CN102037552B - 平台 - Google Patents

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Abstract

提供一种能够高速运送基板的基板平台。在本发明的基板平台(10)中，将辅助载置台(12a～12d)安装在主载置台(11)上，将下部导轨(131、132)从主载置台(11)上横跨到辅助载置台(12a～12d)上进行配置。若通过上下方向调整装置(6)预先使下部导轨(131、132)的两端向上弯曲，则在辅助载置台(12a～12d)的端部向下弯曲时，下部导轨(131、132)便变得笔直。由于下部导轨(131、132)未分割，因而直线性得到确保，移动板(16)不会发生摇摆，因而能够使基板(5)高速移动。

Description

平台
技术领域
本发明涉及XY平台或大型印刷装置中所使用的基板平台，特别是连接导轨的大型的平台。 
背景技术
花岗石由于确保其平面精度的加工容易，热应变也小，能够得到大的原石材料而被用作XY平台、大型印刷装置、三维检查装置等的基板平台。 
近年来，基板日益向大型化发展，在使基板平台大型化以适应大型基板的情况下，其大小达到无法进行道路运输的程度。 
为此，人们尝试着通过用花岗石的原石材料成形出小面积的台或短的导轨，运输到设置场所进行组装，从而将大型的基板平台设置在实际使用的场所。 
但是，当将辅助载置台安装在主载置台上，将分别制作的导轨彼此连接时，曾发生这样的问题：在导轨的接缝处产生台阶，导轨的水平性无法确保，基板无法进行高速运送。 
记载有大型基板平台的技术文献，例如有下述公报。 
专利文献1：特开平7-311375号公报 
专利文献2：特开2005-114882号公报 
发明内容
本发明的课题是，提供一种能够确保导轨的水平性与直线性、能够将基板高速运送的分体式的基板平台。 
为了解决上述课题，本发明的平台具有：主载置台，面积比前述主载置台小且能够从前述主载置台上分离的辅助载置台，以及横跨在前述主载置台上与前述辅助载置台上进行配置、端部位于前述辅助载置台上的多个下部导轨，移动板位于前述各下部导轨上，前述移动板能够在前述下部导轨上行走，多个前述下部导轨的每一根分别由一片板材形成，构成为能够在前述主载置台和前述辅助载置台上进行装拆，在前述辅助载置台上，设置有能够以多个位置对前述下部导轨的高度进行调节的上下方向调整装置。 
此外，本发明的平台中，在前述移动板上，形成有用来插入升降销的多个通孔，在前述移动板位于前述辅助载置台的既定部位的状态下，能够从前述移动板的背面一侧将前述升降销插入前述移动板的通孔中。 
此外，本发明的平台中，在前述主载置台上，能够装拆地安装有位于前述下部导轨的上方的上部导轨。 
此外，本发明的平台中，在前述上部导轨上，能够移动地安装有喷墨头。 
此外，本发明的平台具有：主载置台，面积比前述主载置台小且能够从前述主载置台上分离的辅助载置台，横跨在前述主载置台上与前述辅助载置台上进行配置、端部位于前述辅助载置台上的多个下部导轨，以及安装成能够沿着前述下部导轨的延伸方向移动的上部导轨，各前述下部导轨由一片板材形成，构成为能够在前述主载置台和前述辅助载置台上进行装拆，在前述辅助载置台上，设置有能够以多个位置对前述下部导轨的高度进行调节的上下方向调整装置，前述上部导轨和前述下部导轨构成为能够进行装拆。 
在这种情况下，本发明的平台中，在前述上部导轨上，也能够移动地安装有喷墨头。 
此外，本发明的平台中，前述下部导轨由花岗石构成。 
在本发明的平台上，配置有供移动板行走的两根以上根数的下部导轨。供移动板行走的多个下部导轨之中，各下部导轨分别由一片板材形成。本发明也包括供移动板行走的多个下部导轨由相同板材形成的场合、由不同板材形成的场合、以及上述场合混合存在的场合等场合的任一种场合。 
根据本发明的平台，一根下部导轨在长度方向上未分体，一根下部导轨由一片板材形成。因而直线性得到确保，因此，在载置基板的移动板上不发生摇摆，能够高速移动。此外，喷出液的附着位置精度也得到提高。 
由于在下部导轨的端部设置了上下方向调整装置，因此，即使辅助载置台下垂也能够维持直线性。 
附图说明
图1是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的俯视图 (1)。 
图2是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的侧视图(1)。 
图3是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的俯视图(2)。 
图4是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的侧视图(2)。 
图5是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的俯视图(3)。 
图6是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的侧视图(3)。 
图7是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的俯视图(4)。 
图8是用来对本发明的基板平台的工作原理进行说明的侧视图(4)。 
图9是用来对本发明的基板平台进行说明的俯视图。 
图10是用来对本发明的基板平台进行说明的侧视图。 
图11是对本发明的基板平台分解后的辅助载置台与主载置台以及下部导轨进行展示的俯视图。 
附图标记说明： 
6...上下方向调整装置 
81、82...升降销 
10...基板平台 
11...主载置台 
12a～12d...辅助载置台 
131、132...下部导轨 
14a～14d、19...通孔 
151、152...上部导轨 
16...移动板 
17...喷墨头 
具体实施方式
参照图9、图10，本发明的基板平台10具有：一台主载置台11， 平面形状比主载置台11小的小型、小面积的多个(此处为4台)辅助载置台12a～12d，以及两根下部导轨131、132。 
图9、图10是将本发明的基板平台10在制造场所临时组装状态下的俯视图和侧视图。 
主载置台11和辅助载置台12a～12d的平面形状为四边形，表面平坦。 
主载置台11和辅助载置台12a～12d构成为能够进行装拆，辅助载置台12a～12d在主载置台11的相互平行的两个边上各固定有两个。 
下部导轨131、132比主载置台11的长度长，中央部分配置在主载置台11上，一端配置在主载置台11的一边侧的辅助载置台12a、12c上，另一端配置在另一边侧的辅助载置台12b、12d上。两根下部导轨131、132相互平行。 
主载置台11配置成其表面成水平，辅助载置台12a～12d以表面比主载置台11低的状态固定在主载置台11上。 
在辅助载置台12a～12d上，设置有多个上下方向调整装置6。在这里，上下方向调整装置6由螺钉构成，各上下方向调整装置6是从辅助载置台12a～12d的底面一侧向正面一侧各自朝上插入的。 
下部导轨131、132的载放在主载置台11上的部分与主载置台11的表面紧密接触，而辅助载置台12a～12d上的部分载放在上下方向调整装置6的上端上。 
下部导轨131、132用花岗石制造。在下部导轨131、132上设置作为线性移动装置的引导器。花岗石具有刚性但有可能发生微量的变形，当使上下方向调整装置6旋转而使其前端上下移动时，下部导轨131、132的端部便弯曲，下部导轨131、132的位于主载置台11上的部分维持与主载置台11的表面紧密接触的状态，并且能够使得两端部分的高度比位于主载置台11上的部分的高度高或者低。 
下部导轨131、132在辅助载置台12a～12d上顺沿于下部导轨131、132的长度方向的多个位置与上下方向调整装置6的前端抵接，通过改变与一根下部导轨131、132抵接的多根上下方向调整装置6的前端的高度，既能够使之呈直线状延伸也能够使之向上下方向弯曲。当使上下方向调整装置6的上端向上移动到接近下部导轨131、132的端部的位置时，能够使下部导轨131、132向上弯曲。 
此外，下部导轨131、132上设置有水平面内调整装置，通过水平面内调整装置能够对下部导轨131、132在水平面内的朝向进行调整。 
在下部导轨131、132上，经由空气轴承等摩擦减低装置21载置有花岗石制造的移动板16，当使未图示的基板移动机构动作时，移动板16在下部导轨131、132上行走，从而既能够位于辅助载置台12a～12d上也能够位于主载置台11上。 
在这里，在移动板16上设置摩擦减低装置21，在摩擦减低装置21的平坦的面与下部导轨131、132的表面之间设置空气层，能够使下部导轨131、132与摩擦减低装置21及移动板16为非接触的状态，并使移动板16载置在下部导轨131、132上行走。 
此外，在这里，是使一台移动板16横跨着载置在相互平行地配置的两根下部导轨131、132上行走的，但也可以使一台移动板横跨着载置在相互平行地配置的三根下部导轨上行走。 
在主载置台11上的两根下部导轨131、132的外侧立设有支柱22，两根上部导轨151、152相互平行且与下部导轨131、132的延伸方向相垂直地配置在支柱22上。 
上部导轨151、152上安装有能够移动的喷墨头17。上部导轨151、152比主载置台11的宽度长，两个端部从主载置台11的外侧突出，当使未图示的头移动机构动作而使得喷墨头17沿着上部导轨151、152行走时，喷墨头17既能够位于主载置台11上也能够位于主载置台11的外侧。上部导轨151、152是水平配置的，喷墨头17在水平面内移动。 
上部导轨151、152和喷墨头17位于比下部导轨131、132更上方的位置上，在下部导轨131、132与上部导轨151、152之间形成间隙。 
当使喷墨头17位于主载置台11上并使基板5载置在移动板16上移动时，移动板16能够穿过下部导轨131、132与上部导轨151、152之间的间隙从喷墨头17的正下方位置通过。 
在辅助载置台12a～12d的下方铅直地配置有升降销81、82。升降销81、82安装在升降装置上，能够在上下方向上升降移动。 
辅助载置台12a～12d与移动板16上分别形成有通孔14a～14d、19。 
在移动板16位于辅助载置台12a、12c或12b、12d上时，移动板16的通孔19位于辅助载置台12a～12d的通孔14a、14c或14b、14d 的正上方，当在该状态下使升降销81、82上升时，升降销81、82便穿过通孔14a、14c或14b、14d，上端从移动板16的表面上突出。 
该基板平台10在制造场所临时组装成移动板16和喷墨头17暂时能够如上所述地行走，在确认下部导轨131、132等的制造精度后进行分解，从主载置台11上将辅助载置台12a～12d和下部导轨131、132拆卸下来。图11示出从主载置台11上拆卸下来的辅助载置台12a～12d和下部导轨131、132。 
在该状态下，基板平台10为能够进行搬运的大小，将主载置台11和辅助载置台12a～12d等的分解后的部件装载在车辆中，运输到实际使用的场所。 
在使用场所，首先进行主载置台11的安置使其表面水平，将辅助载置台12a～12d安装在主载置台11的侧面上，组装成与运输前相同的状态。 
辅助载置台12a～12d的一个侧面固定在主载置台11的侧面上，被固定在主载置台11上的部分得到主载置台11的支撑，相对于此，与之相反一侧的部分未受到支撑，在自重作用下向下弯曲。 
本发明中，通过上下方向调整装置6将下部导轨131、132的位于辅助载置台12a～12d上的部分修正成朝上，在辅助载置台12a～12d向下弯曲的情况下，能够使下部导轨131、132的表面为水平面。 
当通过水平面内调整装置对下部导轨131、132在水平面内的角度进行调整时，下部导轨131、132便在水平面内成一直线延伸，两根下部导轨131、132在水平面内达到平行。 
图1、2示出在使在使用场所组装后的基板平台10的喷墨头17位于主载置台11的外侧、使移动板16位于辅助载置台12b、12d上、将基板5配置在移动板16上的状态。 
连接配置有印刷液的喷出液供给系23与喷墨头17，如图3、4所示，使喷墨头17在主载置台11上移动、在主载置台11上静止，如图5、6所示，使基板5朝向喷墨头17的下方移动。 
喷墨头17的朝下的面上设置有多个喷出孔，当边从喷出液供给系23向喷墨头17供给印刷液边使设置在喷墨头17上的喷出机构动作时，便能够从各喷出孔喷出印刷液液滴。 
喷出孔是沿着基板的宽度方向(与基板5的移动方向垂直的方向) 配置的。配置有喷出孔的区域的长度比基板5的宽度短，当边对喷墨头17与基板5的相对位置进行控制边从喷墨头17喷出印刷液时，便能够使喷出液附着到基板5表面的(基板长)×(基板宽)的区域中(基板长)×(配置有喷出孔的区域)内的期望位置上。 
喷出液附着到该区域内之后使喷墨头17移动，而在喷墨头17静止的状态下使基板5移动，当将喷出液朝向基板5的表面的未附着喷出液的区域喷出时，便能够使喷出液附着到基板5的表面的期望位置上。 
由于下部导轨131、132通过上下方向调整装置6与水平方向调整装置被调整成一直线，因而在移动板16行走时不会发生摇摆，能够使基板5高速移动。此外，喷出液的附着位置精度也提高。 
当在主载置台11上将印刷液附着在基板5表面的既定位置上之后，使基板5在辅助载置台12a、12c上移动，使升降销81上升时，基板5从移动板16上移载到升降销81上。当将搬运机器人的机械手插入基板5与移动板16之间并将基板5移载到机械手上时，便能够移动到基板平台10的外部。 
图7、8示出将基板5移动到基板平台10的外部之后的状态。 
在上述例子中，在喷出液喷出时，是在使喷墨头17静止并使基板5移动的情况下喷出喷出液的，但也可以在使基板5静止并使喷墨头17移动的情况下喷出喷出液。重要的是，只要基板5与喷墨头17能够相对移动即可，既可以是其中的一方静止也可以是双方均移动。 
也可以替代喷墨头17而将测定装置等其它装置安装在上部导轨151、152上。 
此外，在上述例子中，上部导轨151、152是固定在主载置台11上的，但若将上部导轨151、152能够移动地安装在下部导轨131、132上，使得上部导轨151、152能够在下部导轨131、132的延伸方向上移动，则能够使喷墨头17在水平面内向相互垂直的两个方向(X-Y)移动，因而即使使基板5静止也能够使喷出液附着到基板5的整个表面上。 
在这种情况下，若替代喷墨头17而预先将能够安装各种装置的安装器具设置在上部导轨151、152上，则还能够作为通用的X-Y平台使用。 
此外，在上述例子中，是在辅助载置台12a～12d上设置通孔14a～ 14d，将升降销81、82插入并上下移动的，但也可以是在辅助载置台12a～12d之间上下移动。 

Claims (7)

1.一种平台，具有：主载置台，面积比前述主载置台小且能够从前述主载置台上分离的辅助载置台，以及横跨在前述主载置台上与前述辅助载置台上进行配置、端部位于前述辅助载置台上的多个下部导轨，移动板位于前述各下部导轨上，前述移动板能够在前述下部导轨上行走，其特征是，
多个前述下部导轨的每一根分别由一片板材形成，构成为能够在前述主载置台和前述辅助载置台上进行装拆，
前述辅助载置台是一侧面固定在前述主载置台上，固定在前述主载置台上的部分得到前述主载置台的支撑，而前述辅助载置台的与固定在前述主载置台上的部分相反一侧的部分未受到支撑，
在前述辅助载置台上，设置有能够以多个位置对前述下部导轨的高度进行调节的上下方向调整装置。
2.如权利要求1所记载的平台，其特征是，
在前述移动板上，形成有用来插入升降销的多个通孔，
在前述移动板位于前述辅助载置台的既定部位的状态下，能够从前述移动板的背面一侧将前述升降销插入前述移动板的通孔中。
3.如权利要求1或2所记载的平台，其特征是，在前述主载置台上，能够装拆地安装有位于前述下部导轨的上方的上部导轨。
4.如权利要求3所记载的平台，其特征是，在前述上部导轨上，能够移动地安装有喷墨头。
5.一种平台，具有：主载置台，面积比前述主载置台小且能够从前述主载置台上分离的辅助载置台，横跨在前述主载置台上与前述辅助载置台上进行配置、端部位于前述辅助载置台上的多个下部导轨，以及安装成能够沿着前述下部导轨的延伸方向移动的上部导轨，其特征是，
各前述下部导轨由一片板材形成，构成为能够在前述主载置台和前述辅助载置台上进行装拆，
前述辅助载置台是一侧面固定在前述主载置台上，固定在前述主载置台上的部分得到前述主载置台的支撑，而前述辅助载置台的与固定在前述主载置台上的部分相反一侧的部分未受到支撑，
在前述辅助载置台上，设置有能够以多个位置对前述下部导轨的高度进行调节的上下方向调整装置，
前述上部导轨和前述下部导轨构成为能够进行装拆。
6.如权利要求5所记载的平台，其特征是，在前述上部导轨上，能够移动地安装有喷墨头。
7.如权利要求1、2、5和6之任一权利要求所记载的平台，其特征是，前述下部导轨由花岗石构成。
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