JPH11174119A - 半導体素子検査機の素子間隙調節装置 - Google Patents
半導体素子検査機の素子間隙調節装置Info
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- JPH11174119A JPH11174119A JP10278049A JP27804998A JPH11174119A JP H11174119 A JPH11174119 A JP H11174119A JP 10278049 A JP10278049 A JP 10278049A JP 27804998 A JP27804998 A JP 27804998A JP H11174119 A JPH11174119 A JP H11174119A
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- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
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- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/918—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with at least two picking-up heads
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数個のリンクを使用することなく、素子を
吸着するピックアップの間隙を必要に応じて速い時間内
に正確に調節可能である半導体素子検査機の素子間隙調
節装置を提供する。 【解決手段】 半導体素子検査機の素子間隙調節装置
は、ガイドレールに沿って水平移動可能に設けられた移
送板２６と、前記移送板２６に固定された取付板２８
と、前記取付板２８に垂直ＬＭガイダーによって昇降動
可能に設けられた昇降板３０と、前記昇降板３０に回転
可能に設けられ、外周面上には複数のカム溝３６が放射
状に形成されたカム軸３２と、前記カム軸３２を回転さ
せる回転シリンダ３４と、前記カム溝３６にその上部が
嵌め込まれた状態で水平ＬＭガイダー３５ａ，３５ｂに
よって水平移動可能に設けられた複数個のピックアップ
手段Ｐとを備える。
吸着するピックアップの間隙を必要に応じて速い時間内
に正確に調節可能である半導体素子検査機の素子間隙調
節装置を提供する。 【解決手段】 半導体素子検査機の素子間隙調節装置
は、ガイドレールに沿って水平移動可能に設けられた移
送板２６と、前記移送板２６に固定された取付板２８
と、前記取付板２８に垂直ＬＭガイダーによって昇降動
可能に設けられた昇降板３０と、前記昇降板３０に回転
可能に設けられ、外周面上には複数のカム溝３６が放射
状に形成されたカム軸３２と、前記カム軸３２を回転さ
せる回転シリンダ３４と、前記カム溝３６にその上部が
嵌め込まれた状態で水平ＬＭガイダー３５ａ，３５ｂに
よって水平移動可能に設けられた複数個のピックアップ
手段Ｐとを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工程で生産
完了された半導体素子の性能を検査する半導体素子検査
機に関し、特に顧客トレー(custom tray)内に収容され
ていた複数の素子を吸着して検査機の位置決定ブロック
に移送する際、吸着された素子間の間隙を、位置決定ブ
ロックの素子収容空間部のピッチに合わせて調節する半
導体素子検査機の素子間隙調節装置に関する。
完了された半導体素子の性能を検査する半導体素子検査
機に関し、特に顧客トレー(custom tray)内に収容され
ていた複数の素子を吸着して検査機の位置決定ブロック
に移送する際、吸着された素子間の間隙を、位置決定ブ
ロックの素子収容空間部のピッチに合わせて調節する半
導体素子検査機の素子間隙調節装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体素子が収容されて保管さ
れる、又は半導体素子の生産に応ずる工程間の移送時に
用いられるプラスチック製の顧客トレーは、生産業者別
に模様、容量、及び素子の収容される複数の空間部のピ
ッチを各々異ならせて制作されている。この類の顧客ト
レーに形成される空間部は、素子を受容する機能しかな
いので、あまり精密に加工されてない。しかしながら、
テストトレーに形成される、テストする素子が収容され
る空間部は、前記テストトレー内へローディングされた
素子をテストコンタクタ（素子のリードが接続されてテ
スタと電気的に連結される役割を果たすコンタクタ）に
完ぺきに接触させるために精密に制作されている。
れる、又は半導体素子の生産に応ずる工程間の移送時に
用いられるプラスチック製の顧客トレーは、生産業者別
に模様、容量、及び素子の収容される複数の空間部のピ
ッチを各々異ならせて制作されている。この類の顧客ト
レーに形成される空間部は、素子を受容する機能しかな
いので、あまり精密に加工されてない。しかしながら、
テストトレーに形成される、テストする素子が収容され
る空間部は、前記テストトレー内へローディングされた
素子をテストコンタクタ（素子のリードが接続されてテ
スタと電気的に連結される役割を果たすコンタクタ）に
完ぺきに接触させるために精密に制作されている。
【０００３】従って、顧客トレー内に収容された素子を
テストトレー内の空間部に移すためには、顧客トレー内
に収容されていた素子を、精密加工された別途の位置決
定ブロックに運搬して各素子の位置を再決定し、この後
テストトレー内に移送させる。こうする場合にのみ素子
の正確なローディングが可能である。このために、半導
体素子検査機は、素子を移す役割を果たすピックアップ
を装着した移送手段を有する。
テストトレー内の空間部に移すためには、顧客トレー内
に収容されていた素子を、精密加工された別途の位置決
定ブロックに運搬して各素子の位置を再決定し、この後
テストトレー内に移送させる。こうする場合にのみ素子
の正確なローディングが可能である。このために、半導
体素子検査機は、素子を移す役割を果たすピックアップ
を装着した移送手段を有する。
【０００４】図１〜図４は、本出願人によって先に出願
された大韓民国実用新案９５−７５１２号の技術を示し
ている。以下、該技術について説明する。上板１には第
１水平ＬＭガイダー２に沿って水平移動する取付板３が
設けられており、前記取付板３の下方には第１シリンダ
４の駆動によって昇降するピックアップブロック５が設
けられている。そして、ピックアップブロック５には、
取付板３の移動方向と同方向に第２水平ＬＭガイダー６
に沿って移動する複数個のスライダー７が結合されてい
る。前記各スライダー７には第２シリンダ８の駆動によ
って垂直ＬＭガイダー９に沿って昇降するピックアップ
ヘッド１１が設けられている。前記各ピックアップヘッ
ド１１の底面には真空圧により素子２０を吸着するピッ
クアップ１０が固定されている。
された大韓民国実用新案９５−７５１２号の技術を示し
ている。以下、該技術について説明する。上板１には第
１水平ＬＭガイダー２に沿って水平移動する取付板３が
設けられており、前記取付板３の下方には第１シリンダ
４の駆動によって昇降するピックアップブロック５が設
けられている。そして、ピックアップブロック５には、
取付板３の移動方向と同方向に第２水平ＬＭガイダー６
に沿って移動する複数個のスライダー７が結合されてい
る。前記各スライダー７には第２シリンダ８の駆動によ
って垂直ＬＭガイダー９に沿って昇降するピックアップ
ヘッド１１が設けられている。前記各ピックアップヘッ
ド１１の底面には真空圧により素子２０を吸着するピッ
クアップ１０が固定されている。
【０００５】前記各スライダー７の上部には、図３及び
図４に示すようにピン１２が固定され、ピックアップブ
ロック５の上部の長孔５ａを介して露出されている。前
記各ピン１２は第１リンク１３の中心に結合されてい
る。前記第１リンク１３の両端には、分割形成された第
２リンク１４の一端がピン１５により結合されている。
そのため、前記第１及び第２リンク１３、１４は相互に
連動される。ピックアップブロック５上の第３シリンダ
１６の駆動によって進退運動するガイド片１７にガイド
溝１７ａが形成されている。前記第１リンク１３のう
ち、中間に位置する第１リンク１３の先端にはガイド溝
１７ａにはめ込まれる突起１８が形成されている。
図４に示すようにピン１２が固定され、ピックアップブ
ロック５の上部の長孔５ａを介して露出されている。前
記各ピン１２は第１リンク１３の中心に結合されてい
る。前記第１リンク１３の両端には、分割形成された第
２リンク１４の一端がピン１５により結合されている。
そのため、前記第１及び第２リンク１３、１４は相互に
連動される。ピックアップブロック５上の第３シリンダ
１６の駆動によって進退運動するガイド片１７にガイド
溝１７ａが形成されている。前記第１リンク１３のう
ち、中間に位置する第１リンク１３の先端にはガイド溝
１７ａにはめ込まれる突起１８が形成されている。
【０００６】上記構造の素子間隙調節装置は、顧客トレ
ー１９の空間部１９ａ内に収容された素子２０を吸着す
るピックアップ１０が上死点に位置し、且つスライダー
７が内側に引っ込まれた状態から動作する。取付板３が
第１水平ＬＭガイダー２に沿って移送されて、顧客トレ
ー１９に形成された空間部１９ａの１列に一致される
と、そのことが感知手段（図示せず）により感知されて
スライダー７の移送が中断される。
ー１９の空間部１９ａ内に収容された素子２０を吸着す
るピックアップ１０が上死点に位置し、且つスライダー
７が内側に引っ込まれた状態から動作する。取付板３が
第１水平ＬＭガイダー２に沿って移送されて、顧客トレ
ー１９に形成された空間部１９ａの１列に一致される
と、そのことが感知手段（図示せず）により感知されて
スライダー７の移送が中断される。
【０００７】この状態で、取付板３に固定された第１シ
リンダ４の駆動によってピックアップブロック５が下死
点に到達されると、各スライダー７に固定された、ピッ
クアップヘッド１１を昇降させる第２シリンダ８が動作
するようになる。これにより、前記ピックアップヘッド
１１の先端に固定されたピックアップ１０が、図２の一
点鎖線に示されるように下降して、顧客トレー１９の空
間部１９ａに収容された素子２０の上面に接触される。
その後、空気圧によりピックアップ１０の内部に真空圧
がかかると、顧客トレー１９の空間部１９ａに収容され
ていた素子２０がピックアップ１０に吸着される。
リンダ４の駆動によってピックアップブロック５が下死
点に到達されると、各スライダー７に固定された、ピッ
クアップヘッド１１を昇降させる第２シリンダ８が動作
するようになる。これにより、前記ピックアップヘッド
１１の先端に固定されたピックアップ１０が、図２の一
点鎖線に示されるように下降して、顧客トレー１９の空
間部１９ａに収容された素子２０の上面に接触される。
その後、空気圧によりピックアップ１０の内部に真空圧
がかかると、顧客トレー１９の空間部１９ａに収容され
ていた素子２０がピックアップ１０に吸着される。
【０００８】素子２０が吸着された状態で、前述とは逆
順に第２シリンダ８及び第１シリンダ４が順次動作され
ると、ピックアップヘッド１１及びピックアップブロッ
ク５が初期状態のように各々上死点に到達するようにな
る。その後、取付板３が第１水平ＬＭガイダー２に沿っ
て位置決定ブロック（図示せず）に向かって移動する
際、ピックアップブロック５の上部に固定された第３シ
リンダ１６が駆動されて、ガイド片１７が押される。そ
のため、図４に示すように、第１リンク１３の一端に固
定されたピン１８が、ガイド片１７に形成されたガイド
溝１７ａとともに移動する。これにより、図１及び図４
に示すように、互いに引っ込まれていた第１及び第２リ
ンク１３、１４が伸ばされ、その結果、ピックアップ１
０間の間隙が、テストトレー（図示せず）に形成された
空間部のピッチと同一となる。
順に第２シリンダ８及び第１シリンダ４が順次動作され
ると、ピックアップヘッド１１及びピックアップブロッ
ク５が初期状態のように各々上死点に到達するようにな
る。その後、取付板３が第１水平ＬＭガイダー２に沿っ
て位置決定ブロック（図示せず）に向かって移動する
際、ピックアップブロック５の上部に固定された第３シ
リンダ１６が駆動されて、ガイド片１７が押される。そ
のため、図４に示すように、第１リンク１３の一端に固
定されたピン１８が、ガイド片１７に形成されたガイド
溝１７ａとともに移動する。これにより、図１及び図４
に示すように、互いに引っ込まれていた第１及び第２リ
ンク１３、１４が伸ばされ、その結果、ピックアップ１
０間の間隙が、テストトレー（図示せず）に形成された
空間部のピッチと同一となる。
【０００９】この状態で、第１及び第２シリンダ４、８
が順次的に駆動されてピックアップ１０が下死点に位置
するようになると、前記ピックアップ１０に吸着された
素子２０が位置決定ブロック（図示せず）の空間部内に
位置することになる。この際、前記ピックアップ１０に
作用していた真空圧が解除されると、ピックアップ１０
に吸着されていた素子２０が自重により落下されて位置
決定ブロックの空間部内に正確に位置決定される。
が順次的に駆動されてピックアップ１０が下死点に位置
するようになると、前記ピックアップ１０に吸着された
素子２０が位置決定ブロック（図示せず）の空間部内に
位置することになる。この際、前記ピックアップ１０に
作用していた真空圧が解除されると、ピックアップ１０
に吸着されていた素子２０が自重により落下されて位置
決定ブロックの空間部内に正確に位置決定される。
【００１０】かかる従来の装置は、顧客トレー内に収容
された１列の素子を一度に吸着した後、位置決定ブロッ
ク側への移送時に素子間の間隙を調節して位置決定した
後、位置決定完了の素子をテストトレー側にローディン
グするという動作を一つの移送装置により達成してい
る。そのため、位置決定に要する時間を短縮することが
できる。また、機器の設置空間を最小化することができ
る。
された１列の素子を一度に吸着した後、位置決定ブロッ
ク側への移送時に素子間の間隙を調節して位置決定した
後、位置決定完了の素子をテストトレー側にローディン
グするという動作を一つの移送装置により達成してい
る。そのため、位置決定に要する時間を短縮することが
できる。また、機器の設置空間を最小化することができ
る。
【００１１】しかし、スライダー７が多数の第１及び第
２リンク１３、１４により連結されて同時に連動される
ように構成されている。そのため、スライダー７が最大
限に広げられた状態で、両端のピックアップ１０は位置
決定ブロック或いはテストトレーの空間部の直下方に正
確に位置するようになる。しかし、その間に位置するピ
ックアップ１０は各リンク長が比較的に長くて流動され
るためリンクの先端位置が不正確になる。このため、ピ
ックアップ１０に吊り下げられた素子２０を、位置決定
ブロックに形成された空間部内に正確にローディングす
ることができないという致命的な問題点を引き起こし
た。また、その構成が複雑であって部品数が多くなるた
め、部品の加工並びに組み立てに要する時間が長くなる
という問題点もあった。
２リンク１３、１４により連結されて同時に連動される
ように構成されている。そのため、スライダー７が最大
限に広げられた状態で、両端のピックアップ１０は位置
決定ブロック或いはテストトレーの空間部の直下方に正
確に位置するようになる。しかし、その間に位置するピ
ックアップ１０は各リンク長が比較的に長くて流動され
るためリンクの先端位置が不正確になる。このため、ピ
ックアップ１０に吊り下げられた素子２０を、位置決定
ブロックに形成された空間部内に正確にローディングす
ることができないという致命的な問題点を引き起こし
た。また、その構成が複雑であって部品数が多くなるた
め、部品の加工並びに組み立てに要する時間が長くなる
という問題点もあった。
【００１２】上記の問題点を改善するために、図５〜図
７に示す技術が大韓民国実用新案９６−２２００５号と
して出願された。以下、該技術について具体的に説明す
る。なお、該技術において、前述の大韓民国実用新案９
５−７５１２号の技術と同等の構成部材については、同
一符号を用いて説明している。
７に示す技術が大韓民国実用新案９６−２２００５号と
して出願された。以下、該技術について具体的に説明す
る。なお、該技術において、前述の大韓民国実用新案９
５−７５１２号の技術と同等の構成部材については、同
一符号を用いて説明している。
【００１３】複数個のリンク２１、２２の一端に第１挿
入孔２１ａ、２２ａが形成されており、前記第１挿入孔
２１ａ、２２ａにはスライダー７に固定される軸２３が
挿入されている。そして、前記リンク２１、２２の他端
には第２挿入孔２１ｂ、２２ｂが形成されており、前記
第２挿入孔２１ｂ、２２ｂにはリンク２１、２２を相互
連結させるピン２４が挿入されている。
入孔２１ａ、２２ａが形成されており、前記第１挿入孔
２１ａ、２２ａにはスライダー７に固定される軸２３が
挿入されている。そして、前記リンク２１、２２の他端
には第２挿入孔２１ｂ、２２ｂが形成されており、前記
第２挿入孔２１ｂ、２２ｂにはリンク２１、２２を相互
連結させるピン２４が挿入されている。
【００１４】従って、前記スライダー７が内側に引っ込
まれている状態、つまり図６の状態では、各リンク２
１、２２を連結するピン２４が、スライダー７に固定さ
れた軸２３に近接して位置して、リンクが相互交差する
ので、複数個のスライダー７が密着された状態を維持す
るようになる。このような状態から、取付板３が顧客ト
レー１９に形成された空間部１９ａの１列と一致される
ように移送されると、取付板３に固定された第１シリン
ダ４が駆動されてピックアップブロック５が下死点まで
下降される。これとともに、第２シリンダ８が駆動され
てピックアップヘッド１１が下降されると、先端に固定
されたピックアップ１０が顧客トレー１９の空間部１９
ａに収容された素子２０の上面に接触されるので、真空
圧により素子２０を吸着可能になる。
まれている状態、つまり図６の状態では、各リンク２
１、２２を連結するピン２４が、スライダー７に固定さ
れた軸２３に近接して位置して、リンクが相互交差する
ので、複数個のスライダー７が密着された状態を維持す
るようになる。このような状態から、取付板３が顧客ト
レー１９に形成された空間部１９ａの１列と一致される
ように移送されると、取付板３に固定された第１シリン
ダ４が駆動されてピックアップブロック５が下死点まで
下降される。これとともに、第２シリンダ８が駆動され
てピックアップヘッド１１が下降されると、先端に固定
されたピックアップ１０が顧客トレー１９の空間部１９
ａに収容された素子２０の上面に接触されるので、真空
圧により素子２０を吸着可能になる。
【００１５】上記した動作によりピックアップ１０に素
子２０が吸着されると、前述とは逆順に第２シリンダ８
及び第１シリンダ４が順次的に動作してピックアップヘ
ッド１１及びピックアップブロック５が初期状態のよう
にそれぞれ上昇する。これと同時に、取付板３が第１水
平ＬＭガイダー２に沿って位置決定ブロック側に移動す
る際、第３シリンダ１６が駆動されてガイド片１７を押
すことにより、引っ込まれていたリンク２１、２２が伸
ばされるようになる。これにより、前記リンク２１、２
２にそれぞれ固定されたスライダー７が互いに広げられ
るようになり、ピックアップ１０に吸着された素子２０
間の間隙が、位置決定ブロックに形成された空間部のピ
ッチと一致するようになる。上記動作時に、図７に示す
ように、各リンク２１、２２を連結するピン２４はスラ
イダー７に固定された軸２３に近接して位置するため、
複数個のスライダー７の間隙が一定に維持される。
子２０が吸着されると、前述とは逆順に第２シリンダ８
及び第１シリンダ４が順次的に動作してピックアップヘ
ッド１１及びピックアップブロック５が初期状態のよう
にそれぞれ上昇する。これと同時に、取付板３が第１水
平ＬＭガイダー２に沿って位置決定ブロック側に移動す
る際、第３シリンダ１６が駆動されてガイド片１７を押
すことにより、引っ込まれていたリンク２１、２２が伸
ばされるようになる。これにより、前記リンク２１、２
２にそれぞれ固定されたスライダー７が互いに広げられ
るようになり、ピックアップ１０に吸着された素子２０
間の間隙が、位置決定ブロックに形成された空間部のピ
ッチと一致するようになる。上記動作時に、図７に示す
ように、各リンク２１、２２を連結するピン２４はスラ
イダー７に固定された軸２３に近接して位置するため、
複数個のスライダー７の間隙が一定に維持される。
【００１６】かかる装置は、スライダー７に固定される
軸２３が、リンク２１、２２の連結部位であるピン２４
に近接しているため、ピックアップ１０間の間隙が一定
に維持される利点がある。しかし、この装置においても
依然として部品数が多いため、制作及び組立による累積
誤差に起因してピッチを正確に維持することが困難にな
る。また、長時間にわたって使用する場合、各々のリン
ク及びベアリングの磨耗に起因して各ピックアップ間の
間隙の誤差が一層大きくなり、しかも動作時に発生する
騒音が大きくなる。
軸２３が、リンク２１、２２の連結部位であるピン２４
に近接しているため、ピックアップ１０間の間隙が一定
に維持される利点がある。しかし、この装置においても
依然として部品数が多いため、制作及び組立による累積
誤差に起因してピッチを正確に維持することが困難にな
る。また、長時間にわたって使用する場合、各々のリン
ク及びベアリングの磨耗に起因して各ピックアップ間の
間隙の誤差が一層大きくなり、しかも動作時に発生する
騒音が大きくなる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来の問題点
を解決するためになされたものであり、その目的は、複
数個のリンクを使用することなく、素子を吸着するピッ
クアップ間の間隙を必要に応じて速い時間内に正確に調
節可能である半導体素子検査機の素子間隙調節装置を提
供することにある。
を解決するためになされたものであり、その目的は、複
数個のリンクを使用することなく、素子を吸着するピッ
クアップ間の間隙を必要に応じて速い時間内に正確に調
節可能である半導体素子検査機の素子間隙調節装置を提
供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ガイドレールに沿って水平移動可能に設
けられた移送板と、前記移送板に固定された取付板と、
前記取付板に昇降動可能に設けられた昇降板と、前記昇
降板に回転可能に設けられ、外周面上には複数のカム溝
が放射状に形成されたカム軸と、前記カム軸を回転させ
る駆動手段と、前記カム溝にその上部が嵌め込まれた状
態で水平移動可能に設けられた複数個のピックアップ手
段とを備える半導体素子検査機の素子間隙調節装置を提
供する。
に、本発明は、ガイドレールに沿って水平移動可能に設
けられた移送板と、前記移送板に固定された取付板と、
前記取付板に昇降動可能に設けられた昇降板と、前記昇
降板に回転可能に設けられ、外周面上には複数のカム溝
が放射状に形成されたカム軸と、前記カム軸を回転させ
る駆動手段と、前記カム溝にその上部が嵌め込まれた状
態で水平移動可能に設けられた複数個のピックアップ手
段とを備える半導体素子検査機の素子間隙調節装置を提
供する。
【００１９】本発明の他の態様は、ガイドレールに沿っ
て水平移動可能に設けられた移送板と、前記移送板に固
定された取付板と、前記取付板に昇降動可能に設けられ
た昇降板と、前記昇降板に進退可能に設けられ、底面に
は複数のカム溝が放射状に形成されたカム板と、前記カ
ム板の進退運動を案内するガイド手段と、前記カム板の
一側に固設され、カム板を進退させる駆動手段と、前記
カム溝に上部がはめ込まれた状態で水平移動可能に設け
られた複数個のピックアップ手段とを備える半導体素子
検査機の素子間隙調節装置を提供する。
て水平移動可能に設けられた移送板と、前記移送板に固
定された取付板と、前記取付板に昇降動可能に設けられ
た昇降板と、前記昇降板に進退可能に設けられ、底面に
は複数のカム溝が放射状に形成されたカム板と、前記カ
ム板の進退運動を案内するガイド手段と、前記カム板の
一側に固設され、カム板を進退させる駆動手段と、前記
カム溝に上部がはめ込まれた状態で水平移動可能に設け
られた複数個のピックアップ手段とを備える半導体素子
検査機の素子間隙調節装置を提供する。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態を、図８〜図１６を参照して詳しく説明する。
態を、図８〜図１６を参照して詳しく説明する。
【００２１】図８は本発明の一実施形態における半導体
素子検査機の素子間隙調節装置を示す斜視図であり、図
９は図８の装置に設けられたカム軸の斜視図であり、図
１０はカム軸に形成されたカム溝の形態を示す展開図で
ある。
素子検査機の素子間隙調節装置を示す斜視図であり、図
９は図８の装置に設けられたカム軸の斜視図であり、図
１０はカム軸に形成されたカム溝の形態を示す展開図で
ある。
【００２２】図１５に示すように、素子検査機の本体
（図示せず）に設けられたガイドレール２５に、移送板
２６が水平移動可能に支持され、前記移送板２６には締
付部材２７により取付板２８が垂直に固定される。前記
取付板２８の一側面には垂直ＬＭ(Linear Motion)ガイ
ダー２９ａが固定されている。垂直ＬＭガイダー２９ａ
には、昇降板３０に固定された垂直ＬＭガイダー２９ｂ
が結合され、これにより昇降板３０が一対の垂直ＬＭガ
イダー２９ａ、２９ｂに案内されて取付板２８の上下方
向に移動される。
（図示せず）に設けられたガイドレール２５に、移送板
２６が水平移動可能に支持され、前記移送板２６には締
付部材２７により取付板２８が垂直に固定される。前記
取付板２８の一側面には垂直ＬＭ(Linear Motion)ガイ
ダー２９ａが固定されている。垂直ＬＭガイダー２９ａ
には、昇降板３０に固定された垂直ＬＭガイダー２９ｂ
が結合され、これにより昇降板３０が一対の垂直ＬＭガ
イダー２９ａ、２９ｂに案内されて取付板２８の上下方
向に移動される。
【００２３】前記移送板２６には孔２６ａを介してロッ
ド３１ａを下部に露出させるようにシリンダ３１が設け
られ、そのシリンダ３１のロッド３１ａは前記昇降板３
０に固定される。従って、シリンダ３１の駆動により、
昇降板３０が垂直ＬＭガイダー２９ａ、２９ｂにより安
定的に昇降運動される。図１３及び図１４に示すよう
に、前記昇降板３０には、カム軸３２がベアリング３３
によって支持される。カム軸３２の一側に設けられた駆
動手段が作動するに従ってカム軸３２が回転運動する。
ド３１ａを下部に露出させるようにシリンダ３１が設け
られ、そのシリンダ３１のロッド３１ａは前記昇降板３
０に固定される。従って、シリンダ３１の駆動により、
昇降板３０が垂直ＬＭガイダー２９ａ、２９ｂにより安
定的に昇降運動される。図１３及び図１４に示すよう
に、前記昇降板３０には、カム軸３２がベアリング３３
によって支持される。カム軸３２の一側に設けられた駆
動手段が作動するに従ってカム軸３２が回転運動する。
【００２４】本実施形態においては、カム軸３２を回転
させる駆動手段として、真空圧により作動される回転シ
リンダ３４が適用されている。しかし、特にこれに限ら
れず、油圧により作動される回転シリンダ３４が適用さ
れてもよく、或いはモータ、例えばステップモータが適
用されてもよい。
させる駆動手段として、真空圧により作動される回転シ
リンダ３４が適用されている。しかし、特にこれに限ら
れず、油圧により作動される回転シリンダ３４が適用さ
れてもよく、或いはモータ、例えばステップモータが適
用されてもよい。
【００２５】図８及び図１３〜図１５に示すように、昇
降板３０の一側面又は両側面には水平ＬＭガイダー３５
ａが固定され、前記水平ＬＭガイダー３５ａには複数の
ピックアップ手段Ｐにそれぞれ固定された水平ＬＭガイ
ダー３５ｂが結合される。そのため、複数のピックアッ
プ手段Ｐが水平ＬＭガイダー３５ａ、３５ｂに沿って水
平移動される。前記ピックアップ手段Ｐの上部はカム軸
３２に形成されたカム溝３６内にはめ込まれるように設
けられる。駆動手段３４によりカム軸３２が回転される
ことにより、ピックアップ手段Ｐ間の間隙が広くなった
り、狭くなったりする。
降板３０の一側面又は両側面には水平ＬＭガイダー３５
ａが固定され、前記水平ＬＭガイダー３５ａには複数の
ピックアップ手段Ｐにそれぞれ固定された水平ＬＭガイ
ダー３５ｂが結合される。そのため、複数のピックアッ
プ手段Ｐが水平ＬＭガイダー３５ａ、３５ｂに沿って水
平移動される。前記ピックアップ手段Ｐの上部はカム軸
３２に形成されたカム溝３６内にはめ込まれるように設
けられる。駆動手段３４によりカム軸３２が回転される
ことにより、ピックアップ手段Ｐ間の間隙が広くなった
り、狭くなったりする。
【００２６】顧客トレー又は位置決定ブロックに収容さ
れた素子（図示せず）を吸着するピックアップ手段Ｐ
は、ピックアップブロック５及びピックアップ１０を有
する。ピックアップブロック５は水平ＬＭガイダー３５
ｂに固定され、カム軸３２の回転に従って相互間隙が狭
くなったり広くなったりする。ピックアップ１０は前記
ピックアップブロック５に吊り下げられ、素子の上面に
接触された状態で真空圧の作用によって素子を吸着す
る。
れた素子（図示せず）を吸着するピックアップ手段Ｐ
は、ピックアップブロック５及びピックアップ１０を有
する。ピックアップブロック５は水平ＬＭガイダー３５
ｂに固定され、カム軸３２の回転に従って相互間隙が狭
くなったり広くなったりする。ピックアップ１０は前記
ピックアップブロック５に吊り下げられ、素子の上面に
接触された状態で真空圧の作用によって素子を吸着す
る。
【００２７】前記ピックアップブロック５に吊り下げら
れた、素子を吸着するピックアップ１０のピッチは、カ
ム軸３２に複数個形成されるカム溝３６の角度（傾き）
に基づいて決定される。もし、カム溝３６の角度が小さ
すぎる場合は、ピックアップ手段Ｐの可変量が小さいた
め、カム軸３２の回転角度を大きく設定するか、又は大
径のカム軸３２を適用する必要がある。逆に、カム溝３
６の角度が大きすぎる場合は、ピックアップブロック５
の移動時にカム溝３６にはめ込まれたベアリング３８に
負荷が大きくかかるため、駆動手段３４に無理が加えら
れるおそれがある。このため、駆動手段３４に無理が加
えられないように、ピックアップブロック５のピッチに
基づいてカム軸３２の外周面（３６０゜）を最大限に活
用するのが最も好ましい。
れた、素子を吸着するピックアップ１０のピッチは、カ
ム軸３２に複数個形成されるカム溝３６の角度（傾き）
に基づいて決定される。もし、カム溝３６の角度が小さ
すぎる場合は、ピックアップ手段Ｐの可変量が小さいた
め、カム軸３２の回転角度を大きく設定するか、又は大
径のカム軸３２を適用する必要がある。逆に、カム溝３
６の角度が大きすぎる場合は、ピックアップブロック５
の移動時にカム溝３６にはめ込まれたベアリング３８に
負荷が大きくかかるため、駆動手段３４に無理が加えら
れるおそれがある。このため、駆動手段３４に無理が加
えられないように、ピックアップブロック５のピッチに
基づいてカム軸３２の外周面（３６０゜）を最大限に活
用するのが最も好ましい。
【００２８】本実施形態に適用されるカム軸３２は、そ
の外周面に図９及び図１０に示すように相互対称的に放
射状にカム溝３６を形成する。これは、カム軸３２の回
転により、カム軸３２の軸線方向中間部を中心として複
数のピックアップ手段Ｐが左右に広げられるか、又は引
っ込まれるようにして、ピックアップ手段Ｐの移動距離
を減少させてピックアップ１０の間隙調節に必要な時間
を最小化させるためである。
の外周面に図９及び図１０に示すように相互対称的に放
射状にカム溝３６を形成する。これは、カム軸３２の回
転により、カム軸３２の軸線方向中間部を中心として複
数のピックアップ手段Ｐが左右に広げられるか、又は引
っ込まれるようにして、ピックアップ手段Ｐの移動距離
を減少させてピックアップ１０の間隙調節に必要な時間
を最小化させるためである。
【００２９】また、図１１に示すように、カム軸３２に
形成されたカム溝３６の断面形状を「凵」状に形成し、
ピックアップブロック５に固定されたベアリング３８を
前記カム溝３６内にそれぞれはめ込んで前記ベアリング
３８をカム溝３６の内面に接触させる。その理由は、カ
ム軸３２の回転によりカム溝３６の位置が可変されるこ
とにより、ピックアップブロック５が水平ＬＭガイダー
３５ａ、３５ｂに案内された状態で移動される際、カム
溝３６とピックアップブロック５とが接触される部位で
の摩擦抵抗を最小化して部品の磨耗による誤差を最小化
するためである。
形成されたカム溝３６の断面形状を「凵」状に形成し、
ピックアップブロック５に固定されたベアリング３８を
前記カム溝３６内にそれぞれはめ込んで前記ベアリング
３８をカム溝３６の内面に接触させる。その理由は、カ
ム軸３２の回転によりカム溝３６の位置が可変されるこ
とにより、ピックアップブロック５が水平ＬＭガイダー
３５ａ、３５ｂに案内された状態で移動される際、カム
溝３６とピックアップブロック５とが接触される部位で
の摩擦抵抗を最小化して部品の磨耗による誤差を最小化
するためである。
【００３０】尚、他の実施形態を示す図１２に示すよう
に、カム軸３２に形成されたカム溝３６の断面形状を
「Ｕ」状に形成し、ピックアップブロック５の上部には
ボール３９を結合して前記ボール３９をカム溝３６内に
位置させてもよい。
に、カム軸３２に形成されたカム溝３６の断面形状を
「Ｕ」状に形成し、ピックアップブロック５の上部には
ボール３９を結合して前記ボール３９をカム溝３６内に
位置させてもよい。
【００３１】前記カム軸３２に一定の角度で斜めに形成
されたカム溝３６の両端に、カム溝３６と連通されるよ
うにカム軸３２の中心軸と直角方向に延びる安着溝３７
ａ、３７ｂを形成する。これは、駆動手段３４によりピ
ックアップ１０が最大限に広げられた状態または引っ込
まれた状態で、ベアリング３８又はボール３９をピック
アップブロック５の位置が可変しない安着溝３７ａ、３
７ｂ内に位置させて、加工及び組立誤差等に起因してピ
ックアップ１０間の間隙が可変する現象を未然に防止す
るためである。
されたカム溝３６の両端に、カム溝３６と連通されるよ
うにカム軸３２の中心軸と直角方向に延びる安着溝３７
ａ、３７ｂを形成する。これは、駆動手段３４によりピ
ックアップ１０が最大限に広げられた状態または引っ込
まれた状態で、ベアリング３８又はボール３９をピック
アップブロック５の位置が可変しない安着溝３７ａ、３
７ｂ内に位置させて、加工及び組立誤差等に起因してピ
ックアップ１０間の間隙が可変する現象を未然に防止す
るためである。
【００３２】図１６は本発明の他の実施形態を示す斜視
図であり、本発明の一実施形態に適用したカム軸３２に
代えて、カム溝３６の形成されたカム板４０を適用して
いる。本発明の一実施形態の構成と同様な部分について
は同一符号を付いて説明を省略する。
図であり、本発明の一実施形態に適用したカム軸３２に
代えて、カム溝３６の形成されたカム板４０を適用して
いる。本発明の一実施形態の構成と同様な部分について
は同一符号を付いて説明を省略する。
【００３３】取付板２８に沿って昇降運動する昇降板３
０に、底面に複数のカム溝３６を有するカム板４０が水
平方向に進退可能に設けられる。駆動手段としてのシリ
ンダ４１の駆動により、前記カム板４０が昇降板３０に
取り付けられたガイド手段としてのガイド部材４２に案
内されて進退運動される。これに伴い、ピックアップ手
段Ｐ間の間隙が調節される。すなわち、カム板４０の底
面に、図１０に示すような形態のカム溝３６が形成され
るものである。
０に、底面に複数のカム溝３６を有するカム板４０が水
平方向に進退可能に設けられる。駆動手段としてのシリ
ンダ４１の駆動により、前記カム板４０が昇降板３０に
取り付けられたガイド手段としてのガイド部材４２に案
内されて進退運動される。これに伴い、ピックアップ手
段Ｐ間の間隙が調節される。すなわち、カム板４０の底
面に、図１０に示すような形態のカム溝３６が形成され
るものである。
【００３４】次に、上記のように構成された装置の作用
について説明する。まず、顧客トレーの空間部内に収容
された素子を吸着する場合には、顧客トレーに形成され
た空間部のピッチが、テストトレーに形成された空間部
のピッチよりも狭いため、各ピックアップブロック５の
底面に露出されたピックアップ１０が互いに引っ込まれ
た状態を維持している。すなわち、図１３に示すよう
に、各ピックアップブロック５の上部に結合されたベア
リング３８又はボール３９が、カム溝３６の出発点と連
通されるように形成された安着溝３７ａ内に位置してい
るため、ピックアップブロック５が互いに密着された状
態が維持される。このような状態で、顧客トレー内に収
容された素子を吸着移送してテストトレーの空間部内に
位置決定しようとする場合には、移送板２６をガイドレ
ール２５に沿って移送させて顧客トレーに形成された空
間部の１列と一致する地点で停止させる。
について説明する。まず、顧客トレーの空間部内に収容
された素子を吸着する場合には、顧客トレーに形成され
た空間部のピッチが、テストトレーに形成された空間部
のピッチよりも狭いため、各ピックアップブロック５の
底面に露出されたピックアップ１０が互いに引っ込まれ
た状態を維持している。すなわち、図１３に示すよう
に、各ピックアップブロック５の上部に結合されたベア
リング３８又はボール３９が、カム溝３６の出発点と連
通されるように形成された安着溝３７ａ内に位置してい
るため、ピックアップブロック５が互いに密着された状
態が維持される。このような状態で、顧客トレー内に収
容された素子を吸着移送してテストトレーの空間部内に
位置決定しようとする場合には、移送板２６をガイドレ
ール２５に沿って移送させて顧客トレーに形成された空
間部の１列と一致する地点で停止させる。
【００３５】この後、従来の装置と同様に、移送板２６
に固定されたシリンダ３１の駆動によって昇降板３０が
下降されると、前記昇降板３０に設けられたピックアッ
プ手段Ｐのピックアップ１０が顧客トレーの空間部に位
置した素子の上面に接触される。この際、前記ピックア
ップ１０に真空圧を作用させることにより、顧客トレー
に収容されていた１列の素子が吸着される。上記の動作
によりピックアップ１０に素子が吸着されると、前述と
は反対動作により昇降板３０が初期状態のように上昇さ
れるとともに、移送板２６がガイドレール２５に沿って
位置決定ブロック側に向かって移動される。
に固定されたシリンダ３１の駆動によって昇降板３０が
下降されると、前記昇降板３０に設けられたピックアッ
プ手段Ｐのピックアップ１０が顧客トレーの空間部に位
置した素子の上面に接触される。この際、前記ピックア
ップ１０に真空圧を作用させることにより、顧客トレー
に収容されていた１列の素子が吸着される。上記の動作
によりピックアップ１０に素子が吸着されると、前述と
は反対動作により昇降板３０が初期状態のように上昇さ
れるとともに、移送板２６がガイドレール２５に沿って
位置決定ブロック側に向かって移動される。
【００３６】前記移送板２６が位置決定ブロック側に移
送される過程において、駆動手段である回転シリンダ３
４が駆動されてカム軸３２が回転されるか、又は駆動手
段であるシリンダ４１が駆動されてカム板４０が引き寄
せられると、一定の角度が維持されるように形成された
カム溝３６の位置が可変する。すなわち、前記カム溝３
６内にはめ込まれたベアリング３８またはボール３９の
位置が可変するため、ピックアップブロック５が互いに
広げられるようになる。これにより、前記ピックアップ
ブロック５の底面に吊り下げられたピックアップ１０の
間隙が、図１４に示すように広げられるため、前記ピッ
クアップ１０に吸着された素子の間隙が位置決定ブロッ
クに形成された空間部の間隙と一致するようになる。
送される過程において、駆動手段である回転シリンダ３
４が駆動されてカム軸３２が回転されるか、又は駆動手
段であるシリンダ４１が駆動されてカム板４０が引き寄
せられると、一定の角度が維持されるように形成された
カム溝３６の位置が可変する。すなわち、前記カム溝３
６内にはめ込まれたベアリング３８またはボール３９の
位置が可変するため、ピックアップブロック５が互いに
広げられるようになる。これにより、前記ピックアップ
ブロック５の底面に吊り下げられたピックアップ１０の
間隙が、図１４に示すように広げられるため、前記ピッ
クアップ１０に吸着された素子の間隙が位置決定ブロッ
クに形成された空間部の間隙と一致するようになる。
【００３７】上記したような動作時に、ピックアップブ
ロック５の上部に結合されたベアリング３８又はボール
３９が、回転しながらカム溝３６に沿って左右移動する
ため、カム溝３６の磨耗が最小化される。これにより、
ピックアップ１０の間隙が常に一定に維持される。
ロック５の上部に結合されたベアリング３８又はボール
３９が、回転しながらカム溝３６に沿って左右移動する
ため、カム溝３６の磨耗が最小化される。これにより、
ピックアップ１０の間隙が常に一定に維持される。
【００３８】すなわち、ピックアップ１０が、テストト
レーに形成された空間部のピッチと同じに広げられた状
態で位置決定ブロック側に移動して、昇降板３０が下死
点に位置した状態でピックアップ１０に作用していた真
空圧が解除されると、ピックアップ１０に吸着されてい
た素子が自重により位置決定ブロックの空間部内に正確
に位置決定される。これにより、素子のローディング作
業が完了する。
レーに形成された空間部のピッチと同じに広げられた状
態で位置決定ブロック側に移動して、昇降板３０が下死
点に位置した状態でピックアップ１０に作用していた真
空圧が解除されると、ピックアップ１０に吸着されてい
た素子が自重により位置決定ブロックの空間部内に正確
に位置決定される。これにより、素子のローディング作
業が完了する。
【００３９】一方、テストトレーの空間部内に収容され
ていた素子を吸着してテスト結果に基づいて分類した
後、顧客トレー内に移送させる場合には、ピックアップ
１０の吊り下げられたピックアップブロック５が互いに
広げられた状態でテストトレー側に移動してテスト完了
の素子の上面を吸着する。続いて、ピックアップブロッ
ク５の間隙を狭めた後、顧客トレー側に移送させる。す
なわち、前述とは逆順に行われる。これに対する具体的
な説明は省略する。
ていた素子を吸着してテスト結果に基づいて分類した
後、顧客トレー内に移送させる場合には、ピックアップ
１０の吊り下げられたピックアップブロック５が互いに
広げられた状態でテストトレー側に移動してテスト完了
の素子の上面を吸着する。続いて、ピックアップブロッ
ク５の間隙を狭めた後、顧客トレー側に移送させる。す
なわち、前述とは逆順に行われる。これに対する具体的
な説明は省略する。
【００４０】以上説明したように、本実施形態は以下の
ような利点がある。 （１）リンク方式を使用せず、カム溝３６の形成された
カム軸３２或いはカム板４０を用いてピックアップ１０
の吊り下げられたピックアップブロック５の間隙を調節
するため、構造が簡単で、加工及び組立による累積誤差
が全然発生せず、ピックアップ１０間の間隙を必要に応
じて速い時間内に正確に調節可能である。しかも、騒音
を小さくできる。
ような利点がある。 （１）リンク方式を使用せず、カム溝３６の形成された
カム軸３２或いはカム板４０を用いてピックアップ１０
の吊り下げられたピックアップブロック５の間隙を調節
するため、構造が簡単で、加工及び組立による累積誤差
が全然発生せず、ピックアップ１０間の間隙を必要に応
じて速い時間内に正確に調節可能である。しかも、騒音
を小さくできる。
【００４１】（２）カム軸３２又はカム板４０に形成さ
れたカム溝３６内に、ピックアップブロック５に結合さ
れたベアリング３８又はボール３９がはめ込まれること
で組み立てが完了するため、組立が簡単で生産性が向上
する。
れたカム溝３６内に、ピックアップブロック５に結合さ
れたベアリング３８又はボール３９がはめ込まれること
で組み立てが完了するため、組立が簡単で生産性が向上
する。
【００４２】（３）装置の構造が簡単であり、且つ部品
の故障発生可能性が著しく減少するため、寿命が半永久
的である。 （４）ベアリング３８又はボール３９の磨耗による部品
の交替作業が容易であるため、部品交替にかかる時間が
最小化できる。このため、装置の稼働率が向上する。
の故障発生可能性が著しく減少するため、寿命が半永久
的である。 （４）ベアリング３８又はボール３９の磨耗による部品
の交替作業が容易であるため、部品交替にかかる時間が
最小化できる。このため、装置の稼働率が向上する。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は以下のよ
うな利点がある。リンク方式を使用せず、カム溝の形成
されたカム軸或いはカム板を用いてピックアップ手段の
間隙を調節するため、構造が簡単で、加工及び組立によ
る累積誤差が全然発生せず、ピックアップ手段の間隙を
必要に応じて速い時間内に正確に調節可能である。
うな利点がある。リンク方式を使用せず、カム溝の形成
されたカム軸或いはカム板を用いてピックアップ手段の
間隙を調節するため、構造が簡単で、加工及び組立によ
る累積誤差が全然発生せず、ピックアップ手段の間隙を
必要に応じて速い時間内に正確に調節可能である。
【００４４】カム軸又はカム板に形成されたカム溝内
に、ピックアップ手段に結合されたベアリング又はボー
ルがはめ込まれることで組み立てが完了するため、組立
が簡単で生産性が向上する。
に、ピックアップ手段に結合されたベアリング又はボー
ルがはめ込まれることで組み立てが完了するため、組立
が簡単で生産性が向上する。
【００４５】装置の構造が簡単であり、且つ部品の故障
発生可能性が著しく減少するため、寿命が半永久的であ
る。ベアリング又はボールの磨耗による部品の交替作業
が容易であるため、部品交替にかかる時間が最小化でき
る。このため、装置の稼働率が向上する。
発生可能性が著しく減少するため、寿命が半永久的であ
る。ベアリング又はボールの磨耗による部品の交替作業
が容易であるため、部品交替にかかる時間が最小化でき
る。このため、装置の稼働率が向上する。
【図１】従来の装置の一部を切欠いて示す縦断面図。
【図２】図１の装置の一部を切欠いて示す側面図。
【図３】スライダーが内側に引っ込まれている状態を示
す平面図。
す平面図。
【図４】第３シリンダの駆動によりスライダーが広げら
れている状態を示す平面図。
れている状態を示す平面図。
【図５】他の従来の装置におけるリンクを示す斜視図。
【図６】図５のリンクが内側に引っ込まれた状態を示す
平面図及び縦断面図。
平面図及び縦断面図。
【図７】図５のリンクが伸ばされた状態を示す平面図及
び縦断面図。
び縦断面図。
【図８】本発明の一実施形態における装置を示す斜視
図。
図。
【図９】図８の装置に設けられたカム軸を示す斜視図。
【図１０】図９のカム軸に形成されたカム溝の形態を示
す展開図。
す展開図。
【図１１】カム溝にベアリングがはめ込まれた状態を示
す一部破断正面図。
す一部破断正面図。
【図１２】カム溝の他の実施形態を示す部分断面図。
【図１３】図８の装置においてピックアップ手段が引っ
込まれた状態を示す部分正面図。
込まれた状態を示す部分正面図。
【図１４】図８の装置においてピックアップ手段が広げ
られた状態を示す部分正面図。
られた状態を示す部分正面図。
【図１５】図８の装置の一部破断側面図。
【図１６】本発明の他の実施形態であり、カム板を備え
た装置を示す斜視図。
た装置を示す斜視図。
２５…ガイドレール、２６…移送板、２８…取付板、３
０…昇降板、３２…カム軸、３６…カム溝、３７ａ，３
７ｂ…安着溝、３４…駆動手段としての回転シリンダ、
Ｐ…ピックアップ手段（ピックアップブロック５及びピ
ックアップ１０を含む）、３８…ベアリング、３９…ボ
ール、４０…カム板、４２…ガイド手段としてのガイド
部材、４１…駆動手段としてのシリンダ。
０…昇降板、３２…カム軸、３６…カム溝、３７ａ，３
７ｂ…安着溝、３４…駆動手段としての回転シリンダ、
Ｐ…ピックアップ手段（ピックアップブロック５及びピ
ックアップ１０を含む）、３８…ベアリング、３９…ボ
ール、４０…カム板、４２…ガイド手段としてのガイド
部材、４１…駆動手段としてのシリンダ。
Claims (16)
- 【請求項１】 ガイドレールに沿って水平移動可能に設
けられた移送板と、 前記移送板に固定された取付板と、 前記取付板に昇降動可能に設けられた昇降板と、 前記昇降板に回転可能に設けられ、外周面上には複数の
カム溝が放射状に形成されたカム軸と、 前記カム軸を回転させる駆動手段と、 前記カム溝にその上部が嵌め込まれた状態で水平移動可
能に設けられた複数個のピックアップ手段とを備える、
半導体素子検査機の素子間隙調節装置。 - 【請求項２】 カム軸に複数個のカム溝が対称的に形成
される、請求項１記載の半導体素子検査機の素子間隙調
節装置。 - 【請求項３】 カム軸に形成されたカム溝の断面形状が
「凵」状である、請求項１記載の半導体素子検査機の素
子間隙調節装置。 - 【請求項４】 ピックアップ手段の上部にベアリングが
結合され、前記ベアリングがカム溝内にはめ込まれる、
請求項３記載の半導体素子検査機の素子間隙調節装置。 - 【請求項５】 カム軸に形成されたカム溝の断面形状が
「Ｕ」状である、請求項１記載の半導体素子検査機の素
子間隙調節装置。 - 【請求項６】 ピックアップ手段の上部にボールが結合
され、前記ボールがカム溝内にはめ込まれる、請求項５
記載の半導体素子検査機の素子間隙調節装置。 - 【請求項７】 カム溝の両端にカム溝と連通されるよう
に安着溝が形成される、請求項１記載の半導体素子検査
機の素子間隙調節装置。 - 【請求項８】 駆動手段が回転シリンダである、請求項
１記載の半導体素子検査機の素子間隙調節装置。 - 【請求項９】 ガイドレールに沿って水平移動可能に設
けられた移送板と、 前記移送板に固定された取付板と、 前記取付板に昇降動可能に設けられた昇降板と、 前記昇降板に進退可能に設けられ、底面には複数のカム
溝が放射状に形成されたカム板と、 前記カム板の進退運動を案内するガイド手段と、 前記カム板の一側に固設され、カム板を進退させる駆動
手段と、 前記カム溝に上部がはめ込まれた状態で水平移動可能に
設けられた複数個のピックアップ手段とを備える、半導
体素子検査機の素子間隙調節装置 - 【請求項１０】 カム板に複数のカム溝が対称的に形成
される、請求項９記載の半導体素子検査機の素子間隙調
節装置。 - 【請求項１１】 カム板に形成されたカム溝の断面形状
が「凵」状である、請求項９記載の半導体素子検査機の
素子間隙調節装置。 - 【請求項１２】 ピックアップ手段の上部にベアリング
が結合され、前記ベアリングがカム溝内にはめ込まれ
る、請求項１１記載の半導体素子検査機の素子間隙調節
装置。 - 【請求項１３】 カム板に形成されたカム溝の断面形状
が「Ｕ」状である、請求項９記載の半導体素子検査機の
素子間隙調節装置。 - 【請求項１４】 ピックアップ手段の上部にボールが結
合され、前記ボールがカム溝内にはめ込まれる、請求項
１３記載の半導体素子検査機の素子間隙調節装置。 - 【請求項１５】 カム溝の両端にカム溝と連通されるよ
うに安着溝が形成される、請求項９記載の半導体素子検
査機の素子間隙調節装置。 - 【請求項１６】 駆動手段がシリンダである、請求項９
記載の半導体素子検査機の素子間隙調節装置。
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