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Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Zwischenlagerungsvorrichtung und ein Zwischenlagerungsverfahren zum zeitweisen Lagern von Gegenständen zwischen einer Vielzahl von Transportsystemen, und ein Transportsystem mit der Zwischenlagerungsvorrichtung.
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Beschreibung des Standes der Technik
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In Halbleiterfabriken werden Kassetten mit Halbleiter-Rohlingen mittels eines Schwebebahnsystems zwischen Verladestellen von Bearbeitungsvorrichtungen transportiert. Die Anmelderin hat vorgeschlagen, als Zwischenlagerungsvorrichtung zwischen einem Schwebebahnsystem einer Verladestelle, einen örtlichen Transporter, Fahrschienen des örtlichen Transporters und einen Zwischenspeicher zwischen der Verladestelle und einer Fahrschiene des Schwebebahnsystems vorzusehen (
JP5229363 B2 ). In dieser Vorrichtung kann eine Kassette vertikal zwischen den Fahrschienen des örtlichen Transporters hindurchtreten und der Zwischenspeicher ist unter den Fahrschienen des örtlichen Transporters vorgesehen, sodass das Schwebebahnfahrzeug und der örtliche Transporter beide auf den Zwischenspeicher zugreifen können. Somit können sowohl das Schwebebahnfahrzeug als auch der örtliche Transporter beide die Verladestelle und den Zwischenspeicher erreichen.
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Manchmal ist es während des Transports erforderlich, einen Überholvorgang durchzuführen. Beispielsweise kann es erwünscht sein, dass eine Kassette mit besonders eilbedürftigen Gegenständen (einer heißen Charge) so transportiert wird, dass sie eine Kassette mit normalen Gegenständen überholt. Zu diesem Zweck kann ein eigenes Transportsystem für heiße Chargen vorgesehen sein zusätzlich zu dem Transportsystem für normale Gegenstände. Es ist jedoch dann zusätzlich erforderlich, dass das Transportsystem für normale Gegenstände und das Transportsystem für heiße Chargen mit der selben Übergabeposition für Gegenstände verbunden werden kann.
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KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Zwischenlagerungsvorrichtung vorzusehen, die in der Lage ist, einen Gegenstand an verschiedenen Stellen zu und von einem Schwebebahnsystem und einem zweiten Transportsystem zu übertragen, und zusätzlich einen Gegenstand zu und von einer Übergabestelle für Gegenstände außerhalb der Zwischenlagerungsvorrichtung zu übertragen.
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Eine Zwischenlagerungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung zum zeitweisen Lagern eines Gegenstandes zwischen einem Schwebebahnsystem und einer Übergabestelle für Gegenstände, wobei die Zwischenlagerungsvorrichtung umfasst: einen örtlichen Transporter, der fahren kann, und einen Aufzug zum Anheben und Absenken eines Gegenstandes umfasst; Fahrschienen für den örtlichen Transporter, die unterhalb einer Fahrschiene des Schwebebahnsystems vorgesehen sind, sodass sie direkt über der Übergabestelle verlaufen; und ein verschiebbares Gestell, welches unter den Fahrschienen des örtlichen Transporters vorgesehen ist, wobei das verschiebbare Gestell zwischen einem Abschnitt direkt oberhalb der Übergabestellung und einer zweiten Stellung verschiebbar ist, in der ein Gegenstand zu und von einem zweiten Transportsystem mit einer Übertragungsvorrichtung übertragen wird, wobei sich die zweite Stellung von der Stellung direkt über der Übergabestellung in einer Richtung senkrecht zu den Fahrschienen des örtlichen Transporters in einer waagerechten Ebene unterscheidet.
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Ein Zwischenlagerungsverfahren der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum zeitweiligen Lagern eines Gegenstandes zwischen einem Schwebebahnsystem und einer Übergabestelle für die Gegenstände, wobei das Verfahren, von einer Zwischenlagerungsvorrichtung ausgeführt wird, die Folgendes umfasst: einen örtlichen Transporter, der fahren kann, und einen Aufzug zum Heben oder Absenken eines Gegenstandes umfasst; wobei die Fahrschienen des örtlichen Transporters unterhalb einer Fahrschiene des Schwebebahnsystems vorgesehen ist, um so direkt oberhalb der Übergabestellung zu verlaufen; und ein verschiebbares Gestell, welches unterhalb der Fahrschienen des örtlichen Transporters vorgesehen ist und zwischen einer Stellung direkt oberhalb der Übergabestellung und einer zweiten Stellung, in der ein Gegenstand zu und von einem zweiten Transportsystem mit einer Übergabevorrichtung übertragen wird, verschiebbar ist, wobei sich die zweite Stellung von der ersten Stellung direkt oberhalb der Übergabestellung in einer Richtung senkrecht zu den Fahrschienen des lokalen Transporters in einer waagerechten Ebene unterscheidet, und wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: Übertragen eines Gegenstandes mittels des örtlichen Transporters zwischen der Übergabestellung und dem verschiebbaren Gestell; Übertragen eines Gegenstandes zwischen dem verschiebbaren Gestell, welches direkt oberhalb der Übergabestelle angeordnet ist, und dem Schwebebahnsystem; und Transportieren eines Gegenstandes zwischen dem verschiebbaren Gestell, welches sich in der zweiten Stellung befindet, und dem zweiten Transportsystem.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung kann das Schwebebahnsystem und der örtliche Transporter einen Gegenstand zu und von dem verschiebbaren Gestell, welches direkt darunter angeordnet ist, und der Übergabestelle für den Artikel übertragen, und das zweite Transportsystem kann einen Gegenstand zu und von dem verschiebbaren Gestell übergeben, wenn das verschiebbare Gestell in der zweiten Stellung befindlich ist. Mit anderen Worten kann das Schwebebahnsystem und das zweite Transportsystem einen Gegenstand zu und von dem verschiebbaren Gestell an verschiedene Stellen transportieren, und ein Gegenstand kann durch den örtlichen Transporter zwischen dem verschiebbaren Gestell und der Übergabestelle für die Artikel übertragen werden. Auf diese Weise können sowohl das Schwebebahnsystem als auch das zweite Transportsystem einen Gegenstand zu und von der Übergabestelle für Gegenstände übertragen. Der Abschnitt für die Übertragung von Gegenständen ist beispielsweise eine Verladestelle einer Bearbeitungsvorrichtung, eine Lagerungseinheit, eine Andockstelle eines Arbeitstransporters, oder ähnliches. Eine Schwebebahnfahrzeug kann einen Gegenstand zu und von der Gegenstandsübergabestelle mittels eines Aufzugs übertragen. Die Stelle, die unterschiedlich ist von dem Abschnitt direkt über der Übergabestelle in der Richtung senkrecht zu den Fahrschienen in der waagerechten Ebene soll nicht dazu dienen, das verschiebbare Gestell daran zu hindern, sich senkrecht zu den Fahrschienen zu verschieben, sondern bedeutet, dass die Verschiebung die Stellung entlang einer Richtung senkrecht zu den Fahrschienen verändert. In der Beschreibung betrifft eine Beschreibung über die Zwischenlagerungsvorrichtung ebenfalls das Zwischenlagerungsverfahren.
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Ein Transportsystem gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst die oben beschriebene Zwischenlagerungsvorrichtung, ein erstes Schwebebahnsystem, welches das Schwebebahnsystem ist, mit einer Fahrschiene, die direkt über der Übergabestelle verläuft, und ein zweites Schwebebahnsystem, welches das zweite Transportsystem ist, mit einer Fahrschiene, die über der zweiten Stelle verläuft. Mit diesem Aufbau
- • kann das erste Schwebebahnsystem und der örtliche Transporter einen Gegenstand übertragen an und erhalten von dem verschiebbaren Gestell, welches direkt darunter angeordnet ist, und der Übergabestelle für die Gegenstände, und
- • das zweite Schwebebahnsystem kann Gegenstände empfangen von und übertragen an das verschiebbare Gestell, wenn es sich in der zweiten Stellung befindet. Auf diese Weise kann sowohl das erste Schwebebahnsystem als auch das zweite Schwebebahnsystem einen Gegenstand zu und von der Übergabestelle für die Gegenstände über die verschiedenen Stellungen des verschiebbaren Gestells übertragen.
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Vorzugsweise ist die Übergabestelle eine Verladestelle einer Bearbeitungsvorrichtung, und das zweite Schwebebahnsystem dient dazu, einen Gegenstand mit einem Fertigungs-Überwachungsmerkmal zu befördern, welches unterschiedlich ist zu dem des ersten Schwebebahnsystems. Auf diese Weise kann der Gegenstand mit einem unterschiedlichen Herstellungs-Kontrollmerkmal wie beispielsweise eine heiße Charge oder eine Charge zur Prozesskontrolle durch Verschieben des verschiebbaren Gestells in die zweite Stellung schnell zwischen der Verladestelle und dem zweiten Schwebebahnsystem übertragen werden. Darüber hinaus stört das verschiebbare Gestell die Übertragung zwischen dem ersten Schwebebahnsystem und dem örtlichen Transporter und der Verladestelle nicht, wenn es in die zweite Stellung verschoben worden ist, und blockiert auf diese Weise nicht den Transport eines normalen Gegenstandes.
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Ein Transportsystem der vorliegenden Erfindung umfasst die oben beschriebene Zwischenlagerungsvorrichtung, die in einer Abteilung einer Halbleiterfabrik vorgesehen ist, ein erstes Schwebebahnsystem, welches das Schwebebahnsystem mit einer Fahrschiene, die direkt oberhalb der Übergabestelle verläuft, ist, wobei sich die Fahrschiene von innerhalb der Abteilung bis zu einer Strecke zwischen den Abteilungen für den Transport zwischen den Abteilungen erstreckt, und wobei das zweite Transportsystem in der Lage ist, einen Gegenstand zu und von dem verschiebbaren Gestell zu übertragen, welches in der zweiten Stellung angeordnet ist und einen Gegenstand in der Abteilung transportiert, einem Schwebebahnsystem für den Transport zwischen den Abteilungen mit einer Fahrschiene, die parallel zu der Fahrschiene des ersten Schwebebahnsystems in der Strecke zwischen den Abteilungen verläuft, und einem Förderer, der eine Stelle unterhalb des Schwebebahnsystems für den Transport zwischen den Abteilungen und dem zweiten Transportsystem verbindet.
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Mit dieser Anordnung kann das Schwebebahnsystem für den Transport zwischen den Abteilungen und das zweite Transportsystem verbunden werden ohne Verzweigungs- und Einfädelabschnitte. Auf diese Weise ist ein Abzweigen von und ein Einfädeln in die Strecke zwischen den Abteilungen des ersten Schwebebahnsystems nicht erforderlich, sodass keine Stauungen durch das Verzweigen und Einfädeln entstehen können. Außerdem kann die Fahrschiene in einer einfachen Auslegung installiert werden. Nachdem der Förderer unterhalb des Schwebebahnsystems für den Transport zwischen den Abteilungen hindurchgeht, kann ein Schwebebahnfahrzeug einen Gegenstand mittels eines Aufzugs (eine Hebevorrichtung und ein Hebeteil) übertragen.
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Figurenliste
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- 1 ist eine Vorderansicht mit teilweise ausgeschnittenen Teilen einer Zwischenlagerungsvorrichtung in einer Ausführungsform mit umlaufenden Schwebebahnsystemen und einer Verarbeitungsvorrichtung;
- 2 ist ein Grundriss mit teilweise ausgeschnittenen Teilen der Zwischenlagerungsvorrichtung der Ausführungsform und der Verarbeitungsvorrichtung;
- 3 ist ein Grundriss eines Transportsystems mit der Zwischenlagerungsvorrichtung in der Ausführungsform;
- 4 ist eine Ansicht des Transportsystems von vorne mit der Zwischenlagerungsvorrichtung;
- 5 ist ein Grundriss eines verschiebbaren Gestells in der Ausführungsform;
- 6 ist ein Grundriss eines örtlichen Transporters in der Ausführungsform;
- 7 ist ein Blockschaltbild, welches das Steuerungssystem des Transportsystems der 4 erläutert;
- 8 ist ein Grundriss eines Transportsystems in einer alternativen Ausführungsform;
- 9 ist eine Ansicht des Transportsystems in der alternativen Ausführungsform von vorne;
- 10 ist ein Grundriss eines Transportsystems in einer zweiten alternativen Ausführungsform;
- 11 ist eine Ansicht des Transportsystems der zweiten alternativen Ausführungsform von vorne;
- 12 ist ein Grundriss eines Transportsystems in einer dritten alternativen Ausführungsform; und
- 13 ist eine Ansicht des Transportsystems in der dritten alternativen Ausführungsform von vorne.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Im Folgenden wird eine besonders bevorzugte Ausführungsform zur Ausführung der vorliegenden Erfindung beschrieben. Der Umfang der vorliegenden Erfindung soll anhand der Beschreibung in den Ansprüchen bestimmt werden, im Hinblick auf die Beschreibung der Spezifikation und bekannter Techniken auf diesem Gebiet, und entsprechend dem Verständnis des Fachmanns.
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AUSFÜHRUNGSFORM
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1 bis 7 zeigen eine Zwischenlagerungsvorrichtung 30 in einer Ausführungsform und ein Zwischenlagerungsverfahren und ein Transportsystem mit dem Zwischenlagerungsverfahren. Die 1 und 2 zeigen die Zwischenlagerungsvorrichtung 30, eine umgebende Verarbeitungsvorrichtung 2 und Schwebebahnsysteme 8 und 10 in einer Abteilung 1 einer Halbleiterfabrik. Die Verarbeitungsvorrichtung 2 umfasst eine Verladestelle 4. Die Verladestelle 4 ist ein Beispiel für eine Stelle, an die eine Kassette übertragen werden kann. Ein Speicher, eine Station zum Andocken eines Werkstückträgers, ein Platz zum Abstellen einer leeren Kassette oder ähnliches kann die Übertragungsstelle sein. Die Verarbeitungsvorrichtung 2 kann eine Verarbeitungsvorrichtung als solche sein, aber auch eine Überprüfungsvorrichtung oder ähnliches. Die Kassette 6 ist ein FOUP oder ähnliches, und enthält Halbleiterrohlinge als Werkstücke. Die Kassette 6 kann eine Kassette mit Rohlingen zur Prozesskontrolle, Inspektion oder ähnlichem sein oder eine leere Kassette oder ähnliches. Die beförderten Gegenstände müssen keine Halbleiterrohlinge sein, und können Masken für die Belichtung von Halbleitern, Lebensmittelprodukten, medizinische und pharmazeutische Produkte oder ähnliches sein. Anstelle der Kassette 6 kann ein Behälter wie beispielsweise ein Eimer benutzt werden. Alternativ kann ein Gegenstand direkt ohne Behälter durch ein Schwebebahnfahrzeug oder ähnliches ergriffen und transportiert werden.
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Eine Fahrschiene 12 des Schwebebahnsystems für normale Gegenstände (erstes Schwebebahnsystem) 8 verläuft direkt über der Verladestelle 4. Um Kassetten mit einem unterschiedlichen Produktionskontrollmerkmal zu befördern, ist eine Fahrschiene 13 des zweiten Schwebebahnsystems 10 parallel zu der Fahrschiene 12 angeordnet. Das erste Schwebebahnsystem 8 veranlasst ein Schwebebahnfahrzeug 14 zum Fahren, und das zweite Schwebebahnsystem 10 veranlasst ein Schwebebahnfahrzeug 15 zum Fahren. Die Schwebebahnfahrzeuge 14 und 15 können physikalisch identisch sein. Bezugszeichen 16 bezeichnet Fahrzeuge. Die Fahrzeuge 16 fahren entlang der Fahrschiene 12 und 13 und tragen eine Transversalzuführvorrichtung 18. Die Transversalzuführvorrichtung 18 kann eine Hebevorrichtung 20 transversal bewegen. Die Hebevorrichtung 20 hebt und senkt einen Hebeabschnitt 22 mit einem Spannfutter. Bezugszeichen 24 bezeichnet Träger für die Fahrschienen 12 und 13. Die transversale Fördervorrichtung 18 kann weggelassen werden.
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Die Zwischenlagerungsvorrichtung 30 ist in einer Höhe zwischen den Fahrschienen 12 und 13 und der Verladestelle 4 angeordnet. Ein örtlicher Transporter 32 fährt entlang eines Paars von Fahrschienen 34 und 34. Eine Öffnung 35, durch die die Kassetten 6 vertikal hindurchgehen, ist zwischen dem Paar Fahrschienen 34 und 34 gebildet. Ein verschiebbares Gestell 38 ist vorgesehen, welches zwischen einer Stellung direkt unterhalb der Fahrschiene 12 des ersten Schwebebahnsystems 8 und den Fahrschienen 34 und direkt oberhalb der Verladestelle 4, und einer Stelle, die direkt unter der Fahrschiene 13 des zweiten Schwebebahnsystems 10 verschiebbar ist. Die Verschieberichtung des verschiebbaren Gestells 38 ist eine Richtung senkrecht zu der Fahrrichtung auf den parallelen Fahrschienen 12 und 13 in einer waagerechten Fläche. Bezugszeichen 39 bezeichnet einen festen Abschnitt, der eine Verschiebevorrichtung für das verschiebbare Gestell 38 oder ähnliches umschließt. Zusätzlich zu dem verschiebbaren Gestell 38 kann ein festes Gestell 40 vorgesehen sein. Die Zwischenlagerungsvorrichtung 30 wird beispielsweise von den Schwebebahnsystemen 8 und 10 über Pfosten 41 getragen.
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Die 3 und 4 zeigen das gesamte Transportsystem mit der Zwischenlagerungsvorrichtung 30. Zwischenlagerung und Transport in der Abteilung 1 werden wie in den 1 und 2 dargestellt ausgeführt. Für den Transport zwischen den Abteilungen (Transport zwischen Abteilungen) ist ein Schwebebahnsystem 50 an einer Strecke zwischen den Abteilungen vorgesehen. Eine Fahrschiene 52 des Schwebebahnsystems 50 verläuft parallel mit der Fahrschiene 12 des ersten Schwebebahnsystems 8. Bezugszeichen 54 bezeichnet Schwebebahnfahrzeuge, die in dem Schwebebahnsystem 50 fahren. Die Schwebebahnfahrzeuge 54 können physikalisch identisch mit den Schwebebahnfahrzeugen 14 und 15 sein.
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Wenn man den Schwebebahnfahrzeugen 15 und 54 gestattet, direkt oberhalb des Schwebebahnsystems 50 und des Schwebebahnsystems 10 zu fahren, führt dies zu einem komplizierten Verzweigen und Verbinden der Fahrschienen, welches zu Stauungen führen kann. Deshalb sind das Schwebebahnsystem 50 und das Schwebebahnsystem 10 mittels eines Paars von Förderern 56 und 58 verbunden. Der Förderer 56 dient dem Transport von dem Schwebebahnsystem 50 auf der Strecke zwischen den Abteilungen zu dem Schwebebahnsystem 10 in der Abteilung 1, und der Förderer 58 dient dem Transport von dem Schwebebahnsystem 10 in der Abteilung 1 zu dem Schwebebahnsystem 50 auf der Strecke zwischen den Abteilungen. Um die Zwischenspeicherkapazität in der Abteilung 1 zu verbessern, sind Zwischenspeicher 60 vorgesehen, sodass die Schwebebahnfahrzeuge 15 die Zwischenspeicher 60 anlaufen können. Die Zwischenspeicher 60 können weggelassen werden.
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Die Übertragung eines Gegenstandes (Kassette 6) in der Ausführungsform wird folgendermaßen ausgeführt. Wenn die Schwebebahnfahrzeuge 15 keine Seitenvorschubvorrichtung umfassen, sind die Zwischenspeicher vorzugsweise unterhalb der Fahrschiene 13 angeordnet.
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Die Übertragung eines Artikels 6 zu der Verladestelle 4 erfolgt mittels der Schwebebahnfahrzeuge 14 und des örtlichen Transporters 32.
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Die Übertragung eines Gegenstandes 6 auf das verschiebbare Gestell 38 erfolgt mittels der Schwebebahnfahrzeuge 14 und 15 und des örtlichen Transporters 32.
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Die Übertragung eines Gegenstandes 6 auf das feststehende Gestell 40 erfolgt mittels des Schwebebahnfahrzeuges 14 und des örtlichen Transporters 32.
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Die Übertragung zwischen den Schwebebahnsystemen 8 und 10 erfolgt über das verschiebbare Gestell 38.
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Die Übertragung zwischen den Schwebebahnsystemen 10 und 50 erfolgt über die Förderer 56 und 58.
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Die Übertragung eines Gegenstandes 6 in den Zwischenspeicher 60 erfolgt mittels einer Transversalvorschubvorrichtung der Schwebebahnfahrzeuge 15.
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5 zeigt das verschiebbare Gestell 38. Das verschiebbare Gestell 38 fährt aus und fährt zurück ausgehend von dem festen Abschnitt 39 entlang von Führungen 62. Der Verschiebemechanismus kann irgendein Verschiebemechanismus sein. Beispielsweise kann es ein Zylinder 64 sein, der aufgrund von Gasdruck einen Mittelabschnitt 68, der an einem Kolben 66 befestigt ist, vorschiebt und zurückzieht. Eine Geschwindigkeitsverdopplungsvorrichtung (nicht dargestellt) veranlasst einen Spitzenabschnitt 70 mit dem doppelten Vorschub wie der Kolben 66 aus- und einzufahren. Ein Teller 72 ist an dem Spitzenabschnitt 70 befestigt, damit man eine Kassette darauf stellen kann. Bezugszeichen 73 bezeichnet Verbindungsstifte zum Führen und Positionieren der Unterseite einer Kassette. Bezugszeichen 74 bezeichnet eine Kabelführung für einen Sensor oder ähnliches (nicht dargestellt), der an dem verschiebbaren Gestell 38 angebracht ist.
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Die 6 zeigt den örtlichen Transporter 32, der ein Paar von beweglichen Abschnitten 76 und eine Hebevorrichtung 78 beispielhaft umfasst. Durch Anheben und Absenken eines Hubabschnitts 80 mit einem Spannfutter wird eine Kassette zwischen einer Verladestelle und den Gestellen 38 und 40 übertragen.
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7 zeigt ein Steuersystem für das Transportsystem. Ein Transportsteuersystem (MCS: Material Control System) 82 steuert den Transport von Gegenständen in der Halbleiterfabrik. Eine Steuervorrichtung 84 für das Schwebebahnsystem steuert die Schwebebahnfahrzeuge 14, 15 und 54. Alternativ kann für jedes der Schwebebahnsysteme eine eigene Steuervorrichtung vorgesehen sein. Eine Steuereinrichtung 86 für die Förderer steuert die Förderer 56 und 58. Eine Steuereinrichtung 88 für die Zwischenlagervorrichtung steuert den örtlichen Transporter 32 und das verschiebbare Gestell 38 von jeder Zwischenlagervorrichtung.
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Betriebsweise und Wirkung der Ausführungsform wird im Folgenden beschrieben.
- 1) Die Zwischenlagerungsvorrichtung 30 erlaubt es, die Verladestelle 4 und die Schwebebahnsysteme 8 und 10 in jeder gewünschten Kombination zu verbinden. Weiterhin erlauben das verschiebbare Gestell 38 und das feste Gestell 40 eine zeitweise Lagerung der Kassetten 6.
- 2) Die Förderer 56 und 58 erlauben es, das zweite Schwebebahnsystem 10 mit dem Schwebebahnsystem 50 auf der Strecke zwischen den Abteilungen zu verbinden.
- 3) Eine Kassette einer heißen Charge kann mittels des verschiebbaren Gestells 38 von dem zweiten Schwebebahnsystem 10 zu der Verladestelle 4 entladen und von der Verladestelle 4 über das verschiebbare Gestell 38 an das zweite Schwebebahnsystem 10 abtransportiert werden.
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In den 1 bis 7 findet ein zweites Schwebebahnsystem 10 Verwendung. Stattdessen kann jedoch jedes beliebige Transportsystem Verwendung finden, welches in der Lage ist, die Kassetten 6 zu und von den verschiebbaren Gestellen 38 und den Förderern 56 und 58 zu transportieren. Solche alternative Ausführungsformen sind in den 8 bis 13 dargestellt. Die Transportsysteme der 8 bis 13 ähneln den Transportsystemen in den 1 bis 7 mit Ausnahme der ansonsten bestimmten Punkte. In der alternativen Ausführungsform gemäß 8 und 9 ist ein Portalkran 90 in einer Stellung oberhalb der Zwischenlagervorrichtungen 30 vorgesehen. Die Bezugszeichen 92 und 92 bezeichnen Schienen des Portalkrans 90. Ein Brückenabschnitt 94 bewegt sich entlang der Schienen 92 in einer Abteilung 1. Ein Aufzug 96 bewegt sich entlang des Brückenabschnitts 94. Der Aufzug 96 bewegt sich in der Abteilung 1, und kann Gegenstände zu und von den verschiebbaren Gestellen 38, Förderern 56 und 58 und Zwischenspeichern 60 wie gewünscht übertragen.
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In der anderen Ausführungsform gemäß den 10 und 11 ist ein Netzzwischenspeichersystem 100 in einer Stellung höher als die Zwischenlagerungsvorrichtungen 30 verwendet. Bezugszeichen 102 bezeichnet netzförmige Schienen einer Kombination von horizontalen und vertikalen Fahrschienen. Transporter 104 können horizontal und vertikal auf den netzförmigen Fahrschienen 102 entlang den horizontalen und vertikalen Fahrschienen fahren und besitzen einen Aufzug zum Heben und Senken einer Kassette. Oberhalb der verschiebbaren Gestelle 38 und oberhalb der Förderer 56 und 58 wird eine Kassette hochgehoben und abgesenkt, um zwischen den horizontalen und vertikalen Fahrschienen durchzupassen und übertragen zu werden. An Stellen anders als oberhalb der verschiebbaren Gestelle 38 und der Förderer 56 und 58 sind Gestelle 106 unterhalb der horizontalen und vertikalen Fahrschienen vorgesehen, um Kassetten zeitweise zu lagern. Die Gestelle 106 können weggelassen werden.
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In einer anderen Ausführungsform gemäß 12 und 13 ist ein automatisch geführtes Fahrzeugsystem 110 in einer Stellung unterhalb der Zwischenlagerungsvorrichtungen 30 verwendet worden. Ein Boden 111 des automatisch geführten Fahrzeugsystems 110 ist mit einer Anzahl von Löchern in der Form von Maschen oder ähnlichem vorgesehen, damit er den Fluss reiner Luft nicht behindert. Automatisch geführte Fahrzeuge 112 einschließlich einer Übertragungsvorrichtung fahren auf dem Boden 111, um Kassetten zwischen den verschiebbaren Gestellen 38 und den Förderern 56 und 58 zu transportieren. Bezugszeichen 114 bezeichnet Zwischenspeicher des automatisch geführten Fahrzeugsystems 110. Die Zwischenspeicher 114 sind in einer Höhe angeordnet, in der die automatisch geführten Fahrzeuge 112 die Kassetten übertragen können. Die Zwischenspeicher 114 können weggelassen werden.
