TWI404661B - 基板用收納容器與基板用收納容器用之基板搬送設備 - Google Patents

Description

基板用收納容器與基板用收納容器用之基板搬送設備 發明領域

本發明係有關於一種將基板於上下方向隔著間隔，並以水平姿勢收納複數片之基板用收納容器。

發明背景

此種基板收納容器係於將複數片基板收納於容器本體，將複數片基板匯集搬送之際使用者。

此種基板收納容器之習知例有具有形成橫倒姿勢之筒狀，於其一端部形成基板移載用開口，並且於內部收納複數片基板之容器本體及封閉開口全面之蓋構件，在此蓋構件之與容器本體之開口相對之部份，於上下方向排列設置複數個於沿著與基板移載方向交叉之開口橫向寬度方向之橫軸心周圍搖動自如的搖動板者(例如參照專利文獻1)。

且於不對收納容器移載基板時，藉使搖動板呈沿著上下方向之姿勢，封閉諸搖動板間之基板移載用間隙，可防止塵埃從容器本體之開口侵入至容器本體內，而可抑制容器本體內之基板為塵埃所污染。又，於對收納容器移載基板時，藉使搖動板呈沿著基板移載方向之姿勢，於諸搖動板間開放基板移載用間隙，而可對收納容器移載基板。

【先行技術文獻】 【專利文獻】

【專利文獻1】日本專利公開公報2008-94494號

發明概要

然而，在上述習知基板用收納容器中，由於在蓋構件之與開口相對之部份，於上下方向並列設置複數個於橫軸心周圍搖動自如之板狀搖動板，故蓋構件之結構複雜。

又，於以基板移載裝置移載基板時，由於容器本體與基板移載裝置間存在蓋構件，故因此蓋構件之存在，無法使容器本體十分接近基板移載裝置，而以基板移載裝置對收納容器移載基板所需之衝程長，故不易進行基板移載裝置所作之基板之移載。又，由於對裝設有蓋構件之收納容器移載基板，故必須以不與蓋構件干擾之狀態通過形成於蓋構件之基板移載用間隙，來移載基板，從此點，亦不易進行基板移載裝置所作之基板之移載。

本發明即是鑑於上述實際情形而發明者，其目的在於提供可謀求蓋構件之結構之簡單化，並易進行基板之移載之基板用收納容器。

本發明之基板用收納容器係將基板於上下方向隔著間隔，並以水平姿勢收納複數片者，其具有容器本體及蓋構件，該容器本體係形成筒狀，基板取出放入用開口以於水平方向開口之狀態形成於其一端部，並且於內部收納複數片基板者；該蓋構件係構造成對前述容器本體從上方側裝卸自如，並且往上方側脫離自如，在裝設於前述容器本體 之狀態下，封閉前述開口全面者；前述蓋構件具有卡合支撐於位於前述容器本體之前述一端部之上端部份之卡合部的被卡合部，在裝設於前述容器本體之狀態下，以前述被卡合部為中心，於沿著與前述容器本體及前述蓋構件之排列方向交叉之開口橫向寬度方向的橫軸心周圍搖動自如，並且以被附與向前述容器本體側移動之勢能的狀態裝設於前述容器本體。

即，由於蓋構件構造成對容器本體裝卸自如，故於搬送收納容器時，藉使蓋構件之卡合部卡合於容器本體之被卡合部，將蓋構件裝設於容器本體，可防止塵埃從開口侵入至收納容器內，而抑制收納容器內之基板為塵埃所污染，又，於對容器本體移載基板時，藉使蓋構件之卡合部從容器本體之被卡合部脫離，使蓋構件從收納容器脫離，可經由開口對容器本體移載基板。

由於裝設於容器本體之蓋構件為於沿著開口橫向寬度方向之橫軸心周圍搖動自如，並且以被附與向容器本體側移動之勢能的狀態，故可為僅卡合之簡易結構，並以勢能被按至容器本體，而可以蓋構件妥當地堵住開口。又，由於可不於蓋構件設置基板移載用間隙等，故可謀求蓋構件之結構之簡單化。

且藉使蓋構件從收納容器脫離，可經由容器本體之開口使容器本體對移載基板之基板移載裝置十分接近。是故，由於以基板移載裝置對收納容器移載基板時，於與基板移載裝置間不存在蓋構件，故可使容器本體與基板移載 裝置之間隔於基板移載方向靠近，基板移載裝置所作之移載基板之衝程縮短，而易進行基板移載裝置所作之基板之移載。又，於以基板移載裝置移載基板時，由於於與容器本體間不存在蓋構件，故不需諸如於蓋構件形成開關式基板移載用間隙，通過該間隙，來移載基板，故在基板移載時，亦無移載之基板干擾蓋構件之虞，從此點，也易進行基板移載裝置所作之基板之移載。

因而，終至可提供可謀求蓋構件之結構之簡單化，並易進行基板之移載之基板用收納容器。

在本發明之實施形態中，前述蓋構件宜構造成於在前述容器本體及前述蓋構件之排列方向，比起前述蓋構件之重心還更靠近前述容器本體之處具有前述被卡合部，在裝設於前述容器本體之狀態下，前述蓋構件以本身重量被附與向前述容器本體側移動之勢能。

即，蓋構件於在容器本體及蓋構件之排列方向，比起蓋構件之重心還更靠近容器本體之處具有被卡合部，在裝設於容器本體之狀態下，以本身重量被附與向前述容器本體側移動之勢能，故藉將以容器本體之卡合部為中心，於前述橫軸心周圍搖動自如之蓋構件裝設於容器本體，可利用因本身重量而產生之前述橫軸心周圍之搖動操作力，而將蓋構件按至容器本體側。亦即，由於利用本身重量產生之搖動操作力，故可不具有用以將蓋構件按至容器本體側之另外之操作機構，而可以蓋構件完善地封閉容器本體之開口。

因而，終至可抑制結構之複雜化，並可提供可以從上方側裝設自如，並且往上方側脫離自如之蓋構件完善地封閉基板取出放入用開口全面之基板用收納容器。

在本發明之實施形態中，前述收納容器為使從前述容器本體之另一端部側朝前述一端部側通風，宜於前述容器本體之前述另一端部裝設風扇過濾器單元，並且前述蓋構件以於與前述容器本體間形成排氣用間隙之狀態裝設於前述容器本體之前述一端部。

即，由於蓋構件係以於與容器本體間形成排氣用間隙之狀態，裝設於容器本體之一端部，故即使以蓋構件封閉開口，亦可以裝設於容器本體之另一端部之風扇過濾器單元將從容器本體之另一端側朝一端側流動之清淨空氣從排氣用間隙排出，而可於容器本體內產生從另一端側流至一端側之氣流，故可以此氣流防止存在於收納容器內之塵埃附著於基板，而可抑制容器本體內之基板為塵埃所污染。

因而，終至可提供可抑制容器本體內之基板為塵埃所污染之基板用收納容器。

在本發明之實施形態中，前述排氣用間隙宜橫亙前述開口周圍全周形成。

即，由於排氣用間隙橫亙開口之全周形成，而使在容器本體內流動之清淨空氣於上下方向及橫向寬度方向分散排氣，故清淨空氣易在容器本體內均等流動，在容器本體內不易產生清淨空氣不易流動之處，而可抑制因清淨空氣之流速變慢而引起之塵埃對基板之附著，而不易污染基板。

因而，終至可提供容器本體內之基板不易為塵埃污染之基板用收納容器。

在本發明之實施形態中，為形成前述排氣用間隙，宜於前述容器本體與前述蓋構件間形成間隔件。

即，由於藉設置間隔件，而形成排氣用間隙，故不需為形成間隙，而將蓋構件本身或容器本體本身形成諸如形成排氣用間隙之形狀，而可易形成排氣用間隙。

因而，終至可提供可易形成排氣用間隙之基板用收納容器。

又，期望提供易進行基板移載裝置之移載之基板用收納容器用之基板搬送設備。

因而，在本發明之實施形態中，基板用收納容器用之基板搬送設備宜設有容器搬送機構、基板移載裝置及蓋脫離機構，該容器搬送機構係將前述收納容器搬送至基板移載位置者；該基板移載裝置係為從位於前述基板移載位置之前述收納容器取出基板或將基板收納於前述收納容器，而移載基板者；該蓋脫離機構係在前述收納容器位於蓋脫離位置之狀態下，使前述蓋構件從前述容器本體脫離者；前述容器搬送機構構造成使前述收納容器從前述蓋脫離位置於鉛直下方下降移動至前述基板移載位置，前述基板移載裝置構造成對前述蓋構件已脫離之前述容器本體經由前述開口移載前述基板。

即，於不以基板移載裝置對收納容器移載基板時，藉使蓋構件裝設於收納容器，而封閉收納容器之開口，而可 防止塵埃從開口侵入至容器本體內，而抑制容器本體內之基板為塵埃所污染，又，於以基板移載裝置對收納容器移載基板時，藉以蓋脫離機構使蓋構件從容器本體脫離，經由未裝設蓋構件之收納容器之開口，而可以基板移載裝置對收納容器之容器本體直接移載基板。

亦即，由於將蓋構件業經以蓋脫離機構從容器本體脫離之收納容器以容器搬送機構搬送至基板移載位置，故於以基板移載裝置對收納容器移載基板時，於與基板移載裝置間不存在蓋構件，故可使容器本體相對於基板移載裝置靠近基板移載方向，基板移載裝置之移載基板之衝程縮短，而易進行基板移載裝置所作之基板之移載。又，於以基板移載裝置移載基板時，不需於蓋構件形成基板移載用間隙，通過該間隙來移載基板，故從此點，也易進行基板移載裝置所作之基板之移載。

且由於容器搬送機構構造成使收納容器從蓋脫離位置於鉛直下方下降移動至基板移載位置來搬送，故在蓋脫離位置，使蓋構件脫離容器本體後，僅以容器搬送機構於鉛直下方下降移動，即可使收納容器移動至如上述之使容器本體相對於基板移載裝置靠近基板移載方向之基板移載位置，使蓋構件從容器本體脫離後，不需為使容器本體靠近基板移載裝置，而使收納容器於基板移載方向移動，故如此，可在不具有使收納容器沿著基板移載方向移動之裝置下，易使容器本體靠近基板移載方向，而易進行基板移載裝置所作之基板之移載。

如此，終至可提供易進行基板移載裝置所作之基板之移載之基板用收納容器用之基板搬送設備。

在本發明之實施形態中，前述基板移載裝置宜設置成相對於位於前述基板移載位置之前述收納容器，位於前述容器本體之前述一端部側，前述蓋脫離位置係裝設在位於該蓋脫離位置之前述容器本體之前述蓋構件與基板移載裝置在上下方向觀看重複之位置。

即，由於裝設在位於蓋脫離位置之容器本體之蓋構件在與基板移載裝置在上下方向觀看重複之位置，故僅以容器搬送機構使收納容器從蓋脫離位置於鉛直下方下降移動，即可將蓋構件已脫離之收納容器搬送至基板移載位置，並使位於該基板移載位置之收納容器之容器本體與基板移載裝置靠近，俾使與基板移載裝置在基板移載方向之間隔為較蓋構件在基板移載方向之厚度小之間隔。因此，基板移載裝置之用以移載基板之衝程更縮短，而更易進行基板移載裝置所作之基板之移載。

是故，終至可提供可更易進行取出機構所作之基板之取出之基板用收納容器用之基板搬送設備。

在本發明之實施形態中，前述蓋構件宜以對前述容器本體從上方側裝卸自如，並且往上方側脫離自如之狀態裝設，前述容器搬送機構具有載置下降台及移載裝置而構成，該載置下降台係載置支撐前述收納容器，使前述收納容器從比前述基板移載位置還上方，且比前述蓋脫離位置還下方之中間位置於鉛直下方下降移動至前述基板移載位 置者，該移載裝置係為使前述收納容器載置於前述載置下降台，而使前述收納容器從比前述蓋脫離位置還上方之上方位置於鉛直下方下降移動至前述中間位置者，前述載置下降台構造成為使前述收納容器之前述移載對象基板位於對應於前述基板移載裝置之移載高度，而在前述基板移載位置將前述收納容器支撐成升降自如，前述蓋脫離機構具有承接支撐體而構成，該承接支撐體係在以前述移載裝置下降移動之前述收納容器位於前述蓋脫離位置之狀態下，承接支撐設置於前述蓋構件之被支撐部，而使前述蓋構件從前述容器本體脫離者。

即，由於藉以載置下降台使收納容器升降，使複數基板中之移載對象基板位於對應於基板移載裝置之移載用高度，可移載該移載對象基板，故可隨意地將複數個基板移載至收納容器之預定高度。

又，藉以載置下降台使收納容器升降，而不需使結構較收納容器複雜之基板移載裝置升降移動，故可簡易地進行移載對象基板與基板移載裝置在高度方向之對位。

且於收納容器下降至以移載裝置使收納容器從上方位置下降移動至中間位置之途中之蓋脫離位置時，以承接支撐部承接支撐設置於蓋構件之被支撐部，而使蓋構件從容器本體脫離。亦即，由於利用用以使收納容器載置於載置下降台之移載機構所作之收納容器之下降移動，而使蓋構件從收納容器脫離，故作為蓋脫離機構，為僅設置於下降移動之收納容器位於蓋脫離位置之際，承接支撐蓋構件之 被支撐部之承接支撐體的簡單結構即可，而可謀求蓋脫離機構之結構之簡單化。

因而，終至可提供可隨意地將移載對象基板移載至收納容器之預定高度，並且可簡易地進行移載對象基板與基板移載裝置在高度方向之對位，而以基板移載裝置移載基板，而且可謀求蓋脫離機構之結構之簡單化的基板用收納容器用之基板搬送設備。

在本發明之實施形態中，前述蓋構件宜以對前述容器本體從上方側裝卸自如，並且往上方側脫離自如之狀態設置，前述容器搬送機構具有支撐下降台及預備搬送機構而構成，該支撐下降台係載置支撐前述收納容器，使前述收納容器從比前述蓋脫離位置還上方之上方位置下降移動至前述基板移載位置者，該預備搬送機構係為使前述收納容器載置於前述支撐下降台，而將前述收納容器搬送至前述上方位置者，前述支撐下降台構造成為使前述收納容器之前述移載對象基板位於對應於前述基板移載裝置之移載高度，而在前述基板移載位置，將前述收納容器支撐成升降自如，前述蓋脫離機構具有承接支撐體而構成，該承接支撐體係在以前述支撐下降台下降移動之前述收納容器位於前述蓋脫離位置之狀態下，承接支撐設置於前述蓋構件之被支撐部，而使前述蓋構件從前述容器本體脫離者。

即，由於藉以支撐下降台使收納容器升降，使複數基板中之移載對象基板位於對應於基板移載裝置之移載用高度，而可移載該移載對象基板，故可隨意地將複數個基板 移載至收納容器之預定高度。

又，藉以支撐下降台使收納容器升降，而不需使結構較收納容器複雜之基板移載裝置升降移動，故可簡易地進行移載對象基板與基板移載裝置在高度方向之對位。

且於收納容器下降至以支撐下降台使收納容器從中間位置下降移動至基板移載位置之途中之蓋脫離位置時，以承接支撐體承接支撐設置於蓋構件之被支撐部，使蓋構件從容器本體脫離。亦即，由於利用用以將收納容器搬送至基板移載位置之下降支撐台所作之收納容器之下降移動，而使蓋構件從收納容器脫離，故作為蓋脫離機構，為僅設置於下降移動之收納容器位於蓋脫離位置之際，承接支撐被支撐部之承接支撐體的簡單結構即可，而可謀求蓋脫離機構之結構之簡單化。

因而，終至可提供可隨意地將移載對象基板移載至收納容器之預定高度，並且可簡易地進行移載對象基板與基板移載裝置在高度方向之對位，而且可謀求蓋脫離機構之結構之簡單化的基板用收納容器用之基板搬送設備。

在本發明之實施形態中，前述蓋構件宜以對前述容器本體從前述容器本體及前述蓋構件之排列方向之蓋構件側的斜上方側裝設自如，並且往前述排列方向之蓋構件側之斜上方側脫離自如之狀態裝設，前述蓋脫離機構具有一對支撐體而構成，該一對支撐體係在支撐前述蓋構件之相互靠近的靠近位置與解除對前述蓋構件之支撐之相互分離的分離位置沿著與基板移載方向交叉之橫向寬度方向相互遠 離靠近移動自如者，在前述收納容器位於前述蓋脫離位置之狀態下，隨著前述一對支撐體移動至靠近位置，前述一對支撐體抵接之前述蓋構件的被抵接部份為因前述支撐體之抵接而使前述蓋構件移動至前述排列方向之前述蓋構件側之斜上方，而形成越往前述排列方向之前述蓋構件側之斜上方處，越位於前述橫向寬度方向之容器外邊側的引導面。

即，在收納容器位於蓋脫離位置之狀態下，藉使一對支撐體移動成從分離位置相互靠近至靠近位置，而可以一對支撐體支撐蓋構件。

且如上述，於以一對支撐體支撐蓋構件時，藉一對支撐體抵接蓋構件之被抵接部份，蓋構件為引導面所引導，移動至排列方向之蓋構件側之斜上方，而從容器本體脫離，故在以一對支撐體承接支撐蓋構件之狀態下，蓋構件相對於容器本體離開而在排列方向之蓋構件側之斜上方就位，而於以容器搬送機構使收納容器從蓋脫離位置下降移動至基板移載位置時，容器本體與蓋構件不易摩擦，而不易產生塵埃。

是故，蓋脫離機構為以一對遠離靠近移動自如之一對支撐體支撐蓋構件之簡單結構，並以該支撐，於使收納容器從蓋脫離位置下移移動至基板移載位置之際，可使蓋構件脫離至不易與容器本體摩擦之位置，因此，終至可提供為簡單之結構，並且不易產生塵埃之基板用收納容器用之基板搬送設備。

在本發明之實施形態中，前述基板移載裝置宜設置成 位置固定狀態，前述容器搬送機構構造成為使前述收納容器之前述移載對象基板位於對應於前述基板移載裝置之移載高度，而在前述基板移載位置，將前述收納容器支撐成升降自如，前述蓋脫離機構構造成將前述已脫離之前述蓋構件支撐於比前述移載對象基板還上方，並且在基板移載方向靠近位於前述基板移載位置之前述收納容器之前述開口的位置，俾以已脫離之前述蓋構件封閉位於前述基板移載位置之前述收納容器之前述開口之比前述移載對象基板還上方的部份，固定蓋以位置固定狀態設置於比前述移載對象基板還下方，且在前述基板移載方向靠近位於前述基板移載位置之前述收納容器之前述開口的位置，俾封閉位於前述基板移載位置之前述收納容器之前述開口之比前述移載對象基板還下方之部份。

即，藉以容器搬送機構使收納容器升降，使複數個基板中之移載對象基板位於對應於基板移載位置之移載用高度，而可移載該移載對象基板，故可隨意地將複數個基板移載至收納容器之預定高度。

又，由於藉以容器搬送機構使收納容器升降，而不需使結構較收納容器複雜之基板移載裝置升降移動，故可簡易地進行移載對象基板與基板移載裝置在高度方向之對位。

且由於以蓋構件封閉收納容器之開口之比移載對象還上方之部份，以固定蓋封閉收納容器之開口之比移載對象基板還下方之部份，故於以基板移載裝置對收納容器移載基板時，藉以蓋構件及固定蓋封閉容器本體之開口之移載 對象基板之上方部份及下方部份，可於以基板移載裝置對收納容器移載基板時，極力防止塵埃從開口侵入至容器本體內，而可抑制容器本體內之基板為塵埃所污染。

又，藉利用以蓋脫離機構從容器本體脫離之蓋構件，以堵住收納容器之開口之比移載對象基板還上方之部份，而不需為堵住此此開口之上方之部份，另外準備蓋，故可以簡單之結構堵住收納容器之開口之上方之部份及下方之部份。

因而，終至可提供可隨意地將移載對象基板移載至收納容器之預定高度，並且可簡易地進行移載對象基板與基板移載裝置在高度方向之對位，並可以簡單之結構抑制對容器本體移載基板時之基板之污染的基板用收納容器用之基板搬送設備。

在本發明之實施形態中，前述容器本體宜以於上下方向隔著間隔之狀態具有載置支撐矩形基板之複數個支撐板而構成，前述基板移載裝置具有浮起用空氣噴出體、取出機構及輔助空氣噴出體，該浮起用空氣噴出體係在前述收納容器位於前述基板移載位置之狀態下，配設於與該容器本體所具有之前述支撐板之基板取出方向下游側端部相鄰之容器相鄰處，而將空氣噴出至前述取出對象基板下面與載置支撐此基板之前述支撐板上面間者；該取出機構係將以前述浮起用空氣噴出體所作之空氣噴出而從前述支撐板浮起之前述取出對象基板在通過前述浮起用空氣噴出體上方之狀態下，從前述收納容器取出者；該輔助空氣噴出體 係朝前述浮起用空氣噴出體之上面與以前述取出機構取出之前述取出對象基板的下面之間噴出空氣者。

即，藉於取出對象基板與支撐板之間形成從基板取出方向之下游側朝上游側流動之空氣層，而可以此空氣層支撐取出對象基板，使該基板以基板移載裝置通過浮起用空氣噴出體之上方而取出。

且由於設有朝浮起用空氣噴出體之上面與以基板移載裝置取出之取出對象基板之下面間噴出空氣之輔助空氣噴出體，而以從輔助空氣噴出體噴出之空氣於浮起用空氣噴出體之上方形成空氣層，故也以此空氣層在浮起用空氣噴出體上方支撐取出對象基板。

因而，終至可提供於通過浮起用空氣噴出體之上方時，取出對象基板不接觸浮起用空氣噴出體之基板用收納容器用之基板搬送設備。

在本發明之實施形態中，該基板搬送設備宜設有容器搬送機構及基板移載裝置，該容器搬送機構係使前述收納容器下降移動，而將之搬送至基板移載位置者；該基板移載裝置係為從位於前述基板移載位置之前述收納容器取出基板或將基板收納於前述收納容器，而移載基板者；並設有承接支撐體，該承接支撐體係在前述容器搬送機構所作之前述收納容器往前述基板移載位置之下降移動途中，承接支撐前述蓋構件之被支撐部，使前述蓋構件從前述容器本體脫離者，前述基板移載裝置構造成對前述蓋構件已脫離之前述容器本體經由前述開口，移載前述基板。

即，於不以基板移載裝置對收納容器移載基板時，藉使蓋構件裝設於收納容器，封閉收納容器之開口，而可防止塵埃從開口侵入至容器本體內，容器本體內之基板不為塵埃所污染，又，以基板移載裝置對收納容器移載基板時，藉以蓋脫離機構使蓋構件從容器本體脫離，經由未裝設蓋構件之收納容器之開口，以基板移載裝置對收納容器之容器本體直接移載基板。

亦即，由於以容器搬送機構將蓋構件業經以蓋脫離機構從容器本體脫離之收納容器搬送至基板移載位置，故於以基板移載裝置對收納容器移載基板時，於與基板移載裝置間不存在蓋構件，而可使容器本體相對於基板移載裝置靠近基板移載方向，基板移載裝置之移載基板之衝程縮短，故易進行基板移載裝置所作之基板之移載。又，由於於以基板移載裝置移載基板時，不需於蓋構件形成基板移載用間隙，通過該間隙，移載基板，故從此點，也易進行基板移載裝置所作之基板之移載。

且在容器搬送機構所作之對基板移載位置之收納容器之下降移動途中，蓋構件之被支撐部以承接支撐體承接支撐，使蓋構件從容器本體脫離。亦即，由於利用用以將收納容器搬送至基板移載位置之容器搬送機構所作之收納容器之下降移動，使蓋構件從收納容器脫離，故於蓋構件設置被支撐部，而於下降移動之收納容器位於蓋脫離位置之際，為僅設置承接支撐蓋構件之被支撐部之承接支撐體的簡單結構，即可使蓋構件從容器本體脫離，而易進行基板 移載裝置所作之基板之移載。

因而，終至可提供以簡單之結構易進行基板移載裝置所作之基板之移載的基板用收納容器用之基板搬送設備。

在本發明之實施形態中，前述被支撐部宜排列複數個於沿著與前述容器本體及前述蓋構件之排列方向交叉之橫向寬度方向的橫軸心周圍旋轉自如之旋轉體而構成，前述承接支撐體具有供前述複數個旋轉體卡入之卡入凹部而構成。

即，於以承接支撐體支撐蓋構件之際，蓋構件之複數個旋轉體為卡入至承接支撐體之卡入凹部而承接支撐之狀態，故可以承接支撐體將蓋構件以不易搖動且不易偏離至水平方向之狀態支撐。

又，當蓋構件相對於承接支撐體偏離至水平方向之基板移載方向時，也由於因旋轉體旋轉，旋轉體與卡入凹部不易滑動接觸，故可抑制於以承接支撐體支撐蓋構件之際之塵埃的產生。

因而，終至可提供可以承接支撐體將蓋構件以不易搖動且不易偏離至水平方向之狀態支撐蓋構件，並且可抑制以承接支撐體支撐蓋構件之際之塵埃之產生的基板用收納容器用之基板搬送設備。

在本發明之實施形態中，前述被支撐部宜以形成板狀之板狀體構成，前述承接支撐體具有供前述板狀體卡入之卡入凹部而構成。

即，於蓋構件以承接支撐體支撐時，由於蓋構件之板狀體為卡入至承接支撐體之卡入凹部，以大面積承接支撐 之狀態，故藉板狀體以承接支撐體以大面積承接支撐，可以不易偏離至水平方向，且穩定狀況佳之狀態支撐蓋構件。

因而，終至可提供可以承接支撐體以穩定狀態支撐蓋構件之基板用收納容器用之基板搬送設備。

在本發明之實施形態中，前述被支撐部宜將2個前述旋轉體以位於為前述蓋構件之上端部，並且在前述容器本體及前述蓋構件之排列方向，為前述蓋構件之重心之兩側的狀態排列於排列方向而構成，並設有於以前述承接支撐體支撐時，限制前述蓋構件因本身重量引起之往離開前述收納容器之側之設定角度以上之搖動的限制部。

即，由於被支撐部係將2個旋轉體以位於為蓋構件之上端部，並且在排列方向，為蓋構件之重心之兩側的狀態排列於排列方向而構成，故於收納容器下降移動，以承接支撐體承接支撐蓋構件之被支撐部時，位於蓋構件兩側之2個旋轉體以卡入凹部承接支撐，而在以前述承接支撐體支撐時，可抑制諸如蓋構件之下部離開容器本體之蓋構件之搖動及諸如蓋構件之下部接近容器本體之蓋構件之搖動，故可抑制蓋構件沿著排列方向之搖動，而防止蓋構件對容器本體之接觸。又，由於設置以限制部限制蓋構件因本身重量引起之往離開收納容器之側之設定角度以上的搖動之限制部，故蓋構件沿著排列方向搖動時，蓋構件之搖動也易止住，在此點，亦可以防止蓋構件對容器本體之接觸。

因而，終至可提供於使蓋構件從容器本體脫離時，可防止蓋構件接觸容器本體之基板用收納容器用之基板搬送 設備。

圖式簡單說明

第1圖係顯示第1實施形態之基板搬送設備之側面圖。

第2圖係顯示第1實施形態之收納容器之立體圖。

第3圖係顯示第1實施形態之收納容器之蓋構件側的立體圖。

第4(a)圖~第4(b)圖係顯示承接支撐第1實施形態之蓋構件之狀態之側面圖。

第5(a)圖~第5(c)圖係顯示第1實施形態之收納容器之升降位置之側面圖。

第6(d)圖~第6(e)圖係顯示第1實施形態之收納容器之升降位置之側面圖。

第7(a)圖~第7(b)圖係顯示第1實施形態之蓋構件脫離之情形之立體圖。

第8(a)圖~第8(b)圖係顯示第2實施形態之蓋構件脫離之情形之立體圖。

第9(a)圖~第9(b)圖係顯示承接支撐第4實施形態之蓋構件之狀態之側面圖。

第10(a)圖~第10(b)圖係顯示第4實施形態之蓋構件脫離之情形之立體圖。

第11(a)圖~第11(b)圖係顯示第4實施形態之收納容器之升降位置之側面圖。

第12(a)圖~第12(c)圖係顯示其他實施形態之收納容器之升降位置之側面圖。

第13(a)圖~第13(b)圖係顯示其他實施形態(12)之被支撐部之側面圖。

第14(a)圖~第14(b)圖係顯示其他實施形態(13)之複數個旋轉體之側面圖。

第15(a)圖~第15(b)圖係顯示其他實施形態(13)之板狀體之圖。

第16圖係基板處理設備之正面圖。

第17圖係基板處理設備之側面圖。

第18圖係基板處理設備之平面圖。

第19圖係基板搬送裝置之側面圖。

第20圖係收納容器之立體圖。

第21圖係收納容器之立體圖。

第22(a)圖~第22(b)圖係顯示支撐板之圖。

第23圖係基板中繼單元之平面圖。

第24圖係顯示夾持位置之夾持部之側面圖。

第25圖係顯示夾持位置之夾持部之平面圖。

第26圖係顯示夾持解除位置之夾持部之側面圖。

第27圖係顯示夾持解除位置之夾持部之平面圖。

第28圖係顯示按壓結束位置之夾持部之側面圖。

第29圖係顯示退開位置之夾持部之側面圖。

第30圖係顯示退開位置之夾持部之平面圖。

第31(a)圖~第31(b)圖係顯示浮起用空氣噴出體及供給用空氣噴出體之側面圖。

第32圖係顯示浮起用空氣噴出體及供給用空氣噴出體 之立體圖。

第33圖係顯示檢測感測器之概略圖。

第34圖係控制塊圖。

較佳實施例之詳細說明 用以實施發明之形態 《第1實施形態》

以下，依圖式，說明適用本發明基板用收納容器之基板搬送設備之第1實施形態。

如第1圖所示，於基板搬送設備設有搬送作為基板用收納容器之收納容器2之容器搬送機構111、對以容器搬送機構111所搬送之收納容器2移載基板1之基板移載裝置112。

且，基板移載裝置112構造成從以容器搬送機構111所搬送之收納容器2取出基板1，且將基板1收納於收納容器2，基板1之移載係構造成進行從收納容器2之基板1之取出及對收納容器2之基板1之收納兩者。

附帶一提，本實施形態之基板係用於液晶顯示器或電漿顯示器之玻璃基板等矩形基板。

[收納容器]

如第1圖及第2圖所示，收納容器2具有形成橫倒姿勢之筒狀且於內部收納複數片基板1之容器本體41、裝設於容器本體41之一端部之蓋構件42、裝設於容器本體41之另一端部之風扇過濾器單元43而構成。

如第20圖所示，容器本體41以於上下方向隔著間隔之 狀態具有載置支撐基板1之複數個支撐板45而構成，以以複數個支撐板45個別載置支撐基板1之形態，將矩形基板1於上下方向隔著間隔以水平姿勢保持複數片而收納。

蓋構件42為將形成於筒狀容器本體41之一端部，作為基板移載用之於水平方向開口的開口之基板取出放入口44全面封閉而堵塞，而裝設於容器本體41之一端部。又，風扇過濾器單元43為將形成於筒狀容器本體41之另一端部之基板取出放入口44全面封閉而堵塞，且從容器本體41之另一端部側朝一端部側通風，而裝設於容器本體41之另一端部。且該等蓋構件42及風扇過濾器單元43構造成對容器本體41裝卸自如。

附帶一提，蓋構件形成較容器本體之基板取出放入口44之上下方向之寬度大，且較橫向寬度方向之寬度大。

此外，為方便說明，將容器本體41與蓋構件42排列之方向稱為排列方向，將與此排列方向交叉，並沿著水平方向之方向稱為寬度方向。

然後，如第4圖所示，蓋構件42設有從上方側卡合於位於容器本體41之一端部之上端部份的卡合部114，而卡合支撐於卡合部114之被卡合部115。亦即，蓋構件42構造成藉使蓋構件42相對於容器本體41於下方移動，可使被卡合部115卡合於卡合部114，而將蓋構件42裝設於容器本體41，藉使蓋構件42相對於容器本體41於上方移動，可使被卡合部115從卡合部114脫離，而使蓋構件42從容器本體41脫離。

如此，蓋構件42構造成對容器本體1從上方側裝設自 如，且往上方側脫離自如。

蓋構件42之被卡合部115於蓋本體116之上端部以蓋構件42突出至容器本體側之狀態具有之舌片117的前端部以突出至下方之狀態支撐，以在將蓋構件42裝設於容器本體41之狀態下，位於容器本體41及蓋構件42之橫向寬度內的狀態，設置於蓋構件42。又，位於被卡合部115之下端之前端部形成球狀。

容器本體41之卡合部114形成平面觀看形狀為圓形，且凹入至下方之形狀，在將蓋構件42裝設於容器本體41之狀態下，形成於分別對應於設置在蓋構件42之一對被卡合部115之位置。

就卡合部114之形狀加以說明，卡合部114之底側部份為上下方向同徑之圓柱狀，且形成較其前端部之徑稍大之徑的大小，俾嵌合被卡合部115。又，卡合部114之入口側部份形成下端與底側部份同徑，且越往上方側越大徑之形狀，俾將被卡合部115引導至底側部份。

附帶一提，如第2圖及第3圖所示，舌片117於蓋本體116之橫向寬度方向之一側部份及另一側部份所具有，被卡合部115分別支撐於一對舌片117。又，容器本體41之卡合部114形成比基板取出放入口44還上方之處，而形成為在基板取出放入口44上方，卡合被卡合部115。

是故，如第4圖所示，藉收納容器2如上述形成卡合部114及被卡合部115，將蓋構件42裝設於容器本體41之際，被卡合部115易卡合於卡合部114，而蓋構件42易裝設於容 器本體41。

又，在將蓋構件42裝設於容器本體41之狀態下，藉被卡合部115嵌合於卡合部114之底側部份，在蓋構件42裝設於容器本體41之狀態下，限制蓋構件42相對於容器本體41於水平方向移動。

又，在將蓋構件42裝設於容器本體41之狀態下，由於將被卡合部115之前端部形成球狀，且在比此前端部還上方之部份位於寬度大之卡合部114之入口側部份，故蓋構件42構造成在裝設於容器本體41之狀態下，以卡合部114為中心，沿著橫向寬度方向之橫軸心周圍搖動自如。

且如上述，藉將被卡合部115設置於蓋構件42，被卡合部115在排列方向設置於比起蓋構件42之重心，還靠近容器本體側。是故，蓋構件42在裝設於如第4(a)圖所示之容器本體41之狀態下，以本身重量被附與向容器本體側移動之勢能，因該本身重量附與之勢能，蓋構件42為容器本體41所按住，蓋構件42便不易搖動。

在蓋構件42裝設於容器本體41之一端部之狀態下，於容器本體41與蓋構件42間形成排氣用間隙E1。

加以說明，用以形成排氣用間隙E1之間隔件118以在蓋構件42裝設於容器本體41之狀態下，位於容器本體41與蓋構件42間之狀態，而於蓋構件42之容器本體側之面所具有。

如此，藉於蓋構件42具有間隔件118，蓋構件42形成在裝設於容器本體41之狀態下，於與容器本體41間形成排氣用間隔E1之形狀，以風扇過濾器單元43導入至容器本體41 內之空氣如第3圖箭號所示，經由形成於容器本體41與蓋構件42間之排氣用間隙E1，而排出至外部。

且蓋構件42僅以被卡合部115及間隔件118與容器本體41接觸，排氣用間隙E1因間隔件118之存在，而在基板取出放入口44周圍之一部份封閉之狀態下，橫亙全周形成。

如第3圖及第4圖所示，被支撐部119以在蓋本體116之上端部之橫向寬度方向兩側從蓋本體116突出至橫向寬度方向外邊側之狀態設置於蓋構件42。

此被支撐部119係將於沿著橫向寬度方向之橫軸心周圍旋轉自如之旋轉體120沿著排列方向排列2個而構成。該等2個旋轉體120設置成位於與蓋構件42相同之高度，且徑形成相同之大小。

且2個旋轉體120中位於排列方向之蓋構件側之旋轉體120以比蓋構件42之重心還上方，且位於比起重心，還要靠近排列方向之蓋構件側之狀態設置於蓋本體116，位於排列方向之容器本體側之旋轉體120以比蓋構件42之重心還上方，且位於比起重心，還要靠近排列方向之容器本體側之狀態設置於蓋本體116。藉此，蓋構件42之重心位於2個旋轉體120之中心間且在下方，以後述卡入凹部124承接支撐而抑制沿著使蓋構件42從容器本體41脫離之際之排列方向之蓋構件42的搖動，可防止蓋構件42對容器本體41之接觸。

[基板移載裝置]

如第31(a)圖所示，基板移載裝置112構造成具有將空氣噴出至移載對象基板1之下面與載置支撐此基板1之支撐板 45間之浮起用空氣噴出體71、將以浮起用空氣噴出體71所作之空氣之噴出從支撐板45浮起之移載對象基板1在通過浮起用空氣噴出體71上方之狀態下，對收納容器2移載之基板取出放入機構73，而從蓋構件42已脫離之容器本體41經由基板取出放入口44，移載基板1。

且浮起用空氣噴出體71構造成兼用輔助空氣噴出體，該輔助空氣噴出體係使所噴出之空氣在浮起用空氣噴出體71之上面流動，朝浮起用空氣噴出體71之上面與以基板取出放入機構73移載之基板間噴出空氣者。

又，如第6圖所示，基板移載裝置112在地板面上以位置固定狀態設置，俾相對於位於基板移載位置P4之收納容器2，位於容器本體41之形成基板取出放入口44之一端部側。

[容器搬送機構]

如第1圖、第5圖及第6圖所示，容器搬送機構111具有以與基板移載裝置112之基板取出方向之上游側相鄰之狀態設置之升降機構61、以與此升降機構61之基板取出方向上游側相鄰之狀態設置之堆高式起重機7而構成。

且以容器搬送機構111將收納容器2搬送至基板移載位置P4(參照第6圖)時，首先，以堆高式起重機7使收納容器2朝基板取出方向之下游側水平移動至上方位置P1(參照第5(a)圖)後，使收納容器2從上方位置P1於鉛直下方下降移動至中間位置P3(參照第5(c)圖)，將收納容器2卸下，而使其載置支撐於升降機構61。之後，以升降機構61使收納容器2於鉛直下方從中間位置P3下降移動至基板移載位置P4(參 照第6圖)。

又，以容器搬送機構111將收納容器2從基板移載位置P4搬送時，首先，以升降機構61使收納容器2從基板移載位置P4於鉛直上方上升移動至中間位置P3。之後，以堆高式起重機7撈取升降機構61上之收納容器2，使該收納容器2從中間位置3於鉛直上方上升移動至上方位置P1後，使收納容器2從上方位置P1朝基板取出方向之上游側水平移動。

且設定蓋脫離位置P2，俾在以堆高式起重機7使收納容器2在上方位置P1與中間位置P3間於鉛直方向升降移動之期間，收納容器2通過蓋脫離位置P2(參照第5(b)圖)。

亦即，升降機構61相當於載置支撐收納容器2，使收納容器2從比基板移載位置P4還上方，且比蓋脫離位置P2還下方之中間位置P3於鉛直下方下降移動至基板移載位置P4之載置下降台，堆高式起重機7相當於為使收納容器2載置於升降機構61，而使收納容器2從比蓋脫離位置P2還上方之上方位置P1於鉛直下方下降移動至中間位置P3之移載裝置，以堆高式起重機7及升降機構61構成之容器搬送機構111構造成使收納容器2從蓋脫離位置P2於鉛直下方下降移動至基板移載位置P4而搬送。

如第1圖所示，升降機構61具有載置支撐收納容器2之容器本體41而升降移動之左右一對支撐台63、將此左右一對支撐台個別引導支撐成升降自如之左右一對引導支柱64而構成。

且如第6圖所示，升降機構61構造成為使載置支撐收納 容器2之移載對象基板1之支撐板45位於對應於基板移載裝置112之移載高度，而在基板移載位置P4將收納容器2支撐成升降自如。

亦即，升降機構61構造成使收納容器2橫亙使收納於容器本體41之最下方位置之基板1位於可以基板移載裝置112移載之高度的作為基板移載位置P4之上升側基板移載位置P5(參照第6(d)圖)與使收納於容器本體41之最上方位置之基板1位於可以基板移載裝置112移載之高度的作為基板移載位置P4之下降側基板移載位置P6(參照第6(e)圖)來升降移動，使收納容器2之移載對象基板1及載置支撐其之支撐板45位於對應於基板移載裝置112之移載高度。

[固定蓋]

在基板搬送設備，固定蓋121以位置固定狀態設置於比移載對象基板1還下方，且在基板移載方向靠近位於基板移載裝置P4之收納容器2之基板取出放入口44的位置，俾封閉位於基板移載位置P4之收納容器2之基板取出放入口44之比移載對象基板1還下方的部份，而以此固定蓋121封閉在上升側基板移載位置P5與下降側基板移載位置P6間升降移動之收納容器2之基板取出放入口44之比移載對象基板1還下方的部份。

又，固定蓋121設置成與基板移載裝置112之浮起用空氣噴出體71在上下方向觀看重複，在基板移載裝置之下方以靠近基板中繼單元70之狀態設置，俾不致防礙基板取出放入機構73所作之基板1之移載或浮起用空氣噴出體71所 作之基板1之浮起。

[蓋裝卸機構]

如第5圖所示，於基板搬送設備設有在收納容器2位於蓋脫離位置P2之狀態下，使蓋構件42從容器本體41脫離之作為蓋脫離機構之蓋裝卸機構122，以此蓋裝卸機構122構造成除了上述蓋構件42之脫離外，在收納容器2位於蓋脫離位置P2之狀態下，使蓋構件42裝設於容器本體41。

且蓋裝卸機構122具有承接支撐體123而構成，該承接支撐體係在容器搬送機構111所作之收納容器2往基板移載位置P4之下降移動途中之蓋脫離位置P2，承接支撐蓋構件42之被支撐部119，而使蓋構件42從容器本體41脫離者。

亦即，如第5圖及第7圖所示，裝設有蓋構件42之收納容器2以堆高式起重機7於鉛直下方下降移動，俾於從上方位置P1通過蓋脫離位置P2而至中間位置P3時，在蓋脫離位置P2，蓋構件42之被支撐部119以承接支撐體123所承接支撐，蓋構件42從容器本體41脫離。

又，蓋構件42已脫離之收納容器2以堆高式起重機7於鉛直上方上升移動，俾從中間位置P3通過蓋脫離位置P2而至上方位置P1時，在蓋脫離位置P2，蓋構件42之被卡合部115卡合支撐於容器本體41之卡合部114，蓋構件42裝設於容器本體41。

就承接支撐體123加以說明，如第1圖所示，承接支撐體123設置於位於基板移載位置P4之收納容器2之橫向寬度方向兩側，俾承接支撐位於蓋構件42之橫向寬度方向兩側 之被支撐部119，以分別支撐於一對引導支柱64之形態，支撐於升降機構61。

且如第4圖所示，承接支撐體123設置成從引導支柱64突出至基板取出方向之下游側，於其前端部具有供被支撐部119(2個旋轉體120)卡入之卡入凹部124而構成。

如第4圖所示，承接支撐卡入凹部124之被支撐部119之底面形成越往基板取出方向之下游側，越位於上方之傾斜面。

是故，由於卡入凹部124之底面如上述形成傾斜面，徑形成相同大小之2個旋轉體120以相同高度設置於蓋構件42，蓋構件42之重心位於2個旋轉體120之中心間且為下方，以及蓋構件42以於橫軸心周圍搖動自如之狀態支撐於容器本體41，故於收納容器2下降移動，以承接支撐體123承接支撐2個旋轉體120時，首先排列方向之蓋構件側(基板取出方向之下游側)之旋轉體120先接觸卡入凹部124之底面，隨著蓋構件42相對於容器本體41相對地於上方移動，蓋構件42以被卡合部115為支點，搖動成離開下部容器本體41。

之後，排列方向之容器本體側(基板取出方向之上游側)之旋轉體120接觸卡入凹部124之底面，而限制諸如下部離開容器本體41之蓋構件42之搖動。且隨著蓋構件42進一步相對於容器本體41相對於上方移動，被卡合部115從容器本體41之卡合部14分離，蓋構件42從容器本體41脫離。且如此蓋構件42從容器本體41脫離之際，因以2個旋轉體120以卡入凹部124之底面承接支撐，除了諸如蓋構件42之下部離開容器本體41之蓋構件42之搖動的限制外，亦限制諸如蓋 構件42之下部接近容器本體41之蓋構件42的搖動，故抑制沿著排列方向之蓋構件42之搖動，而可防止蓋構件42對容器本體41之接觸。

又，以承接支撐體123承接支撐之蓋構件42構造成因以卡入凹部124之傾斜面面承接支撐被支撐部119，而傾斜成越往下部側，越離開容器本體41，故在以承接支撐體123承接支撐蓋構件42之狀態下，在蓋脫離位置P2與基板移載位置P4間使收納容器2升降移動時，或在基板移載位置P4，使收納容器2升降移動時，容器本體41與蓋構件42不易摩擦，塵埃不易產生。

附帶一提，卡入凹部124相當於限制部，該限制部係在蓋構件42以承接支撐體123支撐時，限制蓋構件42因本身重量引起之往離開容器本體41之側之設定角度以上的搖動。

卡入凹部124之基板移載方向之兩側側面形成越往下方側，在基板移載方向越位於凹部內側之傾斜面，而構造成被支撐部119卡入卡入凹部124之際，被支撐部119易卡入至卡入凹部124，而易以承接支撐體123承接支撐蓋構件42。此外，卡入凹部124之底面之傾斜為較側面之傾斜平緩之傾斜。

且如第6圖所示，蓋裝卸機構122(承接支撐體123)構造成將已脫離之蓋構件42支撐於比移載對象基板1還上方，且在基板移載方向靠近位於基板移載裝置P4之收納容器2之基板出入口44的位置，俾以已脫離之蓋構件42封閉位於基板移載位置P4之收納容器2之基板取出放入口44之比移載 對象基板1還上方的部份，而以業經以蓋脫離構件122脫離之蓋構件42封閉在上升側基板移載位置P5與下降側基板移載位置P6間升降移動之收納容器2之基板取出放入口44之比移載對象基板1還上方的部份。

亦即，蓋脫離位置P2係裝設在位於該蓋脫離位置P2之收納容器2之蓋構件42與基板移載裝置112之浮起用空氣噴出體71在上下方向觀看重複之位置，又，裝設在位於蓋脫離位置P2之收納容器2之蓋構件42設定成在基板移載裝置112之上方靠近基板移載裝置112之位置，俾不致防礙基板取出放入機構73所作之基板1之移載或浮起用空氣噴出體71所作之基板1之浮起。

且由於裝設在位於蓋脫離位置P2之收納容器2之蓋構件42在與基板中繼單元70之浮起用空氣噴出體71在上下方向觀看重複之位置，故僅使以容器搬送機構111從蓋脫離位置P2於鉛直下方下降移動，使收納容器2位於基板移載位置P4，即可使蓋構件42從容器本體41脫離，並可使在基板移載位置P4之收納容器2之位置為容器本體41與基板移載裝置112在基板移載方向之間隔較蓋構件42在基板移載方向(排列方向)之厚度小，故可使基板移載裝置112與收納容器2之容器本體41於基板移載方向靠近。藉此，可易進行基板移載裝置112所作之收納容器2之容器本體41對基板之移載。

當以容器搬送機構111將收納容器2搬送至基板移載位置P4(上升側基板移載位置P5以下、下降側基板移載位置P5以上之位置)時，首先以堆高式起重機7使收納容器2朝基板 取出方向之下游側水平移動至上方位置P1(參照第5(a)圖)後，使收納容器2從上方位置P1於鉛直下方下降移動至中間位置P3(參照第5(c)圖)，在該下降移動途中之蓋脫離位置P2(參照第5(b)圖)，以蓋裝卸機構122使蓋構件42從容器本體41脫離，將已使蓋構件42脫離之收納容器2卸下，而使其載置支撐於升降機構61。之後，以升降機構61使蓋構件42已脫離之收納容器2從中間位置P3於鉛直下方下降移動至基板移載位置P4。

又，以容器搬送機構111從基板移載位置P4(上升側基板移載位置P5以下、下降側基板移載位置P6以上之位置)搬送收納容器2時，首先，以升降機構61使蓋構件42已脫離之收納容器2從基板移載位置P4於鉛直上方上升移動至中間位置P3。之後，以堆高式起重機7撈取升降機構61上之收納容器2，使該收納容器2從中間位置P3於鉛直上方上升移動至上方位置P1，在該上升移動途中之蓋脫離位置P2，以蓋裝卸機構122使蓋構件42裝設於容器本體41後，使裝設有蓋構件42之收納容器2朝基板取出方向之上游側從上方位置P1水平移動。

《第2實施形態》板狀體支撐型

以下，依圖式，說明適用本發明基板用收納容器之基板搬送設備之第2實施形態。

此外，由於第2實施形態除了被支撐部119之結構不同外，其餘與第1實施形態同樣地構成，故關於與第1實施形態同樣之結構附上相同之標號，省略說明，主要說明與第1 實施形態不同之結構。

如第8圖所示，在蓋構件42，被支撐部119以在蓋本體116之上端部之橫向寬度兩側從蓋本體116突出至橫向寬度外側及容器本體側之狀態設置。

此被支撐部119以形成板狀之板狀體126構成，其下面形成沿著排列方向之水平平坦面。又，被卡合部115以突出至下方之狀態支撐於被支撐部119之容器本體側之前端部。

且板狀本體126以比蓋構件42之重心還上方且對重心從排列方向之容器本體側橫亙蓋構件側而沿著排列方向之姿勢設置。此外，承接支撐體123之卡入凹部124之形狀與第1實施形態若干不同，而底面或側面形成傾斜面之點與第1實施形態同樣地構成。

是故，由於卡入凹部124之底面如上述形成傾斜面，板狀體126之下面形成沿著排列方向之水平之平坦面，以及蓋構件42以於橫軸心周圍搖動自如之狀態支撐於容器本體41，故以承接支撐體123承接支撐板狀體126時，首先，板狀體126之排列方向之蓋構件側(基板取出方向之下游側)之部份先接觸卡入凹部124之底面，隨著蓋構件42對容器本體41相對地移動至上方，蓋構件42以被卡合部115為支點，搖動成下部離開容器本體41，之後，板狀體126之排列方向之容器本體側(基板取出方向之上游側)之部份接觸卡入凹部124之底面，而限制蓋構件42之上述搖動。然後隨著蓋構件42進一步相對於容器本體41相對地於上方移動，被卡合部115從容器本體41之卡合部114分離，蓋構件42從容器本體 41脫離。

《第3實施形態》框支撐型

以下，依圖式，說明適用本發明基板用收納容器之基板搬送設備之第3實施形態。

此外，由於第3實施形態除了卡合部114、被卡合部115、被支撐部119及承接支撐體123之結構不同外，其餘與第1實施形態同樣地構成，故關於與第1實施形態同樣之結構，附上相同之標號，省略說明，主要說明與第1實施形態不同之結構。

如第20圖所示，蓋構件42之被卡合部以於蓋本體116之上端部以蓋構件42突出至容器本體側之狀態而具有之被卡合框46構成。

此被卡合框46構造成在橫向寬度方向觀看，形成下方開口之字形，將排列方向之蓋構件側之下端部連結支撐於蓋本體116之連結框部份46a於橫向寬度方向排列而設置一對，將連結支撐於連結框部份46a之排列方向之容器本體側下端部的卡合用棒狀部份46b橫亙一對連結框部份46a架設，此棒狀部份46b從上方卡合於容器本體41之卡合部114。

又，於被卡合框46具有以作為承接支撐體123之卡合構件65承接支撐之支撐用棒狀部份46c，此支撐用棒狀部份46c連結支撐於連結框部份46a之排列方向之容器本體側之下端部，橫亙一對連結框部份46a架設。亦即，被卡合框46構造成兼用以卡合構件65承接支撐之被支撐部119，被卡合框46以從蓋本體116之上端部突出至上方側之狀態設置。

如第19圖所示，承接支撐體123以支撐於頂部之狀態設置，俾在收納容器2位於上方位置P1之狀態下，位於蓋本體116之上面與被卡合框46之支撐用棒狀部份46c間，以承接支撐位於蓋構件42之橫向寬度方向兩側之被支撐部119。

《第4實施形態》圓筒支撐型

以下，依圖式，說明適用本發明基板用收納容器之基板搬送設備之第4實施形態。

此外，由於第4實施形態除了卡合部114、被支撐部119及蓋裝卸機構122之結構不同外，其餘與第1實施形態同樣地構成，故關於與第1實施形態同樣之結構，附上相同之標號，省略說明，主要說明與第1實施形態不同之結構。

如第9圖所示，蓋構件42設有從排列方向之蓋構件側之斜上方側卡合於位於容器本體41之一端部之上端部份的卡合部114，而卡合支撐於卡合部114之被卡合部115。亦即，蓋構件42構造成使蓋構件42相對於容器本體41於排列方向之容器本體側之斜下方移動，使被卡合部115卡合於卡合部114，而可將蓋構件42裝設於容器本體41，藉使蓋構件42相對於容器本體41於排列方向之蓋構件側之斜上方移動，使被卡合部115從卡合部114脫離，而可使蓋構件42從容器本體41脫離。

如此，蓋構件42構造成對容器本體41從排列方向之蓋構件側之斜上方側裝設自如且往排列方向之蓋構件側之斜上側脫離自如。

容器本體41之卡合部114形成平面觀看形狀為圓形，且 凹入至下方之形狀，形成於對應於設置在蓋構件42之被卡合部115之位置，形成越往上方側，越大徑之盆狀。

是故，如第9(a)圖所示，在將蓋構件42裝設於容器本體41之狀態下，藉被卡合部115卡合於卡合部114，而在蓋構件42裝設於容器本體41之狀態下，限制蓋構件42相對於容器本體41於水平方向移動。

又，在蓋構件42裝設於容器本體41之狀態下，由於被卡合部115之前端部形成球狀，故蓋構件42在裝設於容器本體41之狀態下，以卡合部114為中心，於沿著橫向寬度方向之橫軸心周圍搖動自如。

如第9圖及第10圖所示，於蓋構件42設有在蓋本體116之各橫向寬度方向橫側面凹入至橫向寬度方向內邊側之被支撐部128。

就被支撐部128之形狀加以說明，被支撐部128之底側部份係於橫向寬度方向同徑之圓柱形，且形成較形成球狀之前端部之徑稍大之徑的大小，俾嵌合後述圓筒129。又，被支撐部128之入口側部份形成橫向寬度方向內邊側與底側部份同徑，越往外邊側越小徑之形狀，俾將嵌入之圓筒129之前端部份129a引導至底側部份。

附帶一提，被支撐部128於蓋本體116之橫向寬度方向橫側面分別於上下方向排列2個而設置。

如第10圖所示，蓋裝卸機構122係對應於位於蓋脫離位置P2之收納容器2之蓋構件42之被支撐部128，將一對圓筒129(省略其中一圓筒129之圖式)於上下方向排列2組而構 成。一對圓筒129以各桿部之前端部份129a對抗而相互遠離靠近移動之狀態設置。

且如第10(b)圖所示，蓋裝卸機構122構造成在收納容器2位於蓋脫離位置P2之狀態下，使一對圓筒129突出作動，而使前端部份129a相互靠近，藉此，以一對圓筒129夾持蓋構件42，如第10(a)圖所示，使一對圓筒129退離，而使前端部份129a相互分離，藉此，解除一對圓筒129所作之對蓋構件42之夾持。

亦即，一對圓筒129之前端部份129a相當於在支撐蓋構件42之相互靠近之靠近位置與解除對蓋構件42之支撐之相互分離之分離位置沿著橫向寬度方向相互遠離靠近移動自如之一對支撐體。

此外，2組之一對圓筒129在上下方向排列而支撐於門型支撐框130，此門型支撐框130設置成包圍橫亙上方位置P1與基板移載位置P4而升降移動之收納容器2之橫向寬度方向兩側及上方側。

就一對圓筒129之配置位置加以說明，一對圓筒129設置於在收納容器2位於蓋脫離位置P2之狀態下，藉突出作動，對被支撐部128之入口側部份，詳細為底側部份，在排列方向抵接位於蓋部側斜上方之被抵接部份的位置。

且藉被支撐部128之入口側部份如上述形成，如第9圖所示，在收納容器2位於蓋脫離位置P2之狀態下，隨著一對圓筒129之前端部份129a移動至靠近位置，一對圓筒129之前端部份129a抵接之蓋構件42的被抵接部份為使因圓筒 129之前端部份129a之抵接而使蓋構件42移動至排列方向之蓋構件側之斜上方，而形成越往排列方向之蓋構件側之斜上方處，越位於橫向寬度方向之容器外邊側的引導面。

因而，如第9圖所示，藉在收納容器2位於蓋脫離位置P2(參照第11(a)圖)之狀態下，使圓筒129突出作動，而使前端部份129a移動至靠近位置，圓筒129之前端部份129a卡合於被支撐部128，而可以圓筒129支撐蓋構件42。且藉以圓筒129支撐蓋構件42，以圓筒129之前端部份129a與被支撐部128之被抵接部份構成之凸輪機構作用，蓋構件42相對於容器本體41於排列方向之蓋構件側之斜上方移動，蓋構件42從容器本體41脫離。

又，在收納容器2位於蓋脫離位置P2之狀態下，使圓筒129退離作動，而使前端部份129a移動至分離位置，藉此，圓筒129之前端部份129a從被支撐部128脫離，而可解除圓筒129所作之蓋構件42之支撐。且藉以圓筒129解除對蓋構件42之支撐，蓋構件42之被卡合部115沿著容器本體41之卡合部114之傾斜而被引導，蓋構件42相對於容器本體41於排列方向之容器本體側之斜下方移動，而可將蓋構件42裝設於容器本體41。

且由於以圓筒129支撐之蓋構件42相對於容器本體41位於排列方向之蓋構件側之斜上方，退開至離開容器本體41之位置，故在以圓筒129支撐蓋構件42之狀態下，在蓋脫離位置P2與基板移載位置P4間使收納容器2升降移動時或在基板移載位置P4使收納容器2升降移動時，容器本體41 與蓋構件42不易摩擦，不易產生塵埃。

當以容器搬送機構111將收納容器2搬送至基板移載位置P4時，首先以堆高式起重機7使收納容器2朝基板取出方向之下游側水平移動至蓋脫離位置P2(參照第11(a)圖)後，使一對圓筒129之前端部份129a移動至靠近位置，使蓋構件42從停止在蓋脫離位置之容器本體41脫離。之後，使蓋構件42已脫離之收納容器2從蓋脫離位置P2於鉛直下方下降移動至中間位置P3(參照第11(b)圖)，將收納容器2卸下，而使其載置支撐於升降機構61。之後，以升降機構61使收納容器2從中間位置P3於鉛直下方移動至基板移載位置P4。

又，當以容器搬送機構111將收納容器2從基板移載位置P4搬送時，首先，以升降機構61使收納容器2從基板移載位置P4於鉛直上方上升移動至中間位置P3。之後，以堆高式起重機7撈取升降機構61上之收納容器，使該收納容器2從中間位置P3於鉛直上方上升移動至蓋脫離位置P2後，使一對圓筒129之前端部份移動至分離位置，而將蓋構件42裝設於容器本體41。之後，使裝設有蓋構件42之收納容器2從蓋脫離位置P2朝基板取出方向之上游側水平移動。

《其他實施形態》

(1)在上述第1~第3實施形態中，設定蓋脫離位置P2，俾於以堆高式起重機7使收納容器2在上方位置P1與中間位置P3間於鉛直方向升降移動之期間，收納容器2通過蓋脫離位置P2，而亦可如第12圖所示，設定蓋脫離位置P2，俾於以升降機構61使收納容器2在中間位置P3與基板移載位置 P4間於鉛直方向升降移動之期間，收納容器2通過蓋脫離位置P2。

此時，升降機構61相當於載置支撐收納容器2，使收納容器2從比蓋脫離位置P2還上方之上方位置P1下降移動至基板移載位置P4之支撐下降台，堆高式起重機7相當於為使收納容器2載置於支撐下降台，而將收納容器2搬送至上方位置P1之預備搬送機構。附帶一提，堆高式起重機7使收納容器2沿水平方向移動至基板取出方向之下游側，而使收納容器2水平移動至比上方位置還上方之上端位置P0(參照第12(a)圖)後，使收納容器2從上端位置P0於鉛直下方下降移動至上方位置P1(參照第12(b)圖)，卸下收納容器2，而使其載置支撐於升降機構61。

(2)在上述第4實施形態中，令以移載裝置7於水平方向移動之位置為蓋脫離位置P2，亦可與第1~第3實施形態同樣地，以堆高式起重機7使收納容器2朝基板取出方向之下游側水平移動至上方位置P1後，使收納容器2從上方位置P1於鉛直下方下降移動至中間位置P3，設定蓋脫離位置P2，俾於以堆高式起重機7使收納容器2在上方位置P1與中間位置P3間於鉛直方向升降移動之期間，收納容器2通過蓋脫離位置P2。

附帶一提，在上述各實施形態中，亦可以堆高式起重機7使收納容器2一面朝基板取出方向之下游側移動，一面下降至上方位置P1。

(3)在上述各實施形態中，以使收納容器2從上方位置P1 或蓋脫離位置P2於鉛直下方下降移動至中間位置P3之堆高式起重機7及使收納容器2從中間位置P3於鉛直下方下降移動至基板移載位置P4之升降機構61構成容器搬送機構111，亦可以使收納容器2從上方位置P1或蓋脫離位置P2於鉛直下方下降移動至基板移載位置P4之堆高式起重機7構成容器搬送機構111。

(4)在上述各實施形態中，將蓋脫離機構122構造成支撐於比通過已脫離之蓋構件42之移載對象基板1還上方，且在基板移載方向靠近位於基板移載位置P4之收納容器2之基板取出放入口44的位置，俾以已脫離之蓋構件42封閉位於基板移載位置P4之收納容器2之基板取出放入口44之比移載對象基板1還上方的部份，亦可將蓋脫離機構122構造成支撐於比位於基板移載位置P4之收納容器2還上方或在基板移載方向與位於基板移載位置P4之收納容器2之基板取出放入口44分離的位置，俾不以已脫離之蓋構件42封閉位於基板移載位置P4之收納容器2之基板取出放入口44。

又，設置封閉位於基板移載位置P4之收納容器2之基板取出放入口44之比移載對象基板1還下方之部份的固定蓋121，亦可不設置此固定蓋121。

(5)在上述各實施形態中，以於上下方向隔著間隔之狀態具有載置支撐基板1之支撐板45而構成容器本體41，將基板移載裝置112構造成具有浮起用空氣噴出體71及取出機構73，而以取出機構73移載以浮起用空氣噴出體71浮起之基板1，亦可以於上下方向隔著間隔之狀態具有載置支撐基 板1之橫向寬度方向兩端部之支撐具而構成容器本體41，將基板移載裝置112構造成具有載置支撐基板1之橫向寬度方向中間部之叉裝置，以叉裝置載置支撐基板而移載。

(6)在上述各實施形態中，構造成於容器本體之一端部之上面具有凹入至下方之被卡合部，而將蓋構件卡合於容器本體之上端部，亦可構造成於容器本體之橫側部具有突出至橫外邊之被卡合部，而將蓋構件卡合於容器本體之橫側部。

(7)在上述各實施形態中，構造成將卡合部設置於比起蓋構件之重心還更靠近容器本體側，在將蓋構件裝設於容器本體之狀態下，以本身重量被附與向容器本體側移動之勢能，亦可構造成設置附與蓋構件朝容器本體側移動之勢能的附與勢能機構，使蓋構件受附與勢能機構之附勢能而被附與向容器本體側的勢能。

(8)在上述各實施形態中，橫亙開口周圍全周形成排氣用間隙，亦可在開口之上方側或下方側使容器本體與蓋構件密合，於開口之橫向寬度方向之兩側形成排氣用間隙等，於開口之周圍之一部份形成排氣用間隙。

又，亦可於蓋構件形成排氣孔，從排氣孔排出收納容器內之空氣。

(9)在上述各實施形態中，為形成排氣用間隙，而於容器本體與蓋構件間設置間隔件，亦可將蓋構件本身形成形成排氣用間隙之形狀。此外，亦可將間隔件設置於容器本體，又，亦可將容器本體本身形成形成排氣用間隙之形狀。

(10)在上述各實施形態中，使基板移載裝置112與基板移載位置P4之收納容器2中之基板移載位置P4之收納容器2升降移動，而使支撐收納容器2之移載對象基板1之支撐板45位於對應於基板移載裝置112之高度，亦可使基板移載裝置112與基板移載位置P4之收納容器2中之基板移載裝置112升降移動，而使支撐收納容器2之移載對象基板1之支撐板45位於對應於基板移載裝置之高度。

(11)在上述各實施形態中，令基板之形狀為用於液晶顯示器或電漿顯示器之玻璃基板等矩形基板，可為用於IC晶片之半導體晶圓等圓形基板等，適宜地變更使用之用途或基板之形狀。

(12)在上述第1實施形態中，將構成被支撐部119之2個旋轉體120以徑形成相同大小，且各旋轉體120之旋轉軸心為相同之高度之狀態，於排列方向排列設置，而使2個旋轉體120之下端之高度為相同高度，亦可使位於蓋構件側之旋轉體120之下端之高度低於位於容器本體側之旋轉體120之下端之高度。

亦即，亦可將構成被支撐部119之2個旋轉體120，如第13(a)圖所示，以徑形成相同之大小，且使位於排列方向之蓋構件側之旋轉體120為較位於排列方向之容器本體側之旋轉體120之高度低之高度的狀態，於排列方向排列設置，又，亦可如第13(b)圖所示，以位於排列方向之蓋構件側之旋轉體120形成較位於排列方向之容器本體側之旋轉體大徑，且使各旋轉體120之旋轉軸心為相同高度之狀態，於排 列方向排列設置。

如此構成時，與上述第1實施形態同樣地，於收納容器2下降移動，以承接支撐體123承接支撐2個旋轉體120時，首先排列方向之蓋構件側之旋轉體120先接觸卡入凹部124之底面，蓋構件42搖動，之後，排列方向之容器本體側之旋轉體120接觸卡入凹部124之底面，而限制蓋構件42之搖動。

附帶一提，卡入凹部124之底面之形狀只要為排列方向之蓋構件側之旋轉體120較容器本體側之旋轉體120先接觸卡入凹部124之底面之形狀即可，可形成水平面等，適宜地變更卡入凹部124之底面形狀。

(13)在上述第1及第2實施形態中，藉將複數個旋轉體120以於排列方向排列之狀態設置於蓋構件42，或將板狀體126以沿著排列方向之姿勢設置於蓋構件42，而將被支撐部119以沿著排列方向之狀態設置於蓋構件42，如第14(a)圖所示，亦可藉將複數個旋轉體120以於上下方向排列之狀態設置於蓋構件42，或如第15(a)圖所示，將板狀體126以沿著上下方向之姿勢設置於蓋構件42，而將被支撐部119以沿著上下方向之狀態設置於蓋構件42。

且當如此將被支撐部119以沿著上下方向之狀態設置於蓋構件42時，如第14(b)圖及第15(b)圖所示，將卡入凹部124之入口側部份之基板移載方向兩側之側面形成越往下方側，在基板移載方向越位於內邊側之傾斜面，將卡入凹部124之底側部份之基板移動方向兩側之側面形成從入口側部份下端於鉛直下方延伸之鉛直面。且蓋構件42從容器 本體41脫離之際，使被支撐部119嵌合於凹入至卡入凹部124之鉛直下方之底側部份，而限制被支撐部119之傾斜，藉此，可抑制蓋構件42沿著排列方向之搖動。

附帶一提，雖圖中未示，但將卡入凹部124之底側部份之基板移載方向兩側之側面形成從入口側部份下端於斜下方延伸之傾斜面，蓋構件42從容器本體41脫離之際，使被支撐部119嵌合於凹入至卡入凹部124斜下方之底側部份，以承接支撐體123所承接支撐之蓋構件42呈越往下部側越離開容器本體41之傾斜姿勢。

(14)在上述第1及第2實施形態中，構造成以限制沿著排列方向之蓋構件42之搖動的狀態，以卡入凹部124承接支撐被支撐部119，亦可構造成以1個旋轉體120構成被支撐部119等，以不限制沿著排列方向之蓋構件42之搖動之狀態，以卡入凹部124承接支撐被支撐部119。

附帶一提，如上述構成時，將在將蓋構件42裝設於容器本體41之狀態下，以卡入凹部124承接支撐被支撐部119時之蓋構件42的搖動軸心設定成比起蓋構件42之重心還靠近排列方向之蓋構件側，藉此，於以卡入凹部124承接支撐被支撐部119時，蓋構件42可傾斜成越往下部側，越離開容器本體41。

《參考實施形態》

就收納適用本發明之基板用收納容器之自動倉庫以及具有載置搬送從收納容器取出之基板及收納於收納容器之基板之輸送機的基板搬送設備，以參考實施形態依圖式說 明。此外，在以下之說明中，雖例示適用本發明第3實施形態者，但可適用本發明第1、第2及第4實施形態。

如第16圖所示，基板處理設備具有具用以收納將矩形基板1以於上下方向隔著間隔排列之狀態保持複數片之收納容器2之複數個收納部4的物品收納架5、在收納部4與基板出入部6間搬送收納容器2之作為收納容器搬送裝置之堆高式起重機7、從位於基板出入部6之收納容器2將基板1逐片取出，將之搬送至處理基板1之基板處理裝置(圖中未示)，並且將從基板處理裝置搬送之基板1逐片收納於收納容器2之基板搬送裝置8而構成。

且在此基板處理設備中，將收納容器2保管於物品收納架5，並將所保管之收納容器2搬送至基板出入部6，從已搬送至該基板出入部6之收納容器2將基板1以1片為單位取出，搬送至基板處理裝置，進行預定處理，對位於基板出入部6之收納容器2將已進行該預定處理之基板1以1片為單位收納。

如第16圖及第17圖所示，於物品處理設備設有在無塵空間13，使淨化空氣從頂部流通至地板部之降流式淨化空氣流通機構23，於該降流之無塵空間13內裝備有收納架5、堆高式起重機7及基板搬送裝置8。

就淨化空氣流通機構23加以說明，如第17圖所示，淨化空氣流通機構23構造成無塵空間13之地板部以多孔狀格子地板14形成，無塵空間13之頂部以由HEPA過濾器等構成之空氣過濾器15形成，且形成於格子地板14之下方側之吸 氣室16與形成於空氣過濾波器15之上方側之腔室17以具有通風風扇18及預濾器21之循環路徑19連通，以使無塵空間13內之空氣以預濾器21及空氣過濾器15清淨化並循環，而使淨化空氣從頂部流通至地板部。然後，在循環路徑19，於比通風風扇18還上游之處連接外部空氣取入流路20，比通風風扇18還下游之處連接排氣流路22，而將以淨化空氣流通機構23循環之無塵空間13內之空氣之一部份與外部空氣更換。

又，如第16圖所示，於以基板搬送裝置8在基板出入部6之收納容器2與基板處理裝置間搬送基板1之基板搬送區24設有以物品收納架5側之端部開放，且基板處理側之端部與基板處理裝置連通之狀態，覆蓋基板搬送空間之區隔壁25，於此區隔壁25之頂部設有複數個區用風扇過濾器單元26。且使業經以複數個區用風扇過濾器單元26將無塵空間13之淨化空氣進一步清淨化之淨化空氣從頂側流通至地板部側，而將以區隔壁25覆蓋之基板搬送空間作為降流之空間。

如第16圖及第17圖所示，物品收納架5係分別以於架前後方向排列之前後一對支柱構成之支柱組28於架橫向寬度方向排列而直立設置，複數個物品支撐部29橫亙構成支柱組28之前後一對支柱而於上下方向排列架設，將收納容器2以物品支撐部29載置支撐之狀態收納之收納部4以縱橫排列之狀態設置複數個。附帶一提，物品收納架5以於格子地板14上相對之狀態設置一對。

設於物品收納架5之複數個收納部4中之一部份作為基 板出入部6。加以說明，如第18圖所示，設於物品收納架5之最下層之複數個收納部4中的一部份收納部4構造成可對收納在該收納部4之收納容器2，經由物品收納架5之背面側，以基板搬送裝置8將基板1逐片取出或逐片收納，而作為基板出入部6。

如第16圖及第17圖所示，堆高式起重機7構造成具有在形成於以相對之狀態設置之一對收納架5之移動空間沿著其長向行走移動之移動車架31、升降自如地引導支撐於直立設置在移動車架31，並於車架行走方向排列之一對升降桅桿32之升降台33、支撐於升降台33，並在收納部4與自身間可移載收納容器2之叉式物品移載裝置34，以移動車架31之水平移動、升降台33之升降移動及物品移載裝置34之作動，在作為基板出入部6之收納部4與其他收納部4間搬送收納容器2。

如第18圖所示，物品移載裝置34由在上下軸心周圍旋繞自如之旋繞台35及將設置在該旋繞台35上之載置部36支撐成進退移動自如之連桿機構37。且物品移載裝置34構造成可切換成以連桿機構37之伸縮使物品移載裝置34退離至升降台33上之狀態及使物品移載裝置34突出至收納部4側之狀態，並且可以旋繞台35之旋繞將物品移載裝置34之進退方向變更180度。

如第18圖等所示，基板搬送裝置8構造成在位於基板出入部6之收納容器2與基板搬送輸送機51間將基板1逐片交接。基板搬送裝置8具有載置支撐基板1之複數個支撐板45 以於上下方向隔著間隔之狀態並列設置之收納容器2、載置搬送基板1之基板搬送輸送機51、從收納容器2將基板1逐片取出，交接至基板搬送輸送機51，且將從基板搬送輸送機51接收之基板1逐片收納於收納容器3之基板中繼單元70、將位於基板出入部6之收納容器2支撐成升降自如之升降機構61、控制基板搬送裝置8之作動之控制裝置H(參照第34圖)。

接著，就基板搬送裝置8加以詳細說明，有令基板取出方向之下游側(基板收納方向之上游側)為前方側，令基板取出方向之上游側(基板收納方向之下游側)為後方側，將沿著基板取出方向(基板收納方向)之方向稱為前後方向，令與此方向交叉之方向為橫向寬度方向來說明之情形。

[收納容器]

如第20圖及第21圖所示，收納容器2具有形成前後面開口之橫倒姿勢之四角筒狀的容器本體41、以堵塞前面開口之狀態設置於容器本體41之前側端部之蓋構件42、以堵塞後面開口之狀態設置於容器本體41之後側端部之風扇過濾器單元43、於收納容器2內以於上下方向隔著間隔之狀態並列設置之複數個支撐板45而構成。

容器本體41藉以框架材料架構形成長方體形狀，並且以板材堵塞左右面及上下面之開口，而形成上述前後面於水平方向開口之橫倒姿勢之四角筒狀。且以容器本體41前面之開口為基板取出放入口44，可構造成對容器本體41經由基板取出放入口44，進行基板1之取出放入。

如第20圖所示，蓋構件42以蓋形成用框架材架構形 成，俾形成與基板取出放入口44相同形狀之開口，該開口以透明板材堵塞。

又，於蓋構件42設有從上方卡合於容器本體41之被卡合框46。亦即，蓋構件42構造成藉使蓋構件42相對於容器本體41移動至下方，使被卡合框46卡合於容器本體41，而可將蓋構件42裝設於容器本體41，藉使蓋構件42相對於容器本體41移動至上方，而可使蓋構件42從容器本體41脫離。

且，蓋構件42形成在裝設在容器本體41之狀態下，於與容器本體41間形成間隙之形狀，以風扇過濾器單元43導入至收納容器2內之空氣經由形成於容器本體41與蓋構件42間之間隙，而排出至外部。

如第21圖所示，風扇過濾器單元43裝卸自如地裝設於容器本體41之後端部，俾從容器本體41後面之開口朝基板取出放入口44流通。

此外，省略詳細說明，於風扇濾波器43具有受電部及貯蓄供給至此受電部之電力之電池，風扇過濾器單元43構造成在收納容器2收納於收納部4之狀態下，以從收納部4分別具有之供電部供電至受電部之電力作動，在收納容器2以堆高式起重機7搬送時等之受電部離開供電部而不將電力供給至受電部之狀態下，以貯蓄於電池之電力作動。

如第22圖所示，複數個支撐板45分別具有以加壓加工形成突出至上方之複數個突起部48之支撐基板47、限制所載置支撐之基板1往橫向寬度方向及後方移動之限制構件49。且突起部48之上面形成水平之平面，而作為載置支撐 基板1之載置面48a。

又，如第24圖等所示，複數個支撐板45其前端部份45a之上面形成越前方側越位在下方之傾斜平面，前端部份45a及突起部48以外之部份之上面形成水平之平面，載置支撐基板1之支撐預定區域E設定成從前端部份45a橫亙其他之部份。

附帶一提，突起部48為直徑10mm之圓形，且形成厚度較玻璃基板1之厚度薄之0.2mm。

且在複數個支撐板45，分別藉在支撐用基板47於前後方向及橫向寬度方向並列設置突起部48，而形成凹入部50。

加以說明，支撐板45之未形成突起部48之部份比載置面48a還凹入至下方。如上述，藉於支撐用基板47並列設置突起部48，比載置面48a還凹入至下方之凹入部50形成格子狀，如此形成之凹入部50形成從支撐預定區域E之中央部延伸至支撐預定區域E之外部之形狀，且從支撐預定區域E之前端部橫亙後端部以直線狀延伸之形狀。藉將空氣供給至支撐板45之上面與基板1之下面間，基板1從支撐板45浮起，而停止對支撐板45之上面與基板1之下面間供給空氣時，如第22圖之虛線箭號所示，存在於支撐板45與基板1間之空氣沿著凹入部50流動至支撐預定區域E之外部。結果，可將存在於支撐板45與基板1間之空氣快速地排出，而可以突起部48穩定地載置支撐基板1。

限制構件49在支撐用基板47之左右兩端部，於前後方向隔著間隔並列設置，俾位於支撐預定區域E之左右兩側， 並且在支撐用基板47之後端部，於橫向寬度方向隔著間隔並列設置，俾位於支撐預定區域E之後方側。

[升降機構]

如第18圖及第19圖所示，升降機構61具有設置於基板出入部6，以升降用馬達62(參照第34圖)升降移動，載置支撐收納容器2之左右一對支撐台63、將左右一對支撐台63個別引導支撐成升降自如之左右一對引導支柱64而構成。

且，如第4圖所示，在基板出入部6，卡合於收納容器2之蓋構件42之被卡合框46的卡合構件65以支撐於區隔壁25之頂部之狀態設置，隨著搬入至基板出入部6，而以堆高式起重機7將收納容器2載置支撐於升降機構61，被卡合框46卡合於卡合構件65，且從容器本體41脫離，而將蓋構件42從容器本體41卸除，隨著以堆高式起重機7從基板出入部6搬出收納容器2，被卡合框46卡合於容器本體41，且從卡合構件65脫離，而將蓋構件42裝設於容器本體41。

是故，構造成藉以升降機構61使載置支撐收納容器2之容器本體41之支撐台63升降，在蓋構件42支撐於卡合構件65之狀態下，使收納容器2之蓋構件42以外之部份升降移動，而變更基板取出放入口44之開口量。

[基板中繼單元]

接著，就基板中繼單元70加以說明。

如第18圖及第19圖所示，基板中繼單元70構造成以沿著橫向寬度方向行走之行走車架74於橫向寬度方向移動自如，於與位於基板出入部6之收納容器2間將基板1逐片取出 或收納時，以行走車架74之行走將基板中繼單元70配置於與位於基板出入部6之收納容器2相鄰之位置。

如第23圖所示，基板中繼單元70具有將空氣噴出至取出對象或收納對象基板1之下面與載置支撐此基板1之支撐板45上面間之浮起用空氣噴出體71、將空氣供給至比浮起用空氣噴出體71還要在基板取出方向之下游之處的供給用空氣噴出體72、將以浮起用空氣噴出體71所作之空氣之噴出從支撐板45浮起之取出對象基板1在通過浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72之上方之狀態下從收納容器2取出，且將以浮起用空氣噴出體71所作之空氣噴出浮起之收納對象基板1在通過浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72之上方，俾位於載置支撐該基板1之支撐板45上的狀態下，收納於收納容器2之基板取出放入機構73。

附帶一提，基板取出放入機構73兼用於將基板1從收納容器2取出之取出機構及將基板1收納於收納容器2之收納機構。

[行走車架]

如第18圖及第19圖所示，行走車架74構造成具有分別對應於沿著橫向寬度方向而設置之一對行走用軌道76而設置，以行走用馬達77旋轉驅動之行走用車輪78，並支撐浮起用空氣噴出體71、供給用空氣噴出體72及基板取出放入機構73，且構造成藉以行走用馬達77使行走用車輪78旋轉驅動，使基板中繼單元70於橫向寬度方向行走移動，而可於與收納容器2相鄰之位置及與基板搬送輸送機51相鄰之 位置移動。

[基板取出放入機構]

基板取出放入機構73具有夾持搬送基板1之夾持搬送機構81及載置搬送基板1之載置支撐搬送機構88而構成。

夾持搬送機構81構造成當從收納容器2取出基板1時，使夾持取出對象基板1之基板取出方向之下游側端部之夾持部82沿著沿基板取出方向之移動路徑從基板取出方向之上游側移動至下游側，將取出對象基板1從取出對象基板1全體位於收納容器2內之收納位置(參照第24圖及第25圖)搬送至取出對象基板1之一部份位於收納容器2外之中繼位置(參照第26圖及第27圖)，又，當將基板1收納於收納容器2時，使夾持部82沿著移動路徑從基板搬入方向之上游側移動至下游側，將位於中繼位置之收納對象基板1在以夾持部82之前端部份按壓之狀態下從中繼位置搬送至收納位置。

且夾持搬送機構81於橫向寬度方向設置一對夾持部82而構成，俾於將基板1從收納容器2取出時，夾持取出對象基板1之橫向寬度方向之兩端部，於將基板1收納於收納容器2時，按壓收納對象基板1之橫向寬度方向之兩端部。藉此，可防止在縱軸心周圍之基板1之旋轉，且將基板1以穩定之姿勢搬送，並可將對基板1接觸之位置作為基板取出方向之下游側端部之一極小部份。

夾持部82具有以共同運作於上下方向夾持基板1之一對夾持作用部份83及支撐一對夾持作用部份83之支撐部份84而構成。一對夾持作用部份83以突出至支撐部份84之橫 側邊之狀態，相互分離靠近移動自地支撐。且一對夾持作用部份83構造成可切換成使一對夾持作用部份83相互靠近，夾持基板1之夾持狀態(參照第26圖)、使一對夾持作用部份83相互分離之夾持解除狀態(參照第24圖)及使一對夾持作用部份83比夾持狀態更靠近而相互接觸之按壓狀態(參照第28圖)。

夾持部82以沿著沿基板取出方向之移動路徑以直線狀移動自如之移動體87支撐，夾持部82並構造成以此移動體87沿著移動路徑之移動，於基板取出方向移動自如。於移動體87之上部設有對移動體87以在縱軸心周圍搖動自如之狀態連結之搖動連結構件85，在該搖動連結構件85於基板取出方向延伸之部份之端部，於其上部固定支撐有夾持部82。藉此，夾持部82以於縱軸心周圍搖動自如之狀態支撐於移動體87。

附帶一提，夾持部82搖動之縱軸心在平面觀看位於遠離支撐部份84所在之處之處，而位於夾持作用部份83所在之處。

又，夾持搬送機構81具有作為退開操作機構之搖動引導構件89而構成，該搖動引導構件係將在取出對象基板1已搬送至中繼位置之狀態下，解除了對取出對象基板1之夾持的夾持部82移動至從以載置支撐搬送機構88搬送之取出對象基板1之搬送路徑(搬送基板1時，基板1所佔據之空間)退開之退開位置者。

此搖動引導構件89構造成藉以移動體87沿著移動路徑 之移動，抵接夾持部82，並於縱軸心周圍搖動，俾使夾持部82引導至與基板取出方向交叉之橫向寬度方向之外邊側，而使夾持部82退開至退開位置。

就搖動引導構件89加以說明，搖動引導構件89具有搖動連結構件85及引導引導輥86之引導溝89a而構成。亦即，搖動連結構件85設置成以貫穿形成有引導溝89a之板體之狀態，與引導溝89a之內壁抵接，引導輥86設置一對，俾在搖動連結構件85之在基板取出方向延伸之部份之端部，在其下方側與引導溝89a之內壁抵接。

且，引導溝89a之基板取出方向之上游側之部份形成沿著移動體87之移動路徑之直線狀，與此上游側之部份連續之下游側之部份形成彎曲至橫向寬度方向之外邊側之曲線狀。

亦即，如第24圖~第28圖所示，為使取出對象基板1從收納位置搬送至中繼位置或將收納對象基板1從中繼位置搬送至收納位置，而使移動體87沿著移動路徑移動之期間，由於引導輥86為引導溝89a形成直線狀之部份以直線狀引導，故夾持部82之姿勢保持在夾持作用部份83與支撐部份84沿著移動路徑之方向排列之姿勢。

且，如第29圖及第30圖所示，對收納位置之取出對象基板1解除夾持後，藉使移動體87移動至基板取出方向之下游側，引導輥86為引導溝89a之形成曲線狀之部份以曲線狀引導，俾移動至橫向寬度方向之外邊側，故夾持部82之姿勢變更成相對於移動路徑傾斜之姿勢，俾使支撐部份84相對於夾持作用部份83位於橫向寬度方向外邊側。又，藉從 此狀態，使移動體87移動至基板取出方向之上游側，引導輥86為引導溝89a之形成曲線狀之部份以曲線狀引導，俾移動至橫向寬度方向之內邊側，故夾持部82之姿勢變更成夾持作用部83與支撐部份84於沿著移動路徑之方向排列之姿勢。

且，如第25圖及第27圖所示，夾持部82由於於沿著移動路徑之方向排列之姿勢在平面觀看，一對夾持作用部份83及支撐部份84位於基板1之搬送路徑之橫向寬度內，故可對基板1從基板取出方向之下游側夾持或按壓，如第30圖所示，由於相對於移動路徑傾斜之姿勢在平面觀看，一對夾持作用部份83之一部份及支撐部份84遠離基板1之搬送路徑，位在橫外邊側，故可在不為夾持部82阻擋下，以載置支撐搬送機構88搬送基板1。

附帶一提，夾持部82以相對於移動路徑傾斜之姿勢，位於退開位置(參照第29圖及第30圖)。此時，一對夾持作用部份83在平面觀看，存在於基板1之搬送路徑上，而藉使一對夾持作用部份83呈夾持解除狀態，可容許基板1之通過。

[載置支撐搬送機構]

載置支撐搬送機構88構造成當將基板1從收納容器2取出時，載置支撐以夾持搬送機構81搬送至中繼位置之取出對象基板1，將取出對象基板1從中繼位置搬送至取出對象基板1全體位於收納容器2外之取出位置(參照第29圖)，當將基板1收納於收納容器2時，將從基板搬送輸送機51接收之收納對象基板1從取出位置搬送至中繼位置。

附帶一提，載置支撐搬送機構88構造成於使基板中繼 單元70於橫向寬度方向行走移動時，將基板1載置支撐在全體位於載置支撐搬送機構88上之取出位置，並且將位於取出位置之取出對象基板1交接至基板搬送輸送機51，將從基板搬送輸送機51所接收之收納對象基板1搬送至取出位置。

就載置支撐搬送機構88加以說明，載置支撐搬送機構88設有朝基板1下面供給空氣，以水平姿勢將基板以非接觸狀態支撐之送風式支撐機構52及對以該送風式支撐機構52所支撐之基板1賦與搬送方向之推動力之推動力賦與機構53而構成。

送風式支撐機構52具有設置於基板1之搬送路徑之下方，朝上方輸送空氣之吹風器54、設置於此吹風器54與基板1之搬送路徑間之多孔狀整風板55、將空氣供給至吹風器54之輸送機用空氣供給裝置56(參照第34圖)而構成。又，推動力賦與機構53具有並列設置於基板取出方向，接觸基板1之下面之複數支撐用搬送輥57及接觸位於中繼位置之基板1之上面，以與支撐用搬送輥57之共同運作，夾持基板1之夾持用搬送輥58而構成，支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58於橫向寬度方向設置一對而構成，俾載置支撐及夾持基板1之橫向寬度方向之兩端部。

設有具有限制基板1在橫向寬度方向之移動之凸緣的附凸緣之支撐用搬送輥57及不具有凸緣之無凸緣之支撐用搬送輥57作為複數個支撐搬送輥57，無凸緣之支撐用搬送輥57配設於載置支撐搬送機構88(基板取出放入機構73)之基板取出方向之上游側端部，俾接觸位於中繼位置之基板1 之下面，且以與夾持用搬送輥58之共同運作夾持基板1，附凸緣之支撐用搬送輥57並列設置於載置支撐搬送機構88(基板取出放入機構73)之比無凸緣之支撐用搬送輥57還要在基板取出方向之下游之處，俾不接觸位於中繼位置之基板1之下面。

附帶一提，夾持用搬送輥58與無凸緣之支撐用搬送輥57同樣地，配設於載置支撐搬送機構88(基板取出放入機構73)之基板取出方向之上游側端部。

亦即，載置支撐搬送機構88構造成中繼位置為基板1之基板取出方向之下游側端部以複數個支撐用搬送輥之無凸緣之支撐用搬送輥57支撐，且以與夾持用搬送輥58之共同運作夾持之位置，夾持搬送機構81所作之取出對象基板1之搬送係搬送成基板1之基板取出方向之下游側端部位於載置支撐扳送機構88之基板取出方向之上游側端部，俾以支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58夾持。

總之，由於中繼位置係基板1之基板取出方向之下游側端部以配設在載置支撐搬送機構88之基板取出方向之上游側端部的無凸緣之支撐用搬送輥57與夾持用搬送輥58之共同運作而夾持之位置，為接近收納位置之位置，故夾持搬送裝置81之基板1之搬送距離可縮短，而可縮短夾持部82之移動距離。

又，將支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58配設成支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58載置支撐及夾持之處係比夾持搬送機構81夾持之處在橫向寬度方向還更外邊之處。藉 此，構造成夾持搬送機構81之基板1之搬送範圍與載置支撐搬送機構88之基板1之搬送範圍在基板取出方向重複。是故，可以夾持搬送機構81將基板1搬送至可以載置支撐搬送機構88搬送之中繼位置，反之，可以載置支撐搬送機構88將基板1搬送至可以夾持搬送機構81搬送之中繼位置。結果，可準確地進行夾持搬送機構81與載置支撐搬送機構88間之交接。而且從夾持搬送機構81將基板1交接至載置支撐搬送機構88時，從將基板1夾持於夾持部82之狀態轉變至載置支撐之狀態，而由於可以支撐用搬送輥57與夾持用搬送輥58之共同運作，在夾持基板1之狀態下搬送，故可準確地進行夾持搬送機構81與載置支撐搬送機構88間之交接，並可妥當地搬送基板1。

且載置支撐搬送機構88構造成可將基板1之橫向寬度方向中央部以送風式支撐機構52以非接觸狀態支撐，且以推動力賦與機構53接觸支撐及夾持基板1之橫向寬度方向之兩端部，以搬送用馬達59使支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58旋轉驅動，藉此，沿搬送方向搬送基板1。

附帶一提，基板搬送輸送機51與載置支撐搬送機構88同樣地具有具有吹風器、整風板及空氣供給裝置之送風式支撐機構及具有複數個支撐用搬送輥之推動力賦與機構而構成。此外，於基板搬送輸送機51未設有夾持用搬送輥。

如第31圖所示，浮起用空氣噴出體71構造成具有朝上方噴出空氣之空氣噴出口91、形成從此空氣噴出口91之基板取出方向之上游側端部延伸至上方側之形狀，而將從空 氣噴出口91朝上方噴出之空氣導引成沿著浮起用空氣噴出體71之上面朝收納容器2側，於水平方向流動之導引曲面92，而兼用輔助空氣噴出體，該輔助空氣噴出體係在容器相鄰處A，朝以基板取出放入機構73取出之取出對象基板1及收納之收納對象基板1之下面與浮起用空氣噴出體71之上面間噴出空氣者。

亦即，在第31(a)圖中，如箭號所示，由於從浮起用空氣噴出體71之空氣噴出口91朝上方噴出之空氣以康達效應沿著導引曲面92流動後，沿著與該導引曲面92相連之浮起用空氣噴出體71之上面，於水平方向流動，逕自朝位於基板取出方向之上游側之收納容器2於水平方向流動，故從空氣噴出口91噴出之空氣以導引曲面92導引成朝取出對象基板1之下面與浮起用空氣噴出體71之上面間噴出空氣，之後，朝收納容器2側於水平方向流動，俾於取出對象基板1之下面與載置支撐此基板1之支撐板45之上面間噴出空氣。

供給用空氣噴出體72係設置成使與浮起用空氣噴出體71同樣地構成之噴出體於水平方向流動之空氣之方向為反方向者，具有朝上方噴出空氣之反方向用空氣噴出口93、位於比此反方向用空氣噴出口93還上方側，且為基板取出方向之下游側，而將從反方向用空氣噴出口93朝上方噴出之空氣導引成沿著供給用空氣噴出體72之上面朝與收納容器2側相反之側於水平方向流動之反方向用導引曲面94而構成。

亦即，從反方向用空氣噴出口93噴出之空氣朝為與收 納容器2側相反之側之基板取出方向的下游側於水平方向流動，俾將空氣供給至在容器相鄰處A中，比浮起用空氣噴出體71之空氣噴出口91還要在基板取出方向之下游之處。

如第23圖及第32圖所示，浮起用空氣噴出體71以於橫向寬度方向隔著間隔之狀態並列設置複數個，供給用空氣噴出體72在橫向寬度方向配設於浮起用空氣噴出體71間，複數個浮起用空氣噴出體71與複數個供給用空氣噴出體72以浮起用空氣噴出體71位於橫向寬度方向之兩端之狀態，於橫向寬度方向交互排列成一列。藉此，如第32圖中箭號所示，於搬送基板1時，可將以供給用空氣噴出體72噴出之空氣對浮起用空氣噴出體71之空氣噴出口91供給至基板取出方向之下游側。藉此，即使因浮起用空氣噴出體71之空氣噴出口91之空氣之噴出，該基板取出方向之下游側形成負壓，仍可以供給空氣噴出體72之空氣，將該部份正壓化，而妥當地支撐基板1。

且連接設置板96以上面高度與整風板55之上面相同之高度之狀態且延伸至基板取出方向之上游側之狀態支撐於基板取出放入機構73之基板取出方向之上游側端部，供給用空氣噴出體72以其上面為與連接設置板96之上面相同之高度，且於基板取出方向相連之狀態支撐於連接設置板96，浮起用空氣噴出體71以其上面為位於較連接設置板96之上面低數毫米(例如2~3mm左右)之下方之高度，且於基板取出方向之下游側形成有供從空氣噴出口91噴出之空氣通過之間隙之狀態支撐於連接設置板96。

亦即，浮起用空氣噴出體71設置成其上面位於較供給用噴出體72之上面低數毫米之下方。

從作為空氣供給裝置之噴出體用空氣供給裝置95(參照第34圖)將空氣供給至浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72，此噴出體用空氣供給裝置95構造成將供給之空氣之供給量調整自如。且藉從噴出體用空氣供給裝置95將空氣供給至浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72，浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72切換成噴出空氣之噴出狀態，而藉停止從噴出體用空氣供給裝置95對浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72之空氣之供給，浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72切換成停止空氣之噴出之噴出停止狀態。

接著，就控制裝置H作說明。

如第33圖及第34圖所示，於基板中繼單元70設有檢測以夾持部82所夾持之基板1及以夾持部82所按壓之基板1之存在與否的基板存在與否檢測感測器101、檢測收納容器2是否位於對基板1之取出及收納妥當之高度之容器高度檢測感測器102、檢測基板1是否位於基板取出位置之取出位置檢測感測器103、檢測基板1是否位於中繼位置之中繼位置檢測感測器104及使載置支撐搬送機構88之基板1之搬送速度減速之減速位置檢測感測器105，於基板出入部6設有檢測基板1之一部份是否從收納容器2露出至外部之基板露出檢測感測器106，並構造成將該等檢測感測器之檢測資訊輸入至控制裝置H。

且控制裝置H構造成依該等檢測感測器或上位控制器之指令等，控制基板中繼單元70之行走車架74、基板取出放入機構73及噴出體用空氣供給裝置95之作動以及升降機構61及基板搬送輸送機51之作動。

控制裝置H亦具有作為空氣供給用控制機構及升降用控制機構之功能，該空氣供給用控制機構係控制噴出體用空氣供給裝置95之作動，俾使從浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72噴出之空氣之噴出量朝目標供給量階段性地增多者，該升降用控制機構係為使載置支撐取出對象或收納對象基板1之支撐板45位於對應於浮起用空氣噴出體71及基板取出放入機構73之高度(為取出用高度，且為收納用高度)，而控制升降機構61之作動者。

亦即，控制裝置H構造成控制噴出體用空氣供給裝置95之作動，俾於將浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72從噴出停止狀態切換成噴出狀態之際，使從噴出體用空氣供給裝置95供給至浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72之空氣之量階段性地增多，而從該等浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72噴出之空氣之噴出量朝目標供給量階段性地增多。

又，控制裝置H構造成控制升降機構61之作動，以於將基板1從收納容器2取出或收納時，使載置支撐該取出或收納之基板1之支撐板45位於對應於浮起用空氣噴出體71及基板取出放入機構73之高度，而使從浮起用空氣噴出體71噴出之空氣噴出至取出或收納之基板1下面與載置支撐該 基板1之支撐板45之上面間，且可以夾持部82夾持或按壓以浮起用空氣噴出體71之空氣之噴出浮起之基板1。

基板存在與否檢測感測器101設置一對，俾於一對夾持部82分別檢測夾持作用部份83之前之基板1之存在與否，控制機構H構造成當一對基板存在與否檢測感測器101兩者為檢測基板1之存在之檢測狀態時，便判別為夾持或按壓基板1，當一對基板存在與否檢測感測器101之一者或兩者為未檢測出基板1之非檢測狀態時，便判別為未夾持及按壓基板1，當在以夾持部82夾持或按壓之狀態下，判別為未夾持及按壓基板1時，便停止基板搬送裝置8之作動。

容器高度檢測感測器102設置成檢測於收納容器2分別對應於複數個支撐板45而於上下方向並列設置之複數個檢測板107之存在與否，控制機構H構造成當收納容器2位於複數個支撐板45之任一個對應於浮起用空氣噴出體71及基板取出放入機構73之高度，而為以容器高度檢測感測器102檢測複數檢測板之任一個的檢測狀態時，判別為收納容器2在妥當之高度，當收納容器2從對應之高度於上下方向偏離，而容器高度檢測感測器102為皆未檢測複數檢測板之任一個之非檢測狀態時，判別為收納容器2不在妥當之高度，將基板1對收納容器2取出放入之際，判別為收納容器2不在妥當之高度時，停止基板搬送裝置8之作動。

取出位置檢測感測器103於對應於位在取出位置之基板1之基板取出方向之上游側端部的位置及對應於下游側端部之位置設置一對，控制機構H構造成當基板1位於取出 位置，一對取出位置檢測感測器103為檢測基板1之檢測狀態時，判別為基板1位於取出位置，當基板1從取出位置偏離，一對取出位置檢測感測器103之一者或兩者為非檢測狀態時，判別為基板1不位於取出位置。

中繼位置檢測感測器104於位於中繼位置之基板1之基板取出方向之下游側端部之位置與比此位置還更下游側之位置，以與基板取出方向相鄰之狀態設置一對，當控制機構H構造成位於基板取出方向之上游側之中繼位置檢測感測器104為檢測基板1之檢測狀態，位於下游側之中繼位置檢測感測器104為未檢測基板1之非檢測狀態時，判別為基板1位於中繼位置，而當基板1偏離中繼位置，一對中繼位置檢測感測器104兩者為檢測狀態或非檢測狀態時，判別為基板1不位於中繼位置。

減速位置檢測感測器105設置成取出用與收納用之一對位於位在取出位置之基板1之前後寬度內，控制機構H構造成控制推動力賦與機構53之作動，俾以載置支撐搬送機構88將基板1從中繼位置搬送至取出位置時，在搬送開始後，即刻使搬送速度加速成搬送高速度，當取出用減速位置檢測感測器105為檢測基板1之檢測狀態時，使搬送速度減速成比搬送高速度低速之搬送低速度，又，以載置支撐搬送機構88將從基板搬送輸送機51接收之基板1搬送至取出位置時，維持從基板搬送輸送機51接收之基板1之搬送速度，當收納用減速位置檢測感測器105為檢測基板1之檢測狀態時，使搬送速度減速成比已接收之基板之搬送速度低 速之搬送低速度。

基板露出檢測感測器106設置成檢測收納容器2之前之基板1之存在與否，控制機構H構造成當基板露出檢測感測器106為檢測基板1之檢測狀態時，判別為基板1從收納容器2露出，當基板露出檢測感測器106為未檢測出基板1之非檢測狀態時，則判別為基板1未從收納容器2露出。

說明以控制機構H對基板搬送裝置8之作動，從位於基板出入部6之收納容器2取出基板1，將之搬送至圖外之基板處理裝置之情形。

首先，使行走車架74行走，俾使基板中繼單元70與位於基板出入部6之收納容器2相鄰而就位。接著，在以升降機構61使收納容器2升降移動，俾使載置支撐取出對象基板1之支撐板45在對應於浮起用空氣噴出機構71及基板取出放入機構73之高度之狀態下，使噴出體用空氣供給裝置95作動，而使浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72為噴出狀態，且使輸送機用空氣供給裝置56作動，使送風式支撐機構52為從整風板55朝上方噴出空氣之狀態。此時，浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72配設於支撐取出對象基板1之支撐板45之與基板取出方向之下游側端部相鄰之容器相鄰處A。藉此，可將以浮起用空氣噴出體71噴出之空氣妥當地供給至取出對象基板1之下面與支撐板45間，而可使取出對象基板1準確地從支撐板45浮起。在以浮起用空氣噴出體71之空氣之噴出使取出對象基板1從支撐板45浮起之狀態下，使移動體87從基板取出方向之下游 側移動至上游側，俾使夾持解除狀態之夾持部82移動至可夾持收納位置之取出對象基板1之夾持位置(參照第24圖及第25圖)。

且將夾持部82切換成夾持狀態，以夾持部82夾持取出對象基板1，使支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58旋轉，俾將基板1從基板取出方向之上游側搬送至下游側之狀態下，使移動體87從基板取出方向之上游側移動至下游側，以使夾持狀態之夾持部82移動至對應於中繼位置之夾持解除位置(參照第26圖及第27圖)，而將基板1搬送至中繼位置。此時，由於亦將空氣供給至浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72之上部，故可以以該空氣形成之空氣層準確地支撐通過浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72之上部之基板1。之後，在將基板1搬送至中繼位置之狀態下，使支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58之旋轉停止，且停止噴出體用空氣供給裝置95之作動，而使浮起用空氣噴出體71為噴出停止狀態。

且將夾持部82切換成夾持解除狀態後，為使夾持解除狀態之夾持部82移動至退開位置(參照第29圖及第30圖)，而使移動體87從基板取出方向之上游側移動至下游側，且使支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58旋轉，俾將基板1從基板取出方向之上游側搬送至下游側，將基板1搬送至取出位置後，停止支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58之旋轉。

之後，在使行走車架74行走，俾使基板中繼單元70與基板搬送輸送機51相鄰而就位之狀態下，使支撐用搬送輥 57及夾持用搬送輥58旋轉，俾將基板1從基板取出方向之上游側搬送至下游側，而將基板1交接至基板搬送輸送機51，以基板搬送輸送機51將基板1搬送至基板處理裝置。

接著，說明將已從基板處理裝置搬出之基板1收納於位於基板出入部6之收納容器2之情形。

首先，使行走台車74行走，以使基板中繼單元70與基板搬送輸送51相鄰而就位，且使輸送機用空氣供給裝置56作動，而使送風式支撐機構52從整風板55朝上方噴出空氣。在此狀態下，使支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58旋轉，俾將基板1從基板收納方向之上游側搬送至下游側，接收從基板處理裝置搬出，以基板搬送輸送機51搬送之基板1，將之搬送至取出位置。之後，使支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58之旋轉停止，使行走車架74行走，俾使基板中繼單元70與位於基板出入部6之收納容器2相鄰而就位。

且在以升降機構61使收納容器2升降移動，俾使載置支撐收納對象基板1之支撐板45在對應於浮起用空氣噴出機構71及基板取出放入機構73之高度的狀態下，使噴出體用空氣供給裝置95作動，使浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72為噴出狀態。在此種狀態下，使移動體87從基板收納方向之上游側移動至下游側，俾使按壓狀態之夾持部82移動至基板收納方向之上游側之按壓結束位置(參照第28圖)比夾持位置多移動基板1之夾持量，而將基板1搬送至收納位置。之後，使支撐用搬送輥57及夾持用搬送輥58之旋轉停止，且使噴出體用空氣供給裝置95及輸送機用空 氣供給裝置56停止，同時，使移動體87從基板收納方向之下游側移動至上游側，俾若接著進行基板1之收納時，使夾持部82移動至退開位置，又，若接著進行基板1之取出時，則使夾持部82移動至夾持解除位置。

如此，由於藉使噴出體用空氣供給裝置95停止，浮起用空氣噴出體為噴出停止狀態，故停止對收納對象基板上面與載置支撐此基板之支撐板上面間之空氣供給，如上述，排出存在於基板與支撐板間之空氣。

[參考實施形態之其他實施形態]

(1)在上述參考實施形態中，將浮起用空氣噴出體71構造成具有空氣噴出口91及導引曲面92，兼用輔助空氣噴出體，亦可構造成具有朝基板取出方向之上游側噴出空氣，俾朝取出對象基板1之下面與載置支撐此基板1之支撐板45之上面間噴出空氣之上游用空氣噴出口及朝上方噴出空氣，俾朝浮起用空氣噴出體71之上面與取出對象基板1之下面間噴出空氣之上方用空氣噴出口，而兼用輔助空氣噴出體。

又，亦可將浮起用空氣噴出體71構造成僅具有上述上游用空氣噴出口，而不兼用輔助空氣噴出體，將具有朝上方噴出空氣，俾朝浮起用空氣噴出體71之上面與取出對象基板1下面間噴出空氣之輔助空氣噴出口的輔助空氣噴出體與浮起用空氣噴出體71分開設置。

(2)在上述參考實施形態中，將供給用空氣噴出體72具有反方向用空氣噴出口93及反方向用導引曲面94而構成，並設置成位於比浮起用空氣噴出體71之空氣噴出口91還要 在基板取出方向之上游之處，亦可將供給用空氣噴出體72不具有反方向用導引曲面94，而僅具有反方向用空氣噴出口93而構成，設置成位於比浮起用空氣噴出體71之空氣噴出口91還要在基板取出方向之下游之處。

(3)在上述參考實施形態中，將浮起用空氣噴出體71設置成其上面位於比供給用空氣噴出體72之上面還下方，亦可將浮起用空氣噴出體71設置成其上面位於與供給用空氣噴出體72之上面相同之高度，又，亦可設置成其上面位於比供給用空氣噴出體72之上面還上方。

(4)在上述參考實施形態中，以空氣供給用控制機構(控制裝置)H控制空氣供給用機構95之作動，俾使從浮起用空氣噴出體71噴出之空氣之噴出量朝目標供給量階段性地增多，亦可控制空氣供給機構95之作動，俾使從浮起用空氣噴出體71噴出之空氣噴出量迅速地達成目標供給量。

(5)在上述參考實施形態中，將載置支撐搬送機構88構造成在以送風式支撐機構52將基板1以非接觸式狀態支撐的狀態下以推動力賦與機構53搬送，亦可構造成不設置送風式支撐機構52，在以推動力賦與機構53接觸支撐基板1之狀態下搬送。

(6)在上述參考實施形態中，設置將收納容器2支撐成升降自如之升降機構61，亦可設置將浮起用空氣噴出體71、供給用空氣噴出體72及基板取出放入機構73支撐成升降自如之升降裝置。此時，以升降用控制機構(控制裝置)H控制升降裝置之作動，而使浮起用空氣噴出體71、供給用空氣 噴出體72及基板取出放入機構73位於對應於載置支撐取出對象或收納對象基板1之支撐板45的高度。

(7)在上述參考實施形態中，將取出機構73構造成可進行取出對象基板1從收納容器2之取出及收納對象基板1對收納容器2之收納，亦可構造成僅進行取出對象基板1從收納容器2之取出，而除了取出機構外，另外具有將收納對象基板1收納於收納容器2之收納機構。

(8)在上述參考實施形態中，將收納容器2之容器本體41構造成藉形成前後面開口之橫倒姿勢之四角筒形，使左右面及上下面封口，而無法從左右面側及上下面側排出空氣，亦可使收納容器2之容器本體41之結構為形成前後面、上下面及左右面分別開口之框架形狀，藉使左右面及上下面開口，而可從左右面及上下面側排出空氣。

在上述參考實施形態中，使收納容器2具有蓋構件42及風扇過濾器單元43，亦可不具有蓋構件42及風扇過濾器單元43中之一者或兩者。

(9)在上述參考實施形態中，以加壓加工形成突起部48，亦可將墨水等塗料噴射至支撐板45上面，形成突起部48等，藉於支撐板45上面印刷，而形成突起部48，又，亦可藉將獨立個體之突起構件貼附於支撐用基板47上面，而形成突起部48。

(10)在上述參考實施形態中，將複數個浮起用空氣噴出體71及複數個供給用空氣噴出體72在浮起用空氣噴出體71位於橫向寬度方向兩端之狀態下，於橫向寬度方向交互排 列成一列，而亦可適宜地變更複數個浮起用空氣噴出體71及複數個供給用空氣噴出體72之排列方式。

亦即，舉例言之，亦可將浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72之一者或兩者排列成於2個或3個以上橫向寬度方向連續之狀態，又，亦可以供給用空氣噴出體72位於橫向寬度方向一端或兩端之狀態排列。

1‧‧‧基板

2‧‧‧收納容器

4‧‧‧收納部

5‧‧‧物品收納架

6‧‧‧基板出入部

7‧‧‧堆高式起重機

8‧‧‧基板搬送裝置

13‧‧‧無塵空間

14‧‧‧格子地板

15‧‧‧空氣過濾器

16‧‧‧吸氣室

17‧‧‧腔室

18‧‧‧通風風扇

19‧‧‧循環路徑

20‧‧‧外部空氣取入流路

21‧‧‧預濾器

22‧‧‧排氣流路

23‧‧‧淨化空氣流通機構

24‧‧‧基板搬送區

25‧‧‧區隔壁

26‧‧‧空氣用風扇過濾器單元

28‧‧‧支柱

29‧‧‧物品支撐部

31‧‧‧行動車架

32‧‧‧升降桅桿

33‧‧‧升降台

34‧‧‧物品移載裝置

35‧‧‧旋繞台

36‧‧‧載置部

37‧‧‧連桿機構

41‧‧‧容器本體

42‧‧‧蓋構件

43‧‧‧風扇過濾器單元

44‧‧‧基板取出放入口

45‧‧‧支撐板

45a‧‧‧前端部份

46‧‧‧被卡合框

46a‧‧‧連結框部份

46b‧‧‧卡合用棒狀部份

46c‧‧‧支撐用棒狀部份

47‧‧‧支撐用基板

48‧‧‧突起部

48a‧‧‧載置面

49‧‧‧限制構件

50‧‧‧凹入部

51‧‧‧基板搬送輸送機

52‧‧‧送風式支撐機構

53‧‧‧推動力賦與機構

54‧‧‧吹風器

55‧‧‧整風板

56‧‧‧輸送機用空氣供給裝置

57‧‧‧支撐用搬送輥

58‧‧‧夾持用搬送輥

59‧‧‧搬送用馬達

61‧‧‧升降機構

62‧‧‧升降用馬達

63‧‧‧支撐台

64‧‧‧引導支柱

65‧‧‧卡合構件

70‧‧‧基板中繼單元

71‧‧‧浮起用空氣噴出體

72‧‧‧供給用空氣噴出體

73‧‧‧基板取出放入機構

74‧‧‧行走車架

76‧‧‧行走用軌道

77‧‧‧行走用馬達

78‧‧‧行走用車輪

81‧‧‧夾持搬送機構

82‧‧‧夾持部

83‧‧‧夾持作用部

84‧‧‧支撐部份

85‧‧‧搖動連結構件

86‧‧‧引導輥

87‧‧‧移動體

88‧‧‧載置支撐搬送機構

89‧‧‧搖動引導構件

89a‧‧‧引導溝

91‧‧‧空氣噴出口

92‧‧‧導引曲面

93‧‧‧反方向用空氣噴出口

94‧‧‧反方向用導引曲面

95‧‧‧噴出體用空氣供給裝置

96‧‧‧連接設置板

101‧‧‧基板存在與否檢測感測器

102‧‧‧容器高度檢測感測器

103‧‧‧取出位置檢測感測器

104‧‧‧中繼位置檢測感測器

105‧‧‧減速位置檢測感測器

106‧‧‧基板露出檢測感測器

107‧‧‧檢測板

111‧‧‧容器搬送機構

112‧‧‧基板移載裝置

114‧‧‧卡合部

115‧‧‧被卡合部

116‧‧‧蓋本體

117‧‧‧舌片

118‧‧‧間隔件

119‧‧‧被支撐部

120‧‧‧旋轉體

121‧‧‧固定蓋

122‧‧‧蓋裝卸機構

123‧‧‧承接支撐體

124‧‧‧卡入凹部

126‧‧‧板狀體

128‧‧‧被支撐部

129‧‧‧圓筒

129a‧‧‧前端部份

130‧‧‧支撐框

A‧‧‧容器相鄰處

E‧‧‧支撐預定區域

E1‧‧‧間隙

H‧‧‧控制裝置

P0‧‧‧上端位置

P1‧‧‧上方位置

P2‧‧‧蓋脫離位置

P3‧‧‧中間位置

P4‧‧‧基板移載位置

P5‧‧‧上升側基板移載位置

P6‧‧‧下降側基板移載位置

第1圖係顯示第1實施形態之基板搬送設備之側面圖。

第2圖係顯示第1實施形態之收納容器之立體圖。

第3圖係顯示第1實施形態之收納容器之蓋構件側的立體圖。

第4(a)圖~第4(b)圖係顯示承接支撐第1實施形態之蓋構件之狀態之側面圖。

第5(a)圖~第5(c)圖係顯示第1實施形態之收納容器之升降位置之側面圖。

第6(d)圖~第6(e)圖係顯示第1實施形態之收納容器之升降位置之側面圖。

第7(a)圖~第7(b)圖係顯示第1實施形態之蓋構件脫離之情形之立體圖。

第8(a)圖~第8(b)圖係顯示第2實施形態之蓋構件脫離之情形之立體圖。

第9(a)圖~第9(b)圖係顯示承接支撐第4實施形態之蓋構件之狀態之側面圖。

第10(a)圖~第10(b)圖係顯示第4實施形態之蓋構件脫 離之情形之立體圖。

第11(a)圖~第11(b)圖係顯示第4實施形態之收納容器之升降位置之側面圖。

第12(a)圖~第12(c)圖係顯示其他實施形態之收納容器之升降位置之側面圖。

第13(a)圖~第13(b)圖係顯示其他實施形態(12)之被支撐部之側面圖。

第14(a)圖~第14(b)圖係顯示其他實施形態(13)之複數個旋轉體之側面圖。

第15(a)圖~第15(b)圖係顯示其他實施形態(13)之板狀體之圖。

第16圖係基板處理設備之正面圖。

第17圖係基板處理設備之側面圖。

第18圖係基板處理設備之平面圖。

第19圖係基板搬送裝置之側面圖。

第20圖係收納容器之立體圖。

第21圖係收納容器之立體圖。

第22(a)圖~第22(b)圖係顯示支撐板之圖。

第23圖係基板中繼單元之平面圖。

第24圖係顯示夾持位置之夾持部之側面圖。

第25圖係顯示夾持位置之夾持部之平面圖。

第26圖係顯示夾持解除位置之夾持部之側面圖。

第27圖係顯示夾持解除位置之夾持部之平面圖。

第28圖係顯示按壓結束位置之夾持部之側面圖。

第29圖係顯示退開位置之夾持部之側面圖。

第30圖係顯示退開位置之夾持部之平面圖。

第31(a)圖~第31(b)圖係顯示浮起用空氣噴出體及供給用空氣噴出體之側面圖。

第32圖係顯示浮起用空氣噴出體及供給用空氣噴出體之立體圖。

第33圖係顯示檢測感測器之概略圖。

第34圖係控制塊圖。

2‧‧‧收納容器

41‧‧‧容器本體

42‧‧‧蓋構件

114‧‧‧卡合部

115‧‧‧被卡合部

116‧‧‧蓋本體

117‧‧‧舌片

118‧‧‧間隔件

119‧‧‧被支撐部

120‧‧‧旋轉體

122‧‧‧蓋裝卸機構

123‧‧‧承接支撐體

124‧‧‧卡入凹部

E1‧‧‧間隙

Claims (16)

1. 一種基板用收納容器，係將基板於上下方向隔著間隔，並以水平姿勢收納複數片者，具有：容器本體，係形成筒狀，基板取出放入用開口以於水平方向開口之狀態形成於其一端部，並且於內部收納複數片基板者；及蓋構件，係構造成對前述容器本體從上方側裝卸自如，並且往上方側脫離自如，在裝設於前述容器本體之狀態下，封閉前述開口全面者；前述蓋構件具有卡合支撐於位於前述容器本體之前述一端部之上端部份之卡合部的被卡合部，且在裝設於前述容器本體之狀態下，以前述被卡合部為中心，於沿著與前述容器本體及前述蓋構件之排列方向交叉之開口橫向寬度方向的橫軸心周圍搖動自如，並且以被附與向前述容器本體側移動之勢能的狀態裝設於前述容器本體。
2. 如申請專利範圍第1項之基板用收納容器，其中前述蓋構件構造成於在前述容器本體與前述蓋構件之排列方向，比起前述蓋構件之重心還更靠近前述容器本體側具有前述被卡合部，在裝設於前述容器本體之狀態下，前述蓋構件以本身重量被附與向前述容器本體側移動之勢能。
3. 如申請專利範圍第1或2項之基板用收納容器，其中前述收納容器為使從前述容器本體之另一端部側朝前述一 端部側通風，而於前述容器本體之前述另一端部裝設風扇過濾器單元，並且前述蓋構件以於與前述容器本體間形成排氣用間隙之狀態裝設於前述容器本體的前述一端部。
4. 如申請專利範圍第3項之基板用收納容器，其中前述排氣用間隙係橫亙前述開口周圍全周而形成。
5. 如申請專利範圍第3項之基板用收納容器，其中為形成前述排氣用間隙，而於前述容器本體與前述蓋構件間形成間隔件。
6. 一種基板用收納容器用之基板搬送設備，該基板用收納容器係如申請專利範圍第1項者，該基板搬送設備設有：容器搬送機構，係將前述收納容器搬送至基板移載位置者；基板移載裝置，係為從位於前述基板移載位置之前述收納容器取出基板或將基板收納於前述收納容器，而移載基板者；及蓋脫離機構，係在前述收納容器位於蓋脫離位置之狀態下，使前述蓋構件從前述容器本體脫離者；前述容器搬送機構構造成搬送前述收納容器使其從前述蓋脫離位置於鉛直下方下降移動至前述基板移載位置，前述基板移載裝置構造成對前述蓋構件已脫離之前述容器本體經由前述開口移載前述基板。
7. 如申請專利範圍第6項之基板用收納容器用之基板搬送 設備，其中前述基板移載裝置設成相對於位於前述基板移載位置之前述收納容器，位於前述容器本體之前述一端部側，且前述蓋脫離位置係裝設在位於該蓋脫離位置之前述容器本體之前述蓋構件與基板移載裝置在上下方向觀看重複之位置。
8. 如申請專利範圍第6或7項之基板用收納容器用之基板搬送設備，其中前述蓋構件係以對前述容器本體從上方側裝卸自如，並且往上方側脫離自如之狀態裝設，前述容器搬送機構具有載置下降台與移載裝置而構成，該載置下降台係載置支撐前述收納容器，使前述收納容器從比前述基板移載位置還上方，且比前述蓋脫離位置還下方之中間位置於鉛直下方下降移動至前述基板移載位置者，該移載裝置係為使前述收納容器載置於前述載置下降台，而使前述收納容器從比前述蓋脫離位置還上方之上方位置於鉛直下方下降移動至前述中間位置者，前述載置下降台構造成為使前述收納容器之前述移載對象基板位於對應於前述基板移載裝置之移載高度，而在前述基板移載位置將前述收納容器支撐成升降自如，前述蓋脫離機構具有承接支撐體而構成，該承接支撐體係在以前述移載裝置下降移動之前述收納容器位於前述蓋脫離位置之狀態下，承接支撐設置於前述蓋構件之被支撐部，而使前述蓋構件從前述容器本體脫離者。
9. 如申請專利範圍第6或7項之基板用收納容器用之基板搬送設備，其中前述蓋構件係以對前述容器本體從上方側裝卸自如，並且往上方側脫離自如之狀態設置，前述容器搬送機構具有支撐下降台及預備搬送機構而構成，該支撐下降台係載置支撐前述收納容器，使前述收納容器從比前述蓋脫離位置還上方之上方位置下降移動至前述基板移載位置者，該預備搬送機構係為使前述收納容器載置於前述支撐下降台，而將前述收納容器搬送至前述上方位置者，前述支撐下降台構造成為使前述收納容器之前述移載對象基板位於對應於前述基板移載裝置之移載高度，而在前述基板移載位置，將前述收納容器支撐成升降自如，前述蓋脫離機構具有承接支撐體而構成，該承接支撐體係在以前述支撐下降台下降移動之前述收納容器位於前述蓋脫離位置之狀態下，承接支撐設置於前述蓋構件之被支撐部，而使前述蓋構件從前述容器本體脫離者。
10. 如申請專利範圍第6或7項之基板用收納容器用之基板搬送設備，其中前述蓋構件以對前述容器本體從前述容器本體及前述蓋構件之排列方向之蓋構件側的斜上方側裝設自如，並且往前述排列方向之蓋構件側之斜上方側脫離自如之狀態裝設，前述蓋脫離機構具有一對支撐體而構成，該一對支撐體係在支撐前述蓋構件之相互靠近的靠近位置與解 除對前述蓋構件之支撐之相互分離的分離位置沿著與基板移載方向交叉之橫向寬度方向相互遠離靠近移動自如者，在前述收納容器位於前述蓋脫離位置之狀態下，隨著前述一對支撐體移動至靠近位置，前述一對支撐體抵接之前述蓋構件的被抵接部份為因前述支撐體之抵接而使前述蓋構件移動至前述排列方向之前述蓋構件側之斜上方，而形成越往前述排列方向之前述蓋構件側之斜上方處，越位於前述橫向寬度方向之容器外邊側的引導面。
11. 如申請專利範圍第6或7項之基板用收納容器用之基板搬送裝置，其中前述基板移載裝置設置成位置固定狀態，前述容器搬送機構構造成為使前述收納容器之前述移載對象基板位於對應於前述基板移載裝置之移載高度，而在前述基板移載位置，將前述收納容器支撐成升降自如，前述蓋脫離機構構造成將前述已脫離之前述蓋構件支撐於比前述移載對象基板還上方，並且在基板移載方向靠近位於前述基板移載位置之前述收納容器之前述開口的位置，俾以已脫離之前述蓋構件封閉位於前述基板移載位置之前述收納容器之前述開口之比前述移載對象基板還上方的部份，固定蓋以位置固定狀態設置於比前述移載對象基板還下方，且在前述基板移載方向靠近位於前述基板移 載位置之前述收納容器之前述開口的位置，俾封閉位於前述基板移載位置之前述收納容器之前述開口之比前述移載對象基板還下方之部份。
12. 如申請專利範圍第6或7項之基板用收納容器用之基板搬送設備，其中前述容器本體以於上下方向隔著間隔之狀態具有載置支撐矩形基板之複數個支撐板而構成，前述基板移載裝置具有：浮起用空氣噴出體，係在前述收納容器位於前述基板移載位置之狀態下，配設於與該容器本體所具有之前述支撐板之基板取出方向下游側端部相鄰之容器相鄰處，而將空氣噴出至前述取出對象基板下面與載置支撐此基板之前述支撐板上面間者；取出機構，係將以前述浮起用空氣噴出體所作之空氣噴出而從前述支撐板浮起之前述取出對象基板在通過前述浮起用空氣噴出體上方之狀態下，從前述收納容器取出者；及輔助空氣噴出體，係朝前述浮起用空氣噴出體之上面與以前述取出機構取出之前述取出對象基板的下面之間噴出空氣者。
13. 一種基板用收納容器用之基板搬送設備，該基板用收納容器係如申請專利範圍第1項者，該基板搬送設備設有：容器搬送機構，係使前述收納容器下降移動，而將之搬送至基板移載位置者；及基板移載裝置，係為從位於前述基板移載位置之前 述收納容器取出基板或將基板收納於前述收納容器，而移載基板者；前述基板搬送設備並設有：承接支撐體，係在前述容器搬送機構所作之前述收納容器往前述基板移載位置之下降移動途中，承接支撐前述蓋構件之被支撐部，使前述蓋構件從前述容器本體脫離者，前述基板移載裝置構造成對前述蓋構件已脫離之前述容器本體經由前述開口，移載前述基板。
14. 如申請專利範圍第13項之基板用收納容器用之基板搬送設備，其中前述被支撐部係排列複數個於沿著與前述容器本體及前述蓋構件之排列方向交叉之橫向寬度方向的橫軸心周圍旋轉自如之旋轉體而構成，前述承接支撐體具有供前述複數個旋轉體卡入之卡入凹部而構成。
15. 如申請專利範圍第13項之基板用收納容器用之基板搬送設備，其中前述被支撐部以形成板狀之板狀體構成，前述承接支撐體具有供前述板狀體卡入之卡入凹部而構成。
16. 如申請專利範圍第14項之基板用收納容器用之基板搬送設備，其中前述被支撐部係將2個前述旋轉體以位於前述蓋構件之上端部，並且在前述容器本體及前述蓋構件之排列方向，為前述蓋構件之重心之兩側的狀態排列於排列方向而構成，並設有於以前述承接支撐體支撐時，限制前述蓋構件因本身重量引起之往離開前述收納容器之側之設定 角度以上之搖動的限制部。