TWI322791B - - Google Patents

Description

(5) (5)1322791 可對緩衝器1 4的任意位置（位址）遞送物品。 16爲區控制器（zone controller)，可管理區域內輸 送路線6和局部輸送路線8，並管理較分歧匯流部5更靠近 區域（bay)的部分（較第1圖中虛線更下方的部分）。天 車10在區域內輸送路線6是由區控制器16所控制，當天車 1 〇位於較分歧匯流部5更外側的跨區域輸送路線4時，則由 其他的區控制器所控制。運轉於局部輸送路線8的天車1 2 ，是由區控制器1 6所長時間控制》在此由於是對緩衝器14 的內部區塊，因此最好是利用共通的區控制器16來控制局 部輸送路線8與位於平行於局部輸送路線8之區間內的區域 內輸送路線。18爲系統控制器，用來控制整個天車系統2 ，在圖面中未顯示的生產控制器等之間進行通訊，該生產 控制器等是用來管理其他區控制器、半導體處理裝置或液 晶處理裝置之類的整體處理設備。 20爲檢查裝置，是每個物品處理時間短，通量高之設 備的範例。22爲其他的處理裝置，其通量低於檢查裝置20 。檢查裝置20的晶圓載入機24，其搬入、出物品的頻率高 ，處理裝置22的晶圓載入機24，其搬入、出物品的頻率低 。天車10、12是由供電線28供電，在此爲非接觸供電者。 供電線28亦可用於天車10、12間的通訊、或上述二者與區 控制器1 6間的通訊。接著，當2種天車1 0、1 2之間可直接 通訊時，在緩衝器14的內部區塊上是便利的。因此如第1 圖所示，供電線28最好是連接於電源30，形成通過區域內 輸送路線6與局部輸送路線8雙方的迴圈。 (7) 1322791 否有物品’亦可如同條碼讀取器或RFID讀取器般作爲讀 取匣40的ID的裝置。44爲懸吊構件，是採用纜線（wire) ' 、繩索（rope)或皮帶，天車1〇之升降台36的升降也採用 ' 相同的懸吊構件。46爲懸吊螺栓，是用來使緩衝器44從運 轉軌道7向下懸吊的構件。 雖然天車10、12可爲相同的結構，但天車+ 10側亦可不 設置橫送部42。由於天車12只需往複移動於短程的局部輸 ® 送路線8，因此相較於必須長程移動的天車10，採用簡單 的運轉驅動部33即可。此外，升降驅動部35和升降台37, 可採用與天車.10之升降驅動部34和升降台36相同的裝置， 不同也無妨。運轉軌道7、9，是設置在檢查裝置2 0與處理 裝置22間之通路的空間。緩衝器14是設於運轉軌道7的下 方，天車10可無須橫向移動地遞送匣40。緩衝器14爲載置 匣40的棚架，並不具備輸送機等。此外，當緩衝器14設成 略低於天車10上之匣40底部的搬運高度時，其下方的空間 B 不會在人或無人搬運車移動之際形成阻礙。 第3圖是顯示局部輸送路線之運轉軌道與區域內輸送 路線之運轉軌道的關係。上述兩者是形成平行配置，晶圓 載入機24位於運轉軌道9的下方，緩衝器14如上所述地位 於運轉軌道7的下方。緩衝器14內被授予匣40之每個保管 位置A〜P等的位址，可由承載物檢測感應器43檢測出物品 位於哪個位址。此外第3圖所示的位址A〜P中，在位址D與 位址K的位置，天車12可不必運轉地從停止於晶圓載入機 24的位置遞送匣。因此位址D、K是最具價値的保管場所 1322791 (δ) 。而位址D或位址K以外的保管位置，天車1 2則須沿著運 轉軌道9運轉以遞送物品。 ' 第4圖是顯示區控制器16的結構。區域網路介面50與 ' 系統控制器]8通訊。台車通訊部51與跨區域輸送路線內的 天車10通訊，台車通訊部52與局部輸送路線的天車12通訊 。上述的關係亦可藉由共用的台車通訊部達成。此外天車 1 Ο、1 2亦可經由供電線直接通訊。 Φ 54爲CPU，亦可爲可程式控制器。56、58爲搬運控制 部，搬運控制器56是控制區域（bay )內之天車10的搬運 ，搬運控制部58則是控制沿著局部輸送路線之天車12的搬 運。此外緩衝器管理部60可管理緩衝器上的物品，並可記 憶緩衝器之各位址是否有物品、及當物品存在時物品的ID 及搬運目的地（檢査裝置的晶圓載入機或其他設備的晶圓 載入機等）。 檢查裝置20與緩衝器1 4之間的物品遞送，搬運控制部 B 5 8是以搬運目的地或搬運出發位置作爲位址，來指定晶圓 載入機的位址和緩衝器的位址。接著藉由承載物檢測感應 器43，避免進一步將物品卸載於已存在物品的位址、或從 不具物品的位址形成堆積。此外，將緩衝器的哪個位址存 在哪一個ID的物品記憶於緩衝器管理部60。緩衝器管理部 6〇的資料正當性，可使天車12沿著緩衝器14運轉，並可由 承載物檢測感應器43監測並確認緩衝器1 4上的物品。 當在與面向晶圓載入機24之位址的緩衝器間遞送物品 時’使升降台在與晶圓載入機之間形成升降，並朝緩衝器 -11 - 1322791 do) 了檢查裝置20以外，需要高通量的處理裝置23。因此對檢 查裝置20設置局部輸送路線8a、天車12a及緩衝器14a，對 ' 處理裝置23配置2台天車12b、12c;和2個局部輸送路線8b • 、8c:及緩衝器14b、14c。爲了防止天車12b、12c互相干 涉，以邊界15分隔局部輸送路線8b、8c。在上述場合中， 可由單一區控制器來控制天車1 2a~c，或者亦可將區域內 輸送路線6隔成局部輸送路線8 a附近、局部輸送路線8b附 ® 近及局部輸送路線8c附近的3個部分，並分別設置個自的 區控制器。 第6圖中，是顯示對應區域內輸送路線之運轉軌道7與 對應局部輸送路線的運轉軌道9，變更運轉軌道7、9之高 度的實施例。將運轉軌道7提高至高於運轉軌道9 一定値以 上的高度，即使升降驅動部35從運轉於運轉軌道9的天車 12進入緩衝器14的上部，也不會與運轉於運轉軌道7的天 車10產生干涉。因此，只需使從天車12側進入緩衝器14上 B 之部份的上面，在本實施例中爲升降驅動部35的上面，位 在低於天車10所搬運之物品40 a的底面即可。第6圖的實施 例，其他的部份與第1~4圖及第5圖的變形例相同。 在第6圖的實施例中，即使來自於天車12的升降驅動 部35朝緩衝器14上形成橫向移動，也不會與天車10所搬運 的物品40a產生干涉。因此，當天車12在與緩衝器]4間遞 送以虛線所表示的物品4〇c時，天車10可運轉於運轉軌道7 。天車10、12均可與緩衝器14間遞送物品，天車12可與緩 衝器14及晶圓載入機24之間遞送物品。40b爲天車12在與 -13- (11) 1322791 晶圓載入機之間所遞送的物品，而40c爲緩衝器14上的物 品0 ' 【圖式簡單說明】 第1圖爲顯示實施例之天車系統佈局的重點部位俯視 圖。 第2圖爲實施例之天車系統的重點前視圖，其中顯示2 Φ 種天車、緩衝器及晶圓載入機。 第3圖爲實施例之天車系統的重點前視圖，其中顯示 晶圓載入機與緩衝器的位置關係》

I 第4圖顯示實施例的天車系統所採用之區控制器的區 塊圖。 第5圖爲顯示變形例之天車系統佈局的重點部位俯視 圖。 第6圖顯示第2實施例之天車系統的重點前視圖。 【主要元件符號說明】 2 天車系統 4 跨區域輸送路線（interbayroute) 5 分歧匯流部 6 區域內輸送路線（intrabayroute) 8 局部輸送路線（localroute) 7 ' 9 運轉軌道 10' 12 天車 -14- (12)1322791

14 緩衝器 15 邊界 16 區控制器（zone controller) 18 系統控制器 20 檢查裝置 22、23 處理裝置 24、2 6 晶圓載入機（Load Port) 28 供電線 30 電源 32 ' 33 運轉驅動部 34、3 5 升降驅動部 36、37 升降台 3 8 夾頭 40 匣 42 橫送部 43 承載物檢測感應器 44 懸吊構件 46 懸吊螺栓 50 區域網路介面 5 1 ' 52 台車通訊部 54 CPU 56、58 搬運控制部 60 緩衝器管理部 A~P 位址 -15-

Claims (1)

1322791 修(更)正替換頁 1 (1) 十、申請專利範園 第94 1 3 1 1 32號專利申請# 中文申請專利範圍修正本 民國98年12月25日修正 1· 一種搬運台車系統，使具備有用來使升降台升降的 升降驅動部的第1天車，沿著第1運轉軌道運轉；並且沿著 上述第1運轉軌道配置複數設備，在上述複數設備之間藉 由上述第1天車搬運物品的搬運台車系統，其特徵爲： 在設備附近局部性地，與上述第1運轉軌道平行且 在較上述第1運轉軌道更靠近設備處，設置第2運轉軌道， 使第2天車沿著上述第2運轉軌道運轉；該第2天車具備有 :使升降台升降的升降驅動部、及在相對於第2運轉軌道 成直角的方向進行橫向移送的橫向移送機構， 並且藉由在上述第1運轉軌道正下方，設置有：可自 由收納複數個物品的緩衝器， 上述第1天車，藉由升降台的升降而與上述緩衝器之 間收授物品， 上述第2天車，藉由升降驅動部的橫向移送與升降台 的升降，在上述緩衝器與設備之間收授物品。