CN101790784A - 机台装置组装方法 - Google Patents

Abstract

提供一种在正式设置场所的组装精度高且作业容易的组装方法。在暂时设置场所，相对于设置于主载置台(10)的主底座板(11)，对设置于副载置台(20a～20d)的副底座板(21)进行对位，在保存了该状态之后，将主载置台(10)和副载置台(20a～20d)分离并搬送至正式设置场所，复原定位状态。由于能够在暂时设置场所进行对位作业，因而减少了在正式设置场所的作业。此外，由于能够在正式设置场所进行微调整，因而对位精度提高。

Description

机台装置组装方法

技术领域

本发明涉及机台装置的技术领域，尤其涉及机台装置的组装方法。

背景技术

图9的符号105显示了现有技术的机台装置。

该机台装置105具有底座板111，底座板111由配置于背面的四角的脚部112a～112d载置于地面上。

在底座板111的表面上铺设有轨道114a、114b，在其上方承载有吐出装置113。在吐出装置113的与底座板111面对的面，配置有印刷头。印刷头连接于箱119，并从箱119将吐出液供给至印刷头，如果使基板107承载于底座板111上并从印刷头将吐出液吐出，则吐出液着陆于基板107上。

吐出装置113构成为可在轨道114a、114b上移动，如图10所示，如果在基板107的上方将吐出液吐出，则能够使吐出液着陆于基板107表面的期望位置。

该吐出液例如为液晶取向膜用的有机薄膜的原料，或液晶显示装置的间隔件的分散液、有机EL元件的发光层的原料等，机台装置105用于将吐出液吐出至大的基板。

然而，吐出对象的基板一直向大型化发展，与此相对应地，机台装置也大型化，从成本的问题或法规上的问题看，难以将在工厂中所制造的机台装置搬运至设置场所。

因此，在现有技术中也采取对策，尝试将底座板分割搬运。

专利文献1：日本特开2007-73688号公报

发明内容

然而，当在设置场所组装暂时分割的底座板时，需要花费极大的人工进行对位，或者组装精度恶化，仍期望加以解决。

为了解决上述问题，在本发明的机台装置组装方法中，在正式设置场所对设置于主载置台的主底座板和设置于副载置台的副底座板的相对位置关系进行对位，并联接上述主载置台和上述副载置台，从而组装机台装置，其中，在与上述正式设置场所分离的暂时设置场所，预先对上述副底座板和上述主底座板进行对位，在保存了上述副底座板和上述主底座板的经过对位的状态之后，分离上述主载置台和上述副载置台，将上述主载置台和上述副载置台搬运至上述正式设置场所，复原上述经过对位的状态并联接上述主载置台和上述副载置台，从而组装上述机台装置。

此外，在本发明的机台装置组装方法中，具有：粗调整工序，在上述暂时设置场所进行，粗调整上述副底座板和上述主底座板的相对位置关系，成为包含粗调整误差的粗调整位置关系；暂时定位工序，使上述副载置台相对于上述主载置台移动，使设置于上述副载置台的定位部件和设置于上述主载置台的引导部接触，在接触的状态下，上述副底座板和上述定位部件之间的位置关系、上述定位部件和上述引导部的位置关系、上述引导部和上述主底座板之间的位置关系成为固定的状态；以及分离工序，使上述副载置台和上述主载置台相对地移动，使上述定位部件和上述引导部分离，并且，使上述副载置台和上述主载置台分离，还具有复归工序，该复归工序在上述正式设置场所进行，以与上述暂时设置场所相同的位置关系使上述定位部件和上述引导部接触。

此外，在本发明的机台装置组装方法中，在上述暂时设置场所的上述粗调整工序之后，并在上述暂时定位工序之前，进行微调整工序，该微调整工序对处于上述粗调整位置关系的上述副底座板和上述主底座板的相对位置关系进行微调整，并使其成为包含比上述粗调整误差小的微调整误差的微调整位置关系。

主底座板和副底座板的对位精度提高。

在设置场所的作业变简单。

附图说明

图1(a)是用于说明暂时设置场所的主载置台的俯视图，(b)为其侧视图。

图2(a)是用于说明暂时设置场所的副载置台的俯视图，(b)为其侧视图。

图3是用于说明在暂时设置场所相对于主载置台而联接副载置台的顺序的内部俯视图。

图4是用于说明在暂时设置场所或正式设置场所联接的主载置台和副载置台的状态的内部俯视图。

图5(a)是吐出装置位于在正式设置场所组装的机台装置的副载置台上的状态的俯视图，(b)为其侧视图。

图6(a)是吐出装置位于在正式设置场所组装的机台装置的主载置台上的状态的俯视图，(b)为其侧视图。

图7是用于说明在正式设置场所将副载置台联接于主载置台的顺序的俯视图。

图8是用于说明副载置台的其它示例的俯视图。

图9(a)是现有技术的机台装置的俯视图(1)，(b)为其侧视图(1)。

图10(a)是现有技术的机台装置的俯视图(2)，(b)为其侧视图(2)。

符号说明

5：机台装置

10：主载置台

11：主底座板

13：吐出装置

16：引导部

20a～20f：副载置台

21：副底座板

24₁、24₂：定位部件

具体实施方式

图5(a)、(b)的符号5显示了本发明的机台装置。同图(a)为俯视图，同图(b)为侧视图。

该机台装置5具有主载置台10以及多个副载置台20a～20d。

主载置台10和副载置台20a～20d分别具有表面平坦的主底座板11和副底座板21。主底座板11和副底座板21的表面分别以在相同的高度成为水平的方式配置。

主底座板11的俯视形状为矩形，沿着其四边之中的互相平行的两边铺设有轨道14a、14b。

各轨道14a、14b的两端比主底座板11更突出配置在外侧，在突出部分的下方，分别配置有副载置台20a～20d所具有的副底座板21。所以，各轨道14a、14b的两端位于副载置台20a～20d的上方，其间的部分位于主载置台10的上方。

在轨道14a、14b上，设置有可移动的移动部件(在此，为起重机架)，在起重机架上承载有吐出装置13。

在该吐出装置13的底面部分，设置有印刷头(图中未显示)。配置有吐出液的箱19连接于吐出装置13，并构成为，如果一边从箱19供给吐出液，一边使印刷头进行动作，则从印刷头将吐出液吐出。

在轨道14a和轨道14b之间的主载置台10上，配置有基板7。

吐出装置13构成为可在轨道14a、14b上行走，如图6所示，如果在吐出装置13位于基板7上的状态下，从印刷头将吐出液吐出，则吐出液着陆于基板7表面。如果移动吐出装置13，则能够使吐出液着陆于基板7表面的期望位置。

该机台装置5配置在对基板7进行吐出作业的正式设置场所，但由于主底座板11较大，因而如图5、6所示，在将副载置台20a～20d联接于主载置台10并组装了主底座板11和副底座板21的状态下，无法从组装场所搬送至正式设置场所。

所以，优选在主载置台10和副载置台20a～20d分离的状态下将本发明的机台装置5搬入至正式设置场所，在正式设置场所正确且迅速地对主底座板11和副底座板21进行对位并进行联接。因此，为了尽可能减少在正式设置场所的作业，必须进行搬入至正式设置场所之前的作业。

图1(a)显示了不放置在正式设置场所而是放置在暂时设置场所的状态的主载置台10的俯视图，同图(b)显示了该主载置台10的侧视图。

在主底座板11的背面的四角附近，配置有脚部12a～12d。

在同图(a)中，以两点划线表示主底座板11，以实线表示脚部12a～12d。脚部12a～12d固定于主底座板11的背面。

接着，图2(a)为副载置台20a～20d的俯视图，同图(b)为其侧视图。

副载置台20a～20d具有车部22，副底座板21承载于车部22上。

在车部22上设置有多个搬送车轮23。在此，搬送车轮23设置于车部22的台座27的底面的四处。

主底座板11和副底座板21为长方形或正方形形状。副底座板21的宽度为主底座板11的宽度的一半以下的大小，在轨道14a、14b从主底座板11突出的两边，能够分别连接两个。

搬送车轮23设置在副底座板21以连接于主底座板11的部分为先头而能够前进和后退的方向，如果使搬送车轮23接触于地面并向着前进方向或后退方向施加力，则搬送车轮23旋转，副载置台20a～20d沿施加力的方向在地面上行走。

在车部22设置有台座27，在副载置台20a～20d的前进方向先头，由辊形成的定位部件24₁、24₂互相离开地配置在行进方向的两侧位置。

脚部12a～12d接触于地面，并具有支撑主底座板11的支撑部15和设置于支撑部15的外周侧面的板状的引导部16。引导部16配置于离地面一定距离的上方，在引导部16和地面之间形成有间隙。

定位部件24₁、24₂构成为能够变更台座27上的位置，预先增大定位部件24₁、24₂之间的距离，如图3的副载置台20b所示，使其先头向着副底座板21连接于主底座板11的部分前进，如同图的副载置台20a所示，将台座27插入引导部16和地面之间。

引导部16沿着脚部12a～12d的侧面之中的与副载置台20a～20d的前进方向平行的部分配置。

定位部件24₁、24₂配置在与引导部16相同的高度，但两定位部件24₁、24₂预先比引导部16的宽度更分离，即使定位部件24₁、24₂不与引导部16接触，也能够将台座27插入引导部16的下方。

如同图的副载置台20b所示，副底座板21和主底座板11前进至应当互相连接的边接触为止。

在该状态下，偏离主底座板11和副底座板21之间的理想位置关系的误差较大。

在副载置台20a～20d或主载置台10，设置有粗调整机构31和微调整机构32，该粗调整机构31和微调整机构32能够调整副底座板21的高度方向的位置、斜率以及副底座板21相对于主底座板11的水平面内的位置和方向。

微调整机构32的调整精度比粗调整机构31的调整精度更精密，但由于粗调整机构31的调整量比微调整机构32的调整量更大，因而首先由粗调整机构31对每个副载置台20a～20d进行副底座板21相对于主底座板11的对位。

如果暂时设置场所的地面为水平，且主底座板11由设置于主载置台10的主调整机构(图中未显示)预先使表面水平，则由粗调整机构31使副底座板21在与主底座板11的表面大致相同的高度成为水平，并且，粗调整与主底座板11相对的位置和方向，进行粗略的对位。

在该状态下，虽然包含偏离理想的对位状态的误差，但如果以粗调整前的误差量(绝对值)为开始误差E₁，以粗调整后的误差量(绝对值)为粗调整误差E₂，则粗调整误差E₂比开始误差E₁小经过粗调整的程度。

在经过粗调整的状态下，副底座板21与主底座板11接触，副载置台20a～20d即使无法前进，也能够向左右方向和后退方向移动。

接着，通过固定粗调整机构31，对副底座板21和主底座板11进行粗调整，预先使副底座板21和主底座板11之间的误差不大于粗调整误差E₂，一边使该状态不变化，一边使定位部件24₁、24₂彼此接近，使两定位部件24₁、24₂接触于引导部16的侧面，由定位部件24₁、24₂夹着脚部12a～12d的引导部16的部分。

支撑部15比主底座板11的外周更位于内侧，引导部16形成为接近支撑部15且远离主底座板11的外周的部分的宽度宽，接近主底座板11的外周的部分的宽度窄。如果在由定位部件24₁、24₂夹着引导部16的状态下将定位部件24₁、24₂固定于台座27，则虽然副载置台20a～20d能够后退(后行)，但无法相对于脚部12a～12d前进，也无法向左右方向移动。即，副底座板21成为相对于主底座板11进行了前进方向和左右方向的粗略对位的状态。高度方向也为进行了粗略对位的状态。

接着，由微调整机构32对每个副载置台20a～20d精密地调整副底座板21的高度、斜率、相对于主底座板11的位置、方向。

如果以偏离经过微调整的状态的副底座板21相对于主底座板11的理想的位置的误差量(绝对值)为微调整误差E₃，则微调整误差E₃接近于零，为

在固定微调整机构32，使经过微调整的状态不变化后，通过将联接板(图中未显示)拧紧固定在副载置台20a～20d的部件和主载置台10的脚部12a～12d之间等，从而如图4所示，暂时将副载置台20a～20d固定于主载置台10并进行组装。如果确认能够组装，则结束暂时组装工序。

在暂时设置场所进行了该暂时组装工序后，在暂时组装场所解除主载置台10和副载置台20a～20d之间的联接。在该状态下，副底座板21和主底座板11为经过对位的状态，但如果使副载置台20a～20d后退而分离主载置台10和副载置台20a～20d，则成为能够分别搬送的状态。

此时，不解除定位部件24₁、24₂相对于台座27的固定，使定位部件24₁、24₂之间的距离不变更，此外，也维持粗调整机构31或微调整机构32(的粗动螺丝或微动螺丝)的固定，从而使经过粗调整和微调整的状态不变化。

将主载置台10和副载置台20a～20d分别搭载于车辆等，通过陆路或海路等而搬送至正式设置场所，并首先将主载置台10配置于正式设置场所的规定位置。

接着，向着脚部12a～12d而配置副载置台20a～20d，如图7所示，以能够复原在暂时设置场所组装的状态的方式，使各副载置台20a～20d向着主载置台10，一边将各副载置台20a～20d的台座27插入引导部16的下方，一边使副载置台20a～20d前进并接近主载置台10。

由于引导部16的宽度向着副载置台20a～20d的行进方向的纵深方向扩大，因而，如果各副载置台20a～20d的台座27进入引导部16之下，则引导部16插入定位部件24₁、24₂之间，如果定位部件24₁、24₂和引导部16接触，则副载置台20a～20d的前进停止。

暂时设置场所和正式设置场所的地面为水平，当定位部件24₁、24₂和引导部16在与位于暂时设置场所中所接触的位置相同的位置处接触时，副载置台20a～20d和主载置台10在暂时设置场所的位置关系复原。

即，副底座板21和主底座板11变得与经过粗调整和微调整的状态相同，如果通过将联接板拧紧固定在副载置台20a～20d的部件和主载置台10的脚部12a～12d之间，从而将副载置台20a～20d联接固定在主载置台10，则与图4所示相同地进行组装。

但是，由于暂时解除副载置台20a～20d和主载置台10之间的联接，再分离搬送副载置台20a～20d和主载置台10，因而有时候产生小的对位误差E₄。

该对位误差E₄起因于搬送时的振动或温度变化以及在正式设置场所将主底座板11的表面再次设定为水平的情况，为与微调整误差E₃相同的程度的大小。

为了消除对位误差E₄，如果在将副载置台20a～20d联接固定于主载置台10之前，首先由主调整机构将主底座板11的表面设定为水平，接着由微调整机构32对副载置台20a～20d的上下方向的高度、斜率以及相对于主底座板11的位置和方向进行微调整，并进行联接固定，则对位误差E₄变小，主底座板11和副底座板21的对位误差能够成为与搬送前的微调整误差E₃相同的程度的大小。

图5(a)、(b)是通过以上顺序而在正式设置场所组装的机台装置5的俯视图和侧视图，在主载置台10和副载置台20a～20d上，笔直地铺设有轨道14a、14b。

在同图中，吐出装置13位于主载置台10的外侧位置的副载置台20b、20c上。在该位置，能够进行印刷头的清洁等。此外，由于吐出装置13不位于基板上，因而能够更换主载置台10上的基板7。由于对位精度高，因而如图6(a)、(b)所示，即使在副载置台20a～20d上和主载置台10上之间使吐出装置13移动，也不产生振动。

如上所述，在本发明中，在正式设置场所组装副载置台20a～20d和主载置台10之前，预先在制造该机台装置5的工厂内等的暂时设置场所，在对副底座板21和主底座板11进行了对位的状态下，将定位部件24₁、24₂和引导部16的相对位置关系固定，从而能够复原副底座板21和主底座板11的对位状态。

所以，即使分离搬运主载置台10和副载置台20a～20d，但如果复原定位部件24₁、24₂和引导部16的位置关系，则也能够复原副底座板21和主底座板11的位置关系，并再现对位的状态。

在上述实施例中，由板状的部件构成引导部16，由接触于其侧面的辊构成定位部件24₁、24₂，但并不限定于此，只要是能够再现副底座板21和主底座板11的相对位置关系的部件即可。也能够由辊构成引导部，由板状部件构成定位部件。这种情况下，可以相对于主载置台可移动地构成主载置台侧的引导部，并使其接触于副载置台的定位部件而固定。

以上，将分别具有副底座板21的4台副载置台20a～20d分别联接1台至4台脚部12a～12d，但如图8所示，也能够以由一片副底座板21支撑两条轨道14a、14b的一端部的方式，将宽度较宽的副底座板21设置于2台副载置台20e、20f，并将各副载置台20e、20f联接于两个脚部12a～12d。这种情况下，也预先在暂时设置场所对副载置台20e、20f的副底座板21和主载置台10的主底座板11进行对位，在正式设置场所复原对位。

此外，在上述实施例中，在本发明的机台装置5的主载置台10和副载置台20a～20d上配置有吐出装置13，并作为喷墨装置而使用，但本发明并不限定于此，也能够在本发明的机台装置5配置激光照射装置，并作为加热装置、检查装置、或曝光装置而使用，或者也能够配置基板对位装置，并作为对准器而使用。

总而言之，本发明的机台装置5并不限定于喷墨装置。

此外，可在轨道14a、14b上移动的部件并不限定于起重机架，例如，可以为载置有基板等处理对象物的载置台。

Claims (3)

1.一种机台装置组装方法，在正式设置场所对设置于主载置台的主底座板和设置于副载置台的副底座板的相对位置关系进行对位，并联接所述主载置台和所述副载置台，从而组装机台装置，其特征在于，

在与所述正式设置场所分离的暂时设置场所，预先对所述副底座板和所述主底座板进行对位，在保存了所述副底座板和所述主底座板的经过对位的状态之后，分离所述主载置台和所述副载置台，

将所述主载置台和所述副载置台搬运至所述正式设置场所，复原所述经过对位的状态并联接所述主载置台和所述副载置台，从而组装所述机台装置。

2.根据权利要求1所述的机台装置组装方法，其特征在于，具有：

粗调整工序，在所述暂时设置场所进行，粗调整所述副底座板和所述主底座板的相对位置关系，成为包含粗调整误差的粗调整位置关系；

暂时定位工序，使所述副载置台相对于所述主载置台移动，使设置于所述副载置台的定位部件和设置于所述主载置台的引导部接触，在接触的状态下，所述副底座板和所述定位部件之间的位置关系、所述定位部件和所述引导部的位置关系、所述引导部和所述主底座板之间的位置关系成为固定的状态；以及

分离工序，使所述副载置台和所述主载置台相对地移动，使所述定位部件和所述引导部分离，并且，使所述副载置台和所述主载置台分离，

还具有复归工序，该复归工序在所述正式设置场所进行，以与所述暂时设置场所相同的位置关系使所述定位部件和所述引导部接触。

3.根据权利要求2所述的机台装置组装方法，其特征在于，在所述暂时设置场所的所述粗调整工序之后，并在所述暂时定位工序之前，进行微调整工序，该微调整工序对处于所述粗调整位置关系的所述副底座板和所述主底座板的相对位置关系进行微调整，并使其成为包含比所述粗调整误差小的微调整误差的微调整位置关系。

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