JP3191096B2 - モジュールic用のハンドラーのモジュールic保持装置 - Google Patents

モジュールic用のハンドラーのモジュールic保持装置

Info

Publication number
JP3191096B2
JP3191096B2 JP19790898A JP19790898A JP3191096B2 JP 3191096 B2 JP3191096 B2 JP 3191096B2 JP 19790898 A JP19790898 A JP 19790898A JP 19790898 A JP19790898 A JP 19790898A JP 3191096 B2 JP3191096 B2 JP 3191096B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
module
slider
pair
cylinder
handler
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP19790898A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH11198083A (ja
Inventor
サン ス リ
Original Assignee
ミラエ コーポレーション
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ミラエ コーポレーション filed Critical ミラエ コーポレーション
Publication of JPH11198083A publication Critical patent/JPH11198083A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3191096B2 publication Critical patent/JP3191096B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S294/00Handling: hand and hoist-line implements
    • Y10S294/907Sensor controlled device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、モジュールICの
性能を検査するハンドラー(handler)に関し、
より詳細には、カセット内に内蔵されたモジュールIC
をテスト用のソケットへローディングしたり、テスト完
了したソケットのモジュールICを空きカセット内へア
ンローディングしたりするのに際してモジュールICを
保持するモジュールIC用のハンドラーのモジュールI
C保持(holding)装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、モジュールICとは、基板の一
側面或いは両側面に複数個のIC及び部品を半田づけし
て独立的に回路を構成し、メーン基板に実装して容量又
は機能を拡張させるものである。この類のモジュールI
CはICをバラで売るのに比べて高付加価値を有するの
で、IC生産業界では主力商品として開発・販売してい
る。製造工程を経て組立生産したモジュールICでは製
品の信頼度が非常に大切なので、厳しい品質検査を経て
良品と判定された製品のみを出荷し、不良と判定された
モジュールICは修正又は全量廃棄処分する。
【0003】従来では、生産完了したモジュールICを
ソケット内にローディングしてテストを施した後、テス
ト結果に基づいて自動分類してカセット内へアンローデ
ィングするための装備が開発されていなかった。このた
め、作業者が、手作業によりカセットからモジュールI
Cを1つずつ取り出してソケット内へローディングさせ
た後、テストを施した後、テスト結果に基づいてこれを
分類してアンローディングカセット内へアンローディン
グさせた。従って、モジュールICのテストによる作業
能率が低く生産性が低かった。そこで、生産完了されて
カセットに内蔵されたモジュールICをピックアップ手
段により保持(holding)した後、ソケット内に
自動でローディングしてテストした後、テスト結果に基
づいて空きカセット内に自動分類してアンローディング
するためのハンドラーが本出願人により開発されたこと
がある(韓国特許出願公開番号第97−072236
号、韓国特許出願公開番号第97−072275号、及
び韓国実用新案登録出願公開番号第97−059865
号)。
【0004】図1は本出願人により出願された韓国特許
出願公開番号第97−072275号に示すモジュール
IC用のハンドラーのローディング部を示す正面図であ
り、図2は図1の側面図である。ロボット軸1には移送
体2が昇降可能に結合されており、前記移送体には昇降
片3が昇降可能に結合されている。前記昇降片の下部両
側には、カセット又はソケット(図示せず)内のモジュ
ールIC4をピックアップする少なくとも1つ以上のモ
ジュールICピックアップ手段が昇降可能に配設されて
いる。
【0005】前記モジュールICピックアップ手段の構
成を以下に説明する。昇降片3の下部に、少なくとも1
つ以上の昇降ブロック5が昇降可能に設けられている。
そして、前記昇降片3と昇降ブロック5との間には昇降
ブロック5を動作させるための第1シリンダ6が配設さ
れている。前記第1シリンダ6の駆動によって昇降ブロ
ック5が所定のストロークだけ上下動するようになる。
【0006】このように構成された昇降ブロック5には
ソケット又はカセット内のモジュールICを保持(ho
lding)する保持装置が備わっている。従来の保持
装置を図3及び図4を参照して説明する。昇降ブロック
5の両側端にはそれぞれ第2シリンダ7、つまり水平運
動用のシリンダが固定されている。そして、前記第2シ
リンダのロード7aには第2シリンダの駆動によって進
退運動するスライダ8が固定されており、前記各スライ
ダにはモジュールICの基板4aの両側面を保持(ho
lding)するフィンガー9が対向して固定されてい
る。又、一側のフィンガー9にはモジュールICの保持
の有無を判断して第2シリンダ7を駆動させる接触式セ
ンサ10が配設されている。
【0007】図4、図5にはフィンガー9を駆動させる
第2シリンダ7を更に具体的に示している。前記ロード
7aに固定されたスライダ8の運動に際して安定的に運
動可能なようにスライダ8の両側面に‘V’字状の溝8
aが形成されており、第2シリンダ7には前記スライダ
に形成された‘V’字状の溝に対応する‘V’字状の溝
7bが形成されている。更に、前記‘V’字状の溝の間
にはスライダ8の進退運動時に接触による摩擦抵抗を最
小化するためのローラーベアリング11が挟まれてい
る。上記構造の第2シリンダ7は、スライダ8の組立の
ために本体12と蓋13とに分割形成され、スクリュー
14により一体化される。
【0008】次に、従来の保持装置の作動について説明
する。保持装置がモジュールICを保持してないときに
は、第1シリンダ6の駆動によって上下動する昇降ブロ
ック5は上死点に位置し、第2シリンダ7の駆動によっ
て水平運動するフィンガー9はモジュールICつまり基
板の幅よりも広く両側に開かれている。又、多数個のモ
ジュールIC4をハンドリングすることができるように
昇降ブロック5が複数個配設されているハンドラーの場
合には、図2に示すように、図面上の右側に位置する昇
降ブロック5はカセット内に狭い間隙に内蔵されたテス
ト前のモジュールICを保持可能なように狭い間隙を維
持しており、左側に位置する昇降ブロック5はテストソ
ケット内の広い間隙にローディングされていたモジュー
ルICを保持可能なように広い間隙を維持している。
【0009】一方、モジュールICを保持するべく第1
シリンダ6が駆動して昇降ブロック5が下降すると、フ
ィンガー9は開かれた状態のままモジュールIC4の両
側に位置するようになる。このように、フィンガー9が
モジュールIC4の基板の両側に位置した状態で、空気
圧ホース15を介して供給された圧縮空気によって昇降
ブロック5に配設された第2シリンダ7が動作すると、
両側に開かれていたフィンガー9が互いに内側に向かっ
て狭まってモジュールICの両側面を保持するようにな
る。
【0010】上述したように、昇降ブロック5が第1シ
リンダ6の駆動によって下降したとき、フィンガー9の
一側面に配設された接触式センサ10がモジュールIC
に当接してモジュールICを感知した場合にのみ該当昇
降ブロックに設置された第2シリンダ7が駆動してモジ
ュールICを保持し、接触式センサ10がモジュールI
Cを感知しなかった昇降ブロックの第2シリンダは駆動
しない。このように、各昇降ブロック5が下降してカセ
ット或いはソケット内のモジュールICを保持した後に
は、第1シリンダ6が再動作して下降していた昇降ブロ
ック5を上昇させるようになる。これにより、モジュー
ルICのピックアップが完了する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる従来の
装置は以下のような問題点があった。 スライダ8の底面にフィンガー9の上面を密着して互
いに組み立てるようになっている。このため、組立に関
る基準面が無いため、加工精密度が落ちる場合にフィン
ガーが一側に傾くようになって、モジュールICの定位
置を保持(holding)しない場合がしばしば発生
する。 第2シリンダ7の本体12を熱処理する場合、加工さ
れた部分が熱変形を起こすため、通常、第2シリンダの
本体12は熱処理せずに蓋13のみを熱処理する。この
ため、保持装置を長時間にわたって使用するとき、熱処
理しない第2シリンダ7の本体12が、スライダの運動
によるローラーベアリング11との摩擦によりかなり磨
耗される。このため、第2シリンダの動作不安に起因し
て、保持されたモジュールICが工程の途中でフィンガ
ー9から落ちるエラーが発生することがある。 保持するモジュールICの有無を感知するセンサ10
が接触式なので、長時間にわたって使用する際に磨耗に
起因してモジュールIC4を感知できない場合がある。
このときには、フィンガー9の間にモジュールIC4が
位置していてもモジュールICを保持しなくなる。 第2シリンダ7が複動式なので、各シリンダ毎に比較
的に長い空気圧ホースが2本ずつ連結される。このた
め、空気圧ホースの干渉により昇降ブロック5及び第2
シリンダ7の動作が拘束される場合が発生する。
【0012】本発明は従来の問題点を解決するためにな
されたものであり、その目的とするところは、フィンガ
ーがモジュールICを安全且つ正確に保持することがで
きるモジュールIC用のハンドラーのモジュールIC保
持装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、一定のストロークで上下動し、両
端部と中央隔壁を有する昇降ブロックと、前記昇降ブロ
ックの両端部と中央隔壁に水平に結合されるガイド軸
と、前記昇降ブロックの両端部にそれぞれ一体的に形成
される一対の水平運動用のシリンダと、前記ガイド軸に
結合され、前記シリンダの作動によって相互反対に水平
運動する一対のスライダと、前記一対のスライダと隔壁
との間に設けられ、一対のスライの接近時圧縮された
後、シリンダのオフ時に前記スライを復帰させる弾性
部材と、前記一対のスライにそれぞれ結合されて共に
移動する一対のフィンガーと、前記昇降ブロックの隔壁
下端部にモジュールICの接触の有無に基づいて上下昇
降移動するように設けられるプッシャと、前記昇降ブロ
ックの両端に設けられ、前記プッシャの上下移動によっ
て動作するフォトセンサとを含み、前記昇降ブロックの
中央隔壁には前記プッシャが配設された凹部及び光が通
過する切欠溝がそれぞれ形成され、前記昇降ブロックの
両側端部には前記中央隔壁の切欠溝と同一軸線上に位置
するセンサ孔が形成され、前記スライ段部の前方に
は、前記スライとフィンガーとの組立時、前記中央隔
壁に形成された切欠溝及び昇降ブロック両側端部のセン
サ孔と同一軸線上に位置する隙間が形成されるようにモ
ジュールIC用ハンドラーのモジュールIC保持装置を
構成する。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明によるモジュールI
C用のハンドラーのモジュールIC保持装置の好適な実
施形態を図6乃至図8を参照して説明する。本発明の構
成の中で従来の構成と同じ部分は同一符号を付与し、そ
の説明は省略する。昇降ブロック16には両端部16
a、16b、中央の隔壁22が形成され、前記両端部1
6a、16bと隔壁22との間にはそれぞれ空間部18
が形成される。昇降ブロック16の両端部16a、16
bには水平運動用のシリンダである第2シリンダ17が
一体的に形成されており、前記昇降ブロックの空間部1
8には第2シリンダ17の動作によって連動されるスラ
イダ19が一対のガイド軸20に案内されて水平運動す
るように設置されている。
【0015】前記第2シリンダ17には複動式を用いて
もよいが、単動式を用いるのが更に好ましい。なぜなら
ば、単動式の場合、昇降ブロック16に空気圧ホース1
5を1本のみ連結すればよいので、動作時に前記空気圧
ホース15による干渉を最小化できるからである。この
ように、第2シリンダ17を単動式とするためには、圧
縮空気の未作用時に前記スライダ19を復元させるため
の圧縮スプリング等の弾性部材21を、スライダ19の
一側面にそれぞれ設置しなければならない。前記弾性部
材21をスライダ19の一側面に設けるために、スライ
ダに弾性部材挿入孔19aを形成する。前記挿入孔内に
挿入された弾性部材21は隔壁22に密着されるように
構成されている。前記スライダ19の運動を案内するガ
イド軸20は、昇降ブロック16に形成された締付け溝
23内に挿入され、スクリュー24により固定される。
【0016】そして、図7に示すように、前記スライダ
19とガイド軸20との間には、スライダ19の進退運
動が円滑に行われるようにボールブッシュ25が挿入さ
れている。前記第2シリンダ17の駆動によって運動す
るスライダ19の下部にはモジュールIC4を保持する
フィンガー4が締付け部材26により固定されている。
この際、前記スライダ19の下部の一側に段部19bを
形成し、フィンガー9には前記段部に接続される結合片
9aを形成し、前記フィンガー9の基準面9bがスライ
ダ19の底面に密着されるように構成されている。これ
は、スライダ19にフィンガー9を組み立てる際、基準
面を設定して組立不良に起因するモジュールIC4の保
持不良を未然に防ぐためである。
【0017】一方、本発明では、フィンガー9がモジュ
ールIC4を保持すべきか否かに基づいて第2シリンダ
17の動作を制御するための感知手段を備えている。前
記感知手段を図6及び図9により説明する。昇降ブロッ
ク16の隔壁22には凹部22aが形成され、前記凹部
にはプッシャ27が昇降可能に設けられ、前記昇降ブロ
ックの両端にはフォトセンサ30が設けられる。更に、
同一の高さ、つまり前記プッシャ27が下死点に位置し
た状態で前記プッシャ27の上部に該当する高さ線上に
は、前記フォトセンサ30からの光が通過し得るように
切欠溝22b、センサ孔29、及び隙間28が形成され
る。詳細に説明すると、昇降ブロックの隔壁22には切
欠溝22bが形成され、両端部16a、16bにはセン
サ孔が形成され、前記スライダ19には隙間28が形成
される。そして、昇降ブロック16に形成されたセンサ
孔29にフォトセンサ30が設けられる。
【0018】前記プッシャ27には垂直な方向に長孔2
7aが形成されており、前記長孔には隔壁22を介して
長孔の幅よりも小直径のスクリュー31が緩く結合され
ている。よって、前記プッシャ27に外力が作用しない
ときには、前記プッシャが自重により常に下死点に位置
するようになる。
【0019】このように構成された本発明の実施形態の
作用を図7および図8を参照して説明する。まず、昇降
ブロック16が上死点に位置した状態では、図7に示す
ように、第2シリンダ17内に圧縮空気が作用しないた
め、一対のスライダ19は弾性部材21の復元力により
両側に開かれている。そして、モジュールIC4を感知
するプッシャ27は自重により下死点に位置している。
すなわち、フィンガー9がカセット内のモジュールIC
4を保持できるようにモジュールIC4の幅よりも広い
間隙を維持するようになる。
【0020】かかる状態でカセット内のモジュールIC
4を保持するために、第1シリンダ(図示せず)が駆動
して昇降ブロック16が下降する。この際、一対のフィ
ンガー9はカセットに位置したモジュールIC4を保持
できるように開かれている状態のままである(図7参
照)。昇降ブロック16が下降するに従って下死点に位
置していたプッシャ27の底面がモジュールIC4の上
面に当接するようになり、昇降ブロック16が下降し続
けるに従ってプッシャ27が上昇するようになる。結
局、昇降ブロックが完全に下降すると、プッシャ27の
上部が切欠溝22bを塞ぐようになり、このためフォト
センサ30の発光部からの光を受光部で受光できなくな
る。すなわち、フォトセンサにより、モジュールIC4
を保持可能な状態であることをコントロール部(図示せ
ず)に知らせることになる。
【0021】前記フォトセンサ30によりモジュールI
C4の保持可能状態が認知されると、第2シリンダ17
に圧縮空気が供給される。すると、第2シリンダ17の
ロード17aがそれぞれスライダを押すようになり、前
記スライダが弾性部材21を圧縮させながらガイド軸2
0に沿って互いに内側に向かって移動するようになる。
これにより、開かれていたフィンガー9が、図7に示す
ように互いに近づきながらモジュールIC4の両側面を
保持するようになる。このように、各昇降ブロック16
が下降してカセット内のモジュールIC4を保持した後
には、第1シリンダが切り換えられて下降していた昇降
ブロック16を上死点まで上昇させるようになる。これ
により、カセット内のモジュールICのピックアップが
完了する。
【0022】しかるのちに、モジュールICを保持した
昇降ブロック16は、従来と同様に移送体によりロボッ
ト軸に沿ってテストソケットの上部に移動する。前記移
送体がソケットの上部に移動完了すると、前述したよう
に第1シリンダが駆動して昇降ブロックを下死点まで下
降させる。そして、昇降ブロック16が下死点に位置し
ているのが別途のセンサ(図示せず)により感知される
と、第2シリンダ17に供給される圧縮空気の供給が中
断される。これにより、内側に狭まっていたスライダ1
6が弾性部材21の復元力によって初期状態に戻り、フ
ィンガー9の間に保持されていたモジュールIC4がソ
ケットにローディングされる。
【0023】上述した動作は、カセットのモジュールI
Cをテストソケットにローディングする過程を説明した
ものである。テスト完了したモジュールICをテストソ
ケットから別のカセット、つまりアンローディング用の
カセットへアンローディングする過程も上述した過程と
同一である。以上のように、生産完了されてカセット内
に内蔵されていた1つのモジュールIC4を1つの昇降
ブロック16によりソケット内へローディングしたり、
ソケットにローディングしてテスト完了したモジュール
ICをテスト結果に基づいて空きカセットにアンローデ
ィングしたりする過程を順次に説明したが、ハンドラー
が稼働される間に連続的に動作されることは明らかであ
る。
【0024】
【発明の効果】上述したように、本発明は従来の装置に
比べて以下のような利点を有する。 スライダの下部一側に段部を形成し、フィンガーには
前記段部に接続される結合片を形成し、前記フィンガー
の基準面がスライダの底面に密着されるようにしてフィ
ンガーとスライダ19とを組み立てるため、フィンガー
の組立精度が向上する。 水平運動用のシリンダ、つまり第2シリンダ17が昇
降ブロックに一体的に形成されるので、組立による組立
公差を最小化することができる。よって、精密制御が可
能である。 スライダ19の往復運動時に、ボールブッシュ25に
より摩擦面での磨耗程度が最小化される。 単動式シリンダを用いるなら、各第2シリンダ17に
空気圧ホース15を1本ずつのみ連結するだけでよい。
このため、圧縮空気ホースの長さが最小化され、フィン
ガー9の動作時に空気圧ホース15により昇降ブロック
16及び第2シリンダ17が拘束される現象を未然に防
ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のモジュールIC用のハンドラーのローデ
ィング部を示す正面図。
【図2】図1の側面図。
【図3】従来のモジュールIC用のハンドラーの保持装
置を示す斜視図。
【図4】従来のモジュールIC用のハンドラーの保持装
置において、第2シリンダとスライダとの結合状態を示
す背面図。
【図5】図4の左側面図。
【図6】本発明によるモジュールIC用のハンドラーの
モジュールIC保持装置を示す分解斜視図。
【図7】本発明によるモジュールIC用のハンドラーの
モジュールIC保持装置を示す断面図でフィンガーがモ
ジュールICを保持する前の状態を示す図。
【図8】フィンガーがモジュールICを保持した状態を
示す図。
【図9】図7のI−I線上の断面図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B25J 15/00 - 15/08 H05K 13/04

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一定のストロークで上下動し、両端部と
    中央隔壁を有する昇降ブロックと、 前記昇降ブロックの両端部と中央隔壁に水平に結合され
    るガイド軸と、 前記昇降ブロックの両端部にそれぞれ一体的に形成され
    る一対の水平運動用のシリンダと、 前記ガイド軸に結合され、前記シリンダの作動によって
    相互反対に水平運動する一対のスライダと、 前記一対のスライダと隔壁との間に設けられ、一対のス
    ライダの接近時圧縮された後、シリンダのオフ時に前記
    スライを復帰させる弾性部材と、 前記一対のスライダにそれぞれ結合されて共に移動する
    一対のフィンガーと、 前記昇降ブロックの隔壁下端部にモジュールICの接触
    の有無に基づいて上下昇降移動するように設けられるプ
    ッシャと、 前記昇降ブロックの両端に設けられ、前記プッシャの上
    下移動によって動作するフォトセンサとを含み、 前記昇降ブロックの中央隔壁には前記プッシャが配設さ
    れた凹部及び光が通過する切欠溝がそれぞれ形成され、 前記昇降ブロックの両側端部には前記中央隔壁の切欠溝
    と同一軸線上に位置するセンサ孔が形成され、 前記スライダの段部の前方には、前記スライとフィン
    ガーとの組立時、前記中央隔壁に形成された切欠溝及び
    昇降ブロック両側端部のセンサ孔と同一軸線上に位置す
    る隙間が形成されることを特徴とするモジュールIC用
    ハンドラーのモジュールIC保持装置。
  2. 【請求項2】 前記一対の水平運動用のシリンダは単動
    式シリンダであることを特徴とする請求項1記載のモジ
    ュールIC用のハンドラーのモジュールIC保持装置。
  3. 【請求項3】 前記スライダと前記ガイド軸との間にボ
    ールブッシュが挿入されることを特徴とする請求項1記
    載のモジュールIC用のハンドラーのモジュールIC保
    持装置。
  4. 【請求項4】 前記スライダの下部の一側には段部が形
    成され、フィンガーには前記段部に接続される結合片が
    形成され、前記フィンガーの基準面がスライダの底面に
    密着されるように構成されることを特徴とする請求項1
    記載のモジュールIC用のハンドラーのモジュールIC
    保持装置。
JP19790898A 1997-12-27 1998-07-14 モジュールic用のハンドラーのモジュールic保持装置 Expired - Fee Related JP3191096B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR75448/1997 1997-12-27
KR1019970075448A KR100251625B1 (ko) 1997-12-27 1997-12-27 모듈아이씨(ic)용핸들러의모듈ic홀딩장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11198083A JPH11198083A (ja) 1999-07-27
JP3191096B2 true JP3191096B2 (ja) 2001-07-23

Family

ID=19529006

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19790898A Expired - Fee Related JP3191096B2 (ja) 1997-12-27 1998-07-14 モジュールic用のハンドラーのモジュールic保持装置

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6089635A (ja)
JP (1) JP3191096B2 (ja)
KR (1) KR100251625B1 (ja)
DE (1) DE19836557B4 (ja)
IT (1) IT1305347B1 (ja)
SG (1) SG92620A1 (ja)
TW (1) TW389978B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102649842B1 (ko) * 2017-11-01 2024-03-21 스미토모 세이카 가부시키가이샤 플렉시블 컨테이너

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19956981B4 (de) * 1998-11-28 2005-07-21 Mirae Corp., Chunan Handhabungsvorrichtung für eine Prüfung von IC-Bausteinen
KR200212474Y1 (ko) * 1999-02-02 2001-02-15 정문술 모듈 아이씨 핸들러 픽킹장치의 그립퍼
US6353466B1 (en) * 1999-04-23 2002-03-05 De & T Co., Ltd. Apparatus for testing an LCD
NL1017656C2 (nl) * 2001-03-20 2002-09-23 Rentec B V Inrichting en werkwijze voor het testen van circuit modules.
US6976822B2 (en) * 2002-07-16 2005-12-20 Semitool, Inc. End-effectors and transfer devices for handling microelectronic workpieces
KR100588234B1 (ko) * 2005-01-24 2006-06-09 주식회사 프로텍 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러
DE102007062376A1 (de) * 2007-12-22 2009-06-25 Dietz-Automotive Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Montage einer Baugruppe
CN102794770B (zh) * 2012-08-20 2015-04-29 重庆市电力公司电力科学研究院 一种用于电能表检定的机械手
US10018238B2 (en) 2013-11-01 2018-07-10 Sabanci University Variable negative stiffness actuation
JP6457245B2 (ja) * 2014-11-11 2019-01-23 Juki株式会社 電子部品実装装置
JP6351486B2 (ja) * 2014-11-11 2018-07-04 Juki株式会社 電子部品搬送ノズル及びこれを有する電子部品実装装置
CN106505414B (zh) * 2016-11-02 2018-08-14 安徽天顺电气有限公司 一种配电柜母线自动夹持输送装置
CN107444901A (zh) * 2017-07-26 2017-12-08 广州瑞松智能科技股份有限公司 备料及转移装置
CN107381449B (zh) * 2017-08-31 2024-01-09 湖南匡楚科技有限公司 共享单车用定位抓取整理装置
US10800045B1 (en) 2017-10-31 2020-10-13 Amazon Technologies, Inc. Finger assembly having a spring-biased talon
US10654176B2 (en) * 2017-10-31 2020-05-19 Amazon Technologies, Inc. Finger assembly having a talon and barrel cam actuation
US10702994B1 (en) 2017-10-31 2020-07-07 Amazon Technologies, Inc. Finger assembly having a talon and spin paddle actuation
CN111731829A (zh) * 2020-06-30 2020-10-02 苏州天准科技股份有限公司 全自动上料装置
CN116175632B (zh) * 2023-04-23 2023-07-11 微网优联科技(成都)有限公司 一种pcba板上电检测用抓取装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59353B2 (ja) * 1980-07-24 1984-01-06 ファナック株式会社 把持装置
SU1024271A1 (ru) * 1982-03-16 1983-06-23 Запорожский Ордена Октябрьской Революции И Ордена Трудового Красного Знамени Автомобильный Завод "Коммунар" Схват робота
US4591198A (en) * 1984-02-16 1986-05-27 Monforte Robotics, Inc. Robotic end effectors
US4611846A (en) * 1984-10-23 1986-09-16 Amp Incorporated Gripper head
DD235219B1 (de) * 1985-03-19 1989-06-21 Werkzeugmaschinenbau Fz Greifwerkzeug fuer einen montageroboter
JPS61184684U (ja) * 1986-04-16 1986-11-18
JPS63136698A (ja) * 1986-11-28 1988-06-08 シャープ株式会社 部品装着装置
US4866824A (en) * 1986-12-04 1989-09-19 Micro Component Technology, Inc. Centering mechanism
US4723806A (en) * 1987-02-27 1988-02-09 Yuda Lawrence F Parallel robotic gripper
US4861087A (en) * 1988-07-05 1989-08-29 Hughes Aircraft Company Offset mechanical gripper
JPH0251034U (ja) * 1988-09-30 1990-04-10
JP2803208B2 (ja) * 1989-08-31 1998-09-24 ぺんてる株式会社 ロボットによる金型へのワーク挿入不良検出方法及び装置
JPH081922B2 (ja) * 1991-01-25 1996-01-10 株式会社東芝 ウェハ−保持装置
JPH0663887A (ja) * 1992-08-21 1994-03-08 Tokyo Ueruzu:Kk 電子部品の把持機構および把持装置
US5529359A (en) * 1994-04-22 1996-06-25 Borcea; Nicky Cripper assembly with improved synchronous transmission
US5620223A (en) * 1995-08-28 1997-04-15 Gabco Air, Inc. Gripping device
KR0165640B1 (ko) * 1996-01-17 1999-03-20 정명식 구역 판별기를 사용한 공간 벡터형 히스테리시스 전류 제어기
KR100194324B1 (ko) * 1996-04-17 1999-06-15 정문술 모듈아이씨의 로딩, 언로딩장치
KR0177341B1 (ko) * 1996-04-17 1999-04-15 정문술 모듈ic검사기의 모듈ic 홀딩장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102649842B1 (ko) * 2017-11-01 2024-03-21 스미토모 세이카 가부시키가이샤 플렉시블 컨테이너

Also Published As

Publication number Publication date
TW389978B (en) 2000-05-11
US6089635A (en) 2000-07-18
ITRE980129A1 (it) 2000-06-21
KR19990055502A (ko) 1999-07-15
IT1305347B1 (it) 2001-05-04
DE19836557B4 (de) 2006-12-07
KR100251625B1 (ko) 2000-04-15
JPH11198083A (ja) 1999-07-27
SG92620A1 (en) 2002-11-19
DE19836557A1 (de) 1999-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3191096B2 (ja) モジュールic用のハンドラーのモジュールic保持装置
US6068317A (en) Device for adjusting space between chip in semiconductor chip tester
US6870360B2 (en) Apparatus for recognizing working height of device transfer system in semiconductor device test handler and method thereof
KR20010075664A (ko) 부품장착 방법 및 그 장치
JP2854276B2 (ja) 半導体素子テスト用のトレーユニット
KR102464227B1 (ko) 카메라 모듈 검사 장치
US20060005632A1 (en) Prevention of robot damage via capacitive sensor assembly
JP7145029B2 (ja) 半導体資材の切断装置
JPH09199889A (ja) キャリア移送装置
CN111933561A (zh) 一种洁净室专用晶圆自动上下料设备
JP2930565B2 (ja) サーボモータを用いた半導体チップパッケージのローディング及びアンローディング装置
JP6424097B2 (ja) ノズル検査装置、ノズル検査方法および部品搬送装置
KR100296759B1 (ko) 번인 테스터용 소팅 핸들러의 포킹 및 언포킹 픽커
KR100267212B1 (ko) 모듈 아이씨 핸들러의 모듈 아이씨 로딩, 언로딩장치
KR100291587B1 (ko) 번인테스터 소팅 핸들러용 픽커의 간격조절장치
KR100236774B1 (ko) 모듈아이씨용 핸들러의 픽커간격 조절장치
JP7232985B2 (ja) 部品装着装置および部品保持部の摺動状態計測装置並びに部品保持部の摺動状態計測方法
KR100588234B1 (ko) 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러
KR20060115238A (ko) 틸트 기능을 갖는 트레이 트랜스퍼 유닛
KR100194324B1 (ko) 모듈아이씨의 로딩, 언로딩장치
KR100312860B1 (ko) 번인 테스터 소팅 핸들러용 트레이 트랜스퍼 기능을 갖는 소팅 픽커
KR100533228B1 (ko) 모듈아이씨 핸들러용 모듈아이씨 픽업장치
KR200382671Y1 (ko) 리니어 가이드 모듈아이씨 테스트 핸들러
JP2000221235A (ja) 半導体検査装置
KR100274423B1 (ko) 모듈 아이씨 핸들러의 모듈 아이씨 피치조절장치

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090525

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees