CN202988268U - 一种具有自动化物料处理系统的洁净室 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有自动化物料处理系统的洁净室，自动化物料处理系统的四周围设有隔板，使其所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构；所述加工区间自动输送轨道回路的外围设有第二隔板，隔板和第二隔板之间的洁净空间和循环空间构成回风通道；在所述加工区间自动输送轨道回路的轨道的内侧面上设置挡板，构成第二回风通道，第二回风通道的正上方设有新风输送系统的输送管；回风通道内设有新风输送系统的输送支管，该输送支管与所述输送管连通。本实用新型在自动化物料处理系统的四周构成回风通道；同时取消了原本设于洁净空间两侧的回风通道，从而避免了在洁净室入口处设置大门的困难问题。

Description

一种具有自动化物料处理系统的洁净室

技术领域

本实用新型涉及一种具有自动化物料处理系统的洁净室，可用于平面显示器制造领域中。

背景技术

自动化物料处理系统（AMHS，Automatic Material Handling System），又称天车系统。这种搬送系统在洁净室内的应用比较多，例如应用于平面显示器制造领域，由于平面显示器的制造依赖于不同的处理设备的多重工艺步骤，这需要利用自动化物料处理系统（AMHS）在处理设备之间传送产品。

现有的自动化物料处理系统（AMHS）参见附图1~2所示，主要包括自动化物料处理系统和多个程序加工区1（Process Bays）；其中，程序加工区内设有各种加工设备15；自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路2和多个储存仓3（Stocker），所述储存仓之间的传递是藉由加工区间自动输送轨道回路内的悬挂式搬运系统16所完成。现有的加工区间自动输送轨道回路一般近似矩形或圆角矩形，参见附图1所示，悬挂式搬运系统运转于加工区间自动输送轨道回路中；所述各个储存仓分别位于程序加工区的一侧，每个储存仓包含一些垂直堆叠的储存箱，用以承载平面卡匣。图2为图1的A-A剖视图，由图可见，现有的加工区间自动输送轨道回路从上到下包括三层空间：架构空间4（TRUSS）、洁净空间5（FAB）和循环空间6（SUBFAB）；架构空间和洁净空间之间设有天花板7，天花板上设有风机滤器单元9（FFU，Fan Filter Units），现有的天花板上设有通气孔，以使FFU提供的过滤后的空气进入洁净空间；洁净空间和循环空间之间设有高架地板17，高架地板上设有透气孔，以便气体通过循环。

现有的具有自动化物料处理系统的洁净室一般包括新风输送系统、排气系统和一大型的洁净空间，洁净空间内设有自动化物料处理系统；洁净空间的两侧设有回风通道。目前，新风输送系统一般设于洁净室的侧面，即回风通道的侧面，再通过总管和支管的形式分布于洁净室的顶部，由于具有自动化物料处理系统的洁净室一般体积极大，需要送入新风的位置点较多，因此现有的新风输送系统的管路非常复杂，不仅配管困难，不易施工，而且成本较高。

此外，具有自动化物料处理系统的洁净室一般具有至少一个入口，以便搬机动线进行搬运。然而，由于洁净空间的两侧设有回风通道，因此入口处的大门设置就比较复杂，不仅要满足洁净空间的要求，而且要考虑回风通道的影响。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种具有自动化物料处理系统的洁净室。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种具有自动化物料处理系统的洁净室，包括新风输送系统、排气系统和一大型洁净空间，大型洁净空间内设有自动化物料处理系统和至少1个程序加工区；

所述自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓；所述自动化物料处理系统从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，洁净空间和循环空间之间设有高架地板；

所述自动化物料处理系统的四周围设有隔板，使其所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构；位于洁净空间内的隔板底部设有气体调节风门；

所述隔板向下延伸至底部，隔板包围的高架地板为封闭结构，使洁净微环境结构的下方形成封闭空间；

所述加工区间自动输送轨道回路的外围设有第二隔板，第二隔板设于所述隔板的外侧，隔板和第二隔板之间的高架地板镂空，使隔板和第二隔板之间的洁净空间和循环空间构成回风通道；

在所述加工区间自动输送轨道回路中，其轨道的正上方的天花板上设有风机滤器单元，轨道的内侧面上设有竖直设置的挡板，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成第二回风通道，所述第二回风通道正对的天花板上设有通孔；所述通孔的正上方设有新风输送系统的输送管，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外侧的回风通道中的气压；

所述回风通道内设有新风输送系统的输送支管，该输送支管与所述输送管连通。

上文中，所述自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓，而储存仓与加工区设备之间还可以分别设有传递系统，该传递系统可以包含Robot、Cassette station、Load/Unload等。

所述加工区间自动输送轨道回路一般近似矩形或圆角矩形，悬挂式搬运系统运转于加工区间自动输送轨道回路中，所述悬挂式搬运系统可以是OHS。

所述加工区间自动输送轨道回路的外围设有第二隔板，第二隔板设于所述隔板的外侧，使隔板和第二隔板之间的洁净空间和循环空间构成回风通道。同时取消了原本设于洁净空间两侧的回风通道，从而避免了在入口处设置大门的困难。

此外，储存仓的外围未设置第二隔板，这个为了便于储存仓与程序加工区及加工设备之间的运输和操作。

上述技术方案中，所述封闭空间内设有排气系统的排气管。即可设置排气主风管，用来排放如酸、有机物气体等。

上述技术方案中，所述新风输送系统设于洁净室的顶部，并位于加工区间自动输送轨道回路的上方。

上述技术方案中，所述挡板与高架地板之间的距离为2~4 m。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、本实用新型设计得到了一种新的具有自动化物料处理系统的洁净室，通过在自动化物料处理系统的四周围设有隔板，并在隔板的外围设置第二隔板，使隔板和第二隔板之间的洁净空间和循环空间构成回风通道；同时取消了原本设于洁净空间两侧的回风通道，从而避免了在洁净室入口处设置大门的困难问题。

2、本实用新型的洁净室结构可以将新风输送系统的输送管设置于第二回风通道正对的天花板上方，同时，由于将回风通道设于自动化物料处理系统的四周，使得设置于回风通道内的新风输送系统的输送支管可以与所述输送管连通，从而大大简化了新风输送系统的配管，同时也便于调整风量。

3、本实用新型在加工区间自动输送轨道回路的轨道内侧面上设置了竖直的挡板，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成了第二回风通道，从而充分利用了加工区间自动输送轨道回路中间区域的空间，且形成的第二回风通道可以在洁净微环境结构中形成微循环，不仅充分利用了其内的洁净空气，降低了消耗，同时不需要利用外部大型洁净空间的循环空间，实现了降低循环空间（SUBFAB）高度的可能性，进而降低建厂成本。

4、本实用新型在自动化物料处理系统的四周围设置隔板，构成了独立的洁净微环境结构，因而即使当加工设备中有腐蚀性气体溢出并跑到外部的大型洁净空间内之后，也不会进入自动化物料处理系统形成的洁净微环境之中，从而避免了这些气体对产品质量的影响。

5、本实用新型的结构简单，易于制备，适于推广应用。

附图说明

图1是背景技术中具有自动化物料处理系统（AMHS）的洁净室的俯视图；

图2为图1的A-A放大剖视图；

图3是本实用新型实施例一的俯视图；

图4是图3的B-B放大剖视图；

图5是图4的气流示意图。

其中：1、程序加工区；2、加工区间自动输送轨道回路；3、储存仓；4、架构空间；5、洁净空间；6、循环空间；7、天花板；8、隔板；9、风机滤器单元；10、挡板；11、第二回风通道；12、通孔；13、输送管；14、气体调节风门；15、加工设备；16、悬挂式搬运系统；17、高架地板；18、封闭空间；19、第二隔板；20、回风通道；21、输送支管；22、排气管；23、干盘管。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图3~5所示，一种具有自动化物料处理系统的洁净室，包括新风输送系统、排气系统和一大型洁净空间，大型洁净空间内设有自动化物料处理系统和2个程序加工区1；

所述自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路2和至少1个储存仓；所述自动化物料处理系统从上到下包括架构空间4、洁净空间5和循环空间6，架构空间和洁净空间之间设有天花板7，洁净空间和循环空间之间设有高架地板17；

所述自动化物料处理系统的四周围设有隔板8，使其所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构；位于洁净空间内的隔板底部设有气体调节风门14；

所述隔板向下延伸至底部，隔板包围的高架地板为封闭结构，使洁净微环境结构的下方形成封闭空间18；

所述加工区间自动输送轨道回路2的外围设有第二隔板19，第二隔板设于所述隔板的外侧，隔板和第二隔板之间的高架地板镂空，使隔板和第二隔板之间的洁净空间和循环空间构成回风通道20；

在所述加工区间自动输送轨道回路中，其轨道的正上方的天花板上设有风机滤器单元9，轨道的内侧面上设有竖直设置的挡板10，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成第二回风通道11，所述第二回风通道正对的天花板上设有通孔12；所述通孔的正上方设有新风输送系统的输送管13，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外侧的回风通道中的气压；

所述回风通道20内设有新风输送系统的输送支管21，该输送支管与所述输送管13连通。

所述封闭空间内设有排气系统的排气管22。

所述新风输送系统设于洁净室的顶部，并位于加工区间自动输送轨道回路2的上方。

所述挡板与高架地板之间的距离为3 m。

所述第二隔板的底部设有干盘管23，通过干盘管使回风通道和洁净室的循环空间连通。

Claims (4)

1.一种具有自动化物料处理系统的洁净室，包括新风输送系统、排气系统和一大型洁净空间，大型洁净空间内设有自动化物料处理系统和至少1个程序加工区(1)；

所述自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路(2)和至少1个储存仓；所述自动化物料处理系统从上到下包括架构空间(4)、洁净空间(5)和循环空间(6)，架构空间和洁净空间之间设有天花板(7)，洁净空间和循环空间之间设有高架地板；其特征在于：

所述自动化物料处理系统的四周围设有隔板(8)，使其所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构；位于洁净空间内的隔板底部设有气体调节风门(14)；

所述隔板向下延伸至底部，隔板包围的高架地板为封闭结构，使洁净微环境结构的下方形成封闭空间(18)；

所述加工区间自动输送轨道回路(2)的外围设有第二隔板(19)，第二隔板设于所述隔板的外侧，隔板和第二隔板之间的高架地板镂空，使隔板和第二隔板之间的洁净空间和循环空间构成回风通道(20)；

在所述加工区间自动输送轨道回路中，其轨道的正上方的天花板上设有风机滤器单元(9)，轨道的内侧面上设有竖直设置的挡板(10)，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成第二回风通道(11)，所述第二回风通道正对的天花板上设有通孔(12)；所述通孔的正上方设有新风输送系统的输送管(13)，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外侧的回风通道中的气压；

所述回风通道(20)内设有新风输送系统的输送支管(21)，该输送支管与所述输送管(13)连通。

2.根据权利要求1所述的具有自动化物料处理系统的洁净室，其特征在于：所述封闭空间内设有排气系统的排气管(22)。

3.根据权利要求1所述的具有自动化物料处理系统的洁净室，其特征在于：所述新风输送系统设于洁净室的顶部，并位于加工区间自动输送轨道回路(2)的上方。

4.根据权利要求1所述的具有自动化物料处理系统的洁净室，其特征在于：所述挡板与高架地板之间的距离为2~4 m。

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