TWI644850B - Temporary storage device, handling system, and temporary storage method - Google Patents

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Abstract

本發明的課題是提供一種暫時保管裝置，可在高架行走車系統及第2搬運系統之間的不同位置收授物品，並也可在與暫時保管裝置的物品的收授位置之間進行物品的收授。
暫時保管裝置，具備：局部台車，具有吊車；局部台車的行走用軌道，在高架行走車系統的行走用軌道的下方，並通過物品的收授位置正上部；及滑動棚架，在局部台車的行走用軌道的下方，該滑動棚架，並在收授位置的正上部與第2位置之間可自由地滑動，該第2位置是與局部台車的行走用軌道在水平面內直角的方向與收授位置的正上部不同，並在與第2搬運系統之間自由收授物品的位置。

Description

暫時保管裝置與搬運系統及暫時保管方法
本發明是關於在複數搬運系統間暫時保管物品的暫時保管裝置與暫時保管方法及使用該暫時保管裝置的搬運系統。
半導體工場是藉著高架行走車系統在處理裝置的裝載埠間搬運收納半導體晶圓的卡匣。作為高架行走車系統與裝載埠之間的暫時保管裝置，申請人提出一種在裝載埠與高架行走車的行走用軌道之間，設置局部台車與其行走用軌道及暫存區(專利文獻1日本專利5229363)。該裝置是使卡匣可上下自由通過局部台車的行走用軌道之間，在局部台車的行走用軌道的下方設置暫存區，使得高架行走車與局部台車皆可進出。因此，高架行走車與局部台車皆可進出裝載埠與暫存區。
搬運中會有進行超越的必要。例如有要搬運收容著特急品的卡匣(緊急組)超越通常品的卡匣時。為此，除通常用品的搬運系統之外，並設置緊急組用的搬運系統即可，並有可將通常用品的搬運系統及緊急組用的搬 運系統與相同物品的收授位置連接的必要。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
專利文獻1：日本特許專利5229363
〔發明概要〕
本發明的課題為提供一種暫時保管裝置，可在高架行走車系統及第2搬運系統之間的不同位置收授物品，並也可在與暫時保管裝置外的物品的收授位置之間進行物品的收授。
本發明的暫時保管裝置，係於高架行走車系統與物品的收授位置之間，暫時保管物品的裝置，具備：局部台車，具有自由行走並使物品升降的吊車；局部台車的行走用軌道，設置在高架行走車系統的行走用軌道的下方，並通過上述收授位置的正上部；及滑動棚架，係設置於上述局部台車的行走用軌道的下方，該滑動棚架，在上述收授位置的正上部與第2位置之間自由地滑動，該第2位置是與上述局部台車的行走用軌道在水平面內直角的方向與上述收授位置的正上部不同，並在與具備移載裝置的 第2搬運系統之間自由收授物品的位置。
本發明的暫時保管方法，係於高架行走車系統與物品的收授位置之間，暫時保管物品的方法，該暫時保管方法係藉由暫時保管裝置，執行：在上述收授位置與上述滑動棚架之間，藉上述局部台車收授物品的步驟；在位於上述收授位置的正上部的滑動棚架與上述高架行走車系統之間收授物品的步驟；及在位於上述第2位置的滑動棚架與上述第2搬運系統之間收授物品的步驟，上述暫時保管裝置，具備：局部台車，具有自由行走並使物品升降的吊車；局部台車的行走用軌道，設置在高架行走車系統的行走用軌道的下方，並通過上述收授位置的正上部；及滑動棚架，係設置於局部台車的行走用軌道的下方，該滑動棚架，在上述收授位置的正上部與第2位置之間自由地滑動，該第2位置是與局部台車的行走用軌道在水平面內直角的方向與上述收授位置的正上部不同，並在與具備移載裝置的第2搬運系統之間自由收授物品的位置。
本發明中，高架行走車系統及局部台車是在位於正下方位置的滑動棚架及物品的收授位置之間自由收授物品，第2搬運系統是與位在第2位置的滑動棚架之間自由收授物品。換言之，高架行走車系統與第2搬運系統在不同的位置與滑動棚架之間即可自由收授物品，且滑動棚架與物品的收授位置之間藉局部台車自由收授物品。因此，高架行走車系統與第2搬運系統皆可相對於物品的收授位置收授物品。物品的收授位置是例如在處理裝置的裝 載埠、貯藏庫、作業台車的對接站等，高架行走車藉著吊車在物品的收授位置之間，自由收授物品。在行走用軌道與水平面內的直角方向中，與收授位置的正上部不同的位置不僅限於滑動棚架在行走用軌道成直角滑動，意味著藉滑動在行走用軌道沿著直角的位置的變化。該說明書中，暫時保管裝置相關的記載也相當於該狀態的暫時保管方法。
又本發明的搬運系統，其特徵為由上述的暫時保管裝置；上述高架行走車系統，且行走用軌道通過上述收授位置的正上部的第1高架行走車系統；及上述第2位置的上部通過行走用軌道，且為上述第2搬運系統的第2高架行走車系統構成。
如此一來，‧第1高架行走車系統及局部台車是在位於正下方位置的滑動棚架及物品的收授位置之間，自由收授物品，‧第2高架行走車系統是在與位於第2位置的滑動棚架之間自由收授物品。因此相對於物品的收授位置，第1高架行走車系統與第2高架行走車系統可經由滑動棚架的不同位置，皆可收授物品。
較理想是上述收授位置為處理裝置的裝載埠，上述第2高架行走車系統是搬運物品，該物品是與第1高架行走車系統搬運的物品在生產管理上的屬性不同。如此一來，使滑動棚架朝向第2位置滑動，藉此可將緊急組、工程管理用區等的生產管理用的屬性不同的物品，迅 速地在裝載埠與第2高架行走車系統之間收授。並且，朝向第2位置滑動的滑動棚架，在第1高架行走車系統及局部台車與裝載埠之間的收授互不干涉，因此不會妨礙通常的物品的搬運。
又，本發明的搬運系統，其特徵為：由上述暫時保管裝置設置在半導體工場的區域內，且為上述高架行走車系統，行走用軌道通過上述收授位置的正上部，且行走用軌道從區域內朝向區域間搬運用的區間路徑延伸的第1高架行走車系統；為上述第2搬運系統，在與位於上述第2位置的滑動棚架之間自由收授物品，並在區域內搬運物品的第2高架行走車系統；上述第1高架行走車系統的行走用軌道；在區間路徑並行配置有行走用軌道的區域間搬運用的高架行走車系統；及連接上述區域間搬運用的高架行走車系統的下部位置與上述第2高架行走車系統的輸送機構成。
如上述，無需設置分支部及合流部，即可連接區域間搬運用的高架行走車系統與第2搬運系統。因此不需要與第1高架行走車系統的區間路徑之間的分支與合流，不會有分支與合流伴隨的堵塞，且行走用軌道也可以單純的佈局設置。再者輸送帶是通過區域間搬運用的高架行走車系統的下部，因此高架行走車可藉著吊車(升降裝置與升降台)收受物品。
1‧‧‧區域
2‧‧‧處理裝置
4‧‧‧裝載埠
6‧‧‧卡匣
8、10‧‧‧高架行走車系統
12、13‧‧‧行走用軌道
14、15‧‧‧高架行走車
16‧‧‧行走部
18‧‧‧橫向傳送裝置
20‧‧‧升降裝置
22‧‧‧升降台
24‧‧‧支柱
30‧‧‧暫時保管裝置
32‧‧‧局部台車
34‧‧‧行走用軌道
35‧‧‧開口
38‧‧‧滑動棚架
39‧‧‧固定部
40‧‧‧固定棚架
41‧‧‧支柱
42‧‧‧頂棚
50‧‧‧高架行走車系統
52‧‧‧行走用軌道
54‧‧‧高架行走車
56、58‧‧‧輸送機
60‧‧‧暫存區
62‧‧‧導件
64‧‧‧汽缸
66‧‧‧活塞
68‧‧‧中間部
70‧‧‧頂部
72‧‧‧板
73‧‧‧聯結銷
74‧‧‧電纜導件
76‧‧‧行走部
78‧‧‧升降裝置
80‧‧‧升降台
82‧‧‧搬運管理系統
84‧‧‧高架行走車系統控制器
86‧‧‧輸送機控制器
88‧‧‧暫時保管裝置控制器
90‧‧‧龍門式起重機
92‧‧‧軌道
94‧‧‧架橋部
96‧‧‧吊車
100‧‧‧柵式暫存區系統
102‧‧‧柵狀的軌道
104‧‧‧台車
106‧‧‧棚架
110‧‧‧無人搬運車系統
111‧‧‧地板面
112‧‧‧無人搬運車
114‧‧‧暫存區
第1圖為實施例的暫時保管裝置與周圍的高架行走車系統及處理裝置的帶有部份缺口的前視圖。
第2圖為實施例的暫時保管裝置與處理裝置的帶有部份缺口的上視圖。
第3圖為包含實施例的暫時保管裝置的搬運系統的上視圖。
第4圖為包含實施例的暫時保管裝置的搬運系統的前視圖。
第5圖為實施例的滑動棚架的上視圖。
第6圖為實施例的局部台車的上視圖。
第7圖是表示第4圖之搬運系統的控制系的方塊圖。
第8圖為變形例的搬運系統的上視圖。
第9圖為變形例的搬運系統的前視圖。
第10圖為第2變形例的搬運系統的上視圖。
第11圖為第2變形例的搬運系統的前視圖。
第12圖為第3變形例的搬運系統的上視圖。
第13圖為第3變形例的搬運系統的前視圖。
以下表示用於實施本發明的最適當實施例。本發明的範圍是根據申請專利範圍的記載，參酌說明書的記載與該領域的習知技術，根據該業者的理解得以決定。
〔實施例〕
第1圖~第7圖是表示實施例的暫時保管裝置30與使用該裝置的暫時保管方法及搬運系統。第1圖、第2圖是表示半導體工場的區域1內的暫時保管裝置30、周圍的處理裝置2及高架行走車系統8、10。處理裝置2具備裝載埠4，裝載埠4是以卡匣6的收授位置的例，也可以將貯藏庫、作業台車對接的站、空卡匣的放置場等作為收授位置。並且處理裝置2也可以如文字所示的處理裝置或檢查裝置等。又卡匣6是FOUP等，收納製品的半導體晶圓，但也可以是收納工程管理用、檢查用等的晶圓，或是空的卡匣等。搬運的物品不限於半導體晶圓，也可以是半導體的曝光用的掩模、食品、醫藥品等。並可使用斗桶等的容器取代卡匣6，或不經由容器直接以高架行走車等夾持進行搬運。
使裝載埠4的正上部通過通常品用的高架行走車系統(第1高架行走車系統)8的行走用軌道12。為進行生產管理上之屬性不同的卡匣，將第2高架行走車系統10的行走用軌道13與行走用軌道12平行地配置。第1高架行走車系統8雖是與高架行走車14行走，且第2高架行走車系統10是與高架行走車15行走，但高架行走車14、15在物理性為相同之物即可。16為行走部，沿著行走用軌道12、13行走，支撐著橫向傳送裝置18，橫向傳送裝置18使升降裝置20橫向移動，藉升降裝置20使具備夾具的升降台22升降。並且24為行走用軌道12、 13的支柱，可不需設置橫向傳送裝置18。
在行走用軌道12、13與裝載埠4之間的高度，配置有暫時保管裝置30，使局部台車32沿著一對行走用軌道34、34行走。在一對行走用軌道34、34間具有卡匣6可上下自由通過的開口35。並在第1高架行走車系統8的行走用軌道12與行走用軌道34的正下方，且也是在裝載埠4的正上部的位置與第2高架行走車系統10的行走用軌道13的正下方的位置之間設有可自由滑動的滑動棚架38。滑動棚架38的滑動方向是在平行的行走用軌道12、13的行走方向之水平面內的直角方向。39為固定部，收容滑動棚架38的滑動機構等，滑動棚架38之外也可設置固定棚架40。暫時保管裝置30是例如藉支柱41被高架行走車系統8、10所支撐。
第3圖、第4圖為整體地表示使用暫時保管裝置30的搬運系統，區域1內的暫時保管與搬運是如第1圖、第2圖表示地進行。區域間的搬運(區間運)用，將高架行走車系統50設置於區間路徑，其行走用軌道52是與第1高架行走車系統8的行走用軌道12平行設置。又54是在高架行走車系統50行走的高架行走車，物理性是與高架行走車14、15相同物即可。
高架行走車系統50與高架行走車系統10之間，可使高架行走車15、54直接進入時，行走用軌道的分支與合流變得複雜，而造成堵塞的原因。因此以一對輸送機56、58連接高架行走車系統50與高架行走車系統 10。輸送機56是作為從區間路徑的高架行走車系統50朝區域1內之高架行走車系統10的搬運用，輸送機58是作為從區域1內的高架行走車系統10朝區間路徑之高架行走車系統50的搬運用。又由於增加區域1內的暫存區容量，雖設置暫存區60使高架行走車15可以進出，但也可不設置暫存區60。
實施例的物品(卡匣6)的收授是如以下進行。再者高架行走車15不具備橫向傳送裝置的場合，以在行走用軌道13的下方設置暫存區為佳。
裝載埠4：高架行走車14與局部台車32
滑動棚架38：高架行走車14、15與局部台車32
固定棚架40：高架行走車14與局部台車32
高架行走車系統8、10間的收授：經由滑動棚架38
高架行走車系統10、50間的收授：經由輸送機56、58
暫存區60：使用高架行走車15的橫向傳送裝置
第5圖是表示滑動棚架38，滑動棚架38是沿著導件62相對於固定部39進退。滑動機構為任意，例如藉著以氣壓動作的汽缸64，使固定在活塞66的中間部68動作。並藉著未圖示的倍速機構，使頂部70以活塞66的兩倍的行程進退，在頂部70固定板72，載放卡匣。73是引導卡匣的底面進行定位的聯結銷，74是設置在滑動棚架38的未圖示的感測器等用的電纜導件。
第6圖是表示局部台車32，例如具備一對行 走部76與升降裝置78，使具有夾具的升降台80升降，在裝載埠及棚架38、40之間移載卡匣。
第7圖是表示搬運系統的控制系，搬運管理系統(MCS)82是管理半導體工場內的物品的搬運，高架行走車系統控制器84雖是管理高架行走車14、15、54，但也對各高架行走車系統分別設置控制器。輸送機控制器86是管理輸送機56、58，暫時保管裝置控制器88是對各暫時保管裝置進行局部台車32與滑動棚架38的控制。
表示實施例的作用效果。
1)藉暫時保管裝置30，可任意組合連接裝載埠4與高架行走車系統8、10，並藉著滑動棚架38與固定棚架40暫時保管卡匣6。
2)藉著輸送機56、58，可連接第2高架行走車系統10與區間路徑的高架行走車系統50。
3)從第2高架行走車系統10經由滑動棚架38將緊急組的卡匣卸下至裝載埠4，並可從裝載埠4經由滑動棚架38搬出至第2高架行走車系統10。
第1圖~第7圖中，雖是使用第2高架行走車系統10，但可將此變更為在滑動棚架38及輸送機56、58之間自由收授卡匣6之任意的搬運系統。將以上的變形例表示於第8圖~第13圖。並且除特別指出的點以外是與第1圖~第7圖的搬運系統相同。第8圖、第9圖的變形例是使用設置在比暫時保管裝置30高的位置的龍門式起重 機90，92、92是其軌道，架橋部94沿著軌道92在區域1內移動，沿著架橋部94使吊車96移動。吊車96在區域1內移動，可自由進行任意之滑動棚架38、輸送機56，58及暫存區60與物品的收授。
第10圖、第11圖的變形例中，使用設置在比暫時保管裝置30高的位置的柵式暫存區系統100。102是縱橫地組合行走用軌道的柵狀的軌道，台車104沿著縱橫的行走用軌道自由縱橫地行走在柵狀的行走用軌道102，具備使卡匣升降的吊車。並且滑動棚架38的上部及輸送機56、58的上部是通過縱橫的行走用軌道之間，使卡匣升降進行收授。又滑動棚架38與輸送機56、58的上部以外的位置是在縱橫的行走用軌道的下方設有棚架106，暫時保管著卡匣。並且也可不設置棚架106。
第12圖、第13圖的變形例是使用設置在比暫時保管裝置30高的位置的無人搬運車系統110。在其地板面111設有多數網眼狀等的孔，不阻斷清潔空氣的流動。並且具備移載裝置的無人搬運車112在地板面111上行走，在滑動棚架38及輸送機56、58之間，搬運卡匣。114為無人搬運車系統110的暫存區，無人搬運車112雖是配置在自由收授卡匣的高度，但也可不設置暫存區114。

Claims (5)

  1. 一種暫時保管裝置，係於高架行走車系統與物品的收授位置之間，暫時保管物品的裝置，具備：局部台車，具備自由行走並使物品升降的吊車；局部台車的行走用軌道，設置在高架行走車系統的行走用軌道的下方，並通過上述收授位置的正上部；及滑動棚架，係設置於上述局部台車的行走用軌道的下方，該滑動棚架，在上述收授位置的正上部與第2位置之間自由地滑動，該第2位置是與上述局部台車的行走用軌道在水平面內直角的方向與上述收授位置的正上部不同，並在與具備移載裝置的第2搬運系統之間自由收授物品的位置。
  2. 一種搬運系統，其特徵為，係由：申請專利範圍第1項記載的暫時保管裝置；上述高架行走車系統，且行走用軌道通過上述收授位置的正上部的第1高架行走車系統；及行走用軌道通過上述第2位置的上部，且為上述第2搬運系統的第2高架行走車系統構成。
  3. 如申請專利範圍第2項記載的搬運系統，其中，上述收授位置為處理裝置的裝載埠，上述第2高架行走車系統是搬運物品，該物品是與第1高架行走車系統搬運的物品在生產管理上的屬性不同。
  4. 一種搬運系統，其特徵為，係由：設置在半導體工場的區域內的申請專利範圍第1項記 載的暫時保管裝置；為上述高架行走車系統，行走用軌道通過上述收授位置的正上部，且行走用軌道從區域內朝向區域間搬運用的區間路徑延伸的第1高架行走車系統；為上述第2搬運系統，在與位於上述第2位置的滑動棚架之間自由收授物品，並在區域內搬運物品的第2高架行走車系統；上述第1高架行走車系統的行走用軌道，及在區間路徑並行配置有行走用軌道的區域間搬運用的高架行走車系統；及連接上述區域間搬運用的高架行走車系統的下部位置與上述第2高架行走車系統的輸送機構成。
  5. 一種暫時保管方法，係於高架行走車系統與物品的收授位置之間，暫時保管物品的方法，該暫時保管方法是藉由暫時保管裝置，執行：在上述收授位置與滑動棚架之間，藉局部台車收授物品的步驟；在位於上述收授位置的正上部的上述滑動棚架與上述高架行走車系統之間收授物品的步驟；及在位於第2位置的滑動棚架與第2搬運系統之間收授物品的步驟，上述暫時保管裝置，具備：上述局部台車，具有自由行走並使物品升降的吊車；局部台車的行走用軌道，設置在上述高架行走車系統 的行走用軌道的下方，並通過上述收授位置的正上部；及上述滑動棚架，係可設置於上述局部台車的行走用軌道的下方，上述滑動棚架，在上述收授位置的正上部與上述第2位置之間自由地滑動，上述第2位置是與上述局部台車的行走用軌道在水平面內直角的方向與上述收授位置的正上部不同，並在與具備移載裝置的上述第2搬運系統之間自由收授物品的位置。
TW104131472A 2014-09-25 2015-09-23 Temporary storage device, handling system, and temporary storage method TWI644850B (zh)

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