KR101203981B1 - 스테이지 장치 - Google Patents

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마코토 타카하시
신야 이토
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울박, 인크
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G7/00—Devices for assisting manual moving or tilting heavy loads
    • B65G7/02—Devices adapted to be interposed between loads and the ground or floor, e.g. crowbars with means for assisting conveyance of loads
    • B65G7/04—Rollers

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract

본 설치 장소에서의 위치 맞춤이 용이한 스테이지 장치를 제공한다. 대차(22) 상에 부베이스판(21)이 배치된 가대(25)를 얹어 부재치대(20a~20d)를 구성하고, 대차(22)로 부베이스판(21)을 이동시켜, 가대(25)를 주베이스판(11)을 갖는 주재치대(10)에 고정한다. 부재치대(20a~20d)에 설치한 조정 기구(30)에 의해, 주베이스판(11)과 부베이스판(21)을 위치 맞춤한다. 주재치대(10)와 부재치대(20a~20d)에는 주위치결정 부재(16)와 부위치결정 부재(241, 242)가 설치되어 있기 때문에, 위치 결정 상태가 복원될 수 있도록 하여 분리할 수 있다. 따라서 반송한 후 조립할 때에 위치 맞춤이 용이하다.

Description

스테이지 장치{STAGE APPARATUS}
본 발명은 스테이지 장치의 기술 분야에 관한 것으로, 특히 분해 가능한 스테이지 장치에 관한 것이다.
도 9의 부호 105는 종래 기술의 스테이지 장치를 나타내고 있다.
이 스테이지 장치(105)는 베이스판(111)을 가지고 있으며, 베이스판(111)은 이면의 네 모서리에 배치된 다리부(112a~112d)에 의해 바닥면 위에 놓여 있다.
베이스판(111)의 표면 상에는 레일(117, 118)이 깔려 있고, 그 위에는 토출 장치(113)가 실려 있다. 토출 장치(113)의 베이스판(111)에 대면하는 면에는 인쇄 헤드가 배치되어 있다. 인쇄 헤드는 탱크(129)에 접속되어 있으며, 탱크(129)로부터 인쇄 헤드에 토출액을 공급하여, 베이스판(111) 위에 기판(107)을 실어 인쇄 헤드로부터 토출액을 토출하면, 토출액은 기판(107) 상에 착탄한다.
토출 장치(113)는 레일(117, 118) 위를 이동 가능하게 구성되어 있고, 도 10에 나타내는 바와 같이 기판(107)의 상방에서 토출액을 토출하면, 기판(107) 표면의 원하는 위치에 토출액을 착탄시킬 수 있다.
이 토출액은 예를 들면 액정 배향막용의 유기 박막의 원료나, 액정 표시 장치의 스페이서의 분해액, 유기 EL 소자의 발광층의 원료 등이며, 스테이지 장치(105)는 큰 기판에 토출액을 토출하는데 이용되고 있다.
그러나, 토출 대상인 기판은 대형의 일로를 걷고 있으며, 그에 대응하여 스테이지 장치도 대형화하여, 비용의 문제나 법규상의 문제로 인해, 공장에서 제조한 스테이지 장치를 설치 장소까지 운반하는 것이 곤란해지고 있다.
그런 점에서 종래 기술에서도 그 대책으로서, 베이스판을 분할하여 운반하는 시도가 이루어지고 있다.
특허문헌 1: 일본 특허공개 2007-73688호 공보
그러나 일단 분할한 베이스판을 설치 장소에서 조립하는 경우, 위치 맞춤에 과도한 수고가 요구되거나, 조립 정밀도가 악화되는 등, 그 해결이 요망되고 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 주재치대에 설치된 주베이스판과, 부재치대에 설치되며 상기 주베이스판보다도 작은 부베이스판이 탈착 가능하게 수평으로 접속된 스테이지 장치에 있어서, 상기 부재치대에는 상기 부베이스판이 실린 대차와, 상기 대차와 상기 부베이스판의 상대 위치를 변경하는 조정 기구가 설치된 스테이지 장치이다.
또한, 본 발명은, 상기 주재치대에는 주위치결정 부재가 설치되고, 상기 부재치대에는 상기 주위치결정 부재와 접촉 가능한 부위치결정 부재가 설치되며, 상기 주위치결정 부재와 상기 주베이스판 사이의 위치 관계와, 상기 부위치결정 부재와 상기 부베이스판 사이의 위치 관계 중, 적어도 한 쪽의 위치 관계는 변경 가능한 동시에 고정 가능하게 구성된 스테이지 장치이다.
또한, 본 발명은 상기 주위치결정 부재와 상기 부위치결정 부재가 결합하여 상기 주재치대에 대한 상기 부재치대의 위치가 결정되는 스테이지 장치이다.
또한, 본 발명은 상기 부위치결정 부재가 상기 대차에 설치된 스테이지 장치이다.
또한, 본 발명은 상기 주재치대의 상기 주베이스판에는 주레일이 설치되고, 상기 부재치대의 상기 부베이스판에는 상기 주레일과 연결되는 부레일이 설치된 스테이지 장치이다.
본 설치 장소에서의 주베이스판과 부베이스판의 위치 맞춤 정밀도가 향상한다.
본 설치 장소에서의 작업이 간단해진다.
도 1(a)는 가설치 장소의 주재치대를 설명하기 위한 평면도, (b)는 그 측면도.
도 2(a)는 가설치 장소의 부재치대를 설명하기 위한 평면도, (b)는 그 측면도.
도 3은 가설치 장소에서 주재치대에 대하여 부재치대를 연결하는 순서를 설명하기 위한 내부 평면도.
도 4는 가설치 장소 또는 본 설치 장소에서 연결된 주재치대와 부재치대의 상태를 설명하기 위한 내부 평면도.
도 5(a)는 본 발명의 일례의 스테이지 장치의 평면도, (b)는 그 측면도.
도 6(a)는 그 스테이지 장치의 동작 상태를 설명하기 위한 평면도, (b)는 그 측면도.
도 7은 본 설치 장소에서 부재치대를 주재치대에 연결하는 순서를 설명하기 위한 평면도.
도 8은 본 발명의 다른 예의 스테이지 장치를 설명하기 위한 평면도.
도 9(a)는 종래 기술의 스테이지 장치의 평면도(1), (b)는 그 측면도(1).
도 10(a)는 종래 기술의 스테이지 장치의 평면도(2), (b)는 그 측면도(2).
도 5(a), (b)의 부호 5는 본 발명의 스테이지 장치를 나타내고 있다. 도 5(a)는 평면도, 도 5(b)는 측면도이다.
이 스테이지 장치(5)는 주재치대(10)와, 복수의 부재치대(20a~20d)를 가지고 있다.
주재치대(10)와 부재치대(20a~20d)는 표면이 평탄한 주베이스판(11)과 부베이스판(21)을 각각 가지고 있다. 주베이스판(11)과 부베이스판(21)의 표면은 각각 같은 높이로 수평이 되도록 배치되어 있다.
주베이스판(11)의 평면 형상은 직사각형이고, 그 네 변 중, 서로 평행한 두 변을 따라 주레일(17a, 17b)이 깔려 있다.
부베이스판(21) 상에는 부레일(18)이 배치되어 있다.
주레일(17a, 17b)의 양단부는 부레일(18)의 단부에 접속되어 있어, 두 줄의 부레일(18)과 그 사이에 있는 주레일(17a 또는 17b)에 의해, 연속되는 한 줄의 레일(19a 또는 19b)이 형성된다.
레일(19a, 19b) 상에는 이동 가능한 이동 부재(여기에서는 갠트리)가 설치되며, 갠트리에 토출 장치(13)가 실려 있다.
이 토출 장치(13)의 저면 부분에는 인쇄 헤드(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 토출 장치(13)에는 토출액이 배치된 탱크(29)가 접속되어 있고, 탱크(29)로부터 토출액을 공급하면서 인쇄 헤드를 동작시키면, 인쇄 헤드로부터 토출액이 토출되도록 구성되어 있다.
주베이스판(11)의 주레일(17a, 17b) 사이에 위치하는 부분 상에는 기판(7)이 배치되어 있다.
토출 장치(13)는 레일(19a, 19b) 위를 주행할 수 있도록 구성되어 있고, 도 6(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 토출 장치(13)가 기판(7) 상에 위치하는 상태에서 인쇄 헤드로부터 토출액이 토출되면, 토출액은 기판(7) 표면에 착탄한다. 토출 장치(13)를 이동시키면, 기판(7) 표면의 원하는 위치에 토출액을 착탄시킬 수 있다.
이 스테이지 장치(5)는 기판(7)으로의 토출 작업이 수행되는 본 설치 장소에 배치되는데, 주베이스판(11)이 크기 때문에, 도 5, 6에 나타낸 바와 같이 부재치대(20a~20d)를 주재치대(10)에 연결하여 주베이스판(11)와 부베이스판(21)을 조립한 상태에서는, 스테이지 장치(5)를 제조할 때에 조립한 가설치 장소로부터 본 설치 장소에 반송할 수가 없다.
본 발명의 스테이지 장치(5)는 주재치대(10)에 대하여 부재치대(20a~20d)가 탈착 가능하게 구성되어 있어, 하기와 같이 가설치 장소에서 위치 맞춤을 한 후 분리시켜 가설치 장소로부터 본 설치 장소로 반송하고, 본 설치 장소에서 위치 맞춤을 한 상태를 복원하여, 주베이스판(11)을 베이스판(21)을 접속한다.
도 1(a)는 본 설치 장소가 아니라, 가설치 장소에 놓여진 상태의 주재치대(10)의 평면도를 나타내고 있고, 도 1(b)는 그 주재치대(10)의 측면도를 나타내고 있다.
주베이스판(11)의 이면의 네 모서리 부근에는 다리부(12a~12d)가 배치되어 있다.
도 1(a)(및 후술하는 도 3(a), 도 4(a))에서는 주베이스판(11)과 주레일(17a, 17b)을 이점쇄선으로 나타내고, 다리부(12a~12d)를 실선으로 나타내고 있다. 다리부(12a~12d)는 주베이스판(11)의 이면에 고정되어 있다.
다음으로, 도 2(a)는 부재치대(20a~20d)의 평면도, 도 2(b)는 그 측면도이다.
부재치대(20a~20d)는 각각 대차(22)를 가지고 있으며, 부베이스판(21)은 대차(22) 상에 실려 있다.
대차(22)에는 복수의 반송 차륜(23)이 설치되어 있다. 여기에서는, 대차(22)는 대좌(27)를 가지고 있고, 반송 차륜(23)은 대좌(27) 저면의 4개소에 설치되어 있다.
주베이스판(11)과 부베이스판(21)은 직사각형 또는 정사각형 형상이다. 부베이스판(21)은 주베이스판(11)의 절반 이하의 크기로 되어 있고, 부베이스판(21)은 주베이스판(11)의 양 옆에, 한 쪽 두 개씩 접속할 수 있다.
반송 차륜(23)은 부베이스판(21)이 주베이스판(11)에 접속되는 부분을 선두로 하여 적어도 전진과 후진이 가능한 방향으로 설치되어 있고, 반송 차륜(23)을 바닥에 접지하여 전진 방향 또는 후진 방향을 향해 힘을 가하면, 반송 차륜(23)이 회전하여 부재치대(20a~20d)는 힘을 가한 방향으로 바닥 위를 주행한다.
대좌(27) 상에는 롤러와 회전축으로 이루어지는 부위치결정 부재(241, 242)가 한 개 내지 복수개 설치되어 있다.
여기에서는 부위치결정 부재(241, 242)는 두 개 설치되어 있고, 대좌(27) 상의, 부재치대(20a~20d)의 전진 방향 선두에는, 진행하는 방향의 양측 위치에 서로 이간되어 배치되어 있다.
다리부(12a~12d)는 바닥면에 접촉하여 주베이스판(11)을 지지하는 지지부(15)와, 지지부(15)의 외주 측면에 설치된 판 형상의 주위치결정 부재(16)를 가지고 있다. 주위치결정 부재(16)는 바닥면으로부터 일정 거리만큼 상방으로 배치되어 있고, 주위치결정 부재(16)와 바닥면 사이에는 극간이 형성되어 있다.
부위치결정 부재(241, 242)는 대좌(27)에 대하여 이동과 고정이 가능하게 구성되어 있으며, 미리 부위치결정 부재(241, 242)간의 거리를 크게 해 두고, 도 3의 부재치대(20d)와 같이, 주레일(17a 또는 17b)과 부레일(18)이 일직선이 되도록 부재치대(20b)의 선두의 부분을 다리부(12b)로 향하게 하여 전진시키면, 도 3의 부재치대(20c)와 같이, 대좌(27)는 주위치결정 부재(16)와 바닥면 사이에 삽입된다.
주위치결정 부재(16)는 다리부(12a~12d)의 측면 중, 주레일(17a, 17b)과 평행한 측면에 배치되어 있다.
주위치결정 부재(16)는 부위치결정 부재(241, 242)와 같은 높이에 배치되어 있지만, 부위치결정 부재(241, 242)의 간격은 미리 주위치결정 부재(16)의 폭보다도 넓게 되어 있어, 대좌(27)는 부위치결정 부재(241, 242)와 주위치결정 부재(16)가 접촉하지 않고, 주위치결정 부재(16)의 아래에 삽입되어, 도 3의 부재치대(20b)와 같이 부베이스판(21)과 주베이스판(11)이 접촉된다.
이 상태에서는 주베이스판(11)과 부베이스판(21) 사이의 이상적인 위치 관계로부터의 오차는 크다.
부재치대(20a~20d)에는 부베이스판(21)의 높이와, 기울기와, 수평 방향의 위치와 방향을 변경할 수 있는 조정 기구(30)가 설치되어 있다.
이 조정 기구(30)는 부베이스판(21)의 높이, 기울기, 수평면 내의 위치 및 방향을 대략적으로 변경할 수 있는 대략 조정 기구(31)와, 대략 조정 기구(31)보다도 정밀하게 변경할 수 있는 미세 조정 기구(32)를 가지고 있다.
대략 조정 기구(31)는 미세 조정 기구(32)보다도, 부베이스판(21)의 높이와 기울기와 수평 방향의 위치를 크게 변경할 수 있도록 구성되어 있어, 먼저 부재치대(20a~20d)마다 대략 조정 기구(31)에 의해 주베이스판(11)에 대한 부베이스판(21)의 대략의 위치 맞춤을 수행한다.
가설치 장소의 바닥면은 수평이고, 주베이스판(11)은 주재치대(10)에 설치된 주조정 기구(도시하지 않음)에 의해 미리 표면이 수평으로 되어 있는 것으로 하면, 대략 조정 기구(31)에 의해, 부베이스판(21)은 주베이스판(11)의 표면과 거의 같은 높이로 수평이 됨과 동시에, 주베이스판(11)과의 상대적인 위치와 방향이 대략 조정되어, 대략의 위치 맞춤이 이루어진다.
다음으로, 대략 조정 기구(31)(의 대략 조정 나사 등)를 고정하여, 대략적으로 조정이 된 부베이스판(21)과 주베이스판(11)의 상대 위치가 변화하지 않도록 하면서, 부위치결정 부재(241, 242)를 이동시켜 주위치결정 부재(16)에 접촉시킨 상태에서 대좌(27)에 고정하면, 부위치결정 부재(241, 242)에 의해 주위치결정 부재(16)는 그 사이에 끼이게 된다(부위치대(20a)).
이로 인해, 대략적으로 조정이 된 상태에서의 주재치대(10)와 부재치대(20a~20d) 사이의 위치 관계가 결정된다.
지지부(15)는 주베이스판(11)의 외주보다도 내측에 위치하고 있고, 주위치결정 부재(16)는 주베이스판(11)의 외주로부터 먼 부분이 폭이 넓고, 주베이스판(11)의 외주에 가까운 쪽이 폭이 좁게 형성되어 있으며, 부위치결정 부재(241, 242)로 주위치결정 부재(16)를 사이에 끼운 상태에서는, 부재치대(20a~20d)는 주베이스판(11)의 외측 방향으로 이동할 수 있지만(후퇴 방향), 다리부(12a~12d)에 대하여 전진도 좌우 방향 이동도 할 수 없게 된다.
이 때문에, 대략 조정 기구(31)의 고정이나, 부위치결정 부재(241, 242)의 대좌(27)에 대한 고정을 해제하지 않으면, 부재치대(20a~20d)를 주재치대(10)로부터 분리하여도, 부위치결정 부재(241, 242)에 의해 주위치결정 부재(16)가 분리 전과 마찬가지로 그 사이에 있도록 부재치대(20a~20d)를 이동시키면, 대략 조정된 상태를 용이하게 재현할 수 있다.
대좌(27)와 부베이스판(21) 사이에는 가대(25)가 배치되어 있다. 부베이스판(21)은 가대(25)에 고정되어 있다. 이 가대(25)에는 연결 부재(33)가 설치되어 있고, 이 연결 부재(33)에 의해 가대(25)를 다리부(12a~12d)에 고정하면, 주베이스판(11)과 부베이스판(21)은 대략 조정된 상태에서 가대(25)와 다리부(12a~12d)를 통하여 상대적인 위치가 고정된다.
이어서, 미세 조정 기구(32)에 의해, 부베이스판(21)의 높이, 기울기, 수평 방향의 위치와 방향을 조정하여, 부베이스판(21)의 주베이스판(11)에 대한 위치를, 부재치대(20a~20d)마다 미세 조정한다.
이상의 순서에 의해, 부베이스판(21)과 주베이스판(11)은 위치 맞춤이 된 상태가 되고, 주레일(17a, 17b)의 양단에 부레일(18)이 똑바로 접속되어 직선상의 레일(19a, 19b)이 얻어진다.
이러한 가조립을 가설치 장소에서 수행한 후, 연결 부재(33)를 떼어내어 주재치대(10)와 부재치대(20a~20d) 사이의 연결을 해제하고, 부재치대(20a~20d)를 후퇴시켜 주재치대(10)와 부재치대(20a~20d)를 분리하면, 따로따로 반송할 수 있는 상태가 된다.
이 때, 부위치결정 부재(241, 242)의 대좌(27)에 대한 고정은 해제하지 않고, 부위치결정 부재(241, 242)간의 거리는 변경하지 않는다. 또한, 대략 조정 기구(31)나 미세 조정 기구(32)의 조동(粗動) 나사나 미동(微動) 나사도 고정하여, 대략 조정과 미세 조정이 된 상태가 변화하지 않도록 해 둔다.
주재치대(10)와 부재치대(20a~20d)는 각각 차량 등에 탑재하여 육로나 해로 등에 의해 본 설치 장소까지 반송하고, 먼저 주재치대(10)를 본 설치 장소의 소정 위치에 배치한다.
이어서, 부재치대(20a~20d)를 다리부(12a~12d)를 향하게 하여 배치하고, 도 7에 나타내는 바와 같이 각 부재치대(20a~20d)를, 가설치 장소에서 조립된 상태를 복원할 수 있도록 하여 부재치대(20a~20d)를 다리부(12a~12d)를 향하게 하여 각각 전진시킨다.
주위치결정 부재(16)의 폭은 부재치대(20a~20d)의 진행 방향의 안쪽 방향을 향해 넓어지고 있기 때문에, 각 부재치대(20a~20d)의 대좌(27)가 주위치결정 부재(16)의 아래로 들어가면, 부위치결정 부재(241, 242) 사이에 주위치결정 부재(16)가 삽입되어 부위치결정 부재(241, 242)와 주위치결정 부재(16)가 접촉하면, 부재치대(20a~20d)의 전진이 정지한다.
이 상태는 도 4에 나타낸 상태와 같으며, 부재치대(20a~20d)의 가대(25)와 주재치대(10)의 다리부(12a~12d) 사이를 연결 부재(33)로 연결 고정하여, 다리부(12a~12d)에 대하여 대좌(27)를 고정한다.
가설치 장소와 본 설치 장소의 바닥면이 수평이고, 부위치결정 부재(241, 242)와 주위치결정 부재(16)가 가설치 장소에서 접촉하고 있던 위치와 같은 위치에서 접촉하고 있는 경우에는, 부재치대(20a~20d)와 주재치대(10)의 가조립 장소에서의 위치 관계가 복원된다.
즉, 부베이스판(21)과 주베이스판(11)은 대략 조정과 미세 조정이 된 상태와 같아진다.
그러나, 부재치대(20a~20d)와 주재치대(10) 사이의 연결을 일단 해제하고, 부재치대(20a~20d)와 주재치대(10)를 분리하여 반송하였기 때문에, 반송시의 진동이나 온도 변화 등에 의해, 작은 위치 맞춤 오차가 발생하고 있는 경우가 있다. 또한, 설치 장소에 오차가 있는 경우도 있고, 본 설치 장소에서 주베이스판(11) 표면을 수평으로 다시 설정한 경우에도 위치 맞춤 오차가 발생한다.
이 위치 맞춤 오차는 미세 조정 오차와 비슷한 정도의 크기로서, 대략 조정이 된 상태는 유지되고 있다. 이 때문에, 다시 조정하는 경우라도 조정량이 적어 신속하게 조정할 수 있다.
따라서, 주베이스판(11)의 표면을 수평으로 한 후, 미세 조정 기구(32)에 의해 부재치대(20a~20d)의 상하 방향의 높이, 기울기, 수평 방향의 위치와 방향을 미세 조정하면, 부베이스판(21)의 주베이스판(11)에 대한 위치가 변경되어 위치 맞춤 오차(E4)가 작아져, 주베이스판(11)과 부베이스판(21)의 위치 맞춤 오차를, 반송 전의 미세 조정 오차(E3)와 같은 정도의 크기로 할 수 있다.
도 5(a), (b)는 이상의 순서에 따라 본 설치 장소에 조립한 스테이지 장치(5)의 평면도와 측면도로서, 주베이스판(11) 상의 주레일(17a, 17b)과 부베이스판(21) 상의 부레일(18)이 직선상으로 접속되어, 레일(19a, 19b)이 똑바로 부설된다.
도 5에서는 토출 장치(13)는 주대치대(10)의 외측 위치의 부재치대(20b, 20c) 상에 위치하고 있고, 이 위치에서는 인쇄 헤드의 클리닝 등을 수행할 수 있다. 또한 토출 장치(13)가 기판 상에 없기 때문에, 주재치대(10) 상의 기판(7)을 교환할 수 있다.
주베이스판(11)과 부베이스판(21) 사이의 위치 맞춤의 정밀도가 높기 때문에, 도 6(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 토출 장치(13)을 부재치대(20a~20d) 상과 주재치대(10) 상 사이에서 이동시켜도, 진동이 발생하는 일은 없다.
가대(25)는 대차(22)로부터 분리 가능하며, 가대(25)가 연결 부재(33)에 의해 다리부(12a~12d)에 고정되어 있으면, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이 대차(22)를 가대(25) 아래에서 빼내어도, 부베이스판(21)은 주베이스판(11)에 대하여 고정된 상태이다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 본 설치 장소에서 부재치대(20a~20d)와 주재치대(10)를 조립하기 전에, 미리 이 스테이지 장치(5)를 제조한 공장 내 등의 가설치 장소에서 부베이스판(21)과 주베이스판(11)을 위치 맞춤한 후, 그 상태가 복원될 수 있도록 분리시켜 반송하여, 본 설치 장소에서 조립할 수 있다.
또한, 조립에 이용하는 연결 부재(33)는 부재치대(20a~20d)에 설치할 수도 있고, 주재치대(10)에 설치할 수도 있다. 또한, 부재치대(20a~20d)와 주재치대(10) 모두에서 떼어낼 수 있도록 할 수도 있다.
상기 실시예에서는 주위치결정 부재(16)를 판 형상의 부재로 구성하고, 부위치결정 부재(241, 242)를 그 측면에 접촉하는 롤러로 구성하였으나, 그에 한정되는 것이 아니라, 부베이스판(21)과 주베이스판(11)의 상대적인 위치 관계를 재현할 수 있는 부재이면 무방하다. 주위치결정 부재를 롤러로 구성하고, 부위치결정 부재를 판 형상 부재로 구성할 수도 있다.
또한, 상기 실시예에서는 주위치결정 부재(16)는 다리부(12a~12d) 내에서 고정되어 있어, 주위치결정 부재(16)와 주베이스판(11) 사이의 위치 관계는 고정되어 있고, 또한, 부위치결정 부재(241, 242)가 대좌(27)에 대하여 이동 및 고정이 가능하도록 구성되어 있지만, 그와 반대로, 부위치결정 부재(241, 242)와 부베이스판(21)의 위치 관계가 고정되고, 주위치결정 부재(16)와 주베이스판(11) 사이의 상대 위치를 변경 및 고정이 가능하도록 할 수도 있다. 이 경우, 대략 조정 후, 연결 부재(33)로 고정한 후, 주위치결정 부재(16)를 이동시켜 부위치결정 부재(241, 242)와 접촉시켜, 주위치결정 부재(16)의 주베이스판(11)에 대한 위치를 고정할 수도 있다.
또한, 상기 실시예에서는 부베이스판(21)을 각각 갖는 4대의 부재치대(20a~20d)를 4대의 다리부(12a~12d)에 각각 1대씩 연결하였으나, 도 8에 나타내는 바와 같이, 두 줄의 부레일(181, 182)이 설치된 폭이 넓은 부베이스판(41)을 갖는 부재치대(20e, 20f)와, 이 부재치대(20e, 20f)가 두 개의 다리부(12a~12d)에 대하여 연결되는 주재치대(10)로 조립되는 스테이지 장치도 본 발명에 포함된다.
이 경우에도, 미리 가설치 장소에서 부재치대(20e, 20f)의 부베이스판(41)과 주재치대(10)의 주베이스판(11)을 조정 기구(30)에 의해 위치 맞춤해 두고, 그 상태가 유지되도록 하여 분리하고 반송한 후, 본 설치 장소에서 위치 맞춤을 복원할 수 있다. 본 설치 장소에서 조정 기구(30)에 의해 미세 조정할 수도 있다.
또한, 상기 실시예에서는 본 발명의 스테이지 장치(5)의 주 및 부재치대(10, 20a~20d) 상에는 토출 장치(13)가 배치되어, 잉크젯 장치로서 이용되고 있었지만, 본 발명은 그에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 스테이지 장치(5)에 레이저 조사 장치를 배치하여, 가열 장치, 검사 장치, 또는 노광 장치로서 이용할 수도 있고, 기판 위치 맞춤 장치를 배치하여 얼라이너로서 이용할 수도 있다.
즉, 본 발명의 스테이지 장치(5)는 잉크젯 장치에 한정되는 것이 아니다.
또한, 레일(19a, 19b) 상을 이동 가능한 이동 부재는 갠트리에 한정되지 않고, 예를 들면, 기판 등의 처리 대상물이 재치되는 재치대여도 무방하다.
5 스테이지 장치
10 주재치대
11 주베이스판
13 토출 장치
16 주위치결정 부재
20a~20f 부재치대
21, 41 부베이스판
241, 242 부위치결정 부재
30 조정 기구
33 연결 부재

Claims (5)

  1. 주재치대에 설치된 주베이스판과, 부재치대에 설치되며 상기 주베이스판보다도 작은 부베이스판이 탈착 가능하게 수평으로 접속된 스테이지 장치에 있어서,
    상기 부재치대에는 상기 부베이스판이 실린 대차와, 상기 대차와 상기 부베이스판의 상대 위치를 변경하는 조정 기구가 설치되고,
    상기 주재치대에는 주위치결정 부재가 설치되고,
    상기 대차에는 상기 주위치결정 부재와 접촉 가능한 부위치결정 부재가 설치되고,
    상기 주위치결정 부재와 상기 주베이스판 사이의 위치 관계와, 상기 부위치결정 부재와 상기 부베이스판 사이의 위치 관계 중, 적어도 한 쪽의 위치 관계는 변경 가능한 동시에 고정 가능하게 구성되며,
    상기 조정 기구는 상기 부베이스판의 높이와 기울기와 수평면 내의 위치와 방향을 변경할 수 있는 대략 조정 기구와, 상기 대략 조정 기구 보다도 정밀하게 변경할 수 있는 미세 조정 기구를 가지고,
    상기 대략 조정 기구에 의하여 조정된 상기 부베이스판과 상기 주베이스판의 상대 위치가 변화하지 않도록 상기 대략 조정 기구를 고정하고, 상기 부재치대가 상기 주베이스판의 외측 방향으로 이동가능한 상태로 하여, 상기 부위치결정 부재와 상기 주위치결정 부재가 접촉한 상태로 상기 부위치 결정 부재와 상기 주위치 결정 부재의 상대 위치를 고정할 수 있도록 구성된 스테이지 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 주재치대의 상기 주베이스판에는 주레일이 설치되고,
    상기 부재치대의 상기 부베이스판에는 상기 주레일과 연결되는 부레일이 설치된 스테이지 장치.
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