JP2014037027A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】耐久性の向上と安定した昇降位置精度の確保が可能であると共に小型化が可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る搬送装置１は、Ｚ’軸周りへの旋回動作とＸ軸方向への伸縮動作とが可能な第１のアーム１０を有する搬送ユニット２と、搬送ユニット２を支持する支持体５０と、Ｚ’軸に平行にかつＺ’軸の周囲に各々間隔をおいて配置され支持体５０に各々連結された複数の昇降軸６１〜６４と、複数の昇降軸６１〜６４を駆動することで支持体５０をＺ’軸方向へ昇降させる昇降駆動機構７０とを有する昇降ユニット３とを備える。これにより、複数の昇降軸６１〜６４に偏荷重が発生することを防止でき、昇降ユニット３の耐久性の向上と安定した昇降位置精度を確保できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウェハやガラス基板等を搬送するための搬送装置に関する。

半導体ウェハ、ガラス基板等を真空処理するに際して、いわゆるマルチチャンバ型の真空処理装置が広く用いられている。マルチチャンバ型の真空処理装置は、搬送室を中心としてその周囲に複数の処理室が配置されており、種々の基板処理を真空中で一貫して行うことができるという利点を有している。この種のマルチチャンバ型の真空処理装置は、搬送室から各処理室へ基板を自動的に搬入・搬出するための搬送ロボットを備えている。

この搬送ロボットは、基板を搬送するためのアームとアームを駆動軸の周りに駆動する駆動部とを備えた搬送ユニットと、搬送ユニットを昇降させる軸となる昇降軸と、昇降軸を駆動する昇降駆動部とを備えている。昇降軸の位置は、搬送ユニットの重心を考慮して、通常、駆動部の中心位置となるように構成されている。この場合、例えば、アームの駆動部の下方に昇降軸及び昇降駆動部が配置されることになる。また、昇降軸の位置が、アームの駆動軸に対して水平方向にずれて配置された技術も知られている（特許文献１参照）。

特開平１１−２９１１８４（図１）

しかしながら、上述したようにアームの駆動部の下方に昇降軸や昇降駆動部が配置されている場合には、搬送装置の全体のサイズが大きくなる、という問題がある。

また、上述したように昇降軸の位置がアームの駆動軸の中心位置から水平方向にずれている場合には、昇降軸に偏荷重が発生し易く搬送ユニットの昇降時にアームや駆動部や昇降軸に振動が発生し、昇降軸等の耐久性が低下すると共に昇降位置精度が不安定になる、という問題がある。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、耐久性の向上と安定した昇降位置精度の確保が可能であると共に小型化が可能な搬送装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る搬送装置は、搬送ユニットと、昇降ユニットとを具備する。
上記搬送ユニットは、第１のアームを有する。上記第１のアームは、第１の軸周りへの旋回動作と上記第１の軸と直交する第２の軸方向への伸縮動作とが可能である。
上記昇降ユニットは、支持体と、複数の昇降軸と、昇降駆動機構とを有する。上記支持体は、上記搬送ユニットを支持する。上記複数の昇降軸は、上記第１の軸に平行にかつ上記第１の軸の周囲に各々間隔をおいて配置され上記支持体に各々連結されている。上記昇降駆動機構は、上記複数の昇降軸を駆動することで上記支持体を上記第１の軸方向へ昇降させる。

本発明の第１の実施形態に係る搬送装置を示す全体斜視図である。 上記搬送装置の側面図である。 図２に示す搬送装置のＡ−Ａ断面図である。 図３に示す断面図の一部拡大図である。 上記搬送装置の昇降ユニットを示す斜視図である。 本発明の第１の変形例に係る搬送装置の複数の昇降軸の配設位置を示す図である。 本発明の第２の変形例に係る搬送装置の複数の昇降軸の配設位置を示す図である。

上記目的を達成するため、本発明の一実施形態に係る搬送装置は、搬送ユニットと、昇降ユニットとを具備する。
上記搬送ユニットは、第１のアームを有する。上記第１のアームは、第１の軸周りへの旋回動作と上記第１の軸と直交する第２の軸方向への伸縮動作とが可能である。
上記昇降ユニットは、支持体と、複数の昇降軸と、昇降駆動機構とを有する。上記支持体は、上記搬送ユニットを支持する。上記複数の昇降軸は、上記第１の軸に平行にかつ上記第１の軸の周囲に各々間隔をおいて配置され上記支持体に各々連結されている。上記昇降駆動機構は、上記複数の昇降軸を駆動することで上記支持体を上記第１の軸方向へ昇降させる。

上記搬送装置によれば、複数の昇降軸が、第１の軸に平行にかつ第１の軸の周囲に各々間隔をおいて配置され支持体に各々連結されているので、複数の昇降軸でバランスよく支持体を支持することができる。このため、複数の昇降軸に偏荷重が発生することを防止でき、昇降ユニットの耐久性の向上と安定した昇降位置精度の確保が可能となる。

上記複数の昇降軸は、上記支持体に螺合する複数のネジ軸であってもよい。この場合、上記昇降駆動機構は、駆動源と、回転伝達機構とを有する。上記駆動源は、回転軸を有する。上記回転伝達機構は、上記回転軸の回転駆動力を上記複数のネジ軸へ伝達する。これにより、駆動源の回転軸の回転駆動力を回転伝達機構により複数のネジ軸へ伝達することができる。

上記回転伝達機構は、例えば、複数のプーリと、ベルトとを有する。上記複数のプーリは、上記複数の昇降軸にそれぞれ結合されている。上記ベルトは、上記駆動源の回転駆動力を上記複数のプーリに伝える。これにより、単一の駆動源を用いてその回転駆動力を複数のプーリに同期して伝達することができる。

一実施形態において、上記搬送ユニットは、第１の駆動軸と、第１の回転駆動源と、第２の駆動軸と、第２の回転駆動源とを有する。上記第１の駆動軸は、上記第１のアームを駆動する。上記第１の回転駆動源は、上記第１の駆動軸を上記第１の軸まわりに回転させる。上記第２の駆動軸は、上記第１の駆動軸と同軸上に設けられ上記第１のアームを駆動する。上記第２の回転駆動源は、上記第２の駆動軸を上記第１の軸まわりに回転させることが可能であり上記第１の回転駆動源に上記第１の軸方向に配置されている。

これにより、第１の回転駆動源が第１の駆動軸を回転させ、第２の回転駆動源が第２の駆動軸を回転させることで、第１のアームを第１の軸周りに旋回させたり、第２の軸方向に伸縮させたりすることができる。

上記複数の昇降軸は、上記第１の回転駆動源の周囲に沿って等間隔に配設されてもよい。これにより、支持体にかかる搬送ユニットの荷重を複数の昇降軸で均等に分散することができる。この結果、複数の昇降軸に偏荷重が発生することをより確実に防止でき、昇降ユニットの耐久性を確実に向上させかつ安定した昇降位置精度を確実に得ることができる。

上記昇降ユニットは、複数の軸受部材を有してもよい。上記複数の軸受部材は、上記支持体に結合され上記複数の昇降軸と螺合する円筒形状を有する。この場合、上記支持体は、複数の突出部を有し、上記複数の突出部は、上記第１の回転駆動源の外側に突出して設けられ上記複数の軸受部材とそれぞれ結合される。上記駆動源は、隣り合う上記突出部の間に配置されている。
これにより、搬送装置の第１の軸方向及び第１の軸に直交する方向への小型化を図ることができる。

一実施形態において、上記搬送ユニットは、第２のアームと、第３の駆動軸と、第３の回転駆動源と、第４の駆動軸と、第４の回転駆動源とを有する。
上記第２のアームは、上記第１の軸周りへの旋回動作と上記第２の軸方向への伸縮動作とが可能である。
上記第３の駆動軸は、上記第１の駆動軸と同軸上に設けられ上記第２のアームを駆動する。
上記第３の回転駆動源は、上記第３の駆動軸を上記第１の軸まわりに回転させることが可能であり上記第２の回転駆動源に上記第１の軸方向に配置されている。
上記第４の駆動軸は、上記第１の駆動軸と同軸上に設けられ上記第２のアームを駆動する。
上記第４の回転駆動源は、上記第４の駆動軸を上記第１の軸まわりに回転させることが可能であり上記第３の回転駆動源に上記第１の軸方向に配置されている。
これにより、第３の回転駆動源が第３の駆動軸を回転させ、第４の回転駆動源が第４の駆動軸を回転させることで、第２のアームを第１の軸周りに旋回させたり、第２の軸方向に伸縮させたりすることができる。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る搬送装置を示す全体斜視図である。図２は、上記搬送装置の側面図である。図３は、図２に示す搬送装置１のＡ−Ａ断面図である。なお図１では、後述するボトムフランジを除く筐体の図示を省略した。また図１，図２では、後述する第１，第２のアームを伸ばした状態を示す。また、本明細書において、図中Ｚ軸方向を上下方向（垂直あるいは鉛直方向）とし、Ｚ軸と直交するＸ軸方向と、Ｚ軸及びＸ軸に直交するＹ軸方向とをそれぞれ水平方向として説明する。

（搬送装置の構成）
本実施形態の搬送装置１は、搬送ユニット２と、昇降ユニット３とを備えている。

（搬送ユニット）
本実施形態において、搬送ユニット２は、第１のアーム１０と、第１のアーム１０を駆動するための軸である第１，第２の駆動軸３１，３２と、第１，第２の駆動軸３１，３２を回転させるための第１，第２の回転駆動源３３，３４とを備えている。同様に、搬送ユニット２は、第２のアーム２０と、第２アーム２０を駆動するための軸である第３，第４の駆動軸３５，３６と、第３，第４の駆動軸３５，３６を回転させるための第３，第４の回転駆動源３７，３８とを備えている。

第１のアーム１０は、フログレグ方式の構成を有しており、アームの先端部は基板Ｗを支持するためのハンドとして機能する。第１のアーム１０は、ＸＹ平面内での伸縮動作及びＺ軸に平行なＺ’軸まわりへの旋回動作の２動作が可能である。

第１のアーム１０は、一対の関節アーム部１１、１２、ハンド部１３及びエンドエフェクタ１４を備えている。一対の関節アーム部１１、１２の一端部は、Ｚ’軸を軸として回転自在に第１，第２の駆動軸３１，３２にそれぞれ連結されている。一対の関節アーム部１１、１２は、関節部１５，１６を軸として屈伸可能となっている。一対の関節アーム部１１、１２の他端部はハンド部１３にそれぞれ回動自在に連結されている。ハンド部１３には、例えば搬送する基板Ｗが載置されるエンドエフェクタ１４が固定されている。

第２のアーム２０は、第１のアーム１０と同様にフログレグ方式の構成を有しており、アームの先端部は基板Ｗを支持するためのハンドとして機能する。第２のアーム２０は、ＸＹ平面内での伸縮動作及びＺ軸に平行なＺ’軸まわりへの旋回動作の２動作が可能である。第２のアーム２０は、第１のアーム２０よりもＺ’軸方向下方側に配置されており、第１のアーム２０とで積層型のダブルアームを構成している。

第２のアーム２０は、一対の関節アーム部２１、２２、ハンド部２３及びエンドエフェクタ２４を備えている。一対の関節アーム部２１、２２の一端部は、Ｚ’軸を軸として回転自在に第３，第４の駆動軸３５，３６にそれぞれ連結されている。一対の関節アーム部２１、２２は、第１のアーム１０と同様に、関節部を軸として屈伸可能となっている。一対の関節アーム部２１、２２の他端部はハンド部２３にそれぞれ回動自在に連結されている。ハンド部２３には、例えば搬送する基板Ｗが載置されるエンドエフェクタ２４が固定されている。

図４は、第１の駆動軸３１及び第１の回転駆動源３３の構成を説明する要部拡大図である。第１の駆動軸３１は、円柱形状であり、Ｚ’軸と同軸上に配置されている。第１の駆動軸３１はその上端側で関節アーム部１１に連結されている。第１の駆動軸３１は、その下端側で図４に示す円盤部材４１に結合されている。

第１の回転駆動源３３には、真空中での使用に耐え得る中空モータが採用されている。第１の回転駆動源３３は、円盤形状であり、環状のステータ３Ａと、ステータコイル３Ｂと、環状のロータ３Ｃと、マグネット３Ｄとを備える。

ステータ３Ａは、後述する支持体５０に支持され固定されている。ステータコイル３Ｂは、ステータ３Ａに固定されている。ロータ３Ｃは、円盤部材４１にネジ止めされている。ステータ３Ｃと、ロータ３Ａとは所定距離離間して配設されている。ロータ３Ｃは、ステータ３Ａに対してＺ’軸を軸として回転可能に設けられている。マグネット３Ｄは、ステータコイル３Ｂに対向してロータ３Ｃに固定されている。

ロータ３Ｃとステータ３Ａとの間の相対位置は一定とされ、ロータ３Ｃはステータ３Ａと同一の高さ位置に保持される。ロータ３Ｃとステータ３Ａとの間の相対位置を一定にするための構成としては、例えば、ロータ３Ｃの回転をガイドするガイド機構（ベアリング等）がロータ３Ｃとステータ３Ａとの間に設置される。

このようにして、第１の回転駆動源３３の駆動により関節アーム部１１が回転可能に構成されている。

次に、第１のアーム１０の関節アーム部１２を回転駆動するための構成について説明する。第２の駆動軸３２は、円筒形状である。第２の駆動軸３２と、第１の駆動軸３１とは、Ｚ’軸を中心として同心上に配置されている。第１の駆動軸３１は、第２の駆動軸３２の中空内に配置されている。第２の駆動軸３２の上端部は、Ｚ’軸方向で第１の駆動軸３１より下方に位置している。第２の駆動軸３２の上端部は、関節アーム部１２に連結されている。第２の駆動軸３２の下端部は、Ｚ’軸方向で第１の駆動軸３１の下端部より上方に位置している。第２の駆動軸３２の下端部は、図４に示す円盤部材４２に結合されている。

第２の回転駆動源３４は、第１の回転駆動源３３の上に載置されている。第２の回転駆動源３４には、真空中での使用に耐え得る中空モータが採用されている。第２の回転駆動源３４は、ステータ４Ａと、ステータコイル４Ｂと、ロータ４Ｃ及びマグネット４Ｄを備えている。ステータ４Ａは、第１の回転駆動源３３に支持されている。ステータコイル４Ｂは、ステータ４Ａに固定されている。ロータ４Ｃは、円盤部材４２にネジ止めされている。ステータ４Ｃと、ロータ４Ａとは所定距離離間して配設されている。ロータ４Ｃは、ステータ４Ａに対してＺ’軸を軸として回転可能に設けられている。マグネット４Ｄは、ステータコイル４Ｂに対向してロータ４Ｃに固定されている。

このようにして、第２の回転駆動源３４の駆動により関節アーム部１２が回転可能に構成されている。

次に、第２のアーム２０を駆動するための構成について説明する。

第３の駆動軸３５は、円筒形状である。第３の駆動軸３５と、第２の駆動軸３２とは、Ｚ’軸を中心として同心上に配置されている。第２の駆動軸３２は、第３の駆動軸３５の中空内に配置されている。第３の駆動軸３５の上端部は、関節アーム部２１に連結されている。第３の駆動軸３５の下端部は、図示しない円盤部材に結合されている。第３の回転駆動源３７は、第２の回転駆動源３４の上に載置されている。第３の回転駆動源３７には、第１の回転駆動源３３と同様の中空モータが採用されている。このようにして、第３の回転駆動源３７を駆動することで、関節アーム部２１が回転可能となるように構成されている。

同様に、第４の駆動軸３６は、円筒形状である。第４の駆動軸３６と、第３の駆動軸３５とは、Ｚ’軸を中心として同心上に配置されている。第３の駆動軸３５は、第４の駆動軸３６の中空内に配置されている。第４の駆動軸３６の上端部は、関節アーム部２２に連結されている。第４の駆動軸３６の下端部は、図示しない別の円盤部材に結合されている。第４の回転駆動源３８は、第３の回転駆動源３７の上に載置されている。第４の回転駆動源３８には、第１の回転駆動源３３と同様の中空モータが採用されている。このようにして、第４の回転駆動源３８を駆動することで、関節アーム部２２が回転可能となるように構成されている。

（昇降ユニット）
次に、搬送装置１の昇降ユニット３の構成を説明する。図５は、搬送装置１の昇降ユニット３を示す斜視図である。

昇降ユニット３は、搬送ユニット２を支持可能な支持体５０と、複数の昇降軸６１，６２，６３，６４と、支持体５０をＺ’軸方向へ昇降させる昇降駆動機構７０とを備える。

支持体５０は、円盤形状を有し、その中心がＺ’軸上に位置するように配置されている。支持体５０は、第１の回転駆動源３３の側周面よりＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ突出して設けられた複数の突出部５１，５２，５３，５４を備えている。隣り合う突出部５１，５２の間に形成された凹状のスペースには、後述するモータ７６が配置される。

突出部５１〜５４には、Ｚ軸方向に貫通する貫通穴がそれぞれ形成されている。各々の貫通穴には、円筒状の複数の軸受部材７１，７２，７３，７４がそれぞれ挿入されており、これら複数の軸受部材７１〜７４は支持体５０に結合されている。

複数の軸受部材７１〜７４は、それぞれ円筒部７１Ａ，７２Ａ，７３Ａ，７４Ａと、フランジ部７１Ｂ，７２Ｂ，７３Ｂ，７４Ｂとを備えている。複数のフランジ部７１Ｂ〜７４Ｂは、それぞれ円筒部７１Ａ〜７４Ａの下端に設けられている。複数のフランジ部７１Ｂ〜７４Ｂは、それぞれ支持体５０の底面側にネジ止め等で固定されている。

複数の昇降軸６１〜６４は、Ｚ’軸の周囲に各々ほぼ等しい間隔をおいて配置され、複数の軸受部材７１〜７４の各々の円頭部７１Ａ〜７４Ａに各々螺合する複数本のネジ軸で構成されている。これら複数の昇降軸６１〜６４と軸受部材７１〜７４とはボールネジユニットを構成し、昇降軸６１〜６４の軸まわりの回転動作を支持台５０の昇降移動に変換する。

本実施形態において複数の昇降軸６１〜６４は、第１の回転駆動源３３の側周面に沿って等間隔に４個配設されている。複数の昇降軸６１〜６４は、それぞれＺ’軸と平行に配設されている。複数の昇降軸６１〜６４の長さ，太さ等は、それぞれ同一である。複数の昇降軸６１〜６４の外周面には、それぞれネジ溝が形成されている。複数の昇降軸６１〜６４のそれぞれ下端側は、図示しない軸受を介して円盤形状のボトムフランジ８５に回転自在に支持されている。

昇降駆動機構７０は、Ｚ’軸に対して非同軸上に配置されたモータ７６と、複数のプーリ７８と、ベルト７９とを備える。ここで、複数のプーリ７８と、ベルト７９とが、モータ７６の回転軸７６Ａの回転駆動力を複数の昇降軸６１，６２，６３，６４へ伝達する「回転伝達機構」を構成する。

モータ７６は、回転軸７６Ａを備えており、典型的には静止系に固定される。例えばモータ７６は、回転軸７６ＡをＺ’軸と平行にして、隣り合う突出部５１，５２の間に形成された凹状のスペースに配置されている。この状態で、モータ７６は、図示しない筐体に対して適宜の支持機構を介して固定されている。

複数のプーリ７８は、複数の昇降軸６１，６２，６３，６４の各下端部付近にそれぞれ結合されている。複数のプーリ７８は、複数の昇降軸６１，６２，６３，６４とそれぞれ一体的に回転可能に設けられている。

ベルト７９は、モータ７６の回転軸７６Ａ、複数のプーリ７８に架け渡されている。ベルト７９は、モータ７６の回転軸７６Ａの回転駆動力を複数のプーリ７８に伝達する。モータ７６の回転軸７６Ａ、複数のプーリ７８は、同一のＸＹ平面内に位置するように配設されている。

搬送装置１は、制御ユニット９０をさらに有する。第１，第２，第３，第４の回転駆動源３３，３４，３７，３８の動作は、外部に設置された制御ユニット９０（図１）によって制御される。

（搬送装置の動作）
制御ユニット９０は、第１の駆動軸３１及び第２の駆動軸３２がそれぞれ同一速度で同一方向へ回転するように第１の回転駆動源３３及び第２の回転駆動源３４を制御することで、第１のアーム１０をＺ’軸周りに旋回させる。また、制御ユニット９０は、第３の駆動軸３５及び第４の駆動軸３６がそれぞれ同一速度で同一方向へ回転するように第３の回転駆動源３７及び第４の回転駆動源３８を制御することで、第２のアーム２０をＺ’軸周りに旋回させる。

また、制御ユニット９０は、第１の駆動軸３１及び第２の駆動軸３２がそれぞれ同一速度で互いに逆方向へ回転するように第１の回転駆動源３３及び第２の回転駆動源３４を制御することで、第１のアーム１０をＺ’軸に直交する方向に伸縮させる。また、制御ユニット９０は、第３の駆動軸３５及び第４の駆動軸３６がそれぞれ同一速度で互いに逆方向へ回転するように第３の回転駆動源３７及び第４の回転駆動源３８を制御することで、第２のアーム２０をＺ’軸に直交する方向に伸縮させる。

さらに、制御ユニット９０は、モータ７６の回転軸７６Ａの駆動を制御することで、モータ７６の回転軸７６Ａを回転させ、ベルト７９を介してその回転駆動力を複数のプーリ７８に伝達させる。これにより複数のプーリ７８が回転し、複数のプーリ７８と一体的に複数の昇降軸６１，６２，６３，６４が回転することで、複数の軸受部材７１，７２，７３，７４と一体的に支持台５０が昇降する。制御ユニット９０は、このモータ７６の回転軸７６Ａの回転の向き、回転量、回転開始停止のタイミング等を制御することで、支持台５０の昇降、昇降量、昇降のタイミング等を制御する。

本実施形態の搬送装置１においては、複数の昇降軸６１，６２，６３，６４がＺ’軸に平行にかつ各々第１の回転駆動源３３の側周面に沿って各々等間隔となるように配置され、各々支持体５０に連結されている。このため、搬送装置１のＺ’軸方向のサイズを小さくすることができると共に、搬送ユニット２を複数の昇降軸６１，６２，６３，６４でバランスよくかつ搬送ユニット２の荷重を分散して支持することができる。この結果、複数の昇降軸６１，６２，６３，６４への偏荷重の発生を防止し、耐久性の向上と安定した昇降位置精度の確保が可能となる。

具体的には、搬送ユニット２の昇降時の昇降ユニット３の振動を防止することができるので、昇降ユニット３の構成部品（ベアリング類等）の振動による低寿命化を防止することで、耐久性を向上させることができる。

第１，第２のアーム１０，２０が伸張した状態で各アームに基板Ｗが載置されている場合でも、４個の昇降軸６１，６２，６３，６４で支持体５０を支持することができる。このため、このような場合でも、昇降ユニット３に偏荷重が発生することを抑制して、昇降位置精度を確保することができる。

従来のように搬送ユニットを昇降させるための昇降軸が１本である場合には、昇降軸の耐荷重を純粋に必要とされる荷重より大きく見積もって昇降軸を設計していた。つまり、昇降軸の太さが太くなるなどして構成部品の高コスト化を招いていた。これに対して、本実施形態では、搬送ユニット２の荷重が４個の昇降軸６１，６２，６３，６４で分散される。このため、複数の昇降軸６１，６２，６３，６４のそれぞれの耐荷重を低減することができ、各部品を低コスト化する等してコストを削減することができる。

モータ７６は、回転軸７６ＡがＺ’軸に平行となるように、隣り合う突出部５１，５２の間に配置されている。このため、Ｚ軸方向への搬送装置１のサイズを小さくすることができる。

昇降駆動機構７０は、モータ７６の回転軸７６Ａ、複数のプーリ７８に架け渡されたベルト７９と、複数の昇降軸６１，６２，６３，６４の各下端部付近にそれぞれ結合された複数のプーリ７８とを備える。これにより、モータ７６の回転軸７６Ａを回転駆動することで、４個の昇降軸６１，６２，６３，６４を同時に回転駆動することができる。この結果、支持体５０の水平状態を維持したまま搬送ユニット２を昇降させることができる。また、昇降ユニット３の駆動源を１個のモータ７６にすることができるので、搬送装置１の低コスト化を図ることができる。

搬送装置１は、例えば真空処理装置の搬送装置として用いられる。搬送装置１は、図示しないロード／アンロード室に搬入された基板Ｗを、搬送装置１が配置されている部屋である搬送室を介してプロセスチャンバへ移載したり、プロセスチャンバで処理した基板Ｗを、搬送室を介して上記ロード／アンロード室へ移載したりする。このとき、昇降ユニット３の支持体５０が、第１のアーム１０及び第２のアーム２０を備えた搬送ユニット２を支持している。このため、同一の昇降ユニット３によって第１のアーム１０，第２のアーム２０を同時に昇降させることが可能である。この結果、第１のアーム１０，第２のアーム２０にそれぞれ基板Ｗを載置した状態で、昇降ユニット３による一回の昇降動作で複数枚の基板Ｗを昇降させることができるので、処理効率を向上させることができる。

複数の軸受部材７１，７２，７３，７４の複数のフランジ部７１Ｂ，７２Ｂ，７３Ｂ，７４Ｂは、それぞれ支持体５０の底面側にネジ止めされている。これにより、複数のフランジ部７１Ｂ，７２Ｂ，７３Ｂ，７４Ｂにより支持体５０を支持した状態で支持体５０を昇降させることができる。この結果、支持体５０と複数の軸受部材７１，７２，７３，７４との結合の耐久性を向上させることができると共に、結果的に昇降位置精度の確保が可能となる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることはなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。

例えば、搬送ユニット２のＺ’軸方向の昇降をガイドする昇降ガイド部材が搬送装置１にさらに設けられてもよい。昇降ガイド部材としては、例えばリニアシャフトとリニアブッシュやスライドレール等を用いることができる。さらに、昇降ガイド部材は、Ｚ’軸方向で搬送装置１の上部側に設けられてもよい。これにより搬送ユニット２の昇降時における搬送装置１の上部側での昇降安定性を確保することができる。

上記実施形態では、複数のプーリ７８と、ベルト７９とで「回転伝達機構」を構成する例を説明した。これに代えて、複数の昇降軸６１，６２，６３，６４の下端部にそれぞれ設けられた複数のギアと、モータ７６の回転軸７６Ａの回転駆動力をこれらの複数のギアに伝達するための複数のギアとを備えるようにしてもよい。これにより、例えばより重い搬送ユニットを確実かつ安定的に昇降させることができる。

図６は本発明の第１の変形例に係る搬送装置の複数の昇降軸の配設位置を示す図であり、図７は本発明の第２の変形例に係る搬送装置の複数の昇降軸の配設位置を示す図である。なお、第１，第２の変形例の搬送装置１００，２００は、複数の昇降軸の配設位置が異なる構成を備える以外は上記第１の実施形態と同様の構成を備えるので、異なる箇所のみ説明する。

上記実施形態では、複数の昇降軸６１，６２，６３，６４が、第１の回転駆動源３３の側周面に沿って等間隔に４個配設されている構成を示した。これに代えて、図６に示すように３個の昇降軸６１，６２，６３が第１の回転駆動源３３の側周面に沿って各々等間隔に配設されるようにしてもよい。また、図７に示すように２個の昇降軸６１，６２が第１の回転駆動源３３の側周面に沿って各々等間隔に配設されるようにしてもよい。

これらの場合には、搬送ユニット２の昇降をガイドするガイド機構を設けることが好ましい。このガイド機構の例としては、例えばリニアシャフトとリニアブッシュやスライドレール等を用いることができる。これにより、搬送装置の低コスト化及び軽量化を図りつつ耐久性の向上と安定した昇降位置精度の確保が可能となる。

上記実施形態では、第１のアーム１０を駆動するための構成及び第２アーム２０を駆動するための構成を備える例を示した。これに代えて、第１のアーム１０を駆動するための構成のみ又は第２のアーム２０を駆動するための構成のみを備えるようにしてもよい。また、第１，第２のアーム１０，２０に更にＺ’軸を中心として同心上に同様の構成のアームを備えるようにしてもよい。これにより、基板の搬送に適した搬送装置を適宜提供することができる。

また、以上の実施形態及び変形例では、第１，第２のアーム１０，２０としてフログレグ方式の搬送アームで構成したが、これに限られず、テレスコピック方式、ＳＣＡＲＡ方式等のアーム構造が採用されてもよい。

Ｚ’ Ｚ’軸（第１の軸）
Ｘ Ｘ軸（第２の軸）
１，１００，２００ 搬送装置
２ 搬送ユニット
３ 昇降ユニット
１０ 第１のアーム
２０ 第２のアーム
３１ 第１の駆動軸
３２ 第２の駆動軸
３３ 第１の回転駆動源
３４ 第２の回転駆動源
３５ 第３の駆動軸
３６ 第４の駆動軸
３７ 第３の回転駆動源
３８ 第４の回転駆動源
５０ 支持体
５１，５２，５３，５４ 突出部
６１，６２，６３，６４ 昇降軸
７０ 昇降駆動機構
７１，７２，７３，７４ 軸受部材
７６ モータ（駆動源）
７６Ａ 回転軸
７８ プーリ
７９ ベルト

Claims (7)

1. 第１の軸周りへの旋回動作と前記第１の軸と直交する第２の軸方向への伸縮動作とが可能な第１のアームを有する搬送ユニットと、
   前記搬送ユニットを支持する支持体と、前記第１の軸に平行にかつ前記第１の軸の周囲に各々間隔をおいて配置され前記支持体に各々連結された複数の昇降軸と、前記複数の昇降軸を駆動することで前記支持体を前記第１の軸方向へ昇降させる昇降駆動機構とを有する昇降ユニットと
   を具備する搬送装置。
2. 請求項１に記載の搬送装置であって、
   前記複数の昇降軸は、前記支持体に螺合する複数のネジ軸であり、
   前記昇降駆動機構は、回転軸を有する駆動源と、前記回転軸の回転駆動力を前記複数のネジ軸へ伝達する回転伝達機構とを有する
   搬送装置。
3. 請求項２に記載の搬送装置であって、
   前記回転伝達機構は、
   前記複数の昇降軸にそれぞれ結合された複数のプーリと、
   前記駆動源の回転駆動力を前記複数のプーリに伝えるベルトとを有する
   搬送装置。
4. 請求項２に記載の搬送装置であって、
   前記搬送ユニットは、
   前記第１のアームを駆動するための第１の駆動軸と、
   前記第１の駆動軸を前記第１の軸まわりに回転させることが可能な第１の回転駆動源と、
   前記第１の駆動軸と同軸上に設けられ前記第１のアームを駆動するための第２の駆動軸と、
   前記第２の駆動軸を前記第１の軸まわりに回転させることが可能であり前記第１の回転駆動源に前記第１の軸方向に配置された第２の回転駆動源とを有する
   搬送装置。
5. 請求項２に記載の搬送装置であって、
   前記複数の昇降軸は、前記第１の回転駆動源の周囲に沿って等間隔に配設されている
   搬送装置。
6. 請求項５に記載の搬送装置であって、
   前記昇降ユニットは、前記支持体に結合され前記複数の昇降軸と螺合する円筒形状の複数の軸受部材を有し、
   前記支持体は、前記第１の回転駆動源の外側に突出して設けられ前記複数の軸受部材とそれぞれ結合される複数の突出部を有し、
   前記駆動源は、隣り合う前記突出部の間に配置されている
   搬送装置。
7. 請求項６に記載の搬送装置であって、
   前記搬送ユニットは、
   前記第１の軸周りへの旋回動作と前記第２の軸方向への伸縮動作とが可能な第２のアームと、
   前記第１の駆動軸と同軸上に設けられ前記第２のアームを駆動するための第３の駆動軸と、
   前記第３の駆動軸を前記第１の軸まわりに回転させることが可能であり前記第２の回転駆動源に前記第１の軸方向に配置された第３の回転駆動源と、
   前記第１の駆動軸と同軸上に設けられ前記第２のアームを駆動するための第４の駆動軸と、
   前記第４の駆動軸を前記第１の軸まわりに回転させることが可能であり前記第３の回転駆動源に前記第１の軸方向に配置された第４の回転駆動源とを有する
   搬送装置。

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