JP2008082704A - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】装置の小型化を図れるのは勿論、それに加えて、検査に要する走査距離を短くするにより、検査時間を短縮する。
【解決手段】被検査対象である基板Ａを支持するステージ１と、ステージ上に支持された基板を跨ぐように基板の搬送方向に互いに間隔をあけて設けられた複数の門型アーム３Ａ、３Ｂと、複数の門型アームにそれぞれ設けられて基板を検査する検査部５とを備える。基板Ａは、離間して配置された門型アームに対して相対移動される。このとき、装置の全長は基板Ａの長さの１．５倍でよい。また、走査距離は、基板Ａの全長の約１／２で足り、検査時間を短縮できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等で用いられるガラス基板等の検査に用いられる基板検査装置および基板検査方法に関する。

従来、液晶ディスプレイ等で用いられるガラス基板等の検査では、基板表面に照明光を照射し、その反射光もしくは透過光の光学的変化に応じた表面の画像を取り込み、これを画像処理することによって、表面に塗布されたレジストの膜むら、ピンホールなどの欠陥や、塵埃付着の有無などを確認している。
また、必要に応じて、基板表面に欠陥や塵埃付着など（欠陥）が認められる場合には、顕微鏡などを用いて拡大画像による詳細観察（２次検査）が行われる。

この種の基板検査装置として、例えば、図６に示すものが知られている。
この基板検査装置について説明すると、図６において符号１００はステージを示す。ステージ１００上には検査対象である基板１０１が支持されていて、この基板１０１は、ステージの側部に設けられた搬送手段１０２によって把持された状態で、搬送方向（図中Ｘ方向）およびその逆方向へ搬送される。また、符号１０３はステージ１００上の基板１０１を跨ぐように設けられた門型アームである。門型アーム１０３には、基板１０１の搬送方向と直交する方向（図中Ｙ方向）へ移動する移動台１０４が設けられ、この移動台１０４には基板１０１の一部を撮像する撮像部１０５が移動台１０４の長手方向（Ｙ方向）に沿って複数設けられている。

そして、この基板検査装置によれば、ステージ１００上に支持された基板１０１の側端部を搬送手段１０２で把持し、この搬送手段１０２により基板１０１をＹ方向に搬送しながら、撮像部１０５によって基板１０１を検査する。
なお、１回の走査によって基板１０１の全幅を検査できない場合には、撮像部１０５を移動台１０４ごとＹ方向へずらし、搬送手段１０２によって基板１０１を搬送方向とは逆方向へ移動させる、あるいは、基板１０１を予めスタート位置まで戻して再度基板１０１を搬送方向へ移動させる等によって、撮像部１０５による検査を繰り返す。

ところで、前述した基板検査装置にあっては、撮像部１０５を基板１０１の搬送方向と直交する方向へ複数配置しているため、基板１０１に対する撮像部１０５の走査回数を減じることはできるものの、装置の長さＬとして基板１０１の長さの２枚分必要になり、装置が大型化する問題があった。また、基板１０１に対する撮像部１０５の走査距離が長くなり、結果として検査時間が長くなる問題もあった。
これらの問題は、近年、基板１０１がますます大型化しているため、より大きなものになっている。

このような問題に対処する基板検査装置として、特許文献１には、基板１０１を固定しておき、逆に、撮像部１０５が取り付けられている門型アーム１０３を基板１０１の搬送方向へ移動させるものが提案されている。
特開２００３−１３９７２１号公報

しかしながら、前記特許文献１に記載された基板検査装置にあっては、装置の大型をある程度回避できるものの、検査に要する走査距離を短くすることはできず、結果的に検査時間を短くすることはできなかった。
また、特許文献１に記載された基板検査装置にあっては、移動可能な１つの門型アームに撮影部を支持する検査ヘッドを２つ設けて検査時間の短縮を図っているが、大型の基板を検査する場合において、検査ヘッドを片持ち状に張り出して支持して門型アームを移動させるのは、ヘッドの張り出し量、門型アームの大きさ・重さがすべて大きくかつ重くなるため、位置精度を保つ上で不利になる。

本発明は、上記事情を鑑みなされたもので、装置の小型化を図れるのは勿論、それに加えて、検査に要する走査距離を短くするにより、検査時間を短縮することができる、基板検査装置および基板検査方法を提供することを目的とする。

上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明の基板検査装置は、被検査対象である基板を支持するステージと、該ステージ上に支持された前記基板を跨ぐように該基板の搬送方向に互いに間隔をあけて設けられた複数の門型アームと、該複数の門型アームにそれぞれ設けられて前記基板を検査する検査部とを備え、前記門型アームと前記基板とが前記基板の搬送方向へ相対移動可能に配置されていることを特徴とする。
本発明の基板検査装置によれば、門型アームと基板とを相対移動させ、門型アームに設けた検査部によって基板に欠陥があるか否か検査する。このとき、門型アームを複数備えているので、例えば、門型アームをｎ個等間隔で備えるとき、検査のための走査距離は、基板全長の１／ｎで足りることとなり、その分、検査時間が短縮する。
また、門型アームを複数設けて、それぞれに検査部を支持させているため、検査部を支持するにあたり門型アームからステーを長く突き出す必要がなく、門型アームを含め検査部を支持する部分の剛性が向上し、このため、検査精度を確保できる。

本発明では、前記複数の門型アームが固定され、前記ステージ上に支持された前記基板が搬送手段によって前記搬送方向へ移動されることが好ましい。
検査部が設けられた門型アーム側を固定するので、検査部によって基板を検査のとき、例えば検査画像がぶれにくくなり、高精度の検査が望めるからである。
本発明では、前記複数の門型アームの間隔を調整する調整手段が設けられていることが好ましい。
大きさの異なる基板を検査する際に、調整手段によって門型アームの間隔を基板に対して最適に設定することができるからである。

本発明では、前記ステージ上に支持された前記基板が固定され、前記複数の門型アームが移動機構によって前記搬送方向へ移動されることが好ましい。
門型アーム側を移動するので、基板側を移動させる場合に比べて、装置の全長をより短くできるからである。

本発明では、前記複数の門型アームが前記移動機構によって、それぞれ独立して前記基板の搬送方向へ移動されることが好ましい。
検査対象となる基板の長さが異なる場合でも、それに対応して複数の門型アーム間の離間距離を調整することができ、長さが異なる基板に対しても検査に要する走査時間を短くし得て、検査時間を短縮できるからである。

本発明では、前記門型アームに２次検査用の２次検査部が組み付けられていることが好ましい。
検査後、基板を移し替えることなく、そのままの状態で、連続して顕微鏡等を用いた２次検査が行えるからである。

本発明では、前記各門型アームには、前記検査部を構成する撮像部が基板の搬送方向と直交する方向に複数配設されていることが好ましい。
基板の幅寸法が長い場合には、基板あるいは門型アームを複数回往復動させて、検査部によって基板全域を走査する必要があるが、撮像部を基板の搬送方向と直交する方向に複数配設することにより、基板あるいは門型アームの移動回数を減少させることができるからである。

本発明では、前記各門型アームに対応してそれぞれ設けられ、該門型アームに配設された前記複数の撮像部から出力される単位画像を取り込んでそれら単位画像を結合させて中間画像を出力する複数の中間画像結合部と、該複数の中間画像結合部から出力される中間画像同士を結合させて最終画像を出力する最終画像結合部と、該最終画像結合部から出力される最終画像を基に前記基板の欠陥を検出する欠陥検出部と、前記欠陥検出部から検出される欠陥結果を表示する結果表示部とを備えることが好ましい。
画像処理に基づき、基板に生じるレジストの膜むら、ピンホール、塵埃の付着等の欠陥を検出できるからである。

本発明の基板検査方法は、被検査対象である基板を支持するステージと、該ステージ上に支持された前記基板を跨ぐように前記基板の搬送方向に互いに間隔をあけて設けられた複数の門型アームと、該複数の門型アームにそれぞれ設けられて前記基板を検査する検査部とを備えた基板検査装置により前記基板を検査する基板検査方法であって、前記ステージに前記基板をセットする工程と、前記基板と前記複数の門型アームのいずれかを前記基板の搬送方向へ移動させながら、前記複数の門型アームに対応するように分けられる前記基板の複数の検査エリアごとに、該検査エリアに対応する門型アームに設けられた前記検査部によって検査する工程と、を備えることを特徴とする。
本発明の基板検査方法によれば、複数の門型アームに対応するように分けられる基板の複数の検査エリアごとに、それに対応する門型アームに設けられた検査部によって検査するので、１つの門型アームに対応する検査エリアは小さくなり、その分走査距離の短縮化に伴う、検査時間を短縮を図ることができる。

本発明の基板検査方法は、被検査対象である基板を支持するステージと、該ステージ上に支持された前記基板を跨ぐように前記基板の搬送方向に互いに間隔をあけて設けられ、かつ、各々独立して前記基板の搬送方向へ移動する複数の門型アームと、該複数の門型アームにそれぞれ設けられて前記基板を１次検査する１次検査部と、前記複数の門型アームにそれぞれ設けられて前記基板を２次検査する２次検査部と、を備えた基板検査装置により基板を検査する基板検査方法であって、前記ステージに基板をセットする工程と、前記複数の門型アームを前記基板の搬送方向へ移動させながら、複数の門型アームに対応するように分けられた前記基板の複数の検査エリアごとに、該検査エリアに対応する前記門型アームに設けられた前記検査部によって１次検査する１次検査工程と、前記複数の門型アームを前記基板の搬送方向またはその逆方向へそれぞれ独立的に移動させながら、１次検査工程で検出された欠陥を、前記検査エリアごとに前記２次検査部によって２次検査する２次検査工程と、を備えることを特徴とする。
本発明の基板検査方法によれば、１次検査後、続けて、複数の門型アームを基板の搬送方向またはその逆方向へそれぞれ独立的に移動させながら、２次検査部による２次検査を行うことができ、１次検査と２次検査を含めたトータル的な検査時間を短縮することができる。

本発明によれば、門型アームと基板とを相対移動させ、門型アームに設けた検査部によって基板に欠陥があるか否か検査する。このとき、門型アームを複数備えているので、例えば、門型アームをｎ個等間隔で備えるとき、検査のための走査距離は、基板全長の１／ｎで足りることとなり、その分、検査時間を短縮することができる。また、走査距離が短くなる分、装置の全長を短縮することができ、もって装置を小型化することができる。
また、門型アームを複数設けて、それぞれに検査部を支持させているため、門型アームを含め検査部を支持する部分の剛性を向上させることができ、このため、検査精度を確保することができる。

以下、図面を参照し、本発明の実施形態に係る基板検査装置及び基板検査方法について説明する。
＜第１実施形態＞
図１〜図３は本発明の第１実施形態を示し、図１は装置全体の概略構成を示す斜視図、図２は検査部の側面図、図３は検査対象となる基板の正面図である。図１において符号１はステージを示す。ステージ１上には検査対象である基板Ａが略水平面に沿うように支持される。基板Ａを水平面に沿うように支持する具体的な手段としては、非接触式としては高圧エアによるエア浮上方式があり、また、接触式としては複数のコロによって支持する方法がある。
なお、ステージの後述する撮像部６の撮像位置には、裏面反射防止のための溝が設けられている。

ステージ１の一側部には搬送手段２が配置されている。この搬送手段２は、基板Ａを把持する把持機構を有し（図示略）、この把持機構によってステージ１上の基板Ａの側端部を把持し、この状態で、基板Ａを搬送方向（図１においてＸ方向）に沿って搬送させる構成になっている。
また、３Ａ、３Ｂはステージ１上に支持される前記基板Ａを跨ぐように、基板Ａの搬送方向と直交する方向に延びて設けられた門型アームである。門型アームは、基板Ａの搬送方向に沿いながら互いに平行となるように間隔をあけて２個設けられている。これら門型アーム３Ａ、３Ｂ同士の離間距離は、基板Ａの搬送方向の長さＬの略１／２に設定されている。

両門型アーム３Ａ、３Ｂは同じ構成であり、ここでは一方の門型アーム３Ａについてのみ説明し、他方の門型アーム３Ｂの構成要素は、門型アーム３Ａの構成要素と同一符号を付してその説明を省略する。
門型アーム３Ａには、基板Ａの搬送方向と直交する方向（図１中Ｙ方向）に移動する移動台４が設けられている。移動台４には基板Ａの欠陥の有無を検査する検査部５が設けられている。検査部５は、基板Ａの一部を撮像するよう移動台４の長手方向（Ｙ方向）に沿って複数個取り付けられた撮像部６、…からなっている。撮像部６は、基板Ａの一部をエリア状またはライン状に撮像することが可能なレンズ群とＣＣＤ素子からなっている。これら撮像部６同士の相互間隔は、図２に示すように、それら撮像部６の撮像範囲６Ａが一部重複するように設定されている。

また、この基板検査装置には、前記撮像部６…によって取得される画像を処理し、この処理された画像を基に基板Ａの欠陥を検出して表示する画像処理・表示部７が設けられている。
画像処理・表示部７は、各門型アーム３Ａ、３Ｂに対応してそれぞれ設けられ、該門型アームに配設された複数の撮像部６、…から出力される単位画像を取り込んでそれら単位画像を結合させて中間画像を出力する複数の中間画像結合部８Ａ、８Ｂと、これら複数の中間画像結合部８Ａ、８Ｂから出力される中間画像同士を結合させて最終画像を出力する最終画像結合部９と、最終画像結合部９から出力される最終画像を基に前記基板の欠陥を検出する欠陥検出部１０と、欠陥検出部１０から検出される欠陥結果を表示する結果表示部１１とを備える。

次に、上記構成の基板検査装置の作用について説明する。
まず、基板Ａをステージ上の正規の位置にセットする。次いで、セットされた基板Ａの一側端部を搬送手段２の図示せぬ把持機構によって把持し、基板Ａを走査開始位置まで搬送する。そして、検査を開始する。
すなわち、搬送手段２は把持機構によって把持したまま基板Ａを所定の速度で搬送方向（図１中Ｘ方向）へ搬送する（１回目の走査）。このとき、両門型アーム３Ａ、３Ｂに設けられたそれぞれの撮像部６によって基板Ａに対する画像を連続して撮像する。複数の撮像部６によるＹ方向の撮像範囲が、基板Ａの幅に満たさない場合は、移動台４をＹ方向へ移動させることにより撮像部６を未撮像範囲にまで移動させ、前述した１回目の走査と同様に２回目の走査を行う。この２回目の走査は、例えば、１回目の走査の終了位置から前記搬送方向とは反対方向へ搬送手段２及び基板Ａを搬送させて行ってもよく、基板Ａを再度走査開始位置まで戻し、基板Ａ等を搬送方向へ搬送させて行ってもよい。
これら走査を、基板Ａの全幅が撮像されるまで繰り返す。
このような撮像方法では、基板Ａの搬送方向の略後側半分は、一方の門型アーム３Ａに設けられた撮像部６…によって撮像し、基板の搬送方向略前側半分は、他方の門型アーム３Ｂに設けられた撮像部６…によって撮像する。
つまり、複数の門型アーム３Ａ、３Ｂに対応するように分けられる基板の複数の検査エリアごとに、それに対応する門型アームに設けられた検査部５によって検査する。

上記の走査が終わった後、一方の門型アーム３Ａに設けられた撮像部６…によって撮像された単位画像はそれぞれ中間画像結合部８Ａに送られ、ここで結合されて一の中間画像Ｇａが作製される。また、他方の門型アーム３Ｂに設けられた撮像部６…によって撮像された単位画像はそれぞれ中間画像結合部８Ｂに送られ、ここで結合されて他の中間画像Ｇｂが作製される（図３参照）。これら中間画像Ｇａ、Ｇｂは最終画像結合部９に送られ、ここで結合されて基板Ａ全体としての最終画像Gｃが作製される。
なお、中間画像Gａと中間画像Ｇｂとの画像同士の結合処理をスムーズに行なうため、それら画像範囲の一部が互いに重複するように、撮像部６による走査範囲が予め設定されている。
なお、上述した画像の結合は、撮像部６による走査中に逐次行っても良い。
そして、欠陥検出部１０では、作製された最終画像Ｇｃを基に前記基板Ａの欠陥を検出し、検出された欠陥は、ＣＲＴ等の結果表示部１１によって表示される。

上述した基板検出装置では、門型アームを２つ備えており、それら門型アームに設けられた撮像部６が基板Ａの搬送方向前側半分および後側半分をそれぞれ受け持ちながら撮像するので、撮像を行う際の走査距離としては基板Ａの全長の半分の距離で足りることとなり、その結果、基板検出装置の全長としては、基板の全長の１，５倍の長さがあれば足りる。すなわち、図６に示す従来の基板検査装置に比べて小型化を図ることができる。

また、上述した基板検査方法であると、前述したように撮像を行う際の走査距離として、基板Ａの全長の略半分の距離で足りることとなり、その分走査時間の短縮化を図ることができ、ひいては、検査時間の短縮化を図ることができる。
なお、前記第１実施形態では、２つの門型アーム３Ａ、３Ｂを固定しているが、これに限られることなく、そのうちの一方、例えば門型アーム３Ｂを、例えば移動基台を介してX方向および反X方向へ移動可能に支持することで、両門型アーム３Ａ、３Ｂの間隔を調整する調整手段を設ける構成にしても良い。これにより、大きさの異なる基板Ａを検査する際に、調整手段によって門型アーム３Ｂを移動させることで、両門型アーム３Ａ、３Ｂの間隔を基板Ａに対して最適値に設定することができる。
＜第２実施形態＞

図４は、本発明の第２実施形態を示す。
なお、説明の便宜上、この第２実施形態の構成要素のうち、前記第１実施形態の構成要素と同一構成要素については同一符号を付してその説明を省略する。これは、後述する第３実施形態についても同様である。

この第２実施形態が前記第１実施形態と異なるところは、ステージ上の基板Ａを固定する一方、門型アーム３Ａ、３Ｂ側を移動可能にした点である。
すなわち、ステージ１の左右両外側にはそれぞれレール等の案内部２１、２１が基板Ａの搬送方向と平行に設けられ、これらの案内部２１、２１によって互いに対をなす左右の基台２２，２２がそれぞれ移動可能に案内される。また、左右の基台２２，２２は、リニアモータやボールねじ機構等の図示せぬ駆動手段によって、共に同期した状態で駆動される。そして、それら左右の基台２２，２２の、基板Ａの搬送方向を基準にした前後端には、門型アーム３Ａ、３Ｂの脚部がそれぞれ固定される。

この第２実施形態の基板検査装置では、ステージ１上の基板Ａを固定し、逆に、門型アーム３Ａ、３Ｂ側を移動させることにより、基板Ａ上を門型アームに取り付けた撮像部６によって走査させて検査する。
このような基板検査装置でも、前述した第１実施形態のものと同様に基板Ａの検査を行うことができる。
また、第２実施形態の基板検査装置は、走査距離が短い分前述の第１実施形態と同様に検査時間の短縮化を図ることができるのに加えて、装置の全長として基板Ａの全長と同程度あれば足りることから、前述の第１実施形態の基板検査装置に比べて、さらなる小型化を図ることができる。
＜第３実施形態＞

図５は本発明の第３実施形態を示す。
この第３実施形態が前記第２実施形態と異なるところは、２つの門型アーム３Ａ、３Ｂがそれぞれ独立して、基板Ａの搬送方向およびその逆方向へ移動可能になっている点、並びに門型アーム３Ａ、３Ｂに、前記撮像部６により基板Ａに検出された欠陥に対して２次検査を行うための２次検査部３１を備える点である。

すなわち、左右の案内部２１，２１には、互い対をなしかつ図示せぬ駆動手段によって同期した状態で駆動される左右の基台３２、３２が、案内部２１の長手方向に沿って２対設けられている。これら案内部２１の長手方向に沿って離間配置される基台３２、３２は互いに独立して駆動される。そして、これら左右の基台３２，３２に前記門型アーム３Ａ、３Ｂの脚部が固定される。

２次検査部３１は顕微鏡および照明手段からなっていて、門型アーム３Ａ、３Ｂの前記検査部（１次検査部）５とは逆側に設けられている。つまり、図５に示すように、複数の撮像部６からなる検査部５が門型アーム３Ａ、３Ｂの基板搬送方向前側に設けられる場合には、門型アーム３Ａ、３Ｂの基板搬送方向後側に設けられる。また、これら２次検査部３１は、前記移動台４からステーを延ばし、このステーに取り付けられていてもよく、また、前記移動台４とは別に専用の移動台を設け、この専用の移動台に２次検査部３１を取り付けても良い。

この第３実施形態では、前述したように、撮像部６からなる検査部５によって一次検査し、そのとき、検出される欠陥について、基板Ａを移動させることなく、そのままの状態で連続して、顕微鏡等を用いた２次検査を行うことができる。
このとき、基板の搬送方向前後に分けた検査エリアごとに、それぞれ独立して２次検査を行うことができ、前述した１検査に連続して２次検査が行えることと相俟って、従来の基板検査方法に比べ、２次検査に要する時間をはるかに短縮することができる。

なお、第３実施形態では、門型アーム３Ａ、３Ｂに前記２次検査部３１を設けるのに加えて、２次検査後の補修を行うためのレーザリペア等の補修手段を設けても良い。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、前記各実施形態では、門型アームを２個設けたが、門型アームの数は、２個に限られることなく、３個でもあるいは４個以上であっても良い。

本発明の第１実施形態の基板搬送装置の概略構成を示す斜視図である。 同基板搬送装置の検査部の詳細を示す側面図である。 最終画像結合部によって画像処理を行うときの状態を示す図である。 本発明の第２実施形態の基板搬送装置の概略構成を示す斜視図である。 本発明の第３実施形態の基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。 従来の基板検査装置の一例を示す側面図である。

符号の説明

Ａ 基板
１ ステージ
２ 搬送手段、
３Ａ、３Ｂ 門型アーム
４ 移動台
５ 検査部（１次検査部）
６ 撮像部
８Ａ、８Ｂ 画像結合部
９ 最終画像結合部
１０ 欠陥検出部
１１ 結果表示部
２１ 案内部
２２、３２ 基台（移動機構）
３１ ２次検査部

Claims (10)

1. 被検査対象である基板を支持するステージと、
   該ステージ上に支持された前記基板を跨ぐように該基板の搬送方向に互いに間隔をあけて設けられた複数の門型アームと、
   該複数の門型アームにそれぞれ設けられて前記基板を検査する検査部とを備え、
   前記門型アームと前記基板とが前記基板の搬送方向へ相対移動可能に配置されていることを特徴とする基板検査装置。
2. 請求項１記載の基板検査装置において、
   前記複数の門型アームが固定され、
   前記ステージ上に支持された前記基板が搬送手段によって前記搬送方向へ移動されることを特徴とする基板検査装置。
3. 請求項２記載の基板検査装置において、
   前記複数の門型アームの間隔を調整する調整手段が設けられていることを特徴とする基板検査装置。
4. 請求項１記載の基板検査装置において、
   前記ステージ上に支持された前記基板が固定され、
   前記複数の門型アームが移動機構によって前記搬送方向へ移動されることを特徴とする基板検査装置。
5. 請求項４記載の基板検査装置において、
   前記複数の門型アームが前記移動機構によって、それぞれ独立して前記基板の搬送方向へ移動されることを特徴とする基板検査装置。
6. 請求項５に記載の基板検査装置において、
   前記門型アームに２次検査用の２次検査部が組み付けられていることを特徴とする基板検査装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１項記載の基板検査装置において、
   前記各門型アームには、前記検査部を構成する撮像部が基板の搬送方向と直交する方向に複数配設されていることを特徴とする基板検査装置。
8. 請求項７記載の基板検査装置において、
   前記各門型アームに対応してそれぞれ設けられ、該門型アームに配設された前記複数の撮像部から出力される単位画像を取り込んでそれら単位画像を結合させて中間画像を出力する複数の中間画像結合部と、
   該複数の中間画像結合部から出力される中間画像同士を結合させて最終画像を出力する最終画像結合部と、
   該最終画像結合部から出力される最終画像を基に前記基板の欠陥を検出する欠陥検出部と、
   前記欠陥検出部から検出される欠陥結果を表示する結果表示部とを備えることを特徴とする基板検査装置。
9. 被検査対象である基板を支持するステージと、
   該ステージ上に支持された前記基板を跨ぐように前記基板の搬送方向に互いに間隔をあけて設けられた複数の門型アームと、
   該複数の門型アームにそれぞれ設けられて前記基板を検査する検査部とを備えた基板検査装置により前記基板を検査する基板検査方法であって、
   前記ステージに前記基板をセットする工程と、
   前記基板と前記複数の門型アームのいずれかを前記基板の搬送方向へ移動させながら、前記複数の門型アームに対応するように分けられる前記基板の複数の検査エリアごとに、該検査エリアに対応する前記門型アームに設けられた前記検査部によって検査する工程と、
   を備えることを特徴とする基板検査方法。
10. 被検査対象である基板を支持するステージと、
    該ステージ上に支持された前記基板を跨ぐように前記基板の搬送方向に互いに間隔をあけて設けられ、かつ、各々独立して前記基板の搬送方向へ移動する複数の門型アームと、
    該複数の門型アームにそれぞれ設けられて前記基板を１次検査する１次検査部と、
    前記複数の門型アームにそれぞれ設けられて前記基板を２次検査する２次検査部と、
    を備えた基板検査装置により基板を検査する基板検査方法であって、
    前記ステージに基板をセットする工程と、
    前記複数の門型アームを前記基板の搬送方向へ移動させながら、複数の門型アームに対応するように分けられた前記基板の複数の検査エリアごとに、該検査エリアに対応する前記門型アームに設けられた前記検査部によって１次検査する１次検査工程と、
    前記複数の門型アームを前記基板の搬送方向またはその逆方向へそれぞれ独立的に移動させながら、１次検査工程で検出された欠陥を、前記検査エリアごとに前記２次検査部によって２次検査する２次検査工程と、
    を備えることを特徴とする基板検査方法。

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