TWI729243B - 輸送用架台及輸送方法 - Google Patents

Abstract

[課題]容易地輸送腔室。 　　[解決手段]一種用以輸送可上下分割的腔室之輸送用架台(10)，其具備有：中央框架(20)，沿第1方向延伸；2個側方框架(30)，在第1方向中之中央框架(20)的兩端，沿與第1方向交叉的第2方向延伸；及複數個安裝板(24)，用以將腔室固定於中央框架(20)。腔室，係被分割成：上部零件(71)，包含腔室之頂棚面(710)；及下部零件(72)，包含腔室之底面(720)。複數個安裝板(24)各自，係以使頂棚面(710)或底面(720)成為沿中央框架(20)之側面的方向之方式，將上部零件(71)及下部零件(72)的至少任一者固定於2個側方框架(30)之間且中央框架(20)的側面。

Description

輸送用架台及輸送方法

本發明之各種態樣及實施形態，係關於輸送用架台及輸送方法。

由於平面顯示器基板，係母玻璃基板之尺寸越大，則從1片所取得的面板數越增加，因此，可降低成本。因此，近年來，母玻璃基板，係日趨大型化。又，伴隨著母玻璃基板之大型化，在製造或檢查玻璃基板的裝置中，亦逐年大型化。

然而，製造平面顯示器基板等的裝置，係在由製造業者予以製造後，被搬運至生產現場而設置。但是，當裝置變得大型時，因尺寸或重量的關係而變得難以直接輸送1台裝置。

因此，已知如下述之技術：將裝置沿寬度方向或深度方向分割，個別地輸送所分割的零件，並在輸送目的地進行接合，藉此，將大型的裝置輸送至輸送目的地。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2007-73688號公報

[本發明所欲解決之課題]

然而，製造平面顯示器基板等的裝置，係大多需要氣密性者。但是，在將沿寬度方向或深度方向所分割之裝置再進行接合的情況下，難以抑制氣密性之下降。因此，將裝置沿寬度方向或深度方向分割而輸送並不佳。

又，亦考慮沿上下方向分割裝置，只沿上下方向分割雖能以分割的方式來抑制裝置的重量，但無法縮小裝置之寬度或深度的尺寸。因此，導致裝置從輸送用車輛之托架突出，變得難以輸送裝置。 [用以解決課題之手段]

本發明之一態樣，係一種輸送用架台，用以輸送可上下分割的腔室，其特徵係，具備有：中央框架，沿第1方向延伸；2個側方框架，在前述第1方向中之前述中央框架的兩端，沿與前述第1方向交叉的第2方向延伸；及複數個固定具，用以將前述腔室固定於前述中央框架。前述腔室，係被分割成：上部零件，包含前述腔室之頂棚面；及下部零件，包含前述腔室之底面。前述複數個固定具各自，係以使前述頂棚面或前述底面成為沿前述中央框架之側面的方向之方式，將前述上部零件及前述下部零件的至少任一者固定於前述2個側方框架之間且前述中央框架的側面。 [發明之效果]

根據本發明之各種態樣及實施形態，可容易地輸送腔室。

在一個實施形態中，所揭示之輸送用架台，係用以輸送可上下分割的腔室，該輸送用架台，其特徵係，具備有：中央框架，沿第1方向延伸；2個側方框架，在第1方向中之中央框架的兩端，沿與第1方向交叉的第2方向延伸；及複數個固定具，用以將腔室固定於中央框架。腔室，係被分割成：上部零件，包含腔室之頂棚面；及下部零件，包含腔室之底面。複數個固定具各自，係以使頂棚面或底面成為沿中央框架之側面的方向之方式，將上部零件及下部零件的至少任一者固定於2個側方框架之間且中央框架的側面。

又，在所揭示之輸送用架台的一個實施形態中，複數個固定具各自，係亦可將從1個腔室所分割的上部零件固定於中央框架之一方的側面，並將該從1個腔室所分割的下部零件固定於中央框架之另一方的側面。

又，在所揭示之輸送用架台的一個實施形態中，複數個固定具的至少一部分，係亦可被設置於中央框架，設置於中央框架的固定具，係亦可將上部零件之頂棚面與下部零件之底面固定於中央框架。

又，在一個實施形態中，所揭示之輸送用架台，係亦可更具備有：作業用立足點，被設置於中央框架及側方框架的上方；及防止掉落部，包圍作業用立足點。

又，在所揭示之輸送用架台的一個實施形態中，在側方框架，係亦可設置有作業員用以爬上作業用立足點的梯子。

又，在所揭示之輸送用架台的一個實施形態中，梯子，係亦可被收納於側方框架。

又，在所揭示之輸送用架台的一個實施形態中，中央框架，係亦可具有：複數個柱，沿上下方向延伸；樑，沿第1方向延伸；及複數個撐臂，被傾斜設置於複數個柱之間。

又，在所揭示之輸送用架台的一個實施形態中，腔室，係亦可為FPD(Flat Panel Display)用之處理腔室、FPD用之搬送腔室或FPD用之裝載鎖定腔室。

又，在一個實施形態中，所揭示之輸送方法，係輸送可上下分割的腔室，該輸送方法，其特徵係，包含有：設置工程，將具備有中央框架與2個側方框架之輸送用架台設置於輸送用車輛的托架，該中央框架，係沿第1方向延伸，該2個側方框架，係在第1方向中之中央框架的兩端，沿與第1方向交叉的第2方向延伸；及配置工程，在被分割成包含腔室之頂棚面的上部零件與包含腔室之底面的下部零件之腔室中，以使頂棚面或底面成為沿中央框架之側面的方向之方式，將上部零件及下部零件的至少任一者配置於2個側方框架之間且中央框架的側面；固定工程，藉由被設置於輸送用架台的複數個固定具，將上部零件之頂棚面及下部零件之底面的至少任一者固定於中央框架的側面；及輸送工程，以輸送用車輛來輸送被固定於中央框架的側面之上部零件及下部零件的至少任一者。

又，在所揭示之輸送方法的一個實施形態中，亦可藉由複數個固定具，將從1個腔室所分割的上部零件固定於中央框架之一方的側面，且亦可藉由複數個固定具，將該從1個腔室所分割的下部零件固定於中央框架之另一方的側面。

又，在所揭示之輸送方法的一個實施形態中，複數個固定具的至少一部分，係亦可被設置於中央框架，且亦可藉由被設置於中央框架的固定具，將上部零件之頂棚面與下部零件之底面固定於中央框架。

又，在所揭示之輸送方法的一個實施形態中，在固定工程中，係亦可包含：將被收納於側方框架的梯子拉出之工程；使用梯子，作業員爬上被設置於側方框架及中央框架的上方且周圍被防止掉落用之柵欄所包圍的作業用立足點之工程；藉由作業用立足點上之作業員的作業，將腔室之上部零件之頂棚面及下部零件之底面的至少任一者固定於中央框架之工程；及使用梯子，作業員從作業區域下來並將梯子收納於側方框架之工程。

又，在所揭示之輸送方法的一個實施形態中，腔室，係亦可為FPD用之處理腔室、FPD用之搬送腔室或FPD用之裝載鎖定腔室。

以下，根據圖面，詳細地說明關於所揭示之輸送用架台及輸送方法的實施形態。另外，並非藉由以下的本實施形態來限定所揭示之輸送用架台及輸送方法。

[輸送用架台10之構成] 　　圖1，係表示輸送用架台10之一例的圖。本實施形態中之輸送用架台10，係例如如圖1所示，具備有：中央框架20，沿圖1之y軸方向延伸；及2個側方框架30，在y軸方向中之中央框架20的兩端，沿x軸方向延伸。在本實施形態中，中央框架20延伸之方向與各側方框架30延伸之方向，係呈正交。y軸方向，係第1方向的一例，x軸方向，係第2方向的一例。

中央框架20，係例如如圖1所示，具有：樑22及基底28，沿圖1之y軸方向延伸；複數個柱21，沿上下方向亦即圖1之z軸方向延伸；及複數個撐臂23，被傾斜設置於複數個柱21之間。在柱21及樑22的側面，係設罝有用以固定後述之腔室的零件之複數個安裝板24。藉由在柱21之間設置撐臂23的方式，抑制圖1的y軸方向中之中央框架20的歪斜。

各個側方框架30，係例如如圖1所示，具有：樑32及基底36，沿圖1之x軸方向延伸；複數個柱31，沿上下方向亦即圖1之z軸方向延伸；及複數個撐臂33，被傾斜設置於柱31與樑32之間及柱31與基底36之間。在各側方框架30之柱31，係設置有複數個用以將輸送用架台10固定於輸送用車輛之托架的吊環34。在各側方框架30的基底36與中央框架20的基底28之間，係設置有增強材37。在沿y軸方向延伸之中央框架20的兩端設置側方框架30，該側方框架30，係沿與y軸方向交叉的x軸方向延伸，藉此，可提高x軸方向中之輸送用架台10的強度。

在中央框架20及側方框架30之上部，係設置有作業員用以進行作業的作業用立足點40。作業用立足點40之周圍，係被柵欄41所包圍，該柵欄41，係用以防止在作業用立足點40上進行作業的作業員掉落。柵欄41，係防止掉落部之一例。

在側方框架30，係設置有作業員用以爬上作業用立足點40的梯子50。又，在輸送用架台10被固定於輸送用車輛之托架的狀態下，在中央框架20之基底28的側方且輸送用車輛的托架上，係配置有複數個保護墊25。保護墊25，係保護被載置於保護墊25上之後述的腔室不受到刮傷或衝擊。

[輸送用架台10之固定方法] 　　圖2，係表示輸送用架台10被固定於輸送用車輛之托架60之狀態之一例的圖。輸送用架台10，係被搭載於輸送用車輛之托架60。在側方框架30之柱31，係如圖2所示，設置有複數個例如環首螺栓等的吊環34，例如鏈件或皮帶等的安裝具35通過各個吊環34。而且，藉由安裝具35被固定於托架60的方式，輸送用架台10被固定於輸送用車輛之托架60。

[腔室70之構成] 　　圖3，係表示腔室70之一例的剖面圖。本實施形態中之腔室70，係具有上部零件71及下部零件72。上部零件71及下部零件72，係例如可沿圖3所示之虛線而上下分割。在上部零件71及下部零件72被上下分割的情況下，在上部零件71之下部及下部零件72之上部，係形成有開口。

在接合了上部零件71及下部零件72的狀態下，在藉由上部零件71及下部零件72所構成的處理空間內，係設置有噴頭711及基座721等。在上部零件71與下部零件72之接合面，係配置有例如O形環等的密封構件73。由於腔室70被上下分割，因此，在接合了上部零件71與下部零件72的情況下，密封構件73被上部零件71之自重壓扁，可較高地保持處理空間之氣密性。另外，在以下中，係將上部零件71之上面稱為頂棚面710，將下部零件72之下面稱為底面720。

本實施形態中之腔室70，係例如FPD用之處理腔室。在腔室70，係設置有未圖示的搬入･搬出口，該從搬入･搬出口所搬入之處理對象的玻璃基板被載置於基座721上。而且，搬入･搬出口被關閉，對處理空間內進行真空排氣，處理氣體從噴頭711被供給至處理空間內。而且，例如將預定頻率之高頻電力施加至噴頭711與基座721之間，在處理空間內生成處理氣體的電漿。而且，藉由所生成的電漿，將成膜或蝕刻等的預定處理施加至處理對象之玻璃基板。

在輸送腔室70的情況下，腔室70，係被分割成上部零件71與下部零件72。而且，因應所需，噴頭711等之零件從上部零件71拆下，基座721等的零件從下部零件72拆下。而且，使用圖1中所說明的輸送用架台10，上部零件71及下部零件72被固定於輸送用車輛之托架60而輸送。

[腔室70之裝載方法] 　　圖4，係用以說明腔室70之裝載程序之一例的圖。首先，輸送用架台10被裝載至輸送用車輛之托架60。而且，通過側方框架30之吊環34的安裝具35被固定於托架60，藉此，輸送用架台10被固定於輸送用車輛之托架60。而且，複數個保護墊25被配置於中央框架20之側方的托架60上。

其次，各個吊環74被安裝於從腔室70所分割的上部零件71及下部零件72。而且，上部零件71使用通過吊環74的鋼索等而被起重機等吊起，例如如圖4之箭頭所示進行移動，以使頂棚面710成為沿中央框架20之側面的方向之方式，被配置側方框架30之間且中央框架20之側方的托架60上。在本實施形態中，上部零件71，係例如如圖4所示，以使頂棚面710朝向中央框架20側的方式，被配置於中央框架20之側方。而且，藉由螺栓等，將被設置於中央框架20之柱21或樑22的安裝板24與上部零件71之頂棚面710固定，藉此，上部零件71被固定於輸送用架台10。安裝板24，係固定具之一例。

相同地，下部零件72使用通過吊環74的鋼索等而被起重機等吊起，例如如圖4之箭頭所示進行移動，以使底面720成為沿中央框架20之側面的方向之方式，被配置側方框架30之間且中央框架20之側方的托架60上。在本實施形態中，下部零件72，係例如如圖4所示，以使底面720朝向中央框架20側的方式，被配置於中央框架20之側方。而且，藉由螺栓等，將被設置於中央框架20之柱21或樑22的安裝板24與下部零件72之底面720固定，藉此，下部零件72被固定於輸送用架台10。

圖5，係安裝板24附近的放大圖。在圖5中，係表示下部零件72被固定於安裝板24之狀態，該安裝板，係被設置於中央框架20的樑22。例如如圖5所示，經由被設置於安裝板24的貫穿孔，藉由螺栓26，使下部零件72之底面720被固定於安裝板24。底面720對被設置於樑22的安裝板24之固定，係藉由作業用立足點40上的作業員來進行。又，即便在被設置於中央框架20之柱21的安裝板24中，亦藉由螺栓26固定下部零件72之底面720。關於上部零件71的頂棚面710對安裝板24之固定亦相同。

另外，在中央框架20，係例如如圖5所示，設置有複數個吊環27。輸送用架台10，係使用通過各個吊環27的鋼索等，被起重機等吊起而裝載於輸送用車輛之托架60。

例如如圖6~圖9所示，圖示上部零件71及下部零件72被固定於輸送用架台10的狀態。圖6，係表示上部零件71及下部零件72被固定於托架60上之輸送用架台10之狀態之一例的圖。圖7，係表示腔室70之下部零件72被固定之狀態之輸送用架台10之一例的剖面圖。圖8，係表示腔室70被固定之輸送用架台10之一例的剖面圖。圖9，係表示腔室70被固定之輸送用架台10之一例的俯視圖。

如此一來，以使上部零件71之頂棚面710朝向中央框架20側的方式，上部零件71被配置於中央框架20之側方，並以使下部零件72之底面720朝向中央框架20側的方式，下部零件72被配置於中央框架20之側方，藉此，可將上部零件71及下部零件72容易地固定於中央框架20。又，以使頂棚面710及底面720朝向中央框架20側的方式，配置上部零件71及下部零件72，藉此，在將上部零件71及下部零件72固定之中央框架20之際，作業員不需觸碰上部零件71及下部零件72的內部因此，在上部零件71及下部零件72的固定作業中，可防止上部零件71及下部零件72的內部受損傷或污垢附著。

另外，在各安裝板24，係以對應於上部零件71及下部零件72之各個螺孔的方式，形成1或複數個貫穿孔。藉此，即便為配置了上部零件71及下部零件72之任一的情況下，亦可藉由螺栓26固定上部零件71或下部零件72與安裝板24。因此，在本實施形態之輸送用架台10中，係在中央框架20之側面的哪一側均亦可固定上部零件71及下部零件72之任一。又，本實施形態之輸送用架台10，係亦可將2個上部零件71固定於中央框架20，且亦可將2個下部零件72固定於中央框架20。

上部零件71及下部零件72被固定於中央框架20之安裝板24的狀態中之剖面，係例如如圖8所示。又，從上面觀看上部零件71及下部零件72被固定於中央框架20之安裝板24的狀態之圖，係例如如圖9所示。如圖8及圖9所示，在上部零件71及下部零件72被固定於中央框架20的狀態中，包含上部零件71、下部零件72及中央框架20之寬度，係比托架60之寬度窄。如此一來，橫向地裝載上下分割之腔室70的上部零件71及下部零件72，藉此，可將含有輸送用架台10之腔室70整體的寬度抑制在托架60的寬度以內。因此，藉由使用本實施形態之輸送用架台10，即便為大型的腔室70，亦可使用輸送用車輛容易地進行輸送。

另外，在本實施形態中，包含中央框架20與上部零件71與下部零件72之貨物整體的寬度約為2公尺，托架60的寬度約為2.49公尺。因此，包含托架60之貨物整體的寬度未滿2.5公尺。在此，在包含托架60之貨物整體的寬度為2.5公尺以上之情況下，在道路交通法中，規定必須將貨物分解至可保持貨物之功能的最小單位。所謂的「散裝法規」。因此，在包含托架60之貨物整體的寬度超過2.5公尺之情況下，無法以1台輸送用車輛來輸送腔室70，輸送效率便下降。

對此，在使用了本實施形態中之輸送用架台10的輸送方法中，係由於包含托架60之貨物整體的寬度未滿2.5公尺，因此，不符合「散裝法規」，能以1台輸送用車輛來輸送構成1個腔室70之上部零件71及下部零件72。因此，可提高腔室70之輸送效率。

又，設置於側方框架30之梯子50，係例如如圖10所示，可收納於側方框架30。圖10，係表示梯子50之拉出狀態及收納狀態之一例的圖。梯子50，係例如如圖10所示，具有扶手51、梯子本體52及導引件53。梯子本體52，係使被設置於上部之兩旁的滑動板54沿導引件53移動，藉此，可沿側方框架30收納或梯子本體52被傾斜拉出。

例如，使梯子本體52之滑動板54沿導引件53而向下方移動，藉此，如圖10之左側的圖所示，可拉出梯子本體52。藉此，作業員，係可爬上梯子50，在作業用立足點40上進行作業。又，例如，使梯子本體52之滑動板54沿導引件53而向上方移動，藉此，如圖10之右側的圖所示，可將梯子本體52收納於側方框架30。由於可將梯子本體52收納於側方框架30，因此，可與上部零件71及下部零件72一起輸送梯子50。藉此，每當將上部零件71及下部零件72固定於輸送用架台10或從輸送用架台10拆下時，可節省另外準備梯子的工作。因此，可迅速地進行上部零件71及下部零件72對輸送用架台10之固定。

[輸送程序] 　　圖11，係表示使用了輸送用架台10之腔室70之輸送程序之一例的流程圖。

首先，輸送用架台10被設置於輸送用車輛之托架60(S100)。具體而言，係例如如圖2所示，輸送用架台10被裝載於托架60，通過側方框架30之吊環34之安裝具35被固定於托架60，藉此，輸送用架台10被設置於輸送用車輛之托架60。而且，複數個保護墊25被配置於中央框架20之側方的托架60上。

其次，從腔室70所分割之上部零件71及下部零件72分別被配置於側方框架30之間且中央框架20之側方的托架60上(S101)。具體而言，係例如如圖4所示，上部零件71及下部零件72分別使用通過吊環74的鋼索等而被起重機等吊起。而且，上部零件71，係以使頂棚面710朝向中央框架20側的方式，被配置於中央框架20之側方，下部零件72，係以使底面720朝向中央框架20側的方式，被配置於中央框架20之側方。

其次，收納於側方框架30之梯子50被拉出(S102)。具體而言，係使被設置於梯子本體52的滑動板54沿被設置於側方框架30之導引件53而向下方移動，藉此，例如如圖10之左側的圖所示，梯子本體52被拉出。

其次，作業員，係使用梯子50，爬上中央框架20及側方框架30上的作業用立足點40(S103)。而且，作業員，係在作業用立足點40上，使用螺栓26，將上部零件71之頂棚面710及下部零件72之底面720分別固定於安裝板24，該安裝板24，係被設置於中央框架20的樑22(S104)。

其次，作業員，係使用在步驟S102所拉出的梯子50，從作業用立足點40下來並將梯子50收納於側方框架30(S105)。具體而言，係使被設置於梯子本體52的滑動板54沿被設置於側方框架30之導引件53而向上方移動，藉此，例如如圖10之右側的圖所示，梯子本體52被收納於側方框架30。

其次，作業員，係使用螺栓26，將上部零件71之頂棚面710及下部零件72之底面720分別固定於安裝板24，該安裝板24，係被設置於中央框架20的柱21。而且，以蓋體將上部零件71及下部零件72被固定的輸送用架台10整體覆蓋(S106)。而且，藉由輸送用車輛來牽引輸送用架台10被固定之托架60，並輸送腔室70(S107)。

以上，說明了關於輸送用架台10及輸送方法之實施形態。從上述說明可清楚明白，根據本實施形態之輸送用架台10，可藉由1台輸送用車輛，容易地輸送構成1台腔室70之上部零件71及下部零件72。因此，可效率良好地輸送腔室70。

[其他] 　　在上述的實施形態中，構成相同之腔室70的上部零件71及下部零件72雖被固定於輸送用架台10，但所揭示之技術並不限於此，構成不同之腔室70的上部零件71及下部零件72亦可被固定。又，在輸送用架台10中，構成不同之腔室70的2個上部零件71亦可被固定於輸送用架台10之各個側面，且構成不同之腔室70的2個下部零件72亦可被固定於輸送用架台10之各個側面。又，在輸送用架台10的任一側面，亦可僅固定1個上部零件71或1個下部零件72。

又，在上述的實施形態中，上部零件71之頂棚面710及下部零件72之底面720雖被固定中央框架20的安裝板24，但所揭示之技術並不限於此。例如，亦可設成為在側方框架30的柱31或樑32設置安裝板24，並藉由螺栓26等，將上部零件71或下部零件72之側面固定於該安裝板24。

又，在上述的實施形態中，雖係以使頂棚面710朝向中央框架20側的方式，將上部零件71固定於中央框架20，且以使底面720朝向中央框架20側的方式，將下部零件72固定於中央框架20，但只要以使頂棚面710及底面720成為沿中央框架20之側面的方向之方式被固定於中央框架20，則不限於上述的固定方法。

例如，亦可以使上部零件71之開口朝向中央框架20側的方式，將上部零件71固定於輸送用架台10，且亦可以使下部零件72之開口朝向中央框架20側的方式，將下部零件72固定於輸送用架台10。例如，在側方框架30的柱31或樑32設置安裝板24，上部零件71或下部零件72之側面藉由螺栓26被固定於該安裝板24。如此一來，以使上部零件71及下部零件72之開口朝向中央框架20側的方式，將上部零件71及下部零件72固定於輸送用架台10，藉此，在輸送中，可防止上部零件71及下部零件72的內側受損傷或污垢附著。

又，在上述的實施形態中，作為腔室70，雖以例如FPD用之處理腔室為例進行了說明，但所揭示之技術並不限於此。只要為FPD之製造或檢查等所使用的真空腔室，則腔室70，係亦可為FPD用之搬送腔室或FPD用之裝載鎖定腔室等。

10‧‧‧輸送用架台20‧‧‧中央框架21‧‧‧柱22‧‧‧樑23‧‧‧撐臂24‧‧‧安裝板25‧‧‧保護墊26‧‧‧螺栓27‧‧‧吊環28‧‧‧基底30‧‧‧側方框架31‧‧‧柱32‧‧‧樑33‧‧‧撐臂34‧‧‧吊環35‧‧‧安裝具36‧‧‧基底37‧‧‧增強材40‧‧‧作業用立足點41‧‧‧柵欄50‧‧‧梯子51‧‧‧扶手52‧‧‧梯子本體53‧‧‧導引件54‧‧‧滑動板60‧‧‧托架70‧‧‧腔室71‧‧‧上部零件710‧‧‧頂棚面711‧‧‧噴頭72‧‧‧下部零件720‧‧‧底面721‧‧‧基座73‧‧‧密封構件74‧‧‧吊環

[圖1]圖1，係表示輸送用架台之一例的圖。 　　[圖2]圖2，係表示輸送用架台被固定於輸送用車輛之托架之狀態之一例的圖。 　　[圖3]圖3，係表示腔室之一例的剖面圖。 　　[圖4]圖4，係用以說明腔室之裝載程序之一例的圖。 　　[圖5]圖5，係安裝板附近的放大圖。 　　[圖6]圖6，係表示上部零件及下部零件被固定於托架上之輸送用架台之狀態之一例的圖。 　　[圖7]圖7，係表示腔室之下部零件被固定之狀態之輸送用架台之一例的剖面圖。 　　[圖8]圖8，係表示腔室被固定之輸送用架台之一例的剖面圖。 　　[圖9]圖9，係表示腔室被固定之輸送用架台之一例的俯視圖。 　　[圖10]圖10，係表示梯子之拉出狀態及收納狀態之一例的圖。 　　[圖11]圖11，係表示使用了輸送用架台之腔室之輸送程序之一例的流程圖。

10‧‧‧輸送用架台

20‧‧‧中央框架

24‧‧‧安裝板

25‧‧‧保護墊

30‧‧‧側方框架

34‧‧‧吊環

35‧‧‧安裝具

50‧‧‧梯子

60‧‧‧托架

71‧‧‧上部零件

72‧‧‧下部零件

74‧‧‧吊環

710‧‧‧頂棚面

720‧‧‧底面

Claims (13)

1. 一種輸送用架台，係用以輸送可上下分割的腔室，該輸送用架台，其特徵係，具備有： 　　中央框架，沿第1方向延伸； 　　2個側方框架，在前述第1方向中之前述中央框架的兩端，沿與前述第1方向交叉的第2方向延伸；及 　　複數個固定具，用以將前述腔室固定於前述中央框架， 　　前述腔室，係被分割成：上部零件，包含前述腔室之頂棚面；及下部零件，包含前述腔室之底面， 　　前述複數個固定具各自，係以使前述頂棚面或前述底面成為沿前述中央框架之側面的方向之方式，將前述上部零件及前述下部零件的至少任一者固定於前述2個側方框架之間且前述中央框架的側面。
2. 如申請專利範圍第1項之輸送用架台，其中， 　　前述複數個固定具各自，係將從1個前述腔室所分割的前述上部零件固定於前述中央框架之一方的側面，並將從前述1個腔室所分割的前述下部零件固定於前述中央框架之另一方的側面。
3. 如申請專利範圍第2項之輸送用架台，其中， 　　前述複數個固定具的至少一部分，係被設置於前述中央框架， 　　設置於前述中央框架之前述固定具，係將前述上部零件的頂棚面與前述下部零件的底面固定於前述中央框架。
4. 如申請專利範圍第1～3項中任一項之輸送用架台，其中，更具備有： 　　作業用立足點，被設置於前述中央框架及前述側方框架的上方；及 　　防止掉落部，包圍前述作業用立足點。
5. 如申請專利範圍第4項之輸送用架台，其中， 　　在前述側方框架，係設置有作業員用以爬上前述作業用立足點的梯子。
6. 如申請專利範圍第5項之輸送用架台，其中， 　　前述梯子，係被收納於前述側方框架。
7. 如申請專利範圍第1～3項中任一項之輸送用架台，其中， 　　前述中央框架，係具有： 　　複數個柱，沿上下方向延伸； 　　樑，沿前述第1方向延伸；及 　　複數個撐臂，被傾斜設置於前述複數個柱之間。
8. 如申請專利範圍第1～3項中任一項之輸送用架台，其中， 　　前述腔室，係FPD(Flat Panel Display)用之處理腔室、FPD用之搬送腔室或FPD用之裝載鎖定腔室。
9. 一種輸送方法，係輸送可上下分割的腔室，該輸送方法，其特徵係，包含有： 　　設置工程，將具備有中央框架與2個側方框架之輸送用架台設置於輸送用車輛的托架，該中央框架，係沿第1方向延伸，該2個側方框架，係在前述第1方向中之前述中央框架的兩端，沿與前述第1方向交叉的第2方向延伸；及 　　配置工程，在被分割成包含前述腔室之頂棚面的上部零件與包含前述腔室之底面的下部零件之前述腔室中，以使前述頂棚面或前述底面成為沿前述中央框架之側面的方向之方式，將前述上部零件及前述下部零件的至少任一者配置於前述2個側方框架之間且前述中央框架的側面； 　　固定工程，藉由被設置於前述輸送用架台的複數個固定具，將前述上部零件之頂棚面及前述下部零件之底面的至少任一者固定於前述中央框架的側面；及 　　輸送工程，以前述輸送用車輛來輸送被固定於前述中央框架的側面之前述上部零件及前述下部零件的至少任一者。
10. 如申請專利範圍第9項之輸送方法，其中， 　　藉由前述複數個固定具，將從1個前述腔室所分割的前述上部零件固定於前述中央框架之一方的側面， 　　藉由複數個固定具，將前述從1個腔室所分割的前述下部零件固定於前述中央框架之另一方的側面。
11. 如申請專利範圍第10項之輸送方法，其中， 　　前述複數個固定具的至少一部分，係被設置於前述中央框架， 　　藉由被設置於前述中央框架的前述固定具，將前述上部零件之頂棚面與前述下部零件之底面固定於前述中央框架。
12. 如申請專利範圍第9～11項中任一項之輸送方法，其中， 　　在前述固定工程中，係包含： 　　將被收納於前述側方框架的梯子拉出之工程； 　　使用前述梯子，作業員爬上被設置於前述側方框架及前述中央框架的上方且周圍被防止掉落用之柵欄所包圍的作業用立足點之工程； 　　藉由前述作業用立足點上之前述作業員的作業，將前述腔室之前述上部零件之頂棚面及前述下部零件之底面的至少任一者固定於前述中央框架之工程；及 　　使用前述梯子，作業員從作業區域下來並將梯子收納於前述側方框架之工程。
13. 如申請專利範圍第9～11項中任一項之輸送方法，其中， 　　前述腔室，係FPD用之處理腔室、FPD用之搬送腔室或FPD用之裝載鎖定腔室。

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