JPWO2009028526A1 - ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
このステージ装置105は、ベース板111を有しており、ベース板111は、裏面の四隅に配置された脚部112a〜112dによって、床面上に載置されている。
この吐出液は、例えば、液晶配向膜用の有機薄膜の原料や、液晶表示装置のスペーサの分散液、有機EL素子の発光層の原料等であり、ステージ装置105は、大きな基板に吐出液を吐出するのに用いられている。
そこで従来技術でも対策が取られており、ベース板を分割して運搬する試みが成されている。
また、本発明は、前記主載置台には主位置決め部材が設けられ、前記副載置台には前記主位置決め部材と接触可能な副位置決め部材が設けられ、前記主位置決め部材と前記主ベース板との間の位置関係と、前記副位置決め部材と前記副ベース板との間の位置関係のうち、少なくとも一方の位置関係は変更可能且つ固定可能に構成されたステージ装置である。
また、本発明は、前記主位置決め部材と前記副位置決め部材が嵌合して前記主載置台に対する前記副載置台の位置が決まるステージ装置である。
また、本発明は、前記副位置決め部材が前記台車に設けられたステージ装置である。
また、本発明は、前記主載置台の前記主ベース板には主レールが設けられ、前記副載置台の前記副ベース板上には、前記主レールと連結される副レールが設けられたステージ装置である。
10……主載置台
11……主ベース板
13……吐出装置
16……主位置決め部材
20a〜20f……副載置台
21、41……副ベース板
241,242……副位置決め部材
30……調整機構
33……連結部材
このステージ装置5は、主載置台10と、複数の副載置台20a〜20dを有している。
副ベース板21上には、副レール18が配置されている。
レール19a,19b上には移動可能な移動部材(ここではガントリ)が設置され、ガントリに吐出装置13が乗せられている。
主ベース板11の主レール17a,17bの間に位置する部分の上には、基板7が配置されている。
主ベース板11の裏面の四隅付近には脚部12a〜12dが配置されている。
副載置台20a〜20dはそれぞれ台車22を有しており、副ベース板21は台車22上に乗せられている。
台車22には複数の搬送車輪23が設けられている。ここでは、台車22は台座27を有しており、搬送車輪23は、台座27の底面の四カ所に設けられている。
ここでは副位置決め部材241,242は二個設けられており、台座27上の、副載置台20a〜20dの前進方向先頭には、進行する向きの両側位置に互いに離間して配置されている。
主位置決め部材16は、副位置決め部材241,242と同じ高さに配置されているが、副位置決め部材241,242の間隔は、予め、主位置決め部材16の幅よりも広くされており、台座27は、副位置決め部材241,242と主位置決め部材16が接触せずに、主位置決め部材16の下に挿入され、同図の副載置台20bのように、副ベース板21と主ベース板11とが接触される。
この状態では、主ベース板11と副ベース板21の間の理想的な位置関係からの誤差は大きい。
この調整機構30は、副ベース板21の高さ、傾き、水平面内の位置、及び向きを、概略変更できる粗調整機構31と、粗調整機構31よりも精密に変更できる微調整機構32を有している。
これにより、粗調整がされた状態での主載置台10と副載置台20a〜20dとの間の位置関係が決定される。
主載置台10と副載置台20a〜20dはそれぞれ車両等に搭載し、陸路や海路等によって本設置場所まで搬送し、先ず、主載置台10を本設置場所の所定位置に配置する。
即ち、副ベース板21と主ベース板11は、粗調整と微調整がされた状態と同じになる。
この位置合わせ誤差は、微調整誤差と同程度の大きさであり、粗調整がされた状態は維持されている。この為、再度調整する場合でも調整量が少なく迅速に調整できる。
要するに、本発明のステージ装置5は、インクジェット装置に限定されるものではない。
また、レール19a,19b上には移動可能な移動部材はガントリに限定されず、例えば、基板等の処理対象物が載置される載置台であってもよい。
Claims (5)
- 主載置台に設けられた主ベース板と、
副載置台に設けられ、前記主ベース板よりも小さな副ベース板とが着脱可能に水平に接続されたステージ装置であって、
前記副載置台には、
前記副ベース板が乗せられた台車と、
前記台車と前記副ベース板の相対位置を変更する調整機構とが設けられたステージ装置。 - 前記主載置台には主位置決め部材が設けられ、
前記副載置台には前記主位置決め部材と接触可能な副位置決め部材が設けられ、
前記主位置決め部材と前記主ベース板との間の位置関係と、前記副位置決め部材と前記副ベース板との間の位置関係のうち、少なくとも一方の位置関係は変更可能且つ固定可能に構成された請求項1記載のステージ装置。 - 前記主位置決め部材と前記副位置決め部材が嵌合して前記主載置台に対する前記副載置台の位置が決まる請求項2記載のステージ装置。
- 前記副位置決め部材が前記台車に設けられた請求項2記載のステージ装置。
- 前記主載置台の前記主ベース板には主レールが設けられ、
前記副載置台の前記副ベース板上には、前記主レールと連結される副レールが設けられた請求項1記載のステージ装置。
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