KR19990038981A - 반도체 소자검사기의 소자 간격조절장치 - Google Patents

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KR19990038981A
KR19990038981A KR1019970058889A KR19970058889A KR19990038981A KR 19990038981 A KR19990038981 A KR 19990038981A KR 1019970058889 A KR1019970058889 A KR 1019970058889A KR 19970058889 A KR19970058889 A KR 19970058889A KR 19990038981 A KR19990038981 A KR 19990038981A
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Abstract

본 발명은 소자의 검사를 위해 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 흡착하여 검사기의 위치결정블럭으로 이송시 흡착된 소자의 간격을 위치결정블럭의 공간부 피치에 알맞게 조절하는 반도체 소자검사기의 소자 간격조절장치에 관한 것으로 복수개의 링크를 사용하지 않고도 소자를 흡착하는 픽업의 간격을 필요에 따라 빠른 시간내에 정확히 조절할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 가이드레일(25)을 따라 수평 이동가능하게 설치된 이송판(26)과, 상기 이송판에 고정된 설치판(28)과, 상기 설치판에 수직 LM가이더(29a)(29b)에 의해 승강운동가능하게 설치된 승강판(30)과, 상기 승강판에 회전가능하게 설치되며 외주면상에는 복수개의 캠홈(36)이 형성된 캠축(32)과, 상기 캠축을 회전시키는 구동수단과, 상부가 캠홈에 끼워진 상태로 수평 LM가이더(35a)(35b)에 의해 수평이동가능하게 설치된 복수개의 픽업수단으로 구성된 것이다.

Description

반도체 소자검사기의 소자 간격조절장치
본 발명은 반도체 공정에서 생산 완료된 반도체의 성능을 검사하는 반도체 소자검사기에 관한 것으로써, 좀 더 구체적으로는 소자의 검사를 위해 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 흡착하여 검사기의 위치결정블럭으로 이송시 흡착된 소자의 간격을 위치결정블럭의 공간부 피치에 알맞게 조절하는 반도체 소자검사기의 소자 간격조절장치에 관한 것이다.
일반적으로 소자가 담겨져 보관되거나, 소자의 생산에 따른 공정간 이송시 사용되는 플라스틱재의 고객트레이는 생산업자마다 모양, 크기, 용량 및 소자가 담겨지는 공간부의 피치가 각각 다르게 제작되어 사용되고 있다.
이러한 고객트레이에 형성된 공간부는 소자가 수용되기만 하면 되므로 그다지 정밀하게 가공되어 있지 않지만, 테스트 트레이에 형성되어 테스트할 소자가 담겨지는 공간부는 상기 테스트 트레이내에 로딩된 소자를 테스트 콘택터(소자의 리드가 접속되어 테스터와 전기적 연결역할을 하는 콘넥터)에 완벽한 접촉이 이루어지도록 하기 위해 정밀하게 제작하여 사용되고 있다.
따라서 고객트레이내에 담겨진 소자를 테스트 트레이내의 공간부로 옮기기 위해서는 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 정밀하게 가공된 별도의 위치결정블럭으로 운반하여 각 소자의 위치를 재결정시킨 다음 테스트 트레이내에 옮겨야 소자의 로딩시 소자가 파손되는 현상을 방지하게 된다.
이를 위해 반도체 소자검사기에는 소자를 옮기는 역할을 하는 픽업(pick up)이 장착된 이송수단을 갖는다.
도 1 내지 도 4는 출원인에 의해 개발되어 국내 실용신안 95-7512호로 선 출원된 기술을 나타낸다.
상기 기술을 첨부된 도면 도 1 내지 도 4를 참고로 설명하면 다음과 같다.
상판(1)에 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 수평 이동하도록 설치된 설치판(3)의 하방에 제 1 실린더(4)의 구동시 승,하강하는 픽업블럭(5)이 설치되어 있고 픽업블럭에는 설치판(3)의 이동방향과 동일한 방향으로 제 2 수평 LM가이더(6)를 따라 이동하는 복수개의 슬라이더(7)가 결합되어 있으며 상기 각 슬라이더에는 제 2 실린더(8)의 구동에 따라 수직 LM가이더(9)에 안내되어 승,하강하는 픽업(10)이 고정된 픽업헤드(11)가 결합되어 있다.
그리고 복수개의 슬라이더(7) 상부에 핀(12)을 고정하여 상기 핀이 픽업블럭(5)의 상부에 형성된 장공(5a)을 통해 노출되도록 한 다음 상기 각 핀에 제 1 링크(13)를 힌지 결합하도록 되어 있고 상기 제 1 링크의 양단에는 제 2 링크(14)를 핀(15)으로 결합하도록 되어 있으며 상기 제 1 링크중 일측의 제 1 링크 끝단은 제 3 실린더(16)의 로드에 고정된 가이드편(17)의 가이드홈(17a)에 끼워지도록 돌기(18)가 형성되어 있다.
따라서 고객트레이(19)의 공간부(19a)내에 담겨진 소자(20)를 흡착하기 위해 픽업블럭(5)이 상사점에 위치되고, 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 든 상태에서 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 이송되어 고객트레이(19)에 형성된 공간부의 1열과 일치되게 정지한다.
이러한 상태에서 설치판(3)에 고정된 제 1 실린더(4)의 구동으로 픽업블럭(5)이 하사점에 도달하면 각 슬라이더(7)에 고정되어 픽업헤드(11)를 승,하강시키는 제 2 실린더(8)가 동작하게 되므로 상기 픽업헤드(11)의 끝단에 고정된 픽업(10)이 도 2의 일점쇄선과 같이 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨진 소자(20)의 상면과 접속된다.
그 후, 공압에 의해 픽업(10)의 내부에 진공압이 걸리면 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨져 있던 소자(20)가 픽업(10)에 흡착된다.
소자(20)가 흡착된 상태에서 전술한 바와는 반대로 제 2 실린더(8)와 제 1 실린더(4)가 순차적으로 동작하면 픽업헤드(11)와 픽업블럭(5)이 초기상태와 같이 각각 상사점에 도달하게 된다.
그 후, 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 위치결정블럭측으로 이동할 때 픽업블럭(5)의 상부에 고정된 제 3 실린더(16)가 구동하여 가이드편(17)을 밀어주게 되므로 도 4와 같이 제 1 링크(13)의 일단에 고정된 핀(7a)이 상기 가이드편에 형성된 가이드홈(5a)을 따라 바깥측으로 이동하게 되고, 이에 따라 도 1 및 도 4에 도시한 바와 같이 상호 오므러져 있던 제 1,2 링크(13)(14)가 펼쳐져 픽업(10)이 테스트 트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일해지게 된다.
이러한 상태에서 제 1 실린더(4)가 구동하여 픽업블럭(5)을 하사점에 위치시키고 나면 상기 픽업(10)에 흡착된 소자가 위치결정블럭의 공간부내에 위치되는데, 이 때 상기 픽업에 작용하고 있던 진공압을 해제하여 소자를 자중에 의해 낙하시키면 상기 소자가 위치결정블럭의 공간부내에 정확히 위치 결정된다.
이러한 종래의 장치는 고객트레이내에 담겨진 1열의 소자를 한꺼번에 흡착한 다음 위치결정블럭측으로 이송시 간격을 조절하여 위치결정한 후 위치결정 완료된 소자를 테스트 트레이측으로 로딩하는 동작을 1개의 이송장치로 구현하게 되므로 위치결정에 따른 시간을 줄이게 됨은 물론 기기의 설치 공간을 최소화할 수 있다는 잇점을 갖는다.
그러나 슬라이더(7)가 다수개의 제 1 ,2 링크(13)(14)에 의해 연결되어 동시에 연동하도록 구성되어 있어 슬라이더(7)가 최대한 펼쳐진 상태에서 양단에 위치하는 픽업(10)은 위치결정블럭 또는 테스트 트레이의 공간부 직하방에 정확히 위치되지만, 그 사이에 위치되는 픽업(10)은 각 링크의 길이가 비교적 길어 유동되기 때문에 링크의 끝단위치가 부정확하게 되고, 이에 따라 픽업(10)이 위치결정블럭에 위치된 소자를 정확히 홀딩하지 못하거나, 테스트 트레이의 공간부내에 홀딩된 소자를 정확히 로딩하지 못하게 되는 치명적인 문제점을 야기시켰다.
또한, 그 구성이 복잡하여 부품수가 많게 되므로 부품의 가공 및 조립에 많은 시간이 걸리게 된다.
상기한 문제점을 개선하기 위해 도 5 내지 도 6b에 나타낸 기술을 개발하여 국내 실용신안 96-22005호로 출원하였다.
이하, 국내 실용신안 96-22005호로 출원한 기술에 대하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
""형상으로 이루어진 복수개의 링크(21)(22)에 슬라이더(7)와 고정되는 축(23)이 끼워지는 제 1 삽입공(21a)(22a)이 형성되어 있고 상기 제 1 삽입공의 일측에는 링크(21)(22)를 상호 연결시키는 핀(24)이 삽입되는 제 2 삽입공(21b)(22b)이 형성되어 있어 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 들거나, 펼쳐짐에 따라 링크(21)(22))가 상호 교차되거나, 평행상태를 유지하도록 되어 있다.
따라서 고객트레이의 공간부내에 담겨진 소자를 흡착하기 위해 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 든 상태, 즉, 도 6a에서는 각 링크(21)(22)를 연결하는 핀(24)이 슬라이더(7)에 고정된 축(23)과 근접하게 위치하여 링크가 상호 교차되므로 복수개의 슬라이더(7)가 밀착된 상태를 유지하게 된다.
이러한 상태에서 설치판(3)이 고객트레이(19)에 형성된 공간부의 1열과 일치되게 정지한 다음 설치판(3)에 고정된 제 1 실린더(4)의 구동으로 픽업블럭(5)이 하사점에 도달하도록 픽업헤드(11)를 하강시키면 끝단에 고정된 픽업(10)이 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨진 소자(20)를 흡착하게 된다.
상기한 동작으로 픽업(10)에 소자(20)가 흡착되면 전술한 바와는 반대로 제 2 실린더(8)와 제 1 실린더(4)가 순차적으로 동작하여 픽업헤드(11)와 픽업블럭(5)을 초기상태와 같이 각각 상승시킴과 동시에 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 위치결정블럭측으로 이동할 때 제 3 실린더(16)가 구동하여 가이드편(17)을 밀어 오므러져 있던 링크(21)(22)를 펼쳐주게 된다.
이에 따라, 상기 링크에 각각 고정된 슬라이더(7)가 펼쳐지게 되므로 픽업(10)에 흡착된 소자가 테스트트레이에 형성된 공간부의 간격과 일치하게 되는데, 이러한 동작시 도 6b와 같이 각 링크(21)(22)를 연결하는 핀(24)은 슬라이더(7)에 고정된 축(23)과 근접하게 위치되므로 복수개의 슬라이더(7) 간격이 일정하게 유지되는 것이다.
그러나 이러한 장치 또한, 슬라이더(7)와 고정되는 축(23)이 링크(21)(22)의 연결부위인 핀(24)에 근접되어 있어 픽업(10)사이의 간격을 일정하게 유지하는 잇점을 갖지만, 일 실시예보다 오히려 부품수가 많아지게 되므로 제작 및 조립에 따른 누적공차로 인해 피치를 정확히 유지하지 못하게 된다.
즉, 중심 픽커인 P5에서 0.1mm의 오차가 발생되었다면 P6은 0.3mm, P7은 0.9mm, P8은 1.1mm와 같이 오차가 점진적으로 커지는 결과를 초래하게 된다.
또한, 장기간 사용함에 따라 각각의 링크 및 베어링의 마모로 인해 각 픽커간의 오차는 더욱 심화됨은 물론 동작시 소음의 발생이 커지는 요인으로 작용되었다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 복수개의 링크를 사용하지 않고도 소자를 흡착하는 픽업의 간격을 필요에 따라 빠른 시간내에 정확히 조절할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 가이드레일을 따라 수평 이동가능하게 설치된 이송판과, 상기 이송판에 고정된 설치판과, 상기 설치판에 수직 LM가이더에 의해 승강운동가능하게 설치된 승강판과, 상기 승강판에 회전가능하게 설치되며 외주면상에는 복수개의 캠홈이 형성된 캠축과, 상기 캠축을 회전시키는 구동수단과, 상부가 캠홈에 끼워진 상태로 수평 LM가이더에 의해 수평이동가능하게 설치된 복수개의 픽업수단으로 구성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치가 제공된다.
본 발명의 다른 형태에 따르면, 가이드레일을 따라 수평 이동가능하게 설치된 이송판과, 상기 이송판에 고정된 설치판과, 상기 설치판에 수직 LM가이더에 의해 승강운동가능하게 설치된 승강판과, 상기 승강판에 진퇴가능하게 설치되며 저면에는 복수개의 캠홈이 형성된 캠판과, 상기 캠판의 진퇴운동을 안내하는 가이드수단과, 상기 캠판의 일측에 고정되게 설치되어 캠판을 진퇴시키는 구동수단과, 상부가 캠홈에 끼워진 상태로 수평 LM가이더에 의해 수평이동가능하게 설치된 복수개의 픽업수단으로 구성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치가 제공된다.
도 1은 종래 장치의 일부를 절결하여 나타낸 종단면도
도 2는 도 1의 일부를 절결하여 나타낸 측면도
도 3은 슬라이더가 내측으로 오므러든 상태도
도 4는 제 3 실린더의 구동으로 슬라이더가 펼쳐진 상태도
도 5는 종래 장치의 다른 실시예를 나타낸 사시도
도 6a 및 도 6b는 도 5의 평면도 및 종단면도로써,
도 6a는 각 링크가 내측으로 오므러든 상태도
도 6b는 각 링크가 펼쳐진 상태도
도 7은 본 발명의 일 실시예를 나타낸 사시도
도 8은 본 발명의 요부를 나타낸 캠축의 사시도
도 9는 캠축에 형성된 캠홈의 형태를 나타낸 전개도
도 10은 캠축이 설치된 상태에서 일부를 단면으로 나타낸 정면도
도 11은 캠홈의 다른 실시예를 나타낸 일부 종단면도
도 12a 및 도 12b는 본 발명에 따른 일 실시예의 작동상태도
도 13은 도 12a의 일부를 단면으로 나타낸 측면도
도 14는 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 사시도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
5 : 픽업블럭 10 : 픽업
25 : 가이드레일 26 : 이송판
28 : 설치판 30 : 승강판
32 : 캠축 34 : 회전실린더
36 : 캠홈 37a,37b : 안착홈
38 : 베어링 39 : 볼
40 : 캠판
이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 7 내지 도 14를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 7은 본 발명의 일 실시예를 나타낸 사시도이고 도 8은 본 발명의 요부를 나타낸 캠축의 사시도이며 도 9는 캠축에 형성된 캠홈의 형태를 나타낸 전개도이다.
소자검사기의 본체(도시는 생략함)에 설치된 가이드레일(25)에 이송판(26)을 수평 이동가능하게 설치하고 상기 이송판(26)에는 체결부재(27)에 의해 설치판(28)을 수직되게 고정하며, 상기 설치판의 일측면에는 수직 LM(Linear Motion)가이더(29a)를 고정한다.
그리고 상기 설치판(28)에 고정된 수직 LM가이더(29a)에는 승강판(30)에 고정된 또 다른 수직 LM가이더(29b)를 결합하여 승강판이 한쌍의 수직 LM가이더(29a)(29b)에 안내되어 설치판(28)의 상,하방향으로 이동되도록 하며, 상기 이송판(26)에는 구멍(26a)을 통해 로드(31a)가 하부로 노출되게 실린더(31)를 설치하여 상기 실린더의 로드가 승강판(30)에 고정되도록 한다.
상기 실린더(30)의 구동에 따라 수직 LM가이더(29a)(29b)에 안내되어 승,하강하는 승강판(30)에 도 8과 같은 캠축(32)을 베어링(33)으로 지지되게 설치하여 상기 캠축의 일측에 설치된 구동수단이 작동함에 따라 캠축(32)이 회전운동을 하도록 한다.
본 발명의 일 실시예에서는 캠축(32)을 회전시키는 구동수단을 공압에 의해 작동하는 회전실린더(34)로 적용하였으나, 유압에 의해 작동하는 회전실린더 또는 스탭모터 등의 적용이 가능하므로 반드시 이에 한정하지 않는다.
또한, 승강판(30)의 일측 또는 양측면에 수평 LM가이더(35a)를 고정하고 상기 수평 LM가이더(35a)에는 픽업수단의 일측면에 고정된 수평 LM가이더(35b)를 결합하여 복수개의 픽업수단이 수평 LM 가이더(35a)(35b)를 따라 수평이동하도록 한다.
상기한 픽업수단의 상부는 캠축(32)에 형성된 캠홈(36)내에 끼워지게 설치하여 구동수단에 의해 캠축(32)이 회전됨에 따라 픽업수단의 간격이 넓어지거나, 좁아지도록 한다.
상기 고객 트레이 또는 위치결정블럭에 담겨진 소자(20)를 흡착하는 픽업수단은 수평 LM 가이더(35b)가 일측면에 고정되어 캠축(32)의 회전에 따라 상호 간격이 좁아지거나, 넓어지는 픽업블럭(5)과, 상기 픽업블럭에 매달리게 설치되어 소자의 상면에 접속된 상태에서 진공압이 걸림에 따라 소자를 흡착하는 픽업(10)으로 구성한다.
상기 픽업블럭(5)에 매달려 소자를 흡착하는 픽업(10)의 피치는 캠축(32)에 복수개 형성되는 캠홈(36)의 각도(기울기)에 따라 결정된다.
만약, 캠홈(36)의 각도가 너무 작으면 픽업수단의 가변량이 작아 캠축(32)의 회전각도를 크게 설정하여야 되거나, 지름이 큰 캠축(32)을 적용하여야 되고, 이와는 반대로 캠홈(36)의 각도가 너무 크면 픽업블럭(5)의 이동시 캠홈(36)에 끼워진 베어링(38)에 부하가 걸리므로 구동수단에 무리를 주게 된다.
따라서 픽업블럭(5)의 피치에 따라 캠축(32)의 외주면(360°)을 최대한 활용하는 것이 구동수단에 무리를 주지 않게 되므로 가장 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에 적용되는 캠축(32)은 도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이 캠축(32)의 외주면에 상호 대칭되게 캠홈(36)을 형성하였다.
이는, 본 발명에 나타낸 바와 같이 캠축(32)의 회전에 따라 캠축(32)의 가운데부분을 중심으로 4개의 픽업수단이 좌,우로 벌어지거나, 오므러들도록 하여 픽업수단의 이동거리를 줄이므로써 픽업(10)의 간격조절에 소요되는 시간을 최소화하기 위함이다.
또한, 캠축(32)에 형성된 캠홈(36)의 단면을 도 10과 같이형상으로 형성하여 상기 캠홈내에 픽업블럭(5)에 고정된 베어링(38)을 각각 끼워 상기 베어링(38)이 캠홈(36)의 내면에 접속되도록 한다.
그 이유는, 캠축(32)의 회전으로 캠홈의 위치가 가변됨에 따라 픽업블럭(5)이 수평 LM가이더(35a)(35b)에 안내된 상태로 이동될 때 캠홈(36)과 픽업블럭(5)이 접속되는 부위에서의 마찰저항을 최소화하여 부품의 마모에 따른 오차를 최소화하기 위함이다.
그러나 캠축(32)에 형성된 캠홈(36)의 단면을 다른 실시예로 나타낸 도 11과 같이 "∪"형상으로 형성하고 픽업블럭(5)의 상부에는 볼(39)을 결합하여 상기 볼(39)이 캠홈(36)내에 위치되도록 할 수도 있다.
상기 캠축(32)에 일정각도로 경사지게 형성된 캠홈(36)의 양단에 캠홈과 연통되게 안착홈(37a)(37b)을 형성한다.
이는, 구동수단에 의해 픽업(10)이 최대한 벌어지거나, 오므러든상태에서 베어링(38) 또는 볼(39)이 픽업블럭(5)의 위치가 가변되지 않는 안착홈(37a)(37b)내에 위치되도록 하여 가공 및 조립오차 등으로 인해 픽업(10)사이의 간격이 가변되는 현상을 미연에 방지하기 위함이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 사시도로써, 본 발명의 일 실시예에 적용한 캠축(32)대신 캠홈(36)이 형성된 캠판(40)을 적용한 것으로 일 실시예의 구성과 동일한 부분에 대하여는 그 설명을 생략하고 동일부호를 부여하기로 한다.
설치판(28)을 따라 승강운동하는 승강판(30)의 상면에 복수개의 캠홈(36)이 저면에 형성된 캠판(40)을 진퇴가능하게 설치하여 구동수단인 실린더(41)의 구동에 따라 상기 캠판(40)이 가이드부재(42)에 의해 안내되어 진퇴운동하면서 픽업수단의 간격을 조절하도록 구성한다.
즉, 캠판(40)의 저면에 도 9에 나타낸 바와 같은 형태의 캠홈(36)을 형성한다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 고객트레이의 공간부내에 담겨진 소자를 흡착하기 위해서는 고객트레이에 형성된 공간부의 피치가 테스트 트레이에 형성된 공간부의 피치보다 좁기 때문에 각 픽업블럭(5)의 저면으로 노출된 픽업(10)이 상호 오므러든 상태를 유지하고 있다.
즉, 도 12a에서와 같이 각 픽업블럭(5)의 상부에 결합된 베어링(33) 또는 볼(39)이 캠홈(36)의 출발점과 연통되게 형성된 안착홈(37a)내에 위치되어 있어 픽업블럭(5)이 상호 밀착된 상태를 유지하게 된다.
이러한 상태에서 고객트레이내에 담겨진 소자를 흡착이송하여 테스트 트레이의 공간부내에 위치결정하고자 할 경우에는 이송판(26)이 가이드레일(25)을 따라 이송되어 고객트레이에 형성된 공간부의 1열과 일치된 지점에서 정지한다.
그 후, 종래의 장치와 마찬가지로 이송판(26)에 고정된 실린더의 구동으로 승강판(30)을 하강시키면 상기 승강판에 설치된 픽업수단의 픽업(10)이 고객트레이의 공간부에 위치된 소자의 상면과 접속되는데, 이때 상기 픽업(10)에 진공압을 작용시킴에 따라 고객트레이에 담겨져 있던 1줄의 소자가 흡착된다.
상기한 동작으로 픽업에 소자가 흡착되면 전술한 바와는 반대로 동작하여 승강판(30)을 초기상태와 같이 상승시킴과 동시에 이송판(26)이 가이드레일(25)을 따라 위치결정블럭측으로 이동하게 되는데, 이때 구동수단인 회전실린더(34) 또는 실린더(41)를 구동하여 캠축(32)을 회전시키거나, 캠판(40)을 잡아당기면 일정각도가 유지되게 형성된 캠홈(36)의 위치가 가변되므로 상기 캠홈내에 끼워진 베어링(38) 또는 볼(39)의 위치가 가변되므로 픽업블럭(5)이 상호 펼쳐지게 된다.
이에 따라, 상기 픽업블럭(5)의 저면에 매달린 픽업(10)의 간격이 도 12b와 같이 넓어지게 되므로 상기 픽업에 흡착된 소자가 테스트트레이에 형성된 공간부의 간격과 일치된다.
상기한 바와 같은 동작시 픽업블럭(5)의 상부에 결합된 베어링(38) 또는 볼(39)이 회전하면서 캠홈(36)을 따라 좌,우로 이동하게 되므로 캠홈이 마모되는 현상을 미연에 방지하게 되고, 이에 따라 픽업(10)의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있게 된다.
즉, 픽업(10)이 테스트 트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일하게 펼쳐진 상태로 위치결정블럭측으로 이동하여 승강판(30)이 하사점에 위치된 상태에서 픽업에 작용되던 진공압을 해제하면 픽업에 흡착되어 있던 소자가 자중에 의해 위치결정블럭의 공간부내에 정확히 위치결정되므로 소자의 로딩작업이 완료되는 것이다.
한편, 테스트 트레이의 공간부에 담겨져 있던 소자를 흡착하여 테스트결과에 따라 분류한 다음 고객트레이내에 옮기는 동작은 픽업(10)이 매달린 픽업블럭(5)이 상호 펼쳐진 상태로 테스트 트레이측으로 이동하여 테스트완료된 소자의 상면을 흡착한 다음 픽업블럭(5)의 간격을 좁인 후 고객트레이측으로 이송시키게 된다.
즉, 전술한 바와 같은 역순으로 이루어지게 되므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
이상에서와 같이 본 발명은 다음과 같은 장점을 갖는다.
첫째, 링크방식을 사용하지 않고 캠홈(36)이 형성된 캠축(32) 또는 캠판(40)을 이용하여 픽업(10)이 매달린 픽업블럭(5)의 간격을 조절하기 때문에 가공 및 조립에 따른 누적공차가 전혀 발생되지 않는다.
둘째, 캠축(32) 또는 캠판(40)에 형성된 캠홈(36)내에 픽업블럭(5)에 결합된 베어링(38) 또는 볼(39)을 끼우기만 하면 조립이 완료되므로 조립에 따른 생산성을 극대화시킨다.
셋째, 그 구조가 간단하여 부품의 고장발생가능성이 현저히 줄어들어 수명이 반영구적이다.
넷째, 베어링(38) 또는 볼(39)의 마모에 따른 부품의 교체작업이 용이하여 부품교체에 소요되는 시간을 최소화할 수 있게 되므로 고가 장비의 가동률을 극대화시키게 된다.

Claims (16)

  1. 가이드레일을 따라 수평 이동가능하게 설치된 이송판과, 상기 이송판에 고정된 설치판과, 상기 설치판에 수직 LM가이더에 의해 승강운동가능하게 설치된 승강판과, 상기 승강판에 회전가능하게 설치되며 외주면상에는 복수개의 캠홈이 형성된 캠축과, 상기 캠축을 회전시키는 구동수단과, 상부가 캠홈에 끼워진 상태로 수평 LM가이더에 의해 수평이동가능하게 설치된 복수개의 픽업수단으로 구성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    캠축에 복수개의 캠홈이 대칭되게 형성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    캠축에 형성된 캠홈의 단면이형상으로 형성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    픽업수단의 상부에 베어링을 결합하여 상기 베어링이 캠홈내에 위치하도록 된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    캠축에 형성된 캠홈의 단면이형상으로 형성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    픽업수단의 상부에 볼을 결합하여 상기 볼이 캠홈내에 위치하도록 된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    캠홈의 양단에 안착홈이 캠홈과 연통되게 형성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    구동수단이 회전실린더인 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  9. 가이드레일을 따라 수평 이동가능하게 설치된 이송판과, 상기 이송판에 고정된 설치판과, 상기 설치판에 수직 LM가이더에 의해 승강운동가능하게 설치된 승강판과, 상기 승강판에 진퇴가능하게 설치되며 저면에는 복수개의 캠홈이 형성된 캠판과, 상기 캠판의 진퇴운동을 안내하는 가이드수단과, 상기 캠판의 일측에 고정되게 설치되어 캠판을 진퇴시키는 구동수단과, 상부가 캠홈에 끼워진 상태로 수평 LM가이더에 의해 수평이동가능하게 설치된 복수개의 픽업수단으로 구성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    캠판에 복수개의 캠홈이 대칭되게 형성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    캠판에 형성된 캠홈의 단면이형상으로 형성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    픽업수단의 상부에 베어링을 결합하여 상기 베어링이 캠홈내에 위치하도록 된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  13. 제 9 항에 있어서,
    캠판에 형성된 캠홈의 단면이 "∪"형상으로 형성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    픽업수단의 상부에 볼을 결합하여 상기 볼이 캠홈내에 위치하도록 된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  15. 제 9 항에 있어서,
    캠홈의 양단에 안착홈이 캠홈과 연통되게 형성된 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
  16. 제 9 항에 있어서,
    구동수단이 실린더인 반도체 소자검사기의 소자간격 조절장치.
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