CN102452554A

CN102452554A - 物品输送车

Info

Publication number: CN102452554A
Application number: CN2011103192620A
Authority: CN
Inventors: 铃木亨; 加藤有美子
Original assignee: ASYST TECHNOLOGIES
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2010-10-19
Filing date: 2011-10-13
Publication date: 2012-05-16
Also published as: JP2012089645A

Abstract

本发明提供一种物品输送车，在清洁度低的环境下输送物品时能够以简单的结构无污染且迅速地移载物品。物品输送车(4)能够输送盒(C)。物品输送车具备能够载置盒的物品载置部(15)和罩部件(17)。罩部件覆盖物品载置部。罩部件具有开口(30)、取入口(32)、第一吹出口(34)以及吸入口(36)。开口能够供盒出入。取入口能够取入外部的空气。第一吹出口设置于开口的行进方向前侧，能够以覆盖开口表面的方式将从取入口取入的空气吹出。吸入口设置于开口的行进方向后侧，通过第二FFU(44)而能够吸入从第一吹出口吹出的空气。

Description

物品输送车

技术领域

本发明涉及一种输送车，特别是能够对收纳有基板的盒等物品进行输送的物品输送车。

背景技术

以往，在清洁度比收纳于盒(物品的一例)的液晶基板等基板所要求的清洁度低的空间内输送物品的物品输送车中，在装货台设置有罩(例如参照专利文献1)。在现有的物品输送车的罩上，在与处理装置之间交接物品的开口处设置有能够开闭的挡板。并且，将使空气朝向处理装置而喷出空气的第一空气喷出单元设置于开口的周围。进而，将喷出下冲空气(down flow air)的第二空气喷出单元设置于开口的上缘部。在现有的物品输送车中，在到达处理装置之前，由第一空气喷出单元及第二空气喷出单元喷出空气，为使污染了的空气不进入开口的周围而开启挡板。由此，当到达处理装置时能够立刻移载物品，从而能够缩短移载时间。

[专利文献1]日本特开2004-60955号公报

在所述现有的结构中，由于在到达处理装置之前开启挡板，因此能够在与处理装置之间迅速地移载盒。然而，由于将挡板及2个空气喷出单元设置于开口，因而物品输送车的结构变得复杂。

发明内容

本发明的课题在于，对于在清洁度低的环境下输送物品的物品输送车，形成为能够以简单的结构无污染且迅速地移载物品。

以下，作为用于解决本课题的方法而对多种方式进行说明。能够根据需要任意地组合这些方式。

本发明的一种观点所涉及的物品输送车是能够输送物品的物品输送车，该物品输送车具备物品载置部和罩部件。物品载置部能够载置物品。罩部件覆盖物品载置部。罩部件具有取入口、第一吹出口、吸入口以及至少一个开口。至少一个开口能够供物品出入。取入口设置于外侧面，能够取入外部的空气。第一吹出口设置于开口的行进方向前侧，能够以覆盖开口的表面的方式吹出从取入口取入的空气。吸入口设置于开口的行进方向后侧，能够通过吸入风扇吸入从第一吹出口吹出的空气。

在该物品输送车中，在物品载置部载置例如能够收纳多块玻璃基板的盒等物品。物品载置部被罩部材覆盖。罩部件具有能够供物品出入的至少一个开口。经由该开口能够与处理装置进行物品的交接。在该开口的行进方向前侧设置有第一吹出口，该第一吹出口以覆盖开口表面的方式吹出从取入口取入的空气。并且，在开口的行进方向后侧设置有通过吸入风扇将吹出的空气吸入的吸入口。由此，通过积极地将吹出的空气吸入而能够提升空气阀的能力。因此，即使不在该开口设置机械式的挡板，空气也难以从罩部件的外部经由开口流入内部的物品载置部。由此，即使在清洁度低的环境下输送物品，也能够以简单的结构无污染且迅速地移载物品。

罩部件还可以具有：第二吹出口，该第二吹出口通过吸入风扇而能够将从吸入口吸入的空气向物品载置部吹出；以及过滤器，该过滤器配置于吸入口和第二吹出口之间。由此，能够对由吸入风扇吸入的空气利用过滤器提升清洁度之后向物品载置部吹出该空气。因此，能够利用吸入的空气对载置于物品载置部的物品进行净化。

罩部件还可以具有设置于开口的行进方向后部的空气卷入防止部。由此，能够防止在输送车停止时因惯性而从后方流入的已被污染的空气的卷入。因此，难以产生因卷入流引起的空气阀的流动的混乱。

根据本发明，在开口的行进方向后侧，设置有由吸入风扇将吹出的空气吸入的吸入口。由此，通过积极地将吹出的空气吸入能够提升空气阀的能力。因此，即使不在该开口设置机械式的挡板，空气也难以从罩部件的外部经由开口流入内部的物品载置部。由此，即使在清洁度低的环境下输送物品，也能够以简单的结构无污染且迅速地移载物品。

附图说明

图1是基于本发明的一实施方式的物品输送车行进的输送系统的俯视图。

图2是物品输送车的侧视图。

图3是物品输送车的立体图。

图4是图2的IV-IV剖视图。

图5是其它实施方式的与图4相当的剖视图。

图中标号说明：

1...输送系统；2...轨道；4...物品输送车；8...交接部；11...行进轨；12...行进引导件；15...物品载置部；16...行进部；17...罩部件；17a...物品收纳空间；17b...前壁；17c...后壁；20...行进框架；22...驱动台车；22a...驱动轮；24...从动台车；24a...从动轮；25...外侧引导滚轮；30...开口；31...空气侵入防止部；32...取入口；33...空气卷入防止部；34...第一吹出口；36...吸入口；38...第二吹出口；40...第一FFU；42...第一管道；44...第二FFU；46...第二管道；104...物品输送车；115...物品载置部；117...罩部件；117d...中间壁；138...第二吹出口；148...第三管道。

具体实施方式

(1)输送系统

如图1所示，输送系统1例如为在包括多个处理装置、输入口及输出口的多个工位的交接部8之间输送作为收纳有多块大型玻璃基板S(参照图2)的物品的盒C(参照图2)的装置。输送系统1具备轨道2和物品输送车4。轨道2悬吊于顶壁。轨道2的周围是例如清洁度为FED209D的等级1000左右的浮游微粒较多的空间。

轨道2例如为椭圆形的环形，物品输送车4在轨道2上如白色箭头所示地顺时针行进。轨道2具有2个行进轨11和2个与行进轨11一体形成的行进引导件12。行进轨11具有平坦面，行进引导件12从行进轨11的外侧端向上方延伸而形成。交接部8配置于环形的轨道2的外周侧。在交接部8设置有图未示的水平多关节型(SCARA type)的移载装置，能够出入载置于物品输送车4的盒C。

(2)物品输送车

如图2、图3及图4所示，物品输送车4具有能够载置盒C的物品载置部15、行进部16以及罩部件17。

(2-1)物品载置部

物品载置部15设置于在罩部件17的内部形成的物品收纳空间17a。在该实施方式中，虽然物品载置部15设置于罩部件17的内部，但是也可以设置于行进部16上。

(2-2)行进部

行进部16具有行进框架20、在行进框架20的下面配置的驱动台车22、从动台车24。驱动台车22及从动台车24为转向台车。驱动台车22具有分别被电机驱动的左右一对驱动轮22a。从动台车24具有左右一对从动轮24a。在驱动轮22a及从动轮24a的前后左右分别设置有以隔着轨道2的行进引导件12的方式配置的外侧引导滚轮25和内侧引导滚轮(未图示)。内侧引导滚轮固定，外侧引导滚轮25能够在与行进引导件12接触的引导位置和从引导位置向上方分离的后退位置之间摆动。由此，控制分支/汇合等。

(2-3)罩部件

罩部件17为大致矩形箱状的部件。罩部件17具有能够供盒C出入的开口30、取入口32、第一吹出口34、吸入口36以及第二吹出口38。

开口30形成于罩部件17的行进方向外侧的侧面。开口30以能够使物品收纳空间17a整体向外侧露出的大小形成为矩形。

在开口30的上下方，遍及开口30的行进方向的整个长度且从开口30向侧方突出地形成空气侵入防止部31，该空气侵入防止部31用于避免空气在行进中从开口30侵入物品载置部15。空气侵入防止部31为向后方倾斜的呈大致平行四边形形状的板状部件。在空气侵入防止部31的后部，形成有在物品输送车4停止时用于防止从后方卷入空气的空气卷入防止部33。空气卷入防止部33以将上下的空气侵入防止部31的后部连接的方式从开口30的后部向后方倾斜配置。

取入口32具有设置于罩部件17的行进方向的前侧面的例如4个第一FFU(Fan Filter Unit；风扇过滤网组)40。4个第一FFU40例如上下左右地各并列配置2个，取入并过滤外部的空气。取入口32与第一吹出口34连接。为了将取入口32和第一吹出口34连接，在第一FFU40和第一吹出口34之间，设置有将第一FFU40取入的空气向第一吹出口34引导的第一管道42。第一管道42由物品载置部15和前壁17区划形成。

第一吹出口34以上下细长狭缝的形态形成于开口30的行进方向前侧。第一吹出口34能够以覆盖开口30的表面的方式将从取入口32取入的空气平面状地吹出。

吸入口36以上下细长狭缝的形态形成于开口30的行进方向后侧。吸入口36与将从第一吹出口34吹出的面状的空气吸入的例如4个第二FFU44相连接。4个第二FFU44例如上下左右地各并列配置2个。在吸入口36和第二FFU44之间设置有用于通过第二FFU44的风扇来吸入空气的第二管道46。第二管道46以沿着罩部件17的后壁17c的内侧面的方式形成。

为了将从吸入口36吸入的空气净化后从后方向物品载置部15吹出而设置有第二吹出口38。从第二吹出口38吹出的空气充满物品载置部15，一部分从开口30流向罩部件17的外部，进而一部分再次被吸入口36吸入。第二吹出口38具有第二FFU44。第二FFU44具有在吸入口36吸入空气的功能以及将吸入的空气利用过滤器净化后向物品载置部15吹出的功能。

(3)物品输送车的动作

在输送系统1中，若收到输送盒C的请求，则使物品输送车4向所期望的工位的交接部8移动。若物品输送车4被接通电源，则第一FFU40及第二FFU44立刻运转。无论是否输送盒C，第一FFU40及第二FFU44始终运转。若第一FFU40及第二FFU44运转，则外部的空气从取入口32被取入，进而该空气以覆盖开口30的表面的方式从第一吹出口34呈膜状地吹出。吹出的空气被第二FFU44的风扇经由吸入口36强制地吸入，从而空气阀的能力提高。由此，外部的空气难以从开口30流入物品载置部15。

并且，在开口30的上下设置有空气侵入防止部31。由此，在行进中空气难以从开口30的上下侵入开口30，并且从第一吹出口34吹出的空气也难以向开口30的上下方向逸散。

由吸入口36吸入的空气被第二FFU44的过滤器净化，并从构成第二吹出口38的第二FFU44的风扇向物品载置部15吹出。被吹出的空气充满物品载置部15，将附着于盒C及玻璃基板的异物去除。并且，一部分从开口30向外部流出。进而，一部分从吸入口36被吸入。

若物品输送车4到达所期望的工位的交接部8后并停止，则因惯性会产生来自物品输送车4的后方的空气的流动。然而，在开口30的后部形成有空气卷入防止部33，以从后方卷入的方式向前方移动的空气因空气卷入防止部33而向后方回返，变得难以到达开口30。由此，被污染的空气在停止时难以从开口30侵入物品载置部15。若停止结束，则由交接部8的移载装置卸载或装载盒C，向下一个工位的交接部8移动。

(4)特征

上述实施方式可以表述如下。

(A)物品输送车4能够输送作为物品的盒C。物品输送车4具备物品载置部15及罩部件17。物品载置部15能够载置盒C。罩部件17覆盖物品载置部15。罩部件17具有取入口32、第一吹出口34、吸入口36以及至少一个开口30。至少一个开口30能够供盒C出入。取入口32设置于罩部件17的外侧面，能够取入外部的空气。第一吹出口34设置于开口30的行进方向前侧，能够以覆盖开口30表面的方式将从取入口32取入的空气吹出。吸入口36设置于开口30的行进方向后侧，能够由第二FFU44(吸入风扇的一例)吸入从第一吹出口34吹出的空气。

在该物品输送车中，例如能够收纳多块玻璃基板的盒C物品载置于物品载置部15。物品载置部15被罩部材17覆盖。罩部件17具有能够供盒C出入的至少一个开口30。经由该开口能够与处理装置的交接部8进行盒C的交接。在开口30的前侧设置有第一吹出口34，该第一吹出口34将从取入口32被取入的空气以覆盖开口30的表面的方式吹出。并且，在开口30的后侧设置有由第二FFU44将吹出的空气吸入的吸入口36。由此，通过积极地将吹出的空气吸入能够提升空气阀的能力。因此，即使在开口30不设置机械式的挡板，空气也难以从罩部件17的外部经由开口30流入内部的物品载置部15。由此，即使在清洁度低的环境下输送盒C，也能够以简单的结构无污染且迅速地移载盒C。

(B)罩部件17还具有：第二吹出口38，该第二吹出口38能够将从吸入口36吸入的空气向物品载置部15吹出；以及第二FFU44(过滤器的一例)，该第二FFU44配置于吸入口36和第二吹出口38之间。由此，能够在对由第二FFU44吸入的空气提升清洁度之后向物品载置部15吹出。因此，能够利用吸入的空气对载置于物品载置部15的盒C进行净化。

(C)罩部件17还具有设置于开口30的行进方向后部的空气卷入防止部33。由此，能防止在物品输送车4停止时因惯性而从后方流入的已被污染的空气的卷入。因此，难以产生因卷入流引起的空气阀的流动的混乱。

(5)其它实施方式

以上，对本发明的一实施方式进行了说明，但是本发明并不局限于上述实施方式，在不脱离本发明主旨的范围内能够进行各种变更。特别地，能够根据需要对本说明书所记载的多种实施方式及变形例进行任意的组合。

(a)虽然在所述实施方式中将物品输送车4的第二吹出口38兼用作第二FFU44并设置于物品载置部15的后部，并且从物品载置部15的后方吹出空气，但是本发明并不局限于此。

在图5中，将物品输送车104的罩部件117的第二吹出口138设置于物品载置部115的右侧部。另一方面，第二FFU44的位置与所述实施方式相同。因此，设置有用于将第二FFU44和第二吹出口138连接的第三管道148。第三管道148由物品载置部115和中间壁117d区划而成。由此，能够从物品载置部115的右方朝开口30吹出空气，物品载置部115的空气的流动变得顺畅。

另外，也可以在物品载置部115的右方设置第二FFU44。在该情况下，罩部件的左右方向的长度(宽度)变大，输送系统的设置面积增大。

(b)虽然在所述实施方式中仅在罩部件17的单侧设置了开口30，但是本发明并不局限于此。例如，可以在罩部件的两侧设置开口，并在左右的开口设置第一吹出口以及吸入口。

(c)虽然在所述实施方式中使通过第一FFU40吸入的空气全部流向第一吹出口，但是也可以使一部分流向物品载置部。

(d)虽然在所述实施方式中将物品载置部15设置于罩部件17的内部，但是也可以设置于行进部16。

产业上的可利用性

本发明能够广泛应用于具有罩部件的物品输送车。

Claims

1.一种物品输送车，其能够输送物品，其中，

该物品输送车具备：

能够载置所述物品的物品载置部；以及

覆盖所述物品载置部的罩部件，

所述罩部件具有：

能够供所述物品出入的至少一个开口；

设置于所述罩部件的外侧面并能够取入外部的空气的取入口；

第一吹出口，该第一吹出口设置于所述开口的行进方向前侧，能够以覆盖所述开口的表面的方式吹出从所述取入口取入的空气；以及

吸入口，该吸入口设置于所述开口的所述行进方向后侧，通过吸入风扇而能够吸入从所述第一吹出口吹出的空气。

2.根据权利要求1所述的物品输送车，其中，

所述罩部件还具有：

第二吹出口，该第二吹出口通过所述吸入风扇而能够将从所述吸入口吸入的空气向所述物品载置部吹出；以及

过滤器，该过滤器配置于所述吸入口和所述第二吹出口之间。

3.根据权利请求1或2所述的物品输送车，其中，

所述罩部件还具有设置于所述开口的行进方向后部的空气卷入防止部。