JP2001345365A - ウェハ移載装置、及びこれを構成する装置ユニットの接続構造 - Google Patents
ウェハ移載装置、及びこれを構成する装置ユニットの接続構造Info
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- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/139—Associated with semiconductor wafer handling including wafer charging or discharging means for vacuum chamber
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ウェハ移載装置を構成する装置ユニットを接続
させて、多数の処理工程を必要とするウェハに対応でき
るようにすることである。 【解決手段】増設ユニットのチャンバに、既設側の標準
ユニットのチャンバに接続させるための接続部Ｅを設け
ると共に、前記増設ユニットを構成するベースプレート
４’に取付けられた一対のガイドレール６’の取付位置
が微調整できるようにする。
させて、多数の処理工程を必要とするウェハに対応でき
るようにすることである。 【解決手段】増設ユニットのチャンバに、既設側の標準
ユニットのチャンバに接続させるための接続部Ｅを設け
ると共に、前記増設ユニットを構成するベースプレート
４’に取付けられた一対のガイドレール６’の取付位置
が微調整できるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の装置ユニッ
トが直列状態で接続可能であるウェハ移載装置、及び前
記装置ユニットの接続構造に関するものである。
トが直列状態で接続可能であるウェハ移載装置、及び前
記装置ユニットの接続構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェハ移載装置は、装置単体で設
備されている。このため、例えば試作品のように、多数
の処理工程を必要とするウェハを少量だけ生産する場
合、図１２に示されるように、複数基のウェハ移載装置
を並列状態に設置していた。このような場合、最初のウ
ェハ移載装置Ａ’のウェハ処理部１で所定の処理がされ
たウェハを、別のウェハ移載装置Ａ”に搬送させるため
の手段が必要であり、通常、無人搬送車５１が使用され
ている。このため、次に示す不具合が存している。 （１）すべてのウェハＵに対して、最初のウェハ移載装
置Ａ’での処理が終了しないと、別のウェハ移載装置
Ａ”へ搬送させることができない。しかも、最初のウェ
ハ移載装置Ａ’のウェハ処理部１において処理が終了し
たウェハＵを、無人搬送車５１により、いちいち搬送さ
せなければならない。このため、すべてのウェハＵに所
定の処理を施すために長時間を要している。特に試作品
のように、少量だけ生産される半導体に対して多数の工
数を必要とするため、全体の作業効率が低下する。
（２）ウェハが搬送されている間、最初のウェハ移載装
置Ａ’内で処理途中のウェハが長時間放置されると、該
ウェハに塵埃が付着したり、酸化したりするおそれがあ
る。（３）無人搬送車５１の保守、点検が必要である。
備されている。このため、例えば試作品のように、多数
の処理工程を必要とするウェハを少量だけ生産する場
合、図１２に示されるように、複数基のウェハ移載装置
を並列状態に設置していた。このような場合、最初のウ
ェハ移載装置Ａ’のウェハ処理部１で所定の処理がされ
たウェハを、別のウェハ移載装置Ａ”に搬送させるため
の手段が必要であり、通常、無人搬送車５１が使用され
ている。このため、次に示す不具合が存している。 （１）すべてのウェハＵに対して、最初のウェハ移載装
置Ａ’での処理が終了しないと、別のウェハ移載装置
Ａ”へ搬送させることができない。しかも、最初のウェ
ハ移載装置Ａ’のウェハ処理部１において処理が終了し
たウェハＵを、無人搬送車５１により、いちいち搬送さ
せなければならない。このため、すべてのウェハＵに所
定の処理を施すために長時間を要している。特に試作品
のように、少量だけ生産される半導体に対して多数の工
数を必要とするため、全体の作業効率が低下する。
（２）ウェハが搬送されている間、最初のウェハ移載装
置Ａ’内で処理途中のウェハが長時間放置されると、該
ウェハに塵埃が付着したり、酸化したりするおそれがあ
る。（３）無人搬送車５１の保守、点検が必要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した不
具合に鑑み、ウェハ移載装置を構成する装置ユニットど
うしが、簡単に接続できるようにすることを課題として
いる。
具合に鑑み、ウェハ移載装置を構成する装置ユニットど
うしが、簡単に接続できるようにすることを課題として
いる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、複数の装置ユニットが直列状態で接続可能
となって、自身に移載したウェハをウェハ移載ロボット
により水平搬送して、更に別の装置に移載させるための
ウェハ移載装置であって、各装置ユニットを構成するチ
ャンバの内壁面には、前記ウェハ移載ロボットを水平移
動させるリニアモータのレールが水平に取付けられ、前
記チャンバの開口には、チャンバどうしを気密を保持し
て接続するための接続部が設けられ、各装置ユニット
は、それらのチャンバが前記接続部を介して接続される
ことにより互いに接続されて、各チャンバの内壁面のレ
ールは、レール位置を微調整する微調整装置により、真
直性を保持して接続されて成ることを特徴としている。
の本発明は、複数の装置ユニットが直列状態で接続可能
となって、自身に移載したウェハをウェハ移載ロボット
により水平搬送して、更に別の装置に移載させるための
ウェハ移載装置であって、各装置ユニットを構成するチ
ャンバの内壁面には、前記ウェハ移載ロボットを水平移
動させるリニアモータのレールが水平に取付けられ、前
記チャンバの開口には、チャンバどうしを気密を保持し
て接続するための接続部が設けられ、各装置ユニット
は、それらのチャンバが前記接続部を介して接続される
ことにより互いに接続されて、各チャンバの内壁面のレ
ールは、レール位置を微調整する微調整装置により、真
直性を保持して接続されて成ることを特徴としている。
【０００５】請求項１に記載の発明の場合、ウェハ移載
装置における既設の装置ユニットのチャンバに、別の装
置ユニットのチャンバが、接続部を介して直列状態で接
続される。各装置ユニットを構成するチャンバの内壁面
には、ウェハ移載ロボットを水平移動させるためのリニ
アモータのレールが水平に取付けられていて、前記チャ
ンバどうしが接続されるとき、微調整装置により、真直
性を保持して接続される。両装置ユニットは接続された
状態で、あたかも１台のウェハ移載装置として作動す
る。また、接続された装置ユニットは、簡単な操作で既
設の装置ユニットから分離させることができる。
装置における既設の装置ユニットのチャンバに、別の装
置ユニットのチャンバが、接続部を介して直列状態で接
続される。各装置ユニットを構成するチャンバの内壁面
には、ウェハ移載ロボットを水平移動させるためのリニ
アモータのレールが水平に取付けられていて、前記チャ
ンバどうしが接続されるとき、微調整装置により、真直
性を保持して接続される。両装置ユニットは接続された
状態で、あたかも１台のウェハ移載装置として作動す
る。また、接続された装置ユニットは、簡単な操作で既
設の装置ユニットから分離させることができる。
【０００６】請求項２に記載の発明の場合、各装置ユニ
ットには、チャンバに対してレールを少なくともチャン
バの幅方向に微調整可能な微調整装置が設けられてい
て、各チャンバが接続される際にレールの接続位置が微
調整されて接続される。このため、レールの接続部分に
おけるウェハ移載ロボットの走行がスムーズである。
ットには、チャンバに対してレールを少なくともチャン
バの幅方向に微調整可能な微調整装置が設けられてい
て、各チャンバが接続される際にレールの接続位置が微
調整されて接続される。このため、レールの接続部分に
おけるウェハ移載ロボットの走行がスムーズである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、実施例を挙げて本発明を更
に詳細に説明する。図１はウェハ移載装置の標準ユニッ
トＡ1 に、増設ユニットＡ2 が接続された状態の平面
図、図２は増設ユニットＡ2 の正面図、図３は同じく平
面断面図、図４は同じく側面図である。本明細書では、
ウェハ移載装置の既設側の標準ユニットＡ1 に、増設ユ
ニットＡ 2 を接続させる場合について説明する。そし
て、増設ユニットＡ2 を構成する部材であって、既設側
の標準ユニットＡ1 を構成する部材と対応するものに
は、同一の符号に「’」を付して説明する。最初に、既
設側の標準ユニットＡ1 、及び、増設ユニットＡ2 につ
いて説明し、次に、各ユニットＡ1,Ａ2 のチャンバ３，
３’どうしを接続させる構造、及び一対のガイドレール
６，６’どうしを接続させる構造について説明する。
に詳細に説明する。図１はウェハ移載装置の標準ユニッ
トＡ1 に、増設ユニットＡ2 が接続された状態の平面
図、図２は増設ユニットＡ2 の正面図、図３は同じく平
面断面図、図４は同じく側面図である。本明細書では、
ウェハ移載装置の既設側の標準ユニットＡ1 に、増設ユ
ニットＡ 2 を接続させる場合について説明する。そし
て、増設ユニットＡ2 を構成する部材であって、既設側
の標準ユニットＡ1 を構成する部材と対応するものに
は、同一の符号に「’」を付して説明する。最初に、既
設側の標準ユニットＡ1 、及び、増設ユニットＡ2 につ
いて説明し、次に、各ユニットＡ1,Ａ2 のチャンバ３，
３’どうしを接続させる構造、及び一対のガイドレール
６，６’どうしを接続させる構造について説明する。
【０００８】既設側の標準ユニットＡ1 について説明す
る。図１ないし図４に示されるように、この標準ユニッ
トＡ1 を構成する箱状のチャンバ３の内側には、ウェハ
移載ロボットＲが配設されている。チャンバ３の正面壁
３ａの外側には、複数基（本実施例の場合、３基）のロ
ードポート装置Ｌが取付けられていて、各ロードポート
装置Ｌの上面には、所定枚数のウェハＵが収納されたウ
ェハキャリアＣが設置されている。また、チャンバ３の
正面壁３ａの内側には、その長手方向に沿ってベースプ
レート４が縦方向に配設されていて、該ベースプレート
４にリニアモータＭの二次側固定子５が縦方向に取付け
られている。前記ベースプレート４には、一対のガイド
レール６が相上下して水平に取付けられていて、各ガイ
ドレール６に装着されたガイドブロック７には、ウェハ
移載ロボットＲを固定するロボットベース８が取付けら
れている。そして、前記ロボットベース８において、リ
ニアモータＭの二次側固定子５と相対向する部分には、
リニアモータＭの一次側移動子９が取付けられている。
この結果、リニアモータＭを駆動させることにより、前
記ウェハ移載ロボットＲが一対のガイドレール６にガイ
ドされ、チャンバ３の長手方向に沿って往復直線移動す
る。このウェハ移載ロボットＲは、その上面に設けられ
たウェハ移載用フォーク１１により、ウェハキャリアＣ
に収納されたウェハＵを１枚ずつ取り出して自身に移載
させ、その状態で水平搬送し、ウェハ処理部１を介して
別の装置（図示せず）に移載させるという機能を備えて
いる。なお、図１において１２は、ウェハＵの向き（結
晶の配列）を定めるためのオリエンタである。
る。図１ないし図４に示されるように、この標準ユニッ
トＡ1 を構成する箱状のチャンバ３の内側には、ウェハ
移載ロボットＲが配設されている。チャンバ３の正面壁
３ａの外側には、複数基（本実施例の場合、３基）のロ
ードポート装置Ｌが取付けられていて、各ロードポート
装置Ｌの上面には、所定枚数のウェハＵが収納されたウ
ェハキャリアＣが設置されている。また、チャンバ３の
正面壁３ａの内側には、その長手方向に沿ってベースプ
レート４が縦方向に配設されていて、該ベースプレート
４にリニアモータＭの二次側固定子５が縦方向に取付け
られている。前記ベースプレート４には、一対のガイド
レール６が相上下して水平に取付けられていて、各ガイ
ドレール６に装着されたガイドブロック７には、ウェハ
移載ロボットＲを固定するロボットベース８が取付けら
れている。そして、前記ロボットベース８において、リ
ニアモータＭの二次側固定子５と相対向する部分には、
リニアモータＭの一次側移動子９が取付けられている。
この結果、リニアモータＭを駆動させることにより、前
記ウェハ移載ロボットＲが一対のガイドレール６にガイ
ドされ、チャンバ３の長手方向に沿って往復直線移動す
る。このウェハ移載ロボットＲは、その上面に設けられ
たウェハ移載用フォーク１１により、ウェハキャリアＣ
に収納されたウェハＵを１枚ずつ取り出して自身に移載
させ、その状態で水平搬送し、ウェハ処理部１を介して
別の装置（図示せず）に移載させるという機能を備えて
いる。なお、図１において１２は、ウェハＵの向き（結
晶の配列）を定めるためのオリエンタである。
【０００９】そして、前記チャンバ３における一方側
（オリエンタ１２が取付けられていない側）の側面壁に
は、増設ユニットＡ2 のチャンバ３’を接続させるため
の接続部Ｅが設けられている。既設側の標準ユニットＡ
1 における接続部Ｅの構成は、後述する増設ユニットＡ
2 における接続部Ｅの構成と同一であるため、ここでは
説明を省略する。
（オリエンタ１２が取付けられていない側）の側面壁に
は、増設ユニットＡ2 のチャンバ３’を接続させるため
の接続部Ｅが設けられている。既設側の標準ユニットＡ
1 における接続部Ｅの構成は、後述する増設ユニットＡ
2 における接続部Ｅの構成と同一であるため、ここでは
説明を省略する。
【００１０】次に、増設ユニットＡ2 について説明す
る。図１ないし図４に示されるように、この増設ユニッ
トＡ2 は、標準ユニットＡ1 に接続されて増設されるた
めのもので、各種の大きさのものが用意されている。本
実施例における増設ユニットＡ 2 は、２基のロードポー
ト装置Ｌを取付けることができるものである。この増設
ユニットＡ2 を構成する箱状のチャンバ３’の正面壁
３'aには、ロードポート装置Ｌが配設されている。本実
施例では、チャンバ３’の正面視における右側にのみロ
ードポート装置Ｌが配設されていて、その左側には、ロ
ードポート装置Ｌの取付用開口孔１３を閉塞するための
閉塞板１４が取付けられている。チャンバ３’における
両側面部には、標準ユニットＡ1 のチャンバ３に接続す
るための接続部Ｅが設けられている。
る。図１ないし図４に示されるように、この増設ユニッ
トＡ2 は、標準ユニットＡ1 に接続されて増設されるた
めのもので、各種の大きさのものが用意されている。本
実施例における増設ユニットＡ 2 は、２基のロードポー
ト装置Ｌを取付けることができるものである。この増設
ユニットＡ2 を構成する箱状のチャンバ３’の正面壁
３'aには、ロードポート装置Ｌが配設されている。本実
施例では、チャンバ３’の正面視における右側にのみロ
ードポート装置Ｌが配設されていて、その左側には、ロ
ードポート装置Ｌの取付用開口孔１３を閉塞するための
閉塞板１４が取付けられている。チャンバ３’における
両側面部には、標準ユニットＡ1 のチャンバ３に接続す
るための接続部Ｅが設けられている。
【００１１】次に、接続部Ｅについて説明する。図３及
び図４に示されるように、チャンバ３’の両側面部に
は、ウェハ移載ロボットＲを走行させるための走行用開
口孔１５’が設けられていて、該走行用開口孔１５’の
開口縁に沿って、断面略Ｌ字状の接続部材１６’が固着
されている。そして、前記接続部材１６’には、その全
周に亘ってパッキン１７が取付けられていると共に、該
接続部材１６’の幅方向の両側には、連結ボルト１８を
通すためのＵ字状の切欠部１６'aが高さ方向に所定の間
隔をおいて設けられている。
び図４に示されるように、チャンバ３’の両側面部に
は、ウェハ移載ロボットＲを走行させるための走行用開
口孔１５’が設けられていて、該走行用開口孔１５’の
開口縁に沿って、断面略Ｌ字状の接続部材１６’が固着
されている。そして、前記接続部材１６’には、その全
周に亘ってパッキン１７が取付けられていると共に、該
接続部材１６’の幅方向の両側には、連結ボルト１８を
通すためのＵ字状の切欠部１６'aが高さ方向に所定の間
隔をおいて設けられている。
【００１２】次に、増設ユニットＡ2 のベースプレート
４’を支持するための構成について説明する。図２及び
図３に示されるように、前記チャンバ３’の正面壁３'a
の内側には、ベースプレート４’が該正面壁３'aに略平
行となって縦方向に取付けられている。このベースプレ
ート４’は、その厚み方向（チャンバ３’の幅方向）の
取付位置を微調整するための第１及び第２の各取付位置
調整装置Ｂ1,Ｂ2 と、その高さ方向の位置を調整するた
めの高さ調整装置Ｂ3 とによって支持されている。第１
取付位置調整装置Ｂ1 は、チャンバ３’の長手方向の両
端部に配設されていて、第２取付位置調整装置Ｂ2 は、
同じくほぼ中央部に配設されている。また、高さ調整装
置Ｂ3 は、両接続部Ｅにおける接続部材１６’の内側に
配設されている。
４’を支持するための構成について説明する。図２及び
図３に示されるように、前記チャンバ３’の正面壁３'a
の内側には、ベースプレート４’が該正面壁３'aに略平
行となって縦方向に取付けられている。このベースプレ
ート４’は、その厚み方向（チャンバ３’の幅方向）の
取付位置を微調整するための第１及び第２の各取付位置
調整装置Ｂ1,Ｂ2 と、その高さ方向の位置を調整するた
めの高さ調整装置Ｂ3 とによって支持されている。第１
取付位置調整装置Ｂ1 は、チャンバ３’の長手方向の両
端部に配設されていて、第２取付位置調整装置Ｂ2 は、
同じくほぼ中央部に配設されている。また、高さ調整装
置Ｂ3 は、両接続部Ｅにおける接続部材１６’の内側に
配設されている。
【００１３】第１取付位置調整装置Ｂ1 について説明す
る。図３及び図５に示されるように、チャンバ３’の正
面壁３'aの内側に固着されたブラケット１９に、横断面
略二等辺三角形状の三角ベース２１が取付けられてい
て、その斜辺部２１ａの側に、２本の固定ボルト２２に
よってベースプレート４’が縦方向に固定されている。
そして、この三角ベース２１の各斜辺部２１ａと前記ベ
ースプレート４’との間に形成された上下の隙間部分に
は、該隙間部分を形成する角度に対応する角度を備えた
三角形状の各くさび部材２３a,２３b が、前記斜辺部２
１ａ及びベースプレート４’の背面部に当接しながら上
下移動可能にして装着されている。そして、各くさび部
材２３a,２３b の上下には、それらを別々に上下移動さ
せてベースプレート４’の取付位置を微調整するための
各調整ボルト２４a,２４b が、それぞれブラケット２５
a,２５b によって取付けられている。作業者は、ベース
プレート４’を固定するための各固定ボルト２２を仮締
めさせた状態で、各調整ボルト２４a,２４b の締付量を
調整しながら各くさび部材２３a,２３b を上下移動させ
ることにより、ベースプレート４’の取付位置、及び取
付角度を微調整することができる。
る。図３及び図５に示されるように、チャンバ３’の正
面壁３'aの内側に固着されたブラケット１９に、横断面
略二等辺三角形状の三角ベース２１が取付けられてい
て、その斜辺部２１ａの側に、２本の固定ボルト２２に
よってベースプレート４’が縦方向に固定されている。
そして、この三角ベース２１の各斜辺部２１ａと前記ベ
ースプレート４’との間に形成された上下の隙間部分に
は、該隙間部分を形成する角度に対応する角度を備えた
三角形状の各くさび部材２３a,２３b が、前記斜辺部２
１ａ及びベースプレート４’の背面部に当接しながら上
下移動可能にして装着されている。そして、各くさび部
材２３a,２３b の上下には、それらを別々に上下移動さ
せてベースプレート４’の取付位置を微調整するための
各調整ボルト２４a,２４b が、それぞれブラケット２５
a,２５b によって取付けられている。作業者は、ベース
プレート４’を固定するための各固定ボルト２２を仮締
めさせた状態で、各調整ボルト２４a,２４b の締付量を
調整しながら各くさび部材２３a,２３b を上下移動させ
ることにより、ベースプレート４’の取付位置、及び取
付角度を微調整することができる。
【００１４】次に、第２取付位置調整装置Ｂ2 について
説明する。図２、図３及び図６に示されるように、チャ
ンバ３’の正面壁３'aの内側で、その長手方向のほぼ中
央部には支柱２６が立設されていて、上記した第１取付
位置調整装置Ｂ1 を構成するブラケット１９とほぼ同一
の高さに、ブラケット２７が固着されている。このブラ
ケット２７に対して、ベースプレート４’が、固定ボル
ト２８によって隙間ｅ（図６参照）を介して配設されて
いると共に、該ブラケット２７の側から前記ベースプレ
ート４’を押圧するための押しボルト２９が取付けられ
ている。即ち、ベースプレート４’は、前記固定ボルト
２８と前記押しボルト２９とによって押し引きされた状
態で固定されている。前記固定ボルト２８と前記押しボ
ルト２９の締付量を調整することによって、ベースプレ
ート４’の取付位置、及び取付角度を微調整することが
できる。即ち、一対のガイドレール６’の取付位置が、
チャンバ３’の幅方向に微調整できる。該ベースプレー
ト４’は長尺物であるため、第１取付位置調整装置Ｂ1
によって、その両端部のみの取付位置、及び取付角度を
微調整しても、その中央部における取付位置、及び取付
角度は規定値から外れてしまう場合がある。しかし、本
実施例の場合、ベースプレート４’の中央部でも、その
取付位置、及び取付角度を微調整することができるた
め、該ベースプレート４’の全長に亘って高精度に調整
可能である。
説明する。図２、図３及び図６に示されるように、チャ
ンバ３’の正面壁３'aの内側で、その長手方向のほぼ中
央部には支柱２６が立設されていて、上記した第１取付
位置調整装置Ｂ1 を構成するブラケット１９とほぼ同一
の高さに、ブラケット２７が固着されている。このブラ
ケット２７に対して、ベースプレート４’が、固定ボル
ト２８によって隙間ｅ（図６参照）を介して配設されて
いると共に、該ブラケット２７の側から前記ベースプレ
ート４’を押圧するための押しボルト２９が取付けられ
ている。即ち、ベースプレート４’は、前記固定ボルト
２８と前記押しボルト２９とによって押し引きされた状
態で固定されている。前記固定ボルト２８と前記押しボ
ルト２９の締付量を調整することによって、ベースプレ
ート４’の取付位置、及び取付角度を微調整することが
できる。即ち、一対のガイドレール６’の取付位置が、
チャンバ３’の幅方向に微調整できる。該ベースプレー
ト４’は長尺物であるため、第１取付位置調整装置Ｂ1
によって、その両端部のみの取付位置、及び取付角度を
微調整しても、その中央部における取付位置、及び取付
角度は規定値から外れてしまう場合がある。しかし、本
実施例の場合、ベースプレート４’の中央部でも、その
取付位置、及び取付角度を微調整することができるた
め、該ベースプレート４’の全長に亘って高精度に調整
可能である。
【００１５】次に、高さ調整装置Ｂ3 について説明す
る。図２、図３及び図５に示されるように、チャンバ
３’の両接続部Ｅにおける接続部材１６’の内側には、
ブラケット３１が固着されていて、該ブラケット３１の
先端部に、その高さ方向に沿って高さ調整ボルト３２が
螺合されている。この高さ調整ボルト３２は、ベースプ
レート４’の直下に配置されていて、該ベースプレート
４’を常に押し上げている。
る。図２、図３及び図５に示されるように、チャンバ
３’の両接続部Ｅにおける接続部材１６’の内側には、
ブラケット３１が固着されていて、該ブラケット３１の
先端部に、その高さ方向に沿って高さ調整ボルト３２が
螺合されている。この高さ調整ボルト３２は、ベースプ
レート４’の直下に配置されていて、該ベースプレート
４’を常に押し上げている。
【００１６】次に、ベースプレート４，４’、及び一対
のガイドレール６，６’を接続する構造について説明す
る。図７及び図８に示されるように、上記したベースプ
レート４，４’には、一対のガイドレール６，６’が相
上下して水平に取付けられる。即ち、ベースプレート
４，４’の上下の部分には、該ベースプレート４，４’
の長手方向に沿って各段差部３３，３３’が形成されて
いて、一対のガイドレール６，６’の幅方向の端面部が
各段差部３３，３３’に突き当てられて取付けられる。
そして、上側の段差部３３，３３’の下方、及び下側の
段差部３３，３３’の上方には、ベースプレート４，
４’の長手方向に沿ってそれぞれ凹溝部３４，３４’が
形成されている。図７に示されるように、ベースプレー
ト４，４’が接続される際に、上下の凹溝部３４，３
４’に押えプレート３５が嵌装される。各押えプレート
３５の片側（ガイドレール６，６’に当接される側）は
ストレート状であり、その反対側はテーパ状である。ま
た、各押えプレート３５の最大幅は、凹溝部３４，３
４’の内幅よりも広い。このため、各押えプレート３５
が凹溝部３４，３４’に嵌装されることによって、一対
のガイドレール６，６’は強固にベースプレート４，
４’の段差部３３，３３’に押圧される。
のガイドレール６，６’を接続する構造について説明す
る。図７及び図８に示されるように、上記したベースプ
レート４，４’には、一対のガイドレール６，６’が相
上下して水平に取付けられる。即ち、ベースプレート
４，４’の上下の部分には、該ベースプレート４，４’
の長手方向に沿って各段差部３３，３３’が形成されて
いて、一対のガイドレール６，６’の幅方向の端面部が
各段差部３３，３３’に突き当てられて取付けられる。
そして、上側の段差部３３，３３’の下方、及び下側の
段差部３３，３３’の上方には、ベースプレート４，
４’の長手方向に沿ってそれぞれ凹溝部３４，３４’が
形成されている。図７に示されるように、ベースプレー
ト４，４’が接続される際に、上下の凹溝部３４，３
４’に押えプレート３５が嵌装される。各押えプレート
３５の片側（ガイドレール６，６’に当接される側）は
ストレート状であり、その反対側はテーパ状である。ま
た、各押えプレート３５の最大幅は、凹溝部３４，３
４’の内幅よりも広い。このため、各押えプレート３５
が凹溝部３４，３４’に嵌装されることによって、一対
のガイドレール６，６’は強固にベースプレート４，
４’の段差部３３，３３’に押圧される。
【００１７】そして、ベースプレート４，４’の高さ方
向のほぼ中央部には、リニアモータＭの二次側固定子
５，５’が水平に取付けられている。ベースプレート
４，４’が接続される際、増設ユニットＡ2 の一対のガ
イドレール６，６’及び二次側固定子５，５’は、標準
ユニットＡ1 のベースプレート４，４’に乗り上げる形
態で取付けられる。このため、ベースプレート４，４’
の接続部分Ｐ1 と、一対のガイドレール６，６’の接続
部分Ｐ2 が、長手方向に沿ってずれていて、ベースプレ
ート４，４’の接続部分Ｐ1 と、一対のガイドレール
６，６’の接続部分Ｐ 2 におけるウェハ移載ロボットＲ
の走行中の振動が分散され、該振動を最小に抑えること
ができる。しかも、一対のガイドレール６，６’におけ
る端部には、テーパ状の逃し部３６，３６’が設けられ
ている。このため、一対のガイドレール６，６’を接続
する際に多少の取付誤差があっても、ウェハ移載ロボッ
トＲは前記ガイドレール６，６’に引っ掛かることな
く、また、振動を最小に抑えて走行する。
向のほぼ中央部には、リニアモータＭの二次側固定子
５，５’が水平に取付けられている。ベースプレート
４，４’が接続される際、増設ユニットＡ2 の一対のガ
イドレール６，６’及び二次側固定子５，５’は、標準
ユニットＡ1 のベースプレート４，４’に乗り上げる形
態で取付けられる。このため、ベースプレート４，４’
の接続部分Ｐ1 と、一対のガイドレール６，６’の接続
部分Ｐ2 が、長手方向に沿ってずれていて、ベースプレ
ート４，４’の接続部分Ｐ1 と、一対のガイドレール
６，６’の接続部分Ｐ 2 におけるウェハ移載ロボットＲ
の走行中の振動が分散され、該振動を最小に抑えること
ができる。しかも、一対のガイドレール６，６’におけ
る端部には、テーパ状の逃し部３６，３６’が設けられ
ている。このため、一対のガイドレール６，６’を接続
する際に多少の取付誤差があっても、ウェハ移載ロボッ
トＲは前記ガイドレール６，６’に引っ掛かることな
く、また、振動を最小に抑えて走行する。
【００１８】次に、標準ユニットＡ1 に、増設ユニット
Ａ2 を接続する場合の作用について説明する。図９及び
図１０に示されるように、増設ユニットＡ2 が搬送用治
具３７，３８に設置される。これらの搬送用治具３７，
３８には、キャスタ３７a,３８a が取付けられているた
め、増設ユニットＡ2 を容易に搬送させることができ
る。増設ユニットＡ2 をＯＨＴライン３９（図１０参
照）に沿って移動させ、標準ユニットＡ1 の近傍に設置
させる。ここで、ＯＨＴライン３９とは、ウェハ移載ロ
ボットＲが往復直線移動するラインと平行で、増設ユニ
ットＡ2 を設置する際の基準となるラインである。増設
ユニットＡ2 に取付けられているアジャスターフット４
１を使用して、増設ユニットＡ2 の高さ調整及び水平出
しを行った後、標準ユニットＡ1 の接続部Ｅと増設ユニ
ットＡ2 の接続部Ｅとを接続させる。各チャンバ３，
３’の接続部材１６，１６’どうしは、それらの間にパ
ッキン１７を介装させた状態で締め付けられるため、当
該接続部Ｅにおける気密が図られる。
Ａ2 を接続する場合の作用について説明する。図９及び
図１０に示されるように、増設ユニットＡ2 が搬送用治
具３７，３８に設置される。これらの搬送用治具３７，
３８には、キャスタ３７a,３８a が取付けられているた
め、増設ユニットＡ2 を容易に搬送させることができ
る。増設ユニットＡ2 をＯＨＴライン３９（図１０参
照）に沿って移動させ、標準ユニットＡ1 の近傍に設置
させる。ここで、ＯＨＴライン３９とは、ウェハ移載ロ
ボットＲが往復直線移動するラインと平行で、増設ユニ
ットＡ2 を設置する際の基準となるラインである。増設
ユニットＡ2 に取付けられているアジャスターフット４
１を使用して、増設ユニットＡ2 の高さ調整及び水平出
しを行った後、標準ユニットＡ1 の接続部Ｅと増設ユニ
ットＡ2 の接続部Ｅとを接続させる。各チャンバ３，
３’の接続部材１６，１６’どうしは、それらの間にパ
ッキン１７を介装させた状態で締め付けられるため、当
該接続部Ｅにおける気密が図られる。
【００１９】続いて、標準ユニットＡ1 を構成するベー
スプレート４と増設ユニットＡ2 を構成するベースプレ
ート４’とを接続させる。最初に、高さ調整装置Ｂ3 を
構成する高さ調整ボルト３２の締付量を調整して、増設
ユニットＡ2 のベースプレート４’の高さを、標準ユニ
ットＡ1 のベースプレート４の高さに合致させる。そし
て、一対のガイドレール６，６’を接続する。続いて、
第１取付位置調整装置Ｂ1 を構成する調整ボルト２４a,
２４b の締付量を調整すると共に、第２取付位置調整装
置Ｂ2 の固定ボルト２８と押しボルト２９の締付量を調
整することによって、ベースプレート４，４’の取付位
置及び取付角度を調整し、両ガイドレール６，６’の真
直性を微調整する。
スプレート４と増設ユニットＡ2 を構成するベースプレ
ート４’とを接続させる。最初に、高さ調整装置Ｂ3 を
構成する高さ調整ボルト３２の締付量を調整して、増設
ユニットＡ2 のベースプレート４’の高さを、標準ユニ
ットＡ1 のベースプレート４の高さに合致させる。そし
て、一対のガイドレール６，６’を接続する。続いて、
第１取付位置調整装置Ｂ1 を構成する調整ボルト２４a,
２４b の締付量を調整すると共に、第２取付位置調整装
置Ｂ2 の固定ボルト２８と押しボルト２９の締付量を調
整することによって、ベースプレート４，４’の取付位
置及び取付角度を調整し、両ガイドレール６，６’の真
直性を微調整する。
【００２０】このとき、増設ユニットＡ2 の一対のガイ
ドレール６’は、標準ユニットＡ1のベースプレート４
に乗り上げた状態で取付けられるため、両ベースプレー
ト４，４’の接続部分Ｐ1 の位置と、両ガイドレール
６，６’の接続部分Ｐ2 の位置とが異なっている。この
ため、接続部分Ｐ1,Ｐ2 における振動を分散させること
ができ、ウェハ移載ロボットＲに作用する振動を最小に
することができる。
ドレール６’は、標準ユニットＡ1のベースプレート４
に乗り上げた状態で取付けられるため、両ベースプレー
ト４，４’の接続部分Ｐ1 の位置と、両ガイドレール
６，６’の接続部分Ｐ2 の位置とが異なっている。この
ため、接続部分Ｐ1,Ｐ2 における振動を分散させること
ができ、ウェハ移載ロボットＲに作用する振動を最小に
することができる。
【００２１】そして、両ガイドレール６，６’の接続部
分Ｐ2 の凹溝部３４，３４’に、押えプレート３５が嵌
装される。該押えプレート３５が両ガイドレール６，
６’の接続部分Ｐ2 を強固に押圧するため、前記接続部
分における両ガイドレール６，６’の真直性が、ウェハ
移載ロボットＲの走行中に悪化することはない。次に、
標準ユニットＡ1 の二次側固定子５と増設ユニットＡ2
の二次側固定子５’とを接続する。増設ユニットＡ2 の
二次側固定子５’も、標準ユニットＡ1 のベースプレー
ト４に乗り上げた状態で取付けられるため、両ベースプ
レート４，４’の接続部分Ｐ1 における剛性が高められ
る。上記した結果、標準ユニットＡ1 のガイドレール６
と増設ユニットＡ2 のガイドレール６’とが、真直性を
保持した状態で接続される。このようにして、標準ユニ
ットＡ1 と増設ユニットＡ2 とが接続される。この状態
で、ウェハ移載ロボットＲは増設ユニットＡ2 における
ロードポート装置Ｌの部分まで走行可能である。しか
も、両ユニットＡ1,Ａ2 の接続部分は、パッキン１７に
よって気密が図られているため、前記ウェハ移載ロボッ
トＲによって、標準ユニットＡ1 から増設ユニットＡ2
に移載されるウェハＵが汚染されることがない。即ち、
両ユニットＡ1,Ａ2 は、あたかも１台の装置として作動
する。この結果、無人搬送車等のウェハ搬送の設備が不
要である。
分Ｐ2 の凹溝部３４，３４’に、押えプレート３５が嵌
装される。該押えプレート３５が両ガイドレール６，
６’の接続部分Ｐ2 を強固に押圧するため、前記接続部
分における両ガイドレール６，６’の真直性が、ウェハ
移載ロボットＲの走行中に悪化することはない。次に、
標準ユニットＡ1 の二次側固定子５と増設ユニットＡ2
の二次側固定子５’とを接続する。増設ユニットＡ2 の
二次側固定子５’も、標準ユニットＡ1 のベースプレー
ト４に乗り上げた状態で取付けられるため、両ベースプ
レート４，４’の接続部分Ｐ1 における剛性が高められ
る。上記した結果、標準ユニットＡ1 のガイドレール６
と増設ユニットＡ2 のガイドレール６’とが、真直性を
保持した状態で接続される。このようにして、標準ユニ
ットＡ1 と増設ユニットＡ2 とが接続される。この状態
で、ウェハ移載ロボットＲは増設ユニットＡ2 における
ロードポート装置Ｌの部分まで走行可能である。しか
も、両ユニットＡ1,Ａ2 の接続部分は、パッキン１７に
よって気密が図られているため、前記ウェハ移載ロボッ
トＲによって、標準ユニットＡ1 から増設ユニットＡ2
に移載されるウェハＵが汚染されることがない。即ち、
両ユニットＡ1,Ａ2 は、あたかも１台の装置として作動
する。この結果、無人搬送車等のウェハ搬送の設備が不
要である。
【００２２】上記した接続部Ｅは、増設ユニットＡ2 の
チャンバ３’の両側面部に設けられているため、前記増
設ユニットＡ2 に、更に別のユニット（図示せず）を接
続させることも可能である。また、増設ユニットＡ
2 は、前述した接続作業を逆に行うことによって、簡単
に標準ユニットＡ1 から分離させることができる。
チャンバ３’の両側面部に設けられているため、前記増
設ユニットＡ2 に、更に別のユニット（図示せず）を接
続させることも可能である。また、増設ユニットＡ
2 は、前述した接続作業を逆に行うことによって、簡単
に標準ユニットＡ1 から分離させることができる。
【００２３】また、上記した標準ユニットＡ1 及び増設
ユニットＡ2 の各チャンバ３，３’は、内部を真空引き
可能な真空チャンバとすることも可能である。この場
合、チャンバ３，３’の一方、或いは両方に真空排気手
段、及び給気手段が更に設けられる。
ユニットＡ2 の各チャンバ３，３’は、内部を真空引き
可能な真空チャンバとすることも可能である。この場
合、チャンバ３，３’の一方、或いは両方に真空排気手
段、及び給気手段が更に設けられる。
【００２４】
【発明の効果】請求項１に記載の発明の場合、複数の装
置ユニットを構成するチャンバが、それらの内壁面に水
平に取付けられたレールの真直性を保持して接続され
る。このため、簡単な操作で複数の装置ユニットを接続
させることができる。接続されたウェハ移載装置は、そ
の状態であたかも１台の装置として作動するため、無人
搬送車等のウェハ搬送手段の設備が不要である。しか
も、接続された各装置ユニットを、簡単な操作で分離す
ることもできる。この結果、試作品のように多数の処理
工程を経て生産される半導体に対しても、効率的にウェ
ハ移載装置を設備することができる。
置ユニットを構成するチャンバが、それらの内壁面に水
平に取付けられたレールの真直性を保持して接続され
る。このため、簡単な操作で複数の装置ユニットを接続
させることができる。接続されたウェハ移載装置は、そ
の状態であたかも１台の装置として作動するため、無人
搬送車等のウェハ搬送手段の設備が不要である。しか
も、接続された各装置ユニットを、簡単な操作で分離す
ることもできる。この結果、試作品のように多数の処理
工程を経て生産される半導体に対しても、効率的にウェ
ハ移載装置を設備することができる。
【００２５】請求項２に記載の発明の場合、各装置ユニ
ットを構成するチャンバに、レールの位置を微調整する
ための微調整装置が設けられている。このため、各装置
ユニットのレールが微調整されて接続されるため、レー
ルの真直性が保持される。
ットを構成するチャンバに、レールの位置を微調整する
ための微調整装置が設けられている。このため、各装置
ユニットのレールが微調整されて接続されるため、レー
ルの真直性が保持される。
【００２６】請求項３に記載の発明の場合、レールの接
続部分に取付けられた押えプレートが、前記レールをベ
ースプレートの上下方向に押圧している。このため、レ
ールの接続部分が強固になり、ウェハ移載ロボットの走
行中に、レールの真直性が悪化することが防止される。
続部分に取付けられた押えプレートが、前記レールをベ
ースプレートの上下方向に押圧している。このため、レ
ールの接続部分が強固になり、ウェハ移載ロボットの走
行中に、レールの真直性が悪化することが防止される。
【００２７】請求項４に記載の発明の場合、一方側のレ
ールが、他方側のレールが取付けられているベースプレ
ートに乗り上げて取付けられる。このため、ベースプレ
ートの接続部分とレールの接続部分が異なる位置に配置
されるため、ウェハ移載ロボットの走行がよりスムーズ
になる。
ールが、他方側のレールが取付けられているベースプレ
ートに乗り上げて取付けられる。このため、ベースプレ
ートの接続部分とレールの接続部分が異なる位置に配置
されるため、ウェハ移載ロボットの走行がよりスムーズ
になる。
【００２８】請求項５に記載の発明の場合、レールの端
部には、テーパ状の逃し部が設けられている。このた
め、レールを接続する際に多少の誤差があっても、ウェ
ハ移載ロボットに及ぼす振動が最小になる。
部には、テーパ状の逃し部が設けられている。このた
め、レールを接続する際に多少の誤差があっても、ウェ
ハ移載ロボットに及ぼす振動が最小になる。
【図１】ウェハ移載装置の標準ユニットＡ1 に、増設ユ
ニットＡ2 が接続された状態の平面図である。
ニットＡ2 が接続された状態の平面図である。
【図２】増設ユニットＡ2 の正面図である。
【図３】同じく平面断面図である。
【図４】同じく側面図である。
【図５】図２のＸ1 −Ｘ1 線断面図である。
【図６】同じくＸ2 −Ｘ2 線断面図である。
【図７】一対のガイドレール６，６’を接続させる状態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図８】同様の状態を示す平面図である。
【図９】既設側の標準ユニットＡ1 に、増設ユニットＡ
2 を接続させる状態の作用説明図である。
2 を接続させる状態の作用説明図である。
【図１０】同様の状態を示す平面図である。
【図１１】既設側の標準ユニットＡ1 に、増設ユニット
Ａ2 が接続された状態の作用説明図である。
Ａ2 が接続された状態の作用説明図である。
【図１２】従来のウェハ移載装置Ａ',Ａ”の平面図であ
る。
る。
Ａ1 ：標準ユニット（装置ユニット） Ａ2 ：増設ユニット（装置ユニット） Ｂ1,Ｂ2 ：取付位置調整装置（微調整装置） Ｅ：接続部 Ｍ：リニアモータ Ｐ1,Ｐ2 ：接続部分 Ｒ：ウェハ移載ロボット ３，３’：チャンバ ４，４’：ベースプレート ６，６’：ガイドレール（レール） ３５：押えプレート ３６，３６’：逃し部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷山 育志 愛知県豊橋市三弥町字元屋敷150番地 神 鋼電機株式会社豊橋事業所内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA01 FA01 FA11 FA15 GA02 GA44 GA47 GA48 GA60 LA08 MA06 NA08 PA05
Claims (5)
- 【請求項１】 複数の装置ユニットが直列状態で接続可
能となって、自身に移載したウェハをウェハ移載ロボッ
トにより水平搬送して、更に別の装置に移載させるため
のウェハ移載装置であって、 各装置ユニットを構成するチャンバの内壁面には、前記
ウェハ移載ロボットを水平移動させるリニアモータのレ
ールが水平に取付けられ、 前記チャンバの開口には、チャンバどうしを気密を保持
して接続するための接続部が設けられ、 各装置ユニットは、それらのチャンバが前記接続部を介
して接続されることにより互いに接続されて、各チャン
バの内壁面のレールは、レール位置を微調整する微調整
装置により、真直性を保持して接続されて成ることを特
徴とするウェハ移載装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のウェハ移載装置を構成
する装置ユニットを接続する構造であって、 各装置ユニットを構成するチャンバには、前記チャンバ
に対してレールを、少なくともチャンバの幅方向に微調
整可能な微調整装置が設けられて、 前記微調整装置によって、互いに接続される装置ユニッ
トのレールが真直性を保持して接続されることを特徴と
するウェハ移載装置を構成する装置ユニットの接続構
造。 - 【請求項３】 レールの接続部分に取付けられた押えプ
レートが、前記レールをベースプレートの上下方向に押
圧することを特徴とする請求項２に記載のウェハ移載装
置を構成する装置ユニットの接続構造。 - 【請求項４】 一方側のレールが、他方側のレールが取
付けられているベースプレートに乗り上げて取付けられ
ることを特徴とする請求項２又は３に記載のウェハ移載
装置を構成する装置ユニットの接続構造。 - 【請求項５】 レールの接続部分であるレールの端部に
は、テーパ状の逃し部が設けられていることを特徴とす
る請求項２ないし４のいずれかに記載のウェハ移載装置
を構成する装置ユニットの接続構造。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165432A JP4021125B2 (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | ウェハ移載装置の装置ユニット接続時に用いられるレールの真直性保持装置 |
| KR10-2001-0030197A KR100510031B1 (ko) | 2000-06-02 | 2001-05-30 | 반도체 처리 시스템 |
| TW090113074A TW495818B (en) | 2000-06-02 | 2001-05-30 | Semiconductor processing system |
| US09/870,495 US6540869B2 (en) | 2000-06-02 | 2001-06-01 | Semiconductor processing system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000165432A JP4021125B2 (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | ウェハ移載装置の装置ユニット接続時に用いられるレールの真直性保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001345365A true JP2001345365A (ja) | 2001-12-14 |
| JP4021125B2 JP4021125B2 (ja) | 2007-12-12 |
Family
ID=18668901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000165432A Expired - Lifetime JP4021125B2 (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | ウェハ移載装置の装置ユニット接続時に用いられるレールの真直性保持装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6540869B2 (ja) |
| JP (1) | JP4021125B2 (ja) |
| KR (1) | KR100510031B1 (ja) |
| TW (1) | TW495818B (ja) |
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| WO2016059718A1 (ja) * | 2014-10-17 | 2016-04-21 | 富士機械製造株式会社 | 加工機械のベース構造及び加工機械ラインを構築するベース設置方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| JP4619116B2 (ja) * | 2002-06-21 | 2011-01-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 真空処理システムのための搬送チャンバ |
| US8960099B2 (en) * | 2002-07-22 | 2015-02-24 | Brooks Automation, Inc | Substrate processing apparatus |
| US7988398B2 (en) | 2002-07-22 | 2011-08-02 | Brooks Automation, Inc. | Linear substrate transport apparatus |
| US7959395B2 (en) | 2002-07-22 | 2011-06-14 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
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