KR101903877B1

KR101903877B1 - 수송용 가대 및 수송 방법

Info

Publication number: KR101903877B1
Application number: KR1020170017373A
Authority: KR
Inventors: 가츠유키 오가미; 신이치 사카이
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2016-12-15
Filing date: 2017-02-08
Publication date: 2018-10-02
Also published as: JP6755169B2; CN107098164A; TW201833012A; TWI729243B; CN107098164B; JP2018098410A; KR20170021806A

Abstract

챔버를 용이하게 수송하는 것이다.
상하로 분할 가능한 챔버를 수송하기 위한 수송용 가대(10)이며, 제1 방향으로 연장되는 중앙 프레임(20)과, 제1 방향에 있어서의 중앙 프레임(20)의 양단에, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 2개의 측방 프레임(30)과, 챔버를 중앙 프레임(20)에 고정하기 위한 복수의 설치판(24)을 구비한다. 챔버는, 챔버의 천장면(710)을 포함하는 상부 부품(71)과, 챔버의 저면(720)을 포함하는 하부 부품(72)으로 분할된다. 복수의 설치판(24) 각각은, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72) 중 적어도 어느 것을, 2개의 측방 프레임(30)의 사이에 있어서, 중앙 프레임(20)의 측면에, 천장면(710) 또는 저면(720)이 중앙 프레임(20)의 측면을 따르는 방향으로 되도록 고정한다.

Description

수송용 가대 및 수송 방법{Transportation cradle and transportation method}

본 발명의 다양한 측면 및 실시 형태는, 수송용 가대 및 수송 방법에 관한 것이다.

플랫 패널 디스플레이 기판은, 마더 유리 기판의 사이즈가 클수록 1매로부터 취할 수 있는 패널의 수가 증가하기 때문에 비용을 저감할 수 있다. 그 때문에, 최근에는 마더 유리 기판은 대형화의 일로를 걷고 있다. 또한, 마더 유리 기판의 대형화에 수반하여, 유리 기판을 제조 또는 검사하는 장치에 있어서도, 해마다 대형화하고 있다.

그런데, 플랫 패널 디스플레이 기판 등을 제조하는 장치는, 제조업자에 의해 제조된 후, 생산 현장까지 운반되어서 설치된다. 그러나, 장치가 대형이 되면, 크기나 중량의 관계로, 1대의 장치를 그대로 수송하는 것이 곤란해진다.

따라서, 장치를 폭 방향 또는 깊이 방향으로 분할하고, 분할된 부품을 개별적으로 수송하고, 수송처에서 접합함으로써, 수송처까지 대형의 장치를 수송하는 기술이 알려져 있다.

일본 특허 공개 제2007-73688호 공보

그런데, 플랫 패널 디스플레이 기판 등을 제조하는 장치에는, 기밀성을 요하는 경우가 많다. 그러나, 폭 방향 또는 깊이 방향으로 분할된 장치를 다시 접합한 경우, 기밀성의 저하를 억제하는 것이 어렵다. 그 때문에, 폭 방향 또는 깊이 방향으로 장치를 분할하여 수송하는 것은 바람직하지 않다.

또한, 장치를 상하 방향으로 분할하는 것도 생각할 수 있지만, 단지 상하 방향으로 분할한 것 만으로는, 분할함으로써 장치의 중량을 억제할 수는 있지만, 장치의 폭이나 깊이의 사이즈를 작게 할 수는 없다. 그 때문에, 장치가 수송용 차량의 짐받이로부터 비어져 나와버려, 장치를 수송하는 것이 곤란해진다.

본 발명의 일 측면은, 상하로 분할 가능한 챔버를 수송하기 위한 수송용 가대이며, 제1 방향으로 연장되는 중앙 프레임과, 상기 제1 방향에 있어서의 상기 중앙 프레임의 양단에, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 2개의 측방 프레임과, 상기 챔버를 상기 중앙 프레임에 고정하기 위한 복수의 고정구를 구비한다. 상기 챔버는, 상기 챔버의 천장면을 포함하는 상부 부품과, 상기 챔버의 저면을 포함하는 하부 부품으로 분할된다. 상기 복수의 고정구 각각은, 상기 상부 부품 및 상기 하부 부품 중 적어도 어느 것을, 상기 2개의 측방 프레임의 사이이며, 상기 중앙 프레임의 측면에, 상기 천장면 또는 상기 저면이 상기 중앙 프레임의 측면을 따르는 방향으로 되도록 고정한다.

본 발명의 다양한 측면 및 실시 형태에 따르면, 챔버를 용이하게 수송하는 것이 가능하게 된다.

도 1은, 수송용 가대의 일례를 도시하는 도면이다.
도 2는, 수송용 가대가 수송용 차량의 짐받이에 고정된 상태의 일례를 도시하는 도면이다.
도 3은, 챔버의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 4는, 챔버의 적재 수순의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는, 설치판 부근의 확대도이다.
도 6은, 상부 부품 및 하부 부품이, 짐받이 상의 수송용 가대에 고정된 상태의 일례를 도시하는 도면이다.
도 7은, 챔버의 하부 부품이 고정된 상태의 수송용 가대의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 8은, 챔버가 고정된 수송용 가대의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 9는, 챔버가 고정된 수송용 가대의 일례를 도시하는 상면도이다.
도 10은, 사다리의 인출 상태 및 수용 상태의 일례를 도시하는 도면이다.
도 11은, 수송용 가대를 사용한 챔버의 수송 수순의 일례를 도시하는 흐름도이다.

개시하는 수송용 가대는, 하나의 실시 형태에 있어서, 상하로 분할 가능한 챔버를 수송하기 위한 수송용 가대이며, 제1 방향으로 연장되는 중앙 프레임과, 제1 방향에 있어서의 중앙 프레임의 양단에, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 2개의 측방 프레임과, 챔버를 중앙 프레임에 고정하기 위한 복수의 고정구를 구비한다. 챔버는, 챔버의 천장면을 포함하는 상부 부품과, 챔버의 저면을 포함하는 하부 부품으로 분할된다. 복수의 고정구 각각은, 상부 부품 및 하부 부품 중 적어도 어느 하나를, 2개의 측방 프레임의 사이이며, 중앙 프레임의 측면에, 천장면 또는 저면이 중앙 프레임의 측면을 따르는 방향으로 되도록 고정한다.

또한, 개시하는 수송용 가대의 하나의 실시 형태에 있어서, 복수의 고정구 각각은, 중앙 프레임의 한쪽 측면에, 1개의 챔버로부터 분할된 상부 부품을 고정하고, 중앙 프레임의 다른 쪽 측면에, 당해 1개의 챔버로부터 분할된 하부 부품을 고정해도 된다.

또한, 개시하는 수송용 가대의 하나의 실시 형태에 있어서, 복수의 고정구의 적어도 일부는, 중앙 프레임에 설치되어 있어도 되고, 중앙 프레임에 설치된 고정구는, 중앙 프레임에는 상부 부품의 천장면과 하부 부품의 저면을 고정해도 된다.

또한, 개시하는 수송용 가대는, 하나의 실시 형태에 있어서, 중앙 프레임 및 측방 프레임의 상방에 설치된 작업용 발판과, 작업용 발판을 둘러싸는 전락 방지부를 더 구비해도 된다.

또한, 개시하는 수송용 가대의 하나의 실시 형태에 있어서, 측방 프레임에는, 작업자가 작업용 발판에 오르기 위한 사다리가 설치되어 있어도 된다.

또한, 개시하는 수송용 가대의 하나의 실시 형태에 있어서, 사다리는, 측방 프레임에 수용되어도 된다.

또한, 개시하는 수송용 가대의 하나의 실시 형태에 있어서, 중앙 프레임은, 상하 방향으로 연장되는 복수의 기둥과, 제1 방향으로 연장되는 빔과, 복수의 기둥의 사이에 비스듬히 설치된 복수의 경사 지주를 가져도 된다.

또한, 개시하는 수송용 가대의 하나의 실시 형태에 있어서, 챔버는, FPD(Flat Panel Display)용의 처리 챔버, FPD용의 반송 챔버, 또는 FPD용의 로드 로크 챔버여도 된다.

또한, 개시하는 수송 방법은, 하나의 실시 형태에 있어서, 상하로 분할 가능한 챔버를 수송하는 수송 방법이며, 제1 방향으로 연장되는 중앙 프레임과, 제1 방향에 있어서의 중앙 프레임의 양단에 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 2개의 측방 프레임을 구비하는 수송용 가대를 수송용 차량의 짐받이에 설치하는 설치 공정과, 챔버의 천장면을 포함하는 상부 부품과 챔버의 저면을 포함하는 하부 부품으로 분할되는 챔버에 있어서, 상부 부품 및 하부 부품 중 적어도 어느 하나를, 2개의 측방 프레임의 사이이며, 중앙 프레임의 측면에, 천장면 또는 저면이 중앙 프레임의 측면을 따르는 방향으로 되도록 배치하는 배치 공정과, 중앙 프레임의 측면에, 상부 부품의 천장면 및 하부 부품의 저면 중 적어도 어느 하나를, 수송용 가대에 설치된 복수의 고정구에 의해 고정하는 고정 공정과, 중앙 프레임의 측면에 고정된 상부 부품 및 하부 부품 중 적어도 어느 하나를 수송용 차량으로 수송하는 수송 공정을 포함한다.

또한, 개시하는 수송 방법의 하나의 실시 형태에 있어서, 중앙 프레임의 한쪽 측면에는, 1개의 챔버로부터 분할된 상부 부품이 복수의 고정구에 의해 고정되어도 되고, 중앙 프레임의 다른 쪽 측면에는, 당해 1개의 챔버로부터 분할된 하부 부품이 복수의 고정구에 의해 고정되어도 된다.

또한, 개시하는 수송 방법의 하나의 실시 형태에 있어서, 복수의 고정구의 적어도 일부는, 중앙 프레임에 설치되어도 되고, 중앙 프레임에는, 상부 부품의 천장면과 하부 부품의 저면이, 중앙 프레임에 설치된 고정구에 의해 고정되어도 된다.

또한, 개시하는 수송 방법의 하나의 실시 형태에 있어서, 고정 공정에는, 측방 프레임에 수용된 사다리를 인출하는 공정과, 사다리를 사용하여 작업자가 측방 프레임 및 중앙 프레임의 상방에 설치되고, 주위가 전락 방지용의 울타리로 둘러싸인 작업용 발판에 오르는 공정과, 작업용 발판 상에서의 작업자의 작업에 의해 챔버의 상부 부품의 천장면 및 하부 부품의 저면 중 적어도 어느 하나를 중앙 프레임에 고정하는 공정과, 사다리를 사용하여 작업자가 작업 영역으로부터 내려가고, 측방 프레임에 사다리를 수용하는 공정이 포함되어도 된다.

또한, 개시하는 수송 방법의 하나의 실시 형태에 있어서, 챔버는, FPD용의 처리 챔버, FPD용의 반송 챔버, 또는 FPD용의 로드 로크 챔버여도 된다.

이하에, 개시하는 수송용 가대 및 수송 방법의 실시 형태에 대해서, 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 본 실시 형태에 의해, 개시되는 수송용 가대 및 수송 방법이 한정되는 것은 아니다.

[수송용 가대(10)의 구성]

도 1은, 수송용 가대(10)의 일례를 도시하는 도면이다. 본 실시 형태에 있어서의 수송용 가대(10)는, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 도 1의 y축 방향으로 연장되는 중앙 프레임(20)과, y축 방향에 있어서의 중앙 프레임(20)의 양단에, x축 방향으로 연장되는 2개의 측방 프레임(30)을 구비한다. 본 실시 형태에 있어서, 중앙 프레임(20)이 연장되는 방향과, 각 측방 프레임(30)이 연장되는 방향은 직교하고 있다. y축 방향은 제1 방향의 일례이며, x축 방향은 제2 방향의 일례이다.

중앙 프레임(20)은, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 도 1의 y축 방향으로 연장되는 빔(22) 및 토대(28)와, 상하 방향, 즉 도 1의 z축 방향으로 연장되는 복수의 기둥(21)과, 복수의 기둥(21)의 사이에 비스듬히 설치된 복수의 경사 지주(23)를 갖는다. 기둥(21) 및 빔(22)의 측면에는, 후술하는 챔버의 부품을 고정하기 위한 복수의 설치판(24)이 설치되어 있다. 기둥(21)의 사이에 경사 지주(23)가 설치되는 것에 의해, 도 1의 y축 방향에 있어서의 중앙 프레임(20)의 왜곡이 억제된다.

각각의 측방 프레임(30)은, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 도 1의 x축 방향으로 연장되는 빔(32) 및 토대(36)와, 상하 방향, 즉 도 1의 z축 방향으로 연장되는 복수의 기둥(31)과, 기둥(31)과 빔(32) 사이 및 기둥(31)과 토대(36) 사이에 비스듬히 설치된 복수의 경사 지주(33)를 갖는다. 각 측방 프레임(30)의 기둥(31)에는, 수송용 가대(10)를 수송용 차량의 짐받이에 고정하기 위한 행거(34)가 복수 설치되어 있다. 각 측방 프레임(30)의 토대(36)와, 중앙 프레임(20)의 토대(28) 사이에는, 보강재(37)가 설치되어 있다. y축 방향으로 연장되는 중앙 프레임(20)의 양단에, y축 방향에 교차하는 x축 방향으로 연장되는 측방 프레임(30)이 설치되는 것에 의해, x축 방향에 있어서의 수송용 가대(10)의 강도를 높일 수 있다.

중앙 프레임(20) 및 측방 프레임(30)의 상부에는, 작업자가 작업을 행하기 위한 작업용 발판(40)이 설치되어 있다. 작업용 발판(40)의 주위는, 작업용 발판(40) 상에서 작업을 행하는 작업자의 전락을 방지하기 위한 울타리(41)로 둘러싸여 있다. 울타리(41)는, 전락 방지부의 일례이다.

측방 프레임(30)에는, 작업자가 작업용 발판(40)에 오르기 위한 사다리(50)가 설치되어 있다. 또한, 수송용 가대(10)가 수송용 차량의 짐받이에 고정된 상태에 있어서, 중앙 프레임(20)의 토대(28)의 측방이며, 수송용 차량의 짐받이 상에는, 복수의 보호 매트(25)가 배치된다. 보호 매트(25)는, 보호 매트(25) 상에 적재된, 후술하는 챔버를, 흠이나 충격으로부터 보호한다.

[수송용 가대(10)의 고정 방법]

도 2는, 수송용 가대(10)가 수송용 차량의 짐받이(60)에 고정된 상태의 일례를 도시하는 도면이다. 수송용 가대(10)는, 수송용 차량의 짐받이(60)에 탑재된다. 측방 프레임(30)의 기둥(31)에는, 도 2에 도시한 바와 같이, 예를 들어 아이볼트 등의 행거(34)가 복수 설치되고, 각각의 행거(34)에, 예를 들어 체인이나 벨트 등의 설치구(35)가 통과된다. 그리고, 설치구(35)가 짐받이(60)에 고정됨으로써, 수송용 가대(10)가 수송용 차량의 짐받이(60)에 고정된다.

[챔버(70)의 구성]

도 3은, 챔버(70)의 일례를 도시하는 단면도이다. 본 실시 형태에 있어서의 챔버(70)는, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)을 갖는다. 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)은, 예를 들어 도 3에 도시한 파선을 따라서 상하로 분할 가능하다. 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)은 상하로 분할된 경우, 상부 부품(71)의 하부 및 하부 부품(72)의 상부에는 개구가 형성된다.

상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이 접합된 상태에 있어서, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)에 의해 구성되는 처리 공간 내에는, 샤워 헤드(711) 및 서셉터(721) 등이 설치된다. 상부 부품(71)과 하부 부품(72)의 접합면에는, 예를 들어 O링 등의 시일 부재(73)가 배치되어 있다. 챔버(70)가 상하로 분할되기 때문에, 상부 부품(71)과 하부 부품(72)이 접합된 경우, 상부 부품(71)의 자중에 의해 시일 부재(73)가 찌부러져서, 처리 공간의 기밀성을 높게 유지하는 것이 가능하게 된다. 또한, 이하에서는, 상부 부품(71)의 상면을 천장면(710)이라 칭하고, 하부 부품(72)의 하면을 저면(720)이라 칭한다.

본 실시 형태에 있어서의 챔버(70)는, 예를 들어 FPD용의 처리 챔버이다. 챔버(70)에는, 도시하지 않은 반입·반출구가 설치되어 있고, 당해 반입·반출구로부터 반입된 처리 대상의 유리 기판이 서셉터(721) 상에 적재된다. 그리고, 반입·반출구가 폐쇄되고, 처리 공간 내가 진공 배기되고, 처리 공간 내에 샤워 헤드(711)로부터 처리 가스가 공급된다. 그리고, 예를 들어, 샤워 헤드(711)와 서셉터(721) 사이에 소정 주파수의 고주파 전력이 인가되어, 처리 공간 내에 처리 가스의 플라즈마가 생성된다. 그리고, 생성된 플라즈마에 의해, 처리 대상의 유리 기판에 성막이나 에칭 등의 소정의 처리가 실시된다.

챔버(70)가 수송되는 경우, 챔버(70)는, 상부 부품(71)과 하부 부품(72)으로 분할된다. 그리고, 필요에 따라, 샤워 헤드(711) 등의 부품이 상부 부품(71)으로부터 제거되어, 서셉터(721) 등의 부품이 하부 부품(72)으로부터 제거된다. 그리고, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이, 도 1에 있어서 설명한 수송용 가대(10)를 사용하여 수송용 차량의 짐받이(60)에 고정되어, 수송된다.

[챔버(70)의 적재 방법]

도 4는, 챔버(70)의 적재 수순의 일례를 설명하기 위한 도면이다. 먼저, 수송용 가대(10)가 수송용 차량의 짐받이(60)에 적재된다. 그리고, 측방 프레임(30)의 행거(34)에 통과된 설치구(35)가 짐받이(60)에 고정됨으로써, 수송용 가대(10)가 수송용 차량의 짐받이(60)에 고정된다. 그리고, 중앙 프레임(20)의 측방의 짐받이(60) 상에 복수의 보호 매트(25)가 배치된다.

이어서, 챔버(70)로부터 분할된 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)에, 각각 행거(74)가 설치된다. 그리고, 상부 부품(71)이, 행거(74)에 통과된 와이어 로프 등을 사용하여 크레인 등에 의해 끌어올려져서, 예를 들어 도 4의 화살표로 나타내는 바와 같이 이동하고, 측방 프레임(30)의 사이이며, 중앙 프레임(20)의 측방의 짐받이(60) 상에 천장면(710)이 중앙 프레임(20)의 측면을 따르는 방향으로 되도록 배치된다. 본 실시 형태에 있어서, 상부 부품(71)은, 예를 들어 도 4에 도시한 바와 같이, 천장면(710)이 중앙 프레임(20)측을 향하도록, 중앙 프레임(20)의 측방에 배치된다. 그리고, 중앙 프레임(20)의 기둥(21)이나 빔(22)에 설치된 설치판(24)과 상부 부품(71)의 천장면(710)이 볼트 등에 의해 고정됨으로써, 상부 부품(71)이 수송용 가대(10)에 고정된다. 설치판(24)은 고정구의 일례이다.

마찬가지로, 하부 부품(72)이, 행거(74)에 통과된 와이어 로프 등을 사용하여 크레인 등에 의해 끌어올려져서, 예를 들어 도 4의 화살표로 나타내는 바와 같이 이동하고, 측방 프레임(30)의 사이이며, 중앙 프레임(20)의 측방의 짐받이(60) 상에 저면(720)이 중앙 프레임(20)의 측면을 따르는 방향으로 되도록 배치된다. 본 실시 형태에 있어서, 하부 부품(72)은, 예를 들어 도 4에 도시한 바와 같이, 저면(720)이 중앙 프레임(20)측을 향하도록, 중앙 프레임(20)의 측방에 배치된다. 그리고, 중앙 프레임(20)의 기둥(21)이나 빔(22)에 설치된 설치판(24)과 하부 부품(72)의 저면(720)이 볼트 등에 의해 고정됨으로써, 하부 부품(72)이 수송용 가대(10)에 고정된다.

도 5는, 설치판(24) 부근의 확대도이다. 도 5에는, 중앙 프레임(20)의 빔(22)에 설치된 설치판(24)에 하부 부품(72)이 고정된 상태가 도시되어 있다. 예를 들어 도 5에 도시한 바와 같이, 설치판(24)에 설치된 관통 구멍을 통하여, 볼트(26)에 의해, 설치판(24)에 하부 부품(72)의 저면(720)이 고정된다. 빔(22)에 설치된 설치판(24)에 대한 저면(720)의 고정은, 작업용 발판(40) 상의 작업자에 의해 행하여진다. 또한, 중앙 프레임(20)의 기둥(21)에 설치된 설치판(24)에 있어서도, 볼트(26)에 의해 하부 부품(72)의 저면(720)이 고정된다. 설치판(24)에 대한 상부 부품(71)의 천장면(710)의 고정에 대해서도 마찬가지이다.

또한, 중앙 프레임(20)에는, 예를 들어 도 5에 도시한 바와 같이, 복수의 행거(27)가 설치되어 있다. 수송용 가대(10)는, 각각의 행거(27)에 통과된 와이어 로프 등을 사용하여 크레인 등에 의해 끌어올려져서, 수송용 차량의 짐받이(60)에 적재된다.

수송용 가대(10)에 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이 고정된 상태를 도시하면, 예를 들어 도 6-도 9와 같이 된다. 도 6은, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이, 짐받이(60) 상의 수송용 가대(10)에 고정된 상태의 일례를 도시하는 도면이다. 도 7은, 챔버(70)의 하부 부품(72)이 고정된 상태의 수송용 가대(10)의 일례를 도시하는 단면도이다. 도 8은, 챔버(70)가 고정된 수송용 가대(10)의 일례를 도시하는 단면도이다. 도 9는, 챔버(70)가 고정된 수송용 가대(10)의 일례를 도시하는 상면도이다.

이와 같이, 상부 부품(71)의 천장면(710)이 중앙 프레임(20)측을 향하도록 중앙 프레임(20)의 측방에 상부 부품(71)이 배치되고, 하부 부품(72)의 저면(720)이 중앙 프레임(20)측을 향하도록 중앙 프레임(20)의 측방에 하부 부품(72)이 배치됨으로써, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)을 중앙 프레임(20)에 용이하게 고정할 수 있다. 또한, 천장면(710) 및 저면(720)이 중앙 프레임(20)측을 향하도록, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)을 배치함으로써, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)을 중앙 프레임(20)에 고정할 때에, 작업자는, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)의 내부에 접촉할 필요가 없다. 그로 인해, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)의 고정 작업에 있어서, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)의 내측에 흠이나 오염이 되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 각 설치판(24)에는, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)의 각각의 나사 구멍에 대응하도록, 1개 또는 복수의 관통 구멍이 형성되어 있다. 이에 의해, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72) 중 어느 것이 배치된 경우에도, 볼트(26)에 의해 상부 부품(71) 또는 하부 부품(72)과 설치판(24)을 고정할 수 있다. 따라서, 본 실시 형태의 수송용 가대(10)에서는, 중앙 프레임(20)의 측면 중 어느 쪽에도, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72) 중 어느 것을 고정하는 것도 가능하다. 또한, 본 실시 형태의 수송용 가대(10)는, 2개의 상부 부품(71)을 중앙 프레임(20)에 고정하는 것도 가능하고, 2개의 하부 부품(72)을 중앙 프레임(20)에 고정하는 것도 가능하다.

상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이 중앙 프레임(20)의 설치판(24)에 고정된 상태에 있어서의 단면은, 예를 들어 도 8과 같이 된다. 또한, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이 중앙 프레임(20)의 설치판(24)에 고정된 상태를 상면으로부터 본 도면은, 예를 들어 도 9와 같이 된다. 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이 중앙 프레임(20)에 고정된 상태에 있어서, 상부 부품(71), 하부 부품(72), 및 중앙 프레임(20)을 포함하는 폭은, 짐받이(60)의 폭보다도 좁다. 이와 같이, 상하로 분할된 챔버(70)의 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)을, 가로 방향으로 하여 적재함으로써, 수송용 가대(10)를 포함한 챔버(70) 전체의 폭을, 짐받이(60)의 폭 이내로 억제할 수 있다. 따라서, 본 실시 형태의 수송용 가대(10)를 사용함으로써, 대형의 챔버(70)여도, 수송용 차량을 사용하여 용이하게 수송하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 중앙 프레임(20)과 상부 부품(71)과 하부 부품(72)을 포함하는 적하 전체의 폭이 약 2미터이며, 짐받이(60)의 폭이 약 2.49미터이다. 따라서, 짐받이(60)를 포함하는 적하 전체의 폭이 2.5미터 미만이다. 여기서, 짐받이(60)를 포함하는 적하 전체의 폭이 2.5미터 이상인 경우, 적하의 기능을 유지할 수 있는 최저 단위까지 적하를 분해하는 것이 도로 교통법에 있어서 의무화되어 있다. 소위 「벌크 규제」이다. 그 때문에, 짐받이(60)를 포함하는 적하 전체의 폭이 2.5미터를 초과하는 경우, 챔버(70)를 1대의 수송용 차량으로 수송할 수 없어, 수송 효율이 저하된다.

이에 비해, 본 실시 형태에 있어서의 수송용 가대(10)를 사용한 수송 방법에서는, 짐받이(60)를 포함하는 적하 전체의 폭이 2.5미터 미만이기 때문에, 「벌크 규제」에는 해당하지 않고, 1개의 챔버(70)를 구성하는 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)을 1대의 수송용 차량으로 수송하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 챔버(70)의 수송 효율을 높일 수 있다.

또한, 측방 프레임(30)에 설치된 사다리(50)는, 예를 들어 도 10에 도시하는 바와 같이 측방 프레임(30)에 수용하는 것이 가능하다. 도 10은, 사다리(50)의 인출 상태 및 수용 상태의 일례를 도시하는 도면이다. 사다리(50)는, 예를 들어 도 10에 도시한 바와 같이, 난간(51), 사다리 본체(52), 및 가이드(53)를 갖는다. 사다리 본체(52)는, 상부의 양옆에 설치된 슬라이드편(54)을 가이드(53)를 따라서 이동시킴으로써, 측방 프레임(30)을 따라서 수용되거나, 사다리 본체(52)가 비스듬히 인출되거나 하는 것이 가능하다.

예를 들어, 사다리 본체(52)의 슬라이드편(54)을 가이드(53)를 따라서 하방으로 이동시킴으로써, 도 10의 좌측 도면에 도시한 바와 같이, 사다리 본체(52)를 인출할 수 있다. 이에 의해, 작업자는, 사다리(50)를 올라가서 작업용 발판(40) 상에서 작업을 행할 수 있다. 또한, 예를 들어, 사다리 본체(52)의 슬라이드편(54)을 가이드(53)를 따라서 상방으로 이동시킴으로써, 도 10의 우측 도면에 도시한 바와 같이, 사다리 본체(52)를 측방 프레임(30)에 수용할 수 있다. 사다리 본체(52)를 측방 프레임(30)에 수용할 수 있기 때문에, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)과 함께 사다리(50)를 수송할 수 있다. 이에 의해, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)을 수송용 가대(10)에 고정하거나 수송용 가대(10)로부터 분리하거나 할 때마다, 별도 사다리를 준비하는 수고를 줄일 수 있다. 그로 인해, 수송용 가대(10)에 대한 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)의 고정 및 분리를 신속히 행하는 것이 가능하게 된다.

[수송 수순]

도 11은, 수송용 가대(10)를 사용한 챔버(70)의 수송 수순의 일례를 도시하는 흐름도이다.

먼저, 수송용 가대(10)가 수송용 차량의 짐받이(60)에 설치된다(S100). 구체적으로는, 예를 들어 도 2에 도시한 바와 같이, 수송용 가대(10)가 짐받이(60)에 적재되고, 측방 프레임(30)의 행거(34)에 통과된 설치구(35)가 짐받이(60)에 고정됨으로써, 수송용 가대(10)가 수송용 차량의 짐받이(60)에 설치된다. 그리고, 중앙 프레임(20)의 측방의 짐받이(60) 상에 복수의 보호 매트(25)가 배치된다.

이어서, 챔버(70)로부터 분할된 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이, 각각, 측방 프레임(30)의 사이이며, 중앙 프레임(20)의 측방의 짐받이(60) 상에 배치된다(S101). 구체적으로는, 예를 들어 도 4에 도시한 바와 같이, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이, 각각, 행거(74)에 통과된 와이어 로프 등을 사용하여 크레인 등에 의해 끌어올려진다. 그리고, 상부 부품(71)은, 천장면(710)이 중앙 프레임(20)측을 향하도록, 하부 부품(72)은, 저면(720)이 중앙 프레임(20)측을 향하도록, 각각 중앙 프레임(20)의 측방에 배치된다.

이어서, 측방 프레임(30)에 수용되어 있는 사다리(50)가 인출된다(S102). 구체적으로는, 사다리 본체(52)에 설치된 슬라이드편(54)을 측방 프레임(30)에 설치된 가이드(53)를 따라서 하방으로 이동시킴으로써, 예를 들어 도 10의 좌측 도면에 도시한 바와 같이, 사다리 본체(52)가 인출된다.

이어서, 작업자는, 사다리(50)를 사용하여 중앙 프레임(20) 및 측방 프레임(30) 상의 작업용 발판(40)에 올라간다(S103). 그리고, 작업자는, 작업용 발판(40) 상에서, 볼트(26)를 사용하여, 상부 부품(71)의 천장면(710) 및 하부 부품(72)의 저면(720)을, 각각, 중앙 프레임(20)의 빔(22)에 설치된 설치판(24)에 고정한다(S104).

이어서, 작업자는, 스텝 S102에서 인출된 사다리(50)를 사용하여, 작업용 발판(40)으로부터 내려가고, 사다리(50)를 측방 프레임(30)에 수용한다(S105). 구체적으로는, 사다리 본체(52)에 설치된 슬라이드편(54)을 측방 프레임(30)에 설치된 가이드(53)를 따라서 상방으로 이동시킴으로써, 예를 들어 도 10의 우측 도면에 도시한 바와 같이, 사다리 본체(52)가 측방 프레임(30)에 수용된다.

이어서, 작업자는, 볼트(26)를 사용하여, 상부 부품(71)의 천장면(710) 및 하부 부품(72)의 저면(720)을, 각각, 중앙 프레임(20)의 기둥(21)에 설치된 설치판(24)에 고정한다. 그리고, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이 고정된 수송용 가대(10) 전체가 커버로 덮인다(S106). 그리고, 수송용 가대(10)가 고정된 짐받이(60)가 수송용 차량에 의해 견인되어, 챔버(70)가 수송된다(S107).

이상, 수송용 가대(10) 및 수송 방법의 실시 형태에 대하여 설명하였다. 상기 설명으로부터 명백해진 바와 같이, 본 실시 형태의 수송용 가대(10)에 의하면, 1대의 챔버(70)를 구성하는 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)을 1대의 수송용 차량에 의해 용이하게 수송하는 것이 가능하게 된다. 그로 인해, 챔버(70)를 효율적으로 수송할 수 있다.

[기타]

상기한 실시 형태에서는, 수송용 가대(10)에 동일한 챔버(70)를 구성하는 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이 고정되었지만, 개시된 기술은 이것에 한정되지 않고, 다른 챔버(70)를 구성하는 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이 고정되어도 된다. 또한, 수송용 가대(10)에는, 다른 챔버(70)를 구성하는 2개의 상부 부품(71)이 수송용 가대(10)의 각각의 측면에 고정되어도 되고, 다른 챔버(70)를 구성하는 2개의 하부 부품(72)이 수송용 가대(10)의 각각의 측면에 고정되어도 된다. 또한, 수송용 가대(10)의 어느 하나의 측면에, 1개의 상부 부품(71) 또는 1개의 하부 부품(72)만이 고정되어도 된다.

또한, 상기한 실시 형태에서는, 상부 부품(71)의 천장면(710) 및 하부 부품(72)의 저면(720)이 중앙 프레임(20)의 설치판(24)에 고정되었지만, 개시된 기술은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 측방 프레임(30)의 기둥(31)이나 빔(32)에 설치판(24)이 설치되고, 당해 설치판(24)에, 상부 부품(71)이나 하부 부품(72)의 측면이 볼트(26) 등에 의해 고정되도록 해도 된다.

또한, 상기한 실시 형태에서는, 천장면(710)이 중앙 프레임(20)측을 향하도록 상부 부품(71)이 중앙 프레임(20)에 고정되고, 저면(720)이 중앙 프레임(20)측을 향하도록 하부 부품(72)이 중앙 프레임(20)에 고정되지만, 천장면(710) 및 저면(720)이 중앙 프레임(20)의 측면을 따르는 방향으로 되도록 중앙 프레임(20)에 고정되어 있기만 하면, 상기 고정 방법에 한정되지 않는다.

예를 들어, 상부 부품(71)의 개구가 중앙 프레임(20)측을 향하도록 상부 부품(71)이 수송용 가대(10)에 고정되어도 되고, 하부 부품(72)의 개구가 중앙 프레임(20)측을 향하도록 하부 부품(72)이 수송용 가대(10)에 고정되어도 된다. 예를 들어, 측방 프레임(30)의 기둥(31)이나 빔(32)에 설치판(24)이 설치되고, 당해 설치판(24)에, 상부 부품(71)이나 하부 부품(72)의 측면이 볼트(26)에 의해 고정된다. 이와 같이, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)의 개구가 중앙 프레임(20)측을 향하도록, 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)이 수송용 가대(10)에 고정됨으로써, 수송 중에 상부 부품(71) 및 하부 부품(72)의 내측에 흠이나 오염이 되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기한 실시 형태에서는, 챔버(70)로서, 예를 들어 FPD용의 처리 챔버를 예로 들어 설명했지만, 개시된 기술은 이것에 한정되지 않는다. FPD의 제조나 검사 등에서 사용되는 진공 챔버이기만 하면, 챔버(70)는, FPD용의 반송 챔버나 FPD용의 로드 로크 챔버 등이어도 된다.

10: 수송용 가대
20: 중앙 프레임
21: 기둥
22: 빔
23: 경사 지주
24: 설치판
25: 보호 매트
26: 볼트
27: 행거
28: 토대
30: 측방 프레임
31: 기둥
32: 빔
33: 경사 지주
34: 행거
35: 설치구
36: 토대
37: 보강재
40: 작업용 발판
41: 울타리
50: 사다리
51: 난간
52: 사다리 본체
53: 가이드
54: 슬라이드편
60: 짐받이
70: 챔버
71: 상부 부품
710: 천장면
711: 샤워 헤드
72: 하부 부품
720: 저면
721: 서셉터
73: 시일 부재
74: 행거

Claims

상하로 분할 가능한 챔버를 수송하기 위한 수송용 가대이며,
제1 방향으로 연장되는 중앙 프레임과,
상기 제1 방향에 있어서의 상기 중앙 프레임의 양단에, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 2개의 측방 프레임과,
상기 챔버를 상기 중앙 프레임에 고정하기 위한 복수의 고정구
를 구비하고,
상기 챔버는, 상기 챔버의 천장면을 포함하는 상부 부품과, 상기 챔버의 저면을 포함하는 하부 부품으로 분할되고,
상기 복수의 고정구 각각은,
상기 상부 부품 및 상기 하부 부품 중 적어도 어느 것을, 상기 2개의 측방 프레임의 사이이며, 상기 중앙 프레임의 측면에, 상기 천장면 또는 상기 저면이 상기 중앙 프레임의 측면을 따르는 방향으로 되도록 고정하는 것을 특징으로 하는 수송용 가대.
제1항에 있어서, 상기 복수의 고정구 각각은,
상기 중앙 프레임의 한쪽 측면에, 1개의 상기 챔버로부터 분할된 상기 상부 부품을 고정하고,
상기 중앙 프레임의 다른 쪽 측면에, 상기 1개의 챔버로부터 분할된 상기 하부 부품을 고정하는 것을 특징으로 하는 수송용 가대.
제2항에 있어서, 상기 복수의 고정구의 적어도 일부는, 상기 중앙 프레임에 설치되고,
상기 중앙 프레임에 설치된 상기 고정구는,
상기 중앙 프레임에, 상기 상부 부품의 천장면과 상기 하부 부품의 저면을 고정하는 것을 특징으로 하는 수송용 가대.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 중앙 프레임 및 상기 측방 프레임의 상방에 설치된 작업용 발판과,
상기 작업용 발판을 둘러싸는 전락 방지부
를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수송용 가대.
제4항에 있어서, 상기 측방 프레임에는, 작업자가 상기 작업용 발판에 오르기 위한 사다리가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수송용 가대.
제5항에 있어서, 상기 사다리는, 상기 측방 프레임에 수용되는 것을 특징으로 하는 수송용 가대.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 중앙 프레임은,
상하 방향으로 연장되는 복수의 기둥과,
상기 제1 방향으로 연장되는 빔과,
상기 복수의 기둥의 사이에 비스듬히 설치된 복수의 경사 지주를 갖는 것을 특징으로 하는 수송용 가대.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 챔버는, FPD(Flat Panel Display)용의 처리 챔버, FPD용의 반송 챔버, 또는 FPD용의 로드 로크 챔버인 것을 특징으로 하는 수송용 가대.
상하로 분할 가능한 챔버를 수송하는 수송 방법이며,
제1 방향으로 연장되는 중앙 프레임과, 상기 제1 방향에 있어서의 상기 중앙 프레임의 양단에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 2개의 측방 프레임을 구비하는 수송용 가대를 수송용 차량의 짐받이에 설치하는 설치 공정과,
상기 챔버의 천장면을 포함하는 상부 부품과 상기 챔버의 저면을 포함하는 하부 부품으로 분할되는 상기 챔버에 있어서, 상기 상부 부품 및 상기 하부 부품 중 적어도 어느 것을, 상기 2개의 측방 프레임의 사이이며, 상기 중앙 프레임의 측면에, 상기 천장면 또는 상기 저면이 상기 중앙 프레임의 측면을 따르는 방향으로 되도록 배치하는 배치 공정과,
상기 중앙 프레임의 측면에, 상기 상부 부품의 천장면 및 상기 하부 부품의 저면 중 적어도 어느 것을, 상기 수송용 가대에 설치된 복수의 고정구에 의해 고정하는 고정 공정과,
상기 중앙 프레임의 측면에 고정된 상기 상부 부품 및 상기 하부 부품 중 적어도 어느 것을 상기 수송용 차량으로 수송하는 수송 공정
을 포함하는 것을 특징으로 하는 수송 방법.
제9항에 있어서, 상기 중앙 프레임의 한쪽 측면에는, 1개의 상기 챔버로부터 분할된 상기 상부 부품이 상기 복수의 고정구에 의해 고정되고,
상기 중앙 프레임의 다른 쪽 측면에는, 상기 1개의 챔버로부터 분할된 상기 하부 부품이 상기 복수의 고정구에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 수송 방법.
제10항에 있어서, 상기 복수의 고정구의 적어도 일부는, 상기 중앙 프레임에 설치되고,
상기 중앙 프레임에는, 상기 상부 부품의 천장면과 상기 하부 부품의 저면이, 상기 중앙 프레임에 설치된 상기 고정구에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 수송 방법.
제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 고정 공정에는,
상기 측방 프레임에 수용된 사다리를 인출하는 공정과,
상기 사다리를 사용하여 작업자가 상기 측방 프레임 및 상기 중앙 프레임의 상방에 설치되고, 주위가 전락 방지용의 울타리로 둘러싸인 작업용 발판에 오르는 공정과,
상기 작업용 발판 상에서의 상기 작업자의 작업에 의해 상기 챔버의 상기 상부 부품의 천장면 및 상기 하부 부품의 저면 중 적어도 어느 것을 상기 중앙 프레임에 고정하는 공정과,
상기 사다리를 사용하여 작업자가 작업 영역으로부터 내려가고, 상기 측방 프레임에 사다리를 수용하는 공정
이 포함되는 것을 특징으로 하는 수송 방법.
제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 챔버는, FPD용의 처리 챔버, FPD용의 반송 챔버, 또는 FPD용의 로드 로크 챔버인 것을 특징으로 하는 수송 방법.