CN101790783A - 机台装置 - Google Patents

Abstract

提供一种在正式设置场所的对位容易的机台装置。使配置有副底座板(21)的架台(25)承载于台车(22)上而构成副载置台(20a～20d)，利用台车(22)使副底座板(21)移动，并将架台(25)固定在具有主底座板(11)的主载置台(10)。由设置于副载置台(20a～20d)的调整机构(30)对主底座板(11)和副底座板(21)进行对位。由于在主载置台(10)和副载置台(20a～20d)设置有主定位部件(16)和副定位部件(241、242)，因而能够以复原对位状态的方式进行分离。所以，在搬送之后，在组装时容易进行对位。

Description

机台装置

技术领域

本发明涉及机台装置的技术领域，尤其涉及可分解的机台装置。

背景技术

图9的符号105显示了现有技术的机台装置。

该机台装置105具有底座板111，底座板111由配置于背面的四角的脚部112a～112d载置于地面上。

在底座板111的表面上铺设有轨道117、118，在其上方承载有吐出装置113。在吐出装置113的与底座板111面对的面，配置有印刷头。印刷头连接于箱129，并从箱129将吐出液供给至印刷头，如果使基板107承载于底座板111上并从印刷头将吐出液吐出，则吐出液着陆于基板107上。

吐出装置113构成为可在轨道117、118上移动，如图10所示，如果在基板107的上方将吐出液吐出，则能够使吐出液着陆于基板107表面的期望位置。

该吐出液例如为液晶取向膜用的有机薄膜的原料，或液晶显示装置的间隔件的分散液、有机EL元件的发光层的原料等，机台装置105用于将吐出液吐出至大的基板。

然而，吐出对象的基板一直向大型化发展，与此相对应地，机台装置也大型化，从成本的问题或法规上的问题看，难以将在工厂中所制造的机台装置搬运至设置场所。

因此，在现有技术中也采取对策，尝试将底座板分割搬运。

专利文献1：日本特开2007-73688号公报

发明内容

然而，当在设置场所组装暂时分割的底座板时，需要花费极大的人工进行对位，或者组装精度恶化，仍期望加以解决。

为了解决上述问题，在本发明的机台装置中，设置于主载置台的主底座板和设置于副载置台且比上述主底座板小的副底座板可装卸地水平连接，在上述副载置台设置有：承载有上述副底座板的台车、变更上述台车和上述副底座板的相对位置的调整机构。

此外，在本发明的机台装置中，在上述主载置台设置有主定位部件，在上述副载置台设置有能够与上述主定位部件接触的副定位部件，上述主定位部件和上述主底座板之间的位置关系以及上述副定位部件和上述副底座板之间的位置关系中的至少一方的位置关系构成为能够变更且能够固定。

此外，在本发明的机台装置中，上述主定位部件和上述副定位部件嵌合，决定上述副载置台相对于上述主载置台的位置。

此外，在本发明的机台装置中，上述副定位部件设置在上述台车。

此外，在本发明的机台装置中，在上述主载置台的上述主底座板，设置有主轨道，在上述副载置台的上述副底座板上，设置有与上述主轨道联接的副轨道。

在正式设置场所的主底座板和副底座板的对位精度提高。

在正式设置场所的作业变简单。

附图说明

图1(a)是用于说明暂时设置场所的主载置台的俯视图，(b)为其侧视图。

图2(a)是用于说明暂时设置场所的副载置台的俯视图，(b)为其侧视图。

图3是用于说明在暂时设置场所相对于主载置台而联接副载置台的顺序的内部俯视图。

图4是用于说明在暂时设置场所或正式设置场所联接的主载置台和副载置台的状态的内部俯视图。

图5(a)是本发明的一个示例的机台装置的俯视图，(b)为其侧视图。

图6(a)是用于说明该机台装置的动作状态的俯视图，(b)为其侧视图。

图7是用于说明在正式设置场所将副载置台联接于主载置台的顺序的俯视图。

图8是用于说明本发明的其它示例的机台装置的俯视图。

图9(a)是现有技术的机台装置的俯视图(1)，(b)为其侧视图(1)。

图10(a)是现有技术的机台装置的俯视图(2)，(b)为其侧视图(2)。

符号说明

5：机台装置

10：主载置台

11：主底座板

13：吐出装置

16：主定位部件

20a～20f：副载置台

21、41：副底座板

24₁、24₂：副定位部件

30：调整机构

33：联接部件

具体实施方式

图5(a)、(b)的符号5显示了本发明的机台装置。同图(a)为俯视图，同图(b)为侧视图。

该机台装置5具有主载置台10以及多个副载置台20a～20d。

主载置台10和副载置台20a～20d分别具有表面平坦的主底座板11和副底座板21。主底座板11和副底座板21的表面分别以在相同的高度成为水平的方式配置。

主底座板11的俯视形状为矩形，沿着其四边之中的互相平行的两边铺设有主轨道17a、17b。

在副底座板21上配置有副轨道18。

主轨道17a、17b的两端部连接于副轨道18的端部，由两条副轨道18以及夹在其间的主轨道17a或17b形成连续的一条轨道19a或19b。

在轨道19a、19b上，设置有可移动的移动部件(在此，为起重机架)，在起重机架上承载有吐出装置13。

在该吐出装置13的底面部分，设置有印刷头(图中未显示)。配置有吐出液的箱29连接于吐出装置13，并构成为，如果一边从箱29供给吐出液，一边使印刷头进行动作，则从印刷头将吐出液吐出。

在位于主底座板11的主轨道17a、17b之间的部分之上，配置有基板7。

吐出装置13构成为可在轨道19a、19b上行走，如图6(a)、(b)所示，如果在吐出装置13位于基板7上的状态下，从印刷头将吐出液吐出，则吐出液着陆于基板7表面。如果移动吐出装置13，则能够使吐出液着陆于基板7表面的期望位置。

该机台装置5配置在对基板7进行吐出作业的正式设置场所，但由于主底座板11较大，因而如图5、6所示，在将副载置台20a～20d联接于主载置台10并组装了主底座板11和副底座板21的状态下，无法从制造机台装置5时进行组装的暂时设置场所搬送至正式设置场所。

本发明的机台装置5构成为副载置台20a～20d相对于主载置台10可装卸，并如下所述，在暂时设置场所进行对位后分离，从暂时设置场所搬迭至正式设置场所，并在正式设置场所复原经过对位的状态，连接主底座板11和副底座板21。

图1(a)显示了不放置在正式设置场所而是放置在暂时设置场所的状态的主载置台10的俯视图，同图(b)显示了该主载置台10的侧视图。

在主底座板11的背面的四角附近，配置有脚部12a～12d。

在同图(a)(以及后述的图3(a)、图4(a))中，以两点划线表示主底座板11和主轨道17a、17b，以实线表示脚部12a～12d。脚部12a～12d固定于主底座板11的背面。

接着，图2(a)为副载置台20a～20d的俯视图，同图(b)为其侧视图。

副载置台20a～20d分别具有台车22，副底座板21承载于台车22上。

在台车22上设置有多个搬送车轮23。在此，台车22具有台座27，搬送车轮23设置于台座27的底面的四处。

主底座板11和副底座板21为长方形或正方形形状。副底座板21为主底座板11的一半以下的大小，副底座板21在主底座板11的两旁，能够分别在每侧连接两个。

搬迭车轮23设置在副底座板21以连接于主底座板11的部分为先头而至少能够前进和后退的方向，如果使搬送车轮23接触于地面并向着前进方向或后退方向施加力，则搬送车轮23旋转，副载置台20a～20d沿施加力的方向在地面上行走。

在台座27上，设置有一个乃至多个由辊和旋转轴形成的副定位部件24₁、24₂。

在此，副定位部件24₁、24₂设置有两个，在台座27上的副载置台20a～20d的前进方向先头，互相离开地配置在行进方向的两侧位置。

脚部12a～12d接触于地面，并具有支撑主底座板11的支撑部15和设置于支撑部15的外周侧面的板状的主定位部件16。主定位部件16配置于离地面一定距离的上方，在主定位部件16和地面之间形成有间隙。

副定位部件241、242构成为相对于台座27能够移动和固定，预先增大副定位部件24₁、24₂之间的距离，如图3的副载置台20b所示，如果以主轨道17a或17b和副轨道18成为一条直线的方式使副载置台20b的先头部分向着脚部12b前进，则如同图的副载置台20a所示，台座27插入主定位部件16和地面之间。

主定位部件16配置于脚部12a～12d的侧面之中的与主轨道17a、17b平行的侧面。

主定位部件16配置在与副定位部件24₁、24₂相同的高度，但副定位部件24₁、24₂的间隔，预先形成为比主定位部件16的宽度更宽，台座27在副定位部件24₁、24₂和主定位部件16不接触的情况下，插入主定位部件16的下方，如同图的副载置台20b所示，副底座板21和主底座板11接触。

在该状态下，偏离主底座板11和副底座板21之间的理想位置关系的误差较大。

在副载置台20a～20d上设置有能够变更副底座板21的高度、斜率以及水平方向的位置和方向的调整机构30。

该调整机构30具有能够粗略变更副底座板21的高度、斜率、水平面内的位置、方向的粗调整机构31以及能够比粗调整机构31更精密地变更的微调整机构32。

粗调整机构31构成为能够比微调整机构32更大幅地变更副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置，首先，由粗调整机构31对每个副载置台20a～20d进行副底座板21相对于主底座板11的粗略的对位。

如果暂时设置场所的地面为水平，且主底座板11由设置于主载置台10的主调整机构(图中未显示)预先使表面水平，则由粗调整机构31使副底座板21在与主底座板11的表面大致相同的高度成为水平，并且，粗调整与主底座板11相对的位置和方向，进行粗略的对位。

接着，固定粗调整机构31(的粗调整螺丝等)，一边使经过粗调整的副底座板21和主底座板11的相对位置不变化，一边移动副定位部件24₁、24₂，如果在接触于主定位部件16的状态下，将副定位部件24₁、24₂固定于台座27，则主定位部件16被副定位部件24₁、24₂夹着。

由此，决定了经过粗调整的状态下的主载置台10和副载置台20a～20d之间的位置关系。

支撑部1 5比主底座板11的外周更位于内侧，主定位部件16形成为远离主底座板11的外周的部分的宽度宽，接近主底座板11的外周的部分的宽度窄，在由副定位部件24₁、24₂夹着主定位部件16的状态下，副载置台20a～20d能够向主底座板11的外侧方向移动(后退方向)，但无法相对于脚部12a～2d前进，也无法向左右方向移动。

因此，如果不解除粗调整机构31的固定，或者副定位部件24₁、24₂相对于台座27的固定，那么，即使将副载置台20a～20d从主载置台10分离，但只要移动副载置台20a～20d，就能够容易地再现经过粗调整的状态，使得与分离前相同，由副定位部件24₁、24₂夹着主定位部件16。

在台座27和副底座板21之间，配置有架台25。副底座板21固定于架台25。在该架台25上设置有联接部件33，如果由该联接部件33将架台25固定于脚部12a～12d，则主底座板11和副底座板21在经过粗调整的状态下，经由架台25和脚部12a～12d而固定相对位置。

接着，由微调整机构32调整副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置和方向，并对每个副载置台20a～20d微调整副底座板21相对于主底座板11的位置。

通过以上的顺序，使得副底座板21和主底座板11成为经过对位的状态，副轨道18笔直地连接于主轨道17a、17b的两端，获得直线状的轨道19a、19b。

如果在暂时设置场所进行了该暂时组装后，卸下联接部件33，解除主载置台10和副载置台20a～20d之间的联接，使副载置台20a～20d后退，分离主载置台10和副载置台20a～20d，则成为能够分别搬送的状态。

此时，不解除副定位部件24₁、24₂对台座27的固定，使副定位部件24₁、24₂之间的距离不变更。此外，也固定粗调整机构31和微调整机构32的粗动螺丝和微动螺丝，从而使经过粗调整和微调整的状态不变化。

将主载置台10和副载置台20a～20d分别搭载于车辆等，通过陆路或海路等而搬送至正式设置场所，并首先将主载置台10配置于正式设置场所的规定位置。

接着，向着脚部12a～12d而配置副载置台20a～20d，如图7所示，以能够复原在暂时设置场所将各副载置台20a～20d组装的状态的方式，使副载置台20a～20d分别向着脚部12a～12d前进。

由于主定位部件16的宽度向着副载置台20a～20d的行进方向的纵深方向扩大，因而，如果各副载置台20a～20d的台座27进入主定位部件16的下方，则主定位部件16插入副定位部件24₁、24₂之间，如果副定位部件24₁、24₂和主定位部件16接触，则副载置台20a～20d的前进停止。

该状态与图4所示的状态相同，由联接部件33联接固定副载置台20a～20d的架台25和主载置台10的脚部12a～12d之间，并相对于脚部12a～12d而将台座27固定。

当暂时设置场所和正式设置场所的地面为水平，副定位部件24₁、24₂和主定位部件16在与位于暂时设置场所中所接触的位置相同的位置处接触时，副载置台20a～20d和主载置台10在暂时设置场所的位置关系复原。

即，副底座板21和主底座板11变得与经过粗调整和微调整的状态相同。

然而，由于暂时解除副载置台20a～20d和主载置台10之间的联接，再分离搬送副载置台20a～20d和主载置台10，因而有时候因搬送时的振动或温度变化等而产生小的对位误差。此外，有时候在设置场所具有误差，或者当在正式设置场所将主底座板11的表面重新设定为水平时，也产生对位误差。

该对位误差为与微调整误差相同的程度的大小，被维持在经过粗调整的状态。因此，即使进行再次调整，其调整量也少，并可迅速地进行调整。

所以，在主底座板11的表面为水平后，如果由微调整机构32对副载置台20a～20d的上下方向的高度、斜率以及水平方向的位置和方向进行微调整，则副底座板21相对于主底座板11的位置变更，对位误差E4变小，能够使主底座板11和副底座板21的对位误差成为与搬送前的微调整误差E₃相同的程度的大小。

图5(a)、(b)是通过以上顺序而在正式设置场所组装的机台装置5的俯视图和侧视图，主底座板11上的主轨道17a、17b和副底座板21上的副轨道18直线状地连接，笔直地铺设轨道19a、19b。

在同图中，吐出装置13位于主载置台10的外侧位置的副载置台20b、20c上，在该位置，能够进行印刷头的清洁等。此外，由于吐出装置13不位于基板上，因而能够更换主载置台10上的基板7。

由于主底座板11和副底座板21之间的对位精度高，因而如图6(a)、(b)所示，即使在副载置台20a～20d上和主载置台10上之间使吐出装置13移动，也不产生振动。

架台25可从台车22分离，如果通过联接部件33而将架台25固定于脚部12a～12d，则如同图(b)所示，即使从架台25的下方拔去台车22，副底座板21也成为相对于主底座板11而固定的状态。

如上所述，依照本发明，在正式设置场所组装副载置台20a～20d和主载置台10之前，预先在制造该机台装置5的工厂内等的暂时设置场所，进行副底座板21和主底座板11的对位，然后，以能够复原该状态的方式进行分离、搬送，并能够在正式设置场所进行组装。

另外，组装中所用的联接部件33可以设置于副载置台20a～20d，也可以设置于主载置台10。此外，也可以从副载置台20a～20d和主载置台10的两者卸下。

在上述实施例中，由板状的部件构成主定位部件16，由接触于其侧面的辊构成副定位部件24₁、24₂，但并不限定于此，只要是能够再现副底座板21和主底座板11的相对位置关系的部件即可。也能够由辊构成主定位部件，由板状部件构成副定位部件。

此外，在上述实施例中，主定位部件16被固定在脚部12a～12d内，主定位部件16和主底座板11之间的位置关系固定，另一方面，副定位部件24₁、24₂构成为相对于台座27可移动和固定，但也可与此相反，副定位部件24₁、24₂和副底座板21的位置关系固定，可变更和固定主定位部件16和主底座板11之间的相对位置。这种情况下，可以在粗调整后，由联接部件33进行固定，然后，使主定位部件16移动并与副定位部件24₁、24₂接触，固定主定位部件16相对于主底座板11的位置。

再者，在上述实施例中，将分别具有副底座板21的4台副载置台20a～20d分别联接1台至4台脚部12a～12d，但如图8所示，本发明也包含这样的机台装置：由具有宽度较宽的副底座板41的副载置台20e、20f和该副载置台20e、20f相对于两个脚部12a～12d而联接的主载置台10组装而成，其中，副底座板41设置有两条副轨道18₁、18₂。

这种情况下，也能够预先在暂时设置场所由调整机构30对副载置台20e、20f的副底座板41和主载置台10的主底座板11进行对位，并以能够维持该状态的方式进行分离和搬送，然后，在正式设置场所复原对位。也可以在正式设置场所由调整机构30进行微调整。

此外，在上述实施例中，在本发明的机台装置5的主载置台10和副载置台20a～20d上配置有吐出装置13，并作为喷墨装置而使用，但本发明并不限定于此，也能够在本发明的机台装置5配置激光照射装置，并作为加热装置、检查装置、或曝光装置而使用，或者也能够配置基板对位装置，并作为对准器而使用。

总而言之，本发明的机台装置5并不限定于喷墨装置。

此外，可在轨道19a、19b上移动的移动部件并不限定于起重机架，例如，可以为载置有基板等处理对象物的载置台。

Claims (5)

1.一种机台装置，其中，设置于主载置台的主底座板和设置于副载置台且比所述主底座板小的副底座板可装卸地水平连接，其特征在于，

在所述副载置台设置有：承载有所述副底座板的台车、变更所述台车和所述副底座板的相对位置的调整机构。

2.根据权利要求1所述的机台装置，其特征在于，

在所述主载置台设置有主定位部件，

在所述副载置台设置有能够与所述主定位部件接触的副定位部件，

所述主定位部件和所述主底座板之间的位置关系以及所述副定位部件和所述副底座板之间的位置关系中的至少一方的位置关系构成为能够变更且能够固定。

3.根据权利要求2所述的机台装置，其特征在于，

所述主定位部件和所述副定位部件嵌合，决定所述副载置台相对于所述主载置台的位置。

4.根据权利要求2所述的机台装置，其特征在于，

所述副定位部件设置在所述台车。

5.根据权利要求1所述的机台装置，其特征在于，

在所述主载置台的所述主底座板，设置有主轨道，

在所述副载置台的所述副底座板上，设置有与所述主轨道联接的副轨道。

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