JP6927505B2 - 走行及びガイド機能を備える走行レール並びにそれを利用するパレット移送システム - Google Patents

走行及びガイド機能を備える走行レール並びにそれを利用するパレット移送システム Download PDF

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Description

本発明は、パレット移送システムにおいて、走行及びガイド機能を備える走行レール及びそれを利用するパレット移送システムに関し、より詳しくは、工程間の基板移送のためのパレットに取り付けられる水平面に対して傾斜して取り付けられるガイドローラを備えるローラユニットが、傾斜した断面を有する走行レールに安着されてパレットが走行する途中にローラユニットの移動をガイドし、ガイドローラが走行レールのレール傾斜部から離脱することを防止し得る走行及びガイド機能を備える走行レール、並びにそれを利用するパレット移送システムに関する。
一般に、半導体素子を製造するためには、拡散、エッチング、フォトリソグラフィ、クリーニング工程などの工程を行うようになる。このようなそれぞれの工程は前の工程と連係され、各工程が完了されてから次の工程に移送されるべきである。
従来のローラ式基板移送装置は、複数個のシャフト（ｓｈａｆｔ）とシャフトそれぞれに複数個のローラ（ｒｏｌｌｅｒ）が均等な間隔で固定設置されて基板を移送し、基板移送の方向を転換するためのダイバーティング（ｄｉｖｅｒｔｉｎｇ）ユニットなどを備えて基板を移送する。シャフトは、モータなどのような動力発生装置から動力を伝達されて回転され、それを介してローラを回転させる。ローラは基板の下部と直接接触して基板を支持し、シャフトの回転力を伝達されて回転することで基板を移送する。
このようなローラ式ダイバーティングユニットを利用した基板移送装置に関する技術の一例として、下記特許文献１では「大型基板の搬送システム及びその搬送方法」が提案されており、下記特許文献２では「基板移送装置」が提案されており、下記特許文献３では「基板移送装置」が提案されており、下記特許文献４では「移送システム」が提案されており、下記特許文献５では「基板移送装置及びそれを利用する基板処理装置」が提案されている。
しかし、このような従来のダイバーティングユニットは、外部からの基板のローディング、垂直／水平移動、及び方向転換のために、異なる大きさを有する複数のローラや複数の移送フレーム、複数のリフトピン、複数の駆動部を備える。よって、その構造と駆動方法が非常に複雑で、基板を移送するのに多くの時間がかかる短所があった。
また、ダイバーティングユニットのローラが上昇して基板を支持しながら移送する過程で、衝撃及び振動が発生して基板に損傷または欠陥が生じる短所があった。
上述した問題点を解決するために、本発明の出願人によって出願されて登録済みの特許文献６が提案されている。
図１は従来技術によるパレット移送システムの斜視図であり、図２ａは従来技術によるローラユニットの斜視図であり、図２ｂは従来技術によるローラユニットと走行レールを示す断面図である。
従来技術である特許文献６によると、図１及び図２ａ、図２ｂに示したように、パレット移送システム１は、ローラユニット１５が取り付けられているパレット１０と、前記パレット１０が走行するようにフレーム２０の上に配置される走行レール１６を含む。
従来技術によると、図２ａ、図２ｂに示したように、ローラユニット１５の走行ローラ１５−１は走行レール１６の上部平坦面１６−１に沿って回転走行し、それに加えて安定的な走行構造を維持するために、ローラユニット１５のガイドホイール１５−２が走行レール１６の側壁面１６−２に沿って回転走行するようにしており、前記ガイドホイール１５−２の離脱を防止するレール隔壁１６−３を備え、前記ローラユニット１５のガイドホイール１５−２によって掃除されて落下する異物を受ける異物受け溝１６−４からなる。
しかし、上述した従来技術は、ローラユニット１５のガイドホイール１５−２が走行レール１６の側壁面１６−２とレール隔壁１６−３との間に配置される構造において、裕隔による離隔距離Ｓのため左右揺れによる振動とノイズが発生する問題点が依然として発生している。
つまり、従来技術によるローラユニット１５が取り付けられて走行する場合、前記ローラユニット１５のガイドホイール１５−２と走行レールとの間の裕隔による離隔距離Ｓが発生し、前記裕隔空間の上に異物が発生するだけでなく、パレット１０自体に左右揺れが発生して振動によるノイズが発生し、また、移送の途中に特定の検査装備によって検査が行われる場合、パレット１０全体を上部に持ち上げてから降ろす分離工程が発生するが、この場合に前記ローラユニット１５と走行レール１６との間に干渉が発生するなどの問題点がある。
韓国登録特許公報 第１０−０６６１９０７号（公告日付２００６年１２月２８日） 韓国登録特許公報 第１０−０８３４７３４号（公告日付２００８年０６月０５日） 韓国登録特許公報 第１０−１４２７５９５号（公告日付２０１４年０８月０８日） 韓国登録特許公報 第１０−２０１０−８１１５３号（公告日付２０１０年０７月１４日） 韓国登録特許公報 第１０−１３６７６６９号（公告日付２０１４年０３月０３日） 韓国登録特許公報 第１０−１９６０６７９号（公告日付２０１９年０３月２１日）
本発明は、前記のような問題点を解決するための発明であって、本発明による走行及びガイド機能を備える走行レールによると、パレットに取り付けられているローラユニットが本発明による走行レールの傾斜した断面に安着されて走行するため、空間上のギャップまたは干渉などを防止する走行及びガイド機能を備える走行レールを提供することを目的とする。
また、本発明による走行レールの傾斜した断面にローラユニットの左右傾斜した断面に取り付けられるガイドローラが自然に安着されて走行レールのレール傾斜部にローラユニットをガイドすることで、安全な走行機能、及びローラユニットの移動をガイドするガイド機能を同時に提供することを目的とする。
また、本発明によると、走行レールのレールパッドの断面とローラユニットのキャスタブロックの下端部である平らなキャスタパッドが面接触し、レールパッド及びキャスタパッドに摩擦が少ない滑らかな素材を挿入して形成することで、ガイドローラの走行ローラが破損または摩耗してガイドローラを含むローラユニットが下部に垂れることが発生した場合、レールパッドの断面とキャスタブロックのキャスタパッドの断面が互いに柔らかく密着して進行することで、断面が突き当たることで発生する抵抗力を最小化することができるパレット移送システムを提供することを目的とする。
前記のような課題を達成するための本発明による走行及びガイド機能を備える走行レールは、基板移送のためのパレット移送システムに複数個が交差して形成される走行及びガイド機能を備える走行レールにおいて、前記走行レールは、上部断面が平らなレールパッドと、前記レールパッドの左右側下方に傾斜するレール傾斜部と、前記レール傾斜部から延長されて溝部からなる異物受け部と、前記走行レールを固定させるために複数個のスリットを下端部に形成したレール締結部を含んで形成され、レールターンモジュールにおけるフレーム部の四角プレートの各辺に複数個の溝部を設けてフレーム締結部を構成し、前記走行レールのレール締結部と、いずれかの前記フレーム締結部を締結部材で締結し、
前記レールパッドは、摩擦が少ない滑らかな素材からなり、前記傾斜したレール傾斜部の上部にローラユニットが安着されて走行し、
前記ローラユニットは、基板移送のためのパレットに締結され、前記パレットに回転自在に設置される回転ユニットと、前記回転ユニットに締結部材によって締結され、左右側下方に傾斜した断面部を有するキャスタブロックと、前記キャスタブロックの左右側の傾斜した断面部に複数個で結合されるガイドローラと、からなり、
前記ローラユニットの回転ユニットは、前記パレットに締結されるベース固定部と、前記ベース固定部の下部に前記キャスタブロックを回転させるための軸受が挿入される回転筐体と、を含んで形成され、前記ローラユニットのキャスタブロックは、前記キャスタブロックの本体部であるキャスタ筐体と左右側下方に傾斜角を有する断面部とからなるキャスタ傾斜部と、前記キャスタブロックの下部面に平坦な断面部からなるキャスタパッドと、前記軸受が挿入された回転筐体に結合されて前記キャスタブロックを回転させるためのキャスタシャフトと、を含んで形成され、前記ローラユニットのガイドローラは、走行レール及び連結レール部と接触するウレタン素材のゴムホイールがコーティングされた円筒状に形成される走行ローラと、前記走行ローラの内部に軸受を備え、前記軸受と密着されて前記キャスタブロックを媒介にして回転されるように前記キャスタブロックのキャスタ傾斜部に連結される回転用媒介部材であるローラシャフトと、を含んで形成され、前記ローラユニットのガイドローラは、前記キャスタブロックの左右側の傾斜した断面部に左右側が互いにジグザグに複数個で結合されることを特徴とする。
本発明による走行及びガイド機能を備える走行レールにおいて、前記レールパッドは摩擦が少ない滑らかな素材からなることを特徴とする。
本発明による走行及びガイド機能を備える走行レールの前記レール傾斜部の傾斜角は、水平面に対して∠１°〜∠８９°の傾斜角を維持して形成されることを特徴とする。
本発明による走行及びガイド機能を備える走行レールの前記レール傾斜部の断面部にローラユニットが安着されて走行することを特徴とする。
本発明によると、前記ローラユニットは、基板移送のためのパレットに締結され、前記パレットのベースに回転自在に設置される回転ユニットと、前記回転ユニットに締結部材によって締結され、左右側下方に傾斜する断面部を有するキャスタブロックと、前記キャスタブロックの左右側の傾斜した断面部に複数個で結合されるガイドローラと、を含む。
本発明によると、前記ガイドローラは、水平面を基準に∠１°〜∠８９°の傾斜角を維持して結合される。
本発明によると、前記ガイドローラの走行ローラが前記走行レールの左右側下方に傾斜したレール傾斜部に安着され、前記キャスタブロックの下部面に平らな断面部からなるキャスタパッドが前記走行レールの上部断面である平らなレールパッドの断面に面接触して前記パレットが移送されることを特徴とする。
本発明による走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システムは、産業体の自動化工程において組み立て及び検査のための各種部品及び基板が積載されるパレットを移送する走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システムにおいて、前記走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システムは、工程間の部品及び基板移送のための四角板材状のパレットと、前記パレットの下部に複数個で備えられるローラユニットと、前記パレットに複数個で備えられるローラユニットの走行経路及び移動をガイドするために交差地点を有するようにパレット移送システムのフレームの上に格子構造に配置され、上部断面である平らなレールパッドと、前記レールパッドの左右側下方に傾斜したレール傾斜部と、前記レール傾斜部から延長されて溝部からなる異物受け部と、複数個のスリットを下端部に形成したレール締結部を含んで形成される複数個の走行レールと、移送過程にある前記パレットの移送経路を直角方向に変更するために、前記走行レールと走行の連続性を維持するために前記パレットのローラユニットが走行する走行レールと垂直に配置される走行レールとの間に配置される連結レール部と、前記パレットのローラユニットが安着される連結レール部の方向を垂直に回転させる方向転換用媒介手段であるレールターンモジュールと、を含んで形成され、
レールターンモジュールにおけるフレーム部の四角プレートの各辺に複数個の溝部を設けてフレーム締結部を構成し、前記走行レールのレール締結部と、前記フレーム締結部を締結部材で締結し、前記ローラユニットは、基板を移送するためにパレットに締結され、前記パレットのベースに回転可能に設置される回転ユニットと、前記回転ユニットに締結部材によって締結され、左右側下方に傾斜した断面部を有するキャスタブロックと、前記キャスタブロックの左右側の傾斜した断面部に複数個で結合されるガイドローラと、を含んで形成され、
前記ローラユニットの回転ユニットは、前記パレットのベースに締結されるベース固定部と、前記ベース固定部の下部に前記キャスタブロックを回転させるための軸受が挿入される回転筐体と、を含んで形成され、前記ローラユニットのキャスタブロックは、前記キャスタブロックの本体部であるキャスタ筐体と左右側下方に傾斜角を有する断面部とからなるキャスタ傾斜部と、前記キャスタブロックの下部面に平坦な断面部からなるキャスタパッドと、前記軸受が挿入された回転筐体に結合されて前記キャスタブロックを回転させるためのキャスタシャフトと、を含んで形成され、前記ローラユニットのガイドローラは走行レール及び連結レール部と接触するウレタン素材のゴムホイールがコーティングされた円筒状に形成される走行ローラと、前記走行ローラの内部に軸受を備え、前記軸受と密着されて前記キャスタブロックを媒介にして回転されるように前記キャスタブロックのキャスタ傾斜部に連結される回転用媒介部材であるローラシャフトと、を含んで形成され、前記ローラユニットのガイドローラは、前記キャスタブロックの左右側の傾斜した断面部に左右側が互いにジグザグに複数個で結合されることを特徴とする。
本発明によると、前記レール傾斜部の傾斜角は、水平面に対して∠１°〜∠８９°の傾斜角を維持して形成されることを特徴とする。
前記ローラユニットは、回転ユニットとキャスタブロックとガイドローラとを含むが、前記回転ユニットは前記パレットのベースに締結されるベース固定部と、前記ベース固定部の下部に前記キャスタブロックを回転させるための軸受が挿入される回転筐体と、を含み、前記キャスタブロックは、前記キャスタブロックの本体部であるキャスタ筐体と左右側下方に傾斜角を有する断面部とからなるキャスタ傾斜部と、前記キャスタブロックの下部面に平らな断面部からなるキャスタパッドと、前記軸受が挿入された回転筐体に結合されて前記キャスタブロックを回転するためのキャスタシャフトと、を含む。
本発明によると、前記ガイドローラの走行ローラが前記走行レールのレール傾斜部に安着され、前記ローラユニット前記キャスタブロックのキャスタパッドの断面が前記走行レールのレールパッドの断面と対応し、柔らかく面接触して前記パレットが移送される。
本発明によると、前記連結レール部は、回転ベースと連結レールとストッパとを含むが、前記回転ベースは連結レール部の連結レールとストッパを取り付けて前記レールターンモジュールの回転動作によって連結レール部の位置を回転させ、前記連結レールは、上部面である平らな連結パッドと前記連結パッドの左右側の傾斜した断面部からなるガイドレールを含むことを特徴とする走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システム。
本発明によると、前記レールターンモジュールは、前記連結レール部を回転させるための駆動力を伝達するために前記連結レール部の下部に配置され、前記連結レール部の回転ベースに回転駆動力を伝達するシャフト軸と、オイルリングを含む回転シャフトと、中心部の内部の空間上に軸受を安着させて連結レール部の回転プレートが回転自在になるように前記回転シャフトのシャフト軸を支持するように設置され、その外側には四角プレートからなるフレーム筐体を含むフレーム部と、前記回転シャフトに回転トルクを伝達する回転シリンダと、前記回転シリンダの上部に突出されて回転シャフトのシャフト軸と連結される駆動軸と、前記回転シリンダを前記フレーム部のフレーム筐体に締結するためのマウント部と、前記回転シリンダの回転速度を制御する速度調節部と、を備える回転駆動部と、を含むことを特徴とする。
本発明によるパレット移送システムは、走行レール及びローラユニットが走行及びガイド機能を同時に備える構造によって安定的に走行すると共に、ローラユニットが走行レールから離脱されることを防止する効果がある。
また、本発明によると、ガイドローラの走行ローラが走行レールの傾斜した断面を走行するため、パレットに積載される移送資材の荷重のため、キャスタブロックに左右側に傾斜して備えられるガイドローラの走行ローラ自体が走行レールの傾斜した断面を包んで走行及びガイドされるため、振動及びノイズが発生しない効果がある。
本発明によるパレット移送システムは、パレットに取り付けられているローラユニットが走行レールの傾斜した断面に自然に安着されるため、空間上のギャップまたは干渉などが発生しない効果がある。
また、本発明によると、ローラユニットのキャスタブロックの下端部である平らなキャスタパッドは摩擦が少ない滑らかな素材を挿入して形成することで、ガイドローラの走行ローラが破損及び摩耗などによってガイドローラを含むローラユニットが下部に垂れることが発生した場合、キャスタブロックのキャスタパッドの断面と走行レールのレールパッドの断面が互いに柔らかく面接触密着して進行することで、断面が突き当たることで発生する抵抗力を最小化する効果がある。
また、本発明によると、ガイドローラ及び走行レール構造の単純化のため製造単価が節減され、構造の単純化のためパレットの移動が円滑になり、信頼性のある構成によって耐久性が上がる効果がある。
一般的な従来技術によるパレット移送システムの斜視図である。 従来技術によるローラユニットの斜視図である。 従来技術によるローラユニットと走行レールを示す断面図である。 本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためにパレットがレールターンモジュールの上に配置されることを示す斜視図である。 本発明によるパレット移送システムの実物図である。 本発明のパレットにローラユニットが取り付けられている状態を示す斜視図である。 本発明のパレットとローラユニットが分離されている状態を示す斜視図である。 本発明のパレット移送システムにおけるローラユニットの分解図である。 本発明によるローラユニットの一側断面図である。 本発明によるローラユニットの他側断面図である。 本発明によるローラユニットの平面図である。 本発明のローラユニットがパレットのベースに取り付けられている状態を示す図である。 本発明によるパレットと連結されているローラユニットの正面図である。 本発明の一実施例による走行レールにローラユニットが安着されている断面図である。 本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためのパレットとレールターンモジュールが分離されている上部側斜視図である。 本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためのパレットとレールターンモジュールが分離されている下部側斜視図である。 本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためのローラユニットと走行レール、及びレールターンモジュールが分離されている上部側斜視図である。 本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためのローラユニットと走行レール、及びレールターンモジュールが分離されている下部側斜視図である。 本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するための走行レール、連結レール部、及びレールターンモジュールの斜視図である。 本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するための走行レール、連結レール部、及びレールターンモジュールの連結状態を示す拡大斜視図である。 本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するための走行レール、連結レール部、及びレールターンモジュールの連結状態において、連結レール部を分離した斜視図である。 本発明のパレット移送システムにおけるレールターンモジュールの斜視図である。 本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためのローラユニットと連結レール部、及びレールターンモジュールの連結状態を示す分離された斜視図である。 本発明のパレット移送システムにおけるレールターンモジュールの一側断面図である。 本発明のパレット移送システムにおけるレールターンモジュールの他側断面図である。 パレット移動システムにおいて、パレットが第１方向に移送される状態を示す平面図である。 パレット移動システムにおいて、パレットが第２方向に移送される状態を示す平面図である。
以下、本発明好ましい実施例を添付した図面を参照して詳細に説明すると次のようであり、本発明に関する説明は構造的乃至機能的説明のための実施例に過ぎないため、本発明の権利範囲は本文に説明した実施例によって制限されると解析してはならない。つまり、実施例は多様な変形が可能で様々な形態を有することができるため、本発明の権利範囲は技術的思想を実現し得る均等物を含むと理解すべきである。
一方、本発明で述べられる用語の意味は以下のように理解すべきである。「第１」、「第２」などの用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別するためのものであって、これらの用語によって権利範囲は限定されない。例えば、第１構成要素は第２構成要素と命名されてもよく、類似して第２構成要素も第１構成要素と命名されてもよい。
ある構成要素が他の構成要素に「連結されている」と言及されれば、その他の構成要素に直接連結されていてもよいが、中間に他の構成要素が存在する可能性もあると理解すべきである。逆に、ある構成要素が他の構成要素に「直接連結されている」と言及されれば、中間に他の構成要素は存在しないと理解すべきである。一方、構成要素間の関係を説明する他の表現、つまり、「…の間に」、「すぐ…の間に」、または「…に直接隣り合う」なども同じく解析すべきである。
単数の表現は、文脈上明確に異なるように意味しない限り複数の表現を含むと理解すべきであり、「含む」または「有する」などの用語は実施された特徴、数字、ステップ、動作、構成要素、部分品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定するものであって、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、ステップ、動作、構成要素、部分品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないと理解すべきである。
各ステップにおいて、識別符号（例えば、ａ、ｂ、ｃなど）は説明の便宜上使用されるものであって、識別符号は各ステップの順序を説明するものではなく、各ステップは文脈上明白に特定順序を記載しない限り、明記されている順序と異なるように行われてもよい。つまり、各ステップは明記された順序と同じく行われてもよく、実質的に同時に行われてもよく、逆の順に行われてもよい。
ここで使用される全ての用語は異なるように定義されない限り、本発明の属する分野における通常の知識を有する者によって一般的に理解されることと同じ意味を有する。一般的に使用される辞書に定義されている用語は、関連技術の文脈上有する意味と一致すると解析すべきであり、本発明で明白に定義しない限り、理想的であるかまたは過度に形式的な意味を有すると解析してはならない。
以下、添付した図面を参照して本発明の走行及びガイド機能を備えるローラユニット、及びそれを使用するパレット移送システムの構成に関する実施例について説明する。
図３は本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためにパレットがレールターンモジュールの上に配置されることを示す斜視図であり、図４は本発明によるパレット移送システムの実物図である。
図３及び図４に示したように、本発明によるパレット移送システム１は、産業体などの自動化工程において組み立て及び検査などのための各種部品及び基板が積載されるパレット１０を一つの工程が終わってから他の工程のために移送するシステムであって、工程間で基板を移送するためパレット１０と、パレット１０の下部に複数個で備えられるローラユニット１００と、前記ローラユニット１００の移動をガイドするためにパレット移送システム１のフレーム２０の上に配置される複数個の走行レール２００と、移送過程にある前記パレット１０の移送経路を直角方向に変更するために、前記走行レールと走行の連続性を維持するために前記パレット１０のローラユニット１００が走行する走行レール２００と垂直に配置される走行レール２００の間に配置される連結レール部３００と、前記ローラユニット１００が安着される連結レール部３００の方向を垂直に回転させる方向転換用媒介手段であるレールターンモジュール４００と、を含んで構成される。
前記パレット１０は、上面に基板などの部品を積載して移送する機能をする部材であって、その下部には走行レール２００の上でガイドされるガイドローラ１３０を含む複数個のローラユニット１００が備えられる。
図５は本発明によるパレットにローラユニットが取り付けられている状態を示す斜視図であり、図６は本発明のパレットとローラユニットが分離されている状態を示す斜視図であり、図７は本発明のパレット移送システムにおけるローラユニットの分解図である。図８は本発明のローラユニットの一断面図であり、図９は本発明のローラユニットの他の断面図であり、図１０は本発明によるローラユニットの平面図であり、図１１は本発明のローラユニットがパレットのベースに取り付けられている状態を示す図であり、図１２は本発明によるパレットと連結されているローラユニットの正面図である。
図面に示したように、本発明による走行及びガイド機能を備えるローラユニット、及びそれを使用するパレット移送システムを説明する。
図５及び図６に示したように、本発明による走行及びガイド機能を備えるローラユニット１００は、パレット１０を移送するために複数個に取り付けられるが、前記パレット１０の四角形状のベース１１の下部に四角形構造で４つが配置され、締結部材によって固定設置されて前記パレット１０が走行レール２００に沿ってガイドされて走行して移送されるようにする。
図７乃至ず１２に示したように、本発明による走行及びガイド機能を備えるローラユニット１００は、回転ユニット１１０、キャスタブロック１２０、及びガイドローラ１３０を含んで構成される。
より詳しくは、前記ローラユニット１００の回転ユニット１１０は、前記パレット１０のベース１１に締結されて固定設置され、前記パレット１０のベース１１を支持して回転する。
前記回転ユニット１１０は回転運動をするための回転部材であって、図７及び図８に示したように、前記パレット１０のベース１１に締結されるベース固定部１１１と、前記ベース固定部１１１の下部には前記キャスタブロック１２０を回転させるための回転筐体１１２を備え、その内部に軸受１１３−１、１１３−２を含んで構成される。
また、前記キャスタブロック１２０は、図７及び図８に示したように、主本体部であるキャスト筐体１２１と、左右側下方に傾斜角を有する断面部からなるキャスタ傾斜部１２２と、前記キャスタブロック１３０の下部面であって、前記キャスタ傾斜部１２２に延長されて平坦面で形成されるキャスタパッド１２３と、前記キャスタ筐体１２１を前記回転ユニット１１０の回転筐体１１２に挿入される軸受１１３−１、１１３−２に連結して前記キャスタブロック１２０全体を回転させるための回転媒介手段であるキャスタシャフト１２４と、を含んで構成される。
より詳しくは、前記キャスタブロック１２０は、前記キャスタ筐体１２１の内部空間にキャスタシャフト１２４の下部頭部が差し込まれた状態で前記キャスタシャフト１２４が上部方向に前記回転ユニット１１０の回転筐体１１２の内部に挿入される軸受１１３−１、１１３−２の中心部を貫通し、前記ベース固定部１１１を貫通してキャスタシャフト１２４の上部が前記ベース固定部１１１の上部に締結部材によって固定締結されることで、前記キャスタブロック１２０が回転動作する状態を維持する。
前記キャスタブロック１２０の左右側面に傾斜するキャスタ傾斜部１２２は、キャスタ筐体１２１の左右側下方側の内側に傾斜して形成され、前記左右側のキャスタ傾斜部１２２から延長される下端底面は平坦面であって、キャスタパッド１２３が形成される。前記キャスタシャフト１２４は、前記シャスタ筐体１２１を前記回転ユニット１１０に締結して回転されるようにする回転用媒介部材である。
この際、前記キャスタブロック１２０は、前記回転ユニット１１０を媒介にしてパレット１０のベース１１に対して回転自在に前記回転ユニット１１０にキャスタシャフト１２４が連結されて回転動作を行う。
つまり、前記キャスタブロック１２０は、前記ベース固定部１１１から回転筐体１１２の内部に備えられる軸受１１３−１、１１３−２を貫通して前記キャスタブロック１２０を連結する回転用部材であるキャスタシャフト１２４によって連結されることで、前記キャスタブロック１２０が前記回転ユニット１１０を媒介にしてパレット１０のベース１１に対して回転されるようにする。
また、前記ガイドローラ１３０は、図８乃至図１２に示したように、前記キャスタブロック１２０の左右側のキャスタ傾斜部１２２に複数個に設置される。つまり、前記ガイドローラ１３０は理想的な走行を維持するために、キャスタ傾斜部１２２の左右両側にそれぞれ２つ以上取り付けられることが好ましい。
好ましくは、図９乃至図１２に示したように、より理想的な走行を維持するために、キャスタ傾斜部１２２の左右両側に互いにジグザグに複数個のガイドローラ１３０が結合される。
前記ガイドローラ１３０は、走行レール２００の上でガイドされてローリング機能を行うものであって、走行レール２００または後述する連結レール部３００と接触するようにガイドローラ１３０にウレタン素材のゴムホイールがコーティングされた円筒状に形成される走行ローラ１３１と、前記走行ローラ１３１の内部に軸受を備え、前記軸受と密着されて前記キャスタブロック１２０を媒介にして回転されるように前記キャスタブロック１２０のキャスタ傾斜部１２２に連結される回転用媒介部材であるローラシャフト１２３と、を含んで構成される。
図８、図１１、及び図１２に示したように、本発明によるガイドローラ１３０は、前記キャスタブロック１２０の左右側キャスタ傾斜部１２２の傾斜した断面に取り付けられるため、傾斜するように形成される。
ここで、図８に示したように、前記ガイドローラ１３０はキャスタブロック１２０の傾斜したキャスタ傾斜部１２２に取り付けるが、水平面に対して∠１°〜∠８９°の傾斜角を維持するように取り付ける。
前記ガイドローラ１３０が最も理想的な走行を維持するための最善の角度は、∠２５°を維持することが好ましい。
また、図９乃至図１２に示したように、前記ガイドローラ１３０は理想的な走行を維持するために、キャスタ傾斜部１２２の左右側の傾斜した面に２つ以上のガイドローラ１３０−１、１３０−２、１３０−３、１３０−４を互いに行き交うようる配置して取り付けてもよく、一対一に対応して平行に並置してもよい。
ここで、前記ガイドローラ１３０の走行ローラ１３１の走行断面は、前記キャスタブロック１２０の下部底面の平らなキャスタパッド１２３の水平断面を基準にその以下に形成され、後述する走行レール２００の左右側に傾斜するレール傾斜部２２０に安着されて正常の走行状態にあるように形成することが好ましい。
従来技術によると、パレット移送システム１のパレット１０に従来技術によるローラユニット１５が取り付けられて走行する場合、前記ローラユニット１５と走行レール１６との間の裕隔による離隔距離Ｓが発生し、前記裕隔された空間上に異物が発生するだけでなく、パレット１０自体に左右揺れが発生して振動によるノイズが発生し、また、移送の途中に特定の検査装備によって検査が行われる場合、パレット１０全体を上部に持ち上げてから降ろす分離工程が発生するが、この場合に前記ローラユニット１５と走行レール１６との間に干渉が発生するなどの問題点があった。
本発明によるパレット移送システム１は、移送途中に特定の検査装備によって検査が行われる場合、仕方なくパレット１０全体を上部に持ち上げてから降ろす分離工程を行うことが発生しても、前記パレット１０に取り付けられているローラユニット１００の前記キャスタブロック１２０の左右側のキャスタ傾斜部１２２である傾斜面に形成されているため、前記ガイドローラ１３０が走行レール２００の左右側の傾斜したレール傾斜部２２０の上部面に自然に安着されるため、空間上のギャップまたは干渉などが発生せずも走行の連続性を維持することができる。
従来技術によるローラユニット１５は走行ローラ１６とガイドローラ１７が分離されている構造であるが、本発明によるローラユニット１００は走行機能とガイド機能を同時に行う構造である。
また、本発明によると、前記ローラユニット１００のキャスタブロック１２０の下端部である平らなキャスタパッド１２３は、前記ガイドローラ１３０の走行ローラ１３１が摩耗や破損などによって前記ガイドローラ１３０を含むローラユニット１００が下部に垂れることが発生する場合、前記キャスタパッド１２３の断面部に摩擦の少ない滑らかな素材を挿入することで、前記キャスタブロック１２０のキャスタパッド１２３の断面と前記走行レール２００のレールパッド２１０の断面が互いに柔らかく密着して進行することで、互いに突き当たって抵抗力が発生することを防止する。
前記キャスタブロック１２０の下端部である平らなキャスタパッド１２３を形成することが好ましいが、キャスタパッド１２３が形成されず、模様にこだわらない任意の形状にしてもよいように形成されてもよい。
以下では、本発明の一実施例による走行及びガイド機能を備える走行レールについて説明する。
図１３は、本発明の一実施例による走行レールにローラユニットが安着されている断面図である。
図示したように、本発明の一実施例によると、パレット移送システム１の複数個が交差して形成される走行レール２００は、パレット移送システム１の支持構造を形成するフレーム２０の上に固定されてローラユニット１００の移動をガイドする機能をする走行及びガイド機能を備える部材である。
前記走行レール２００は前記キャスタブロック１２０と対称に形成される構造であって、上部断面である平らなレールパッド２１０と、前記レールパッド２１０の左右側下方に傾斜するレール傾斜部２２０と、前記レール傾斜部２２０から延長されて溝部からなる異物受け部２３０を含んで形成されるが、また、それに加えて、前記走行レール２００を固定するためにその下端部には複数個のスリットを形成して、他の部材と締結部材によって締結するレール締結部２４０を含んでもよい。
前記レールパッド２１０の平らな断面は、前記キャスタブロック１２０のなキャスタパッド１２３の断面と対応して柔らかく摺接するように対称に形成される構造であって、走行レールのレールパッド及びキャスタパッドを摩擦が少ない滑らかな素材を挿入して形成することで、前記ガイドローラ１３０の走行ローラ１３１が破損または摩耗してガイドローラ１３０を含むローラユニット１００が下部に垂れることが発生する場合、前記キャスタブロック１２０のキャスタパッド１２３の断面と前記走行レール２００のレールパッド２１０の断面が互いに柔らかく面接触密着して進行することで、互いに突き当たって発生する抵抗力を最小化する。
前記レール傾斜部２２０は、前記ローラユニット１００のガイドローラ１３０を走行ローラ１３１で安定的にガイドして接触することで、走行及びガイド機能を行う。
図１３に示したように、前記レール傾斜部２２０の傾斜角は、水平面に対して∠１°〜∠８９°の傾斜角を維持するように形成する。
最も理想的な走行を維持するための前記レール傾斜部２２０の最善の傾斜角は、∠２５°に形成することが好ましい。
従来技術である図２に示したように、従来の場合、走行ローラ１６が接触する面とガイドホイール１７が点接触する面が異なるように区分されている構造であるが、本発明によると、ガイドローラ１３０が走行機能及びガイド機能を同時に行うため、前記走行ローラ１３１が接触する面がレール傾斜部２００のみに沿って走行するレール構造であって、同じく走行及びガイド機能を同時に行う。
前記異物受け部２３０は、走行レール２００の左右側に形成されて前記ガイドローラ１３０の走行ローラ１３１が前記レール傾斜部２２０に沿ってローリングしながら発生する各種異物などが収去されるようにする。
前記レール締結部２４０は、後述するレールターンモジュール４００のフレーム部４２０に形成されるフレーム締結部４２４と締結部材によって締結されて、前記レールターンモジュール４００のフレーム部４２０に固定されるようにする。
本発明の一実施例によると、走行レール２００の上部断面である平らなレールパッド２１０に対応する前記ローラユニット１００のキャスタブロック１２０の下端部である平らなキャスタパッド１２３と同一に、同じく前記ガイドローラ１３０の走行ローラ１３１が摩耗や破損などによってガイドローラ１３０を含むローラユニット１００が下部へと垂れることが発生する場合、レールパッド２１０の断面部に摩擦の少ない滑らかな素材を挿入することで、前記キャスタブロック１２０のキャスタパッド１２３の断面と前記走行レール２００のレールパッド２１０の断面が互いに面接触密着して柔らかく進行することで、互いに突き当たって発生する抵抗力を最小化する効果がある。
また、前記キャスタブロック１２０の平らなキャスタパッド１２３と同じく、前記走行レール２００の上部断面である平らなレールパッド２１０を形成することが好ましいが、レールパッド２１０を形成せずに任意の模様に形成されてもよい。
以下、本発明による連結レール部及びレールターンモジュールの構成を説明する。
図１４ａは本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためのパレットとレールターンモジュールが分離されている上部側斜視図であり、図１４ｂは本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためのパレットとレールターンモジュールが分離されている下部側斜視図であり、図１５ａは本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためのローラユニットと走行レール、及びレールターンモジュールが分離されている上部側斜視図であり、図１５ｂは本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためのローラユニットと走行レール、及びレールターンモジュールが分離されている下部側斜視図であり、図１６は本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するための走行レール、連結レール部、及びレールターンモジュールの斜視図であり、図１７は本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するための走行レール、連結レール部、及びレールターンモジュールの連結状態を示す拡大斜視図であり、図１８は本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するための走行レール、連結レール部、及びレールターンモジュールの連結状態において、連結レール部を分離した斜視図であり、図１９は本発明のパレット移送システムにおけるレールターンモジュールの斜視図であり、図２０は本発明のパレット移送システムにおいて、方向を転換するためのローラユニットと連結レール部、及びレールターンモジュールの連結状態を示す分離された斜視図であり、図２１は本発明のパレット移送システムにおける方向転換のためのレールターンモジュールの一側断面図であり、図２２は本発明のパレット移送システムにおける方向転換のためのレールターンモジュールの他側断面図である。
図示のように、本発明によるレールターンモジュール４００は、パレット移送システム１によって移送過程にあるパレット１０の移送経路を直角方向に変更するために、前記パレット１０のローラユニット１００が走行する走行レール２００と垂直に配置される走行レール２００との間に配置される。
この際、移送過程にある前記パレット１０の移送経路を直角方向に変更するために、前記走行レール２００と連続する同じ形状のレール構造を有し、走行の連続性を維持するために前記パレット１０のローラユニット１００が走行する走行レール２００と垂直に配置される走行レール２００の間に配置される連結レール部３００が、前記ローラユニット１００とレールターンモジュール４００との間に配置されるように形成される。
つまり、図１４ａ及び図１４ｂに示したように、本発明によるパレット１０が移送途中に方向に転換するために、前記パレット１０が四角格子状構造の４か所に配置されるレールターンモジュール４００の上部に一致されて位置すれば、前記パレット１０に取り付けられているローラユニット１００が前記レールターンモジュール４００の上部に位置する連結レール部３００に安着されるように位置する。
よって、このように、前記ローラユニット１００とローラユニット１００が安着される連結レール部３００、及び進行経路の方向を垂直に回転させる方向転換用媒介手段であるレールターンモジュール４００が垂直に一列に整列された状態で、前記レールターンモジュール４００の回転動作によって連結レール部３００の位置が変更され、連結レール部３００の上部に安着されたローラユニット１００も同時に回転されることで、前記ローラユニット１００が進行してきた第１方向とは９０°に転換された垂直方向である第２方向に前記ローラユニット１００のガイドローラ１３０の走行ローラ１３１の方向が位置した後、前記ローラユニット１００が第２方向への移送過程を行う。
つまり、前記連結レール部３００は走行レール２００の選択的に連結させるように走行レール２００の間に回転自在に設置されるものであって、これは後述する図２３ａ及び図２３ｂのように、走行レール２００の上で第１方向に移送されていたパレット１０を第２方向（直角方向）に配置されている他の走行レール２００に沿って移送させる必要がある場合、パレット１０のローラユニット１００が連結レール部３００の中央部に位置するように移送されていたパレット１０を正位置に停止させた後、連結レール部３００を回転させて、キャスタブロック１２０に締結されるガイドローラ１３０及びローラユニット１００が同時に共に回転されて、第２方向に進行するようにする。
前記連結レール部３００の構造は、図１５乃至図１８に示したように、前記走行レールとほぼ同じ構造に形成される。回転ベース３１０、連結レール３２０、及びストッパ３３０を含んで構成される。
前記回転ベース３１０は、連結レール部３００の連結レール３２０とストッパ３３０を取り付けて前記レールターンモジュール４００の回転動作によって連結レール部３００の位置を回転させる。
前記連結レール３２０は前記走行レール２００とその構造がほぼ同じく形成されるが、前記連結レール３２０は上部面である平らな連結パッド３２１と、前記連結パッド３２１の左右側に傾斜するガイドレール３２２を含んで形成される。
前記連結パッド３２１は平らな断面であって、前記キャスタブロック１２０のなキャスタパッド１２３の断面と柔らかく摺接するように対称に形成される構造であって、前記ガイドローラ１３０の走行ローラ１３１が摩耗や破損などによって前記ガイドローラ１３０を含むローラユニット１００が下部に垂れることが発生する場合、摩擦の少ない滑らかな素材を挿入することで、前記キャスタブロック１２０のキャスタパッド１２３の断面と前記連結レール３２０の連結パッド３２１の断面が互いに密着して柔らかく進行することで、断面が互いに突き当たって発生する抵抗力を最小化する効果がある。
前記ガイドレール３２２は、前記ローラユニット１００のガイドローラ１３０で走行ローラ１３１が接触して走行する面であって、走行及びガイド機能を行う。
この際、前記ガイドレール３２２の傾斜角は、連結パッド３２１の水平面を基準に∠１°〜∠８９°の傾斜角を維持するように形成される。
前記ガイドレール３２２の傾斜角は、最も理想的な走行を維持するための最善の角度は∠２５°に形成することが好ましい。
本発明によると、前記連結レール３２０の上部の断面である平らな連結パッド３２１に対応する前記ローラユニット１００のキャスタブロック１２０の下端部である平らなキャスタパッド１２３と同一に、同じく前記ガイドローラ１３０の走行ローラ１３１が摩耗や破損などによって前記ガイドローラ１３０を含むローラユニット１００が下部へと垂れることが発生する場合、連結パッド３２１の断面部に摩擦の少ない滑らかな素材を挿入することで、前記キャスタブロック１２０のキャスタパッド１２３の断面と前記連結レール部３００の連結パッド３２１の断面が互いに柔らかく密着して進行することで、断面が互いに突き当たって発生する抵抗力を最小化する効果がある。
また、前記キャスタブロック１２０の平らなキャスタパッド１２３と同じく、前記連結レール３２０の上部断面である平らな連結パッド３２１を形成することが好ましいが、連結パッド３２１を形成せずに任意の模様に形成されてもよい。
前記連結レール部３００のストッパ３３０は、前記連結レール部３００に安着されるローラユニット１００のガイドローラ１３０の走行ローラ１３１が連結レール部３００から離脱することを防止するために、前記連結レール３２０の外側に一定間隔離隔するように形成され、前記回転ベース３１０の上部に締結部材によって取り付けられる。
本発明によるレールターンモジュール４００は、図１８乃至図２２に示したように、前記連結レール部３００を回転させるための駆動力を伝達するために前記連結レール部３００の下部に配置され、回転シャフト４１０、フレーム部４２０、及び回転駆動部４３０を含んで構成される。
より詳しくは、図１５ａ及び図１５ｂ、図１９及び図２０に示したように、前記回転シャフト４１０は、前記フレーム部４２０を貫通して前記回転駆動部４３０に締結されて前記回転シャフト４１０の上部面に締結される前記連結レール部３００の回転ベース３１０に回転駆動力を伝達し、連結レール部３００全体の方向を回転させる。
前記回転シャフト４１０は、前記連結レール部３００の回転ベース３１０と締結されるシャフト軸４１１とオイルリング４１２を含む。
前記シャフト軸４１１の上部は前記回転ベース３１０と連結され、その中心部は前記フレーム部４２０に備えられる軸受４２２、４２３を貫通してその下部が前記回転駆動部４３０に備えられる駆動軸４３２と連結されるようにし、円滑な回転動作のために前記軸受４２２、４２３との間にオイルリング４１２を備える。
前記フレーム部４２０は、中心部の内部空間上に軸受４２２、４２３を安着して連結レール部３００の回転プレート３１０が回転自在に前記回転シャフト４１０のシャフト軸４１１を指示するように設置し、その外側には四角プレートに形成されるフレーム筐体４２１と、前記フレーム部４２０の外側の四角プレートの各辺には複数個の溝部からなるフレーム締結部４２４を形成する。
前記軸受４２２、４２３は回転媒介手段であって、フレーム筐体４２１の内部空間上に配置され、その中心部を貫通して上部は前記回転ベース３１０、及び下部は前記カップリング部４３２と連結される前記シャフト軸４１０を支持して自然に回転させる。
また、前記フレーム部４２０は本発明によるレールターンモジュール４００をパレット移送システム１の走行レール２００を締結させて固定させる部材であって、前記フレーム部４２０のフレーム筐体４２１である四角プレートに形成される複数個の溝部からなるフレーム締結部４２４を介して、前記四角プレートの各辺の四方に連結される走行レール２００を互いに締結されるようにする。
つまり、前記走行レール２００の下部に複数個のスリット状に形成されるレール締結部２４０と、前記フレーム部４２０ののフレーム筐体４２１である四角プレートに溝部で形成される複数個のプレーム締結部４２４を互いに対応するように一致させて、締結部材によって固定締結されるようにする。
前記回転駆動部４３０は、回転シャフト４１０に回転トルクを伝達する回転シリンダ４３１と、前記回転シリンダ４３１の上部に突出されて回転シャフト４１０のシャフト軸４１１と連結される駆動軸４３２と、前記回転シリンダ４３１を前記フレーム部４２０のフレーム筐体４２１に締結するためのマウント部４３３と、前記回転シリンダ４３１の回転速度を制御する速度調節部４３４と、を備える。
回転シリンダ４３１は圧縮空気を利用して駆動軸４３２を回転させる構成要素であって、多様な技術分野で一般的に使用されるアクチュエータの一種であり、大きいトルクの回転力が容易に得られる利点がある。
回転シリンダ４３１は速度調節部４３４を備えて前記駆動軸４３２の回転角度を調節し、前記マウント部４３３によって回転シリンダ４３１をフレーム筐体４２１に締結して固定させる。
前記回転駆動部４３０の駆動軸４３２は、図１９乃至図２２に示したように、駆動軸４３２から連結レール部３００の回転ベース３１０に回転力を伝達するように、回転ベース３１０の下端部と駆動軸４３２を直接連結させるシャフト軸４１１の下部と結合するようになる。
以下では、本発明によるレールターンモジュールによってパレットの移送経路が転換される過程を説明する。
図２３ａはパレット移動システムにおいて、パレットが第１方向に移送される状態を示す平面図であり、図２３ｂはパレット移動システムにおいて、パレットが第２方向に移送される状態を示す平面図である。
本発明によると、パレット移送システム１には、パレット１０を移送するための駆動力を発生するための複数個のリニアモータ６００が備えらえるが、リニアモータ６００と同じ方向に配置される複数個の位置センサ７００も備えられる。
図２３ａに示したように、前記走行レール２００の上でパレット１０が第１方向に移送されれば、第１方向に配置される走行レール２００の間に連結するように、レールターンモジュール４００の連結レール部３００が第１方向に回転された状態で維持される。
パレット移送システム１には、リニアモータ６００の動作を制御するためのコントローラ、及び多重化器（ＭＵＸ：ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅｒ）（図示せず）が備えられている。このようなコントローラ及び多重化器を含む制御部（図示せず）は、パレット１０を衝突なしに一定方向に移送するために駆動力を発生する複数のリニアモータ６００を連係して適切に制御する。
パレット１０の移送経路に対する変更が必要であれば、制御部は複数個の位置センサ７００から受信される信号を分析し、第１方向に移送されていたパレット１０を減速させ、パレット１０のローラユニット１００が連結レール部３００の中央部に位置するようにパレット１０を正位置に停止させるようになる。
この際、前記ローラユニット１００のキャスタブロックの傾斜したキャスタ傾斜部１２２に締結されているパレット１０のローラユニット１００が備えられるガイドローラ１３０が前記連結レール部３００の中央部に位置する連結レール３２０のガイドレール３２２に停止すれば、制御部はレールターンモジュール４００の回転駆動部４３０の回転シリンダ４３１を駆動させて連結レール部３００のを第２方向に回転させるようになる。
この際、制御部は連結レール部３００が正確に第２方向に回転するように回転駆動部４３０の回転シリンダ４３１を制御するようになり、回転が完了すればローラユニット１００のキャスタブロック１２０に締結されているガイドローラ１３０の走行ローラ１３１が第２方向に維持されるようにする。
図２３ｂに示したように、第２方向に配置されている走行レール２００の間を連結するようにレールターンモジュール４００の連結レール部３００が第２方向に回転された状態で、制御部はリニアモータ６００を制御してパレット１０を第２方向に移送させるようになる。
これまで本発明を前記実施例によって詳しく説明したが、本発明は前記実施例に限らず、本発明の思想及び範囲を逸脱しない範囲内で様々に修正及び可能であることはもちろんである。よって、そのような変形例及び修正例は、本発明の権利範囲に含まれると解析すべきである。
１：パレット移送システム
１０：パレット
１１：ベース
１５：ローラユニット
１６：走行レール
２０：フレーム
１００：ローラユニット
１１０：回転ユニット
１１１：ベース固定部
１１２：回転筐体
１１３−１：軸受
１１３−２：軸受
１２０：キャスタブロック
１２１：キャスタ筐体
１２２：キャスタ傾斜部
１２３：キャスタパッド
１２４：キャスタシャフト
１３０、１３０−１、１３０−２、１０３−３、１３０−４：ガイドローラ
１３１：走行ローラ
１３２：ローラシャフト
２００：走行レール
２１０：レールパッド
２２０：レール傾斜部
２３０：異物受け部
２４０：レール締結部
３００：連結レール部
３１０：回転ベース
３２０：連結レール
３２１：連結パッド
３２２：ガイドレール
３３０：ストッパ
４００：レールターンモジュール
４１０：回転シャフト
４１１：シャフト軸
４１２：オイルリング
４２０：フレーム部
４２１：フレーム筐体
４２２：軸受
４２３：軸受
４２４：フレーム締結部
４３０：回転駆動部
４３１：回転シリンダ
４３２：駆動軸
４３３：マウント部
４３４：速度調節部

Claims (10)

  1. 基板移送のためのパレット移送システムに複数個が交差して形成される走行及びガイド機能を備える走行レールにおいて、
    前記走行レールは、上部断面が平らなレールパッドと、前記レールパッドの左右側下方に傾斜するレール傾斜部と、前記レール傾斜部から延長されて溝部からなる異物受け部と、前記走行レールを固定させるために複数個のスリットを下端部に形成したレール締結部を含んで形成され、
    レールターンモジュールにおけるフレーム部の四角プレートの各辺に複数個の溝部を設けてフレーム締結部を構成し、前記走行レールのレール締結部と、いずれかの前記フレーム締結部を締結部材で締結し、
    前記レールパッドは、摩擦が少ない滑らかな素材からなり、
    前記傾斜したレール傾斜部の上部にローラユニットが安着されて走行し、
    前記ローラユニットは、基板移送のためのパレットに締結され、前記パレットに回転自在に設置される回転ユニットと、前記回転ユニットに締結部材によって締結され、左右側下方に傾斜した断面部を有するキャスタブロックと、前記キャスタブロックの左右側の傾斜した断面部に複数個で結合されるガイドローラと、からなり、
    前記ローラユニットの回転ユニットは、前記パレットに締結されるベース固定部と、前記ベース固定部の下部に前記キャスタブロックを回転させるための軸受が挿入される回転筐体と、を含んで形成され、
    前記ローラユニットのキャスタブロックは、前記キャスタブロックの本体部であるキャスタ筐体と左右側下方に傾斜角を有する断面部とからなるキャスタ傾斜部と、前記キャスタブロックの下部面に平坦な断面部からなるキャスタパッドと、前記軸受が挿入された回転筐体に結合されて前記キャスタブロックを回転させるためのキャスタシャフトと、を含んで形成され、
    前記ローラユニットのガイドローラは、走行レール及び連結レール部と接触するウレタン素材のゴムホイールがコーティングされた円筒状に形成される走行ローラと、前記走行ローラの内部に軸受を備え、前記軸受と密着されて前記キャスタブロックを媒介にして回転されるように前記キャスタブロックのキャスタ傾斜部に連結される回転用媒介部材であるローラシャフトと、を含んで形成され、
    前記ローラユニットのガイドローラは、前記キャスタブロックの左右側の傾斜した断面部に左右側が互いにジグザグに複数個で結合されることを特徴とする走行及びガイド機能を備える走行レール。
  2. 前記レールパッドは、摩擦が少ない滑らかな素材からなることを特徴とする請求項１に記載の走行及びガイド機能を備える走行レール。
  3. 前記レール傾斜部の傾斜角は、水平面に対して∠１°〜∠８９°の傾斜角を維持して形成されることを特徴とする請求項１に記載の走行及びガイド機能を備える走行レール。
  4. 前記ガイドローラは、
    水平面に対して∠１°〜∠８９°の傾斜角を維持して結合されることを特徴とする請求項１に記載の走行及びガイド機能を備える走行レール。
  5. 前記ガイドローラの走行ローラが前記走行レールの左右側下方に傾斜するレール傾斜部に安着され、前記キャスタブロックの下部面に平らな断面部からなるキャスタパッドが前記走行レールの上部断面である平らなレールパッドの断面に面接触して前記パレットが移送されることを特徴とする請求項４に記載の走行及びガイド機能を備える走行レール。
  6. 産業体の自動化工程において組み立て及び検査のための各種部品及び基板が積載されるパレットを移送する走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システムにおいて、
    前記走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システムは、
    工程間の部品及び基板移送のための四角板材状のパレットと、
    前記パレットの下部に複数個で備えられるローラユニットと、
    前記パレットに複数個で備えられるローラユニットの走行経路及び移動をガイドするために交差地点を有するようにパレット移送システムのフレームの上に格子構造に配置され、上部断面である平らなレールパッドと、前記レールパッドの左右側下方に傾斜したレール傾斜部と、前記レール傾斜部から延長されて溝部からなる異物受け部と、複数個のスリットを下端部に形成したレール締結部を含んで形成される複数個の走行レールと、
    移送過程にある前記パレットの移送経路を直角方向に変更するために、前記走行レールと走行の連続性を維持するために前記パレットのローラユニットが走行する走行レールと垂直に配置される走行レールとの間に配置される連結レール部と、
    前記パレットのローラユニットが安着される連結レール部の方向を垂直に回転させる方向転換用媒介手段であるレールターンモジュールと、を含んで形成され、
    レールターンモジュールにおけるフレーム部の四角プレートの各辺に複数個の溝部を設けてフレーム締結部を構成し、前記走行レールのレール締結部と、前記フレーム締結部を締結部材で締結し、
    前記ローラユニットは、基板を移送するためにパレットに締結され、前記パレットのベースに回転可能に設置される回転ユニットと、前記回転ユニットに締結部材によって締結され、左右側下方に傾斜した断面部を有するキャスタブロックと、前記キャスタブロックの左右側の傾斜した断面部に複数個で結合されるガイドローラと、を含んで形成され、
    前記ローラユニットの回転ユニットは、前記パレットのベースに締結されるベース固定部と、前記ベース固定部の下部に前記キャスタブロックを回転させるための軸受が挿入される回転筐体と、を含んで形成され、
    前記ローラユニットのキャスタブロックは前記キャスタブロックの本体部であるキャスタ筐体と左右側下方に傾斜角を有する断面部とからなるキャスタ傾斜部と、前記キャスタブロックの下部面に平坦な断面部からなるキャスタパッドと、前記軸受が挿入された回転筐体に結合されて前記キャスタブロックを回転させるためのキャスタシャフトと、を含んで形成され、
    前記ローラユニットのガイドローラは、走行レール及び連結レール部と接触するウレタン素材のゴムホイールがコーティングされた円筒状に形成される走行ローラと、前記走行ローラの内部に軸受を備え、前記軸受と密着されて前記キャスタブロックを媒介にして回転されるように前記キャスタブロックのキャスタ傾斜部に連結される回転用媒介部材であるローラシャフトと、を含んで形成され、
    前記ローラユニットのガイドローラは、前記キャスタブロックの左右側の傾斜した断面部に左右側が互いにジグザグに複数個で結合されることを特徴とする走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システム。
  7. 前記レール傾斜部の傾斜角は、水平面に対して∠１°〜∠８９°の傾斜角を維持して形成されることを特徴とする請求項６に記載の走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システム。
  8. 前記ガイドローラの走行ローラが前記走行レールの左右側下方に傾斜したレール傾斜部に安着され、前記キャスタブロックの下部面に平らな断面部からなるキャスタパッドの断面が前記走行レールの上部断面である平らなレールパッドの断面に面接触安着されて、前記パレットが移送されることを特徴とする請求項６に記載の走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システム。
  9. 本前記連結レール部は、回転ベースと連結レールとストッパとを含むが、前記回転ベースは連結レール部の連結レールとストッパを取り付けて前記レールターンモジュールの回転動作によって連結レール部の位置を回転させ、前記連結レールは、上部面である平らな連結パッドと前記連結パッドの左右側の傾斜した断面部からなるガイドレールを含むことを特徴とする請求項６に記載の走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システム。
  10. 前記レールターンモジュールは、
    前記連結レール部を回転させるための駆動力を伝達するために前記連結レール部の下部に配置され、前記連結レール部の回転ベースに回転駆動力を伝達するシャフト軸と、オイルリングを含む回転シャフトと、
    中心部の内部の空間上に軸受を安着させて連結レール部の回転プレートが回転自在になるように前記回転シャフトのシャフト軸を支持するように設置され、その外側には四角プレートからなるフレーム筐体を含むフレーム部と、
    前記回転シャフトに回転トルクを伝達する回転シリンダと、前記回転シリンダの上部に突出されて回転シャフトのシャフト軸と連結される駆動軸と、前記回転シリンダを前記フレーム部のフレーム筐体に締結するためのマウント部と、前記回転シリンダの回転速度を制御する速度調節部と、を備える回転駆動部と、を含むことを特徴とする請求項６に記載の走行及びガイド機能を備える走行レールを利用するパレット移送システム。
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