JP2022121017A - 建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法 - Google Patents

Abstract

【課題】天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レールを設置でき、工期を短縮でき、天井搬送レールの軌道修正や精度の高い位置調整を効率よく簡単な作業により行え、装置レイアウトの変更を容易に行える。【解決手段】建物の躯体天面に吊り下げられた下地フレーム１１によって支持された天井パネル１２を備えた吊り天井１０と、下地フレーム１１に支持され第２方向Ｙに延び第１方向Ｘに間隔をあけて設けられる複数のサイドバー３と、天井搬送レール２を上方から連結した状態でユニット化して第１方向Ｘに延びるユニットフレーム４と、を備え、ユニットフレーム４は、複数のサイドバー３の上側に位置し、第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び上下方向Ｚに移動可能に設けられ、位置調整された所定位置でサイドバー３に対して吊り下げられた状態で支持された構成の建物内天井搬送システムを提供する。【選択図】図１

Description

本発明は、建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法に関する。

従来、半導体工場におけるクリーンルームでは、半導体装置同士の間をウェハーが移動する際に収納される保管部を天井面に設置した天井搬送レールを軌道にして自動搬送する天井搬送設備が知られている。

ここで、クリーンルーム等の建物の天井として、吊り天井が多用されている。このような吊り天井は、水平の一方向に所定の間隔をあけて並設される複数の野縁と、野縁に直交し、水平の他方向に所定の間隔をあけて並設され、複数の野縁に一体に接続して設けられる複数の野縁受けと、下端を野縁受けに接続し、上端を上階の床材等の上部構造（建物躯体）に固着して配設される複数の吊りボルト（吊り部材）と、野縁の下面にビス留めなどによって一体に取り付けられ、下階の天井面を形成する天井パネルと、を備えて構成されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１３－１７７８０１号公報

しかしながら、特許文献１に示されるような従来の天井構造に対する天井搬送設備の設置方法では、以下のような問題があった。
すなわち、従来の天井搬送レールは、天井パネルに設置したり、天井パネルの下地材等天井フレームの躯体天面に対して天井搬送レール専用の吊り元を別に設置している。そのため、天井搬送設備を設置する施工は、天井パネルや専用の吊り元の施工が完了した後で開始することとなり、工期が長くなるという問題があった。例えば、上述したように半導体工場におけるクリーンルームに採用される場合には、半導体装置の稼働時期が天井搬送設備の完成よりも早くなるケースがある。つまり、天井搬送設備が完成するまでの間は、作業員が台車等で搬送を行う対応となり生産効率が低下することから、その点で改善の余地があった。

また、従来の場合の施工では、半導体装置に対する保管部の設置位置に高い精度が要求されることから、天井搬送設備の天井搬送レールの設置にも高い精度が必要となっている。そのため、吊り元となる天井フレームと吊りボルトの位置関係により天井搬送レールの精度を出すことから、位置調整に多大な時間を要している。しかも、天井搬送レールの施工と同時に位置調整の作業を行う必要があることから、１工程の作業に要する時間の短縮が困難となっていた。

また、半導体工場の天井搬送設備の場合には、半導体装置の装置レイアウトが変更されることが多く、そのレイアウト変更に合わせてレール軌道の修正と精密な調整が必要となっていた。すなわち、天井搬送レールの位置を変更するためには天井フレームに取り付けたレースウェイの固定ボルトを緩め、位置調整後に改めてすべてを締め直して固定する必要がある。
さらに、大幅なレイアウト変更となる場合には、レースウェイそのものから取り外して対応する必要があり、調整作業を含め、より大規模な工事が必要になるという問題があった。

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レールを設置することができ、工期を短縮できる建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法を提供することを目的とする。
また、本発明の別の目的は、天井搬送レールの軌道修正や精度の高い位置調整を効率よく簡単な作業により行うことができる建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法を提供することである。
さらにまた、本発明の別の目的は、装置レイアウトの変更を容易に行うことができる建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法を提供することである。

上記目的を達成するため、本発明に係る建物内天井搬送システムは、建物の躯体天面に物品を搬送するための天井搬送レールを備えた建物内天井搬送システムであって、前記躯体天面に支持され前記天井搬送レールの延在方向である第１方向に直交する第２方向に延び前記第１方向に間隔をあけて設けられる複数のサイドバーと、前記天井搬送レールを上方から連結した状態でユニット化して前記第１方向に延びるユニットフレームと、を備え、前記ユニットフレームは、前記複数のサイドバーに対して前記第１方向、前記第２方向、及び上下方向に移動可能に設けられ、位置調整された所定位置で前記サイドバーに対して吊り下げられた状態で支持されていることを特徴としている。

また、本発明に係る建物内天井搬送レールの施工方法は、建物の躯体天面に物品を搬送するための天井搬送レールを設置する建物内天井搬送レールの施工方法であって、前記躯体天面に支持され前記天井搬送レールの第１方向に直交する第２方向に延び前記第１方向に間隔をあけて複数のサイドバーを設ける工程と、前記天井搬送レールに対して前記第１方向に延びるユニットフレームによって上方から連結した状態でユニット化した搬送レールユニットを設ける工程と、前記天井搬送レールを備えた前記ユニットフレームを、前記複数のサイドバーの上側に配置して前記第１方向、前記第２方向、及び上下方向に移動させることで位置調整し、所定位置で前記サイドバーに対して吊り下げられた状態で支持する工程と、を有することを特徴としている。

本発明では、天井搬送レールをユニット化したユニットフレームを吊り下げた状態で支持するサイドバーが躯体天面に支持されることから、躯体天面の施工が完成した段階で、その躯体天面に対してサイドバーを取り付け、ユニットフレームとともに天井搬送レールを施工することができる。そのため、天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レールを設置することができる。すなわち、専用の吊り元や天井パネルの完成前に天井搬送レールを施工することができ、工期を短縮できる。

また、本発明では、複数のサイドバーに対して案内可能な状態でユニットフレームが配置されるため、サイドバーに対してユニットフレームを第１方向及び第２方向に容易に移動させることができ、かつ上下方向にも移動させることが可能となる。このように、ユニットフレームを効率よく簡単な作業により高い精度で位置調整を行うことができ、工期の短縮を図ることができる。

また、本発明では、軽微な装置レイアウトの変更の場合には、ユニットフレームにおけるサイドバーに対する固定を解除することで、ユニットフレームを第１方向、第２方向、及び上下方向の位置を調整することができる。また、サイドバーに対するユニットフレームの移動範囲を超えた大幅なレイアウト変更を行う場合であっても、天井搬送レールの施工を前倒しすることによって装置レイアウトの変更にかかる工事期間をより長く確保することができる。このように本発明では、装置レイアウト変更に対する高い追従性をもたせることができる。

さらに、本発明では、サイドバーを躯体の天井や天井空間である躯体天面に対して設ける構成であるので、従来のように天井パネルや専用の吊り元に天井搬送レールを設ける場合に比べて、サイドバーを上下方向の任意の高さに設置することができる。そのため、例えば、天井懐のデッドスペースがある場合に、このデッドスペースにサイドバーと天井搬送レールを配置することも可能となり、スペースを有効的に利用できる。

また、本発明に係る建物内天井搬送システムは、前記躯体天面には、吊り下げられた下地フレームによって支持された天井パネルを備えた吊り天井が設けられ、前記サイドバーは、前記下地フレームに支持されていることを特徴としてもよい。

この場合には、サイドバーが躯体天面である下地フレームに支持されているので、下地フレームの施工が完成した段階で、その下地フレームに対してサイドバーの取り付け作業を行うことができる。そのため、サイドバーにユニットフレームを介して天井搬送レールを施工することができ、下地フレームに設けられる天井パネルの完成前に天井搬送レールの施工を行うことができ、工期を短縮することができる。

また、本発明に係る建物内天井搬送システムは、前記サイドバーには、前記躯体天面に対する上下方向の高さを調整する高さ調整部材が設けられていることを特徴としてもよい。

この場合、ユニットフレームをサイドバーに対して吊り下げて支持させる際に、ユニットフレームの上下方向の位置を、高さ調整部材を使用して容易に調整することができる。

また、本発明に係る建物内天井搬送システムは、前記ユニットフレームは、水平面内で枠状に形成されていることを特徴としてもよい。

この場合には、複数のサイドバーに対して枠状のユニットフレームが安定した姿勢で載置されるので、ユニットフレームを位置調整する際にサイドバーに案内させることで精度よく移動させることができる。

また、本発明に係る建物内天井搬送システムは、前記サイドバーは、上下方向に複数段に設けられ、下段側のサイドバーは、直上の上段側のサイドバー、又は前記躯体天面からガイド吊り材によって吊り下げられ、前記下段側のサイドバーには、前記天井搬送レールが設けられていることを特徴としてもよい。

この場合には、天井搬送レールを上下方向に複層化することが可能となる。
また、上述したように、天井懐のデッドスペースにサイドバーと天井搬送レールを配置して天井搬送レールを複層化する場合には、従来のように上段の天井搬送レールの位置まで天井パネルを上げて天井パネルを設置する必要がなくなるため、階高の増大を抑えることができる。

また、本発明に係る工場内天井搬送システムの施工方法は、前記建物の躯体天面に下地フレームを吊り下げ、前記下地フレームに支持された天井パネルを備えて吊り天井を設ける工程を有し、前記下地フレームに前記複数のサイドバーを設けるようにしてもよい。

また、本発明に係る工場内天井搬送システムの施工方法は、前記搬送レールユニットを搭載可能で、床上を走行可能な運搬用台車が設けられ、前記運搬用台車によって前記搬送レールユニットが設置位置の前記サイドバーの下方に搬送されることを特徴としてもよい。

この場合には、搬送レールユニットを天井の所定位置に設置する際に、運搬用台車に搬送レールユニットを搭載して搬送することができ、設置位置のサイドバーの下方に容易に搬送できるので、施工効率を向上することができる。

本発明の建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法によれば、天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レールを設置することができ、工期を短縮できる。
また、本発明によれば、天井搬送レールの軌道修正や精度の高い位置調整を効率よく簡単な作業により行うことができる。
さらに、本発明によれば、装置レイアウトの変更を容易に行うことができる。

本発明の第１実施形態による建物内天井搬送システムの構成を示す側面図である。 搬送レールユニットをサイドバーに組み付ける施工状態を示す斜視図である。 搬送レールユニットを運搬用台車を使用して搬送している状態を示す斜視図である。 運搬用台車の構成を示す斜視図である。 搬送レールユニットの位置調整方法を示す斜視図であって、（ａ）は移動前の図、（ｂ）は第２方向Ｙに移動させた状態を示す図、（ｃ）は第１方向Ｘに移動させた状態を示す図である。 第２実施形態による建物内天井搬送システムの構成を示す側面図である。

以下、本発明の実施形態による建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法について、図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
本実施形態による建物内天井搬送システム１は、図１に示すように、クリーンルーム等の半導体工場（建物）の天井に採用され、建物の天井に物品（ここでは、ウェハー）が収容された収容部２Ａを搬送するための天井搬送レール２を備えた自動搬送設備である。

建物内天井搬送システム１、建物の不図示の天井（躯体天面）に吊り下げられた下地フレーム１１によって支持された天井パネル１２を備えた吊り天井１０と、下地フレーム１１に支持され天井搬送レール２の延在方向である第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙに延び第１方向Ｘに間隔をあけて設けられる複数のサイドバー３と、天井搬送レール２を上方から連結した状態でユニット化して第１方向Ｘに延びるユニットフレーム４と、を備えている。

ここで、本実施形態の天井搬送レール２は、半導体装置のレイアウトによって適宜な配置に設置されるものであり、天井搬送レール２の延在方向を示す第１方向X（第２方向Yも同様）は特定の向きであることに限定されない。また、天井搬送レール２は、半導体装置のレイアウト変更に合わせて変更可能に設けられている。
また、躯体天面とは、躯体の天井、天井空間、天井空間に設けられた下地材等を含めた領域をいう。

吊り天井１０は、躯体天面から吊り下げられた複数の吊り部材１３と、吊り部材１３を介して支持される野縁受けや野縁からなる下地フレーム１１と、下地フレーム１１の下方に取り付けられた天井パネル１２と、を有している。

吊り部材１３は、例えばＬ型鋼材などの上下方向に延びる長尺部材が採用され、上端部が躯体天面に定着されて垂下され、下端部が連結治具等を用いて下地フレーム１１に接続している。吊り部材１３は、横方向に所定の間隔をあけて配置されている。

下地フレーム１１は、水平面内で縦横に所定の間隔をあけて平行に延設されている。下地フレーム１１の下側には、接続治具１４や吊りボルト１５を使用して天井パネル１２が吊り下げられた状態で設けられている。

天井パネル１２は、上述したように複数の下地フレーム１１に対して接続治具１４や吊りボルト１５を介して天井面を形成している。
本実施形態の天井パネル１２は、天井搬送レール２が配置される領域において、天井面が高くなるように凹状部１２Ａが形成されている。ここで、凹状部１２Ａは、天面部１２１と、互いに対向する内側面部１２２と、を有している。

天井搬送レール２は、図１乃至図３に示すように、下側に開口する凹断面で一方向（第１方向Ｘ）に延在し、物品を収容し保持可能な収容部２Ａを案内する。天井搬送レール２は、図３に示すように、天壁２１と、両側壁２２と、から形成されている。
両側壁２２の外面上部には、第２方向の外側に張り出した凸部２３が天井搬送レール２の長さ方向に所定間隔をあけて設けられている。複数の凸部２３は、天井搬送レール２において同じ高さに配置されている。そして、凸部２３の上面２３ａには、後述する上下昇降部材４３の下端が固定される。天井搬送レール２は、上述したようにユニットフレーム４とともにユニット化されて一体的に設けられている。

サイドバー３は、図１に示すように、例えばレースウェイ、Ｈ形鋼、Ｌ形鋼、溝型鋼等の長尺の鋼材が採用され、平面部分（被摺動面３ａ）を上に向けた状態で配置されている。サイドバー３は、天井パネル１２の凹状部１２Ａ内において、第２方向Ｙに延在するように配置され、吊りボルト１５によって下地フレーム１１から吊り下げられている（図２参照）。サイドバー３は、凹状部１２Ａの天面部１２１に寄りの高さに不図示の高さ調整部材を使用して配置され、サイドバー３に吊り下げられた天井搬送レール２の下端２ａが天井パネル１２の下面１２ａより上方に位置するように高さが決定されている。
第２方向Ｙに延びるサイドバー３は、１つの天井搬送レール２（ユニットフレーム４）に対して複数本が第１方向Ｘに間隔をあけて設けられている。

ユニットフレーム４は、図２に示すように、複数のサイドバー３の上面である被摺動面３ａに載置させた状態で位置し、第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び上下方向Ｚに移動可能に設けられ、位置調整された所定位置でサイドバー３に対して吊り下げられた状態で支持されている。ユニットフレーム４は、図３に示すように、例えばレースウェイ、Ｈ形鋼、Ｌ形鋼、溝型鋼等の長尺の鋼材からなり、水平面内で枠状に形成されている。

具体的にユニットフレーム４は、図３に示すように、間隔をあけて平行に配置される一対の縦部材４１と、縦部材４１同士を連結する３本の横部材４２と、を有している。ユニットフレーム４は、縦部材４１を天井搬送レール２の長手方向（第１方向Ｘ）と平行にして、後述する上下昇降部材４３を介して天井搬送レール２とともにユニット化されている。ここで、天井搬送レール２に対して第１方向Ｘに延びるユニットフレーム４によって上方から連結した状態でユニット化したものを搬送レールユニット４０とする。

ユニットフレーム４は、図３に示すように、天井搬送レール２の左右両側から上方に突出した上下昇降部材４３に固定されている。上下昇降部材４３は、天井搬送レール２とユニットフレーム４との間において上下方向Ｚの長さを調整して固定可能に設けられている。上下昇降部材４３は、ボルト材であり、ユニットフレーム４に形成されるボルト穴（図示省略）を使用してナット（図示省略）を締結することでユニットフレーム４に固定する構成とすることができる。そして、上下昇降部材４３に対してナットの位置を調整することで、天井搬送レール２とユニットフレーム４との離間、すなわち双方の高さを調整することができる。

図３及び図４に示すように、搬送レールユニット４０をサイドバー３に組み付ける施工時には、搬送レールユニット４０を搭載可能で、床上を走行可能な運搬用台車５が使用される。運搬用台車５は、車輪５１を有する走行台５２と、走行台５２の左右から上方に立設された一対の支柱５３と、これら支柱５３の上端同士を連結して第２方向Ｙに延びる載置横材５４と、を備えている。支柱５３は、一対の斜め支持材５５によって走行台５２に支持されている。載置横材５４にはユニットフレーム４が載置される。図３に示すように、複数（ここでは３台）の運搬用台車５を第１方向Ｘに並べて使用することで、長尺な搬送レールユニット４０を搬送することができる。

次に、上述した建物内天井搬送システム１の天井搬送レール２を設置する施工方法について、図面を用いて具体的に説明する。
先ず、図１に示すように、建物の躯体天面に吊り下げられた下地フレーム１１によって支持された天井パネル１２を備えた吊り天井１０を設ける。そして、本実施形態では、下地フレーム１１の設置が完了したタイミングで、下地フレーム１１にサイドバー３を設ける作業を開始する。

図２に示すように、下地フレーム１１に複数の吊りボルト１５を設け、これら吊りボルト１５を使用して複数のサイドバー３を所定高さで水平方向に延びるように設ける。このときのサイドバー３は、天井搬送レール２の第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙに延び第１方向Ｘに間隔をあけて配置される。なお、吊りボルト１５は、天井パネル１２を吊り下げ支持するために使用されるが、サイドバー３を設置する部分の吊りボルト１５を先行して施工するようにしてもよい。

次に、上記作業と並行して、図３に示すように、天井搬送レール２に対して第１方向Ｘに延びるユニットフレーム４によって上方から連結した状態でユニット化した搬送レールユニット４０を形成しておく。搬送レールユニット４０は、天井搬送レール２の左右両側の側壁２２に第１方向Ｘに間隔をあけて複数の凸部２３を取り付け、この凸部２３の上面に対して上下昇降部材４３を介してユニットフレーム４を固定することにより一体的に組み立てられる。
そして、一体化された搬送レールユニット４０は、複数の運搬用台車５に搭載し、床上を走行させて搬送レールユニット４０を設置する位置のサイドバー３の下方まで搬送される。

その後、図３に示すように、搬送レールユニット４０を複数の運搬用台車５から取り外し、高所作業車６を使用して搬送レールユニット４０をユニットフレーム４が複数のサイドバー３の上側となるように上昇させ、これらサイドバー３の上面（被摺動面３ａ）上にユニットフレーム４を載置した状態で配置する。
なお、搬送レールユニット４０を運搬用台車５に取り付けた状態のまま、サイドバー３上に配置する施工であってもよい。

続いて、図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、搬送レールユニット４０の位置調整を行う。具体的には、図５（ｃ）に示すように第１方向Ｘ、及び図５（ｂ）に示すように第２方向Ｙへの位置調整は、サイドバー３の被摺動面３ａ上をユニットフレーム４を摺動させて調整する。そして、図５（ａ）に示すように上下方向Ｚの位置調整は、上下昇降部材４３の不図示のナットの位置を調整することで位置調整する。搬送レールユニット４０は、所定位置でサイドバー３に対して所定の固定手段によって固定されて吊り下げられた状態で支持される。
これによって、天井搬送レール２の設置が完了となる。なお、天井搬送レール２は、所定の長さに設定されたものであるので、第１方向Ｘを適宜な方向に向けて連結されることにより施工される。

次に、上述した建物内天井搬送システム１、及び建物内天井搬送レールの施工方法の作用について、図面に基づいて詳細に説明する。
本実施形態では、図４に示すように、天井搬送レール２をユニット化したユニットフレーム４を吊り下げた状態で支持するサイドバー３が吊り天井１０の下地フレーム１１に支持されることから、下地フレーム１１の施工が完成した段階で、その下地フレーム１１に対してサイドバー３の取り付け作業を行って、ユニットフレーム４とともに天井搬送レール２を施工することができる。
そのため、天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レール２を設置することができる。すなわち、専用の吊り元や天井パネルの完成前に天井搬送レール２を施工することができ、工期を短縮できる。

また、本実施形態では、複数のサイドバー３に対して案内可能な状態でユニットフレーム４が配置されるため、サイドバー３の上面の被摺動面３ａに案内させることでユニットフレーム４を図５（ｃ）に示す第１方向Ｘ及び図５（ｂ）に示す第２方向Ｙに容易に移動させることができ、かつ図５（ｃ）に示す上下方向Ｚにも移動させることが可能となる。このように、ユニットフレーム４を効率よく簡単な作業により高い精度で位置調整を行うことができ、工期の短縮を図ることができる。

また、本実施形態では、軽微な装置レイアウトの変更の場合には、ユニットフレーム４におけるサイドバー３に対する固定を解除することで、ユニットフレーム４を第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び上下方向Ｚの位置を調整することができる。
また、サイドバー３に対するユニットフレーム４の移動範囲を超えた大幅なレイアウト変更を行う場合であっても、天井搬送レール２の施工を前倒しすることによって装置レイアウトの変更にかかる工事期間をより長く確保することができる。このように本実施形態では、装置レイアウト変更に対する高い追従性をもたせることができる。

さらに、本実施形態では、サイドバー３を躯体の天井や天井空間である躯体天面に対して設ける構成であるので、従来のように天井パネルや専用の吊り元に天井搬送レールを設ける場合に比べて、サイドバー３を上下方向Ｚの任意の高さに設置することができる。そのため、例えば、本実施形態のように天井懐のデッドスペースがある場合に、このデッドスペースにサイドバー３と天井搬送レール２を配置することも可能となり、スペースを有効的に利用できる。

また、本実施形態では、ユニットフレーム４をサイドバー３に対して吊り下げて支持させる際に、ユニットフレーム４の上下方向Ｚの位置を、サイドバー３に設けられる高さ調整部材（図示省略）を使用して容易に調整することができる。

さらに、本実施形態では、ユニットフレーム４が水平面内で枠状に形成され、複数のサイドバー３に対して枠状のユニットフレーム４が安定した姿勢で載置されるので、ユニットフレーム４を位置調整する際にサイドバー３の上面の被摺動面３ａに案内させることで精度よく移動させることができる。

また、本実施形態では、搬送レールユニット４０を天井の所定位置に設置する際に、運搬用台車５に搬送レールユニット４０を搭載して搬送することができ、設置位置のサイドバー３の下方に容易に搬送できるので、施工効率を向上することができる。

また、上述したように、天井パネル１２の施工前に天井搬送レール２を設置する工事に着工することができるので、本実施形態のような半導体製造工場の場合のように、半導体製造装置の稼働時期とほぼ同時期に天井搬送レール２の使用開始が可能となり、生産効率を向上させることができる。すなわち、半導体製造装置の稼働時には天井搬送レール２の施工を完了させることが可能なため、天井搬送レール２の施工と同時期に半導体製造装置を設置・稼働する場合のような施工に対する清浄度管理が不要となりクリーンルームの汚染対策を低減することができ、施工効率を向上することが可能となる。例えば、天井搬送レール２の施工が半導体製造装置設置・半導体製造と同時期とならないので、作業員は通常の作業着で施工することができ作業環境が向上し、また発塵防止措置が不要のため作業効率を重視した機材の使用が可能となり、さらに天井搬送レール２への養生材が一重で済み、開梱作業にかかる手間とコストを低減することができる。

なお、天井面の凹状部１２Ａに通気口を設けることで、その形状とクリーンルームと天井裏（天井チャンバー内）の圧力差を利用して天井搬送レール２をビーグルが通過した際の塵埃を効率的に天井裏に誘引しクリーンルームへの汚染を防止することができる。

上述のように本実施形態による建物内天井搬送システム１、及び建物内天井搬送レールの施工方法では、天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レール２を設置することができ、工期を短縮できる。
また、本実施形態では、天井搬送レール２の軌道修正や精度の高い位置調整を効率よく簡単な作業により行うことができる。
さらに、本実施形態では、装置レイアウトの変更を容易に行うことができる。

（第２実施形態）
図６に示すように、第２実施形態における建物内天井搬送システム１Ａは、搬送レールユニット４０を上下に２層化に配置した構成となっている。なお、上述した第１実施形態は、天井パネル１２より上方となる位置（凹状部１２Ａ）に１層の天井搬送レール２を設置した一例である。

第２実施形態における建物内天井搬送システム１Ａでは、サイドバー３が上下方向Ｚに２段で設けられている。下段側サイドバー３Ｂは、直上の上段側サイドバー３Ａにガイド吊り材３１によって吊り下げられている。

上段側サイドバー３Ａには、ユニットフレーム４に天井搬送レール２がユニット化された搬送レールユニット４０が設けられている。下段側サイドバー３Ｂは、上段側サイドバー３Ａに設けられる搬送レールユニット４０で搬送する収容部２Ａ（物品）より低い位置に配置されている。下段側サイドバー３Ｂには、天井搬送レール２が固定されている。下段側の天井搬送レール２は、ユニットフレーム４を設けずに、固定具２４を介して下段側サイドバー３Ｂに吊り下げられている。

第２実施形態の場合には、天井搬送レール２を上下方向Ｚに複層化することが可能となる。また、本実施形態のように、天井懐のデッドスペースに上段側サイドバー３Ａと天井搬送レール２を配置して天井搬送レール２を複層化する場合には、従来のように上段の天井搬送レールの位置まで天井パネルを上げて天井パネルを設置する必要がなくなるため、階高の増大を抑えることができる。

また、第２実施形態では、天井パネル１２にクリーンルーム内に吹き出す空調機７１が設けられ、凹状部１２Ａの天面部１２１の左右中央に排気口７２を設けている。排気口７２の位置は上段の天井搬送レール２の上部に位置している。これにより、空調機７１より吹き出された空気Ｅが排気口７２側に向けて流れることから、天井搬送レール２を収容部２Ａが走行する際に発生した塵埃Ｆを天井チャンバー１６内に誘引し、クリーンルームへの汚染を防止することができ、クリーンルーム内の清浄度を保つことができる。
なお、排気口７２の取り付け位置は、本実施形態では天井搬送レール２の上部としているが、この位置に限定されることはなく、例えば凹状部１２Ａの側面に配置することも可能である。

以上、本発明による建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

例えば、本実施形態では、躯体天面に吊り天井１０を設け、釣り天井１０の下地フレーム１１に対してサイドバー３を支持させた構成としているが、吊り天井１０が設けられる構成に限定されることはない。例えば、サイドバー３を直接、躯体天面に設ける構成であってもよい。

また、本実施形態では、ユニットフレーム４を複数のサイドバー３の上側に載置した状態で第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び上下方向Ｚに移動可能に設けられているが、サイドバー３の上側にユニットフレーム４を設けることに限定されることはない。例えば、サイドバー３の下側にユニットフレーム４を設けて、サイドバー３の下面に沿って案内させることで第１方向Ｘ及び第２方向に移動可能な構成としてもよい。

また、本実施形態では、ユニットフレーム４（搬送レールユニット４０）の上下方向Ｚの高さ調整方法として、ユニットフレーム４と天井搬送レール２との間に設けられる上下昇降部材４３で行う構成としているが、このような上下昇降部材４３による高さ調整方法に限定されることはない。例えば、下地フレーム１１からサイドバー３を吊り下げる吊りボルト１５のボルト固定位置を調整することにより、サイドバー３自体の高さを調整する方法としてもよい。

また、ユニットフレーム４として、本実施形態では水平面内で枠状に形成された構成としているが、ユニットフレーム４の大きさ、形状等の構成はとくに限定されることはなく、天井搬送レール２の形状等に対応して適宜設定することができる。

さらに、本実施形態では、搬送レールユニット４０をサイドバー３に設置する際に、運搬用台車５に搬送レールユニット４０を搭載して床上を走行し、サイドバー３の下方に配置した後に、高所作業車６によって搬送レールユニット４０のユニットフレーム４をサイドバー３に載置する作業を行っているが、運搬用台車５を使用することに制限されることはない。また、高所作業車６でなく、足場を設置して施工するようにしてもかまわない。

また、天井搬送レール２の長さ、サイドバー３の本数、形状、配置間隔等は、適宜変更可能である。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。

１、１Ａ 建物内天井搬送システム
２ 天井搬送レール
２Ａ 収容部
２ａ 下端
３ サイドバー
３ａ 被摺動面
４ ユニットフレーム
５ 運搬用台車
１０ 吊り天井
１１ 下地フレーム
１２ 天井パネル
１２ａ 下面
１２Ａ 凹状部
１３ 吊り部材
２３ 凸部
４０ 搬送レールユニット
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向
Ｚ 上下方向

Claims (8)

1. 建物の躯体天面に物品を搬送するための天井搬送レールを備えた建物内天井搬送システムであって、
   前記躯体天面に支持され前記天井搬送レールの延在方向である第１方向に直交する第２方向に延び前記第１方向に間隔をあけて設けられる複数のサイドバーと、
   前記天井搬送レールを上方から連結した状態でユニット化して前記第１方向に延びるユニットフレームと、
   を備え、
   前記ユニットフレームは、前記複数のサイドバーに対して前記第１方向、前記第２方向、及び上下方向に移動可能に設けられ、位置調整された所定位置で前記サイドバーに対して吊り下げられた状態で支持されていることを特徴とする建物内天井搬送システム。
2. 前記躯体天面には、吊り下げられた下地フレームによって支持された天井パネルを備えた吊り天井が設けられ、
   前記サイドバーは、前記下地フレームに支持されていることを特徴とする請求項１に記載の建物内天井搬送システム。
3. 前記サイドバーには、前記躯体天面に対する上下方向の高さを調整する高さ調整部材が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の建物内天井搬送システム。
4. 前記ユニットフレームは、水平面内で枠状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の建物内天井搬送システム。
5. 前記サイドバーは、上下方向に複数段に設けられ、
   下段側のサイドバーは、直上の上段側のサイドバー、又は前記躯体天面からガイド吊り材によって吊り下げられ、
   前記下段側のサイドバーには、前記天井搬送レールが設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の建物内天井搬送システム。
6. 建物の躯体天面に物品を搬送するための天井搬送レールを設置する建物内天井搬送レールの施工方法であって、
   前記躯体天面に支持され前記天井搬送レールの延在方向である第１方向に直交する第２方向に延び前記第１方向に間隔をあけて複数のサイドバーを設ける工程と、
   前記天井搬送レールに対して前記第１方向に延びるユニットフレームによって上方から連結した状態でユニット化した搬送レールユニットを設ける工程と、
   前記天井搬送レールを備えた前記ユニットフレームを、前記複数のサイドバーに対して前記第１方向、前記第２方向、及び上下方向に移動させることで位置調整し、所定位置で前記サイドバーに対して吊り下げられた状態で支持する工程と、
   を有することを特徴とする建物内天井搬送レールの施工方法。
7. 前記建物の躯体天面に下地フレームを吊り下げ、前記下地フレームに支持された天井パネルを備えて吊り天井を設ける工程を有し、
   前記下地フレームに前記複数のサイドバーを設けるようにしたことを特徴とする請求項６に記載の建物内天井搬送レールの施工方法。
8. 前記搬送レールユニットを搭載可能で、床上を走行可能な運搬用台車が設けられ、
   前記運搬用台車によって前記搬送レールユニットが設置位置の前記サイドバーの下方に搬送されることを特徴とする請求項６又は７に記載の建物内天井搬送レールの施工方法。
   

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