KR20050003763A - 웨이퍼용 카세트 수용 용기 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트(cassette) 수용 용기는, 복수의 웨이퍼가 탑재되는 웨이퍼용 카세트(casette)를 내부에 수용하여 내부를 밀봉하고, 웨이퍼용 카세트 수용 용기에는 카세트 수용 후 밀봉된 내부에 질소의 입출입을 가능하게 하는 관통 홀(hole)이 형성되고, 관통 홀은 홀 폐쇄 부재로 개방 또는 밀봉된다. 상술한 바와 같은 구성에 의해, 웨이퍼용 카세트 수용 용기를 수차례 개봉하여도 웨이퍼용 카세트 수용 용기 내부에 질소를 공급하는 것이 가능하고, 또한 질소가 충진된 웨이퍼용 카세트 수용 용기의 내부 및 외부를 분리 차단하므로 내부에 수용된 웨이퍼의 Al 배선 금속의 산화를 방지할 수 있다. 이로 인해, 웨이퍼를 이동 및 보관할 경우 뚜껑을 개봉할 때마다 질소를 충진하는 질소룸(room) 또는 질소 기체가 충진된 웨이퍼용 카세트 수용 용기를 보관하는 캐비넷(cabinet)을 필요로 하지 않고 하나의 웨이퍼용 카세트 수용 용기만으로도 공정 전 과정에서 이동 및 보관이 가능하게 되므로, 이로 인해 비용 절감의 효과를 가져올 수 있다.

Description

웨이퍼용 카세트 수용 용기{Cassette housing case for wafers}

본 발명은 웨이퍼용 카세트(casette) 수용 용기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 밀봉된 내부에 질소의 입출입이 가능한 관통 홀(hole)이 형성된 웨이퍼용 카세트 수용 용기에 관한 것이다.

원자재 웨이퍼에 확산, 사진, 식각, 박막 등의 패브리케이션(fabrication) 공정이 완료되면 웨이퍼 상에는 전기 회로 배선이 형성된다. 이를 다시 말하면, 패브리케이션 공정이 완료된 웨이퍼 표면 상에는 배선이 되는 Al 금속이 도포되어 있는 상태가 된다. 이러한 표면에 Al 배선 금속이 형성된 웨이퍼는 웨이퍼용 카세트에 탑재되고, 복수의 웨이퍼가 탑재된 카세트는 다시 이를 수용하는 용기에 담겨져서, 어셈블리(assembly) 공정이 진행되는 장소로 이동 운반되거나, 공정 대기중에 보관되기도 한다. 이러한 용기를 웨이퍼용 카세트 수용 용기라 한다.

종래의 웨이퍼용 카세트 수용 용기의 한 형태를 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.

도 1은 종래의 웨이퍼용 카세트 수용 용기의 개방된 상태의 사시도이고, 도 2는 종래의 웨이퍼용 카세트 수용 용기의 측단면도이다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼용 카세트 수용 용기(10)는 용기 몸체(11) 및 용기 몸체(11)의 내부를 밀봉하는 뚜껑(12)을 포함한다. 용기 몸체(11) 내부에는 웨이퍼용 카세트(30)가 내부에 수용되더라도 흔들리지 않도록 웨이퍼용 카세트(30)를 지지하는 복수의 지지대(13,14,15 및 16)가 형성되어 있다. 웨이퍼용 카세트(30)가 용기 몸체(11) 내부에 삽입된 후에 뚜껑(12)이 닫혀지면 웨이퍼용 카세트 수용 용기(10)의 내부가 밀봉되어 웨이퍼(31)가 외부 환경으로부터 차단된다. 이러한 웨이퍼용 카세트 수용 용기(10)는 주로 플라스틱 재질의 용기가 사용된다.

한편, 상술한 바와 같이 패브리케이션 공정이 완료된 웨이퍼의 표면에는 Al 금속이 회로 배선으로 형성되어 있으므로, 아무런 조치 없이 이를 장기간 이동하거나 보관할 때는 Al 배선 금속이 산화될 가능성이 있다. Al 배선 금속이 산화되는 경우에는 제조되는 반도체 칩 및 반도체 패키지의 품질에 영향을 미쳐서 완제품이 정상적인 기능을 하지 못할 때가 있다. 이로 인해, 패브리케이션 공정이 완료된 웨이퍼를 상술한 웨이퍼용 카세트 수용 용기(10)에 수용하여 이동 및 보관하고자 할 때는, 우선 웨이퍼용 카세트 수용 용기(10)를 질소가 충진된 질소룸(room)으로 이동시키고 웨이퍼용 카세트가 수용된 내부에 Al 배선 금속의 산화 방지를 위한 질소 기체를 가득 채운 후 뚜껑을 닫아 밀봉해야 한다.

그런데, 패브리케이션 공정이 완료된 웨이퍼는, 질소가 투입된 웨이퍼용 카세트 수용 용기에 수용되고 나서, 이후의 이디에스(EDS; Electrical Die Sorting) 공정 등의 작업을 진행하기 위해서는 웨이퍼용 카세트 수용 용기로부터 각출되어 작업 진행이 되어야 하고, 공정 완료 후에는 다시 웨이퍼용 카세트 수용 용기에 보관 및 이동되어야 한다. 이러한 각출 및 재보관 과정에 있어서, 웨이퍼용 카세트 수용 용기는 뚜껑이 열려야 하고, 이로 인해 필연적으로 질소 기체가 외부로 누출된다. 따라서, 웨이퍼가 웨이퍼용 카세트 수용 용기에 재수용된다면, 내부가 질소 기체 분위기가 아니므로 Al 배선 금속이 산화될 가능성이 높아진다. 이러한 이유로, Al 배선 금속의 산화를 방지하기 위해서는 질소를 충진할 수 있는 공간인 질소룸이 요구되거나, 질소 기체가 충진되어 있어서 웨이퍼용 카세트 수용 용기를 보관하는 별도의 캐비넷(cabinet)이 더 요구된다. 따라서, Al 배선 금속이 형성된 웨이퍼에 대한 공정시마다 웨이퍼를 이동 및 보관하기 위해서는 질소룸이나 캐비넷을 필요로 하는 문제가 발생된다.

따라서, 본 발명의 목적은 패브리케이션 공정 이후의 공정에서 웨이퍼가 단일 용기로 보관 및 이동되도록 밀폐된 내부에 질소를 공급하는 것이 가능한 웨이퍼 수용 용기를 제공하는 것이다.

도 1은 종래의 웨이퍼용 카세트 수용 용기의 개방된 상태의 사시도,

도 2는 종래의 웨이퍼용 카세트 수용 용기의 측단면도,

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트 수용 용기의 개방된 상태의 사시도, 그리고

도 4는 도 3의 A 부분의 확대도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10,20: 웨이퍼용 카세트 수용 용기 11,21: 용기 몸체

12,22: 뚜껑 13~16, 23~26: 지지대

27: 관통 홀 30: 웨이퍼용 카세트

31: 웨이퍼 32: 홀 폐쇄 부재

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트 수용 용기는, 복수의 웨이퍼가 탑재되는 웨이퍼용 카세트를 내부에 수용하여 밀봉하고, 카세트 수용 후 밀봉된 내부에 질소의 입출입을 가능하게 하는 관통 홀(hole)이 형성되고, 관통 홀은 홀 폐쇄 부재로 개방 또는 폐쇄되는 것을 특징으로 한다. 그리고, 웨이퍼용 카세트 수용 용기는 웨이퍼용 카세트가 수용되는 용기 몸체 및 용기 몸체를 덮는 뚜껑을 포함한다.

또한, 홀 폐쇄 부재는 밀봉용 테이프(tape) 또는 마개인 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같은 구성에 의해, 뚜껑이 닫혀 있는 상태로 웨이퍼용 카세트 수용 용기 내부에 질소 기체를 자유자재로 입출입시킴으로써 질소룸이 없어도 그 내부가 질소 분위기로 되도록 하는 것이 가능할 뿐만 아니라, 웨이퍼용 카세트 수용 용기 내부에 충진된 질소 기체의 외부로의 유출을 차단하는 것이 가능하다.

이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트 수용 용기에 대해 자세히 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트 수용 용기의 개방된 상태의 사시도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 웨이퍼용 카세트 수용 용기(20)는 종래의 웨이퍼용 카세트와 유사한 구조로서, 용기 몸체(21) 및 뚜껑(22)을 포함하고, 용기 몸체(21) 내부에 복수의 지지대(23,24,25 및 26)가 형성되어 있으나, 이와는 다르게, 측면에 관통 홀(27)이 더 형성되어 있다. 본 도면에서는 관통 홀(27)이 용기 몸체(27)의 측면에 형성되어 있으나, 이는 밀폐된 웨이퍼용 카세트 수용 용기 내부에 질소를 공급할 수 있는 임의의 부위에 형성되는 것이 가능하다. 예를 들어, 뚜껑(22)에 형성되거나, 용기 몸체(21)의 바닥면에도 형성 가능하다. 또한, 그 형태는 도면에서와 같이 원모양이 될 수 있을 뿐만 아니라, 사각형, 삼각형 등 다양한 형태의 모양이 가능하다. 이러한 관통 홀(27)을 통해, 웨이퍼용 카세트 수용 용기(20)를 여러 번 개방하더라도, 뚜껑(22)을 밀봉한 후 그 내부에 질소를 채워넣는 것이 가능하므로, 질소룸 또는 캐비넷을 필요로 하지 않는다.

관통 홀(27)을 통해 내부에 질소를 채워넣은 후, 마개 등의 홀 폐쇄 부재로 밀봉하여 충진된 질소가 외부로 배출되는 것을 방지하여, 수용된 웨이퍼의 표면에 형성된 Al 배선 금속이 산화되는 것을 방지할 수 있다. 홀 폐쇄 부재가 관통 홀을 폐쇄하는 양상은 도 4에 도시되어 있다.

도 4는 도 3의 A 부분의 확대도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 관통 홀(27)은 홀 폐쇄 부재인 마개(32)로 폐쇄되어 웨이퍼용 카세트 수용 용기의 내부 및 외부를 분리 차단한다. 일단 웨이퍼용 카세트 수용 용기에 질소 가스를 충진하고 나서 관통 홀(27)을 마개(32)로 폐쇄시킨다. 이로 인해 내부에 충진된 질소 기체가 외부로 유출되지 않아 Al 배선 금속이 질소 분위기 내에 있게 되어 산화가 방지된다. 또한, 마개(32)를 열게 되면 내부로 통하는 관통 홀(27)이 개방되어, 이 관통 홀(27)을 통해 질소를 주입하는 것이 가능하게 된다.

한편, 본 발명은 상술한 바 이외에도 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변경 실시할 수 있음은 당 업계의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 이해할 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트 수용 용기는, 몸체에 웨이퍼용 카세트 수용 후 밀봉된 내부에 질소의 출입을 가능하게 하는 관통 홀이 형성되고, 관통 홀은 홀 폐쇄 부재로 밀봉되므로, 웨이퍼용 카세트 수용 용기를 수차례 개봉하여도 웨이퍼용 카세트 수용 용기 내부에 질소를 공급하는 것이 가능하고, 또한 웨이퍼용 카세트 수용 용기의 내부 및 외부를 분리 차단하므로 내부에 수용된 웨이퍼의 Al 배선 금속의 산화를 방지할 수 있다. 이로 인해, 웨이퍼를 이동 및 보관할 경우 개봉할 때마다 질소 기체를 충진하기 위한 질소룸이나 질소 분위기의 캐비넷을 필요로 하지 않고 하나의 웨이퍼용 카세트 수용 용기만으로도 공정 전 과정에서 이동 및 보관이 가능하게 되고, 이로 인해 비용 절감의 효과를 가져올 수 있다.

Claims (3)

1. 복수의 웨이퍼가 탑재되는 웨이퍼용 카세트(casette)를 내부에 수용하고 내부를 밀봉하는 웨이퍼용 카세트 수용 용기에 있어서,

   상기 웨이퍼용 카세트 수용 용기에는 상기 카세트 수용 후 밀봉된 내부에 질소의 입출입을 가능하게 하는 관통 홀(hole)이 형성되고, 상기 관통 홀은 홀 폐쇄 부재로 개방 또는 밀봉되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 카세트 수용 용기.
2. 제 1항에 있어서, 상기 웨이퍼용 카세트 수용 용기는 상기 웨이퍼용 카세트가 수용되는 용기 몸체 및 상기 용기 몸체를 덮는 뚜껑을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 카세트 수용 용기.
3. 제 1항에 있어서, 상기 홀 폐쇄 부재는 밀봉용 테이프(tape) 또는 마개인 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 카세트 수용 용기.