JP2010089961A - 基板搬送設備 - Google Patents

Abstract

【課題】取り出し対象の基板が浮上用空気噴出体に接触しない基板搬送設備を提供する。
【解決手段】支持板における基板取り出し方向の下流側端部に隣接する箇所に配設されて、取り出し対象の基板１の下面とこの基板１を載置支持する支持板４５の上面との間に空気を噴出する浮上用空気噴出体７１と、浮上用空気噴出体７１の上面と取り出し手段にて取り出される取り出し対象の基板１の下面との間に向けて空気を噴出する補助空気噴出体７１とを設ける。
【選択図】図１６

Description

本発明は、矩形状の基板を載置支持する複数の支持板が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、前記複数の支持板のうちの前記収納容器から取り出す取り出し対象の基板を支持する前記支持板における基板取り出し方向の下流側端部に隣接する容器隣接箇所に配設されて、前記取り出し対象の基板の下面とこの基板を載置支持する前記支持板の上面との間に空気を噴出する浮上用空気噴出体と、前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により前記支持板から浮上した前記取り出し対象の基板を前記浮上用空気噴出体の上方を通過させる状態で前記収納容器から取り出す取り出し手段とが設けられている基板搬送設備に関する。

かかる基板搬送設備は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等の矩形状の基板が、上下方向に間隔を隔てた状態で並設された支持板上に載置支持された状態で収納容器に複数枚収納されており、その収納容器に収納された複数枚の基板のうちの取り出し対象の基板を浮上用空気噴出体による空気の噴出により支持板から浮上させ、その浮上させた基板を取り出し手段にて収納容器から取り出すものであるから、収納容器に収納されている基板を擦れ等により損傷し難い状態で取り出すことができるものである。
そして、このような基板搬送設備において、従来では、基板取り出し方向において容器隣接箇所に配設された浮上用空気噴出体が、基板取り出し方向の上流側端部に形成された噴出口から取り出し対象の基板の下面とこの取り出し対象の基板を載置支持する支持板との間に向けて水平方向に空気を噴出するように構成され、取り出し対象の基板と支持板との間に基板取り出し方向の下流側から上流側に向けて流動する空気層を形成することにより、この空気層にて取り出し対象の基板を支持し、取り出し手段が、その基板を浮上用空気噴出体の上方を通過させるようにして取り出すようになっていた（例えば、特許文献１参照。）。

特開２００６−３１５８５０号公報

しかしながら、従来の基板搬送設備では、浮上用空気噴出体がその基板取り出し方向の上流側端部に形成された噴出口から水平方向に空気を噴出するものであるから、浮上用空気噴出体の前記噴出口より基板取り出し方向の下流側には空気の噴出により形成される空気層が形成されない。しかも、前記噴出口から水平方向に空気を噴出するためには、ある程度の長さのノズル等の空気案内部を基板取り出し方向に沿って形成する必要があるので、空気層が形成されない領域における浮上用空気噴出体の取り出し方向の長さはある程度長いものとなる。そのため、取り出し対象の基板を取り出し手段にて取り出す場合に、浮上用空気噴出体の上方に位置する部分は空気層にて支持されないことになり、取り出し対象の基板が浮上用空気噴出体の上方を通過するときに浮上用空気噴出体に接触する虞があった。

本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、取り出し対象の基板が浮上用空気噴出体に接触しない基板搬送設備を提供する点にある。

本発明にかかる基板搬送設備は、矩形状の基板を載置支持する複数の支持板が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、前記複数の支持板のうちの前記収納容器から取り出す取り出し対象の基板を支持する前記支持板における基板取り出し方向の下流側端部に隣接する容器隣接箇所に配設されて、前記取り出し対象の基板の下面とこの基板を載置支持する前記支持板の上面との間に空気を噴出する浮上用空気噴出体と、前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により前記支持板から浮上した前記取り出し対象の基板を前記浮上用空気噴出体の上方を通過させる状態で前記収納容器から取り出す取り出し手段とが設けられているものであって、その第１特徴構成は、
前記浮上用空気噴出体の上面と前記取り出し手段にて取り出される前記取り出し対象の基板の下面との間に向けて空気を噴出する補助空気噴出体が設けられている点にある。

すなわち、浮上用空気噴出体の上面と取り出し手段にて取り出される取り出し対象の基板の下面との間に向けて空気を噴出する補助空気噴出体が設けられているから、補助空気噴出体から噴出される空気にて浮上用空気噴出体の上方には空気層が形成され、この空気層にて浮上用空気噴出体の上方においても取り出し対象の基板が支持される。
従って、浮上用空気噴出体の上方を通過するときに取り出し対象の基板が浮上用空気噴出体に接触しない基板搬送設備を提供することができるに至った。

本発明にかかる基板搬送設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記浮上用空気噴出体が、上方に向けて空気を噴出する空気噴出口と、この空気噴出口の基板取り出し方向の上流側端部から上方側に伸びる形状に形成されて前記空気噴出口から上方に向けて噴出された空気を前記浮上用空気噴出体の上面に沿って収納容器側に向けて水平方向に流動するように誘導する誘導曲面とを備えて、前記補助空気噴出体を兼用するように構成されている点にある。

すなわち、浮上用空気噴出体の空気噴出口から上方に向けて噴出された空気は、コアンダ効果により誘導曲面に沿って流動した後、浮上用空気噴出体の上面に沿って水平方向に流動し、そのまま基板取り出し方向の上流側に位置する収納容器に向けて水平方向に流動するため、空気噴出口から噴出された空気は、取り出し対象の基板の下面と浮上用空気噴出体の上面との間に向けて空気が噴出されるように誘導曲面にて誘導され、その後は、取り出し対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間に空気が噴出されるように収納容器側に向けて水平方向に流動する。
よって、浮上用空気噴出体にて補助空気噴出体を兼用することができるため、補助空気噴出体を浮上用空気噴出体とは別に設ける必要がなく、補助空気噴出体を個別に設けるものに比べて、構成の簡素化を図ることができるものとなる。
従って、構成の簡素化を図ることができる基板搬送設備を提供することができるに至った。

本発明にかかる基板搬送設備の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記容器隣接箇所において前記空気噴出口よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給する供給用空気噴出体が設けられている点にある。

すなわち、供給用空気噴出体にて、容器隣接箇所において空気噴出口よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給することができる。
つまり、空気噴出口の周囲の空気は、浮上用空気噴出体の空気噴出口から噴出される空気に誘引されてこの空気とともに流動するため、空気噴出口の周囲、特に、空気噴出口の基板取り出し方向の下流側において負圧となり、取り出し手段にて搬送される取り出し対象の基板が負圧により吸引されて下方に沈み込み易くなるが、供給用空気噴出体にて容器隣接箇所において空気噴出口よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給することにより、空気噴出口の基板取り出し方向の下流側を正圧化することができ、空気噴出口の基板取り出し方向の下流側における取り出し対象の基板の沈み込みを抑制することができる。
従って、空気噴出口の基板取り出し方向の下流側における取り出し対象の基板の沈み込みを抑制して、基板を安定して取り出すことができる基板搬送設備を提供することができるに至った。

本発明にかかる基板搬送設備の第４特徴構成は、第３特徴構成において、前記浮上用空気噴出体が、基板取り出し方向と交差する横幅方向に間隔を隔てた状態で複数並設され、前記供給用空気噴出体が、前記横幅方向で前記浮上用空気噴出体の間に配設され、且つ、上方に向けて空気を噴出する逆方向用空気噴出口と、この逆方向用空気噴出口よりも上方側でかつ基板取り出し方向の下流側に位置して前記逆方向用空気噴出口から上方に向けて噴出された空気を前記供給用空気噴出体の上面に沿って収納容器側とは反対側に向けて水平方向に流動するように誘導する逆方向用誘導曲面とを備えて構成されている点にある。

すなわち、浮上用空気噴出体と同様に、供給用空気噴出体の逆方向用空気噴出口から上方に向けて噴出された空気は、コアンダ効果により逆方向用誘導曲面に沿って流動した後、浮上用空気噴出体の上面に沿って水平方向に流動し、そのまま基板取り出し方向の下流側に向けて水平方向に流動するため、空気噴出口から噴出された空気は、誘導曲面にて誘導された後は、浮上用空気噴出体の空気噴出口よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給するように基板取り出し方向の下流側に向けて水平方向に流動する。
また、供給用空気噴出体が、横幅方向で並設された浮上用空気噴出体の間に配設されているため、供給用空気噴出体を、浮上用空気噴出体から噴出された空気と衝突しない状態で設けることができるとともに、基板取り出し方向の下流側に向けて水平方向に流動する空気にて形成される空気層にて取り出し対象の基板を支持することができるため、取り出し手段による基板の取り出しをより安定して行える。
従って、空気噴出口の基板取り出し方向の下流側における基板取り出し対象の基板の沈み込みを抑制することができながら取り出し手段による基板の取り出しをより安定して行える基板搬送設備を提供することができるに至った。

本発明にかかる基板搬送設備の第５特徴構成は、第４特徴構成において、前記浮上用空気噴出体が、その上面が前記供給用空気噴出体の上面よりも下方に位置するように設けられている点にある。

すなわち、浮上用空気噴出体から噴出されて基板取り出し方向の上流側に向けて水平方向に流動する空気層の高さが、供給用空気噴出体から噴出されて基板取り出し方向の下流側に向けて水平方向に流動する空気層の高さより低くなる。
つまり、供給用空気噴出体にて、浮上している取り出し対象の基板に対して適切な高さに空気層を形成しながら、浮上用空気噴出体にて、支持板に載置支持された浮上していない取り出し対象の基板を浮上させるのに適切な高さに空気層を形成することができるものとなるため、取り出し手段による基板の取り出しをより安定して行えるものでありながら、支持板に載置支持されている取り出し対象の基板を適確に浮上させることができる。
従って、取り出し手段による基板の取り出しをより安定して行えるものでありながら、支持板に載置支持されている取り出し対象の基板を適確に浮上させることができる基板搬送設備を提供することができるに至った。

本発明にかかる基板搬送設備の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記浮上用空気噴出体に供給する空気の供給量を調整自在な空気供給装置と、前記浮上用空気噴出体から噴出する空気の噴出量が目標供給量に向けて段階的に多くなるように前記空気供給装置の作動を制御する空気供給用制御手段とが設けられている点にある。

すなわち、浮上用空気噴出体からの空気の噴出を開始したときに、浮上用空気噴出体から噴出される空気の噴出量が目標供給量に向けて段階的に多くなるから、取り出し対象の基板の下面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間に流動する空気の量も段階的に多くなるため、基板を徐々に浮上させることができて浮上させる際の基板のばたつきを抑制することができる。
従って、浮上させる際の基板のばたつきを抑制することができる基板搬送設備を提供することができるに至った。

本発明にかかる基板搬送設備の第７特徴構成は、第１〜第６特徴構成のいずれか１つにおいて、前記取り出し手段にて取り出された前記基板を受け取り且つ受け取った前記基板の下面に向けて空気を供給して前記基板を非接触状態で支持した状態で搬送する支持搬送手段が設けられている点にある。

すなわち、取り出し手段にて取り出された基板を支持搬送手段にて受け取り、支持搬送手段は基板の下面に向けて空気を供給して基板を非接触状態で支持した状態で搬送することができ、取り出し手段にて取り出された基板を損傷し難い状態で搬送することができる。
従って、取り出し手段にて取り出された基板を損傷し難い状態で搬送することができる基板搬送設備を提供することができるに至った。

本発明にかかる基板搬送設備の第８特徴構成は、第１〜第７特徴構成のいずれか１つにおいて、前記収納容器を昇降自在に支持する昇降手段と、前記取り出し対象の基板を載置支持する前記支持板を前記浮上用空気噴出体及び前記取り出し手段に対応する取り出し用高さに位置させるべく前記昇降手段の作動を制御する昇降用制御手段とが設けられている点にある。

すなわち、昇降手段にて収納容器を昇降させて、複数の支持板のうちの取り出し対象の基板を載置支持する支持板を浮上用空気噴出体及び取り出し手段に対応する取り出し用高さに位置させることにより、その支持板に載置支持される基板を取り出すことができるので、複数の支持板から基板をランダムに取り出すことができる。
また、収納容器を昇降手段にて昇降させることにより、収納容器より構成が複雑な浮上用空気噴出体及び取り出し手段を昇降移動させる必要がないため、支持板と浮上用空気噴出体及び取り出し手段との高さ方向での位置合わせを簡単に行うことができる。
従って、複数の支持板から基板をランダムに取り出すことができ且つ支持板と浮上用空気噴出体及び取り出し手段との高さ方向での位置合わせを簡単に行うことができる基板搬送設備を提供することができるに至った。

本発明にかかる基板搬送設備の第９特徴構成は、第１〜第８特徴構成のいずれか１つにおいて、前記取り出し手段が、前記収納容器に収納する収納対象の基板を前記浮上用空気噴出体の上方を通過させる状態で且つ前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により前記支持板から浮上させた状態で前記収納容器に収納可能に構成されている点にある。

すなわち、取り出し手段にて、収納容器に収納する収納対象の基板を浮上用空気噴出体の上方を通過させる状態で且つ浮上用空気噴出体による空気の噴出により支持板から浮上させた状態で収納容器に収納させることができ、収納容器からの取り出し対象の基板の取り出しと収納容器への収納対象の基板の収納とを行うことができ、使い勝手のよいものとなる。
従って、使い勝手のよい基板搬送設備を提供することができるに至った。

本発明にかかる基板搬送設備の第１０特徴構成は、第１〜第９特徴構成のいずれか１つにおいて、前記収納容器が、横倒れ姿勢の筒状に形成されてその一端部に基板取り出し用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体と、前記容器本体に対して着脱自在で前記容器本体に装着した状態において前記開口の全面を閉じる蓋部材とを備えて構成され、前記蓋部材を前記収納容器から離脱させる蓋離脱手段が設けられている点にある。

すなわち、収納容器が、容器本体に対して着脱自在で容器本体に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材を備えて構成され、この蓋部材を収納容器から離脱させる蓋離脱手段が設けられているため、取り出し手段にて基板を取り出さないときは、蓋部材を容器本体に装着して開口の全面を閉じることにより、開口から容器本体内に塵埃が侵入することを防いで収納されている基板が塵埃にて汚染されることを抑制でき、また、取り出し手段にて基板を取り出すときは、蓋離脱手段にて収納容器から蓋部材を離脱させることにより、蓋部材が離脱された収納容器の開口を通して取り出し手段にて収納容器の容器本体に対して直に基板を取り出すことができる。

つまり、蓋離脱手段にて容器本体から蓋部材が離脱することができるため、取り出し手段にて収納容器から基板を取り出すときに容器本体と取り出し手段との間に蓋部材が存在しないので、容器本体を取り出し手段及び浮上用空気噴出体に対して基板移載方向に近接させることができ、浮上用空気噴出体にて少ない空気量で基板を支持板から適確に浮上させ易く、また、取り出し手段による基板を取り出すためのストロークが短くなり、取り出し手段による基板の取り出しが行い易いものとなる。また、取り出し手段により基板を取り出すときに、蓋部材に基板取り出し用の隙間を形成して、その隙間を通過させるようにして基板を取り出す必要がないため、この点からも、取り出し手段による基板の取り出しが行い易いものとなる。
従って、収納容器に収納されている基板が塵埃にて汚染されることを抑制できるとともに取り出し手段による基板の取り出しが行い易い基板搬送設備を提供することができるに至った。

本発明にかかる基板搬送設備の第１１特徴構成は、第１０特徴構成において、前記浮上用空気噴出体、前記取り出し手段及び前記補助空気噴出体が、位置固定状態に設けられ、前記収納容器を昇降自在に支持する昇降手段と、前記取り出し対象の基板を載置支持する前記支持板を前記浮上用空気噴出体及び前記取り出し手段に対応する取り出し用高さに位置させるべく前記昇降手段の作動を制御する昇降用制御手段とが設けられ、前記蓋離脱手段が、前記蓋部材にて前記収納容器の前記開口における前記取り出し対象の基板より上方の部分を閉じるように、前記離脱させた前記蓋部材を前記取り出し対象の基板より上方で且つ前記基板取り出し方向で前記収納容器の前記開口に近接する位置に支持するように構成され、前記収納容器の前記開口における前記基板取り出し対象の基板より下方の部分を閉じるように、前記取り出し対象の基板より下方で且つ前記基板取り出し方向で前記収納容器の前記開口に近接する位置に固定蓋が位置固定状態で設けられている点にある。

すなわち、昇降手段にて収納容器を昇降させて、複数の支持板のうちの取り出し対象の基板を載置支持する支持板を浮上用空気噴出体及び取り出し手段に対応する取り出し用高さに位置させることにより、その支持板に載置支持されている基板を取り出すことができるので、複数の支持板から基板をランダムに取り出すことができる。
また、収納容器を昇降手段にて昇降させることにより、収納容器より構成が複雑な浮上用空気噴出体及び取り出し手段を昇降移動させる必要がないため、支持板と浮上用空気噴出体及び取り出し手段との高さ方向での位置合わせを簡単に行うことができる。

そして、蓋部材にて収納容器の開口における取り出し対象の基板より上方の部分を閉じ、固定蓋にて収納容器の開口における取り出し対象の基板より下方の部分を閉じるため、取り出し手段にて収納容器から基板を取り出すときに蓋部材と固定蓋とで開口における取り出し対象の基板の上方の部分及び下方の部分を閉じることによって、取り出し手段にて収納容器から基板を取り出すとき開口から容器本体内に塵埃が侵入することを極力防いで収納容器内の基板が塵埃にて汚染することを抑制することができる。
また、蓋離脱手段にて容器本体から離脱させた蓋部材を、収納容器の開口における取り出し対象の基板より上方の部分を塞ぐために利用することにより、この開口における上方の部分を塞ぐために別途蓋を用意する必要ないため、収納容器の開口における上方の部分と下方の部分とを簡素な構成で塞ぐことができる。

従って、複数の支持板から基板をランダムに取り出すことができ且つ支持板と浮上用空気噴出体及び取り出し手段との高さ方向での位置合わせを簡単に行うことができ、収納容器の開口に置ける上方の部分と下方の部分とを簡素な構成で防ぐことができる基板搬送設備を提供することができるに至った。

基板処理設備の正面図 基板処理設備の側面図 基板処理設備の平面図 基板搬送装置の側面図 収納容器の斜視図 収納容器の斜視図 支持板を示す図 基板中継ユニットの平面図 挾持位置の挾持部を示す側面図 挾持位置の挾持部を示す平面図 挾持解除位置の挾持部を示す側面図 挾持解除位置の挾持部を示す平面図 押圧終了位置の挾持部を示す側面図 退避位置の挾持部を示す側面図 退避位置の挾持部を示す平面図 浮上用空気噴出体と供給用空気噴出体とを示す側面図 浮上用空気噴出体と供給用空気噴出体とを示す斜視図 検出センサを示す概略図 制御ブロック図 別実施形態１における基板搬送設備を示す側面図 別実施形態１における収納容器を示す斜視図 別実施形態１における収納容器の蓋部材側を示す斜視図 別実施形態１における蓋部材が受け止め支持される状態を示す側面図 別実施形態１における収納容器の昇降位置を示す側面図 別実施形態１における収納容器の昇降位置を示す側面図 別実施形態１における蓋部材が離脱される様子を示す斜視図 別実施形態２における蓋部材が離脱される様子を示す斜視図 別実施形態３における蓋部材が受け止め支持される状態を示す側面図 別実施形態３における蓋部材が離脱される様子を示す斜視図 別実施形態３における収納容器の昇降位置を示す側面図 別実施形態（１１）における収納容器の昇降位置を示す側面図 別実施形態（１７）における被支持部を示す側面図 別実施形態（１８）における複数の回転体を示す側面図 別実施形態（１８）における板状体を示す図

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、基板処理設備は、矩形状の基板１を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する収納容器２を収納する複数の収納部４を備えた物品収納棚５と、収納部４と基板入出部６との間で収納容器２を搬送する収納容器搬送装置としてのスタッカークレーン７と、基板入出部６に位置する収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出して基板１を処理する基板処理装置（図示せず）に搬送し且つ基板処理装置から搬送される基板１を一枚ずつ収納容器２に収納する基板搬送装置８とを備えて構成されている。ここで、基板搬送装置８が本発明に係る基板搬送設備に相当する。
そして、この基板処理設備においては、収納容器２を物品収納棚５に保管しながら、保管した収納容器２を基板入出部６に搬送し、その基板入出部６に搬送された収納容器２から基板１を１枚単位で取り出して基板処理装置に搬送して所定の処理を行い、その所定の処理が行われた基板１を基板入出部６に位置する収納容器２に対して１枚単位で収納させるようにしている。

図１及び図２に示すように、物品処理設備には、クリーン空間１３において浄化空気を天井部より床部に通風させるダウンフロー式の浄化空気通風手段２３が設けられており、そのダウンフローのクリーン空間１３内に、収納棚５、スタッカークレーン７、及び、基板搬送装置８が装備されている。
浄化空気通風手段２３について説明を加えると、図２に示すように、浄化空気通風手段２３は、クリーン空間１３の床部が多孔状のグレーティング床１４にて形成され、クリーン空間１３の天井部がＨＥＰＡフィルタなどからなるエアーフィルタ１５にて形成されるとともに、グレーティング床１４の下方側に形成された吸気室１６とエアーフィルタ１５の上方側に形成されたチャンバー室１７とが通風ファン１８及びプレフィルタ２１を備えた循環路１９にて連通されており、クリーン空間１３内の空気を、プレフィルタ２１とエアーフィルタ１５とで清浄化させながら循環させて、浄化空気を天井部より床部に通風させるように構成されている。そして、循環路１９には、通風ファン１８より上流側に外気取入流路２０が接続され、通風ファン１８より下流側に排気流路２２が接続されており、浄化空気通風手段２３にて循環されるクリーン空間１３内の空気の一部を外気と交換されている。

また、図１に示すように、基板搬送装置８によって基板入出部６の収納容器２と基板処理装置との間で基板１を搬送する基板搬送エリア２４には、物品収納棚５側の端部が開放され且つ基板処理装置側の端部が基板処理装置と連通するように基板搬送空間を覆う区画壁２５が設けられ、この区画壁２５の天井部に複数のエリア用ファンフィルタユニット２６が設けられている。そして、複数のエリア用ファンフィルタユニット２６にて、クリーン空間１３の浄化空気をさらに清浄化させた浄化空気を天井側より床部側に通風させて、区画壁２５にて覆われる基板搬送空間をダウンフローの空間としている。

図１及び図２に示すように、物品収納棚５の夫々は、棚前後方向に並ぶ前後一対の支柱にて構成された支柱組２８が棚横幅方向に並べて立設され、支柱組２８を構成する前後一対の支柱に亘って複数の物品支持部２９が上下方向に並べて架設されており、収納容器２を物品支持部２９にて載置支持させた状態で収納する収納部４が縦横に並べられる状態で複数設けられている。ちなみに、物品収納棚５は、グレーティング床１４上に互いに対向する状態で一対設けられている。
そして、物品収納棚５に設けられた複数の収納部４のうちの一部が基板入出部６とされている。説明を加えると、図３に示すように、物品収納棚５に設けられた最下段の複数の収納部４のうちの一部の収納部４は、その収納部４に収納された収納容器２に対して物品収納棚５の背面側を通して基板搬送装置８にて基板２を一枚ずつ取り出すことや一枚ずつ収納することができるように構成されており、基板入出部６とされている。

図１及び図２に示すように、スタッカークレーン７は、互いに対向する状態で設けられた一対の収納棚５の間に形成された移動空間をその長手方向に沿って走行移動する移動台車３１と、移動台車３１に立設された台車走行方向に並ぶ一対の昇降マスト３２に昇降自在に案内支持される昇降台３３と、昇降台３３に支持されて収納部４と自己との間で収納容器２を移載可能なフォーク式の物品移載装置３４とが備えられており、移動台車３１の水平移動、昇降台３３の昇降移動、および、物品移載装置３４の作動により、基板入出部６としての収納部４とこれ以外の収納部４との間で収納容器２を搬送するように構成されている。

図３に示すように、物品移載装置３４は、上下軸芯周りに旋回自在な旋回台３５、及び、その旋回台３５上に設けられた載置部３６を出退移動自在に支持するリンク機構３７から構成されている。そして、物品移載装置３４は、リンク機構３７の伸縮により物品移載装置３４を昇降台３３上に引退させた状態や物品移載装置３４を収納部４側に突出させた状態に切り換え可能で、且つ、旋回台３５の旋回により物品移載装置３４の出退方向を１８０度変更可能に構成されている。

本発明に係る基板搬送設備である基板搬送装置８は、図３等に示すように、基板入出部６に位置する収納容器２と基板搬送コンベヤ５１との間で基板１を１枚ずつ受け渡すように構成されている。そして、基板搬送装置８としては、基板１を載置支持する複数の支持板４５が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器２と、基板１を載置搬送する基板搬送コンベヤ５１と、収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出して基板搬送コンベヤ５１に受け渡し且つ基板搬送コンベヤ５１から受け取った基板１を一枚ずつ収納容器２に収納する基板中継ユニット７０と、基板入出部６に位置する収納容器２を昇降自在に支持する昇降手段６１と、基板搬送装置８の作動を制御する制御装置Ｈ（図１９参照）とが備えられている。
次に、基板搬送装置８について詳細な説明を加えるが、基板取り出し方向の下流側（基板収納方向の上流側）を前方側とし、基板取り出し方向の上流側（基板収納方向の下流側）を後方側とし、基板取り出し方向（基板収納方向）に沿う方向を前後方向と称し、この方向と交差する方向を横幅方向として説明する場合がある。

〔収納容器〕
図５及び図６に示すように、収納容器２は、前後面が開口する横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体４１と、容器本体４１の前側端部に前面の開口を閉塞する状態で設けられた蓋部材４２と、容器本体４１の後側端部に後面の開口を閉塞する状態で設けられたファンフィルタユニット４３と、収納容器２内に上下方向に間隔を隔てた状態で並設された複数の支持板４５とを備えて構成されている。

容器本体４１は、フレーム材にて直方体形状に枠組み形成するとともに左右面及び上下面の開口を板材にて閉塞させることにより、上述の前後面が開口する横倒れ姿勢の四角筒状に形成されている。そして、容器本体４１の前面の開口を基板出し入れ口４４として、容器本体４１に対して基板出し入れ口４４を通して基板１の出し入れが可能に構成されている。

図５に示すように、蓋部材４２は、基板出し入れ口４４と同形状の開口が形成されるように蓋形成用のフレーム材にて枠組み形成されており、その開口は透明な板材にて閉塞されている。
また、蓋部材４２には、容器本体４１に上方から係合する被係合枠４６が設けられている。つまり、蓋部材４２は、蓋部材４２を容器本体４１に対して下方に移動させて被係合枠４６を容器本体４１に係合させることにより蓋部材４２を容器本体４１に装着することができ、蓋部材４２を容器本体４１に対して上方に移動させることにより蓋部材４２を容器本体４１から離脱させることができるように構成されている。
そして、蓋部材４２は、容器本体４１に装着された状態において、容器本体４１との間に隙間が形成される形状に形成されており、ファンフィルタユニット４３にて収納容器２内に導入された空気は、容器本体４１と蓋部材４２との間に形成された隙間を通して外部に排出される。

図６に示すように、ファンフィルタユニット４３は、容器本体４１の後面の開口から基板出し入れ口４４に向けて通風させるように容器本体４１の後端部に着脱自在に装着されている。
尚、詳細な説明は省略するが、ファンフィルタユニット４３には、受電部とこの受電部に供給された電力を蓄えるバッテリとが備えられており、ファンフィルタユニット４３は、収納容器２が収納部４に収納されている状態では、収納部４の夫々に備えられた給電部から受電部に給電された電力により作動し、収納容器２がスタッカークレーン７にて搬送されているとき等の受電部が給電部から離れて受電部に電力が供給されない状態では、バッテリに蓄えられた電力により作動するように構成されている。

図７に示すように、複数の支持板４５の夫々は、プレス加工により上方に突出する複数の突起部４８が形成された支持用基板４７と、載置支持した基板１の横幅方向及び後方への移動を規制する規制部材４９とが備えられている。そして、突起部４８の上面は、水平な平面に形成されており基板１を載置支持する載置面４８ａとされている。
また、複数の支持板４５の夫々は、図９等に示すように、その前端部分４５ａの上面が前方側ほど下方に位置する傾斜する平面に形成され、前端部分４５ａ及び突起部４８以外の部分の上面が水平な平面に形成されており、基板１を載置支持する支持予定領域Ｅが前端部分４５ａからそれ以外の部分に亘って設定されている。
ちなみに、突起部４８は、直径１０ｍｍの円形状で且つガラス基板１の厚みより薄い厚み０．２ｍｍに形成されている。

そして、複数の支持板４５の夫々には、突起部４８を支持用基板４７に前後方向並びに横幅方向に並設することにより凹入部５０が形成されている。
説明を加えると、支持板４５における突起部４８を形成していない部分が載置面４８ａより下方に凹入することになる。上述の如く支持用基板４７に突起部４８を並設することにより、載置面４８ａより下方に凹入する凹入部５０が格子状に形成されることとなり、このように形成された凹入部５０は、支持予定領域Ｅの中央部から支持予定領域Ｅの外部に伸びる形状で、且つ、支持予定領域Ｅにおける前端部から後端部に亘って直線状に伸びる形状に形成される。支持板４５の上面と基板１の下面との間に空気が供給されることにより、基板１が支持板４５から浮上するのであるが、支持板４５の上面と基板１の下面との間への空気の供給が停止されたときに、例えば図７の点線矢印にて示しているように、支持板４５と基板１との間に存在する空気が、凹入部５０に沿って支持予定領域Ｅの外部まで流動することになる。その結果、支持板４５と基板１との間に存在する空気を速やかに排出することができ、突起部４８にて基板１を安定して載置支持することができる。

規制部材４９は、支持予定領域Ｅの左右両側に位置するように支持用基板４７における左右両端部において前後方向に間隔を隔てて並設され且つ支持予定領域Ｅの後方側に位置するように支持用基板４７における後端部において横幅方向に間隔を隔てて並設されている。

〔昇降手段〕
図３及び図４に示すように、昇降手段６１は、基板入出部６に設けられており、昇降用モータ６２（図１９参照）にて昇降移動して収納容器２を載置支持する左右一対の支持台６３と、左右一対の支持台６３を各別に昇降自在に案内支持する左右一対の案内支柱６４とを備えて構成されている。
そして、図４に示すように、基板入出部６には、収納容器２における蓋部材４２の被係合枠４６に係合する係合部材６５が区画壁２５の天井部に支持される状態で設けられており、スタッカークレーン７にて収納容器２が昇降手段６１にて載置支持されるように基板入出部６に搬入されるに伴って被係合枠４６が係合部材６５に係合し且つ容器本体４１から離脱して蓋部材４２が容器本体４１から取り外され、スタッカークレーン７にて基板入出部６から収納容器２が搬出されるに伴って被係合部枠４６が容器本体４１に係合し且つ係合部材６５から離脱して蓋部材４２が容器本体４１に装着される。
よって、昇降手段６１にて収納容器２における容器本体４１を載置支持した支持台６３を昇降させることにより、蓋部材４２を係合部材６５に支持させた状態で収納容器２における蓋部材４２以外の部分を昇降移動させて、基板出し入れ口４４の開口量が変更されるように構成されている。

基板入出部６への収納容器２の搬入について説明を加えると、スタッカークレーン７にて、収納容器２を基板取り出し方向の下流側に向けて上方位置まで水平移動させた後、収納容器２を中間位置まで鉛直下方に下降移動させて、その下降移動途中の蓋離脱位置において蓋着脱手段１２２にて蓋部材４２を容器本体４１から離脱させ（取り外し）、蓋部材４２を離脱させ（取り外し）た収納容器２を昇降手段６１に載置支持させるように卸す。その後、昇降手段６１にて蓋部材４２が離脱した収納容器２を中間位置から基板移載位置Ｐ４に鉛直下方に下降移動させる。

また、基板入出部６からの収納容器２の搬出について説明を加えると、昇降手段６１にて蓋部材４２を離脱させた収納容器２を基板移載位置Ｐ４から中間位置に鉛直上方に上昇移動させる。その後、スタッカークレーン７にて昇降手段６１上の収納容器２を掬い取り、その収納容器２を中間位置から上方位置に鉛直上方に上昇移動させて、その上昇移動途中の蓋離脱位置において蓋着脱手段１２２にて蓋部材４２を容器本体４１に装着させた後、蓋部材４２が装着された収納容器２を基板取り出し方向の上流側に向けて上方位置から水平移動させる。

図４に示すように、基板移載位置Ｐ４は、基板中継ユニット７０にて収納容器２に対して基板１を移載（出し入れ）可能な収納容器の位置である。そして、昇降手段６１は、基板中継ユニット７０にて移載可能な高さに容器本体４１の最下位置に収納されている基板１を位置させる基板移載位置Ｐ４としての上昇側基板移載位置と、基板中継ユニット７０にて移載可能な高さに容器本体４１の最上位置に収納されている基板１を位置させる基板移載位置Ｐ４としての下降側基板移載位置とに亘って収納容器２を昇降移動させて、収納容器２における移載対象の基板１を載置支持する支持板４５を基板中継ユニット７０に対応する移載高さに位置させるように構成されている。
尚、中間位置は、スタッカークレーン７と昇降手段６１との間で収納容器２が受け渡される際の収納容器２の位置であり、蓋離脱位置は、蓋着脱手段１２２にて蓋部材４２が容器本体４１に対して着脱される際の収納容器２の位置である。

蓋部材４２の被係合枠４６について説明を加えると、図５に示すように、蓋部材４２の被係合部６６は、蓋本体１１６の上端部に蓋部材４２を容器本体側に突出する状態で備えられた被係合枠４６にて構成されている。
この被係合枠４６は、横幅方向視で下方が開口するコ字状に形成されて並び方向の蓋部材側の下端部が蓋本体１１６に連結支持された連結枠部分４６ａを横幅方向に並べて一対設け、連結枠部分４６ａにおける容器本体４１と蓋部材４２とが並ぶ並び方向の容器本体側の下端部に連結支持された係合用棒状部分４６ｂを一対の連結枠部分４６ａに亘って架設し、この棒状部分４６ｂが容器本体４１の係合部（図示せず）に上方から係合するように構成されている。
尚、被係合枠４６は、容器本体４１における基板出し入れ口が形成された一端側の上端部分に位置する係合部に係合支持されており、被係合部１１５に相当する。

また、被係合枠４６には、受け止め支持体１２３としての係合部材６５にて受け止め支持される支持用棒状部分４６ｃが備えられており、この支持用棒状部分４６ｃは、連結枠部分４６ａにおける並び方向の容器本体側の下端部に連結支持されて一対の連結枠部分４６ａに亘って架設されている。つまり、図４に示すように、被係合枠４６が、係合部材６５にて受け止め支持される被支持部１１９と容器本体４１における係合部に係合支持される被係合部１１５とを兼用するように構成されており、被係合枠４６は、蓋本体１１６の上端部から上方側に突出する状態で設けられている。

図４に示すように、受け止め支持体１２３は、蓋部材４２の横幅方向両側に位置する被支持部１１９を受け止め支持するように、前記上方位置に位置している状態において蓋本体１１６の上面と被係合枠４６の支持用棒状部分４６ｃとの間に位置するように、天井部に支持される状態で設けられている。

そして、受け止め支持体１２３は、離脱させた蓋部材４２にて基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４における移載対象の基板１より上方の部分を閉じるように、離脱させた蓋部材４２を移載対象の基板１より上方で且つ基板移載方向で基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４に近接する位置に支持するように構成されている。
つまり、蓋離脱位置は、その蓋離脱位置に位置する収納容器２に装着された蓋部材４２が基板中継ユニット７０の浮上用空気噴出体７１と上下方向視で重複する位置であり、また、蓋離脱位置に位置する収納容器２に装着された蓋部材４２が、基板出し入れ機構７３による基板１の移載や浮上用空気噴出体７１による基板１の浮上を阻害しないように基板中継ユニット７０の上方に基板中継ユニット７０に近接する位置となるように設定されている。
そして、蓋離脱位置に位置する収納容器２に装着された蓋部材４２が基板中継ユニット７０の浮上用空気噴出体７１と上下方向視で重複する位置であることから、容器搬送手段１１１にて蓋離脱位置から鉛直下方に下降移動させて収納容器２を基板移載位置Ｐ４に位置させるだけで、蓋部材４２を容器本体４１から離脱させることができながら、基板移載位置Ｐ４での収納容器２の位置を容器本体４１と基板中継ユニット７０との基板移載方向での間隔を蓋部材４２の基板移載方向（並び方向）での厚みよりも小さくすることができ、基板中継ユニット７０と収納容器２の容器本体４１とを基板移載方向に近接させることができる。これにより、基板中継ユニット７０による収納容器２の容器本体４１に対する基板の移載が行い易いものとなる。

基板搬送設備には、基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４における移載対象の基板１より下方の部分を閉じるように、移載対象の基板１より下方で且つ基板移載方向で基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４に近接する位置に固定蓋１２１が位置固定状態で設けられている。
また、固定蓋１２１は、基板中継ユニット７０の浮上用空気噴出体７１と上下方向視で重複するように設けられており、基板中継ユニット７０における基板出し入れ機構７３による基板１の移載や浮上用空気噴出体７１による基板１の浮上を阻害しないように基板中継ユニット７０の下方において基板中継ユニット７０に近接させた状態で設けられている。

〔基板中継ユニット〕
次に、基板中継ユニット７０について説明を加える。
図３及び図４に示すように、基板中継ユニット７０は、横幅方向に沿って走行する走行台車７４にて横幅方向に移動自在に構成されており、基板入出部６に位置する収納容器２との間で基板１を一枚ずつ取り出す又は収納するときには、走行台車７４の走行により基板入出部６に位置する収納容器２に隣接する位置に基板中継ユニット７０が配置されるように構成されている。
図８に示すように、基板中継ユニット７０は、取り出し対象又は収納対象の基板１の下面とこの基板１を載置支持する支持板４５の上面との間に空気を噴出する浮上用空気噴出体７１と、浮上用空気噴出体７１よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給する供給用空気噴出体７２と、浮上用空気噴出体７１による空気の噴出により支持板４５から浮上した取り出し対象の基板１を浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上方を通過させる状態で収納容器２から取り出し、且つ、浮上用空気噴出体７１による空気の噴出により浮上した収納対象の基板１をその基板１を載置支持する支持板４５上に位置するように浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上方を通過させる状態で収納容器２に収納する基板出し入れ機構７３とを備えて構成されている。
ちなみに、基板出し入れ機構７３は、基板１を収納容器２から取り出す取り出し手段と基板１を収納容器２に収納する収納手段とに兼用されている。

〔走行台車〕
図３及び図４に示すように、走行台車７４は、横幅方向に沿って設けられた一対の走行用レール７６の夫々に対応して設けられて走行用モータ７７にて回転駆動される走行用車輪７８を備え、浮上用空気噴出体７１、供給用空気噴出体７２及び基板出し入れ機構７３を支持するように構成され、走行用モータ７７にて走行用車輪７８を回転駆動させることにより、基板中継ユニット７０を横幅方向に走行移動させて収納容器２と隣接する位置と基板搬送コンベヤ５１と隣接する位置とに移動可能に構成されている。

〔基板出し入れ機構〕
基板出し入れ機構７３は、基板１を挾持搬送する挾持搬送手段８１と基板１を載置搬送する載置支持搬送手段８８とを備えて構成されている。
挾持搬送手段８１は、基板１を収納容器２から取り出す場合には、取り出し対象の基板１における基板取り出し方向の下流側端部を挾持する挾持部８２を基板取り出し方向に沿う移動経路に沿って基板取り出し方向の上流側から下流側に移動させて、取り出し対象の基板１の全体が収納容器２内に位置する収納位置（図９及び図１０参照）から取り出し対象の基板１の一部が収納容器２外に位置する中継位置（図１１及び図１２参照）まで取り出し対象の基板１を搬送し、また、基板１を収納容器２に収納する場合には、挾持部８２を移動経路に沿って基板搬入方向の上流側から下流側に移動させて、中継位置に位置する収納対象の基板１を、挾持部８２の先端部分にて押圧する状態で中継位置から収納位置まで搬送するように構成されている。
そして、挾持搬送手段８１は、基板１を収納容器２から取り出すときは取り出し対象の基板１における横幅方向の両端部を挾持し、基板１を収納容器２に収納するときは収納対象の基板２における横幅方向の両端部を押圧するように、挾持部８２を横幅方向に一対設けて構成されている。これにより、縦軸芯周りでの基板１の回転を防止し且つ基板１を安定した姿勢で搬送することができながら、基板１に対して接触する位置を基板取り出し方向の下流側端部のごく一部とすることができる。

挾持部８２は、協働により基板１を上下方向に挾持する一対の挾持作用部分８３と、一対の挾持作用部分８３を支持する支持部分８４とを備えて構成されている。一対の挟持作用部分８３は、支持部分８４の横側方に突出する状態で、互いに遠近移動自在に支持されている。そして、一対の挟持作用部分８３は、一対の挾持作用部分８３を互いに近接させて基板１を挾持する挾持状態（図１１参照）と、一対の挾持作用部分８３を互いに離間させた挾持解除状態（図９参照）と、一対の挾持作用部分８３を挾持状態よりさらに近接させて互いに接触させる押圧状態（図１３参照）とに切り換え可能に構成されている。

挟持部８２は、基板取り出し方向に沿う移動経路に沿って直線状に移動自在な移動体８７に支持されており、この移動体８７の移動経路に沿う移動によって挟持部８２が基板取り出し方向に移動自在に構成されている。移動体８７の上部には、移動体８７に対して縦軸芯周りで揺動自在に連結された揺動連結部材８５が設けられ、その揺動連結部材８５において基板取り出し方向に延びる部分の端部には、その上部に挟持部８２が固定支持されている。これにより、挾持部８２は、移動体８７に縦軸芯周りに揺動自在に支持されている。
ちなみに、挾持部８２が揺動する縦軸芯は、平面視において支持部分８４が存在する箇所から外れた箇所に位置しており、挾持作用部分８３が存在する箇所に位置している。

また、挾持搬送手段８１は、取り出し対象の基板１を中継位置に搬送した状態で取り出し対象の基板１に対する挾持を解除した挾持部８２を、載置支持搬送手段８８にて搬送される取り出し対象の基板１の搬送経路（基板１を搬送するときに基板１が占める空間）から退避させた退避位置に移動させる退避操作手段としての揺動案内部材８９を備えて構成されている。
この揺動案内部材８９は、移動体８７の移動経路に沿う移動により挾持部８２に接当して、挾持部８２を基板取り出し方向と交差する横幅方向の外方側に案内させるように縦軸芯周りに揺動させることにより、挟持部８２を退避位置に退避させるように構成されている。

揺動案内部材８９について説明を加えると、揺動案内部材８９は、揺動連結部材８５及び案内ローラ８６を案内する案内溝８９ａを備えて構成されている。つまり、揺動連結部材８５は、案内溝８９ａが形成されている板体を貫通する状態で案内溝８９ａの内壁と接当するように設けられており、案内ローラ８６は、揺動連結部材８５の基板取り出し方向に延びる部分の端部においてその下方側に案内溝８９の内壁と当接するように一対設けられている。
そして、案内溝８９ａは、基板取り出し方向の上流側の部分が移動体８７の移動経路に沿う直線状に形成され、この上流側の部分と連続する下流側の部分が横幅方向の外方側に曲がる曲線状に形成されている。
つまり、図９〜図１３に示すように、取り出し対象の基板１を収納位置から中継位置に搬送する又は収納対象の基板１を中継位置から収納位置に搬送するべく移動体８７を移動経路に沿って移動させている間は、案内ローラ８６は案内溝８９ａにおける直線状に形成された部分にて直線状に案内されるため、挾持部８２の姿勢は挾持作用部分８３と支持部分８４とが移動経路に沿う方向に並ぶ姿勢に保持される。
そして、図１４及び図１５に示すように、収納位置の取り出し対象の基板１に対して挾持を解除した後に、移動体８７を基板取り出し方向の下流側に移動させることにより、案内ローラ８６は案内溝８９ａにおける曲線状に形成された部分にて横幅方向の外方側に移動するように曲線状に案内されるため、挾持部８２の姿勢は支持部分８４が挾持作用部分８３に対して横幅方向外方側に位置するように移動経路に対して傾いた姿勢に変更される。また、この状態から移動体８７を基板取り出し方向の上流側に移動させることにより、案内ローラ８６は案内溝８９ａにおける曲線状に形成された部分にて横幅方向の内方側に移動するように曲線状に案内されるため、挾持部８２の姿勢は挾持作用部分８３と支持部分８４とが移動経路に沿う方向に並ぶ姿勢に変更される。
そして、図１０及び図１２に示すように、挾持部８２は、移動経路に沿う方向に並ぶ姿勢では、平面視において一対の挾持作用部分８３及び支持部分８４が基板１の搬送経路の横幅内に位置するため、基板１に対して基板取り出し方向の下流側から挾持又は押圧することができ、図１５に示すように、移動経路に対して傾いた姿勢では、平面視において一対の挾持作用部分８３の一部及び支持部分８４が基板１の搬送経路から横外方側に外れて位置するため、挾持部８２に邪魔されることなく載置支持搬送手段８８にて基板１を搬送することができる。
ちなみに、挾持部８２は移動経路に対して傾いた姿勢では退避位置（図１４及び図１５参照）に位置している。このとき、一対の挾持作用部分８３は、平面視において基板１の搬送経路上に存在することになるが、一対の挟持作用部分８３を挾持解除状態とすることにより、基板１の通過を許容することができる。

〔載置支持搬送手段〕
載置支持搬送手段８８は、基板１を収納容器２から取り出す場合には、挾持搬送手段８１にて中継位置に搬送された取り出し対象の基板１を載置支持して、取り出し対象の基板１を中継位置から取り出し対象の基板１の全体が収納容器２外に位置する取り出し位置（図１４参照）に搬送し、基板１を収納容器２に収納する場合には、基板搬送コンベヤ５１から受け取った収納対象の基板１を取り出し位置から中継位置に搬送するように構成されている。
ちなみに、載置支持搬送手段８８は、基板中継ユニット７０を横幅方向に走行移動させるときには基板１をその全体が載置支持搬送手段８８上に位置する取り出し位置で載置支持するとともに、取り出し位置に位置する取り出し対象の基板１を基板搬送コンベヤ５１に受け渡し、基板搬送コンベヤ５１から受け取った収納対象の基板１を取り出し位置に搬送するように構成されている。

載置支持搬送手段８８について説明を加えると、載置支持搬送手段８８は、基板１の下面に向けて空気を供給して水平姿勢で基板を非接触状態で支持する送風式支持手段５２と、その送風式支持手段５２にて支持された基板１に対して搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段５３とを設けて構成されている。
送風式支持手段５２は、基板１の搬送経路の下方に設けられて上方に向けて空気を送風するブロア５４と、このブロア５４と基板１の搬送経路との間に設けられた多孔状の整風板５５と、ブロア５４に空気を供給するコンベア用空気供給装置５６（図１９参照）とを備えて構成されている。また、推進力付与手段５３は、基板取り出し方向に並設されて基板１の下面に接触する複数の支持用搬送ローラ５７と、中継位置に位置する基板１の上面に接触して支持用搬送ローラ５７との協働により基板１を挾持する挾持用搬送ローラ５８とを備えて構成され、基板１における横幅方向の両端部を載置支持及び挾持するように、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が横幅方向に一対設けて構成されている。

複数の支持用搬送ローラ５７として、基板１の横幅方向への移動を規制する鍔を備えた鍔付きの支持用搬送ローラ５７と、鍔を備えていない鍔無しの支持用搬送ローラ５７とが設けられており、鍔無しの支持用搬送ローラ５７は、中継位置に位置する基板１の下面に接触し且つ挾持用搬送ローラ５８との協働に基板１を挾持するように、載置支持搬送手段８８（基板出し入れ機構７３）における基板取り出し方向の上流側端部に配設されており、鍔付きの支持用搬送ローラ５７は、中継位置に位置する基板１の下面に接触しないように、載置支持搬送手段８８（基板出し入れ機構７３）における鍔無しの支持用搬送ローラ５７よりも基板取り出し方向の下流側に並設されている。
ちなみに、挾持用搬送ローラ５８は、鍔無しの支持用搬送ローラ５７と同様に、載置支持搬送手段８８（基板出し入れ機構７３）における基板取り出し方向の上流側端部に配設されている。
つまり、載置支持搬送手段８８は、中継位置が基板１における基板取り出し方向の下流側端部が複数の支持用搬送ローラにおける鍔無しの支持用搬送ローラ５７で支持され且つ挾持用搬送ローラ５８との協働により挾持される位置となるように構成されており、挾持搬送手段８１による取り出し対象の基板１の搬送は、支持用搬送ローラ５７と挾持用搬送ローラ５８とで挾持されるように、基板１における基板取り出し方向の下流側端部が載置支持搬送手段８８における基板取出方向の上流側端部に位置するように搬送する。
要するに、中継位置が、基板１における基板取り出し方向の下流側端部が載置支持搬送手段８８における基板取り出し方向の上流側端部に配設された鍔無しの支持用搬送ローラ５７と挾持用搬送ローラ５８との協働により挾持される位置であり、収納位置に近い位置であるため、挾持搬送装置８１による基板１の搬送距離が短くなるので、挾持部８２の移動距離を短くすることができる。

また、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が載置支持及び挾持する箇所は、挟持搬送手段８１が挟持する箇所よりも横幅方向で外方側となるように支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が配設されている。これにより、挟持搬送手段８１による基板１の搬送範囲と、載置支持搬送手段８８による基板１を搬送範囲とが基板取り出し方向で重複するように構成されている。よって、挟持搬送手段８１によって載置支持搬送手段８８にて基板１を搬送可能な中継位置まで基板１を搬送することができ、逆に、載置支持搬送手段８８によって挟持搬送手段８１にて搬送可能な中継位置まで基板１を搬送することができる。その結果、挟持搬送手段８１と載置支持搬送手段８８との間での受け渡しを的確に行える。しかも、挟持搬送手段８１から載置支持搬送手段８８に基板１を受け渡すときには、基板１を挟持部８２に挟持した状態から載置支持した状態に移行することになるが、支持用搬送ローラ５７と挾持用搬送ローラ５８との協働により基板１を挟持した状態で搬送することができるので、挟持搬送手段８１と載置支持搬送手段８８との間での受け渡しを的確に行いながら基板１を適正に搬送することができる。

そして、載置支持搬送手段８８は、基板１の横幅方向中央部を送風式支持手段５２にて非接触状態で支持し、且つ、基板１の横幅方向の両端部を推進力付与手段５３にて接触支持及び挾持して、搬送用モータ５９にて支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８を回転駆動させることにより基板１を搬送方向に沿って搬送するように構成されている。
ちなみに、基板搬送コンベヤ５１は、載置支持搬送手段８８と同様に、ブロアと整風板と空気供給装置とを備えた送風式支持手段、及び、複数の支持用搬送ローラを備えた推進力付与手段とを備えて構成されている。尚、基板搬送コンベヤ５１には、挾持用搬送ローラは設けられていない。

図１６に示すように、浮上用空気噴出体７１は、上方に向けて空気を噴出する空気噴出口９１と、この空気噴出口９１の基板取り出し方向の上流側端部から上方側に伸びる形状に形成されて空気噴出口９１から上方に向けて噴出された空気を浮上用空気噴出体７１の上面に沿って収納容器２側に向けて水平方向に流動するように誘導する誘導曲面９２とを備えて、容器隣接箇所Ａにおいて、基板出し入れ機構７３にて取り出される取り出し対象の基板１及び収納される収納対象の基板１の下面と浮上用空気噴出体７１の上面との間に向けて空気を噴出する補助空気噴出体を兼用するように構成されている。

つまり、図１６（ａ）において矢印で示すように、浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１から上方に向けて噴出された空気は、コアンダ効果により誘導曲面９２に沿って流動した後、その誘導曲面９２に連なる浮上用空気噴出体７１の上面に沿って水平方向に流動し、そのまま基板取り出し方向の上流側に位置する収納容器２に向けて水平方向に流動するため、空気噴出口９１から噴出された空気は、取り出し対象の基板１の下面と浮上用空気噴出体７１の上面との間に向けて空気が噴出されるように誘導曲面９２にて誘導され、その後は、取り出し対象の基板１の下面とこの基板１を載置支持する支持板４５の上面との間に空気が噴出されるように収納容器２側に向けて水平方向に流動する。

供給用空気噴出体７２は、浮上用空気噴出体７１と同様に構成された噴出体を水平方向に流動する空気の向きを逆方向となるように設けたものであり、上方に向けて空気を噴出する逆方向用空気噴出口９３と、この逆方向用空気噴出口９３よりも上方側でかつ基板取り出し方向の下流側に位置して逆方向用空気噴出口９３から上方に向けて噴出された空気を供給用空気噴出体７２の上面に沿って収納容器２側とは反対側に向けて水平方向に流動するように誘導する逆方向用誘導曲面９４とを備えて構成されている
つまり、逆方向用空気噴出口９３から噴出された空気は、容器隣接箇所Ａにおいて浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給するように収納容器２側とは反対側である基板取り出し方向の下流側に向けて水平方向に流動する。

図８及び図１７に示すように、浮上用空気噴出体７１は、横幅方向に間隔を隔てた状態で複数並設され、供給用空気噴出体７２は、横幅方向で浮上用空気噴出体７１の間に配設されており、複数の浮上用空気噴出体７１と複数の供給用空気噴出体７２とは横幅方向の両端に浮上用空気噴出体７１が位置する状態で横幅方向に交互に一列に並べられている。これにより、図１７中矢印にて示すように、基板１を搬送するときには、供給用空気噴出体７２にて噴出される空気を浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１に対して基板取り出し方向の下流側に供給することができる。これにより、浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１からの空気の噴出により、その基板取り出し方向の下流側が負圧となっても、供給用空気噴出体７２からの空気によりその部分が正圧化されて基板１を適正に支持することができる。
そして、基板出し入れ機構７３における基板取り出し方向の上流側端部には、上面の高さが整風板５５の上面と同じ高さとなる状態で且つ基板取り出し方向の上流側に伸びる状態で連設板９６が支持されており、供給用空気噴出体７２は、その上面が連設板９６の上面と同じ高さで且つ基板取り出し方向に連なる状態で連設板９６に支持されており、浮上用空気噴出体７１は、その上面が連設板９６の上面よりの数ミリ（例えば２〜３ｍｍ程度）下方に位置する高さで且つ基板取り出し方向の下流側に空気噴出口９１から噴出された空気が通る隙間が形成される状態で連設板９６に支持されている。
つまり、浮上用空気噴出体７１は、その上面が供給用空気噴出体７２の上面よりも数ミリ下方に位置するように設けられている。

浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２には空気供給装置としての噴出体用空気供給装置９５（図１９参照）から空気が供給され、この噴出体用空気供給装置９５は供給する空気の供給量を調整自在に構成されている。そして、噴出体用空気供給装置９５から浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２に空気を供給することにより、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２は空気を噴出する噴出状態に切り換えられ、噴出体用空気供給装置９５から浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２への空気の供給を停止させることにより、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２は空気の噴出を停止させた噴出停止状態に切り換えられる。

次に、制御装置Ｈについて説明する。
図１８及び図１９に示すように、基板中継ユニット７０には、挾持部８２にて挾持されている基板１及び挾持部８２にて押圧されている基板１の存否を検出する基板存否検出センサ１０１、収納容器２が基板１の取り出す並びに収納に適正な高さに位置しているか否かを検出する容器高さ検出センサ１０２、基板１が取り出し位置に位置しているか否かを検出する取り出し位置検出センサ１０３、基板１が中継位置に位置しているか否かを検出する中継位置検出センサ１０４、及び、載置支持搬送手段８８による基板１の搬送速度を減速させる減速位置検出センサ１０５が設けられ、基板入出部６には、収納容器２から基板１の一部が外部にはみ出しているか否かを検出する基板はみ出し検出センサ１０６が設けられており、これらの検出センサからの検出情報が制御装置Ｈに入力されるように構成されている。

そして、制御装置Ｈは、これらの検出センサや上位のコントローラからの指令等に基づいて、基板中継ユニット７０における走行台車７４、基板出し入れ機構７３及び噴出体用空気供給装置９５の作動、並びに、昇降手段６１及び基板搬送コンベヤ５１の作動を制御するように構成されている。

制御装置Ｈは、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２から噴出する空気の噴出量が目標供給量に向けて段階的に多くなるように噴出体用空気供給装置９５の作動を制御する空気供給用制御手段、及び、取り出し対象又は収納対象の基板１を載置支持する支持板４５を浮上用空気噴出体７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さ（取り出し用高さであり且つ収納用高さである）に位置させるべく昇降手段６１の作動を制御する昇降用制御手段としての機能も備えられている。
つまり、制御装置Ｈは、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２を噴出停止状態から噴出状態に切り換える際に、噴出体用空気供給装置９５から浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２に供給する空気の量を段階的に多くし、これら浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２から噴出する空気の噴出量が目標供給量に向けて段階的に多くなるように噴出体用空気供給装置９５の作動を制御するように構成されている。
また、制御装置Ｈは、基板１を収納容器２から取り出す又は収納する場合は、その取り出す又は収納する基板１を載置支持する支持板４５を浮上用空気噴出体７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さに位置させて、浮上用空気噴出体７１から噴出される空気が取り出す又は収納する基板１の下面とその基板１を載置支持する載置板４５の上面との間に噴出させ、且つ、浮上用空気噴出体７１による空気の噴出により浮上した基板１を挾持部８２にて挾持又は押圧可能とするべく、昇降手段６１の作動を制御するように構成されている。

基板存否センサ１０１は、一対の挾持部８２の夫々に挾持作用部分８３の直前における基板１の存否を検出するように一対設けられており、制御手段Ｈは、一対の基板存否センサ１０１の両方が基板１の存在を検出する検出状態であると基板１を挾持或いは押圧していると判別し、一対の基板存否センサ１０１の一方又は両方が基板１を検出していない非検出状態であると基板１を挾持及び押圧していないと判別するように構成されており、挾持部８２にて挾持又は押圧している状態において基板１を挾持及び押圧していないと判別すると、基板搬送装置８の作動を停止させる。

容器高さ検出センサ１０２は、収納容器２に複数の支持板４５の夫々に対応して上下方向に並設された複数の検出板１０７の存否を検出するように設けられており、制御手段Ｈは、収納容器２が複数の支持板４５のいずれかが浮上用空気噴出体７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さに位置して容器高さ検出センサ１０２にて複数の検出板のいずれかを検出する検出状態であると収納容器２が適正な高さであると判別し、収納容器２が対応する高さから上下方向にずれて容器高さ検出センサ１０２が複数の検出板のいずれも検出しない非検出状態であると収納容器２が適正な高さではないと判別するように構成されており、基板１を収納容器２に対して出し入れする際に収納容器２が適正な高さではないと判別すると、基板搬送装置８の作動を停止させる。

取り出し位置検出センサ１０３は、取り出し位置に位置する基板１の基板取り出し方向の上流側端部に対応する位置と下流側端部に対応する位置とに一対設けられており、制御手段Ｈは、基板１が取り出し位置に位置して一対の取り出し位置検出センサ１０３が基板１を検出する検出状態であると基板１が取り出し位置に位置していると判別し、基板１が取り出し位置からずれて一対の取り出し位置検出センサ１０３の一方又は両方が非検出状態であると基板１が取り出し位置に位置していないと判別するように構成されている。

中継位置検出センサ１０４は、中継位置に位置する基板１の基板取り出し方向の下流側端部に対応する位置とこの位置よりさらに下流側の位置とに基板取り出し方向に隣接する状態で一対設けられており、制御手段Ｈは、基板取り出し方向の上流側に位置する中継位置検出センサ１０４が基板１を検出する検出状態であり下流側に位置する中継位置検出センサ１０４が基板１を検出しない非検出状態であると基板１が中継位置に位置していると判別し、基板１が中継位置からずれて一対の中継位置検出センサ１０４の両方が検出状態又は非検出状態であると基板１が中継位置に位置していないと判別するように構成されている。

減速位置検出センサ１０５は、取り出し用と収納用との一対が取り出し位置に位置する基板１の前後幅内に位置するように設けられており、制御手段Ｈは、載置支持搬送手段８８にて基板１を中継位置から取り出し位置に搬送するにあたり、搬送開始直後は搬送速度を搬送高速度となるように加速させ、取り出し用の減速位置検出センサ１０５が基板１を検出する検出状態となると、搬送速度を搬送高速度より低速の搬送低速度となるように減速させ、また、載置支持搬送手段８８にて基板搬送コンベヤ５１から受け取った基板１を取り出し位置に搬送するにあたり、基板搬送コンベヤ５１から受け取る基板１の搬送速度を維持させ、収納用の減速位置検出センサ１０５が基板１を検出する検出状態となると、搬送速度を受け取った基板の搬送速度より低速の搬送低速度となるように減速させるように、推進力付与手段５３の作動を制御するように構成されている。

基板はみ出し検出センサ１０６は、収納容器２の直前における基板１の存否を検出するように設けられており、制御手段Ｈは、基板はみ出し検出センサ１０６が基板１を検出する検出状態であると基板１が収納容器２からはみ出していると判別し、基板はみ出し検出センサ１０６が基板１を検出してない非検出状態であると基板１が収納容器２からはみ出していないと判別するように構成されている。

制御手段Ｈにより基板搬送装置８の作動について、基板入出部６に位置する収納容器２から基板１を取り出して図外の基板処理装置に搬送する場合を説明する。
まず、基板中継ユニット７０が基板入出部６に位置する収納容器２と隣接して位置するように走行台車７４を走行させる。次に、取り出し対象の基板１を載置支持する支持板４５が浮上用空気噴出手段７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さとなるように昇降手段６１にて収納容器２を昇降移動させた状態で、噴出体用空気供給装置９５を作動させて浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２を噴出状態とし、且つ、コンベヤ用空気供給装置５６を作動させて送風式支持手段５２を整風板５５から上方に向けて空気を噴出する状態とする。このとき、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２は、取り出し対象の基板１を支持する支持板４５における基板取り出し方向の下流側端部に隣接する容器隣接箇所Ａに配設されることになる。これにより、浮上用空気噴出体７１にて噴出される空気を取り出し対象の基板１の下面と支持板４５との間に適正に供給することができ、取り出し対象の基板１を的確に支持板４５から浮上させることができる。浮上用空気噴出体７１の空気の噴出により取り出し対象の基板１が支持板４５から浮上させた状態で、挾持解除状態の挾持部８２を収納位置の取り出し対象の基板１を挾持可能な挾持位置（図９及び図１０参照）に移動させるように移動体８７を基板取り出し方向の下流側から上流側に移動させる。

そして、挾持部８２を挾持状態に切り換えて挾持部８２にて取り出し対象の基板１を挾持し、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が基板１を基板取り出し方向の上流側から下流側に搬送するように回転させた状態で、挾持状態の挾持部８２を中継位置に対応する挾持解除位置（図１１及び図１２参照）まで移動させるように移動体８７を基板取り出し方向の上流側から下流側に移動させて基板１を中継位置に搬送する。このとき、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上部にも空気が供給されていることから、その空気により形成される空気層によって浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の上部を通過する基板１を的確に支持することができる。その後、基板１を中継位置に搬送した状態で支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させ、且つ、噴出体用空気供給装置９５の作動を停止させて浮上用空気噴出体７１を噴出停止状態とする。

そして、挾持部８２を挾持解除状態に切り換えた後、挾持解除状態の挾持部８２を退避位置（図１４及び図１５参照）に移動させるべく移動体８７を基板取り出し方向の上流側から下流側に移動させ、且つ、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８を基板１を基板取り出し方向の上流側から下流側に搬送するように回転させて、基板１を取り出し位置に搬送した後、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させる。
その後は、基板中継ユニット７０が基板搬送コンベヤ５１と隣接して位置するように走行台車７４を走行させた状態で、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が基板１を基板取り出し方向の上流側から下流側に搬送するように回転させて、基板１を基板搬送コンベヤ５１に受け渡し、基板搬送コンベヤ５１にて基板１を基板処理装置に搬送する。

次に、基板処理装置から搬出された基板１を基板入出部６に位置する収納容器２に収納する場合を説明する。
まず、基板中継ユニット７０が基板搬送コンベヤ５１と隣接して位置するように走行台車７４を走行させ、且つ、コンベヤ用空気供給装置５６を作動させて送風式支持手段５２を整風板５５から上方に向けて空気を噴出させる。この状態で、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８が基板１を基板収納方向の上流側から下流側に搬送するように回転させて、基板処理装置から搬出されて基板搬送コンベヤ５１にて搬送される基板１を受け取って取り出し位置に搬送する。その後、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させて、基板中継ユニット７０が基板入出部６に位置する収納容器２と隣接して位置するように走行台車７４を走行させる。

そして、収納対象の基板１を載置支持する支持板４５が浮上用空気噴出手段７１及び基板出し入れ機構７３に対応する高さとなるように昇降手段６１にて収納容器２を昇降移動させた状態で、噴出体用空気供給装置９５を作動させて浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２を噴出状態とする。このような状態で、押圧状態の挾持部８２を挾持位置よりも基板１の挾持量だけ基板収納方向の上流側の押圧終了位置（図１３参照）に移動させるように移動体８７を基板収納方向の上流側から下流側に移動させて基板１を収納位置に搬送する。その後、支持用搬送ローラ５７及び挾持用搬送ローラ５８の回転を停止させ、且つ、噴出体用空気供給装置９５及びコンベヤ用空気供給装置５６を停止させるとともに、次に基板１の収納を行うのであれば挾持部８２を退避位置に移動させるように、また、次に基板１の取り出しを行うのであれば挾持部８２を挾持解除位置に移動させるように、移動体８７を基板収納方向の下流側から上流側に移動させる。
このように噴出体用空気供給装置９５を停止させることにより浮上用空気噴出体が噴出停止状態となるため、収納対象の基板の上面とこの基板を載置支持する支持板の上面との間への空気の供給が停止され、上述の如く、基板と支持板との間に存在する空気が排出される。

以下、蓋部材を容器本体から離脱させる構成の別実施形態を、別実施形態１〜３として説明する。
《別実施形態１》 回転体支持型
以下、別実施形態１を図面に基づいて説明する。
図２０に示すように、基板搬送設備には、収納容器２を搬送する容器搬送手段１１１と、容器搬送手段１１１にて搬送された収納容器２に対して基板１を移載する基板中継ユニット７０とが設けられている。
そして、基板中継ユニット７０は、容器搬送手段１１１にて搬送された収納容器２から基板１を取り出し且つ収納容器２に基板１を収納するように構成されており、基板１の移載として収納容器２からの基板１の取り出しと収納容器２への基板１の収納との両方を行うように構成されている。

〔収納容器〕
図２０及び図２１に示すように、収納容器２は、横倒れ姿勢の筒状に形成され且つ内部に基板１を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１の一端部に装着された蓋部材４２と、容器本体４１の他端部に装着されたファンフィルタユニット４３とを備えて構成されている。
図２２に示すように、容器本体４１は、基板１を載置支持する複数の支持板４５を上下方向に間隔を隔てた状態に備えて構成され、複数の支持板４５にて各別に基板１を載置支持する形態で矩形状の基板１を上下方向に間隔を隔てて水平姿勢で複数枚保持して収納されている。

蓋部材４２は、筒状の容器本体４１の一端部に形成された基板移載用の開口としての基板出し入れ口４４の全面を閉じて閉塞させるべく容器本体４１の一端部に装着されている。また、ファンフィルタユニット４３は、筒状の容器本体４１の他端部に形成された基板出し入れ口４４の全面を閉じて閉塞させ且つ容器本体４１の他端部側から一端部側に向けて通風させるべく容器本体４１の他端部に装着されている。そして、これら蓋部材４２及びファンフィルタユニット４３は、容器本体４１に対して着脱自在に構成されている。
ちなみに、蓋部材は、容器本体の基板出し入れ口４４の上下方向の幅より大きく且つ横幅方向の幅より大きく形成されている。
尚、便宜上、容器本体４１と蓋部材４２とが並ぶ方向を並び方向と称し、この並び方向と交差する水平方向に沿う方向を横幅方向と称する。

そして、図２３に示すように、蓋部材４２は、容器本体４１における一端部の上端部分に位置する係合部１１４に上方側から係合して係合部１１４に係合支持される被係合部１１５が設けられている。つまり、蓋部材４２は、蓋部材４２を容器本体４１に対して下方に移動させることにより被係合部１１５を係合部１１４に係合させて蓋部材４２を容器本体４１に装着することができ、蓋部材４２を容器本体４１に対して上方に移動させることにより被係合部１１５を係合部１１４から離脱させて蓋部材４２を容器本体４１から離脱させることができるように構成されている。
このように、蓋部材４２は、容器本体４１に対して上方側から装着自在で且つ上方側へ離脱自在に構成されている。

蓋部材４２の被係合部１１５は、蓋本体１１６の上端部に蓋部材４２を容器本体側に突出する状態で備えられた舌片１１７の先端部に下方に突出する状態で支持されており、蓋部材４２を容器本体４１に装着した状態において容器本体４１及び蓋部材４２の横幅内に位置するように蓋部材４２に設けられている。また、被係合部１１５の下端に位置する先端部は、球状に形成されている。

容器本体４１の係合部１１４は、平面視形状が円形で且つ下方に凹入する形状に形成されており、蓋部材４２を容器本体４１に装着した状態において蓋部材４２に設けられた一対の被係合部１１５の夫々に対応した位置に形成されている。
係合部１１４の形状について説明を加えると、係合部１１４の底側部分は、上下方向に同径な円柱形状で、且つ、被係合部１１５が嵌合するようにその先端部の径よりわずかに大きな径となる大きさに形成されている。また、係合部１１４の入口側部分は、被係合部１１５を底側部分に案内するように、下端が底側部分と同径で上方側ほど大径となる形状に形成されている。
ちなみに、図２１及び図２２に示すように、舌片１１７は、蓋本体１１６における横幅方向の一方側部分と他方側部分との夫々に備えられており、被係合部１１５は一対の舌片１１７の夫々に支持されている。また、容器本体４１における係合部１１４は、基板出し入れ口４４より上方の箇所に形成されており、基板出し入れ口４４より上方で被係合部１１５が係合するように形成されている。

よって、図２３に示すように、収納容器２は、上述の如く係合部１１４及び被係合部１１５が形成されていることにより、蓋部材４２を容器本体４１に装着する際に被係合部１１５が係合部１１４に係合し易くなり、蓋部材４２が容器本体４１に装着し易くなるようになっている。
また、蓋部材４２を容器本体４１に装着した状態では、被係合部１１５が係合部１１４の底側部分に嵌合することにより、蓋部材４２を容器本体４１に装着した状態において蓋部材４２が容器本体４１に対して水平方向に移動することが規制されている。
また、蓋部材４２を容器本体４１に装着した状態では、被係合部１１５の先端部を球状に形成され且つこの先端部より上方の部分が幅広の係合部１１４の入口側部分に位置することから、蓋部材４２は、容器本体４１に装着した状態において係合部１１４を中心に横幅方向に沿う横軸心周りに揺動自在に構成されている。
そして、上述の如く被係合部１１５を蓋部材４２に設けることにより、被係合部１１５が並び方向において蓋部材４２の重心より容器本体側に設けられこととなる。よって、蓋部材４２は、図２３（ａ）に示すような容器本体４１に装着した状態では、自重により容器本体側に付勢され、その自重による付勢によって蓋部材４２が容器本体４１に押し付けられて蓋部材４２が揺動し難いようになっている。

蓋部材４２が容器本体４１の一端部に装着されている状態において、容器本体４１と蓋部材４２との間に排気用の隙間Ｅが形成されている。
説明を加えると、排気用の隙間Ｅを形成するためのスペーサ１１８が、蓋部材４２が容器本体４１に装着された状態において容器本体４１と蓋部材４２との間に位置するように、蓋部材４２における容器本体側の面に備えられている。
このように蓋部材４２にスペーサ１１８を備えることにより、蓋部材４２は、容器本体４１に装着された状態において容器本体４１との間に排気用の隙間Ｅが形成される形状に形成されており、ファンフィルタユニット４３にて容器本体４１内に導入された空気は、図２２に矢印で示したように、容器本体４１と蓋部材４２との間に形成された排気用の隙間Ｅを通して外部に排気される。
そして、蓋部材４２は、被係合部１１５とスペーサ１１８とでのみ容器本体４１に接触しており、排気用の隙間Ｅは、スペーサ１１８の存在によって基板出し入れ口４４の周囲の一部は閉じられた状態で全周に亘って形成されている。

図２２及び図２３に示すように、蓋部材４２には、蓋本体１１６の上端部における横幅方向両側に蓋本体１１６から横幅方向外方側に突出する状態で被支持部１１９が設けられている。
この被支持部１１９は、横幅方向に沿う横軸心周りに回転自在な回転体１２０を並び方向に沿って２つ並べて構成されている。これら２つの回転体１２０は、蓋部材４２に同じ高さに位置するように設けられ且つ径が同じ大きさに形成されている。
そして、２つの回転体１２０のうちの並び方向の蓋部材側に位置する回転体１２０は、蓋部材４２の重心より上方で且つ重心より並び方向の蓋部材側に位置するように蓋本体１１６に設けられており、並び方向の容器本体側に位置する回転体１２０は、蓋部材４２の重心より上方で且つ重心より並び方向の容器本体側に位置するように蓋本体１１６に設けられている。これにより、２つの回転体１２０の中心間でかつ下方に蓋部材４２の重心が位置することになり、後述する係入凹部１２４にて受け止め支持して蓋部材４２を容器本体４１から離脱させる際の並び方向に沿う蓋部材４２の揺動を抑制して蓋部材４２の容器本体４１への接触を防止できるようになっている。

〔基板中継ユニット〕
図１６（ａ）に示すように、基板中継ユニット７０は、移載対象の基板１の下面とこの基板１を載置支持する支持板４５の上面との間に空気を噴出する浮上用空気噴出体７１と、浮上用空気噴出体７１による空気の噴出により支持板４５から浮上した移載対象の基板１を浮上用空気噴出体７１の上方を通過させる状態で収納容器２に対して移載する基板出し入れ機構７３とを備えて、蓋部材４２が離脱された容器本体４１から基板出し入れ口４４を通して基板１を移載するように構成されている。
そして、浮上用空気噴出体７１は、噴出した空気を浮上用空気噴出体７１の上面を流動させるようにして、浮上用空気噴出体７１の上面と基板出し入れ機構７３にて移載される基板との間に向けて空気を噴出する補助空気噴出体を兼用するように構成されている。
また、図４に示すように、基板中継ユニット７０は、基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２に対して容器本体４１の基板出し入れ口４４が形成される一端部側に位置するように、床面上に位置固定状態で設けられている。

〔容器搬送手段〕
図２０、図２４及び図２５に示すように、容器搬送手段１１１は、基板中継ユニット７０の基板取り出し方向の上流側に隣接する状態で設けられた昇降手段６１と、この昇降手段６１の基板取り出し方向上流側に隣接する状態で設けられたスタッカークレーン７とを備えて構成されている。
そして、容器搬送手段１１１にて収納容器２を基板移載位置Ｐ４（図２５参照）に搬送する場合は、まず、スタッカークレーン７にて、収納容器２を基板取り出し方向の下流側に向けて上方位置Ｐ１（図２４（ａ）参照）まで水平移動させた後、収納容器２を上方位置Ｐ１から中間位置Ｐ３（図２４（ｃ）参照）に鉛直下方に下降移動させて、収納容器２を昇降手段６１に載置支持させるように卸す。その後、昇降手段６１にて収納容器２を中間位置Ｐ３から基板移載位置Ｐ４（図２５参照）に鉛直下方に下降移動させる。
また、容器搬送手段１１１にて収納容器２を基板移載位置Ｐ４から搬送する場合は、まず、昇降手段６１にて収納容器２を基板移載位置Ｐ４から中間位置Ｐ３に鉛直上方に上昇移動させる。その後、スタッカークレーン７にて昇降手段６１上の収納容器２を掬い取り、その収納容器２を中間位置Ｐ３から上方位置Ｐ１に鉛直上方に上昇移動させた後、収納容器２を上方位置Ｐ１から基板取り出し方向の上流側に向けて水平移動させる。

そして、スタッカークレーン７にて収納容器２を上方位置Ｐ１と中間位置Ｐ３との間で鉛直方向に昇降移動させる間に収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２（図２４（ｂ）参照）を通過するように、蓋離脱位置Ｐ２が設定されている。
つまり、昇降手段６１が、収納容器２を載置支持して収納容器２を基板移載位置Ｐ４より上方で且つ蓋離脱位置Ｐ２より下方の中間位置Ｐ３から基板移載位置Ｐ４に鉛直下方に下降移動させる載置下降台に相当し、スタッカークレーン７が、収納容器２を昇降手段６１に載置させるべく収納容器２を蓋離脱位置Ｐ２より上方の上方位置Ｐ１から中間位置Ｐ３に鉛直下方に下降移動させる移載装置に相当するものであり、スタッカークレーン７と昇降手段６１とで構成される容器搬送手段１１１が、収納容器２を蓋離脱位置Ｐ２から基板移載位置Ｐ４に鉛直下方に下降移動させて搬送するように構成されている。

図２０に示すように、昇降手段６１は、収納容器２における容器本体４１を載置支持して昇降移動する左右一対の支持台６３と、この左右一対の支持台６３を各別に昇降自在に案内支持する左右一対の案内支柱６４とを備えて構成されている。
そして、図２５に示すように、昇降手段６１は、収納容器２における移載対象の基板１を載置支持する支持板４５を基板中継ユニット７０に対応する移載高さに位置させるべく、基板移載位置Ｐ４において収納容器２を昇降自在に支持するように構成されている。
つまり、昇降手段６１は、基板中継ユニット７０にて移載可能な高さに容器本体４１の最下位置に収納されている基板１を位置させる基板移載位置Ｐ４としての上昇側基板移載位置Ｐ５（図２５（ｄ）参照）と、基板中継ユニット７０にて移載可能な高さに容器本体４１の最上位置に収納されている基板１を位置させる基板移載位置Ｐ４としての下降側基板移載位置Ｐ６（図２５（ｅ）参照）とに亘って収納容器２を昇降移動させて、収納容器２における移載対象の基板１及びそれを載置支持する支持板４５を基板中継ユニット７０に対応する移載高さに位置させるように構成されている。

〔固定蓋〕
基板搬送設備には、基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４における移載対象の基板１より下方の部分を閉じるように、移載対象の基板１より下方で且つ基板移載方向で基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４に近接する位置に固定蓋１２１が位置固定状態で設けられており、この固定蓋１２１にて、上昇側基板移載位置Ｐ５と下降側基板移載位置Ｐ６との間で昇降移動する収納容器２の基板出し入れ口４４における移載対象の基板１より下方の部分を閉じている。
また、固定蓋１２１は、基板中継ユニット７０の浮上用空気噴出体７１と上下方向視で重複するように設けられており、基板出し入れ機構７３による基板１の移載や浮上用空気噴出体７１による基板１の浮上を阻害しないように基板中継ユニット７０の下方において基板中継ユニット７０に近接させた状態で設けられている。

〔蓋着脱手段〕
図２４に示すように、基板搬送設備には、収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２に位置している状態において容器本体４１から蓋部材４２を離脱させる蓋離脱手段としての蓋着脱手段１２２が設けられており、この蓋着脱手段１２２にて、上述した蓋部材４２の離脱に加えて、収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２に位置している状態において容器本体４１に蓋部材４２を装着させるように構成されている。
そして、蓋着脱手段１２２は、容器搬送手段１１１による収納容器２の基板移載位置Ｐ４への下降移動途中における蓋離脱位置Ｐ２おいて蓋部材４２の被支持部１１９を受け止め支持して蓋部材４２を容器本体４１から離脱させる受け止め支持体１２３を備えて構成されている。
つまり、図２４及び図２６に示すように、蓋部材４２が装着された収納容器２がスタッカークレーン７にて上方位置Ｐ１から中間位置Ｐ３に蓋離脱位置Ｐ２を通過するように鉛直下方に下降移動させるときに、蓋離脱位置Ｐ２において蓋部材４２の被支持部１１９が受け止め支持体１２３にて受け止め支持されて蓋部材４２が容器本体４１から離脱される。
また、蓋部材４２が離脱された収納容器２がスタッカークレーン７にて中間位置Ｐ３から上方位置Ｐ１に蓋離脱位置Ｐ２を通過するように鉛直上方に上昇移動させるときに、蓋離脱位置Ｐ２において蓋部材４２の被係合部１１５が容器本体４１の係合部１１４に係合支持されて蓋部材４２が容器本体４１に装着される。

受け止め支持体１２３について説明を加えると、図２０に示すように、受け止め支持体１２３は、蓋部材４２の横幅方向両側に位置する被支持部１１９を受け止め支持するように、基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の横幅方向両側に設けられており、一対の案内支柱６４の夫々に支持される形態で昇降手段６１に支持されている。
そして、図２３に示すように、受け止め支持体１２３は、案内支柱６４から基板取り出し方向の下流側に突出するように設けられて、その先端部に被支持部１１９（２つの回転体１２０）が係入する係入凹部１２４を備えて構成されている。

図２３に示すように、係入凹部１２４における被支持部１１９を受け止め支持する底面は、基板取り出し方向の下流側ほど上方に位置する傾斜面に形成されている。
よって、係入凹部１２４の底面が上述の如く傾斜面に形成されていること、径が同じ大きさに形成された２つの回転体１２０が同じ高さで蓋部材４２に設けられていること、２つの回転体１２０の中心間でかつ下方に蓋部材４２の重心が位置すること、並びに、蓋部材４２が容器本体４１に横軸心周りに揺動自在に支持されていることから、収納容器２が下降移動して受け止め支持体１２３にて２つの回転体１２０を受け止め支持するときは、まず、並び方向の蓋部材側（基板取り出し方向の下流側）の回転体１２０が係入凹部１２４の底面に先に接触し、蓋部材４２が容器本体４１に対して相対的に上方に移動するに伴って、蓋部材４２が被係合部１１５を支点として下部が容器本体４１から離れるように揺動する。
その後、並び方向の容器本体側（基板取り出し方向の上流側）の回転体１２０が係入凹部１２４の底面に接触し、下部が容器本体４１から離れるような蓋部材４２の揺動が規制される。そして、さらに蓋部材４２が容器本体４１に対して相対的に上方に移動するに伴って、被係合部１１５が容器本体４１の係合部１１４から外れ、蓋部材４２が容器本体４１から離脱される。そして、このように蓋部材４２が容器本体４１から離脱される際は、２つの回転体１２０が係入凹部１２４の底面にて受け止め支持されていることで、蓋部材４２の下部が容器本体４１から離れるような蓋部材４２の揺動の規制に加えて蓋部材４２の下部が容器本体４１に近づくような蓋部材４２の揺動も規制されるため、並び方向に沿う蓋部材４２の揺動を抑制して蓋部材４２の容器本体４１への接触が防止される。

また、受け止め支持体１２３にて受け止め支持された蓋部材４２は、係入凹部１２４の傾斜面にて被支持部１１９を受け止め支持されることで下部側ほど容器本体４１から離れるように傾くことになるため、受け止め支持体１２３にて蓋部材４２が受け止め支持された状態で蓋離脱位置Ｐ２と基板移載位置Ｐ４との間で収納容器２を昇降移動させるときや基板移載位置Ｐ４において収納容器２を昇降移動させるときに、容器本体４１と蓋部材４２とが擦れ難く、塵埃が発生し難いように構成されている。
ちなみに、係入凹部１２４は、蓋部材４２が受け止め支持体１２３にて支持されたときにおいて蓋部材４２の容器本体４１から離れる側への設定角度以上の自重による揺動を規制する規制部に相当する。

係入凹部１２４における基板移載方向の両側の側面は、下方側ほど基板移載方向において凹部内方側に位置する傾斜面に形成されており、被支持部１１９が係入凹部１２４に係入する際に被支持部１１９が係入凹部１２４に係入し易くなり、受け止め支持体１２３にて蓋部材４２を受け止め支持し易くなるように構成されている。尚、係入凹部１２４の底面の傾斜は側面の傾斜より緩やかな傾斜となっている。

そして、図２５に示すように、蓋着脱手段１２２（受け止め支持体１２３）は、離脱させた蓋部材４２にて基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４における移載対象の基板１より上方の部分を閉じるように、離脱させた蓋部材４２を移載対象の基板１より上方で且つ基板移載方向で基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４に近接する位置に支持するように構成されており、蓋離脱手段１２２にて離脱させた蓋部材４２にて、上昇側基板移載位置Ｐ５と下降側基板移載位置Ｐ６との間で昇降移動する収納容器２の基板出し入れ口４４における移載対象の基板１より上方の部分を閉じている。
つまり、蓋離脱位置Ｐ２は、その蓋離脱位置Ｐ２に位置する収納容器２に装着された蓋部材４２が基板中継ユニット７０の浮上用空気噴出体７１と上下方向視で重複する位置であり、また、蓋離脱位置Ｐ２に位置する収納容器２に装着された蓋部材４２が、基板出し入れ機構７３による基板１の移載や浮上用空気噴出体７１による基板１の浮上を阻害しないように基板中継ユニット７０の上方に基板中継ユニット７０に近接する位置となるように設定されている。
そして、蓋離脱位置Ｐ２に位置する収納容器２に装着された蓋部材４２が基板中継ユニット７０の浮上用空気噴出体７１と上下方向視で重複する位置であることから、容器搬送手段１１１にて蓋離脱位置Ｐ２から鉛直下方に下降移動させて収納容器２を基板移載位置Ｐ４に位置させるだけで、蓋部材４２を容器本体４１から離脱させることができながら、基板移載位置Ｐ４での収納容器２の位置を容器本体４１と基板中継ユニット７０との基板移載方向での間隔を蓋部材４２の基板移載方向（並び方向）での厚みよりも小さくすることができ、基板中継ユニット７０と収納容器２の容器本体４１とを基板移載方向に近接させることができる。これにより、基板中継ユニット７０による収納容器２の容器本体４１に対する基板の移載が行い易いものとなる。

容器搬送手段１１１にて収納容器２を基板移載位置Ｐ４（上昇側基板移載位置Ｐ５以下、下降側基板移載位置Ｐ６以上の位置）に搬送する場合は、まず、スタッカークレーン７にて、収納容器２を基板取り出し方向の下流側に向けて上方位置Ｐ１（図２４（ａ）参照）まで水平移動させた後、収納容器２を上方位置Ｐ１から中間位置Ｐ３（図２４（ｃ）参照）に鉛直下方に下降移動させて、その下降移動途中の蓋離脱位置Ｐ２（図２４（ｂ）参照）において蓋着脱手段１２２にて蓋部材４２を容器本体４１から離脱させ、蓋部材４２を離脱させた収納容器２を昇降手段６１に載置支持させるように卸す。その後、昇降手段６１にて蓋部材４２が離脱した収納容器２を中間位置Ｐ３から基板移載位置Ｐ４に鉛直下方に下降移動させる。
また、容器搬送手段１１１にて収納容器２を基板移載位置Ｐ４（上昇側基板移載位置Ｐ５以下、下降側基板移載位置Ｐ６以上の位置）から搬送する場合は、まず、昇降手段６１にて蓋部材４２が離脱した収納容器２を基板移載位置Ｐ４から中間位置Ｐ３に鉛直上方に上昇移動させる。その後、スタッカークレーン７にて昇降手段６１上の収納容器２を掬い取り、その収納容器２を中間位置Ｐ３から上方位置Ｐ１に鉛直上方に上昇移動させて、その上昇移動途中の蓋離脱位置Ｐ２において蓋着脱手段１２２にて蓋部材４２を容器本体４１に装着させた後、蓋部材４２が装着された収納容器２を基板取り出し方向の上流側に向けて上方位置Ｐ１から水平移動させる。

《別実施形態２》 板状体支持型
以下、別実施形態２を図面に基づいて説明する。
尚、別実施形態２は、被支持部１１９の構成が異なる以外は別実施形態１と同様に構成されているため、別実施形態１と同様の構成については同じ符号をつけて説明は省略し、主に別実施形態１と異なる構成を説明する。

図２７に示すように、蓋部材４２には、蓋本体１１６の上端部における横幅方向両側に蓋本体１１６から横幅方向外方側並びに容器本体側に突出する状態で被支持部１１９が設けられている。
この被支持部１１９は、板状に形成された板状体１２６にて構成されており、その下面は並び方向に沿う水平な平坦面に形成されている。また、被支持部１１９の容器本体側の先端部に被係合部１１５が下方に突出する状態で支持されている。
そして、板状体１２６は、蓋部材４２の重心より上方で且つ重心に対して並び方向の容器本体側から蓋部材側に亘って並び方向に沿う姿勢で設けられている。尚、受け止め支持体１２３における係入凹部１２４の形状は第１実施形態のものと若干異なっているが、底面や側面が傾斜面に形成されている点は第１実施形態のものと同様に構成されている。

よって、係入凹部１２４の底面が上述の如く傾斜面に形成されていること、板状体１２６の下面が並び方向に沿う水平な平坦な面に形成されていること、並びに、蓋部材４２が容器本体４１に横軸心周りに揺動自在に支持されていることから、受け止め支持体１２３にて板状体１２６を受け止め支持するときは、まず、板状体１２６における並び方向の蓋部材側（基板取り出し方向の下流側）の部分が係入凹部１２４の底面に先に接触し、蓋部材４２が容器本体４１に対して相対的に上方に移動するに伴って、蓋部材４２が被係合部１１５を支点として下部が容器本体４１から離れるように揺動し、その後、板状体１２６における並び方向の容器本体側（基板取り出し方向の上流側）の部分が係入凹部１２４の底面に接触して蓋部材４２の上記揺動が規制される。そして、さらに蓋部材４２が容器本体４１に対して相対的に上方に移動するに伴って、被係合部１１５が容器本体４１の係合部１１４から外れ、蓋部材４２が容器本体４１から離脱される。

《別実施形態３》 シリンダ支持型
以下、別実施形態３を図面に基づいて説明する。
尚、別実施形態３は、係合部１１４、被支持部１１９及び蓋着脱手段１２２の構成が異なる以外は別実施形態１と同様に構成されているため、別実施形態１と同様の構成については同じ符号をつけて説明は省略し、主に別実施形態１と異なる構成を説明する。

図２８に示すように、蓋部材４２は、容器本体４１における一端部の上端部分に位置する係合部１１４に並び方向における蓋部材側の斜め上方側から係合して係合部１１４に係合支持される被係合部１１５が設けられている。つまり、蓋部材４２は、蓋部材４２を容器本体４１に対して並び方向における容器本体側の斜め下方に移動させて被係合部１１５を係合部１１４に係合させて蓋部材４２を容器本体４１に装着することができ、蓋部材４２を容器本体４１に対して並び方向における蓋部材側の斜め上方に移動させることにより被係合部１１５を係合部１１４から離脱させて蓋部材４２を容器本体４１から離脱させることができるように構成されている。
このように、蓋部材４２は、容器本体４１に対して並び方向における蓋部材側の斜め上方側から装着自在で且つ並び方向における蓋部材側の斜め上方側へ離脱自在に構成されている。

容器本体４１の係合部１１４は、平面視形状が円形で且つ下方に凹入する形状に形成されており、蓋部材４２に設けられた被係合部１１５に対応した位置に形成されており、上方側ほど大径となるすり鉢状に形成されている。

よって、図２８（ａ）に示すように、蓋部材４２を容器本体４１に装着した状態では、被係合部１１５が係合部１１４に係合することにより、蓋部材４２を容器本体４１に装着した状態において蓋部材４２が容器本体４１に対して水平方向に移動することが規制されている。
また、蓋部材４２を容器本体４１に装着した状態では、被係合部１１５の先端部を球状に形成されていることから、蓋部材４２は、容器本体４１に装着した状態において係合部１１４を中心に横幅方向に沿う横軸心周りに揺動自在となっている。

図２８及び図２９に示すように、蓋部材４２には、蓋本体１１６の横幅方向横側面の夫々に横幅方向内方側に凹入する被支持部１２８が設けられている。
被支持部１２８の形状について説明を加えると、被支持部１２８の底側部分は、横幅方向に同径な円柱形状で、且つ、後述するシリンダ１２９が嵌合するようにその球状に形成された先端部の径よりわずかに大きな径となる大きさに形成されている。また、被支持部１２８の入口側部分は、嵌入されるシリンダ１２９の先端部分１２９ａを底側部分に案内するように、横幅方向内方側が底側部分と同径で外方側ほど小径となる形状に形成されている。
ちなみに、被支持部１２８は、蓋本体１１６の横幅方向横側面の夫々に上下方向に２つ並べて設けられている。

図２９に示すように、蓋着脱手段１２２は、蓋離脱位置Ｐ２に位置する収納容器２における蓋部材４２の被支持部１２８に対応して一対のシリンダ１２９（一方のシリンダ１２９の図示は省略）が上下方向に２組並べて構成されている。一対のシリンダ１２９は、それぞれのロッド部の先端部分１２９ａが互いに遠近移動するように対抗する状態で設けられている。
そして、蓋着脱手段１２２は、図２９（ｂ）に示すように、収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２に位置している状態で一対のシリンダ１２９を突出作動させて先端部分１２９ａを互いに近接させることにより、一対のシリンダ１２９にて蓋部材４２を挟持し、図２９（ａ）に示すように、一対のシリンダ１２９を引退させて先端部分１２９ａを互いに離間させることにより、一対のシリンダ１２９による蓋部材４２に対する挟持を解除するように構成されている。
つまり、一対のシリンダ１２９における先端部分１２９ａが、蓋部材４２を支持する互いに近接させた近接位置と蓋部材４２に対する支持を解除する互いに離間させた離間位置とに横幅方向に沿って互いに遠近移動自在な一対の支持体に相当する。
尚、２組の一対のシリンダ１２９は、門型の支持枠１３０に上下方向に並べて支持されており、この門型の支持枠１３０は、上方位置Ｐ１と基板移載位置Ｐ４とに亘って昇降移動する収納容器２の横幅方向両側及び上方側を囲むように設けられている。

一対のシリンダ１２９の配置位置について説明を加えると、一対のシリンダ１２９は、収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２に位置している状態において突出作動させることにより、被支持部１２８の入口側部分、詳しくは、底側部分に対して並び方向において蓋部側の斜め上方に位置する被接当部分に接当する位置に設けられている。
そして、被支持部１２８の入口側部分が上述した如く形成されることにより、図２８に示すように、収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２に位置している状態において一対のシリンダ１２９における先端部分１２９ａが近接位置に移動するに伴って一対のシリンダ１２９における先端部分１２９ａが接当する蓋部材４２における被接当部分が、シリンダ１２９の先端部分１２９ａの接当によって蓋部材４２を並び方向における蓋部材側の斜め上方に移動させるべく、並び方向における蓋部材側の斜め上方箇所ほど横幅方向の容器外方側に位置する案内面に形成されている。

従って、図２８に示すように、収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２（図３０（ａ）参照）に位置している状態でシリンダ１２９を突出作動させて先端部分１２９ａを近接位置に移動させることにより、シリンダ１２９の先端部分１２９ａが被支持部１２８に係合して、シリンダ１２９にて蓋部材４２を支持することができる。そして、シリンダ１２９にて蓋部材４２を支持することによって、シリンダ１２９の先端部分１２９ａと被支持部１２８の被接当部分とで構成されるカム機構が作用し、蓋部材４２が容器本体４１に対して並び方向における蓋部材側の斜め上方に移動し、蓋部材４２が容器本体４１から離脱される。
また、収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２に位置している状態でシリンダ１２９を引退作動させて先端部分１２９ａを離間位置に移動させることによりシリンダ１２９の先端部分１２９ａが被支持部１２８から離脱して、シリンダ１２９による蓋部材４２の支持を解除することができる。そして、シリンダ１２９にて蓋部材４２に対する支持が解除されることによって、蓋部材４２の被係合部１１５が容器本体４１の係合部１１４の傾斜に沿って案内されて蓋部材４２が容器本体４１に対して並び方向における容器本体側の斜め下方に移動し、蓋部材４２が容器本体４１に装着される。
そして、シリンダ１２９にて支持された蓋部材４２は、容器本体４１に対して並び方向における蓋部材側の斜め上方に位置して容器本体４１から離れた位置に退避しているため、シリンダ１２９にて蓋部材４２が支持された状態で蓋離脱位置Ｐ２と基板移載位置Ｐ４との間で収納容器２を昇降移動させるときや基板移載位置Ｐ４において収納容器２を昇降移動させるときに、容器本体４１と蓋部材４２とが擦れ難く、塵埃が発生し難いように構成されている。

容器搬送手段１１１にて収納容器２を基板移載位置Ｐ４に搬送する場合は、まず、スタッカークレーン７にて、収納容器２を基板取り出し方向の下流側に向けて蓋離脱位置Ｐ２（図３０（ａ）参照）まで水平移動させた後、一対のシリンダ１２９の先端部分１２９ａを近接位置に移動させて蓋離脱位置で停止している容器本体４１から蓋部材４２を離脱させる。その後、蓋部材４２が離脱された収納容器２を蓋離脱位置Ｐ２から中間位置Ｐ３（図３０（ｂ）参照）に鉛直下方に下降移動させて、収納容器２を昇降手段６１に載置支持させるように卸す。その後、昇降手段６１にて収納容器２を中間位置Ｐ３から基板移載位置Ｐ４に鉛直下方に下降移動させる。
また、容器搬送手段１１１にて収納容器２を基板移載位置Ｐ４から搬送する場合は、まず、昇降手段６１にて収納容器２を基板移載位置Ｐ４から中間位置Ｐ３に鉛直上方に上昇移動させる。その後、スタッカークレーン７にて昇降手段６１上の収納容器２を掬い取り、その収納容器２を中間位置Ｐ３から蓋離脱位置Ｐ２に鉛直上方に上昇移動させた後、一対のシリンダ１２９の先端部分を離間位置に移動させて容器本体４１に蓋部材４２を装着させる。その後、蓋部材４２が装着された収納容器２を基板取り出し方向の上流側に向けて蓋離脱位置Ｐ２から水平移動させる。

〔別実施形態〕
（１） 上記各実施形態では、浮上用空気噴出体７１を、空気噴出口９１と誘導曲面９２とを備えて、補助空気噴出体を兼用するように構成したが、取り出し対象の基板１の下面とこの基板１を載置支持する支持板４５の上面との間に向けて空気を噴出するように基板取り出し方向の上流側に向けて空気を噴出する上流用空気噴出口と、浮上用空気噴出体７１の上面と取り出し対象の基板１の下面との間に向けて空気を噴出するように上方に向けて空気を噴出する上方用空気噴出口とを備えて、補助空気噴出体を兼用するように構成してもよい。
また、浮上用空気噴出体７１を、上述した上流用空気噴出口のみを備えて、補助空気噴出体を兼用しないように構成し、浮上用空気噴出体７１の上面と取り出し対象の基板１の下面との間に向けて空気を噴出するように上方に向けて空気を噴出する補助空気噴出口を備えた補助空気噴出体を、浮上用空気噴出体７１とは別に設けてもよい。

（２） 上記各実施形態では、供給用空気噴出体７２を、逆方向用空気噴出口９３と逆方向用誘導曲面９４とを備えて構成し、浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１よりも基板取り出し方向の上流側に位置するように設けたが、供給用空気噴出体７２を、逆方向誘導曲面９４を備えずに逆方向用空気噴出口９３のみを備えて構成し、浮上用空気噴出体７１の空気噴出口９１よりも基板取り出し方向の下流側に位置するように設けてもよい。

（３） 上記各実施形態では、浮上用空気噴出体７１を、その上面が供給用空気噴出体７２の上面よりも下方に位置するように設けたが、浮上用空気噴出体７１を、その上面が供給用空気噴出体７２の上面と同じ高さに位置するように設けてもよく、また、その上面が供給用空気噴出体７２の上面より上方に位置するように設けてもよい。

（４） 上記各実施形態では、空気供給用制御手段（制御装置）Ｈにて、浮上用空気噴出体７１から噴出する空気の噴出量が目標供給量に向けて段階的に多くなるように空気供給手段９５の作動を制御したが、浮上用空気噴出体７１から噴出する空気の噴出量が迅速に目標供給量となるように空気供給手段９５の作動を制御してもよい。

（５） 上記各実施形態では、載置支持搬送手段８８を、送風式支持手段５２にて基板１を非接触状態で支持した状態で推進力付与手段５３にて搬送するように構成したが、送風式支持手段５２を設けず、推進力付与手段５３にて基板１を接触支持した状態で搬送するように構成してもよい。

（６） 上記各実施形態では、収納容器２を昇降自在に支持する昇降手段６１を設けたが、浮上用空気噴出体７１、供給用空気噴出体７２及び基板出し入れ機構７３を昇降自在に支持する昇降装置を設けてもよい。この場合、昇降用制御手段（制御装置）Ｈにて、浮上用空気噴出体７１、供給用空気噴出体７２及び基板出し入れ機構７３を取り出し対象又は収納対象の基板１を載置支持する支持板４５に対応する高さに位置させるべく昇降装置の作動を制御する。

（７） 上記各実施形態では、取り出し手段を、基板出し入れ機構７３として、取り出し対象の基板１の収納容器２からの取り出しと収納対象の基板１の収納容器２への収納とを可能に構成したが、取り出し対象の基板１の収納容器２からの取り出しのみを可能に構成し、取り出し手段とは別に、収納対象の基板１を収納容器２に収納する収納手段を備えてもよい。

（８） 上記各実施形態では、収納容器２の容器本体４１を、前後面が開口する横倒れ姿勢の四角筒状に形成して、左右面と上下面とを閉口させることにより左右面側及び上下面側から空気の排出を不可能な構成としたが、収納容器２の容器本体４１を、前後面、上下面及び左右面の夫々が開口する枠組み形状に形成して、左右面と上下面とを開口させることにより左右面及び上下面側から空気の排出を可能な構成としてもよい。
上記実施形態では、収納容器２に蓋部材４２とファンフィルタユニット４３とを備えさせたが、蓋部材４２とファンフィルタユニット４３とのうちの一方又は両方を備えなくてもよい。

（９） 上記各実施形態では、プレス加工により突起部４８を形成したが、インク等の塗料を支持板４５の上面に噴射させて突起部４８を形成する等、支持板４５の上面に印刷することにより突起部４８を形成してもよく、また、別体の突起部材を支持用基板４７の上面に貼付することにより突起部４８を形成してもよい。

（１０） 上記各実施形態では、複数の浮上用空気噴出体７１と複数の供給用空気噴出体７２とを、横幅方向の両端に浮上用空気噴出体７１が位置する状態で横幅方向に交互に一列に並べたが、複数の浮上用空気噴出体７１と複数の供給用空気噴出体７２との並べ方を適宜変更してもよい。
つまり、例えば、浮上用空気噴出体７１及び供給用空気噴出体７２の一方又は両方を２つ又は３つ以上横幅方向に連続する状態に並べてもよく、また、横幅方向の一端又は両端に供給用空気噴出体７２が位置する状態で並べてもよい。

（１１） 上記各実施形態では、スタッカークレーン７にて収納容器２を上方位置Ｐ１と中間位置Ｐ３との間で鉛直方向に昇降移動させる間に収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２を通過するように蓋離脱位置Ｐ２を設定したが、図３１に示すように、昇降手段６１にて収納容器２を中間位置Ｐ３と基板移載位置Ｐ４との間で鉛直方向に昇降移動させる間に収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２を通過するように蓋離脱位置Ｐ２を設定してもよい。
この場合、昇降手段６１が、収納容器２を載置支持して収納容器２を蓋離脱位置Ｐ２より上方の上方位置Ｐ１から基板移載位置Ｐ４に下降移動させる支持下降台に相当し、スタッカークレーン７が、収納容器２を支持下降台に載置させるべく収納容器２を上方位置Ｐ１に搬送する予備搬送手段に相当するものである。ちなみに、スタッカークレーン７は、収納容器２を水平方向に沿って基板取り出し方向の下流側に移動させて収納容器２を上方位置より上方の上端位置Ｐ０（図３１（ａ）参照）に水平移動させた後、収納容器２を上端位置Ｐ０から上方位置Ｐ１（図３１（ｂ）参照）に鉛直下方に下降移動させて、収納容器２を昇降手段６１に載置支持させるように降ろす。
ちなみに、上記各実施形態において、スタッカークレーン７にて、収納容器２を基板取り出し方向の下流側に向けて移動させながら上方位置Ｐ１まで下降移動させてもよい。

（１２） 上記各実施形態では、容器搬送手段１１１を、収納容器２を上方位置Ｐ１又は蓋離脱位置Ｐ２から中間位置Ｐ３まで鉛直下方に下降移動させるスタッカークレーン７と、収納容器２を中間位置Ｐ３から基板移載位置Ｐ４まで鉛直下方に下降移動させる昇降手段６１とで構成したが、容器搬送手段１１１を、収納容器２を上方位置Ｐ１又は蓋離脱位置Ｐ２から基板移載位置Ｐ４まで鉛直下方に下降移動させるスタッカークレーン７にて構成してもよい。

（１３） 上記各実施形態では、蓋離脱手段１２２を、離脱させた蓋部材４２にて基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４における移載対象の基板１より上方の部分を閉じるように、離脱させた蓋部材４２を通過する移載対象の基板１より上方で且つ基板移載方向で基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４に近接する位置に支持するように構成したが、蓋離脱手段１２２を、離脱させた蓋部材４２にて基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４を閉じないように、基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２より上方、又は、基板移載方向で基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４に離間する位置に支持するように構成してもよい。
また、基板移載位置Ｐ４に位置する収納容器２の基板出し入れ口４４における移載対象の基板１より下方の部分を閉じる固定蓋１２１を設けたが、この固定蓋１２１を設けなくてもよい。

（１４） 上記各実施形態では、容器本体における一端部の上面に下方に凹入する被係合部を備えて、蓋部材を容器本体における上端部に係合するように構成したが、容器本体における横側部に横外方に突出する被係合部を備えて、蓋部材を容器本体における横側部に係合するように構成してもよい。

（１５） 上記各実施形態では、基板中継ユニット７０と基板移載位置Ｐ４の収納容器２とのうちの基板移載位置Ｐ４の収納容器２を昇降移動させて、収納容器２における移載対象の基板１を支持する支持板４５を基板中継ユニット７０に対応する高さに位置させたが、基板中継ユニット７０と基板移載位置Ｐ４の収納容器２とのうちの基板中継ユニット７０を昇降移動させて、収納容器２における移載対象の基板１を支持する支持板４５を基板中継ユニットに対応する高さに位置させてもよい。

（１６） 上記各実施形態では、基板の形状を、液晶ディズプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等の矩形状の基板としたが、ＩＣチップに使用される半導体ウェハ等の円形状の基板等、使用される用途や基板の形状は適宜変更可能である。

（１７） 上記第１実施形態では、被支持部１１９を構成する２つの回転体１２０を、径を同じ大きさに形成し且つ各回転体１２０の回転軸心を同じ高さとなる状態で、並び方向に並べて設けて、２つの回転体１２０の下端の高さを同じ高さとしたが、蓋部材側に位置する回転体１２０の下端の高さが容器本体側に位置する回転体１２０の下端の高さより低くなるようにしてもよい。
つまり、被支持部１１９を構成する２つの回転体１２０を、図３２（ａ）に示すように、径を同じ大きさに形成し且つ並び方向の蓋部材側に位置する回転体１２０を並び方向の容器本体側に位置する回転体１２０の高さより低い高さとなる状態で、並び方向に並べて設けてもよく、また、図３２（ｂ）に示すように、並び方向の蓋部材側に位置する回転体１２０を並び方向の容器本体側に位置する回転体より大径に形成し且つ各回転体１２０の回転軸心を同じ高さとなる状態で、並び方向に並べて設けてもよい。
このように構成した場合でも、上記第１実施形態と同様に、収入容器２が下降移動して受け止め支持体１２３にて２つの回転体１２０を受け止め支持するときは、まず、並び方向の蓋部材側の回転体１２０が係入凹部１２４の底面に先に接触して蓋部材４２が揺動し、その後、並び方向の容器本体側の回転体１２０が係入凹部１２４の底面に接触して蓋部材４２の揺動が規制される。
ちなみに、係入凹部１２４の底面の形状は、並び方向の蓋部材側の回転体１２０が容器本体側の回転体１２０より先に係入凹部１２４の底面に接触する形状であればよく、水平面に形成する等、係入凹部１２４の底面の形状は適宜変更可能である。

（１８） 上記第１及び第２実施形態では、複数の回転体１２０を並び方向に並べた状態で蓋部材４２に設ける又は板状体１２６を並び方向に沿う姿勢で蓋部材４２に設けることにより、被支持部１１９を並び方向に沿う状態で蓋部材４２に設けたが、図３３（ａ）に示すように、複数の回転体１２０を上下方向に並べた状態で蓋部材４２に設ける、又は、図３４（ａ）に示すように、板状体１２６を上下方向に沿う姿勢で蓋部材４２に設けることにより、被支持部１１９を上下方向に沿う状態で蓋部材４２に設けてもよい。
そして、このように被支持部１１９を上下方向に沿う状態で蓋部材４２に設けた場合、図３３（ｂ）及び図３４（ｂ）に示すように、係入凹部１２４の入口側部分における基板移載方向の両側の側面を、下方側ほど基板移載方向において内方側に位置する傾斜面に形成し、係入凹部１２４の底側部分における基板移動方向の両側の側面を、入口側部分下端から鉛直下方に延びる鉛直面に形成する。そして、蓋部材４２が容器本体４１から離脱される際に、被支持部１１９を係入凹部１２４の鉛直下方に凹入する底側部分に嵌合させるようにして被支持部１１９の傾きを規制することによって、蓋部材４２の並び方向に沿う揺動を抑制することができる。
ちなみに、図示はしないが、係入凹部１２４の底側部分における基板移載方向の両側の側面を、入口側部分下端から斜め下方に伸びる傾斜面に形成して、蓋部材４２が容器本体４１から離脱される際に、被支持部１１９を係入凹部１２４の斜め下方に凹入する底側部分に嵌合させるようにして、受け止め支持体１２３にて受け止め支持した蓋部材４２を、下部側ほど容器本体４１から離れる傾いた姿勢とするように構成してもよい。

（１９） 上記第１及び第２実施形態では、並び方向に沿う蓋部材４２の揺動を規制した状態で、係入凹部１２４にて被支持部１１９を受け止め支持するように構成したが、例えば被支持部１１９を１つの回転体１２０にて構成する等、並び方向に沿う蓋部材４２の揺動を規制しない状態で、係入凹部１２４にて被支持部１１９を受け止め支持するように構成してもよい。
ちなみに、上述の如く構成した場合でも、蓋部材４２を容器本体４１に装着した状態において、係入凹部１２４にて被支持部１１９を受け止め支持されたときの蓋部材４２の揺動軸心を蓋部材４２の重心より並び方向の蓋部材側となるように設定することによって、係入凹部１２４にて被支持部１１９を受け止め支持したときに、蓋部材４２を下部側ほど容器本体４１から離れるように傾けることができる。

１ 基板
２ 収納容器
８ 基板搬送設備
４１ 容器本体
４２ 蓋部材
４４ 開口
４５ 支持板
６１ 昇降手段
７１ 浮上用空気噴出体
７１ 補助空気噴出体
７２ 供給用空気噴出体
７３ 取り出し手段
８８ 載置支持搬送手段
９１ 空気噴出口
９２ 誘導曲面
９３ 逆方向用空気噴出口
９４ 逆方向用誘導曲面
９５ 空気供給装置
１２１ 固定蓋
１２２ 蓋離脱手段
Ａ 容器隣接箇所
Ｈ 空気供給用制御手段
Ｈ 昇降用制御手段

Claims (11)

1. 矩形状の基板を載置支持する複数の支持板が上下方向に間隔を隔てた状態で並設された収納容器と、
   前記複数の支持板のうちの前記収納容器から取り出す取り出し対象の基板を支持する前記支持板における基板取り出し方向の下流側端部に隣接する容器隣接箇所に配設されて、前記取り出し対象の基板の下面とこの基板を載置支持する前記支持板の上面との間に空気を噴出する浮上用空気噴出体と、
   前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により前記支持板から浮上した前記取り出し対象の基板を前記浮上用空気噴出体の上方を通過させる状態で前記収納容器から取り出す取り出し手段とが設けられている基板搬送設備であって、
   前記浮上用空気噴出体の上面と前記取り出し手段にて取り出される前記取り出し対象の基板の下面との間に向けて空気を噴出する補助空気噴出体が設けられている基板搬送設備。
2. 前記浮上用空気噴出体が、上方に向けて空気を噴出する空気噴出口と、この空気噴出口の基板取り出し方向の上流側端部から上方側に伸びる形状に形成されて前記空気噴出口から上方に向けて噴出された空気を前記浮上用空気噴出体の上面に沿って収納容器側に向けて水平方向に流動するように誘導する誘導曲面とを備えて、前記補助空気噴出体を兼用するように構成されている請求項１記載の基板搬送設備。
3. 前記容器隣接箇所において前記空気噴出口よりも基板取り出し方向の下流側に空気を供給する供給用空気噴出体が設けられている請求項２記載の基板搬送設備。
4. 前記浮上用空気噴出体が、基板取り出し方向と交差する横幅方向に間隔を隔てた状態で複数並設され、
   前記供給用空気噴出体が、前記横幅方向で前記浮上用空気噴出体の間に配設され、且つ、上方に向けて空気を噴出する逆方向用空気噴出口と、この逆方向用空気噴出口よりも上方側でかつ基板取り出し方向の下流側に位置して前記逆方向用空気噴出口から上方に向けて噴出された空気を前記供給用空気噴出体の上面に沿って収納容器側とは反対側に向けて水平方向に流動するように誘導する逆方向用誘導曲面とを備えて構成されている請求項３記載の基板搬送設備。
5. 前記浮上用空気噴出体が、その上面が前記供給用空気噴出体の上面よりも下方に位置するように設けられている請求項４記載の基板搬送設備。
6. 前記浮上用空気噴出体に供給する空気の供給量を調整自在な空気供給装置と、前記浮上用空気噴出体から噴出する空気の噴出量が目標供給量に向けて段階的に多くなるように前記空気供給装置の作動を制御する空気供給用制御手段とが設けられている請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
7. 前記取り出し手段にて取り出された前記基板を受け取り且つ受け取った前記基板の下面に向けて空気を供給して前記基板を非接触状態で支持した状態で搬送する支持搬送手段が設けられている請求項１〜６のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
8. 前記収納容器を昇降自在に支持する昇降手段と、前記取り出し対象の基板を載置支持する前記支持板を前記浮上用空気噴出体及び前記取り出し手段に対応する取り出し用高さに位置させるべく前記昇降手段の作動を制御する昇降用制御手段とが設けられている請求項１〜７のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
9. 前記取り出し手段が、前記収納容器に収納する収納対象の基板を前記浮上用空気噴出体の上方を通過させる状態で且つ前記浮上用空気噴出体による空気の噴出により前記支持板から浮上させた状態で前記収納容器に収納可能に構成されている請求項１〜８のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
10. 前記収納容器が、横倒れ姿勢の筒状に形成されてその一端部に基板取り出し用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体と、前記容器本体に対して着脱自在で前記容器本体に装着した状態において前記開口の全面を閉じる蓋部材とを備えて構成され、
    前記蓋部材を前記収納容器から離脱させる蓋離脱手段が設けられている請求項１〜９のいずれか１項に記載の基板搬送設備。
11. 前記浮上用空気噴出体、前記取り出し手段及び前記補助空気噴出体が、位置固定状態に設けられ、
    前記収納容器を昇降自在に支持する昇降手段と、
    前記取り出し対象の基板を載置支持する前記支持板を前記浮上用空気噴出体及び前記取り出し手段に対応する取り出し用高さに位置させるべく前記昇降手段の作動を制御する昇降用制御手段とが設けられ、
    前記蓋離脱手段が、前記蓋部材にて前記収納容器の前記開口における前記取り出し対象の基板より上方の部分を閉じるように、前記離脱させた前記蓋部材を前記取り出し対象の基板より上方で且つ前記基板取り出し方向で前記収納容器の前記開口に近接する位置に支持するように構成され、
    前記収納容器の前記開口における前記基板取り出し対象の基板より下方の部分を閉じるように、前記取り出し対象の基板より下方で且つ前記基板取り出し方向で前記収納容器の前記開口に近接する位置に固定蓋が位置固定状態で設けられている請求項１０記載の基板搬送設備。

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