CN112309931B - 具备行驶及引导功能的行驶轨道及利用其的托盘移送系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及具备行驶及引导功能的行驶轨道，用于工序间基板移送的具备行驶及引导功能的行驶轨道，在用于移送基板的托盘移送系统中交叉地形成有多个，所述具备行驶及引导功能的行驶轨道包括：作为上部端面的平坦的轨道垫、向所述轨道垫的左右侧下方倾斜的轨道倾斜部、从所述轨道倾斜部延长而由槽部构成的异物承接部。因此，本发明的具备行驶及引导功能的行驶轨道由此同时具备行驶与引导功能的结构，滚轮单元沿着轨道倾斜部稳定地行驶，从而具有可以防止滚轮单元从行驶轨道脱离的效果。

Description

具备行驶及引导功能的行驶轨道及利用其的托盘移送系统
技术领域
本发明涉及托盘移送系统中具备行驶及引导功能的行驶轨道及利用其的托盘移送系统，更详细而言，涉及一种具备行驶及引导功能的行驶轨道及利用其的托盘移送系统，滚轮单元连结于用于工序间的基板移送的托盘，具备相对于水平面倾斜地附着的引导滚轮，滚轮单元安放于具有倾斜端面的行驶轨道，在托盘行驶期间，引导滚轮单元的移动，能够防止引导滚轮从行驶轨道脱离。
背景技术
一般而言，为了制造半导体元件而执行扩散、蚀刻、光刻及清洁工序等。这种各个工序应与之前工序衔接，在各工序完成后，移送到下个工序。
现有的滚轮式基板移送装置具备多个轴(shaft)，在各个轴上按均等间隔固定安装有多个滚轮(roller)，移送基板，具备用于转换基板移送方向的转移(diverting)单元等，移送基板。轴从诸如电动机等的动力发生装置接受传递动力而旋转，由此使滚轮旋转。滚轮与基板的下部直接接触，支撑基板，接受传递轴的旋转力而旋转，从而移送基板。
作为利用这种滚轮式转移装置的基板移送装置的相关技术的一个示例，在下述专利文献1中提出了“大型基板搬送系统及其搬送方法”，在下述专利文献2中提出了“基板移送装置”，在下述专利文献3中提出了“基板移送装置”，在下述专利文献4中提出了“移送系统”，在下述专利文献5中提出了“基板移送装置及利用其的基板处理装置”。
但是，这种现有的转移装置为了从外部加载基板、竖直/水平移动及转换方向，具备具有互不相同大小的多个滚轮或多个移送框架、多个顶升销、多个驱动部。因此，存在其结构和驱动方法非常复杂、移送基板耗时长的缺点。
另外，存在在转移装置的滚轮上升而支撑基板并移送的过程中发生冲击及振动，导致基板发生损伤或瑕疵的缺点。
为了解决上述问题，提出了由本发明申请人申请并获授权的专利文献6的韩国授权专利10-1960679号。
图1是现有技术的托盘移送系统的立体图，图2A是现有技术的滚轮单元的立体图，图2B是显示现有技术的滚轮单元与行驶轨道的剖面图。
根据作为现有技术的韩国授权专利10-1960679号，如图1及图2A、图2B所示，托盘移送系统1包括：托盘10，所述托盘10附着有滚轮单元15；行驶轨道16，所述行驶轨道16配置于框架20上，以便所述托盘10能够行驶。
根据现有技术，如图2A、图2B所示，滚轮单元15的行驶滚轮15-1沿着行驶轨道16的上部平坦面16-1旋转行驶，在此基础上，为了保持稳定的行驶结构，配备轨道隔壁16-3，使得滚轮单元15的引导轮15-2沿着行驶轨道16的侧壁面16-2旋转行驶，防止所述引导轮15-2脱离，并包括异物承接槽15-4，所述异物承接槽16-4用于承接借助于所述滚轮单元15的引导轮15-2而清扫、掉落的异物质。
但就所述现有技术而言，滚轮单元15的引导轮15-2配置于行驶轨道16的侧壁面16-2与轨道隔壁16-3之间，在这种结构下，由于间隙导致的隔开距离S而左右晃动，依然存在因此而发生振动和噪声的问题。
即，在现有技术的滚轮单元15附着并行驶的情况下，因所述滚轮单元15的引导轮15-2与行驶轨道间的间隙而发生隔开距离S，不仅在所述间隙空间上产生异物质，而且托盘10本身也发生左右晃动，因振动而产生噪声，另外，在移送途中借助于特定检查装备而进行检查时，发生将全体托盘10提升到上部后放下的分离工序，在这种情况下，存在所述滚轮单元15与行驶轨道16之间发生干扰等问题。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：韩国授权专利公报第10-0661907号(公告日期2006年12月28日)
专利文献2：韩国授权专利公报第10-0834734号(公告日期2008年6月5日)
专利文献3：韩国授权专利公报第10-1427595号(公告日期2014年8月8日)
专利文献4：韩国公开专利公报第10-2010-81153号(公布日2010年07月14日)
专利文献5：韩国授权专利公报第10-1367669号(公告日期2014年3月3日)
专利文献6：韩国授权专利公报第10-1960679号(公告日期2019年3月21日)
发明内容
本发明正是为了解决如上所述问题而发明的，其目的在于提供一种具备行驶及引导功能的行驶轨道，根据本发明的具备行驶及引导功能的行驶轨道，附着于托盘的滚轮单元可以安放于本发明的行驶轨道的倾斜端面行驶，因而能够防止空间上的隔阂或干扰等。
另外，其目的在于，附着于滚轮单元的左右倾斜端面的引导滚轮自然地安放于本发明的行驶轨道的倾斜端面，利用行驶轨道的轨道倾斜部引导滚轮单元，从而同时提供安全的行驶功能及引导滚轮单元移动的引导功能。
另外，根据本发明，其目的在于提供一种托盘移送系统，行驶轨道的轨道垫端面与滚轮单元的脚轮块的作为下端部的平坦的脚轮垫进行面接触，在轨道垫及脚轮垫插入形成摩擦小的光滑材料，从而在引导滚轮的行驶滚轮因磨损或破损等，包括引导滚轮在内的滚轮单元发生向下部下垂的情况下，轨道垫端面与脚轮垫端面彼此柔和地贴紧并行进，从而可以使端面彼此接触而发生的阻力最小化。
旨在达成如上所述课题的本发明的具备行驶及引导功能的行驶轨道，在用于移送基板的托盘移送系统中交叉地形成多个，其特征在于，所述行驶轨道包括：所述行驶轨道包括：作为上部端面的平坦的轨道垫；轨道倾斜部，所述轨道倾斜部向所述轨道垫的左右侧下方倾斜；异物承接部，所述异物承接部从所述轨道倾斜部延长而以槽部构成；轨道连结部，所述轨道连结部为了固定所述行驶轨道而在下端部形成多个开口，能够利用连结构件连结在轨道转向模块配备的框架部的四边板的各边以多个槽部形成的框架连结部；
所述轨道垫以摩擦小的光滑材料形成，滚轮单元安放于所述倾斜的轨道倾斜部上部行驶，
所述滚轮单元连结于用于移送基板的托盘，包括：旋转单元，所述旋转单元能旋转地安装于所述托盘；脚轮块，所述脚轮块借助连结构件而连结于所述旋转单元，具有向左右侧下方倾斜的端面部；引导滚轮，所述引导滚轮在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部结合多个；
其特征在于，所述滚轮单元的旋转单元包括：底座固定部，所述底座固定部连结于所述托盘；旋转外壳，所述旋转外壳在所述底座固定部的下部插入有用于使所述脚轮块旋转的轴承；所述滚轮单元的脚轮块包括：脚轮外壳，所述脚轮外壳为所述脚轮块的主体部；脚轮倾斜部，所述脚轮倾斜部以向左右侧下方具有倾斜角的端面部形成；脚轮垫，所述脚轮垫以作为所述脚轮块的下部面的平坦的端面部形成；及脚轮轴，所述脚轮轴结合于插入有所述轴承的旋转外壳，用于旋转所述脚轮块；所述引导单元的引导滚轮包括：行驶滚轮，所述行驶滚轮以圆筒形形成，涂覆有与行驶轨道及连接轨道部接触的聚氨酯材料的胶轮；及滚轮轴，所述滚轮轴作为与所述脚轮块的脚轮倾斜部连接的旋转用介质构件，在所述行驶滚轮内部具备轴承，与所述轴承贴紧，以所述脚轮块为介质进行旋转；所述滚轮单元的引导滚轮在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部，左右侧彼此交错地结合有多个。
在本发明的具备行驶及引导功能的行驶轨道中，其特征在于，所述轨道垫以摩擦小的光滑材料形成。
其特征在于，本发明的具备行驶及引导功能的行驶轨道的所述轨道倾斜部的倾斜角相对于水平面，保持∠1°～∠89°的倾斜角形成。
其特征在于，滚轮单元安放于本发明的具备行驶及引导功能的行驶轨道的所述轨道倾斜部的端面部行驶。
根据本发明，所述滚轮单元连结于用于移送基板的托盘，包括：旋转单元，所述旋转单元能旋转地安装于所述托盘的底座；脚轮块，所述脚轮块借助连结构件而连结于所述旋转单元，具有向左右侧下方倾斜的端面部；引导滚轮，所述引导滚轮在脚轮块的左右侧倾斜端面部结合多个。
根据本发明，所述引导滚轮以水平面为基准，保持∠1°～∠89°的倾斜角进行结合。
根据本发明，其特征在于，所述引导滚轮的行驶滚轮安放于向所述行驶轨道的左右侧下方倾斜的轨道倾斜部，以作为所述脚轮块下部面的平坦的端面部形成的脚轮垫，与作为所述行驶轨道上部端面的平坦的轨道垫端面进行面接触，移送所述托盘。
本发明的利用了具备行驶及引导功能的行驶轨道的托盘移送系统，在生产商等的自动化工序中，移送装载了用于组装及检查等的各种部件及基板的托盘，所述利用了具备行驶及引导功能的行驶轨道的托盘移送系统的特征在于，包括：四边板材形状的托盘，所述托盘用于工序间的部件及基板移送；滚轮单元，所述滚轮单元在所述托盘的下部配备多个；多条行驶轨道，所述多条行驶轨道为了引导配备于所述托盘的多个滚轮单元的行驶路径及移动而以具有交叉地点的方式在托盘移送系统的框架上配置成格子结构，包括：作为上部端面的平坦的轨道垫；向所述轨道垫的左右侧下方倾斜的轨道倾斜部；从所述轨道倾斜部延长而由槽部构成的异物承接部；及轨道连结部，所述轨道连结部在下端部形成多个开口，能够利用连结构件连结在轨道转向模块配备的框架部的四边板的各边以多个槽部形成的框架连结部；连接轨道部，所述连接轨道部为了将移送过程中的所述托盘的移送路径沿直角方向变更，为了与所述行驶轨道保持行驶的连续性，配置于与所述托盘的滚轮单元行驶的行驶轨道垂直配置的行驶轨道之间；轨道转向模块，所述轨道转向模块作为方向转换用介质装置，使供所述托盘的滚轮单元安放的连接轨道部的方向垂直旋转；
所述滚轮单元连结于用于基板移送的托盘，且包括：旋转单元，所述旋转单元能旋转地安装于所述托盘的底座；脚轮块，所述脚轮块借助连结构件而连结于所述旋转单元，向左右侧下方具有倾斜端面部；引导滚轮，所述引导滚轮在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部结合多个；
所述滚轮单元的旋转单元包括：底座固定部，所述底座固定部连结于所述托盘的底座；旋转外壳，所述旋转外壳在所述底座固定部的下部插入有用于使所述脚轮块旋转的轴承；所述滚轮单元的脚轮块包括：脚轮外壳，所述脚轮外壳为所述脚轮块的主体部；脚轮倾斜部，所述脚轮倾斜部以向左右侧下方具有倾斜角的端面部形成；脚轮垫，所述脚轮垫以作为所述脚轮块的下部面的平坦的端面部形成；及脚轮轴，所述脚轮轴结合于插入有所述轴承的旋转外壳，用于旋转所述脚轮块；所述引导单元的引导滚轮包括：行驶滚轮，所述行驶滚轮以圆筒形形成，涂覆有与行驶轨道及连接轨道部接触的聚氨酯材料的胶轮；及滚轮轴，所述滚轮轴作为与所述脚轮块的脚轮倾斜部连接的旋转用介质构件，在所述行驶滚轮内部具备轴承，与所述轴承贴紧，以所述脚轮块为介质进行旋转；所述滚轮单元的引导滚轮在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部，左右侧彼此交错地结合有多个。
根据本发明，其特征在于，所述轨道倾斜部的倾斜角相对于水平面，保持∠1°～∠89°的倾斜角形成。
所述滚轮单元包括旋转单元、脚轮块和引导滚轮，且所述旋转单元包括：底座固定部，所述底座固定部连结于所述托盘的底座；旋转外壳，所述旋转外壳在所述底座固定部的下部插入有用于使所述脚轮块旋转的轴承；所述脚轮块包括：脚轮外壳，所述脚轮外壳为所述脚轮块的主体部；脚轮倾斜部，所述脚轮倾斜部以向左右侧下方具有倾斜角的端面部形成；脚轮垫，所述脚轮垫以作为所述脚轮块的下部面的平坦的端面部形成；及脚轮轴，所述脚轮轴结合于插入有所述轴承的旋转外壳，用于旋转所述脚轮块。
根据本发明，所述引导滚轮的行驶滚轮安放于所述行驶轨道的轨道倾斜部，所述滚轮单元的所述脚轮块的脚轮垫端面与所述行驶轨道的轨道垫端面对应，柔和地进行面接触，移送所述托盘。
根据本发明，所述连接轨道部包括旋转底座、连接轨道及限位器，且所述旋转底座加装连接轨道部的连接轨道和限位器，借助于所述轨道转向模块的旋转运转而使连接轨道部的位置旋转，所述连接轨道包括作为上部面的平坦的连接垫和以向所述连接垫的左右侧倾斜的端面部形成的引导轨道。
根据本发明，其特征在于，所述轨道转向模块包括：旋转轴，所述旋转轴为了传递用于使所述连接轨道部旋转的驱动力而配置于所述连接轨道部的下部，包括向所述连接轨道部的旋转底座传递旋转驱动力的轴杆和O形环；框架部，所述框架部在中心部内部空间上安放轴承，以支撑所述旋转轴的轴杆的方式安装，以便连接轨道部的旋转板能够旋转，所述框架部的外侧包括以四边板形成的框架外壳；旋转驱动部，所述旋转驱动部包括：旋转气缸，所述旋转气缸向所述旋转轴传递旋转扭矩；驱动轴，所述驱动轴向所述旋转气缸的上部凸出，与旋转轴的轴杆连接；安装部，所述安装部用于使所述旋转气缸连结于所述框架部的框架外壳；及速度调节部，所述速度调节部控制所述旋转气缸的旋转速度。
本发明的托盘移送系统由于行驶轨道及滚轮单元同时兼备行驶及引导功能的结构，因而具有可以在稳定行驶的同时，防止滚轮单元从行驶轨道脱离的效果。
另外，根据本发明，由于引导滚轮的行驶滚轮在行驶轨道的倾斜端面行驶，所以因装载于托盘的移送物资的重量，在脚轮块向左右侧倾斜地配备的引导滚轮的行驶滚轮本身包围行驶轨道的倾斜端面进行行驶及引导，因而具有不发生振动及噪声等的效果。
本发明的托盘移送系统由于附着于托盘的滚轮单元可以自然地安放于行驶轨道的倾斜端面，因而具有不发生空间上的隔阂或干扰等的效果。
另外，根据本发明，滚轮单元的作为脚轮块下端部的平坦的脚轮垫，插入摩擦小的光滑材料而形成，从而因引导滚轮的行驶滚轮磨损或破损等，包括引导滚轮在内的滚轮单元发生向下部下垂的情况下，脚轮块的脚轮垫端面与所述行驶轨道的轨道垫端面以面接触方式彼此柔和地贴紧并行进，从而具有可以使端面彼此接触而发生的阻力最小化的效果。
另外，根据本发明，由于引导滚轮及行驶轨道结构简化，节省制造单价，由于结构简化，托盘移动顺畅，借助于具有可靠性的构成，具有提高耐久性的效果。
附图说明
图1是普通的现有技术的托盘移送系统的立体图。
图2A是现有技术的滚轮单元的立体图。
图2B是显示现有技术的滚轮单元与行驶轨道的剖面图。
图3是在本发明的托盘移送系统中，托盘为了方向转换而配置于轨道转向模块上的立体图。
图4是显示本发明的托盘移送系统的实物图的图。
图5是显示本发明的滚轮单元附着于托盘的状态的立体图。
图6是显示本发明的托盘与滚轮单元分离的状态的立体图。
图7是本发明的托盘移送系统中的滚轮单元的分解图。
图8是本发明的滚轮单元的一侧剖面图。
图9是本发明的滚轮单元的另一侧剖面图。
图10是本发明的滚轮单元的俯视图。
图11是显示本发明的滚轮单元附着于托盘的底座的状态的图。
图12是本发明的与托盘连接的滚轮单元的主视图。
图13是本发明一个实施例的滚轮单元安放于行驶轨道的剖面图。
图14A是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的托盘与轨道转向模块分离的上部侧立体图。
图14B是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的托盘与轨道转向模块分离的下部侧立体图。
图15A是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的滚轮单元与行驶轨道及轨道转向模块分离的上部侧立体图。
图15B是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的滚轮单元与行驶轨道及轨道转向模块分离的下部侧立体图。
图16是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的行驶轨道、连接轨道部及轨道转向模块的立体图。
图17是显示本发明的托盘移送系统中用于方向转换的行驶轨道、连接轨道部及轨道转向模块的连接状态的放大立体图。
图18是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的行驶轨道、连接轨道部及轨道转向模块在连接状态下分离连接轨道部的立体图。
图19是本发明的托盘移送系统中的轨道转向模块的立体图。
图20是显示本发明的托盘移送系统中用于方向转换的滚轮单元与连接轨道部及轨道转向模块的连接状态的分离立体图。
图21是本发明的托盘移送系统中的轨道转向模块的一侧剖面图。
图22是本发明的托盘移送系统中的轨道转向模块的另一侧剖面图。
图23A是显示托盘移送系统中的托盘沿第一方向移送的状态的俯视图。
图23B是显示托盘移送系统中的托盘沿第二方向移送的状态的俯视图。
附图标记
1：托盘移送系统
10：托盘 11：底座
15：滚轮单元 16：行驶轨道
20：框架
100：滚轮单元 110：旋转单元
111：底座固定部 112：旋转外壳
113-1：轴承 113-2：轴承
120：脚轮块
121：脚轮外壳 122：脚轮倾斜部
123：脚轮垫 124：脚轮轴
130、130-1、130-2、130-3、130-4：引导滚轮
131：行驶滚轮 132：滚轮轴
200：行驶轨道
210：轨道垫 220：轨道倾斜部
230：异物承接部 240：轨道连结部
300：连接轨道部
310：旋转底座 320：连接轨道
321：连接垫 322：引导轨道
330：限位部
400：轨道转向模块
410：旋转轴
411：轴杆 412：O形环
420：框架部
421：框架外壳 422：轴承
423：轴承 424：框架连结部
430：旋转驱动部
431：旋转气缸 432：驱动轴
433：安装部 434：速度调节部
具体实施方式
下面参考附图，详细说明本发明优选实施例，本发明相关说明只不过是用于结构性以及功能性说明的实施例，因而本发明的权利范围不得解释为由下文说明的实施例所限定。即，实施例可以实施多样变更，可以具有多种形态，因此，本发明的权利范围应理解为包括可实现技术思想的均等物。
另一方面，本发明中叙述的术语的意义应如下理解。“第一”、“第二”等术语用于将一个构成要素区别于其他构成要素，权利范围不得由这些术语所限定。例如，第一构成要素可以命名为第二构成要素，类似地，第二构成要素也可以命名为第一构成要素。
当提到某种构成要素“连接”于另一构成要素时，应理解为既可以是直接连接于该另一构成要素，也可以在中间存在其他构成要素。相反，当提及某构成要素“直接连接”于另一构成要素时，应理解为在中间不存在其他构成要素。另一方面，说明构成要素之间关系的不同表现，即“～之间”和“紧～之间”或“邻接～”和“直接邻接～”等也应相同地解释。
只要上下文没有明确表示不同，单数的表现应理解为包括复数的表现，“包括”或“具有”等术语是要指定所实施的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或他们组合的存在，应理解为不预先排除一个或其以上的其他特征或数字、步骤、动作、构成要素、部件或他们组合的存在或附加可能性。
在各步骤中，识别符号(例如，a、b、c等)是为了说明的便利而使用的，识别符号并非说明各步骤的顺序，各步骤只要在上下文未明确记载特定顺序，则可以不同于所记载顺序地出现。即，各步骤既可以与记载的顺序相同地出现，也可以实质上同时执行，还可以按相反顺序执行。
在此使用的所有术语，只要未不同地定义，具有与本发明所属领域的普通技术人员一般理解的内容相同的意义。一般使用的词典定义的术语，应解释为与相关技术上下文具有的意义一致，只要在本发明中未明确定义，不得过度或过于地解释为具有形式上的意义。
下面参照附图，说明本发明的具备行驶及引导功能的滚轮单元及利用其的托盘移送系统的构成的实施例。
图3是在本发明的托盘移送系统中，托盘为了方向转换而配置于轨道转向模块上的立体图，图4是显示本发明的托盘移送系统的实物图的图。
如图3及图4所示，本发明的托盘移送系统1是在生产商等的自动化工序中，将装载了用于组装及检查等的各种部件及基板的托盘10在结束一个工序后移送到另一工序的系统，包括：托盘10，所述托盘10用于工序间的基板移送；滚轮单元100，所述滚轮单元100在所述托盘10的下部配备多个；多条行驶轨道200，所述多条行驶轨道200为了引导所述滚轮单元100的移动而配置于托盘移送系统1的框架20上；及连接轨道部300，所述连接轨道部300为了将移送过程中的所述托盘10的移送路径沿直角方向变更，为了与所述行驶轨道保持行驶的连续性，配置于与所述托盘10的滚轮单元100行驶的行驶轨道200垂直配置的行驶轨道200之间；轨道转向模块400，所述轨道转向模块400作为方向转换用介质装置，使供所述滚轮单元100安放的连接轨道部300的方向垂直旋转。
所述托盘10作为发挥在上面装载基板等部件并移送的功能的构件，在其下部配备有多个滚轮单元100，所述滚轮单元100包括在行驶轨道200上进行引导的引导滚轮130。
图5是显示本发明的滚轮单元附着于托盘的状态的立体图，图6是显示本发明的托盘与滚轮单元分离的状态的立体图，图7是本发明的托盘移送系统中的滚轮单元的分解图，图8是本发明的滚轮单元的一侧剖面图，图9是本发明的滚轮单元的另一侧剖面图，图10是本发明的滚轮单元的俯视图，图11是显示本发明的滚轮单元附着于托盘的底座的状态的图，图12是本发明的与托盘连接的滚轮单元的主视图。
下面如图所示，说明本发明的具备行驶及引导功能的滚轮单元及利用其的托盘移送系统。
如图5及图6所示，本发明的具备行驶及引导功能的滚轮单元100为了移送托盘10而附着多个，且在所述托盘10的四边形状底座11下部，以四边形结构配备4个，借助于连结构件而固定安装，使所述托盘10沿着行驶轨道200被引导、行驶并移送。
如图7至图12所示，本发明的具备行驶及引导功能的滚轮单元100包括旋转单元110、脚轮块120及引导滚轮130构成。
更详细而言，所述滚轮单元100的旋转单元110连结于所述托盘10的底座11并固定安装，支撑所述托盘10的底座11并能够旋转。
所述旋转单元110作为进行旋转运动所需的旋转构件，如图7及图8所示，可以包括底座固定部111，所述底座固定部111连结于所述托盘10的底座11；在所述底座固定部111的下部，具备用于使所述脚轮块120旋转的旋转外壳112，在其内部包括轴承113-1、113-2。
另外，所述脚轮块120如图7及图8所示，可以包括：作为主体部的脚轮外壳121；脚轮倾斜部122，所述脚轮倾斜部122以沿着左右侧下方具有倾斜角的端面部形成；脚轮垫123，所述脚轮垫123作为所述脚轮块130的下部面，在所述脚轮倾斜部122延长，以平坦面形成；及脚轮轴124，所述脚轮轴124将所述脚轮外壳121连接于在所述旋转单元110的旋转外壳112插入的轴承113-1、113-2，是用于使所述脚轮块120整体旋转的旋转介质装置。
更详细而言，所述脚轮块120在脚轮轴124下部头部插入于所述脚轮外壳121的内部空间的状态下，所述脚轮轴124向上部方向，贯通在所述旋转单元110的旋转外壳112内部插入的轴承113-1、113-2的中心部，贯通所述底座固定部111，脚轮轴124的上部借助于连结构件而固定连结于所述底座固定部111的上部，从而所述脚轮块120可以保持能够旋转运转的状态。
所述脚轮块120的向左右侧面倾斜的脚轮倾斜部122向脚轮外壳121的左右侧下方内侧倾斜地形成，从所述左右侧的脚轮倾斜部122延长的下端底面为平坦面，形成脚轮垫123。所述脚轮轴124是将所述脚轮外壳121连结于所述旋转单元110并使之旋转的旋转用介质构件。
此时，脚轮轴124连接于所述旋转单元110而可以执行旋转运转，使得所述脚轮块120以所述旋转单元110为介质，能相对于托盘10的底座11旋转。
即，脚轮轴124是从所述底座固定部111贯通在旋转外壳112内部配备的轴承113-1、113-2而连接所述脚轮块120的旋转用构件，所述脚轮块120借助于脚轮轴124而连接，从而所述脚轮块120以所述旋转单元110为介质，相对于托盘10的底座11进行旋转。
另外，所述引导滚轮130如图8至图12所示，在所述脚轮块120的左右侧脚轮倾斜部122安装多个。即，所述引导滚轮130为了保持理想的行驶，优选在脚轮倾斜部122左右两侧分别附着2个以上。
优选地，如图9至图12所示，为了保持更理想的行驶，在所述脚轮倾斜部122左右两侧，可以彼此交错地结合多个引导滚轮130。
所述引导滚轮130用于在行驶轨道200上执行引导并滚动功能，可以包括：行驶滚轮131，所述行驶滚轮131以圆筒形形成，在引导滚轮130上涂覆有聚氨酯材料的胶轮，以便与行驶轨道200或后述连接轨道部300接触；及滚轮轴132，所述滚轮轴132作为与所述脚轮块120的脚轮倾斜部122连接的旋转用介质构件，在所述行驶滚轮131内部具备轴承，所述滚轮轴132与所述轴承贴紧，以所述脚轮块120为介质进行旋转。
如图8、图11及图12所示，本发明的引导滚轮130附着于所述脚轮块120的左右侧脚轮倾斜部122的倾斜端面，因而倾斜地形成。
其中，如图8所示，所述引导滚轮130附着于脚轮块120的倾斜的脚轮倾斜部122，且相对于水平面，保持∠1°～∠89°的倾斜角地附着。
所述引导滚轮130保持最理想行驶所需的最佳角度，优选保持∠25°。
另外，如图9至图12所示，所述引导滚轮130为了保持理想的行驶，可以在脚轮倾斜部122左右侧倾斜面，彼此交错地配置并附着2个以上的引导滚轮130-1、130-2、130-3、130-4，也可以一一对应地平行配置。
其中，所述引导滚轮130的行驶滚轮131的行驶端面，优选以所述脚轮块120下部底面平坦脚轮垫123的水平端面为基准，以其以下形成，，安放于后述行驶轨道200的向左右侧倾斜的轨道倾斜部220，形成得保持正常的行驶状态。
根据现有技术，在现有技术的滚轮单元15附着于托盘移送系统1的托盘10进行行驶的情况下，由于所述滚轮单元15与行驶轨道16间的间隙而发生隔开距离S，不仅在所述间隙空间上产生异物质，而且托盘10本身发生左右晃动，因振动而产生噪声，另外，在移送途中借助于特定检查装备而进行检查时，发生将全体托盘10提升到上部后放下的分离工序，在这种情况下，存在所述滚轮单元15与行驶轨道16之间发生干扰等问题。
本发明的托盘移送系统1在移送途中借助于特定检查装备而进行检查时，即使发生不得已执行将全体托盘10提升到上部后放下的分离工序的情形，在附着于所述托盘10的滚轮单元100的所述脚轮块120的作为左右侧脚轮倾斜部122的倾斜面形成，因而所述引导滚轮130可以自然地安放于行驶轨道200的左右侧倾斜的轨道倾斜部220上部面，因而不发生空间上的隔阂或干扰等，可以保持行驶的连续性。
根据现有技术，滚轮单元15是行驶滚轮16与引导滚轮17分离的结构，但本发明的滚轮单元100是同时执行行驶功能和引导功能的结构。
另外，根据本发明，所述滚轮单元100的脚轮块120的作为下端部的平坦脚轮垫123，在因所述引导滚轮130的行驶滚轮131磨损或破损等，包括所述引导滚轮130在内的滚轮单元100发生向下部下垂的情况下，在所述脚轮垫123端面部插入摩擦小的光滑材料，从而所述脚轮块120的脚轮垫123端面与所述行驶轨道200的轨道垫210端面相互柔和地贴紧并行进，从而可以防止端面彼此接触而发生阻力。
优选所述脚轮块120的下端部形成平坦的脚轮垫123，但也可以不形成脚轮垫123，而是以不受形状限制的任意形状形成。
下面对本发明一个实施例的具备行驶及引导功能的行驶轨道进行说明。
图13是本发明一个实施例的滚轮单元安放于行驶轨道的剖面图。
如图所示，根据本发明的一个实施例，托盘移送系统1的由多个交叉形成的行驶轨道200是具备行驶及引导功能的构件，其固定于形成托盘移送系统1的支撑结构的框架20上，发挥引导滚轮单元100移动的功能。
所述行驶轨道200作为与所述脚轮块120对称地形成的结构，可以包括作为上部端面的平坦的轨道垫210、向所述轨道垫210的左右侧下方倾斜的轨道倾斜部220、从所述轨道倾斜部220延长并以槽部构成的异物承接部230形成，另外，也可以在此基础上，还包括轨道连结部240，所述轨道连结部240为了固定所述行驶轨道200而在其下端部形成多个开口，可以借助于连结构件而与其他构件连结。
作为所述轨道垫210的平坦端面，是与所述脚轮块120的脚轮垫123端面对应地对称形成而以便柔和地滑动接触的结构，从而行驶轨道的轨道垫及脚轮垫插入摩擦小的光滑材料形成，在因所述引导滚轮130的行驶滚轮131磨损或破损等，包括引导滚轮130在内的滚轮单元100向下部发生下垂的情况下，所述脚轮块120的脚轮垫123端面与所述行驶轨道200的轨道垫210端面相互柔和地以面接触方式贴紧并行进，从而可以使端面彼此接触而发生的阻力实现最小化。
所述轨道倾斜部220利用行驶滚轮131稳定地引导、接触所述滚轮单元100的引导滚轮130，从而执行行驶及引导功能。
如图13所示，所述轨道倾斜部220的倾斜角相对于水平面，形成得保持∠1°～∠89°的倾斜角。
所述轨道倾斜部220的倾斜角保持最理想行驶所需的最佳倾斜角，优选以∠25°形成。
如现有技术的图2所示，在现有情况下，是供行驶滚轮16接触的面与供引导轮17进行点接触的面互不相同地区分的结构，但根据本发明，引导滚轮130同时执行行驶功能及引导功能，因而供所述行驶滚轮131接触的面是只沿轨道倾斜部220行驶的轨道结构，同时执行行驶及引导功能。
所述异物承接部230在行驶轨道200的左右侧形成，收集所述引导滚轮130的行驶滚轮131沿着所述轨道倾斜部220滚动而发生的各种异物质等。
所述轨道连结部240借助于连结构件，与在后述轨道转向模块400的框架部420形成的框架连结部424连结，固定于所述轨道转向模块400的框架部420。
根据本发明一个实施例，像与作为所述行驶轨道200上部端面的平坦的轨道垫210对应的、作为所述滚轮单元100的脚轮块120下端部的平坦的脚轮垫123一样，在因所述引导滚轮130的行驶滚轮131磨损或破损等，包括引导滚轮130在内的滚轮单元100发生向下部下垂的情况下，在轨道垫210端面部插入摩擦小的光滑材料，从而所述脚轮块120的脚轮垫123端面与所述行驶轨道200的轨道垫210端面相互以面接触方式贴紧并柔和地行进，从而可以使端面彼此接触而发生的阻力实现最小化。
另外，像所述脚轮块120的平坦的脚轮垫123一样，优选形成所述行驶轨道200的作为上部端面的平坦的轨道垫210，但也可以不形成轨道垫210而以任意形状形成。
下面说明本发明的连接轨道部及轨道转向模块的构成。
图14A是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的托盘与轨道转向模块分离的上部侧立体图，图14B是本发明的托盘移送系统中为了方向转换，托盘与轨道转向模块分离的下部侧立体图，图15A是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的滚轮单元与行驶轨道及轨道转向模块分离的上部侧立体图，图15B是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的滚轮单元与行驶轨道及轨道转向模块分离的下部侧立体图，图16是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的行驶轨道、连接轨道部及轨道转向模块的立体图，图17是显示本发明的托盘移送系统中用于方向转换的行驶轨道、连接轨道部及轨道转向模块的连接状态的放大立体图，图18是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的行驶轨道、连接轨道部及轨道转向模块在连接状态下分离连接轨道部的立体图，图19是本发明的托盘移送系统中的轨道转向模块的立体图，图20是显示本发明的托盘移送系统中用于方向转换的滚轮单元与连接轨道部及轨道转向模块的连接状态的分离立体图，图21是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的轨道转向模块的一侧剖面图，图22是本发明的托盘移送系统中用于方向转换的轨道转向模块的另一侧剖面图。
如图所示，本发明的轨道转向模块400为了将借助于托盘移送系统1而处于移送过程中的所述托盘10的移送路径沿直角方向变更，配置于与所述托盘10的滚轮单元100所行驶的行驶轨道200垂直配置的行驶轨道200之间。
此时，为了将移送过程中的所述托盘10的移送路径沿直角方向变更，具有与所述行驶轨道200连续的相同形状的轨道结构，为了保持行驶的连续性，配置于与所述托盘10的滚轮单元100所行驶的行驶轨道200垂直配置的行驶轨道200之间的连接轨道部300，形成得配置于所述滚轮单元100与轨道转向模块400之间。
即，如图14A及图14B所示，本发明的托盘10为了在移送途中进行方向转换，所述托盘10如果一致地位于在四边格子形结构的4处配置的轨道转向模块400上部，则附着于所述托盘10的滚轮单元100安放在位于所述轨道转向模块400上部的连接轨道部300。
因此，如上所述，在所述滚轮单元100、供滚轮单元100安放的连接轨道部300以及使行进路径的方向竖直旋转的作为方向转换用介质装置的轨道转向模块400，垂直排列成一列的状态下，连接轨道部300的位置借助于所述轨道转向模块400的旋转动作而变更，安放于连接轨道部300上部的滚轮单元100也同时旋转，从而在所述滚轮单元100的引导滚轮130的行驶滚轮131方向位于与所述滚轮单元100曾行进的第一方向转换90°的作为垂直方向的第二方向后，所述滚轮单元100沿第二方向进行移送过程。
即，所述连接轨道部300能旋转地安装于行驶轨道200之间，以便使行驶轨道200选择性地连接，这如后述图23A及图23B所示，在有必要使在行驶轨道200上沿第一方向移送的托盘10沿着向第二方向(直角方向)配置的另一行驶轨道200移送的情况下，使托盘10在停止位停止后(此时托盘10的滚轮单元100位于连接轨道部300的中央部)，使连接轨道部300旋转，连接于脚轮块120的引导滚轮130及滚轮单元100同时一同旋转，使得可以向第二方向行进。
所述连接轨道部300的结构如图15至图18所示产，以与所述行驶轨道几乎相同的结构形成。包括旋转底座310、连接轨道320及限位部330构成。
所述旋转底座310加装连接轨道部300的连接轨道320和限位部330，借助于所述轨道转向模块400的旋转动作而使连接轨道部300的位置旋转。
所述连接轨道320的结构与所述行驶轨道200几乎相同地形成，所述连接轨道320可以包括作为上部面的平坦的连接垫321、向所述连接垫321的左右侧倾斜的引导轨道322而形成。
所述连接垫321作为平坦的端面，是与所述脚轮块120的脚轮垫123端面对称地形成而以便柔和地滑动接触的结构，在因所述引导滚轮130的行驶滚轮131磨损或破损，包括所述引导滚轮130在内的滚轮单元100向下部发生下垂的情况下，插入摩擦小的光滑材料，从而所述脚轮块120的脚轮垫123端面与所述连接轨道320的连接垫321端面相互贴紧并柔和地行进，从而具有可以使端面彼此接触而可能发生的阻力最小化的效果。
所述引导轨道322作为供所述滚轮单元100的引导滚轮130的行驶滚轮131接触并行驶的面，执行行驶及引导功能。
此时，所述引导轨道322的倾斜角以连接垫321水平面为基准，形成得保持∠1°～∠89°的倾斜角。
就所述引导轨道322的倾斜角而言，保持最理想行驶所需的最佳角度，优选以∠25°形成。
根据本发明，像与作为所述连接轨道320上部端面的平坦的连接垫321对应的、作为所述滚轮单元100的脚轮块120下端部的平坦的脚轮垫123一样，在因所述引导滚轮130的行驶滚轮131磨损或破损等，包括所述引导滚轮130在内的滚轮单元100发生向下部下垂的情况下，在连接垫321端面部插入摩擦小的光滑材料，从而所述脚轮块120的脚轮垫123端面与所述连接轨道部300的连接垫321端面彼此柔和贴紧并行进，从而具有可以使端面相互接触而可能发生的阻力实现最小化的效果。
另外，与所述脚轮块120的平坦的脚轮垫123一样，优选形成作为所述连接轨道320上部端面的平坦的连接垫321，但也可以不形成连接垫321，而以任意形状形成。
所述连接轨道部300的限位部330是为了防止安放于所述连接轨道部300的滚轮单元100的引导滚轮130的行驶滚轮131从连接轨道部300脱离，而向所述连接轨道320的外侧隔开既定间隔地形成，借助于连结构件而加装于所述旋转底座310的上部。
本发明的轨道转向模块400如图18至图22所示，为了传递用于使所述连接轨道部300旋转的驱动力而配置于所述连接轨道部300的下部，包括旋转轴410、框架部420和旋转驱动部430构成。
更详细而言，如图15A及图15B、图19及图20所示，所述旋转轴410贯通所述框架部420，连结于所述旋转驱动部430，向连结于所述旋转轴410上部面的所述连接轨道部300的旋转底座310传递旋转驱动力，可以使连接轨道部300整体的方向旋转。
所述旋转轴410包括与所述连接轨道部300的旋转底座310连结的轴杆411、O形环412。
所述轴杆411的上部与所述旋转底座310连接，其中心部贯通在所述框架部420配备的轴承422、423，其下部与所述旋转驱动部430配备的驱动轴432连接，为了旋转动作顺利，可以在与所述轴承422、423之间配备O形环412。
所述框架部420可以在中心部内部空间上安放轴承422、423，以支撑所述旋转轴410的轴杆411的方式安装，以便连接轨道部300的旋转板310能够旋转，所述框架部420的外侧包括以四边板形成的框架外壳421，在所述框架部420的外侧四边板各边，形成以多个槽部形成的框架连结部424。
所述轴承422、423作为旋转介质装置，配置于框架外壳421的内部空间上，支撑所述轴杆410并使之自然旋转，所述轴杆410贯通所述轴承中心部，上部与所述旋转底座310连接，下部与所述驱动轴部432连接。
另外，所述框架部420作为使本发明的轨道转向模块400连结并固定于托盘移送系统1的行驶轨道200的构件，在所述框架部420的作为框架外壳421的四边板上，形成有以多个槽部形成的框架连结部424，通过所述框架连结部424，使向所述四边板各边的四方连接的行驶轨道200相互连结。
即，使在所述行驶轨道200的下部以多个开口形成的轨道连结部240、在所述框架部420的作为框架外壳421四边板上以槽部形成的多个框架连结部424相互对应地一致，借助于连结构件而固定连结。
所述旋转驱动部430具备向旋转轴410传递旋转扭矩的旋转气缸431、凸出到所述旋转气缸431上部并与旋转轴410的轴杆411连接的驱动轴432、用于将所述旋转气缸431连结于所述框架部420的框架外壳421的安装部433及控制所述旋转气缸431的旋转速度的速度调节部434。
旋转气缸431作为利用压缩空气而使驱动轴432旋转的构成要素，是在多样技术领域普遍使用的促动器的一种，具有可以容易地获得大扭矩的旋转力的优点。
旋转气缸431具备速度调节部434，可以调节所述驱动轴432的旋转角度，借助于所述安装部433，使旋转气缸431连结固定于框架外壳421。
所述旋转驱动部430的驱动轴432如图19至图22所示，与轴杆411的下部结合，所述轴杆411使旋转底座310的下端部与驱动轴432直接连接，使得从驱动轴432向连接轨道部300的旋转底座310传递旋转力。
下面说明借助于本发明的轨道转向模块而转换托盘的移送路径的过程。
图23A是显示托盘移送系统中的托盘沿第一方向移送的状态的俯视图，图23B是显示托盘移送系统中的托盘沿第二方向移送的状态的俯视图。
根据本发明，在托盘移送系统1中，配备有用于产生移送托盘10所需的驱动力的多个线性电动机600，还配备有沿着与线性电动机600相同方向配置的多个位置传感器700。
如图23A所示，当托盘10在所述行驶轨道200上沿第一方向移送时，轨道转向模块400的连接轨道部300保持向第一方向旋转的状态，以便连接沿第一方向配置的行驶轨道200之间。
在托盘移送系统1中，配备有用于控制线性电动机600的运转的控制器及多路转换器(MUX：multiplexer)(图上未示出)。包括这种控制器及多路转换器的控制部(图上未示出)为了在无碰撞的情况下沿既定方向移送托盘10，与产生驱动力的多个线性电动机600衔接并适宜地进行控制。
当需要变更托盘10的移送路径时，控制部分析从多个位置传感器700接收的信号，使向第一方向移送的托盘10减速，使托盘10在停止位停止，使得托盘10的滚轮单元100位于连接轨道部300的中央部。
此时，引导滚轮130连结于所述滚轮单元100的脚轮块的倾斜的脚轮倾斜部122，托盘10的滚轮单元100配备的引导滚轮130如果在位于所述连接轨道部300中央部的连接轨道320的引导轨道322停止，则控制部使轨道转向模块400的旋转驱动部430的旋转气缸431驱动，使连接轨道部300向第二方向旋转。
此时，控制部控制旋转驱动部430的旋转气缸431，使得连接轨道部300准确地向第二方向旋转，旋转完成后，连结于滚轮单元100的脚轮块120的引导滚轮130的行驶滚轮131保持第二方向。
如图23B所示，轨道转向模块400的连接轨道部300向第二方向旋转，使得连接沿第二方向配置的行驶轨道200之间，在这种状态下，控制部控制线性电动机600，使托盘10向第二方向移送。
以上根据所述实施例，具体说明了本发明，但本发明并非限定于所述实施例，在不脱离本发明的思想及范围的范围内，当然可以实现多种修订及变形。因此，这种变形例或修订例应解释为包含于本发明的权利范围。

Claims (10)

1.一种具备行驶及引导功能的行驶轨道，在用于移送基板的托盘移送系统中交叉地形成有多个，其特征在于，
包括：
作为上部端面的平坦的轨道垫，
轨道倾斜部，其向所述轨道垫的左右侧下方倾斜，
异物承接部，其从所述轨道倾斜部延长而以槽部构成，
轨道连结部，其为了固定所述行驶轨道而在下端部形成有多个开口，能够利用连结构件连结在轨道转向模块配备的框架部的四边板的各边以多个槽部形成的框架连结部；
所述轨道垫以摩擦小的光滑材料形成；
滚轮单元安放于倾斜的所述轨道倾斜部上部行驶；
所述滚轮单元，连结于用于移送基板的托盘，包括：
旋转单元，其能够旋转地安装于所述托盘，
脚轮块，其借助连结构件而连结于所述旋转单元，具有向左右侧下方倾斜的端面部，
引导滚轮，其在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部结合有多个；
所述旋转单元包括：
底座固定部，其固定部连结于所述托盘，
旋转外壳，其在所述底座固定部的下部插入有用于使所述脚轮块旋转的轴承；
所述脚轮块包括：
脚轮外壳，其为所述脚轮块的主体部，
脚轮倾斜部，其以向左右侧下方具有倾斜角的端面部形成，
脚轮垫，其以作为所述脚轮块的下部面的平坦的端面部形成，及
脚轮轴，其结合于插入有所述轴承的旋转外壳，用于旋转所述脚轮块；
所述引导滚轮包括：
行驶滚轮，其形成为圆筒形，涂覆有与行驶轨道及连接轨道部接触的聚氨酯材料的胶轮，及
滚轮轴，其作为与所述脚轮块的脚轮倾斜部连接的旋转用介质构件，在所述行驶滚轮内部具备轴承，与所述轴承贴紧，以所述脚轮块为介质进行旋转；
所述滚轮单元的引导滚轮在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部，左右侧彼此交错地结合有多个。
2.根据权利要求1所述的具备行驶及引导功能的行驶轨道，其特征在于，
所述轨道垫以摩擦小的光滑材料形成。
3.根据权利要求1所述的具备行驶及引导功能的行驶轨道，其特征在于，
所述轨道倾斜部的倾斜角相对于水平面，保持∠1°～∠89°的倾斜角形成。
4.根据权利要求1所述的具备行驶及引导功能的行驶轨道，其特征在于，
所述引导滚轮以水平面为基准，保持∠1°～∠89°的倾斜角进行结合。
5.根据权利要求4所述的具备行驶及引导功能的行驶轨道，其特征在于，
所述引导滚轮的行驶滚轮安放于向所述行驶轨道的左右侧下方倾斜的轨道倾斜部，以作为所述脚轮块下部面的平坦的端面部形成的脚轮垫，与作为所述行驶轨道上部端面的平坦的轨道垫端面进行面接触，移送所述托盘。
6.一种利用具备行驶及引导功能的行驶轨道的托盘移送系统，在生产商的自动化工序中，移送装载了用于组装及检查的各种部件及基板的托盘，其特征在于，
包括：
四边板材形状的托盘，其用于工序间的部件及基板移送，
滚轮单元，其在所述托盘的下部配备有多个，
多条行驶轨道，其为了引导配备于所述托盘的多个滚轮单元的行驶路径及移动而以具有交叉地点的方式在托盘移送系统的框架上配置成格子结构，包括作为上部端面的平坦的轨道垫、轨道倾斜部、异物承接部以及轨道连结部，所述轨道倾斜部向所述轨道垫的左右侧下方倾斜，所述异物承接部从所述轨道倾斜部延长而由槽部构成，所述轨道连结部在下端部形成有多个开口，能够利用连结构件连结在轨道转向模块配备的框架部的四边板的各边以多个槽部形成的框架连结部，
连接轨道部，其为了将移送过程中的所述托盘的移送路径沿直角方向变更，为了与所述行驶轨道保持行驶的连续性，配置于与所述托盘的滚轮单元行驶的行驶轨道垂直配置的行驶轨道之间，
轨道转向模块，其作为方向转换用介质装置，使得供所述托盘的滚轮单元安放的连接轨道部的方向垂直旋转；
所述滚轮单元，连结于用于移送基板的托盘，包括：
旋转单元，其能旋转地安装于所述托盘的底座，
脚轮块，其借助连结构件而连结于所述旋转单元，向左右侧下方具有倾斜端面部，
引导滚轮，其在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部结合多个；
所述旋转单元包括：
底座固定部，其连结于所述托盘的底座，
旋转外壳，其在所述底座固定部的下部插入有用于使所述脚轮块旋转的轴承；
所述脚轮块包括：
脚轮外壳，其为所述脚轮块的主体部，
脚轮倾斜部，其以向左右侧下方具有倾斜角的端面部形成，
脚轮垫，其以作为所述脚轮块的下部面的平坦的端面部形成，及
脚轮轴，其结合于插入有所述轴承的旋转外壳，用于旋转所述脚轮块；
所述引导滚轮包括：
行驶滚轮，其形成为圆筒形，涂覆有与行驶轨道及连接轨道部接触的聚氨酯材料的胶轮，及
滚轮轴，其作为与所述脚轮块的脚轮倾斜部连接的旋转用介质构件，在所述行驶滚轮内部具备轴承与所述轴承贴紧，以所述脚轮块为介质进行旋转；
所述引导滚轮，在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部，左右侧彼此交错地结合有多个。
7.根据权利要求6所述的利用了具备行驶及引导功能的行驶轨道的托盘移送系统，其特征在于，
所述轨道倾斜部的倾斜角相对于水平面，保持∠1°～∠89°的倾斜角形成。
8.根据权利要求6所述的利用了具备行驶及引导功能的行驶轨道的托盘移送系统，其特征在于，
所述引导滚轮的行驶滚轮安放于向所述行驶轨道的左右侧下方倾斜的轨道倾斜部，以作为所述脚轮块下部面的平坦的端面部形成的脚轮垫端面，以面接触方式安放于作为所述行驶轨道上部端面的平坦的轨道垫端面，移送所述托盘。
9.根据权利要求6所述的利用了具备行驶及引导功能的行驶轨道的托盘移送系统，其特征在于，
所述连接轨道部包括旋转底座、连接轨道及限位器，且所述旋转底座加装连接轨道部的连接轨道和限位器，借助于所述轨道转向模块的旋转运转而使连接轨道部的位置旋转，所述连接轨道包括作为上部面的平坦的连接垫和以向所述连接垫的左右侧倾斜的端面部形成的引导轨道。
10.根据权利要求6所述的利用了具备行驶及引导功能的行驶轨道的托盘移送系统，其特征在于，
所述轨道转向模块包括：旋转轴，所述旋转轴为了传递用于使所述连接轨道部旋转的驱动力而配置于所述连接轨道部的下部，包括向所述连接轨道部的旋转底座传递旋转驱动力的轴杆和O形环；
框架部，所述框架部在中心部内部空间上安放轴承，以支撑所述旋转轴的轴杆的方式安装，以便连接轨道部的旋转板能够旋转，所述框架部的外侧包括以四边板形成的框架外壳；
旋转驱动部，所述旋转驱动部包括：旋转气缸，所述旋转气缸向所述旋转轴传递旋转扭矩；驱动轴，所述驱动轴向所述旋转气缸的上部凸出，与旋转轴的轴杆连接；安装部，所述安装部用于使所述旋转气缸连结于所述框架部的框架外壳；及速度调节部，所述速度调节部控制所述旋转气缸的旋转速度。
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