CN102874495B - 用于容纳多个基板的盒 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于容纳多个基板的盒,所述盒可包括:盒体,用于容纳多个基板;门,用于选择性地密封盒体;多个磁性单元,用于首先使门结合到盒体;以及多个闩锁单元,用于使门二次结合到盒体。因为门完全接触盒体,所以可从根本上防止来自外部环境的污染源的侵入。另外,因为通过磁性单元和闩锁单元门被双重结合到盒体,所以可以实现牢固的结合。

Description

用于容纳多个基板的盒
本申请参照于2011年7月7日在先提交到韩国知识产权局且因此适时分配序列号10-2011-0067537的申请,将该申请包含于此并要求该申请的全部权益。
技术领域
本发明涉及一种盒,更具体地讲,本发明涉及一种用于容纳基板以防止当转移或存放基板时污染基板的盒。
背景技术
通常,为方便起见,在制造过程中,诸如有机发光显示器(OLED)或液晶显示器(LCD)的平板显示装置使用大尺寸的母玻璃。
当制造平板显示装置时,使用用于容纳基板的盒来转移或存放多张母玻璃。该盒容纳基板(诸如多张母玻璃)。
在大多数情况下,用于制造平板显示装置的净化室具有空气净化设备。然而,当转移和存放容纳在盒中的基板时,粘附于工人或漂浮在净化室中的外来物质会容易地侵入盒中,并可以粘附于基板的表面。这样,平板显示装置会劣化。因此,需要选择性地密封盒的内部空间。
发明内容
根据本发明的一个方面,提供了一种用于容纳多个基板的盒,所述盒可以包括:盒体,用于容纳多个基板;门,用于选择性地密封盒体;多个磁性单元,用于首先使门与盒体结合;以及多个闩锁单元,用于使门与盒体二次结合。
盒体可以形成框架结构,在该框架结构中,多个框架以箱形连接,多个盖板可以结合到多个框架上。
用于支撑垂直堆叠的多个基板的多个支撑单元可以形成在盒体中,并可以从盒体的后侧向盒体的开口延伸,从而横穿盒体的内部空间,用于支撑多个基板的侧边缘的多个座可以从盒体的侧框架突出。
用于支撑多个基板的后边缘的后阻挡件可以连接至盒体后侧的框架。
还可以沿门的面向盒体的开口的边缘形成密封件。
所述磁性单元可以包括一个或多个形成在门或盒体中的磁体;以及形成在盒体或门中并由于磁力而结合到磁体的导体板。
可以沿门的面向盒体的开口的边缘形成所述磁体,可以在盒体的开口周围形成导体板,从而对应于磁体。
每个闩锁单元可以包括闩锁销,闩锁销插入到形成在门框架中的门导向槽中并朝向和离开盒体直线往复地运动。
闩锁销可以包括:主体单元,选择性地结合到形成在盒体中的闩锁销结合凹进;以及销单元,形成在主体单元的一端,并具有闩锁销孔,外部工具的销插入到闩锁销孔中以使闩锁销直线往复地运动。
每个闩锁单元还可以包括用于控制闩锁销的运动的位置固定单元。
所述位置固定单元可以包括:锁定凹进,形成在闩锁销的主体单元周围;以及锁定单元,形成在门框架中并选择性地结合到锁定凹进,从而在闩锁销移动后固定闩锁销的位置。
所述锁定单元可以包括:弹簧,形成在门框架中形成的凹进中;以及锁定球,形成在弹簧上并选择性地结合到锁定凹进。
所述锁定凹进和所述锁定单元可以分别形成在闩锁销的主体单元和门框架中,按照锁定凹进和锁定单元所形成的位置,防止了在闩锁销结合到闩锁销结合凹进后闩锁销发生位移。
还可以在门的背对盒体的开口的前表面中形成开孔,该开孔用于使外部工具的销插入到闩锁销孔中从而直线移动闩锁销。
一个或多个闩锁销导向件可以在门框架的门导向槽内围绕闩锁销形成,从而防止当闩锁销移动时闩锁销产生响声。
还可以在门的前表面中形成一个或多个准直孔,用于相对于盒体选择性地打开和关闭门的外部工具的准直销插入到一个或多个准直孔中,以使外部工具在门上对准。
还可以在门中形成用于控制密封的盒体的内部压力的气体过滤单元。
用于使门正确地结合到盒体的一个或多个角部导向单元可以形成在门的侧表面上,所述侧表面将门的面向盒体的开口的后表面与门的背对盒体的开口的前表面连接。
被外部工具真空吸附的区域可以形成在门的前表面上。
还可以沿盒体的开口的边缘形成密封件。
用于运输盒的架空提升传输(OHT)柄可以形成在盒体的上表面上。
附图说明
当结合附图考虑时,通过参照下面的详细描述,对本发明更完整的理解以及本发明的许多附带的优点将容易清楚,并且更易于理解,在附图中相同的标号表示相同或相似的组件,其中:
图1是根据本发明实施例的用于容纳基板的盒的分解正透视图;
图2是图1中示出的盒的分解后透视图;
图3是图1中示出的门的透视图;
图4是图3中示出的磁性单元的放大透视图;
图5是沿图3中示出的V-V线截取的剖视图;
图6是图3中示出的角部导向单元和密封件的放大透视图;以及
图7是根据本发明的另一个实施例的盒体和密封件的放大透视图。
具体实施方式
虽然本发明的示例性实施例容易具有各种修改和可替换的形式,但是在附图中通过示例的方式示出了本发明的特定实施例,并且在这里将进行详细的描述。然而,应该理解的是,并不意图将本发明的示例性实施例局限于公开的具体形式,而是相反,本发明的示例性实施例将覆盖落入本发明的精神和范围内的所有修改、等同物和替换物。在本发明的下面的描述中,当包括在此处的已知功能和构造的详细描述会使本发明的主题不清楚时,将省略对这些已知功能和构造的详细描述。
应该理解的是,尽管在这里可使用术语第一、第二等来描述不同的元件,但是这些元件不应该受这些术语的限制。这些术语仅是用来将一个元件与另一个元件区分开来。
这里使用的术语仅为了描述具体实施例的目的,而不意图限制本发明的示例性实施例。如这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式。还应理解的是,当在这里使用术语“包含”和/或“包括”时,说明存在所述特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组,但不排除存在或附加一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。
在下文中,将参照附图通过解释本发明的实施例详细地描述本发明。在附图中相同的标号指示相同的元件,因此将省略重复的描述。
图1是根据本发明实施例的用于容纳基板的盒的分解正透视图;图2是图1中示出的盒的分解后透视图;图3是图1中示出的门的透视图。
参照图1至图3,盒100包括盒体110、门120、多个磁性单元130和多个闩锁单元150。
盒体110形成框架结构,在该框架结构中,多个框架111以箱形连接。在这种情况下,盒体110的至少一个表面形成为开口112,开口112为容纳基板(诸如多张母玻璃)210提供入口。框架111可以由刚性优良的金属材料形成。
盖板113结合到框架111的外侧。可以在框架结构的每个表面中形成一个盖板113,或可以形成多个盖板113以覆盖框架111彼此连接的区域。
作为结合方法,可以将盖板113插入到形成在框架111中的凹槽中,或可以将盖板113用螺钉固定在框架111的前表面或后表面上。然而,结合方法不限于此。除了开口112以外,盖板113完全覆盖框架111的外侧。盖板113可以由聚合物树脂(诸如聚碳酸酯)形成。
用于支撑基板210的、垂直堆叠的多个支撑单元114形成在盒体110内。形成支撑单元114以防止具有大尺寸的基板210下垂。
支撑单元114从盒体110的后侧向盒体110的前侧(即,向开口112)形成,以在水平方向上横穿盒体110的内部空间。支撑单元114通过额外形成的支撑构件(未示出)结合到盒体110的框架111。支撑单元114形成为条状以支撑基板210的下表面。支撑单元114在盒体110的垂直方向上彼此分隔开。
座115形成在盒体110的两个面对的侧上。座115形成为从左框架111和右框架111向盒体110的内部空间突出的突起。形成座115以支撑基板210的左右边缘。座115被设置在与支撑单元114的高度相同的高度。
这样,当将基板210装入盒体110时,基板210的下表面由支撑单元114支撑。同时,基板210的侧边缘由座115支撑。因此,基板210被稳妥地设置在盒体110内。
后阻挡件116形成在盒体110的后侧。后阻挡件116形成为一个或多个垂直条。后阻挡件116连接到盒体110的后框架111。后阻挡件116支撑基板210的后边缘。
后阻挡件116防止穿过盒体110的开口112容纳的基板210移动而超出盒体110的后侧。
同时,垫117形成在框架111下面,当盒体110移动时,垫117具有用于吸收外部冲击的缓冲力。
门120形成在盒体110的前侧。门120选择性地与开口112结合,为容纳基板210提供入口。这样,可以通过门120打开或关闭盒体110。
多个门框架121彼此连接以形成门120,门板122结合到门框架121上。门120具有足以完全覆盖开口112的尺寸。
这里,磁性单元130形成在盒体110和门120上,以便选择性地将门120结合到盒体110上。
磁性单元130包括:一个或多个磁体131(见图4),形成在盒体110或门120内;以及导体板132,形成在门120或盒体110内以对应于磁体131。
现在将详细描述磁性单元130。
图4是图3中示出的磁性单元的放大透视图。更具体地,图4示出了形成有图3中示出的磁性单元130的门120的一部分。
参照图3和图4,磁性单元凹进123沿门120的面向图1中示出的盒体110的开口112的边缘形成在门框架121中并彼此分隔开。磁性单元凹进123容纳磁体131,诸如具有强磁力的钕(Nd)磁体。可以形成磁体固定件133以覆盖磁体131。
当门120结合到盒体110时结合到磁体131的导体板132(见图1)被形成为面向磁体131且围绕盒体110的开口112。设置导体板132以沿盒体110的开口112的边缘对应于磁体131。可以通过在门框架121或盒体110的框架111中形成凹槽来形成导体板132。
如果门120接触盒体110,则形成在门120的后表面内的磁体131粘附于形成在盒体110中的导体板132。因此,盒体100的内部空间可被密封为与外部环境隔离。
在这种情况下,还在盒体110和门120内形成闩锁单元150,以便加强门120与盒体110的结合。
图5是沿图3中示出的V-V线截取的剖视图。
参照图5,闩锁单元150包括形成在门框架121内的闩锁销151。闩锁销151包括具有圆柱形形状的主体单元152和从主体单元152的一端突出的销单元153。
闩锁销151插入到形成在门框架121中的门导向槽124中,从而朝向和离开盒体110的框架111直线往复地运动。门导向槽124在门框架121的水平方向上延伸至预定的长度。
闩锁销孔154形成在销单元153中。将用于吸住门120的外部工具(例如,机械手工具)的销(未示出)插入到闩锁销孔154中。
在机械手工具的销被插入到闩锁销孔154中之后,闩锁销151可以通过机械手工具直线往复运动,因此闩锁销151可以被插入到形成在盒体110的框架111内的闩锁销结合凹进118中。
在这种情况下,用于控制闩锁销151的运动的位置固定单元155进一步形成在闩锁销151周围。位置固定单元155包括形成在闩锁销151中的锁定凹进156和形成在门框架121内的锁定单元157。
锁定凹进156在闩锁销151的主体单元152周围形成至预定的深度。锁定单元157与锁定凹进156选择性地结合,从而在闩锁销151移动后固定闩锁销151的位置。
锁定单元157包括:弹簧158,形成在门框架121中的凹进内;以及锁定球159,形成在弹簧158上且与锁定凹进156结合。锁定球159由于弹簧158而保持弹力。
闩锁销151插入到闩锁销结合凹进118中之后,为了防止闩锁销151由于外部冲击等而发生位移,锁定球159结合到锁定凹进156。
锁定凹进156和锁定单元157分别形成在闩锁销151的主体单元152中和门框架121中,按照其所形成的位置,可防止在闩锁销151结合到闩锁销结合凹进118后闩锁销151发生位移。
锁定凹进156的入口156a可以是弯曲的,以使锁定球159适当的结合并防止锁定球159的磨损。
另外,一个或多个闩锁销导向件220形成在门导向槽124内,从而防止当闩锁销151直线往复运动时闩锁销151由于闩锁销151和门导向槽124之间的间隙而产生响声(rattling)。
闩锁销导向件220围绕闩锁销151。沿形成在门框架121中的门导向槽124的周边形成闩锁销导向件220,或者在形成在门框架121中的门导向槽124的内周壁上形成闩锁销导向件220。闩锁销导向件220可由在闩锁销151移动时能够减少闩锁销151的磨损的聚合物树脂形成。
同时,开孔125进一步形成在门120的前表面内,上述开孔125用于将机械手工具的销插入到闩锁销孔154中从而向左或向右移动闩锁销151,并用于提供移动机械手工具的销的空间。
返回参照图1至图3,多个准直孔140形成在门120的前表面中。当门120选择性地与盒体110结合时,用于吸住门120的机械手工具接触门120的前表面。在这种情况下,机械手工具的准直销插入其中的准直孔140形成在门120内,从而检查机械手工具是否设置在门120上的正确位置处。
准直孔140在门120的前表面内沿门板122的厚度方向形成至预定的深度。准直孔140可以具有用于在门板122的厚度方向上插入机械手工具的准直销的尺寸,准直孔140可以不穿透门板122。沿门120的前表面内的对角线方向形成准直孔140。
同时,为了控制内部压力,增强密封性,运用附着与脱离,或执行真空吸附,在门120中形成额外的元件。
多个气体过滤单元160形成在门120中。如果盒100的内部压力增加,则气体过滤单元160排放内部空气,或气体过滤单元160过滤进入盒100的外来物质。
图6是图3中示出的角部导向单元和密封件的放大透视图;以及图7是根据本发明另一实施例的盒体和密封件的放大透视图。
如图6所示,密封件170沿门120的边缘形成在门120的面向盒体110的开口112的后表面上。可选地,如图7所示,密封件170可以沿盒体110的开口112的边缘形成在框架111内。
返回参照图6,在门120的侧表面(例如上表面、下表面、左表面和右表面中的至少一个)上形成多个角部导向单元180,所述侧表面将门120的面向盒体110的开口112的后表面与门120的背对盒体110的开口112的前表面连接。角部导向单元180沿门120的边缘彼此分隔开。角部导向单元180的与盒体110的开口112相邻的部分181是锥形的,从而使门120正确的结合到盒体110。角部导向单元180可以由聚合物树脂形成。虽然如图6所示形成了多个角部导向单元180,但是可以仅形成一个角部导向单元180。
另外,机械手工具的真空吸附单元执行真空吸附的真空吸附区190(见图1)形成在门120的与盒体110的开口112背对的前表面上。真空吸附区190形成在门120的四个角。机械手工具的真空吸附单元可以对真空吸附区190单独执行真空吸附,以选择性地使门120与盒体110分离。
同时,返回参照图1至图3,用于运输盒100的架空提升传输(OHT)柄200形成在盒体110的上表面上。
现在将描述具有上述结构的盒100的操作。
这里,在盒100中,基板210堆叠在盒体110的内部空间中,门120结合到盒体110。
最初,机械手工具靠近以接触门120。在机械手工具接触门120后,机械手工具的多个准直销插入到沿门120的前表面中的对角线方向形成的准直孔140中。通过将机械手工具的准直销插入到准直孔140中,可以检查机械手工具是否设置在门120上的正确位置。
然后,机械手工具的多个真空吸附单元对形成在门120的前表面的角部处的真空吸附区190执行真空吸附。可以通过机械手工具的真空吸附单元吸附门120,直到一个循环工艺完成,因此减少工艺的数量。
之后,操作闩锁单元150以释放门120与盒体110的结合状态,其中,闩锁单元150被形成为提高门120与盒体110的结合力的安全元件。
更详细地,闩锁销151结合到形成在盒体110的框架111中的闩锁销结合凹进118。为了释放这种结合,机械手工具的销穿过形成在门120的前表面中的开孔125插入到闩锁销孔154中。
然后,形成有闩锁销孔154的销单元153移至门120的左侧,使得结合到闩锁销结合凹进118的闩锁销151的主体单元152与闩锁销结合凹进118分离。
在这种情况下,因为结合到锁定凹进156以控制闩锁销151的运动的锁定球159机械接触锁定凹进156,所以锁定球159与锁定凹进156分离。这样,锁定销151可以沿门导向槽124向左移动。
通过如上所述操作闩锁单元150,闩锁销151从形成在盒体110的框架111中的闩锁销结合凹进118释放。
然后,被机械手工具的真空吸附单元吸附的门120与盒体110分离。在这种情况下,由于机械手工具的外力,所以粘附到盒体110的导体板132的门120的磁体131被强制性地释放。
之后,通过使用卸载工具卸载垂直堆叠在盒体110中的基板210,然后将基板210转移以执行期望的工艺。
在将垂直堆叠在盒体110内的基板210完全卸载之后,将多个其他的基板210装载到盒体110中。
在这种情况下,因为基板210具有大尺寸,所以中心部分会下垂。为了防止这个问题,用从盒体110的后侧向开口112形成从而横穿盒体110的内部空间的支撑单元114支撑基板210。同时,将基板210的左边缘和右边缘放置在座115上,其中,座115被形成为彼此面对且从框架111突出。
另外,基板210由形成在盒体110后侧的后阻挡件116支撑,因此基板210不会移动而超出盒体110的后侧。这样,基板210可以稳妥地容纳在盒体110内。
在如上所述完成再次装载多个基板210后,将门120结合到盒体110。在这种情况下,在之前的工艺中已经用机械手工具的真空吸附单元真空吸附了门120。
沿门120的边缘形成在磁性单元凹进123中的磁体131粘附于围绕盒体110的开口112形成从而对应于磁体131的导体板132。因此,门120首先结合到盒体110。
在这种情况下,在门120的侧表面(例如上表面、下表面、左表面和右表面中的至少一个)上形成角部导向单元180,所述侧表面将门120的面向盒体110的开口112的后表面与门120的背对盒体110的开口112的前表面连接。因为角部导向单元180的与盒体110的开口112相邻的部分181是锥形的,所以门120被正确地结合到盒体110。
此外,因为密封件170沿门120的边缘形成在门120的面向盒体110的开口112的后表面上,所以提高了密封性。
然后,操作形成的用来增强门120与盒体110的结合力的闩锁单元150,以将门120牢固地结合到盒体110。
在门120结合到盒体110后,机械手工具的销插入到闩锁销孔154中。然后,将形成有闩锁销孔154的销单元153移动至门120的右侧,使得闩锁销151的主体单元152插入到形成在盒体110的框架111中的闩锁销结合凹进118中。
在这种情况下,形成在门框架121中的锁定球159弹性地结合到在闩锁销151周围形成的锁定凹进156,从而防止闩锁销151的运动。在这种情况下,锁定凹进156的入口156a是弯曲的,以使锁定球159适当的结合。
然后,机械手工具的真空吸附单元与门120的真空吸附区190分离。
之后,插入在门120的前表面中沿对角线方向形成的准直孔140中的机械手工具的准直销被分离。
因此,完成了盒100的一个循环工艺。
这样,首先通过磁性单元130,其次通过闩锁单元150,盒100可以大大提高门120与盒体110的结合力。
如上所述,在用于容纳基板的盒中,根据本发明,因为门完全接触盒体,所以可从根本上防止来自外部环境的污染源的侵入。另外,因为门通过磁性单元和闩锁单元而双重地结合到盒体,所以可以实现牢固的结合。
尽管已经参照本发明的示例性实施例具体地示出和描述了本发明,但本领域的普通技术人员将理解的是,在不脱离由权利要求书限定的本发明的精神和范围的情况下,可以对此做出形式和细节上的各种改变。

Claims (26)

1.一种用于容纳多个基板的盒,所述盒包括:
盒体,用于容纳多个基板;
门,用于选择性地密封盒体;
多个磁性单元,用于首先使门结合到盒体;以及
多个闩锁单元,用于使门二次结合到盒体,
其中,所述盒还包括形成在盒体中并用于支撑垂直堆叠的多个基板的多个支撑单元,其中,所述多个支撑单元从盒体的后侧向盒体的开口延伸,从而横穿盒体的内部空间,
所述盒还包括用于支撑多个基板的侧边缘并从盒体的多个侧框架突出的多个座。
2.根据权利要求1所述的盒,其中,盒体形成框架结构,在该框架结构中,多个框架以箱形连接,多个盖板结合到多个框架上。
3.根据权利要求2所述的盒,所述盒还包括连接至盒体后侧的框架并用于支撑多个基板的后边缘的后阻挡件。
4.根据权利要求1所述的盒,其中,沿门的面向盒体的开口的边缘形成密封件。
5.根据权利要求1所述的盒,其中,所述磁性单元包括:
至少一个磁体,形成在门和盒体中的一个中;以及
导体板,形成在盒体和门中的另一个中,并由于磁力而结合到所述至少一个磁体。
6.根据权利要求5所述的盒,其中,沿门的面向盒体的开口的边缘形成所述至少一个磁体;以及
其中,导体板围绕盒体的开口形成,从而对应于所述至少一个磁体。
7.根据权利要求6所述的盒,所述盒还包括形成在所述至少一个磁体外侧以围绕所述至少一个磁体的至少部分的磁体固定件。
8.根据权利要求1所述的盒,其中,每个闩锁单元包括闩锁销,闩锁销插入到形成在门框架中的门导向槽中并朝向和离开盒体直线往复地运动。
9.根据权利要求8所述的盒,其中,所述闩锁销包括:
主体单元,选择性地结合到形成在盒体中的闩锁销结合凹进;以及
销单元,形成在主体单元的一端,并具有闩锁销孔,外部工具的销插入到闩锁销孔中以使闩锁销直线往复地运动。
10.根据权利要求9所述的盒,其中,每个闩锁单元还包括用于控制闩锁销的运动的位置固定单元。
11.根据权利要求10所述的盒,其中,所述位置固定单元包括:
锁定凹进,形成在闩锁销的主体单元周围;以及
锁定单元,形成在门框架中并选择性地结合到锁定凹进,从而在闩锁销移动后固定闩锁销的位置。
12.根据权利要求11所述的盒,其中,所述锁定单元包括:
弹簧,形成在门框架中形成的凹进中;以及
锁定球,形成在弹簧上并选择性地结合到锁定凹进。
13.根据权利要求11所述的盒,其中,锁定凹进和锁定单元分别形成在闩锁销的主体单元和门框架中,按照锁定凹进和锁定单元所形成的位置,防止了在闩锁销结合到闩锁销结合凹进后闩锁销发生位移。
14.根据权利要求11所述的盒,其中,锁定凹进的入口是弯曲的。
15.根据权利要求9所述的盒,其中,在门的背对盒体的开口的前表面中形成开孔,所述开孔用于使外部工具的销插入到闩锁销孔中从而直线移动闩锁销。
16.根据权利要求9所述的盒,所述盒还包括在门框架的门导向槽内围绕闩锁销形成的至少一个闩锁销导向件,闩锁销导向件用于防止闩锁销移动时闩锁销产生响声。
17.根据权利要求16所述的盒,其中,所述至少一个闩锁销导向件由聚合物树脂构成。
18.根据权利要求1所述的盒,其中,至少一个准直孔形成在门的前表面中,用于相对于盒体选择性地打开和关闭门的外部工具的至少一个准直销插入到所述至少一个准直孔中,以使外部工具在门上对准。
19.根据权利要求18所述的盒,其中,所述至少一个准直孔具有足以在门的厚度方向上插入外部工具的所述至少一个准直销的尺寸。
20.根据权利要求18所述的盒,其中,所述至少一个准直孔在门的前表面中沿对角线方向形成。
21.根据权利要求1所述的盒,所述盒还包括形成在门中并用于控制密封的盒体的内部压力的气体过滤单元。
22.根据权利要求1所述的盒,所述盒还包括形成在门的侧表面上的至少一个角部导向单元,所述至少一个角部导向单元用于使门正确地结合到盒体,所述侧表面将门的面向盒体的开口的后表面与门的背对盒体的开口的前表面连接。
23.根据权利要求22所述的盒,其中,所述至少一个角部导向单元的与盒体的开口相邻的部分是锥形的。
24.根据权利要求1所述的盒,其中,被外部工具真空吸附的区域形成在门的前表面上。
25.根据权利要求1所述的盒,其中,沿盒体的开口的边缘形成密封件。
26.根据权利要求1所述的盒,所述盒还包括形成在盒体的上表面上并用于运输盒的架空提升传输柄。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8915368B2 (en) * 2012-09-20 2014-12-23 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd LCD glass substrate storage tray
US8997996B2 (en) * 2013-03-18 2015-04-07 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Drawer type cushioning packaging device for liquid crystal glass
WO2016205159A1 (en) * 2015-06-15 2016-12-22 Entegris, Inc. Wafer carrier having a door with a unitary body
CN106144208B (zh) * 2016-07-25 2018-02-06 无锡市曙光高强度紧固件有限公司 一种运输货架
CN107472652A (zh) * 2017-07-19 2017-12-15 中国建材国际工程集团有限公司 镀膜玻璃存储箱

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101143637A (zh) * 2006-09-13 2008-03-19 株式会社大福 基板用的收纳容器

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09115997A (ja) 1995-10-18 1997-05-02 Advanced Display:Kk 収納カセット
JPH11159218A (ja) 1997-11-26 1999-06-15 Shin Etsu Polymer Co Ltd 精密基板容器のドアラッチ機構
JP2000289795A (ja) * 1999-04-06 2000-10-17 Kakizaki Mamufacuturing Co Ltd 薄板収納・輸送容器
JP3904772B2 (ja) 1999-09-30 2007-04-11 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器
JP2001298075A (ja) 2000-04-11 2001-10-26 Semiconductor Leading Edge Technologies Inc Foup構造ならびに基板収納治具搬送装置
JP2003089315A (ja) 2001-09-18 2003-03-25 Toyota Auto Body Co Ltd 室温調整装置
TW565008U (en) * 2002-11-13 2003-12-01 Foxsemicon Integrated Tech Inc Substrate cassette
KR20040066963A (ko) 2003-01-21 2004-07-30 삼성전자주식회사 웨이퍼 캐리어
JP2004244207A (ja) * 2003-02-17 2004-09-02 Hitachi Displays Ltd 搬送装置
KR20050003763A (ko) 2003-07-04 2005-01-12 삼성전자주식회사 웨이퍼용 카세트 수용 용기
US7077270B2 (en) * 2004-03-10 2006-07-18 Miraial Co., Ltd. Thin plate storage container with seal and cover fixing means
KR20070021733A (ko) 2005-08-19 2007-02-23 로체 시스템즈(주) 기판수납용 카세트
JP4482656B2 (ja) 2005-11-18 2010-06-16 ゴールド工業株式会社 ウエハ等精密基板収納容器
US20070175792A1 (en) * 2006-02-02 2007-08-02 Barry Gregerson Magnetic seal for wafer containers
US7418982B2 (en) * 2006-05-17 2008-09-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Substrate carrier and facility interface and apparatus including same
KR100772845B1 (ko) 2006-06-21 2007-11-02 삼성전자주식회사 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치
WO2009135144A2 (en) * 2008-05-01 2009-11-05 Blueshift Technologies, Inc. Substrate container sealing via movable magnets
US8424703B2 (en) * 2008-05-01 2013-04-23 Brooks Automation, Inc. Substrate container sealing via movable magnets
TWI365836B (en) * 2009-05-08 2012-06-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd Wafer container with the magnetic latch

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101143637A (zh) * 2006-09-13 2008-03-19 株式会社大福 基板用的收纳容器

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KR20130005880A (ko) 2013-01-16
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