KR101676640B1 - 열처리 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일 실시예는 열처리 시스템에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판을 거치하여 열처리할 수 있는 열처리 시스템을 제공하는데 있다.
이를 위해 본 발명은 다수의 지지 기둥과, 지지 기둥에 결합되어 기판을 지지하는 캔틸레버로 이루어진 기판 지지부; 기판 지지부가 결합되며, 전측이 개방된 육면체 형태의 내부 하우징; 내부 하우징을 감싸며, 전측이 개방된 육면체 형태의 외부 하우징; 및, 외부 하우징을 관통하여 기판 지지부의 지지 기둥에 밀착된 기움 방지 블럭으로 이루어진 열처리 시스템을 개시한다.

Description

열처리 시스템{Thermal processing system}

본 발명은 열처리 시스템에 관한 것으로서, 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판을 거치하여 열처리할 수 있는 열처리 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 디스플레이 패널의 제조 공정 중 유리 기판에는 무기물, 유기물 및/또는 반도체 소자의 형성을 위해 다양한 온도 프로파일하에서 다양한 열처리 공정이 수행되고 있다. 이때, 디스플레이 패널의 생산성이 향상되도록, 하나의 공정 챔버 내부에 통상 다수의 유리 기판이 장입된 후 열처리된다.

한편, 최근에는 생산 시설의 층고 제한에 따라 공정 챔버의 높이 역시 제한받고 있으며, 이에 따라 감소된 챔버의 층고에도 불구하고 동일하거나 또는 더 많은 개수의 유리 기판이 장입된 후 열처리될 수 있는 시스템의 개발이 요구되고 있다.

본 발명의 해결하고자 하는 기술적 과제는 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판을 거치하여 열처리할 수 있는 열처리 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 해결하고자 하는 기술적 과제는 고정단과 자유단을 구비하는 기판 지지용 캔틸레버의 고정단이 결합되는 지지 기둥의 기움 현상을 방지할 수 있는 열처리 시스템을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 해결하고자 하는 기술적 과제는 지지 기둥이 내부 하우징의 포스트 역할을 하여 내부 하우징을 견고하게 지지하고 내부 하우징의 내부 용적을 최대화할 수 있는 열처리 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 해결하고자 하는 기술적 과제는 내부 하우징의 내부로 이물이 유입되지 않는 열처리 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 해결하고자 하는 기술적 과제는 우수한 온도 균일도 및 균일한 승온율로 기판을 열처리할 수 있는 열처리 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템은 다수의 지지 기둥과, 상기 지지 기둥에 결합되어 기판을 지지하는 캔틸레버를 포함하는 기판 지지부; 상기 기판 지지부가 결합되며, 전측이 개방된 육면체 형태의 내부 하우징; 및, 상기 내부 하우징을 감싸며, 전측이 개방되고, 벽면에서 열원을 공급할 수 있는 육면체 형태의 외부 하우징을 포함한다.

또한, 본 발명은 상기 외부 하우징을 관통하여 상기 기판 지지부의 지지 기둥에 밀착된 기움 방지 블록을 더 포함할 수 있다.

상기 내부 하우징은 내부 상면, 내부 하면, 내부 양측면 및 내부 후면을 포함하고, 상기 지지 기둥은 상기 내부 후면에 결합되며, 상기 내부 상면을 관통하여 상부로 돌출될 수 있다.

상기 내부 후면에는 보강대가 더 결합되고, 상기 보강대에 상기 지지 기둥이 결합될 수 있다.

상기 내부 하우징의 일측에는 다수의 급기관이 결합되고, 타측에는 다수의 배기관이 결합될 수 있다.

상기 내부 상면은 상면 커버와 상면 커버 플레이트를 포함하고, 상기 상면 커버 플레이트는 상면 커버의 단차진 안착면에 결합될 수 있다.

상기 내부 상면과 상기 내부 양측면 및 상기 내부 후면의 사이에 보조 커버가 더 개재될 수 있다.

상기 내부 하면은 하면 커버와 하면 커버 플레이트를 포함하고, 상기 하면 커버 플레이트는 하면 커버의 단차진 안착면에 결합될 수 있다.

상기 내부 하우징은 상기 기판의 지지를 위해 상기 캔틸레버를 향하여 돌출된 돌기를 더 포함할 수 있다.

상기 외부 하우징은 외부 상면, 외부 하면, 외부 양측면 및 외부 후면을 포함하고, 상기 기움 방지 블럭은 상기 외부 상면을 관통하여 상기 지지 기둥의 전측에 밀착될 수 있다.

상기 외부 하우징의 양측면 및 상기 내부 하우징의 양측면을 관통하며, 일측에는 다수의 급기관이 결합되고, 타측에는 다수의 배기관이 결합될 수 있다.

상기 내부 하우징의 개방된 영역에는 머플 개구부가 더 결합되고, 상기 머플 개구부는 상기 내부 하우징의 내부 상면, 내부 하면 및 내부 양측면에 끼워 맞춤 방식으로 결합될 수 있다.

본 발명은 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판을 거치하여 열처리할 수 있는 열처리 시스템을 제공한다. 즉, 본 발명은 수평 방향으로 배열된 다수의 지지 기둥을 구비하고, 또한 각각의 지지 기둥에 수직 방향을 따라 배열된 다수의 캔틸레버를 구비하며, 이러한 캔틸레버 위에 디스플레이용 기판이 거치되도록 함으로써, 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판이 수용되어 열처리되도록 한다.

본 발명은 기판 지지용 캔틸레버가 결합된 지지 기둥의 기움 현상을 방지할 수 있는 열처리 시스템을 제공한다. 즉, 본 발명은 지지 기둥이 내부 하우징에 결합되도록 하고, 내부 하우징은 외부 하우징에 결합되도록 하며, 외부 하우징에 지지 기둥을 향하여 연장되고, 지지 기둥의 상부 전측에 밀착된 기움 방지 블럭이 설치되도록 함으로써, 고정단이 지지 기둥에 결합될 때 캔틸레버의 자중에 의한 지지 기둥의 기움 현상이 방지되도록 한다. 또한, 본 발명은 지지 기둥이 내부 하우징의 포스트 역할을 함으로써 별도의 기둥이 없는 상태에서 내부 하우징을 견고하게 지지하고 내부 하우징의 내부 용적을 최대화할 수 있는 열처리 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명은 하우징의 내부로 이물이 유입되지 않도록 한 열처리 시스템을 제공한다. 즉, 본 발명은 내부 하우징의 각 연결부가 끼워 맞춤 방식으로 결합될 수 있도록 안착 단차면을 구비하거나, 안착 요홈을 구비함으로써, 내부 하우징의 연결부를 통해 외부의 이물이 내부로 유입되지 않도록 한다.

본 발명은 우수한 온도 균일도 및 균일한 승온율로 기판을 열처리할 수 있는 열처리 시스템을 제공한다. 즉, 본 발명은 캔틸레버에 기판과 최소 면적으로 접촉하는 다수의 지지핀을 구비하는 동시에, 캔틸레버를 감싸는 케이스의 챔버 공간을 최소화함으로써, 디스플레이용 기판에 우수한 온도 균일도 및 균일한 승온율이 제공되도록 한다.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템의 외부 하우징 및 내부 하우징을 각각 도시한 사시도이고, 도 1c는 기판 지지부를 도시한 사시도이며, 도 1d 및 도 1e는 기판 지지부, 보강대 및 내부 후면 사이의 관계를 도시한 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템 중 외부 하우징 및 내부 하우징을 도시한 단면도이고, 도 2b는 도 2a의 2b 영역을 도시한 확대 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템 중 내부 하우징을 도시한 단면도이고, 도 3b는 도 3a의 3b 영역을 도시한 확대 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템 중 내부 하우징을 도시한 단면도이고, 도 4b는 도 4a의 4b 영역을 도시한 확대 단면도이며, 도 4c는 도 4a의 4c 영역을 도시한 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템 중 내부 하우징의 후면을 도시한 후면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템에 사용되는 셔터의 사시도이다.
도 7은 도 6의 셔터가 열처리 시스템에 결합되는 관계를 나타내는 사시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.

또한, 이하의 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위해 과장된 것이며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상, 단계, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 단계, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.

본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안 된다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술한 제1부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템의 외부 하우징 및 내부 하우징에 대한 사시도가 도시되어 있고, 도 1c를 참조하면 기판 지지부의 사시도가 도시되어 있으며, 도 1d 및 도 1e를 참조하면, 기판 지지부, 보강대 및 내부 후면 사이의 관계에 대한 사시도가 도시되어 있다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템에 사용되는 셔터의 사시도이다. 도 7은 도 6의 셔터가 열처리 시스템에 결합되는 관계를 나타내는 사시도이다.

도 1a 내지 도 1e에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 열처리 시스템(100)은 디스플레이용 기판(101)을 지지하는 기판 지지부(110)와, 기판 지지부(110)가 설치되는 내부 하우징(120)과, 내부 하우징(120)을 감싸는 외부 하우징(130)을 포함한다. 또한, 본 발명은 기판 지지부(110)의 기움을 방지하는 기움 방지 블럭(140)을 더 포함할 수 있다.

여기서, 내부 하우징(120) 및 외부 하우징(130)에는 셔터가 더 결합되어, 내부의 기판 지지부(110)가 외부 환경으로부터 보호된다.

기판 지지부(110)는 다수의 지지 기둥(111)과, 지지 기둥(111)에 결합되어 기판(101)을 지지하는 캔틸레버(113)를 포함한다.

여기서, 지지 기둥(111)은 수직(상, 하) 방향의 길이를 가지며 수평(좌,우) 방향을 따라 일정 간격으로 배열되어 있다.

또한, 캔틸레버(113)는 수평(전, 후) 방향의 길이를 가지며 수직(상, 하) 방향을 따라 일정 간격으로 배열된 동시에 지지 기둥(111)에 결합되어 있다. 이때, 캔틸레버(133)는 지지 기둥(111)에 결합되는 후측의 고정단과 그 반대측인 전측에 위치하며 지지되지 않는 자유단을 구비한다. 캔틸레버(113)는 열처리 중인 기판(101)을 안정적으로 지지한다. 즉, 캔틸레버(113)에는 상부를 향하여 다수의 지지핀(113a)이 형성되어 있는데, 이러한 지지핀(113a)에 기판(101)이 안착 및 거치된 후 열처리된다.

내부 하우징(120)은 내부에 기판 지지부(110)가 결합되며 전측이 개방되고, 속이 비어 있는 대략 육면체 형태를 한다. 즉, 내부 하우징(120)은 내부 상면(121), 내부 하면(122), 내부 양측면(123,124) 및 내부 후면(125)을 포함한다.

여기서, 기판 지지부(110)의 지지 기둥(111)은 내부 하우징(120)의 내부 후면(125)에 결합되며, 지지 기둥(111)은 내부 상면(121)을 관통하여 상부로 일정 길이 돌출 및 연장되어 있다. 일례로, 내부 후면(125)에는 지지 기둥(111)과 대응되는 위치에 보강대(125a)가 설치될 수 있으며, 이러한 보강대(125a)에 지지 기둥(111)이 볼트 및 넛트(112)를 통해 고정될 수 있다. 더욱이, 보강대(125a)는 또다른 볼트 및 넛트(112a)를 통해 내부 후면(125)에 고정될 수 있다.

또한, 내부 하우징(120)의 양측면을 관통해서는, 일측에 다수의 급기관(126)이 결합되고, 타측에 다수의 배기관(127)이 결합되어 있다. 이러한 급기관(126)을 통해 외부로부터 공정 가스가 급기되고, 또한 배기관(127)을 통해 열처리후 공정 가스가 배기된다.

외부 하우징(130)은 내부 하우징(120)을 감싸며 전측이 개방되고, 내부가 비어 있는 대략 육면체 형태를 한다. 즉, 외부 하우징(130)은 외부 상면(131), 외부 하면(132), 외부 양측면(133,134) 및 외부 후면(135)을 포함한다. 여기서, 외부 상면(131)은 내부 상면(121)에 밀착되고, 외부 하면(132)은 내부 하면(122)에 밀착되며, 외부 양측면(133,134)은 내부 양측면(123,124)에 각각 밀착되고, 외부 후면(135)은 내부 후면(125)에 밀착된다. 또한, 외부 하우징(130)의 양측면을 관통해서는, 일측에 상술한 다수의 급기관(126)이 결합되고, 타측에 다수의 배기관(127)이 결합된다.

기움 방지 블럭(140)은 외부 하우징(130)을 관통하여 기판 지지부(110)의 지지 기둥(111)에 밀착됨으로써, 캔틸레버(113) 및 기판(101)의 자중에 의해 지지 기둥(111)이 전측으로 기울어지지 않도록 한다. 보다 구체적으로, 캔티레버(113)는 후측인 고정단이 지지 기둥(111)에 결합되어 고정되고, 전단인 자유단이 지지되지 않는다. 따라서, 지지 기둥(111)은 캔틸레버(113)의 자중과 기판의 무게에 의하여 전단측으로 기울어질 수 있다. 그러나, 기움 방지 블록(140)은 지지 기둥(111)의 상단 전측과 접촉하면서 지지 기둥(111)이 전측으로 기울어지는 것을 방지한다. 또한, 기움 방지 블럭(140)은 외부 하우징(130)의 외부 상면(131)을 관통하여, 지지 기둥(111)의 상부 영역 전측에 밀착된다. 여기서, 기판 지지부(110)의 지지 기둥(111)은 내부 하우징(120)의 내부 후면(125)에 결합된 보강대(125a)에 결합되며, 지지 기둥(111)은 내부 상면(121)을 관통하여 상부로 일정 길이 돌출 및 연장되어 있다. 따라서, 돌출된 지지 기둥(111)의 전측에 기움 방지 블럭(140)이 밀착된다.

여기서, 내부 하우징(120)과 외부 하우징(130) 사이에는 통상의 열처리를 위한 가열 히터(미도시)가 장착되어 있으나, 이는 당업자에게 주지된 내용이므로 이에 대한 설명은 생략한다.

한편, 내부 하우징(120)의 전측에는 사각 프레임 형태의 머플 개구부(128)가 설치되어 있으며, 이러한 머플 개구부(128)를 통해 기판(101)이 캔틸레버(113)에 장착된다.

한편, 상기 머플 개구부(128)는 도 6과 도 7에 도시된 바와 같은 셔터(150)에 의하여 열처리 공정 중에서는 차폐될 수 있다. 상기 셔터(150)는 판상의 셔터 본체(152)와 셔터 본체(152)의 전면에 형성되는 발열체(154) 및 셔터 본체(152)를 이동시키는 이동 수단(156)을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 셔터(150)는 도 6과 도 7에 도시된 구조외에도 머플 개구부를 차폐할 수 있는 다양한 구조로 형성될 수 있다.

이와 같이 하여, 본 발명은 수평 방향으로 배열된 다수의 지지 기둥을 구비하고, 또한 각각의 지지 기둥에 지지 기둥의 길이 방향을 따라 배열된 다수의 캔틸레버를 구비하며, 이러한 캔틸레버 위에 디스플레이용 기판이 거치되도록 함으로써, 최소 공간에 최대 개수의 디스플레이용 기판이 수용되어 열처리되도록 한다.

도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템 중 외부 하우징 및 내부 하우징에 대한 단면도가 도시되어 있고, 도 2b를 참조하면, 도 2a의 2b 영역에 대한 확대 단면도가 도시되어 있다.

도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 지지 기둥(111)과 캔틸레버(113)로 이루어진 기판 지지부(110)는 내부 하우징(120)의 내측에 설치되고, 내부 하우징(120)은 외부 하우징(130)의 내측에 설치된다. 또한, 내부 하우징(120) 및 외부 하우징(130)의 개방된 전측에는 기판(101) 삽입을 위한 머플 개구부(128)가 설치되어 있다.

여기서, 기판 지지부(110)의 지지 기둥(111)은 내부 하우징(120)의 내부 후면(125)에 결합된 보강대(125a)에 결합되어 있으며, 예를 들면, 2개의 볼트 넛트(112)에 의해 보강대(125a)에 견고하게 결합된다. 따라서, 기지 기둥(111) 및 보강대(125a)는 내부 하우징(120)의 내부 후면(125)을 지지하는 기둥의 역할을 할 수 있다. 또한, 내부 하우징(120)은 내부 후면(125)을 지지하는 별도의 기둥을 설치할 필요가 없으며, 활용 가능한 내부 공간이 증가될 수 있다. 또한, 지지 기둥(111)의 상부 영역은 내부 하우징(120)의 내부 상면(121)을 관통하고 있으며, 내부 상면(121)의 상부로 일정 높이로 돌출 및 연장되어 있다.

더욱이, 기움 방지 블럭(140)이 외부 하우징(130)의 외부 상면(131)을 관통하여 하부로 일정 길이 돌출 및 연장되어 있으며, 이와 같이 돌출 및 연장된 영역이 지지 기둥(111)의 상부 영역 전측에 밀착되어 있다. 따라서, 캔틸레버(113) 및 기판(101)의 자중에 의한 지지 기둥(111)의 기움 현상이 기움 방지 블럭(140)에 의해 효율적으로 억제된다.

한편, 내부 후면(125)는 도 2a에 도시된 바와 같이 전체가 하나의 판상으로 형성되어 지지 기둥(111)의 후면에 결합되는 대신에, 도 1d 및 도 1e에 도시된 바와 같이, 복수 개의 판상으로 형성되어 지지 기둥(111) 사이에 위치하도록 형성될 수 있다. 즉, 내부 후면은 지지 기둥(111) 사이의 거리에 대응되는 폭과 지지 기둥(111)의 높이에 대응되는 높이로 형성되며, 지지 기둥(111)의 측면에 결합되도록 형성될 수 있다. 이러한 경우에 내부 하우징(120)의 내부 공간이 더욱 증가될 수 있으며, 내부 후면의 결합이 보다 용이해질 수 있다.

이와 같이 하여, 본 발명은 지지 기둥(111)이 내부 하우징(120)에 결합되도록 하고, 내부 하우징(120)은 외부 하우징(130)에 결합되도록 하며, 외부 하우징(130)에 지지 기둥(111)을 향하여 연장되고, 지지 기둥(111)의 전측에 밀착된 기움 방지 블럭(140)이 설치되도록 함으로써, 캔틸레버(113) 및 기판(101)의 자중에 의한 지지 기둥(111)의 기움 현상이 방지되도록 한다.

도 3a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템 중 내부 하우징에 대한 단면도가 도시되어 있고, 도 3b를 참조하면, 도 3a의 3b 영역에 대한 확대 단면도가 도시되어 있다.

도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 내부 하우징(120)의 개방된 영역에는 사각 프레임 형태의 머플 개구부(128)가 더 결합된다. 더욱이, 머플 개구부(128)는 내부 하우징(120)의 내부 상면(121), 내부 하면(122) 및 내부 양측면(123,124)에 끼워 맞춤 방식으로 결합됨으로써, 외부 이물질이 내부 하우징(120)의 내측으로 유입되지 않도록 한다.

좀더 구체적으로, 내부 하우징(120)의 내부 상면(121), 내부 하면(122) 및 내부 양측면(123,124)에는 요홈(128a)이 형성되고, 이러한 요홈(128a)에 머플 개구부(128)중 플랜지(128b)가 끼워 맞춤 또는 억지 끼워 맞춤 방식으로 결합된다. 또한, 플랜지(128b)에 요홈(128c)이 형성되고, 이러한 요홈(128c)에 머플 개구부(128)중 몸체(128d)가 끼워 맞춤 또는 억지 끼워 맞춤 방식으로 결합된다. 이러한 끼워 맞춤 방식에 의해, 머플 개구부(128)와, 내부 하우징(120)의 내부 상면(121), 내부 하면(122) 및 내부 양측면(123,124)의 경계를 통한 내부 하우징(120) 내측으로의 이물질 유입이 방지된다.

이와 같이 하여, 본 발명은 내부 하우징(120) 및 머플 개구부(128)의 연결부가 끼워 맞춤 방식으로 결합될 수 있도록 요홈(128a, 128c)을 구비함으로써, 내부 하우징(120)과 머플 개구부(128) 사이의 경계를 통한 이물질이 내부 하우징(120)의 내측으로 유입되지 않도록 한다.

도 4a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 시스템 중 내부 하우징에 대한 단면도가 도시되어 있고, 도 4b를 참조하면, 도 4a의 4b 영역에 대한 확대 단면도가 도시되어 있으며, 도 4c를 참조하면, 도 4a의 4c 영역에 대한 확대 단면도가 도시되어 있다.

도 4a에 도시된 바와 같이, 내부 하우징(120)의 양측면에는 각각 다수의 급기관(126) 및 다수의 배기관(127)이 결합된다. 따라서, 급기관(126)을 통하여 공정 가스가 내부 하우징(120)의 내부 일측으로 전체적으로 공급되고, 또한 배기관(127)을 통하여 열처리후 가스가 내부 하우징(120)으로부터 용이하게 배출된다.

또한, 도 4a에 도시된 바와 같이, 내부 하우징(120)의 후면에는 수직 방향의 높이를 갖는 지지 기둥(111)이 결합된다. 특히, 지지 기둥(111)의 상부 영역은 내부 하우징(120)의 내부 상면(121)을 관통하여 상부로 일정 길이 돌출 및 연장되며, 이와 같이 돌출된 상부 영역의 전측에는 기움 방지 블럭(140)이 밀착된다. 상술한 바와 같이 이러한 기움 방지 블럭(140)은 외부 하우징(130)의 외부 상면(131)에 결합된다. 따라서, 캔틸레버(113) 및 그 위의 기판(101)에 의한 자중에 의해 지지 기둥(111)이 전측으로 기울어지는 현상이 방지된다.

또한, 도 4a에 도시된 바와 같이, 내부 하우징(120)의 내부 양측면(123,124)에는 캔틸레버(113)를 향하여 일정 길이 돌출된 돌기(129)가 더 결합되어 있으며, 이러한 돌기(129)에도 지지핀(129a)이 결합되어 있다. 따라서, 기판(101)은 캔틸레버(113)에 구비된 지지핀(113a)과 돌기(129)에 구비된 지지핀(129a)에 의해 안정적으로 지지된다. 여기서, 양측의 돌기(129)는 내부 하우징(120)의 양측면에 각각 고정됨은 당연하다.

한편, 도 4b에 도시된 바와 같이, 내부 상면(121)은 상면 커버(121a)와 상면 커버 플레이트(121c)를 포함한다. 여기서, 상면 커버(121a)는 상술한 돌기(129)의 상부 영역에 지지되고, 또한 상면에 단차진 안착면(121b)을 포함한다. 더욱이, 상면 커버 플레이트(121c)는 상면 커버(121a)의 단차진 안착면(121b)에 안착되어 고정된다. 이와 같이 하여, 상면 커버(121a)와 상면 커버 플레이트(121c) 사이의 계면을 통한 이물질이 내부 하우징(120)의 내측으로 유입되지 않는다.

또한, 도 4b에 도시된 바와 같이, 내부 상면(121)과 내부 양측면(123,124) 및 내부 후면(125)의 사이에 보조 커버(121d)가 더 구비된다. 좀더 구체적으로, 보조 커버(121d)는 내부 양측면(123,124) 및 내부 후면(125)에 안착되는 동시에, 상면 커버(121a)에도 안착된다. 특히, 보조 커버(121d)에는 요홈(121e)이 형성되어, 내부 양측면(123,124) 및 내부 후면(125)이 결합되고, 또한 보조 커버(121d)에는 측부 안착턱(121g)이 형성되어, 상면 커버(121a)에 안착된다. 이와 같이, 내부 상면(121)과 내부 양측면(123,124) 및 내부 상면(121)과 내부 후면(125) 사이에 보조 커버(121d)가 더 구비됨으로써, 내부 상면(121)과 내부 양측면(123,124), 내부 상면(121)과 내부 후면(125) 사이의 계면을 통한 이물질이 내부 하우징(120)의 내측으로 유입되지 않는다.

또한, 도 4c에 도시된 바와 같이, 내부 하면(122)은 하면 커버(122a)와 하면 커버 플레이트(122c)를 포함한다. 여기서, 하면 커버(122a)는 상면에 단차진 안착면(122b)을 포함한다. 더욱이, 하면 커버 플레이트(122c)는 하면 커버(122a)의 단차진 안착면(122b)에 안착되어 고정된다. 이와 같이 하여, 하면 커버(122a)와 하면 커버 플레이트(122c) 사이에 이물 유입 경로를 길게 형성함으로써 하면 커버(122a)와 하면 커버 플레이트(122c) 계면을 통하여 이물질이 내부 하우징(120)의 내측으로 유입되지 않도록 한다.

또한, 내부 양측면(123,124) 및 내부 후면(125)은 내부 하면(122)의 단차진 안착면(122d)에 결합된다. 따라서, 내부 양측면(123,124)과 내부 하면(122), 내부 양측면(123,124)과 내부 후면(125) 사이의 계면을 통한 이물질이 내부 하우징(120)의 내측으로 유입되지 않는다.

이와 같이 하여, 본 발명은 내부 하우징(120)의 각 연결부가 끼워 맞춤 방식으로 결합될 수 있도록 안착 단차면을 구비하거나, 안착 요홈을 구비함으로써, 내부 하우징의 각 연결부를 통해 외부의 이물질이 내부로 유입되지 않도록 한다.

도 5를 참조하면, 본 발명 의 일 실시예에 따른 열처리 시스템 중 내부 하우징에 대한 후면도가 도시되어 있다.

도 5에 도시된 바와 같이, 내부 하우징(120)의 내부 후면(125)에 지지 기둥(111)이 결합된다. 즉, 내부 후면(125)의 사이사이에 보강대(125a)가 설치되고, 이러한 보강대(125a)에 지지 기둥(111)이 결합된다. 더욱이, 지지 기둥(111)의 상부 영역은 내부 하우징(120)의 내부 상면(121)을 관통하며, 관통된 영역의 전측에 기움 방지 블럭(140)이 밀착된다. 더불어, 내부 하우징(120)의 양측면에는 각각 급기관(126)과 배기관(127)이 결합된다.

이와 같이 하여, 열처리 시스템(100)은 지지 기둥(111) 상부 영역의 전단면에 기움 방지 블럭(140)이 밀착 설치됨으로써, 지지 기둥(111)의 기움 현상이 방지되도록 한다. 또한, 열처리 시스템(100)은 내부 하우징(120)의 일측면에 다수의 급기관(126)이 전체적으로 배치되고 타측면에 다수의 배기관(127)이 전체적으로 배치된다. 내부 하우징(110)에는 기판이 수직 방향으로 일정 간격으로 배치되므로, 내부 하우징(110)의 측면에서 급기관(126)을 통하여 공급되는 공정 가스는 기판(101)들 사이의 공간을 따라 일측에서 타측으로 흐르면서 기판의 상면에 전체적으로 접촉하게 된다. 또한, 공정 가스는 기판들 사이를 빠져 나온 후에는 배기관(127)을 통하여 내부 하우징(120)의 외부로 배출되므로 공정 가스가 원활하게 배출될 수 있다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 열처리 시스템을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

100; 본 발명에 따른 열처리 시스템
101; 기판 110; 기판 지지부
111; 지지 기둥 112; 볼트 넛트
113; 캔틸레버 113a; 지지핀
120; 내부 하우징 121; 내부 상면
122; 내부 하면 123,124; 내부 양측면
125; 내부 후면 126; 급기관
127; 배기관 128; 머플 개구부
129; 돌기 129a; 지지핀
130; 외부 하우징 140; 기움 방지 블록
150: 셔터 152: 셔터 본체
154: 발열체 156: 이동수단

Claims (12)

1. 다수의 지지 기둥과, 상기 지지 기둥에 결합되어 기판을 지지하는 캔틸레버를 포함하는 기판 지지부;
   상기 기판 지지부가 결합되며, 전측이 개방된 육면체 형태의 내부 하우징; 및,
   상기 내부 하우징을 감싸며, 전측이 개방되는 육면체 형태의 외부 하우징을 포함하며,
   상기 외부 하우징을 관통하여 상기 기판 지지부의 지지 기둥에 밀착된 기움 방지 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 내부 하우징은 내부 상면, 내부 하면, 내부 양측면 및 내부 후면을 포함하고,
   상기 지지 기둥은 상기 내부 후면과 결합되며, 상기 내부 상면을 관통하여 상부로 돌출되는 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 내부 후면에는 보강대가 더 결합되고, 상기 보강대에 상기 지지 기둥이 결합된 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.
5. 제 3 항에 있어서,
   상기 내부 하우징의 일측에는 다수의 급기관이 결합되고, 타측에는 다수의 배기관이 결합되는 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.
6. 제 3 항에 있어서,
   상기 내부 상면은 상면 커버와 상면 커버 플레이트를 포함하고,
   상기 상면 커버 플레이트는 상면 커버의 단차진 안착면에 결합되는 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.
7. 제 3 항에 있어서,
   상기 내부 상면과 상기 내부 양측면 및 상기 내부 후면의 사이에 보조 커버가 더 개재된 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.
8. 제 3 항에 있어서,
   상기 내부 하면은 하면 커버와 하면 커버 플레이트를 포함하고,
   상기 하면 커버 플레이트는 하면 커버의 단차진 안착면에 결합되는 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.
9. 제 3 항에 있어서,
   상기 내부 하우징은 상기 기판의 지지를 위해 상기 캔틸레버를 향하여 돌출된 돌기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.
10. 제 1 항에 있어서,
    상기 외부 하우징은 외부 상면, 외부 하면, 외부 양측면 및 외부 후면을 포함하고,
    상기 기움 방지 블럭은 상기 외부 상면을 관통하여 상기 지지 기둥의 전측에 밀착되는 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 외부 하우징의 양측면 및 상기 내부 하우징의 양측면을 관통하며, 일측에는 다수의 급기관이 결합되고, 타측에는 다수의 배기관이 결합되는 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.
12. 제 1 항에 있어서,
    상기 내부 하우징의 개방된 영역에는 머플 개구부가 더 결합되고,
    상기 머플 개구부는 상기 내부 하우징의 내부 상면, 내부 하면 및 내부 양측면에 끼워 맞춤 방식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.

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