CN108698773B - 基板搬运用机器人 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基板搬运用机器人。本发明所涉及的基板搬运用机器人在为了运输机器人而将支撑部和设置有支撑部的升降部折叠成与直线运动部平行时，支撑部及升降部的一侧和另一侧位于以支撑部及升降部的旋转中心为基准的彼此相反方向的位置，因此可以起到在运输机器人时提高稳定感的效果。

Description

基板搬运用机器人
技术领域
本发明涉及一种搬运基板的基板搬运用机器人，更具体而言涉及一种向使用场所运输时提高稳定感的基板搬运用机器人。
背景技术
机器人(Robot)通过控制装置执行作业所需的程序从而根据目的执行作业，在多种产业领域中被广泛使用。
基板搬运用机器人在半导体制造领域或平板显示装置制造领域等中被广泛使用，用于将载置在盒子(Cassette)的基板运向基板处理装置，或者将基板处理装置的基板运向盒子，或者将基板从任一个基板处理装置运向另一个基板处理装置。
一般而言，基板搬运用机器人包括：直线运动部，设置于在作业场所的地板等设置的移送轨道，并且设置为能够沿着与地板平行的方向进行直线运动；旋转运动部，一端部侧被上述直线运动部支撑并与上述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被上述直线运动部支撑的部位为基准旋转；支撑部，下端部侧被上述旋转运动部的另一端部侧支撑，与上述旋转运动部一起运动，并与上述直线运动部大致垂直；升降部，以能够升降的方式设置于上述支撑部；以及多轴多关节结构的基板支撑部，设置于上述升降部并与上述升降部一起运动，并且支撑基板。
如上所述的现有基板搬运用机器人存在如下缺陷，即在运向使用场所时，稳定感相对降低。
详细而言，在将机器人运向使用场所的情况下，将上述基板支撑部与上述升降部分离之后，将上述支撑部和上述升降部折叠成与上述直线运动部平行而进行运输。其中，上述支撑部和上述升降部以下端部侧相对于上述基板支撑部能够旋转的方式设置。这样一来，将上述支撑部和上述升降部折叠起来时，上述支撑部的所有部位及上述升降部的所有部位位于上述支撑部及上述升降部的旋转中心也就是下端部侧的一侧。因此，存在运输机器人时稳定感降低的缺点。
与基板搬运用机器人相关的现有技术在韩国公开专利公报第10-2014-0056603号(2014.05.12)等中公开。
发明内容
本发明的目的可以是提供一种能够解决如上所述的现有技术中存在的所有问题的基板搬运用机器人。
并且，本发明的另一目的可以是提供一种能够提高运输时的稳定感的基板搬运用机器人。
本发明所涉及的基板搬运用机器人可以包括：直线运动部，以能够进行直线运动的方式设置；旋转运动部，一侧被上述直线运动部支撑并与上述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被上述直线运动部支撑的部位为基准旋转；支撑部，下端部被上述旋转运动部的另一侧支撑并与上述旋转运动部一起运动；升降部，支撑设置于上述支撑部，并且设置为能够沿着上述支撑部升降；基板支撑部，通过上述升降部而升降，并且供基板搭载支撑，上述支撑部设置为能够以下侧部位为基准相对于上述旋转运动部旋转，在上述支撑部以被上述旋转运动部支撑的部位为基准进行了旋转时，上述支撑部的一侧部位和另一侧部位分别位于上述支撑块的一侧和另一侧。
本实施例所涉及的基板搬运用机器人在为了运输机器人而将支撑部和设置有支撑部的升降部折叠成与直线运动部平行时，支撑部及升降部的一侧和另一侧位于以支撑部及升降部的旋转中心为基准的彼此相反方向的位置，因此能够起到在运输机器人时提高稳定感的效果。
并且，升降部的滚珠丝杠被固定，滚珠螺母以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠，并随着正反转而沿着滚珠丝杠升降，并且基板支撑部通过滚珠螺母的升降而升降。这样一来，由于长度较长的滚珠丝杠不发生旋转，所以防止滚珠丝杠由于振动旋转而受损，由此能够将滚珠丝杠的长度形成得相对较长。因此，在提高基板支撑部的升降高度的方面，能够起到相对较少地受到限制的效果。
并且，由于通过制动部来防止升降部的滚珠螺母旋转或者升降部的壳体下降，所以能够起到能够防止升降部降落的效果。
并且，由于滚珠丝杠不发生旋转，所以能够起到容易设置滚珠丝杠的效果。
并且，在升降部的滚珠丝杠的外周面设置有滚珠螺母，在滚珠丝杠的滚珠螺母上侧的外周面设置有轴承。因此，滚珠螺母的长度方向与轴承的长度方向能够大致在一条直线上，由此能够起到减少升降部和供升降部设置的支撑部的在滚珠丝杠的半径方向上的体积的效果。
并且，由于滚珠丝杠成为被支撑部件划分为多个区域的形态，所以成为滚珠丝杠的长度变短的形态。由此，能够起到能够相对地防止滚珠丝杠变形的效果。
并且，在具有两个使滚珠螺母旋转的驱动马达的情况下，即使任一个驱动马达发生了异常，也能够利用另一个驱动马达使滚珠螺母旋转，因此能够起到如下效果，即，能够提高作业的连续性，并且能够通过未发生故障的另一个驱动马达来防止滚珠螺母下降。
附图说明
图1是本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人的立体图。
图2是示出本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人的运输状态的立体图。
图3是示出图1所示的支撑块的内部结构的立体图。
图4是图1所示的升降部的主要部分分解立体图。
图5是图4所示的滚珠螺母及轴承部位的放大立体图。
图6是本发明的第二实施例所涉及的基板搬运用机器人的支撑部及升降部的概略俯视剖视图。
图7是本发明的第三实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图。
图8是示出图7所示的支撑部件的动作的概略侧视图。
图9是示出图8所示的支撑部件的另一使用例的概略侧视图。
图10是示出图8所示的支撑部件的变形例的概略侧视图。
图11是本发明的第四实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图。
具体实施方式
在本说明书中，应注意在对各附图的结构元件标记附图标记时，对于相同的结构元件，即使出现在不同的附图中也使其尽可能具有相同的附图标记。
另一方面，在本说明书中描述的用语的含义应理解如下。
应理解单数的表述若在文脉上并未明确定义为其他含义则包括复数表述，“第一”、“第二”等用语是用于将一个结构元件与另一个结构元件进行区分，不应被这些用语限定权利范围。
应理解“包括”或者“具有”等用语并非提前排除一个或更多的其他特征或数字、步骤、动作、结构元件、部件或者这些的组合的存在或者可附加性。
应理解用语“至少一个”包括能够由一个以上的相关项目提示的所有组合。例如，“第一项目、第二项目和第三项目中的至少一个”的含义不仅是指第一项目、第二项目或者第三项目的每个，还包括第一项目、第二项目和第三项目中两个以上的所有项目的组合。
应理解用语“和/或”包括由一个以上的相关项目能够提示的所有组合。例如，“第一项目、第二项目和/或第三项目”的含义不仅是指第一项目、第二项目或者第三项目，还包括第一项目、第二项目或者第三项目中两个以上的所有项目的组合。
应理解在提及某一结构元件“连结或者设置”于另一结构元件时，可以是直接连结或者设置于该另一结构元件，但也可以在它们之间存在其他结构元件。反之，应理解在提及某一结构元件“直接连结或者设置”于另一结构元件时，它们之间不存在其他结构元件。另一方面，对用于说明结构元件间的关系的其它表述，即“～之间”和“就在～之间”或者“与～相邻的”和“与～直接相邻的”等也应当同样理解。
下文中，参照附图对本发明的实施例所涉及的基板搬运用机器人进行详细说明。
第一实施例
图1是本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人的立体图。
如图所示，本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人可以设置在用于制造半导体或者平板显示装置的清洁室等中而使用，可以包括直线运动部110、旋转运动部120、支撑部130、升降部140和基板支撑部180。因此，能够将载置在盒子(Cassette)的玻璃或者硅晶片等基板S运向基板处理装置，或者将基板处理装置的基板运向盒子，或者将从任一个基板处理装置运向另一个基板处理装置。
在上述清洁室的地板可以设置有轨道形式的基部50，直线运动部110可以设置于基部50，并且以能够沿与上述清洁室的地板平行的方向亦即水平方向进行直线往复运动的方式设置。直线运动部110可以直接设置于上述清洁室的地板，但此时可以在直线运动部110的下表面以能够旋转的方式设置有多个轮子。
旋转运动部120可以是其一端部侧被直线运动部110支撑而与直线运动部110一起运动。并且，旋转运动部120可以被设置为能够以被直线运动部110支撑的部位为基准相对于直线运动部110旋转。
若使直线运动部110和旋转运动部120适当地运动，则能够移动机器人以使基板支撑部180向想要搬运的基板S侧移动。
支撑部130可以是其下端部侧被旋转运动部120的另一端部侧支撑而与旋转运动部120一起运动。支撑部130可以包括具有规定长度的支撑框架131(参照图3)、和包围支撑框架131的一部分外轮廓的盖部135，并且可以与直线运动部110大致正交。
升降部140可以支撑设置于支撑部130而沿着支撑部130的长度方向升降，基板支撑部180可以设置于升降部140而与升降部140一起升降。
基板支撑部180可以包括被设置为能够以相互连结的部位为基准旋转的多轴多关节结构的多个臂181。此时，位于最外轮廓的任一个臂181可以以能够旋转的方式设置于升降部140，在位于最外轮廓的另一个臂181的端部可以以能够旋转的方式设置有搭载支撑基板S的辐条(spoke)183。并且，基板支撑部180可以在上下隔开间隔地设置有多个。
于是，使直线运动部110移动并使旋转运动部120旋转，而使基板支撑部180位于想要搬运的基板S侧。然后，使升降部140升降而使基板支撑部180的辐条183位于想要搬运的基板S的下侧，之后张开相互以能够旋转的方式连结的臂181而使辐条183位于想要搬运的基板S的下表面下侧。然后，使升降部140上升而将想要搬运的基板S搭载到辐条183，之后将相互以能够旋转的方式连结的臂181折叠，则想要搬运的基板S被运出。然后，将按照适当的顺序执行如上所述的动作而运出的基板S搬到期望的位置即可。
参照图1～图3对运输本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人的情况进行说明。图2是示出本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人的运输状态的立体图，图3是示出图1所示的支撑块的内部结构的立体图。
如图所示，在将本发明的实施例所涉及的基板搬运用机器人运向其他场所的情况下，由于支撑部130和升降部140的高度较高，因此在将基板支撑部180(参照图1)分离的状态将支撑部130及升降部140折叠成与直线运动部110平行而进行运输。
为此，在旋转运动部120的另一端部侧，可以向上侧突出地形成有供支撑部130的下侧部位支撑的支撑块121。此时，在支撑部130的下侧部位支撑于支撑块121的上端部侧，支撑部130及升降部140可以以支撑块121的上端部侧为基准能够旋转的方式设置。
这样一来，在使支撑部130及升降部140旋转而将支撑部130及升降部140折叠成与直线运动部110平行时，支撑部130及升降部140以旋转中心即支撑块121为基准，一侧和另一侧位于彼此为相反方向的位置。即，支撑部130及升降部140的一侧位于支撑块121的右侧，另一侧位于支撑块121的左侧。这种状态与支撑部130及升降部140的整体部位位于支撑块121的左侧或者右侧的情况相比，提高稳定感。
由于升降部140设置于支撑部130，所以若使支撑部130旋转则升降部140也会一起旋转。
本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人可以在支撑块121的内部设置有用于使支撑部130旋转的驱动模块125，驱动模块125可以包括相互啮合的蜗杆(Worm)126和蜗轮(Worm Wheel)127。
蜗杆126和蜗轮127在第一旋转轴126a和第二旋转轴127a的外周面分别形成为一体，可以与第一旋转轴126a和第二旋转轴127a分别一起旋转。并且，第一旋转轴126a和第二旋转轴127a可以相互正交，并且第一旋转轴126a可以与直线运动部110正交，第二旋转轴127a可以与直线运动部110平行地与支撑部130连结。
因此，若利用马达使第一旋转轴126a旋转，或者利用夹具等进行手动操作而使第一旋转轴126a旋转，则通过第一旋转轴126a的旋转，蜗杆126旋转的同时蜗轮127旋转，因此第二旋转轴127a旋转的同时支撑部130旋转。这样一来，由于支撑部130旋转，所以支撑部130会与直线运动部110构成平行或者与直线运动部110构成垂直。
在由蜗杆126和蜗轮127构成驱动模块125的情况下，由于其特性上的原因，蜗轮127仅通过蜗杆126的旋转而旋转，所以在使驱动模块125驱动而使支撑部130旋转时，能够防止支撑部130由于自身重量而降落。
并且，在由蜗杆126和蜗轮127构成驱动模块125的情况下，由于其特性上的原因，能够使蜗轮127减速，所以能够使支撑部130减速旋转。
在第二旋转轴127a和支撑部130之间还可以设置有另外的减速模块。
参照图1、图4和图5对升降部140进行说明。图4是图1所示的升降部的主要部分分解立体图，图5是图4所示的滚珠螺母及轴承部位的放大立体图。
如图所示，升降部140能够使基板支撑部180升降，并且可以包括滚珠丝杠141、滚珠螺母142、驱动马达144、壳体146、轴承147、导轨148和第一升降块149。
滚珠丝杠141其下端部和上端部可以支撑固定于支撑部130而与直线运动部110大致垂直，滚珠螺母142可以以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠141。此时，滚珠螺母142可以随着正反转而沿着滚珠丝杠141升降。
在滚珠丝杠141的外周面和滚珠螺母142的内周面可以相互对应地分别形成有螺旋槽，可以在上述螺旋槽夹设有滚珠。上述滚珠有助于滚珠螺母142在滚珠丝杠141的外周面顺利旋转。
驱动马达144能够提供用于使滚珠螺母142旋转的旋转力。为了将驱动马达144的旋转力传递到滚珠螺母142，在滚珠螺母142和驱动马达144的旋转轴可以分别形成有带轮143、145，并且带轮143和带轮145可以通过带相互连结。因此，滚珠螺母142是通过驱动马达144旋转的。
在壳体146的内部可以支撑设置有驱动马达144，在外表面可以以能够旋转的方式设置有基板支撑部180的臂181的端部。并且，壳体146可以与后述的轴承147结合而与轴承147一起升降。
轴承147以能够升降的方式设置于滚珠丝杠141的在滚珠螺母142的上端面上侧的部位，从而可以通过滚珠螺母142升降。即，轴承147设置于滚珠丝杠141的在滚珠螺母142的长度方向上侧的部位，轴承147的长度方向和滚珠螺母142的长度方向可以大致在一条直线上。
并且，轴承147的内圈可以设置于滚珠丝杠141且外圈可以与壳体146结合。由于设置空间上的限制，可能不易将轴承147的外圈与壳体146直接结合。考虑到这种理由，可以在轴承147的外圈形成有与壳体146结合的突出块147a。
于是，若滚珠螺母142通过驱动马达144而旋转，则滚珠螺母142沿着滚珠丝杠141升降，并且通过滚珠螺母141的升降，下端面与滚珠螺母141的上端面侧接触的轴承147升降。由此壳体146升降，所以基板支撑部180升降。
由于壳体146位于支撑部130的外侧从而无法以滚珠丝杠141为中心旋转，所以若滚珠螺母142旋转，则滚珠螺母142沿着滚珠丝杠141升降。
导轨148和第一升降块149能够支撑壳体146以使壳体146稳定地升降，同时能够进一步防止壳体146旋转。
详细而言，导轨148可以与滚珠丝杠141平行地设置于支撑部130，并且可以在导轨148以能够升降的方式设置有第一升降块149。并且，在第一升降块149可以结合有壳体146。这样一来，通过导轨148和第一升降块149防止壳体146旋转，因此壳体146与滚珠螺母142一起稳定地升降。导轨148可以隔着滚珠丝杠141设置在两侧。
本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人中，滚珠螺母142旋转的同时沿着滚珠丝杠141升降。并且，驱动马达144在经由上述带使滚珠螺母142旋转的同时，还限制滚珠螺母142使其无法旋转。因此，在驱动马达144发生了故障的情况下，由于升降部140和基板支撑部180的自身重量，可能会使滚珠螺母142下降而降落。
为了防止上述情况，可以在本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人设置防止升降部140降落的制动部150。制动部150可以对滚珠螺母142的旋转进行制动从而防止滚珠螺母142降落，可以包括盘151和摩擦垫153。
盘151可以在滚珠螺母142的外周面一体形成。并且，摩擦垫153可以支撑设置于支撑轴承147的突出块147a而与轴承147一起运动，可以紧贴于盘151而进行制动，以使盘151不发生旋转。若盘151无法旋转，则滚珠螺母142也无法旋转，因此防止除导轨148之外的升降部240降落。
摩擦垫153可以为利用电磁力的电磁式、利用液压的液压式或者利用空气压力的空气压力式等，可以通过控制部的控制而紧贴于盘151。
在壳体146或者突出块147a的一侧可以设置有检测滚珠螺母142的降落的传感器155。传感器155可以为检测将驱动马达144的旋转力传递到滚珠螺母142的上述带的断开的传感器，或者可以为检测滚珠螺母142的旋转速度的传感器。因此，若在传感器155中检测到上述带断开或者滚珠螺母142的旋转速度为规定速度以上，则摩擦垫153可以通过上述控制部的控制而紧贴于盘151。
本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人中，固定设置有升降部140的滚珠丝杠141，并且滚珠螺母142以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠141并随着正反转而沿着滚珠丝杠141升降，并且通过滚珠螺母142的升降使基板支撑部180升降。即，由于滚珠丝杠141不发生旋转，所以能够防止滚珠丝杠141由于振动旋转而受损。这样一来，能够使滚珠丝杠141的长度形成得相对较长，因此在提高基板支撑部180的升降高度方面能够相对较少地受限。
并且，若由于驱动马达144的故障等而导致滚珠螺母142欲随着旋转而沿着滚珠丝杠141降落，则制动部150对滚珠螺母142的旋转进行制动，因此能够防止升降部140的降落。
并且，由于滚珠丝杠141不发生旋转，所以能够容易设置滚珠丝杠141。
并且，在滚珠丝杠141的外周面设置有滚珠螺母142，在滚珠丝杠141的在滚珠螺母142上侧的外周面设置有轴承147。因此，滚珠螺母142的长度方向和轴承147的长度方向大致在一条直线上，因此与在滚珠螺母的外周面设置轴承的现有的基板搬运用机器人相比，升降部140及供升降部140设置的支撑部130的在滚珠丝杠141的半径方向上的体积减少。
第二实施例
图6是本发明的第二实施例所涉及的基板搬运用机器人的支撑部及升降部的概略俯视剖视图，下面仅对与第一实施例的不同点进行说明。
如图所示，本发明的第二实施例所涉及的基板搬运用机器人的制动部250可以对升降部240的壳体246的下降进行制动从而防止升降部240降落，并且可以包括摩擦垫253。
摩擦垫253可以支撑设置于壳体246而与壳体246一起运动，并且可以紧贴于导轨248而进行制动以使壳体246不下降。导轨248可以设置于由支撑框架231的外侧和盖部235形成的支撑部230的空间。若壳体246无法下降，则与壳体246连结的轴承247和第一升降块149(参照图3)也无法下降，因此防止除导轨248之外的升降部240降落。
摩擦垫253可以利用电磁力的电磁式、利用液压的液压式或者利用空气压力的空气压力式等来准备，可以通过控制部的控制而紧贴于导轨248。
在壳体246或者突出块247a的一侧设置有检测滚珠螺母242的降落的传感器255。传感器255可以为检测将驱动马达144(参照图3)的旋转力传递到滚珠螺母242的上述带的断开的传感器，或者可以为检测滚珠螺母242的下降速度的传感器。因此，若在传感器255中检测到上述带断开或者滚珠螺母242的下降速度为规定速度以上，则摩擦垫253可以通过上述控制部的控制而紧贴于导轨248。
第三实施例
图7是本发明的第三实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图，图8是示出图7所示的支撑部件的动作的概略侧视图，下面对此进行说明。
如图所示，本发明的第三实施例所涉及的基板搬运用机器人可以包括支撑滚珠丝杠341而防止滚珠丝杠341变形的支撑模块360。更具体而言，支撑模块360能够防止长度较长的滚珠丝杠341由于设置于壳体346内部的驱动马达144(参照图3)和与壳体346的外表面结合的基板支撑部180(参照图1)的负荷而发生变形。
支撑模块360可以设置为能够沿着滚珠丝杠341升降，并且可以将滚珠丝杠341划分成多个区域，并且可以被导轨348侧支撑并包括支撑部件361、衬套363和第二升降块365。
支撑部件361具有将滚珠丝杠341的位于滚珠螺母342的下侧及轴承347的上侧的部位分别包围的方式设置的支撑管361a、和将支撑管361a连结为一体的连结部361b。并且，衬套363可以设置于各支撑管361a的内周面并与滚珠丝杠341接触，第二升降块365可以以能够升降的方式设置于导轨348，同时与支撑部件361的连结部361b结合。因此，支撑部件361经由第二升降块365支撑于导轨348。
支撑部件361的连结部361b的上侧部位可以与壳体346的上表面接触，因此支撑部件361能够通过升降的壳体346而升降。
这样一来，滚珠丝杠341与支撑模块360的衬套363接触并被衬套363支撑，由此成为划分成多个区域的形态，因此成为滚珠丝杠341的长度变短的形态。因此，能够相对地防止滚珠丝杠341发生变形。
图9是示出图8所示的支撑部件的另一使用例的概略侧视图，下面仅对与图8的不同点进行说明。
如图所示，支撑模块360的支撑部件361可以与滚珠螺母342联动地升降。滚珠螺母342与支撑部件361可以通过动力传递模块370相互连结，以使滚珠螺母342和支撑部件361能够联动地升降。
详细而言，动力传递模块370可以包括与滚珠螺母342连结的第一带371、以能够旋转的方式支撑设置于支撑部130(参照图1)并且支撑第一带371的两端部侧的第一旋转支撑体373、与支撑部件361连结的第二带375、以能够旋转的方式支撑设置于支撑部130并且支撑第二带375的两端部侧的第二旋转支撑体377、以及将第一旋转支撑体373的旋转力传递到第二旋转支撑体377的齿轮组装体(未图示)。
于是，若第一带371根据滚珠螺母342的升降而升降，则第一旋转支撑体373旋转。这样一来，第一旋转支撑体373的旋转力通过上述齿轮组装体而传递到第二旋转支撑体377，因此第二带375通过第二旋转支撑体377而旋转并升降。因此，支撑部件361通过第二带375而升降，所以支撑部件361与滚珠螺母342联动地升降。
若将第一旋转支撑体373和第二旋转支撑体377形成为相同大小并以构成同心的方式连结，则也可以去除上述齿轮组装体。
图10是示出图8所示的支撑部件的变形例的概略侧视图，下面仅对与图8的不同点进行说明。
如图所示，若将支撑部件361的支撑管361c形成得较长，而使支撑管361c中位于上侧的支撑管361c的下端面与轴承347的上端面接触，则支撑部件361可以通过升降的滚珠螺母342而升降。
除图8和图9所示的例子之外，支撑部件361可以通过包括绳子等在内的驱动部而与滚珠螺母342独立地进行升降。
第四实施例
图11是本发明的第四实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图，下面仅对与第一实施例的不同点进行说明
如图所示，本发明的第四实施例所涉及的基板搬运用机器人可以具有两个驱动马达444，在各驱动马达444的旋转轴可以分别形成有带轮445。并且，在滚珠螺母442可以形成有与各驱动马达444的带轮445分别经由带而连结的相互划分的第一带轮443a和第二带轮443b。
这样一来，即使在任一个驱动马达444发生了故障的情况下，也能够利用另一个驱动马达444使滚珠螺母442旋转，因此能够提高作业的连续性。
并且，在两个驱动马达444停止的状态下，在任一个驱动马达444发生了故障的情况下，通过未发生故障的另一个驱动马达444来防止滚珠螺母442的旋转，因此能够防止除导轨248之外的升降部240降落。
并且，与使用一个容量大的驱动马达相比，使用两个容量小的驱动马达更能减少成本。
本发明的第四实施例所涉及的基板搬运用机器人的结构当然能够应用于本发明的第二实施例、第三实施例及其变形例所涉及的基板搬运用机器人。
在上文中描述的本发明并不限定于上述的实施例和附图，在不脱离本发明的技术构思的范围内能够进行各种替换、变形和变更对本发明所属的技术领域中具有常规知识的人而言是显而易见的。因此，本发明的范围由随附的权利要求书表示，应理解由权利要求书的含义和范围及其等效概念推出的所有变更或变形的方式都包含在本发明的范围内。

Claims (15)

1.一种基板搬运用机器人，其特征在于，
包括：
直线运动部，以能够进行直线运动的方式设置；
旋转运动部，一侧被所述直线运动部支撑并与所述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被所述直线运动部支撑的部位为基准旋转；
支撑部，下端部被所述旋转运动部的另一侧支撑并与所述旋转运动部一起运动；
升降部，支撑设置于所述支撑部，并且设置为能够沿着所述支撑部升降；以及
基板支撑部，通过所述升降部而升降，并且供基板搭载支撑，
所述支撑部设置为能够以下侧部位为基准相对于所述旋转运动部旋转，
在所述支撑部以被所述旋转运动部支撑的部位为基准进行了旋转时，所述支撑部的一侧部位和另一侧部位以所述支撑部的旋转中心为基准分别位于一侧和另一侧，
其中，所述升降部还包括：
滚珠丝杠，下端部侧及上端部侧被所述支撑部支撑并固定；
滚珠螺母，以能够旋转的方式设置于所述滚珠丝杠，并且随着旋转而沿着所述滚珠丝杠升降；
轴承，内圈设置在所述滚珠丝杠的所述滚珠螺母的上端面上侧的部位，并且通过所述滚珠螺母而升降；
壳体，结合于所述轴承的外圈，与所述基板支撑部结合，并且与所述轴承一起升降；
驱动马达，设置于所述壳体的内部，并使所述滚珠螺母旋转；
导轨，设置于所述支撑部；以及
第一升降块，设置于所述导轨，沿着所述导轨升降，并且与所述壳体结合，其中，在所述滚珠丝杠以能够沿着所述滚珠丝杠升降的方式设置有支撑所述滚珠丝杠的支撑模块，所述支撑模块被支撑于所述导轨侧。
2.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
在所述旋转运动部形成有支撑所述支撑部的下侧部位的支撑块，
所述支撑部设置为能够以被所述支撑块支撑的部位为基准旋转，在以被所述支撑块支撑的部位为基准进行了旋转时，所述支撑部的一侧部位和另一侧部位分别位于所述支撑块的一侧和另一侧。
3.根据权利要求2所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
在所述支撑块中设置有驱动模块，
所述驱动模块包括：
第一旋转轴；
蜗杆，形成于所述第一旋转轴并与所述第一旋转轴一起旋转；
第二旋转轴，与所述支撑部连结并使所述支撑部旋转；
蜗轮，形成于所述第二旋转轴，与所述第二旋转轴一起旋转，并且与所述蜗杆啮合而通过所述蜗杆而旋转。
4.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
还包括：
制动部，防止所述升降部的降落；和
传感器，检测所述升降部的降落。
5.根据权利要求4所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
所述制动部对所述滚珠螺母进行制动。
6.根据权利要求4所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
所述制动部包括盘和摩擦垫，所述盘形成于所述滚珠螺母的外周面，所述摩擦垫支撑设置于所述轴承并与所述轴承一起运动，并且紧贴于所述盘而对所述盘进行制动。
7.根据权利要求6所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
若将所述驱动马达的旋转力传递到所述滚珠螺母的带断开、或者所述滚珠螺母的旋转速度为规定速度以上，则所述制动部对所述盘进行制动。
8.根据权利要求4所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
所述制动部对所述壳体进行制动。
9.根据权利要求4所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
所述制动部包括摩擦垫，所述摩擦垫设置于所述壳体并紧贴于所述导轨而对所述壳体进行制动。
10.根据权利要求8或9所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
若将所述驱动马达的旋转力传递到所述滚珠螺母的带断开、或者所述滚珠螺母的下降速度为规定速度以上，则所述制动部对所述壳体进行制动。
11.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
所述支撑模块将所述滚珠丝杠划分成多个区域。
12.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
所述支撑模块的一侧部位与所述升降部接触，并通过所述升降部而升降。
13.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
所述支撑模块经由动力传递模块而与所述滚珠螺母连结，并且与所述滚珠螺母联动地升降。
14.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
所述支撑模块包括：
支撑部件，具有支撑管和连结部，所述支撑管以分别包围所述滚珠丝杠的位于所述滚珠螺母的上侧及下侧的部位的方式设置，所述连结部将所述支撑管连结；
衬套，分别设置于所述支撑管的内周面并与所述滚珠丝杠接触；以及
第二升降块，以能够升降的方式设置于所述导轨，并且与所述支撑部件结合。
15.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，
在所述滚珠螺母和所述驱动马达的旋转轴分别形成有通过带而相互连结的带轮，
所述滚珠螺母的所述带轮具有相互划分的第一带轮和第二带轮，
所述驱动马达被设置有两个而使所述第一带轮和所述第二带轮分别旋转。
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