JP2016064904A - 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 天井走行車システム及び第2の搬送システムとの間で異なる位置で物品を受け渡すことができ、かつ一時保管装置外の物品の受け渡し位置との間でも物品を受け渡すことができる、一時保管装置を提供する。
【構成】 一時保管装置は、ホイストを備えるローカル台車と、天井走行車システムの走行レールの下方で、かつ物品の受け渡し位置の直上部を通過するローカル台車の走行レールと、ローカル台車の走行レールの下方で、受け渡し位置の直上部と、ローカル台車の走行レールとは水平面内で直角な方向において受け渡し位置の直上部とは異なりかつ第2の搬送システムとの間で物品を受け渡し自在な第2の位置、との間でスライド自在なスライド棚、とを備える。
【選択図】 図1
Description
天井走行車システムと物品の受け渡し位置との間で、物品を一時保管する装置であって、
走行自在でかつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
天井走行車システムの走行レールの下方で、かつ前記受け渡し位置の直上部を通過するように設けられているローカル台車の走行レールと、
前記ローカル台車の走行レールの下方に設けられ、さらに前記受け渡し位置の直上部と、前記ローカル台車の走行レールとは水平面内で直角な方向において前記受け渡し位置の直上部とは異なりかつ移載装置を備える第2の搬送システムとの間で物品を受け渡し自在な第2の位置、との間でスライド自在なスライド棚、とを備える。
走行自在でかつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
天井走行車システムの走行レールの下方で、かつ前記受け渡し位置の直上部を通過するように設けられているローカル台車の走行レールと、
ローカル台車の走行レールの下方に設けられ、かつ前記受け渡し位置の直上部と、ローカル台車の走行レールとは水平面内で直角な方向において、前記受け渡し位置の直上部とは異なり移載装置を備える第2の搬送システムとの間で物品を受け渡し自在な第2の位置との間でスライド自在なスライド棚、とを備える一時保管装置により、
前記受け渡し位置と前記スライド棚との間で、前記ローカル台車により物品を受け渡しするステップと、
前記受け渡し位置の直上部にあるスライド棚と前記天井走行車システムとの間で物品を受け渡しするステップと、
前記第2の位置にあるスライド棚と前記第2の搬送システムとの間で物品を受け渡しするステップ、
とを実行する。
・ 第1の天井走行車システム及びローカル台車は、直下位置にあるスライド棚及び物品の受け渡し位置との間で、物品を受け渡し自在で、
・ 第2の天井走行車システムは第2の位置にあるスライド棚との間で物品を受け渡し自在である。このため物品の受け渡し位置に対し、第1の天井走行車システムと第2の天井走行車システムが、スライド棚の異なる位置を経由して、共に物品を受け渡すことができる。
前記第2の搬送システムで、前記第2の位置にあるスライド棚との間で物品を受け渡し自在で、かつベイ内で物品を搬送するものと、
前記第1の天井走行車システムの走行レールと、インターベイルートにおいて並行に走行レールが配置されているベイ間搬送用の天井走行車システムと、
前記ベイ間搬送用の天井走行車システムの下部の位置と、前記第2の搬送システムとを接続するコンベヤ、とから成ることを特徴とする。
ロードポート4: 天井走行車14とローカル台車32
スライド棚38: 天井走行車14,15とローカル台車32
固定棚40: 天井走行車14とローカル台車32
天井走行車システム8,10間の受け渡し: スライド棚38を経由
天井走行車システム10,50間の受け渡し:コンベヤ56,58を経由
バッファ60: 天井走行車15の横送り装置を使用
1) 一時保管装置30により、ロードポート4と天井走行車システム8,10を、任意の組み合わせで接続でき、またスライド棚38と固定棚40とによりカセット6を一時保管できる。
2) コンベヤ56,58により、第2の天井走行車システム10をインターベイルートの天井走行車システム50とを接続できる。
3) ホットロットのカセットを、第2の天井走行車システム10からスライド棚38を介してロードポート4へ荷下ろしし、またロードポート4からスライド棚38を介して第2の天井走行車システム10へ搬出できる。
2 処理装置
4 ロードポート
6 カセット
8,10 天井走行車システム
12,13 走行レール
14,15 天井走行車
16 走行部
18 横送り装置
20 昇降装置
22 昇降台
24 支柱
30 一時保管装置
32 ローカル台車
34 走行レール
35 開口
38 スライド棚
39 固定部
40 固定棚
41 支柱
42 天井
50 天井走行車システム
52 走行レール
54 天井走行車
56,58 コンベヤ
60 バッファ
62 ガイド
64 シリンダ
66 ピストン
68 ミドル部
70 トップ部
72 プレート
73 カップリングピン
74 ケーブルガイド
76 走行部
78 昇降装置
80 昇降台
82 搬送管理システム
84 天井走行車システムコントローラ
86 コンベヤコントローラ
88 一時保管装置コントローラ
90 ガントリークレーン
92 レール
94 架橋部
96 ホイスト
100 グリッドバッファシステム
102 グリッド状のレール
104 台車
106 棚
110 無人搬送車システム
111 床面
112 無人搬送車
114 バッファ
Claims (5)
- 天井走行車システムと物品の受け渡し位置との間で、物品を一時保管する装置であって、
走行自在でかつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
天井走行車システムの走行レールの下方で、かつ前記受け渡し位置の直上部を通過するように設けられているローカル台車の走行レールと、
前記ローカル台車の走行レールの下方に設けられ、さらに前記受け渡し位置の直上部と、前記ローカル台車の走行レールとは水平面内で直角な方向において前記受け渡し位置の直上部とは異なりかつ移載装置を備える第2の搬送システムとの間で物品を受け渡し自在な第2の位置、との間でスライド自在なスライド棚、とを備える一時保管装置。 - 請求項1の一時保管装置と、
前記の天井走行車システムで、かつ走行レールが前記受け渡し位置の直上部を通過する第1の天井走行車システムと、
前記第2の位置の上部を走行レールが通過し、かつ前記第2の搬送システムである第2の天井走行車システム、
とから成ることを特徴とする、搬送システム。 - 前記受け渡し位置は処理装置のロードポートであり、前記第2の天井走行車システムは、第1の天井走行車システムとは生産管理上の属性が異なる物品を搬送するように構成されていることを特徴とする、請求項2の搬送システム。
- 半導体工場のベイ内に設けられている請求項1の一時保管装置と、
前記の天井走行車システムで、走行レールが前記受け渡し位置の直上部を通過し、かつ走行レールがベイ内からベイ間搬送用のインターベイルートへと延びている第1の天井走行車システムと、
前記第2の搬送システムで、前記第2の位置にあるスライド棚との間で物品を受け渡し自在で、かつベイ内で物品を搬送するものと、
前記第1の天井走行車システムの走行レールと、インターベイルートにおいて並行に走行レールが配置されているベイ間搬送用の天井走行車システムと、
前記ベイ間搬送用の天井走行車システムの下部の位置と、前記第2の搬送システムとを接続するコンベヤ、
とから成ることを特徴とする、搬送システム。 - 天井走行車システムと物品の受け渡し位置との間で、物品を一時保管する方法であって、
走行自在でかつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
天井走行車システムの走行レールの下方で、かつ前記受け渡し位置の直上部を通過するように設けられているローカル台車の走行レールと、
ローカル台車の走行レールの下方に設けられ、かつ前記受け渡し位置の直上部と、ローカル台車の走行レールとは水平面内で直角な方向において、前記受け渡し位置の直上部とは異なり移載装置を備える第2の搬送システムとの間で物品を受け渡し自在な第2の位置との間でスライド自在なスライド棚、とを備える一時保管装置により、
前記受け渡し位置と前記スライド棚との間で、前記ローカル台車により物品を受け渡しするステップと、
前記受け渡し位置の直上部にあるスライド棚と前記天井走行車システムとの間で物品を受け渡しするステップと、
前記第2の位置にあるスライド棚と前記第2の搬送システムとの間で物品を受け渡しするステップ、
とを実行する一時保管方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014195153A JP6048686B2 (ja) | 2014-09-25 | 2014-09-25 | 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 |
DE102015011944.3A DE102015011944B4 (de) | 2014-09-25 | 2015-09-17 | Zwischenlagerungsvorrichtung, Transportsystem und Zwischenlagerungsverfahren |
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TW104131472A TWI644850B (zh) | 2014-09-25 | 2015-09-23 | Temporary storage device, handling system, and temporary storage method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014195153A JP6048686B2 (ja) | 2014-09-25 | 2014-09-25 | 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016064904A true JP2016064904A (ja) | 2016-04-28 |
JP6048686B2 JP6048686B2 (ja) | 2016-12-21 |
Family
ID=55485876
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014195153A Active JP6048686B2 (ja) | 2014-09-25 | 2014-09-25 | 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9548230B2 (ja) |
JP (1) | JP6048686B2 (ja) |
DE (1) | DE102015011944B4 (ja) |
TW (1) | TWI644850B (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161019 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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