述之機台對接調整裝置,更包含: 一定位套環收納座,安裝於該第一基座,以用來收納該定位套環組。
  6. 如請求項1所述之機台對接調整裝置,更包含: 一視覺定位單元,包含一第一定位標誌以及一第二定位標誌,分別形成於該定位凸柱以及該定位套環組,以用來對準該第一定位板以及該第二定位板。
  7. 如請求項1所述之機台對接調整裝置,其中該第一對接模組,包含: 二限位軌道,夾持該第一定位板,以使該第一定位板在該第一基座之中移動。
  8. 如請求項3所述之機台對接調整裝置,其中該定位套環組,包含: 一定位環; 一支撐環,連接於該定位環;以及 一牽引器,抵接於該支撐環,以用來鎖固該定位螺栓的該固定螺牙。
  9. 如請求項1所述之機台對接調整裝置,其中該第一對接模組更包含: 一第二調整結構,安裝於該第一基座以及該第一定位板之間。
  10. 如請求項9所述之機台對接調整裝置,其中該第二調整結構,包含: 一第一調整部,固定於該第一定位板; 一第二調整部,固定於該第一基座; 一推進螺栓,安裝於該第一調整部以及該第二調整部之間,以增加該第一調整部以及該第二調整部之間的一距離;以及 一牽引螺栓,亦安裝於該第一調整部以及該第二調整部之間,以縮減該第一調整部以及該第二調整部之間的該距離。
  11. 如請求項1所述之機台對接調整裝置,其中該第一對接模組,更包含: 一第三調整結構,安裝於該第一基座,以調整該第一基座的一高度。
  12. 如請求項11所述之機台對接調整裝置,其中該第三調整結構,包含: 二推進螺栓,連接於該第一基座與一第一機台的一承載板之間,以增加該第一基座與該第一機台的該承載板的一距離;以及 一牽引螺栓,設置於該二推進螺栓之間,並連接於該第一基座與該第一機台的該承載板之間,以減少該第一基座與該第一機台的該承載板的該距離。
  13. 如請求項12所述之機台對接調整裝置,其中該第三調整結構,更包含: 二承壓螺栓,分別設置於該第一基座的一凹孔之中,並對應觸壓該二推進螺栓,用以配合該二推進螺栓調整該第一基座與該第一機台的該承載板的該距離。
  14. 如請求項1所述之機台對接調整裝置,更包含一基準面調整結構,安裝於該第一定位板,用以設定該第一對接模組的該第一定位板與該第二對接模組的該第二定位板之間的距離。
  15. 如請求項14所述之機台對接調整裝置,其中該基準面調整結構,包含: 一基準件;以及 至少一基準件調整器,連接該基準件,以用來調整該第一對接模組的該第一定位板與該第二對接模組的該第二定位板之間的該距離。
  16. 如請求項15所述之機台對接調整裝置,其中該至少一基準件調整器,包含: 一頂出滑塊; 二頂出螺栓,鎖附於該第一定位板,以用來推出該頂出滑塊; 一調整器底座,固定於該第一基座;以及 一距離調整單元,耦合於該調整器底座,並用來拉回該頂出滑塊。
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