JP2007057519A - 傾斜ステージ - Google Patents

Abstract

【課題】精度向上と薄型化の両面を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。
【解決手段】傾斜ステージＡは、略球面状乃至略円錐状をした受座１ａを有するベース１と、裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座１ａに当接する略球面状乃至略円錐状の凸部２ａを有するプレート２と、ベース１の受座１ａに凸部２ａが当接するようにベース１とプレート２が近づくように付勢する付勢手段３と、ベース１に支持され、プレート２の裏面の第１の部位２１に当接して凸部２ａを支点としてプレート２を揺動させる第１の揺動手段４と、ベース１に支持され、プレート２の裏面の第２の部位２２に当接して凸部２ａを支点としてプレート２を揺動させる第２の揺動手段５と、平面視で第１の部位２１、プレート２の揺動中心Ｏ、第２の部位２２がなす角度が９０度である。
【選択図】図１

Description

本発明は、傾斜ステージに係り、特に、ステージの精度向上と薄型化の両面を図るこ
とができる傾斜ステージに関する。

従来、傾斜ステージとしては、たとえば、相対するプレートの一方側のプレートは、
Ｘ軸回りに揺動するＸ軸回りプレートであり、相対するプレートの他方側のプレートは、
Ｘ軸に直交するＹ軸回りに揺動するＹ軸回りプレートであり、Ｙ軸回りプレートとＸ軸回
りプレートとを重ねると共に、重ねた部位を接続部材、例えば、ネジで接続するようにし
ていた。

上述した傾斜ステージにあっては、Ｙ軸回りプレートとＸ軸回りプレートとを重ね、
該重ねた状態をネジで接続するため、接続位置によっては、精度が出なかったり、また、
プレートを重ねた分、重ねた方向の厚みが増すと共に、プレート同士を接続する作業をも
伴うという問題点が生じた。

本発明は、上記の問題点を除去するようにした傾斜ステージを提供することを目的とす
る。

請求項１記載の傾斜ステージは、略球面状乃至略円錐状をした受座を有するベースと、裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座に当接する略球面状乃至略円錐状の凸部を有するプレートと、前記ベースの受座に前記凸部が当接するように前記ベースと前記プレートが近づくように付勢する付勢手段と、前記ベースに支持され、前記プレートの裏面の第１の部位に当接して前記凸部を支点として前記プレートを揺動させる第１の揺動手段と、前記ベースに支持され、前記プレートの裏面の第２の部位に当接して前記凸部を支点として前記プレートを揺動させる第２の揺動手段と、平面視で前記第１の部位、前記プレートの揺動中心、前記第２の部位がなす角度が９０度である。

また、請求項２記載の傾斜ステージは、略球面状乃至略円錐状をした受座を有するベースと、裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座に当接する略球面状乃至略円錐状の凸部を有するプレートと、前記ベースの受座に前記凸部が当接するように前記ベースと前記プレートが近づくように付勢する付勢手段と、前記ベースに取り付けられ、Ｘ軸方向に進退自在に移動可能な第１の移動部材と、前記ベースに取り付けられ、前記Ｘ軸に対して直交するＹ軸方向に進退自在に移動可能な第２の移動部材と、前記ベースに回動自在に支持された第１の回動部材と、この第１の回動部材は、前記第１の移動部材の先端と対向する部位で当接し、前記プレートの裏面と対向する部位で当接し、前記ベースに回動自在に支持された第２の回動部材と、この第２の回動部材は、前記第２の移動部材の先端と対向する部位で当接し、前記プレートの裏面と対向する部位で当接するものである。

また、請求項３記載の傾斜ステージは、略球面状乃至略円錐状をした受座を有するベースと、裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座に当接する略球面状乃至略円錐状の凸部を有するプレートと、前記ベースの受座に前記凸部が当接するように前記ベースと前記プレートが近づくように付勢する付勢手段と、Ｘ軸方向に進退自在に移動可能な第１の移動部材と、前記ベースに取り付けられ、前記第１の移動部材を支持する第１の支持部材と、前記プレートの側方に取り付けられ、第１の収納部と、この第１の収納部に連通し、前記プレートのＸＹ平面に平行な上面部と下面部との間であって外方に開口する第１の開口部とを備えた第１の側方部材と、この第１の側方部材の第１の収納部に係止する第１の係止部と、この第１の係止部に設けられ、前記第１の側方部材の前記上面部と下面部とに当接し揺動自在に軸支する第１の軸支部と、この第１の軸支部に設けられ、前記第１の移動部材の先端部をＺ軸方向に案内する第１の案内部とを備えた第１の揺動支持部材と、この第１の揺動支持部材と前記第１の支持部材との間に設けられ、前記第１の揺動支持部材のＸ軸方向の移動を許容し、Ｘ軸方向以外の移動を阻止する第１の阻止部材と、Ｙ軸方向に進退自在に移動可能な第２の移動部材と、前記ベースに取り付けられ、前記第２の移動部材を支持する第２の支持部材と、前記プレートの側方に取り付けられ、第２の収納部と、この第２の収納部に連通し、前記プレートのＸＹ平面に平行な上面部と下面部との間であって外方に開口する第２の開口部とを備えた第２の側方部材と、この第２の側方部材の第２の収納部に係止する第２の係止部と、この第２の係止部に設けられ、前記第２の側方部材の前記上面部と下面部とに当接し回動自在に軸支する第２の軸支部と、この第２の軸支部に設けられ、前記第２の移動部材の先端部をＺ軸方向に案内する第２の案内部とを備えた第２の回動支持部材と、この第２の回動支持部材と前記第２の支持部材との間に設けられ、前記第２の回動支持部材のＹ軸方向の移動を許容し、Ｙ軸方向以外の移動を阻止する第２の阻止部材と、を有するものである。

また、請求項４記載の傾斜ステージは、略球面状乃至略円錐状をした受座を有するベースと、裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座に当接する略球面状乃至略円錐状の凸部を有するプレートと、前記ベースの受座に前記凸部が当接するように前記ベースと前記プレートが近づくように付勢する付勢手段と、Ｘ軸方向に進退自在に移動可能な第１の移動部材と、前記ベースに取り付けられ、前記第１の移動部材を支持する第１の支持部材と、前記プレートの側方に取り付けられ、第１の収納部と、この第１の収納部に連通し、前記プレートのＸＹ平面に平行な上面部と下面部との間であって外方に開口する第１の開口部とを備えた第１の側方部材と、この第１の側方部材の第１の収納部に係止する第１の係止部と、この第１の係止部に設けられ、前記第１の側方部材の前記上面部と下面部とに当接し揺動自在に軸支する第１の軸支部と、この第１の軸支部に設けられ、前記第１の移動部材の先端部に当接する第１の当接部とを備えた第１の揺動支持部材と、この第１の揺動支持部材と前記第１の支持部材との間に設けられ、前記第１の揺動支持部材のＸ軸方向の移動を許容し、Ｘ軸方向以外の移動を阻止する第１の阻止部材と、Ｙ軸方向に進退自在に移動可能な第２の移動部材と、前記ベースに取り付けられ、前記第２の移動部材を支持する第２の支持部材と、前記プレートの側方に取り付けられ、第２の収納部と、この第２の収納部に連通し、前記プレートのＸＹ平面に平行な上面部と下面部との間であって外方に開口する第２の開口部とを備えた第２の側方部材と、この第２の側方部材の第２の収納部に係止する第２の係止部と、この第２の係止部に設けられ、前記第２の側方部材の前記上面部と下面部とに当接し回動自在に軸支する第２の軸支部と、この第２の軸支部に設けられ、前記第２の移動部材の先端部に当接する第２の当接部とを備えた第２の揺動支持部材と、この第２の回動支持部材と前記第２の支持部材との間に設けられ、前記第２の回動支持部材のＹ軸方向の移動を許容し、Ｙ軸方向以外の移動を阻止する第２の阻止部材と、を有するものである。

請求項１記載の傾斜ステージによれば、第１の揺動手段と第２の揺動手段は、共に、
ベースに支持されているため、従来のように、第１の揺動手段の取り付けプレートと第２
の揺動手段の取り付けプレートとが異ならないため、２軸のなす角度精度が向上する（特
に、回転中心一致の度合いが従来品に比べ格段に向上する。）と共に、該プレート分の厚
み寸法を軽減でき、コンパクト化を図ると共に、該プレート同士を接続する接続部材（例
えば、ネジ）をも不要とすることができる。

また、請求項２記載の傾斜ステージによれば、第１の回動部材、第１の移動部材、第
２の回動部材及び第２の移動部材は、共に、同じベースに支持されているため、従来のよ
うに、第１の回動部材、第１の移動部材の取り付けプレートと第２の回動部材、第２の移
動部材の取り付けプレートとが異ならないため、２軸のなす角度精度が向上する（特に、
回転中心一致の度合いが従来品に比べ格段に向上する。）と共に、該プレート分の厚み寸
法を軽減でき、コンパクト化を図ると共に、該プレート同士を接続する接続部材（例えば
、ネジ）をも不要とすることができる。

また、請求項３又は４記載の傾斜ステージによれば、第１の揺動支持部材、第１の側方部材を介してプレートを揺動させる第１の移動部材及び第２の揺動支持部材、第２の側方部材を介してプレートを揺動させる第２の移動部材は、共に、ベースに支持されているため、従来のように、第１の揺動手段の取り付けプレートと第２の揺動手段の取り付けプレートとが異ならないため、２軸のなす角度精度が向上する（特に、回転中心一致の度合いが従来品に比べ格段に向上する。）と共に、該プレート分の厚み寸法を軽減でき、コンパクト化を図ると共に、該プレート同士を接続する接続部材（例えば、ネジ）をも不要とすることができ、更に、第１の移動部材の先端を進退させると、その動きが第１の揺動支持部材、第１の側方部材を介してプレートに伝達され、第２の軸支部が当接した第２の側方部材の上面部と下面部とが回動しプレートを揺動させ、また、第２の移動部材の先端を進退させると、その動きが第２の揺動支持部材、第２の側方部材を介してプレートに伝達され、第１の軸支部が当接した第１の側方部材の上面部と下面部とが回動しプレートを揺動させることができる。

本発明の傾斜ステージの一実施例を図面を参照して説明する。
図１乃至図９において、傾斜ステージAは、略球面状乃至略円錐状をした受座１ａを有するベース１と、裏面に球面状乃至略円錐状をした受座１ａに当接する略球面状乃至略円錐状の凸部２ａを有するプレート２とから概略的に構成されている。
また、ベース１の受座１ａに凸部２ａが当接するようにベース１とプレート２が近づ
くように付勢手段、例えば、弾性部材３によって付勢されている。
弾性部材３は、例えば、弾性部材３（より具体的には、バネ）の一端をプレート２の
貫通孔２ｂに設けた支持部材２ｃに、弾性部材３（より具体的には、バネ）の他端をベー
ス１の貫通孔１ｂに設けた支持部材１ｃに、それぞれ取り付けるようにしている。本実施
例では、弾性部材３を３個設けている。
なお、プレート２の上面には、電子顕微鏡、半導体製造装置、半導体検査装置等の試
料（図示せず）、精密機械の他の部材（図示せず）が載置されるようになっている。

図３に示す４は第１の揺動手段で、第１の揺動手段４は、ベース１に支持され、プレ
ート２の裏面の第１の部位２１に当接して凸部２ａを支点としてプレート２を揺動させる
もので、図１に示すＹ軸回りに揺動する。
第１の揺動手段４は、例えば、ベース１に取り付けられ、Ｘ軸（図１参照）方向に進
退自在に移動可能な第１の移動部材４１と、ベース１に回動自在に支持された第１の回動
部材４２とから構成される。第１の移動部材４１は、ベース１に取り付けられ、Ｘ軸（図
１参照）方向に進退自在に移動可能なものであり、例えば、マイクロメータで、マイクロ
メータのシンブル４１ａを回転させてスピンドル４１ｂを進退させるものである。シンブ
ル４１ａの回転は、手動、モータ（図示せず）によって行うことができる。
第１の回動部材４２は、第１の移動部材４１の先端（具体的には、スピンドル４１ｂ
の先端）と対向する部位で当接し、プレート２の裏面と対向する第１の部位２１で当接す
るようになっている。４２ａは、第１の回動部材４２の回転軸である。なお、上述したＸ軸、Ｙ軸は、互いに直交する２つの方向軸である。
従って、図５に示すように、シンブル４１ａを時計回りに回転させると、スピンドル
４１ｂは矢印方向に進んで第１の回動部材４２を時計回りに回転させる。すると、プレー
ト２は第１の部位２１を介して反時計回りにθ₁回転することとなる。逆に、シンブル４
１ａを反時計回りに回転させると、図６に示すように、スピンドル４１ｂは矢印方向に進
んで第１の回動部材４２を反時計回りに回転させる。すると、プレート２は第１の部位２
１を介して時計回りにθ₂回転することとなる。

図７に示す５は第２の揺動手段で、第２の揺動手段５は、ベース１に支持され、プレ
ート２の裏面の第２の部位２２に当接して凸部２ａを支点としてプレート２を揺動させる
もので、図１に示すＸ軸回りに揺動する。
第２の揺動手段５は、例えば、ベース１に取り付けられ、Ｘ軸に対して直交するＹ軸
（図１参照）方向に進退自在に移動可能な第２の移動部材５１と、ベース１に回動自在に
支持された第２の回動部材５２とから構成される。第２の移動部材５１は、ベース１に取
り付けられ、Ｙ軸（図１参照）方向に進退自在に移動可能なものであり、例えば、マイク
ロメータで、マイクロメータのシンブル５１ａを回転させてスピンドル５１ｂを進退させ
るものである。シンブル５１ａの回転は、手動、モータ（図示せず）によって行うことが
できる。
第２の回動部材５２は、第２の移動部材５１の先端（具体的には、スピンドル５１ｂ
の先端）と対向する部位で当接し、プレート２の裏面と対向する第２の部位２２で当接す
るようになっている。５２ａは、第２の回動部材５２の回転軸である。
従って、図８に示すように、シンブル５１ａを時計回りに回転させると、スピンドル
５１ｂは矢印方向に進んで第２の回動部材５２を時計回りに回転させる。すると、プレー
ト２は第２の部位２２を介して反時計回りにθ₃回転することとなる。逆に、シンブル５
１ａを反時計回りに回転させると、図９に示すように、スピンドル５１ｂは矢印方向に進
んで第２の回動部材５２を反時計回りに回転させる。すると、プレート２は第２の部位２
２を介して時計回りにθ₄回転することとなる。

上述した傾斜ステージＡによれば、第１の揺動手段４と第２の揺動手段５は、共に、
ベース１に支持されているため、従来のように、第１の揺動手段の取り付けプレートと第
２の揺動手段の取り付けプレートとが異ならないため、２軸のなす角度精度が向上する（
特に、回転中心一致の度合いが従来品に比べ格段に向上する。）と共に、該プレート分の
厚み寸法を軽減でき、コンパクト化を図ると共に、該プレート同士を接続する接続部材（
例えば、ネジ）をも不要とすることができる。

次に、図１０乃至図２１を参照して、上述した傾斜ステージＡと異なる他の実施例の傾斜ステージＡ（球面軸受ステージ）について、説明する。
傾斜ステージAは、略球面状乃至略円錐状をした受座１ａを有するベース１と、裏面に球面状乃至略円錐状をした受座１ａに当接する略球面状乃至略円錐状の凸部２ａを有するプレート２とから概略的に構成されている（図１０乃至図１２、図１７参照）。

また、ベース１の受座１ａに凸部２ａが当接するようにベース１とプレート２が近づ
くように付勢手段、例えば、弾性部材３、３’によって付勢されている（図１４及び図１５参照）。
弾性部材３は、図１０及び図１４に示すように、例えば、弾性部材３（より具体的には、バネ）の一端をプレート２の貫通孔２ｂに設けた支持部材２ｃに、弾性部材３（より具体的には、バネ）の他端をベース１の貫通孔１ｂに設けた支持部材１ｃに、それぞれ取り付けるようにしている。本実施例では、弾性部材３を２個設けている。
また、弾性部材３’は、図１０及び図１５に示すように、例えば、弾性部材３’（より具体的には、バネ）の一端をプレート２に設けた支持部材２ｃ’に、弾性部材３’（より具体的には、バネ）の他端をベース１に設けた支持部材１ｃ’に、それぞれ取り付けるようにしている。本実施例では、弾性部材３’を１個設けている。
なお、プレート２の上面には、上述の実施例と同様に、電子顕微鏡、半導体製造装置、半導体検査装置等の試料（図示せず）、精密機械の他の部材（図示せず）が載置されるようになっている。

第１の移動部材４１は、Ｘ軸方向に進退自在に移動可能なものであり、例えば、マイクロメータで、マイクロメータのシンブル４１ａを回転させてスピンドル４１ｂを進退させるもので、その先端は、例えば、半球状となっており、ベース１に取り付けられ、Ｘ軸（図１２参照）方向に進退自在に移動可能となっている（図１０乃至図１２参照）。
また、４２’はベース１に、例えば、雄ネジ４２’ａで取り付けられ、第１の移動部材４１を支持する第１の支持部材で、第１の支持部材４２’は、例えば、対向する直線部４２’ｂ、４２’ｃと、直線部４２’ｂ、４２’ｃとを接続する中間部４２’ｄとからなり、略Ｕ字形状をなしている。上述の第１の移動部材４１は、中間部４２’ｄに取り付けられている。

また、図１３に示す４３’は、プレート２の側方に取り付けられた第１の側方部材で、この第１の側方部材４３’は、第１の収納部４３’ａと、この第１の収納部４３’ａに連通し、プレート２のＸＹ平面に平行な上面部４３’ｂと下面部４３’ｃとの間であって外方に開口する第１の開口部４３’ｄとを備えている。
なお、図１３に示す雄ネジ４３’ｅにより第１の側方部材４３’をプレート２に取り付け、また、断面略Ｔ字形状の本体Ｔに断面略Ｌ字形状のＬ字状部材Ｌを雄ネジ４３’ｆにより取り付けて第１の収納部４３’ａを構成している。

また、図１３に示す４４’は第１の揺動支持部材で、第１の揺動支持部材４４’は、第１の側方部材４３’の第１の収納部４３’ａに係止する第１の係止部４４’ａと、この第１の係止部４４’ａに設けられ、第１の側方部材４３’の上面部４３’ｂと下面部４３’ｃとに当接し揺動自在に軸支する第１の軸支部４４’ｂ（図１４及び図１５参照）と、この第１の軸支部４４’ｂに設けられ、第１の移動部材４１の先端部をＺ軸方向に案内する第１の案内部４４’ｃ（例えば、断面Ｖ字形状の溝）とを備えている（図１３参照）。 なお、本実施例では、第１の案内部４４’ｃを、断面Ｖ字形状の溝としたが、本発明にあっては、これに限らず、平坦面としても良い。かかる場合、該平坦面は、第１の移動部材４１の先端部に当接する第１の当接部となる。

また、図１６に示す４５’は、第１の揺動支持部材４４’と第１の支持部材４２’との間に設けられ、第１の揺動支持部材４４’のＸ軸方向の移動を許容し、Ｘ軸方向以外の移動を阻止する第１の阻止部材で、第１の阻止部材４５’は、例えば、第１の揺動支持部材４４’の側部に設けられたＸ軸方向に平行な溝部４５’ａと、この溝部４５’ａに嵌り合う棒状部材４５’ｂと、棒状部材４５’ｂを介して第１の揺動支持部材４４’に対向する第１の支持部材４２’の直線部４２’ｃに押し付ける雄ネジ４５’ｃ（図１０参照）とから構成されている。雄ネジ４５’ｃは、第１の支持部材４２’の直線部４２’ｂに取り付けられている（図１、図１３及び図１６参照）。

また、図１０に示す５１は、Ｙ軸方向に進退自在に移動可能な第２の移動部材で、第２の移動部材５１は、進退する軸方向を除けば第１の移動部材４１と同様、例えば、マイクロメータで、マイクロメータのシンブル５１ａを回転させてスピンドル５１ｂを進退させるもので、その先端は、例えば、半球状となっており、ベース１に取り付けられ、Ｙ軸（図１２参照）方向に進退自在に移動可能となっている（図１０乃至図１２参照）。
また、５２’はベース１に、例えば、雄ネジ５２’ａで取り付けられ、第２の移動部材５１を支持する第２の支持部材で、第２の支持部材５２’は、例えば、対向する直線部５２’ｂ、５２’ｃと、直線部５２’ｂ、５２’ｃとを接続する中間部５２’ｄとからなる略Ｕ字形状をなしている。上述の第２の移動部材５１は、中間部５２’ｄに取り付けられている。

また、図１３に示す５３’は、プレート２の側方であって、第１の側方部材４３’の取り付け部位から９０°の位置に取り付けられた第２の側方部材で、この第２の側方部材５３’は、第１の側方部材４３’と同様、第２の収納部５３’ａと、この第２の収納部５３’ａに連通し、プレート２のＸＹ平面に平行な上面部５３’ｂと下面部５３’ｃとの間であって外方に開口する第２の開口部５３’ｄとを備えている。
なお、図１０に示す雄ネジ５３’ｅにより第２の側方部材５３’をプレート２に取り付け、また、断面略Ｔ字形状の本体Ｔに断面略Ｌ字形状のＬ字状部材Ｌを雄ネジ５３’ｆにより取り付けて第２の収納部５３’ａを構成している。

また、図１３に示す５４’は第２の揺動支持部材で、第２の揺動支持部材５４’は、第１の揺動支持部材４４’と同様、第２の側方部材５３’の第２の収納部５３’ａに係止する第２の係止部５４’ａと、この第２の係止部５４’ａに設けられ、第２の側方部材５３’の上面部５３’ｂと下面部５３’ｃとに当接し揺動自在に軸支する第２の軸支部５４’ｂ（図１９乃至図２１参照）と、この第２の軸支部５４’ｂに設けられ、第２の移動部材５１の先端部をＺ軸方向に案内する第２の案内部５４’ｃ（例えば、断面Ｖ字形状の溝）とを備えている（図１３参照）。
なお、本実施例では、第２の案内部５４’ｃを、断面Ｖ字形状の溝としたが、本発明にあっては、これに限らず、平坦面としても良い。かかる場合、該平坦面は、第２の移動部材５１の先端部に当接する第２の当接部となる。

また、図１６に示す５５’は、第２の揺動支持部材５４’と第２の支持部材５２’との間に設けられ、第２の揺動支持部材５４’のＹ軸方向の移動を許容し、Ｙ軸方向以外の移動を阻止する第２の阻止部材で、第２の阻止部材５５’は、例えば、第２の揺動支持部材５４’の側部に設けられたＹ軸方向に平行な溝部５５’ａと、この溝部５５’ａに嵌り合う棒状部材５５’ｂと、棒状部材５５’ｂを介して第２の揺動支持部材５４’と対向する第２の支持部材５２’の直線部５２’ｃに押し付ける雄ネジ５５’ｃ（図１０参照）とから構成されている。雄ネジ５５’ｃは、第２の支持部材５２’の直線部５２’ｂに取り付けられている（図１、図１３及び図１６参照）。なお、上述したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、互いに直交する３つの方向軸である。

従って、図１９に示すように、プレート２が水平な位置にあって、図１７に示すように、シンブル４１’ａを時計回りに回転させると、スピンドル４１’ｂは矢印方向に進んで第１の揺動支持部材４４’、第１の側方部材４３’を介してプレート２に伝達され、図２０に示すように第２の軸支部５４’ｂが当接した第２の側方部材５３’の上面部５３’ｂと下面部５３’ｃが回動しプレート２を揺動させ、プレート２は水平面に対して時計回りにθ₅回転することとなる。
逆に、シンブル４１’ａを反時計回りに回転させると、図１８に示すように、スピンドル４１’ｂは矢印方向に進んで第１の揺動支持部材４４’、第１の側方部材４３’を介してプレート２に伝達され、図２１に示すように第２の軸支部５４’ｂが当接した第２の側方部材５３’の上面部５３’ｂと下面部５３’ｃが回動しプレート２を揺動させ、プレート２は水平面に対して反時計回りにθ₆回転することとなる。
また、図示しないが、プレート２が水平な位置にあって、シンブル５１’ａを時計回りに回転させると、スピンドル５１’ｂはＹ軸の＋方向に進んで（図示せず）第２の揺動支持部材５４’、第２の側方部材５３’を介してプレート２に伝達され、第１の軸支部４４’ｂが当接した第１の側方部材４３’の上面部４３’ｂと下面部４３’ｃが回動しプレート２を揺動させ、プレート２は水平面に対して時計回りに回転することとなる。
逆に、シンブル５１’ａを反時計回りに回転させると、スピンドル５１’ｂはＹ軸の−方向に進んで（図示せず）第２の揺動支持部材５４’、第２の側方部材５３’を介してプレート２に伝達され、第１の軸支部４４’ｂが当接した第１の側方部材４３’の上面部４３’ｂと下面部４３’ｃが回動しプレート２を揺動させ、プレート２は水平面に対して反時計回りに回転することとなる。

図１は、本発明の一実施例の傾斜ステージの概略的平面図である。 図２は、図１の概略的正面図である。 図３は、図１の３−３線による概略的断面図である。 図４は、図１の４−４線による概略的断面図である。 図５は、図３の動作状態を説明するためのもので、第１の移動部材を図示左方向へ移動させた状態の概略的断面図である。 図６は、図３の動作状態を説明するためのもので、第１の移動部材を図示右方向へ移動させた状態の概略的断面図である。 図７は、図１の７−７線による概略的断面図である。 図８は、図７の動作状態を説明するためのもので、第２の移動部材を図示左方向へ移動させた状態の概略的断面図である。 図９は、図７の動作状態を説明するためのもので、第２の移動部材を図示右方向へ移動させた状態の概略的断面図である。 図１０は、図１の傾斜ステージと異なる他の実施例の傾斜ステージの概略的平面図である。 図１１は、図１０の傾斜ステージの概略的正面図である。 図１２は、図１０の傾斜ステージを二部材に分割した状態の概略的平面図である。 図１３は、図１２の傾斜ステージのプレートの一部を分解して示す概略的一部分解斜視図である。 図１４は、図１０の１−１線による概略的断面図である。 図１５は、図１０の２−２線による概略的断面図である。 図１６は、図１０の３−３線による概略的断面図である。 図１７は、図１４の第１の移動部材を時計回りに回動した状態の概略的断面図である。 図１８は、図１４の第１の移動部材を反時計回りに回動した状態の概略的断面図である。 図１９は、プレートが水平状態に位置した図１０の５−５線による概略的断面図である。 図２０は、プレートの第１の移動部材に遠い側の端部が上を向くように回動した状態の図１０の５−５線による概略的断面図である。 図２１は、プレートの第１の移動部材に遠い側の端部が下を向くように回動した状態の図１０の５−５線による概略的断面図である。

符号の説明

Ａ 傾斜ステージ
１ ベース
１ａ 受座
２ プレート
２ａ 凸部
３ 付勢手段
４ 第１の揺動手段
５ 第２の揺動手段
２１ 第１の部位
２２ 第２の部位
Ｏ 揺動中心

Claims (4)

1. 略球面状乃至略円錐状をした受座を有するベースと、
   裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座に当接する略球面状乃至略円錐状の凸部を有するプレートと、
   前記ベースの受座に前記凸部が当接するように前記ベースと前記プレートが近づくよ
   うに付勢する付勢手段と、
   前記ベースに支持され、前記プレートの裏面の第１の部位に当接して前記凸部を支点
   として前記プレートを揺動させる第１の揺動手段と、
   前記ベースに支持され、前記プレートの裏面の第２の部位に当接して前記凸部を支点
   として前記プレートを揺動させる第２の揺動手段と、
   平面視で前記第１の部位、前記プレートの揺動中心、前記第２の部位がなす角度が９
   ０度であることを特徴とする傾斜ステージ。
2. 略球面状乃至略円錐状をした受座を有するベースと、
   裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座に当接する略球面状乃至略円錐状の凸部を有するプレートと、
   前記ベースの受座に前記凸部が当接するように前記ベースと前記プレートが近づくよ
   うに付勢する付勢手段と、
   前記ベースに取り付けられ、Ｘ軸方向に進退自在に移動可能な第１の移動部材と、
   前記ベースに取り付けられ、前記Ｘ軸に対して直交するＹ軸方向に進退自在に移動可
   能な第２の移動部材と、
   前記ベースに回動自在に支持された第１の回動部材と、
   この第１の回動部材は、前記第１の移動部材の先端と対向する部位で当接し、前記プ
   レートの裏面と対向する部位で当接し、
   前記ベースに回動自在に支持された第２の回動部材と、
   この第２の回動部材は、前記第２の移動部材の先端と対向する部位で当接し、前記プ
   レートの裏面と対向する部位で当接することを特徴とする傾斜ステージ。
3. 略球面状乃至略円錐状をした受座を有するベースと、
   裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座に当接する略球面状乃至略円錐状の凸部を有するプレートと、
   前記ベースの受座に前記凸部が当接するように前記ベースと前記プレートが近づくように付勢する付勢手段と、
   Ｘ軸方向に進退自在に移動可能な第１の移動部材と、
   前記ベースに取り付けられ、前記第１の移動部材を支持する第１の支持部材と、
   前記プレートの側方に取り付けられ、第１の収納部と、この第１の収納部に連通し、前記プレートのＸＹ平面に平行な上面部と下面部との間であって外方に開口する第１の開口部とを備えた第１の側方部材と、
   この第１の側方部材の第１の収納部に係止する第１の係止部と、この第１の係止部に設けられ、前記第１の側方部材の前記上面部と下面部とに当接し揺動自在に軸支する第１の軸支部と、この第１の軸支部に設けられ、前記第１の移動部材の先端部をＺ軸方向に案内する第１の案内部とを備えた第１の揺動支持部材と、
   この第１の揺動支持部材と前記第１の支持部材との間に設けられ、前記第１の揺動支持部材のＸ軸方向の移動を許容し、Ｘ軸方向以外の移動を阻止する第１の阻止部材と、
   Ｙ軸方向に進退自在に移動可能な第２の移動部材と、
   前記ベースに取り付けられ、前記第２の移動部材を支持する第２の支持部材と、
   前記プレートの側方に取り付けられ、第２の収納部と、この第２の収納部に連通し、前記プレートのＸＹ平面に平行な上面部と下面部との間であって外方に開口する第２の開口部とを備えた第２の側方部材と、
   この第２の側方部材の第２の収納部に係止する第２の係止部と、この第２の係止部に設けられ、前記第２の側方部材の前記上面部と下面部とに当接し回動自在に軸支する第２の軸支部と、この第２の軸支部に設けられ、前記第２の移動部材の先端部をＺ軸方向に案内する第２の案内部とを備えた第２の回動支持部材と、
   この第２の回動支持部材と前記第２の支持部材との間に設けられ、前記第２の回動支持部材のＹ軸方向の移動を許容し、Ｙ軸方向以外の移動を阻止する第２の阻止部材と、
   を有することを特徴とする傾斜ステージ。
4. 略球面状乃至略円錐状をした受座を有するベースと、
   裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座に当接する略球面状乃至略円錐状の凸部を有するプレートと、
   前記ベースの受座に前記凸部が当接するように前記ベースと前記プレートが近づくように付勢する付勢手段と、
   Ｘ軸方向に進退自在に移動可能な第１の移動部材と、
   前記ベースに取り付けられ、前記第１の移動部材を支持する第１の支持部材と、
   前記プレートの側方に取り付けられ、第１の収納部と、この第１の収納部に連通し、前記プレートのＸＹ平面に平行な上面部と下面部との間であって外方に開口する第１の開口部とを備えた第１の側方部材と、
   この第１の側方部材の第１の収納部に係止する第１の係止部と、この第１の係止部に設けられ、前記第１の側方部材の前記上面部と下面部とに当接し揺動自在に軸支する第１の軸支部と、この第１の軸支部に設けられ、前記第１の移動部材の先端部に当接する第１の当接部とを備えた第１の揺動支持部材と、
   この第１の揺動支持部材と前記第１の支持部材との間に設けられ、前記第１の揺動支持部材のＸ軸方向の移動を許容し、Ｘ軸方向以外の移動を阻止する第１の阻止部材と、
   Ｙ軸方向に進退自在に移動可能な第２の移動部材と、
   前記ベースに取り付けられ、前記第２の移動部材を支持する第２の支持部材と、
   前記プレートの側方に取り付けられ、第２の収納部と、この第２の収納部に連通し、前記プレートのＸＹ平面に平行な上面部と下面部との間であって外方に開口する第２の開口部とを備えた第２の側方部材と、
   この第２の側方部材の第２の収納部に係止する第２の係止部と、この第２の係止部に設けられ、前記第２の側方部材の前記上面部と下面部とに当接し回動自在に軸支する第２の軸支部と、この第２の軸支部に設けられ、前記第２の移動部材の先端部に当接する第２の当接部とを備えた第２の揺動支持部材と、
   この第２の回動支持部材と前記第２の支持部材との間に設けられ、前記第２の回動支持部材のＹ軸方向の移動を許容し、Ｙ軸方向以外の移動を阻止する第２の阻止部材と、
   を有することを特徴とする傾斜ステージ。

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