JP6786976B2 - 物品搬送設備 - Google Patents

物品搬送設備 Download PDF

Info

Publication number
JP6786976B2
JP6786976B2 JP2016176973A JP2016176973A JP6786976B2 JP 6786976 B2 JP6786976 B2 JP 6786976B2 JP 2016176973 A JP2016176973 A JP 2016176973A JP 2016176973 A JP2016176973 A JP 2016176973A JP 6786976 B2 JP6786976 B2 JP 6786976B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cable body
transfer device
support
transport
transport device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016176973A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2018039654A (ja
Inventor
健史 安部
健史 安部
和哉 大森
和哉 大森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Priority to JP2016176973A priority Critical patent/JP6786976B2/ja
Priority to KR1020170113089A priority patent/KR102385795B1/ko
Priority to TW106130776A priority patent/TWI751194B/zh
Priority to US15/699,070 priority patent/US10647507B2/en
Priority to CN201710805481.7A priority patent/CN107804637B/zh
Publication of JP2018039654A publication Critical patent/JP2018039654A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6786976B2 publication Critical patent/JP6786976B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L9/00—Electric propulsion with power supply external to the vehicle
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0492—Storage devices mechanical with cars adapted to travel in storage aisles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67754—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a batch of workpieces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L2200/00—Type of vehicles
    • B60L2200/26—Rail vehicles

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Description

本発明は、レールに案内されて収納棚の前方を移動する第一搬送装置及び第二搬送装置と、第一搬送装置に接続される給電用又は通信用の第一ケーブル体と、第二搬送装置に接続される給電用又は通信用の第二ケーブル体と、を備えた物品搬送設備に関する。
上記のような物品搬送設備として、国際公開第２０１４／１２５７２７号（特許文献１）に記載された物品搬送設備が知られている。具体的には、特許文献１に記載の物品搬送設備は、走行レール（１０）上を走行する第一の搬送台車（４）及び第二の搬送台車（５）と、第一の搬送台車（４）に取り付けられて当該搬送台車（４）に給電を行うための第一のケーブルガイド（８）と、第二の搬送台車（５）に取り付けられて当該搬送台車（５）に給電を行うための第二のケーブルガイド（９）と、を備えている。第一のケーブルガイド（８）は、第一の搬送台車（４）の走行に伴い変形し、第二のケーブルガイド（９）は、第二の搬送台車（５）の走行に伴い変形する。そして、特許文献１に記載の物品搬送設備では、第一のケーブルガイド（８）と第二のケーブルガイド（９）とを走行レール（１０）に対して互いに反対側に配置することで、ケーブルガイド（８，９）同士の干渉を回避している。すなわち、第一方向（レールの延在方向）及び上下方向の双方に直交する方向を第二方向として、特許文献１に記載の物品搬送設備では、第一ケーブル体と第二ケーブル体との２つのケーブル体を、レールに対して第二方向の互いに反対側に配置している。
国際公開第２０１４／１２５７２７号（段落００１８、図１等）
上記のように２つのケーブル体がレールに対して第二方向の互いに反対側に配置される構成を採用する場合、ケーブル体の変形による変位も考慮したケーブル体の配置スペースを、レールに対して第二方向の両側に確保する必要がある。そのため、このような構成では、一方のケーブル体の配置スペースから他方のケーブル体の配置スペースまでの第二方向の範囲が広くなり、その結果、設備が第二方向に大型化しやすくなる。また、ケーブル体の配置スペースがレールに対して第二方向の両側に存在するため、ケーブル体と同様に床部の近傍に配置される他の部材についての配置に関する制約が多くなりやすい。このことによっても設備が大型化するおそれがあり、また、ケーブル体の配置スペースを避けるための複雑な配置形態を当該他の部材に採用した場合には、設備が複雑化するおそれもある。しかしながら、特許文献１ではこれらの点について特段の認識がなされていなかった。
そこで、設備の大型化や複雑化を抑制しつつ２つのケーブル体を配置することが可能な物品搬送設備の実現が望まれる。
上記に鑑みた、物品を収納する複数の収納部が水平方向に沿う第一方向に並べて設けられた収納棚と、床部に前記第一方向に沿って設置されたレールと、前記レールに案内されて前記収納棚の前方を前記第一方向に沿って移動して、前記収納部に又は前記収納部から物品を搬送する第一搬送装置及び第二搬送装置と、前記第一搬送装置に接続されて前記第一方向に延在する給電用又は通信用の第一ケーブル体と、前記第二搬送装置に接続されて前記第一方向に延在する給電用又は通信用の第二ケーブル体と、を備えた物品搬送設備の特徴構成は、前記第一ケーブル体における前記第一搬送装置との接続部とは反対側の端部である第一端部と、前記第二ケーブル体における前記第二搬送装置との接続部とは反対側の端部である第二端部との双方が、前記床部に固定され、前記第一ケーブル体は、前記第一搬送装置の前記第一方向に沿った移動に伴い変形することで、前記第一方向に沿った範囲である第一移動範囲において前記第一搬送装置が移動することを許容し、前記第二ケーブル体は、前記第二搬送装置の前記第一方向に沿った移動に伴い変形することで、前記第一方向に沿った範囲であって前記第一移動範囲と少なくとも一部で重複する第二移動範囲において前記第二搬送装置が移動することを許容し、前記第一搬送装置は、前記第二搬送装置に対して前記第一方向の一方側である第一側に配置され、前記第一ケーブル体における前記第一搬送装置との接続部を第一接続部として、前記第一ケーブル体は、前記第一端部及び前記第一接続部に対して前記第一側において、当該第一ケーブル体の前記第一端部から前記第一接続部に向かう延在方向を反転させる第一折り返し部を有し、前記第二ケーブル体における前記第二搬送装置との接続部を第二接続部として、前記第二ケーブル体は、前記第二端部及び前記第二接続部に対して前記第一側とは反対側である第二側において、当該第二ケーブル体の前記第二端部から前記第二接続部に向かう延在方向を反転させる第二折り返し部を有し、前記第一方向及び上下方向の双方に直交する方向を第二方向として、前記第一ケーブル体及び前記第二ケーブル体が、前記レールに対して前記第二方向の互いに同じ側に、それぞれの前記第二方向の配置領域が少なくとも一部で互いに重複するように配置されている点にある。
この特徴構成によれば、第一ケーブル体と第二ケーブル体との２つのケーブル体が、レールに対して第二方向の同じ側に、それぞれの第二方向の配置領域が少なくとも一部で互いに重複するように配置される。よって、２つのケーブル体のそれぞれの配置スペースを第二方向の特定の領域に集中させることができ、２つのケーブル体がレールに対して第二方向の両側に分かれて配置される場合に比べて、設備の第二方向における小型化を図りやすくなる。また、２つのケーブル体がレールに対して第二方向の両側に分かれて配置される場合に比べて、ケーブル体と同様に床部の近傍に配置される他の部材についての配置に関する制約を緩和することが可能となり、結果、設備の小型化を図ることや、当該他の部材の配置形態を簡素なものとして設備の簡素化を図ることが可能となる。
以上のように、上記の特徴構成によれば、設備の大型化や複雑化を抑制しつつ２つのケーブル体を配置することが可能な物品搬送設備を実現することができる。
ここで、前記第一ケーブル体における前記第一折り返し部と前記第一接続部との間の部分である第一上側部分は、前記第一ケーブル体における前記第一折り返し部と前記第一端部との間の部分である第一下側部分に対して上側に配置され、前記第二ケーブル体における前記第二折り返し部と前記第二接続部との間の部分である第二上側部分は、前記第二ケーブル体における前記第二折り返し部と前記第二端部との間の部分である第二下側部分に対して上側に配置され、前記第一搬送装置が前記第一移動範囲の前記第二側の端部に位置する場合の前記第一折り返し部の前記第一方向の位置を第一位置とし、前記第二搬送装置が前記第二移動範囲の前記第一側の端部に位置する場合の前記第二折り返し部の前記第一方向の位置を第二位置として、前記第一位置と前記第二位置との間の位置である第三位置に、前記第一搬送装置が前記第三位置よりも前記第二側に位置する場合に前記第一下側部分及び前記第二下側部分よりも上方の高さで前記第一上側部分を下方から支持し、且つ、前記第二搬送装置が前記第三位置よりも前記第一側に位置する場合に前記第一下側部分及び前記第二下側部分よりも上方の高さで前記第二上側部分を下方から支持する第一支持部が設けられていると好適である。
この構成によれば、第一搬送装置が第三位置よりも第二側に位置する場合には、第三位置に設けられた第一支持部によって、第一上側部分を下方から支持することができる。よって、第一搬送装置が第三位置よりも第二側に位置する場合には、第一上側部分の延在方向に沿った長さ（第一折り返し部と第一接続部との間の距離）が長くなり、第一上側部分の延在方向における中間部分が自重で垂れ下がりやすくなるが、第一支持部によって第一上側部分を下方から支持することで、第一上側部分の垂れ下がりを抑制することができる。この結果、床部或いは床部に配置された他部材（例えば、第二下側部分）と第一上側部分との接触を回避することが可能となる。
また、上記の構成によれば、第二搬送装置が第三位置よりも第一側に位置する場合には、第三位置に設けられた第一支持部によって、第二上側部分を下方から支持することができる。よって、第二搬送装置が第三位置よりも第一側に位置する場合には、第二上側部分の延在方向に沿った長さ（第二折り返し部と第二接続部との間の距離）が長くなり、第二上側部分の延在方向における中間部分が自重で垂れ下がりやすくなるが、第一支持部によって第二上側部分を下方から支持することで、第二上側部分の垂れ下がりを抑制することができる。この結果、床部或いは床部に配置された他部材（例えば、第一下側部分）と第二上側部分との接触を回避することが可能となる。
以上のように、上記の構成によれば、第一上側部分及び第二上側部分の双方について、床部或いは床部に配置された他部材との接触を回避することが可能となるため、各ケーブル体における損傷の発生や各ケーブル体の劣化を抑制することができると共に、擦れによる塵埃の発生を抑制することもできる。
なお、第一支持部は、第一位置と第二位置との間の位置に設けられるため、第一支持部は、第一搬送装置が第一移動範囲を移動する場合に第一折り返し部が移動する空間の外部に位置すると共に、第二搬送装置が第二移動範囲を移動する場合に第二折り返し部が移動する空間の外部に位置する。よって、第一支持部として、姿勢や設置位置が固定される簡素なものを用いることができるという利点もある。
また、前記第一ケーブル体における前記第一折り返し部と前記第一接続部との間の部分である第一上側部分は、前記第一ケーブル体における前記第一折り返し部と前記第一端部との間の部分である第一下側部分に対して上側に配置され、前記第二ケーブル体における前記第二折り返し部と前記第二接続部との間の部分である第二上側部分は、前記第二ケーブル体における前記第二折り返し部と前記第二端部との間の部分である第二下側部分に対して上側に配置され、前記第一搬送装置が前記第一移動範囲の前記第二側の端部に位置する場合の前記第一折り返し部の前記第一方向の位置を第一位置とし、前記第二搬送装置が前記第二移動範囲の前記第一側の端部に位置する場合の前記第二折り返し部の前記第一方向の位置を第二位置として、前記第一搬送装置が前記第二位置よりも前記第二側に位置する場合に、前記第二下側部分よりも上方において前記第一上側部分を下方から支持する第二支持部と、前記第二搬送装置が前記第一位置よりも前記第一側に位置する場合に、前記第一下側部分よりも上方において前記第二上側部分を下方から支持する第三支持部とが設けられ、前記第二支持部は、前記第二搬送装置が前記第二移動範囲を移動する場合に前記第二折り返し部が移動する空間である第二移動空間の内部に位置して前記第一上側部分を下方から支持する第二支持位置と、前記第二移動空間の外部に位置する第二退避位置との間で、姿勢及び設置位置の少なくとも一方を切り替え可能に構成され、前記第三支持部は、前記第一搬送装置が前記第一移動範囲を移動する場合に前記第一折り返し部が移動する空間である第一移動空間の内部に位置して前記第二上側部分を下方から支持する第三支持位置と、前記第一移動空間の外部に位置する第三退避位置との間で、姿勢及び設置位置の少なくとも一方を切り替え可能に構成されていると好適である。
第一ケーブル体及び第二ケーブル体は、それぞれの第二方向の配置領域が少なくとも一部で互いに重複するように配置される。よって、第一搬送装置が第二位置よりも第二側に位置する場合には、第一上側部分が、第二下側部分よりも上方であって上下方向に見て第二下側部分と重複するように配置される状況（以下、「第一状況」という。）となり得る。また、第二搬送装置が第一位置よりも第一側に位置する場合には、第二上側部分が、第一下側部分よりも上方であって上下方向に見て第一下側部分と重複するように配置される状況（以下、「第二状況」という。）となり得る。
この点に関し、上記の構成によれば、第二支持部が設けられ、この第二支持部は、第一搬送装置が第二位置よりも第二側に位置する場合に、第二下側部分よりも上方において第一上側部分を下方から支持する。よって、上記の第一状況において、第二支持部の設置位置における第一上側部分の高さを、第二下側部分よりも上方の高さに維持することができ、結果、第一上側部分の垂れ下がりを抑制して、第一上側部分と第二下側部分との接触を回避することが可能となる。また、上記の構成によれば、第三支持部が設けられ、この第三支持部は、第二搬送装置が第一位置よりも第一側に位置する場合に、第一下側部分よりも上方において第二上側部分を下方から支持する。よって、上記の第二状況において、第三支持部の設置位置における第二上側部分の高さを、第一下側部分よりも上方の高さに維持することができ、結果、第二上側部分の垂れ下がりを抑制して、第二上側部分と第一下側部分との接触を回避することが可能となる。
なお、第二支持部は、第二支持位置と第二退避位置との間で位置（姿勢及び設置位置の少なくとも一方、以下同様。）を切り替え可能に構成されるため、第二搬送装置が第二移動範囲を移動する場合には第二支持部の位置を第二退避位置に切り替えることで、第二支持部と第二ケーブル体との干渉を回避することができる。また、第三支持部は、第三支持位置と第三退避位置との間で位置を切り替え可能に構成されるため、第一搬送装置が第一移動範囲を移動する場合には第三支持部の位置を第三退避位置に切り替えることで、第三支持部と第一ケーブル体との干渉を回避することができる。
また、前記第二位置よりも前記第二側の複数の位置のそれぞれに前記第二支持部が設けられると共に、前記第一位置よりも前記第一側の複数の位置のそれぞれに前記第三支持部が設けられ、前記第一方向に検出光を投射して少なくともいずれかの前記第二支持部が前記第二支持位置に位置することを検出する第一センサと、前記第一方向に検出光を投射して少なくともいずれかの前記第三支持部が前記第三支持位置に位置することを検出する第二センサと、が設けられていると好適である。
この構成によれば、位置を検出するセンサを第二支持部のそれぞれに対して個別に設けることなく、第一センサの検出情報に基づき、第二支持位置に位置する第二支持部が存在するか否かを判別することができる。そして、第二支持位置に位置する第二支持部が存在しないことを、第二搬送装置の第二移動範囲における移動を許容する条件の１つとすることで、少なくともいずれかの第二支持部が第二支持位置に位置する状態で第二搬送装置が第二移動範囲を移動することを回避して、第二支持部と第二ケーブル体との干渉を回避することができる。
また、上記の構成によれば、位置を検出するセンサを第三支持部のそれぞれに対して個別に設けることなく、第二センサの検出情報に基づき、第三支持位置に位置する第三支持部が存在するか否かを判別することができる。そして、第三支持位置に位置する第三支持部が存在しないことを、第一搬送装置の第一移動範囲における移動を許容する条件の１つとすることで、少なくともいずれかの第三支持部が第三支持位置に位置する状態で第一搬送装置が第一移動範囲を移動することを回避して、第三支持部と第一ケーブル体との干渉を回避することができる。
以上のように、上記の構成によれば、比較的少数の光学式のセンサを用いた簡素な検出システムで、第二支持部と第二ケーブル体との干渉や、第三支持部と第一ケーブル体との干渉を回避することができる。
また、前記第二位置よりも前記第二側の複数の位置のそれぞれに前記第二支持部が設けられると共に、前記第一位置よりも前記第一側の複数の位置のそれぞれに前記第三支持部が設けられ、前記第一方向に検出光を投射して少なくともいずれかの前記第二支持部が前記第二退避位置に位置することを検出する第三センサと、前記第一方向に検出光を投射して少なくともいずれかの前記第三支持部が前記第三退避位置に位置することを検出する第四センサと、が設けられていると好適である。
この構成によれば、位置を検出するセンサを第二支持部のそれぞれに対して個別に設けることなく、第三センサの検出情報に基づき、第二退避位置に位置する第二支持部が存在するか否かを判別することができる。そして、第二退避位置に位置する第二支持部が存在しないことを、第二位置よりも第二側への第一搬送装置の移動を許容する条件の１つとすることで、第二支持位置に切り替えられていない第二支持部が存在する状態で第一搬送装置が第二位置よりも第二側に移動することを回避することができる。第一搬送装置が第二位置よりも第二側に位置する場合に第二支持位置に切り替えられていない第二支持部が存在すると、当該第二支持部の設置位置において第一上側部分を支持することができず、第一上側部分が垂れ下がって第二下側部分に接触するおそれがあるが、上記のように第二支持位置に切り替えられていない第二支持部が存在する状態で第一搬送装置が第二位置よりも第二側に移動することを回避することで、第一上側部分と第二下側部分との接触を回避することができる。
また、上記の構成によれば、位置を検出するセンサを第三支持部のそれぞれに対して個別に設けることなく、第四センサの検出情報に基づき、第三退避位置に位置する第三支持部が存在するか否かを判別することができる。そして、第三退避位置に位置する第三支持部が存在しないことを、第一位置よりも第一側への第二搬送装置の移動を許容する条件の１つとすることで、第三支持位置に切り替えられていない第三支持部が存在する状態で第二搬送装置が第一位置よりも第一側に移動することを回避することができる。第二搬送装置が第一位置よりも第一側に位置する場合に第三支持位置に切り替えられていない第三支持部が存在すると、当該第三支持部の設置位置において第二上側部分を支持することができず、第二上側部分が垂れ下がって第一下側部分に接触するおそれがあるが、上記のように第三支持位置に切り替えられていない第三支持部が存在する状態で第二搬送装置が第一位置よりも第一側に移動することを回避することで、第二上側部分と第一下側部分との接触を回避することができる。
以上のように、上記の構成によれば、比較的少数の光学式のセンサを用いた簡素な検出システムで、第一上側部分と第二下側部分との干渉や、第二上側部分と第一下側部分との干渉を回避することができる。
また、前記第一ケーブル体及び前記第二ケーブル体のそれぞれが、ケーブル本体と、前記ケーブル本体を収容すると共に前記ケーブル本体の延在方向を規制するケーブルキャリアと、を備えていると好適である。
この構成によれば、第一ケーブル体及び第二ケーブル体のそれぞれについて、ケーブル本体の延在方向をケーブルキャリアにより規制することができるため、第一搬送装置の移動に伴い第一ケーブル体が変形する際や、第二搬送装置の移動に伴い第二ケーブル体が変形する際に、ケーブル本体の自由な変形を規制して、ケーブル本体を、ケーブルキャリアの変形に追従して変形させることができる。よって、搬送装置の移動に伴いケーブル本体を備えるケーブル体が変形する際に、許容される曲げ半径未満の湾曲部がケーブル本体に形成されることを回避することが可能となり、この結果、ケーブル本体における損傷の発生やケーブル本体の劣化を抑制することができる。
また、上述した第一支持体、第二支持体、及び第三支持体のような、ケーブル体を支持する支持体を設けた場合には、支持体に支持される際にケーブル体が支持体と接触するが、上記の構成によれば、ケーブル本体がケーブルキャリアに収容されるため、ケーブル本体と支持体との接触を回避してケーブル本体の保護を図ることもできる。
また、前記第一搬送装置及び前記第二搬送装置の作動を制御する制御装置を更に備え、前記第一搬送装置は、前記第二搬送装置に対して前記第一方向の一方側である第一側に配置され、前記制御装置は、第一搬送制御、第二搬送制御、及び第三搬送制御を実行し、前記第一搬送制御は、前記第一移動範囲と前記第二移動範囲との重複領域内の任意の位置を基準位置として、前記第一移動範囲における前記基準位置よりも前記第一側の範囲内に前記第一搬送装置の移動範囲を制限した状態であって、且つ、前記第二移動範囲における前記基準位置よりも前記第一側とは反対側である第二側の範囲内に前記第二搬送装置の移動範囲を制限した状態で、前記第一搬送装置及び前記第二搬送装置の双方に物品を搬送させる制御であり、前記第二搬送制御は、前記第一搬送装置及び前記第二搬送装置のうちの前記第一搬送装置のみが前記第一移動範囲内に存在する状態において、前記第一移動範囲の全域における前記第一搬送装置の移動を許容する状態で、前記第一搬送装置に物品を搬送させる制御であり、前記第三搬送制御は、前記第一搬送装置及び前記第二搬送装置のうちの前記第二搬送装置のみが前記第二移動範囲内に存在する状態において、前記第二移動範囲の全域における前記第二搬送装置の移動を許容する状態で、前記第二搬送装置に物品を搬送させる制御であると好適である。
この構成によれば、制御装置が、第一搬送制御、第二搬送制御、及び第三搬送制御を実行可能であるため、その時々の状況に応じて適切な搬送制御を選択して実行することができる。例えば、第一搬送制御を実行することで、第一搬送装置及び第二搬送装置の双方を用いて物品を効率良く搬送することができる。この際、第一搬送装置の移動範囲と第二搬送装置の移動範囲とが互いに重複しないように設定されるため、第一搬送装置と第二搬送装置との干渉を容易に回避することができる。また、例えば、第二搬送装置のメンテナンス作業を行う場合には第二搬送制御を実行することで、第二搬送装置のメンテナンス作業を行いながら、第一搬送装置により物品を搬送することができる。この際、第一搬送装置及び第二搬送装置のうちの第一搬送装置のみが第一移動範囲内に存在する状態において、第一移動範囲の全域における第一搬送装置の移動が許容されるため、第一搬送装置と第二搬送装置との干渉を適切に回避しつつ、第一移動範囲における第二移動範囲との重複領域内に存在する収納部を搬送元又は搬送先とする搬送作業も第一搬送装置に行わせることができる。また、例えば、第一搬送装置のメンテナンス作業を行う場合には第三搬送制御を実行することで、第一搬送装置のメンテナンス作業を行いながら、第二搬送装置により物品を搬送することができる。この際、第一搬送装置及び第二搬送装置のうちの第二搬送装置のみが第二移動範囲内に存在する状態において、第二移動範囲の全域における第二搬送装置の移動が許容されるため、第一搬送装置と第二搬送装置との干渉を適切に回避しつつ、第二移動範囲における第一移動範囲との重複領域内に存在する収納部を搬送元又は搬送先とする搬送作業も第二搬送装置に行わせることができる。
物品搬送設備の平面図 物品搬送設備の正面図 第一支持部、第二支持部、及び第三支持部の配置構成を示す図 第一支持部、第二支持部、及び第三支持部の斜視図 第三支持部の正面図 第一支持部の正面図 第一取付部に対する第一接続部の取付構造を示す側面図 第一搬送装置の一部の正面図 第一保持具に対する第一接続部の取付構造を示す側面図 第一保持具に保持された状態の第一接続部を示す正面図 第一搬送装置に対するメンテナンス作業時の物品搬送設備の一部の側面図 第二取付部に対する第二接続部の取付構造を示す側面図 第二保持具に対する第二接続部の取付構造を示す側面図 第二搬送装置に対するメンテナンス作業時の物品搬送設備の一部の側面図 制御ブロック図
物品搬送設備の実施形態について、図面を参照して説明する。図１及び図２に示すように、物品搬送設備９は、収納棚６と、第一搬送装置１と、第二搬送装置２と、第一ケーブル体１０と、第二ケーブル体２０とを備えている。収納棚６には、物品Ｗを収納する複数の収納部６ａが、水平方向に沿う第一方向Ｘに並べて設けられ、第一搬送装置１及び第二搬送装置２のそれぞれは、収納棚６の前方を第一方向Ｘに沿って移動して、収納部６ａに又は収納部６ａから物品Ｗを搬送する。物品搬送設備９が設置される床部Ｆには、レール７が第一方向Ｘに沿って設置されており、第一搬送装置１及び第二搬送装置２のそれぞれは、レール７に案内されて第一方向Ｘに沿って移動する。第一搬送装置１及び第二搬送装置２の少なくとも一方が移動する空間を「移動経路」とすると、レール７は移動経路（移動経路の長手方向）に沿って設置されている。
収納棚６は、前側（収納部６ａに対して物品Ｗを出し入れする側）が移動経路側となる向きで設置される。図２に示すように、本実施形態では、収納棚６には、複数の収納部６ａが、第一方向Ｘに加えて上下方向Ｚにも並べて設けられている。収納部６ａのそれぞれには、物品Ｗを支持する支持部が備えられる。本実施形態では、物品Ｗは、半導体基板を収容する容器（具体的には、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod））であり、収納部６ａのそれぞれには、支持部として、物品Ｗを載置支持する載置体が備えられている。また、図１及び図２に示すように、本実施形態では、移動経路に対して第二方向Ｙの両側のそれぞれに、収納棚６が設けられている。具体的には、移動経路を挟んで第二方向Ｙに対向するように配置される一対の収納棚６を一組として、二組の収納棚６が第一方向Ｘに並べて設けられている。なお、第二方向Ｙは、第一方向Ｘ及び上下方向Ｚ（鉛直方向）の双方に直交する方向である。以下では、第二方向Ｙの一方側を第三側Ｙ１とし、第三側Ｙ１とは反対側（第二方向Ｙの他方側）を第四側Ｙ２とする。本実施形態では、移動経路に対して第四側Ｙ２に設置される収納棚６に、収納部６ａに収納されている物品Ｗ（容器の内部）に窒素ガス等の不活性気体を供給する不活性気体供給装置Ｎ（図２参照）が備えられている。
図１に示すように、第一搬送装置１は、第二搬送装置２に対して第一方向Ｘの一方側である第一側Ｘ１に配置されている。以下では、第一側Ｘ１とは反対側（第一方向Ｘの他方側）を第二側Ｘ２とする。第一搬送装置１及び第二搬送装置２は、第二方向Ｙの同じ位置において、第一方向Ｘに沿って移動するように構成されている。具体的には、第一搬送装置１及び第二搬送装置２は、共通のレール７に案内されることで、第二方向Ｙの同じ位置において第一方向Ｘに沿って移動するように構成されている。そのため、第一搬送装置１と第二搬送装置２との第一方向Ｘの位置関係が入れ替わることはなく、第一搬送装置１は、常に、第二搬送装置２に対して第一側Ｘ１に位置する。図１及び図２に示すように、本実施形態では、第二方向Ｙに離間するように一対のレール７が設けられており、第一搬送装置１及び第二搬送装置２のそれぞれは、当該一対のレール７に案内されて第一方向Ｘに沿って移動する。
本実施形態では、第一搬送装置１及び第二搬送装置２は、スタッカークレーンである。具体的には、図１及び図２に示すように、第一搬送装置１及び第二搬送装置２のそれぞれは、レール７（本実施形態では一対のレール７）に案内されて走行する走行台車８０と、走行台車８０に立設されたマスト８１と、マスト８１に沿って昇降移動する昇降体８２と、昇降体８２に支持された移載装置８３と、を備えている。移載装置８３は、収納部６ａ等の移載対象箇所と自己との間で物品Ｗを移載する装置である。詳細は省略するが、移載装置８３は、移動経路に対して第二方向Ｙのいずれの側に配置された収納棚６の収納部６ａに対しても、物品Ｗを移載できるように構成されている。本実施形態では、移載装置８３の移載対象箇所には、後述するコンベア８８（図２参照）の内部移載箇所も含まれる。図１に示すように、本実施形態では、第一搬送装置１は、第一搬送装置１の第一方向Ｘの中央部よりも第二側Ｘ２に偏った位置に、昇降体８２及び移載装置８３を備え、第二搬送装置２は、第二搬送装置２の第一方向Ｘの中央部よりも第一側Ｘ１に偏った位置に、昇降体８２及び移載装置８３を備えている。よって、収納部６ａに対して物品Ｗを移載する際に第一搬送装置１が停止する位置（第一搬送装置１の第一方向Ｘの中央部の位置）は、当該収納部６ａ或いは当該収納部６ａと第一方向Ｘの同じ位置に配置された収納部６ａに対して物品Ｗを移載する際に第二搬送装置２が停止する位置（第二搬送装置２の第一方向Ｘの中央部の位置）よりも、第一側Ｘ１に位置する。
本実施形態では、物品搬送設備９は、清浄空気が天井側から床側に向けて下向きに通流するダウンフロー式のクリーンルーム内に設置されている。図２に示すように、クリーンルームの床部Ｆは、下部床Ｆ２と、下部床Ｆ２よりも上側に配設された上部床Ｆ１とにより構成されている。上部床Ｆ１は、グレーティング床であり、上下方向Ｚに貫通する通気孔が複数形成されている。下部床Ｆ２は、通気孔を有さない床であり、本実施形態では、無孔状のコンクリートにより構成されている。天井側から床部Ｆに流動した空気は、上部床Ｆ１の通気孔を介して、上部床Ｆ１と下部床Ｆ２との間に形成された床下空間に排出される。図２に示すように、レール７は下部床Ｆ２に設置されている。
図１及び図２に示すように、本実施形態では、物品搬送設備９は、壁体Ｋ、第一扉７１、第二扉７２、第三扉７３、第四扉７４、及び第五扉７５を備えている。壁体Ｋは、各収納棚６が設置される搬送エリア８４の側周囲（上下方向視での周囲）を囲むように設けられている。第一搬送装置１及び第二搬送装置２のそれぞれは、搬送エリア８４の内部を第一方向Ｘに沿って移動して物品Ｗを搬送する。壁体Ｋは無孔状の部材により形成されている。本実施形態では、壁体Ｋの上端部に形成される開口部には多孔状の部材が設けられており、この多孔状の部材を介して、天井側から供給された清浄空気が搬送エリア８４に流入するように構成されている。搬送エリア８４に流入した清浄空気は、収納部６ａに収納されている物品Ｗ（容器の内部）から排出された不活性気体と共に、壁体Ｋにおける上部床Ｆ１よりも下側の部分に備えられた気体排出部８５から床下空間に排気される。
壁体Ｋにおける搬送エリア８４の第一側Ｘ１の端部を区画する部分には、第一搬送装置１が通過可能な開口部が形成されており、第一扉７１は、当該開口部に設けられて当該開口部を開閉自在に構成されている。搬送エリア８４に対して第一側Ｘ１には、第一搬送装置１のメンテナンス作業を行うための第一退避エリアＡ１が設けられており、レール７は、第一扉７１の設置位置を超えて第一退避エリアＡ１まで第一側Ｘ１に延びるように設置されている。第一扉７１を開き状態に切り替えることで、搬送エリア８４と第一退避エリアＡ１との間で第一搬送装置１が移動可能となる。また、第一扉７１を閉じ状態に切り替えることで、搬送エリア８４と第一退避エリアＡ１とを分断することができ、搬送エリア８４と第一退避エリアＡ１との間での空気の流通を抑制できる。
壁体Ｋにおける搬送エリア８４の第二側Ｘ２の端部を区画する部分には、第二搬送装置２が通過可能な開口部が形成されており、第二扉７２は、当該開口部に設けられて当該開口部を開閉自在に構成されている。搬送エリア８４に対して第二側Ｘ２には、第二搬送装置２のメンテナンス作業を行うための第二退避エリアＡ２が設けられており、レール７は、第二扉７２の設置位置を超えて第二退避エリアＡ２まで第二側Ｘ２に延びるように設置されている。第二扉７２を開き状態に切り替えることで、搬送エリア８４と第二退避エリアＡ２との間で第二搬送装置２が移動可能となる。また、第二扉７２を閉じ状態に切り替えることで、搬送エリア８４と第二退避エリアＡ２とを分断することができ、搬送エリア８４と第二退避エリアＡ２との間での空気の流通を抑制できる。
搬送エリア８４における第一方向Ｘの中間部分（本実施形態では、中央部分）には、第一搬送装置１及び第二搬送装置２が通過可能な開口部が形成されており、第三扉７３は、当該開口部に設けられて当該開口部を開閉自在に構成されている。ここで、搬送エリア８４における第三扉７３の設置位置よりも第一側Ｘ１の部分を第一搬送エリア８４ａとし、搬送エリア８４における第三扉７３の設置位置よりも第二側Ｘ２の部分を第二搬送エリア８４ｂとする。第三扉７３を開き状態に切り替えることで、第一搬送エリア８４ａと第二搬送エリア８４ｂとの間で第一搬送装置１及び第二搬送装置２が移動可能となる。また、第三扉７３を閉じ状態に切り替えることで、第一搬送エリア８４ａと第二搬送エリア８４ｂとを分断することができ、第一搬送エリア８４ａと第二搬送エリア８４ｂとの間での空気の流通を抑制できる。なお、レール７は、搬送エリア８４における第一方向Ｘの全域にわたって連続的に形成されており、第一搬送エリア８４ａと第二搬送エリア８４ｂとの境界部においても連続的に形成されている。また、本実施形態では、レール７は、第一搬送エリア８４ａと第一退避エリアＡ１との境界部においても連続的に形成されていると共に、第二搬送エリア８４ｂと第二退避エリアＡ２との境界部においても連続的に形成されている。図１に示すように、本実施形態では、第一搬送エリア８４ａ及び第二搬送エリア８４ｂのそれぞれに、移動経路を挟んで第二方向Ｙに対向する一対の収納棚６が設置されている。
壁体Ｋにおける搬送エリア８４（第一搬送エリア８４ａ）の第三側Ｙ１を区画する部分には、作業者が第一搬送エリア８４ａに出入りするための出入口が形成されており、第四扉７４は、当該出入口に設けられて当該出入口を開閉自在に構成されている。第四扉７４を開き状態に切り替えることで、作業者が第一搬送エリア８４ａに出入り可能となり、第四扉７４を閉じ状態に切り替えることで、第一搬送エリア８４ａと搬送エリア８４の外部との間での空気の流通を抑制できる。また、壁体Ｋにおける搬送エリア８４（第二搬送エリア８４ｂ）の第三側Ｙ１を区画する部分には、作業者が第二搬送エリア８４ｂに出入りするための出入口が形成されており、第五扉７５は、当該出入口に設けられて当該出入口を開閉自在に構成されている。第五扉７５を開き状態に切り替えることで、作業者が第二搬送エリア８４ｂに出入り可能となり、第五扉７５を閉じ状態に切り替えることで、第二搬送エリア８４ｂと搬送エリア８４の外部との間での空気の流通を抑制できる。
図２に示すように、本実施形態では、物品搬送設備９は、壁体Ｋを貫通するように設けられて物品Ｗを載置搬送するコンベア８８を備えている。コンベア８８は、収納棚６への物品Ｗの入庫と、収納棚６からの物品Ｗの出庫との、少なくとも一方のために用いられる。コンベア８８は、壁体Ｋの外部（搬送エリア８４の外部）に位置する外部移載箇所と、壁体Ｋの内部（搬送エリア８４の内部）に位置する内部移載箇所との間で、物品Ｗを搬送するように構成されている。図２に示すコンベア８８の外部移載箇所に対しては、天井搬送車８９が物品Ｗの載せ降ろしを行う。外部移載箇所に対して作業者が物品Ｗの載せ降ろしを行うコンベア８８が備えられても良い。収納棚６に入庫される物品Ｗは、天井搬送車８９又は作業者によりコンベア８８の外部移載箇所に載せられた後、コンベア８８により内部移載箇所まで搬送され、その後、第一搬送装置１又は第二搬送装置２により当該内部移載箇所から収納部６ａに搬送される。また、収納棚６から出庫される物品Ｗは、第一搬送装置１又は第二搬送装置２により収納部６ａからコンベア８８の内部移載箇所に搬送された後、コンベア８８により外部移載箇所まで搬送され、その後、天井搬送車８９又は作業者により当該外部移載箇所から降ろされる。
上述したように、物品搬送設備９は、第一ケーブル体１０と第二ケーブル体２０とを備えている。図１に示すように、第一ケーブル体１０は、第一搬送装置１に接続されて第一方向Ｘに延在する給電用又は通信用のケーブル体であり、第二ケーブル体２０は、第二搬送装置２に接続されて第一方向Ｘに延在する給電用又は通信用のケーブル体である。本実施形態では、第一ケーブル体１０及び第二ケーブル体２０の双方が、給電用及び通信用のケーブル体（給電及び通信の双方のためのケーブル体）である。第一ケーブル体１０は、後述する第一上側部分１１及び第一下側部分１２の双方が第一方向Ｘに延在するように配置されることで、全体として第一方向Ｘに延在するように配置される。また、第二ケーブル体２０は、後述する第二上側部分２１及び第二下側部分２２の双方が第一方向Ｘに延在するように配置されることで、全体として第一方向Ｘに延在するように配置される。
第一ケーブル体１０及び第二ケーブル体２０のそれぞれは、ケーブル本体と、ケーブル本体を収容すると共にケーブル本体の延在方向を規制するケーブルキャリアとを備えている。なお、ケーブル本体は、単数のケーブルであっても、複数のケーブルの集合体（例えば、複数の信号線が束状に結束されたもの）であってもよい。具体的には、図５及び図６に示すように、第一ケーブル体１０は、第一ケーブル本体１６と、第一ケーブル本体１６を収容すると共に第一ケーブル本体１６の延在方向を規制する第一ケーブルキャリア１７とを備え、第二ケーブル体２０は、第二ケーブル本体２６と、第二ケーブル本体２６を収容すると共に第二ケーブル本体２６の延在方向を規制する第二ケーブルキャリア２７とを備えている。すなわち、第一ケーブル本体１６及び第二ケーブル本体２６のそれぞれが「ケーブル本体」に相当し、第一ケーブルキャリア１７及び第二ケーブルキャリア２７のそれぞれが「ケーブルキャリア」に相当する。詳細は省略するが、ケーブルキャリアは、複数のリンク体を線状に連結して構成されており、複数のリンク体の並び方向（連結方向）で規定されるケーブルキャリアの延在方向（長手方向）に沿って、ケーブル本体を収容する収容空間が形成される。リンク体同士は互いに揺動自在に連結されており、ケーブルキャリアは、屈曲された際に延在方向に隣接するリンク体同士が接触することで、湾曲部における曲げ半径が設定半径未満とはならないように構成されている。これにより、第一ケーブル体１０や第二ケーブル体２０が変形する際に、第一ケーブルキャリア１７に収容された第一ケーブル本体１６や第二ケーブルキャリア２７に収容された第二ケーブル本体２６に、許容される曲げ半径未満の湾曲部が形成されることを回避することが可能となっている。なお、図５及び図６では、第一ケーブル本体１６や第二ケーブル本体２６を簡略化して示しており、各ケーブル本体の本数や断面形状を正確に表しているわけではない。
本実施形態では、第一ケーブル体１０は、第一搬送装置１に給電するための給電用の第一ケーブル本体１６と、制御装置８（図１５参照）と第一搬送装置１との間で通信（制御信号やセンサの検出信号等の通信）を行うための通信用の第一ケーブル本体１６との、複数の第一ケーブル本体１６を備えており、第一ケーブルキャリア１７は、当該複数の第一ケーブル本体１６を収容している。給電用の第一ケーブル本体１６により、電源（図示せず）と第一搬送装置１とが電力の受け渡しが可能に接続されると共に、通信用の第一ケーブル本体１６により、制御装置８と第一搬送装置１とが情報の受け渡しが可能に接続される。また、本実施形態では、第二ケーブル体２０は、第二搬送装置２に給電するための給電用の第二ケーブル本体２６と、制御装置８と第二搬送装置２との間で通信（制御信号やセンサの検出信号等の通信）を行うための通信用の第二ケーブル本体２６との、複数の第二ケーブル本体２６を備えており、第二ケーブルキャリア２７は、当該複数の第二ケーブル本体２６を収容している。給電用の第二ケーブル本体２６により、電源（図示せず）と第二搬送装置２とが電力の受け渡しが可能に接続されると共に、通信用の第二ケーブル本体２６により、制御装置８と第二搬送装置２とが情報の受け渡しが可能に接続される。
図３に示すように、第一ケーブル体１０は、第一搬送装置１の第一方向Ｘに沿った移動に伴い変形することで、第一方向Ｘに沿った範囲である第一移動範囲Ｒ１において第一搬送装置１が移動することを許容する。また、第二ケーブル体２０は、第二搬送装置２の第一方向Ｘに沿った移動に伴い変形することで、第一方向Ｘに沿った範囲であって第一移動範囲Ｒ１と少なくとも一部で重複する第二移動範囲Ｒ２において第二搬送装置２が移動することを許容する。本実施形態では、第二移動範囲Ｒ２の一部のみが第一移動範囲Ｒ１と重複している。具体的には、第二移動範囲Ｒ２の第一側Ｘ１の部分（本実施形態では、第一側Ｘ１の大部分）が、第一移動範囲Ｒ１の第二側Ｘ２の部分（本実施形態では、第二側Ｘ２の大部分）と重複している。なお、図３では、第一搬送装置１や第二搬送装置２について、簡略化して主に走行台車８０（図１、図２参照）のみ示している。
図３における上下方向中央部の図には、第一移動範囲Ｒ１の第一側Ｘ１の端部に位置する状態の第一搬送装置１を一点鎖線で示し、第一移動範囲Ｒ１の第二側Ｘ２の端部に位置する状態の第一搬送装置１を二点鎖線で示している。この図に示すように、第一移動範囲Ｒ１は、第一搬送装置１（或いは第一搬送装置１の走行台車８０）の第一方向Ｘにおける全体を含むように定義される。また、図３における下部の図には、第二移動範囲Ｒ２の第二側Ｘ２の端部に位置する状態の第二搬送装置２を一点鎖線で示し、第二移動範囲Ｒ２の第一側Ｘ１の端部に位置する状態の第二搬送装置２を二点鎖線で示している。この図に示すように、第二移動範囲Ｒ２は、第二搬送装置２（或いは第二搬送装置２の走行台車８０）の第一方向Ｘにおける全体を含むように定義される。
本実施形態では、第一方向Ｘに並ぶ複数の収納部６ａ（図１参照）のいずれに対しても物品Ｗを移載できるように、第一移動範囲Ｒ１及び第二移動範囲Ｒ２が設定されている。具体的には、第一移動範囲Ｒ１の第一側Ｘ１の端部は、最も第一側Ｘ１に配置された収納部６ａに対して物品Ｗを移載する際に第一搬送装置１が停止する位置（第一搬送装置１或いは走行台車８０における第一側Ｘ１の端部の位置）に設定され、第一移動範囲Ｒ１の第二側Ｘ２の端部は、最も第二側Ｘ２に配置された収納部６ａに対して物品Ｗを移載する際に第一搬送装置１が停止する位置（第一搬送装置１或いは走行台車８０における第二側Ｘ２の端部の位置）に設定されている。また、第二移動範囲Ｒ２の第二側Ｘ２の端部は、最も第二側Ｘ２に配置された収納部６ａに対して物品Ｗを移載する際に第二搬送装置２が停止する位置（第二搬送装置２或いは走行台車８０における第二側Ｘ２の端部の位置）に設定され、第二移動範囲Ｒ２の第一側Ｘ１の端部は、最も第一側Ｘ１に配置された収納部６ａに対して物品Ｗを移載する際に第二搬送装置２が停止する位置（第二搬送装置２或いは走行台車８０における第一側Ｘ１の端部の位置）に設定されている。よって、本実施形態では、第一移動範囲Ｒ１と第二移動範囲Ｒ２とは、互いに同一の大きさを有するように設定されている。また、上述したように、本実施形態では、収納部６ａに対して物品Ｗを移載する際に第一搬送装置１が停止する位置は、当該収納部６ａ或いは当該収納部６ａと第一方向Ｘの同じ位置に配置された収納部６ａに対して物品Ｗを移載する際に第二搬送装置２が停止する位置よりも、第一側Ｘ１に位置するため、これらの停止位置の第一方向Ｘのずれ量だけ、第二移動範囲Ｒ２は第一移動範囲Ｒ１に対して第二側Ｘ２にずれて設定されている。
ここで、図３に示すように、第一移動範囲Ｒ１と第二移動範囲Ｒ２との重複領域内の位置（図３において上下方向に延びる一点鎖線の位置）を基準位置として、第一移動範囲Ｒ１における当該基準位置よりも第一側Ｘ１の範囲を第三移動範囲Ｒ３とし、第二移動範囲Ｒ２における当該基準位置よりも第二側Ｘ２の範囲を第四移動範囲Ｒ４とする。本実施形態では、この基準位置を、搬送エリア８４を第一搬送エリア８４ａと第二搬送エリア８４ｂとに分断する第三扉７３（図１参照）の設置位置に設定している。よって、本実施形態では、搬送エリア８４の全域における第一搬送装置１の移動が許容される場合の第一搬送装置１の移動可能範囲が第一移動範囲Ｒ１となり、第一搬送装置１の移動が第一搬送エリア８４ａ内に制限される場合の第一搬送装置１の移動可能範囲が第三移動範囲Ｒ３となる。また、搬送エリア８４の全域における第二搬送装置２の移動が許容される場合の第二搬送装置２の移動可能範囲が第二移動範囲Ｒ２となり、第二搬送装置２の移動が第二搬送エリア８４ｂ内に制限される場合の第二搬送装置２の移動可能範囲が第四移動範囲Ｒ４となる。
図３に示すように、第一ケーブル体１０における第一搬送装置１との接続部を第一接続部１３とし、第一ケーブル体１０における第一接続部１３とは反対側の端部を第一端部１４とする。本実施形態では、第一接続部１３は、第一ケーブルキャリア１７における第一搬送装置１との接続部であり、第一ケーブル体１０における第一接続部１３とは反対側の端部は、第一ケーブルキャリア１７における第一接続部１３とは反対側の端部である。そして、第一ケーブル体１０は、第一端部１４及び第一接続部１３に対して第一側Ｘ１に、当該第一ケーブル体１０（第一ケーブルキャリア１７）の第一端部１４から第一接続部１３に向かう延在方向を反転させる第一折り返し部１５を有する。すなわち、第一端部１４から第一折り返し部１５へ向かう延在方向は第一側Ｘ１へ向かう方向となり、第一折り返し部１５から第一接続部１３へ向かう延在方向は第二側Ｘ２へ向かう方向となる。図３に示すように、第一ケーブル体１０における第一折り返し部１５と第一接続部１３との間の部分を第一上側部分１１とし、第一ケーブル体１０における第一折り返し部１５と第一端部１４との間の部分を第一下側部分１２とすると、本実施形態では、第一上側部分１１は、第一下側部分１２に対して上側に配置されている。具体的には、図１〜図３、図８に示すように、第一上側部分１１は、第一下側部分１２に対して上側であって、第一下側部分１２と第二方向Ｙの同じ位置（上下方向Ｚに見て第一下側部分１２と重複する位置）に配置されている。
また、図３に示すように、第二ケーブル体２０における第二搬送装置２との接続部を第二接続部２３とし、第二ケーブル体２０における第二接続部２３とは反対側の端部を第二端部２４とする。本実施形態では、第二接続部２３は、第二ケーブルキャリア２７における第二搬送装置２との接続部であり、第二ケーブル体２０における第二接続部２３とは反対側の端部は、第二ケーブルキャリア２７における第二接続部２３とは反対側の端部である。そして、第二ケーブル体２０は、第二端部２４及び第二接続部２３に対して第二側Ｘ２に、当該第二ケーブル体２０の第二端部２４から第二接続部２３に向かう延在方向を反転させる第二折り返し部２５を有する。すなわち、第二端部２４から第二折り返し部２５へ向かう延在方向は第二側Ｘ２へ向かう方向となり、第二折り返し部２５から第二接続部２３へ向かう延在方向は第一側Ｘ１へ向かう方向となる。図３に示すように、第二ケーブル体２０における第二折り返し部２５と第二接続部２３との間の部分を第二上側部分２１とし、第二ケーブル体２０における第二折り返し部２５と第二端部２４との間の部分を第二下側部分２２とすると、本実施形態では、第二上側部分２１は、第二下側部分２２に対して上側に配置されている。具体的には、図１及び図３に示すように、第二上側部分２１は、第二下側部分２２に対して上側であって、第二下側部分２２と第二方向Ｙの同じ位置（上下方向Ｚに見て第二下側部分２２と重複する位置）に配置されている。
図１に示すように、第一ケーブル体１０の第一端部１４と、第二ケーブル体２０の第二端部２４との双方は、床部Ｆ（本実施形態では、下部床Ｆ２）に固定されている。そのため、図３に示すように、第一搬送装置１が第二側Ｘ２に移動するに従って、第一折り返し部１５の形成位置が第二側Ｘ２に移動するように第一ケーブル体１０が変形する。これに伴い、第一上側部分１１の延在方向に沿った長さが長くなると共に、第一下側部分１２の延在方向に沿った長さが短くなる。図３〜図６、図８に示すように、床部Ｆ（本実施形態では、下部床Ｆ２）には、第一方向Ｘに沿って受け部材４０が設けられている。受け部材４０は、第一下側部分１２を下方から支持する支持部と、当該支持部における第二方向Ｙの両端部から上方に向かって立設された一対の壁部と、を有しており、第一下側部分１２は、第二方向Ｙの移動が規制される状態で受け部材４０により下方から支持される。また、図３に示すように、第二搬送装置２が第一側Ｘ１に移動するに従って、第二折り返し部２５の形成位置が第一側Ｘ１に移動するように第二ケーブル体２０が変形する。これに伴い、第二上側部分２１の延在方向に沿った長さが長くなると共に、第二下側部分２２の延在方向に沿った長さが短くなる。第一下側部分１２と同様に、第二下側部分２２も、第二方向Ｙの移動が規制される状態で受け部材４０により下方から支持される。なお、第一端部１４は、上述した基準位置（本実施形態では、第三扉７３の設置位置）よりも第一側Ｘ１において床部Ｆに固定され、第二端部２４は、当該基準位置よりも第二側Ｘ２において床部Ｆに固定されている。
図１に示すように、第一ケーブル体１０及び第二ケーブル体２０は、レール７（本実施形態では、一対のレール７）に対して第二方向Ｙの互いに同じ側に、それぞれの第二方向Ｙの配置領域が少なくとも一部で互いに重複するように配置されている。本実施形態では、第一ケーブル体１０及び第二ケーブル体２０の双方が、レール７（本実施形態では、一対のレール７）に対して第三側Ｙ１に配置されている。そして、第一ケーブル体１０と第二ケーブル体２０とは、第二方向Ｙの同じ位置に配置されている。すなわち、本実施形態では、第一ケーブル体１０の第二方向Ｙの配置領域は、第二ケーブル体２０の第二方向Ｙの配置領域と一致している。なお、本実施形態では、第一ケーブル体１０の第一端部１４から第一接続部１３までの延在方向に沿った長さは、第二ケーブル体２０の第二端部２４から第二接続部２３までの延在方向に沿った長さと等しい。すなわち、本実施形態では、第一ケーブルキャリア１７及び第二ケーブルキャリア２７として、延在方向に沿った長さが互いに等しいケーブルキャリアを用いている。
図２に示すように、本実施形態では、最下部の収納部６ａよりも下側に形成される下部空間８６（最下部の収納部６ａと床部Ｆ（下部床Ｆ２）との間の空間）に、第一ケーブル体１０や第二ケーブル体２０を配置している。そして、上記のように、本実施形態では、第一ケーブル体１０及び第二ケーブル体２０の双方を、レール７（本実施形態では一対のレール７、以下同様。）に対して第三側Ｙ１に配置することで、レール７に対して第四側Ｙ２に形成される下部空間８６には、第一ケーブル体１０及び第二ケーブル体２０のいずれもが配置されない構成としている。これにより、レール７に対して第四側Ｙ２に形成される下部空間８６に、他の部材を簡素な配置形態で配置することを可能としている。図２に示すように、本実施形態では、レール７に対して第四側Ｙ２に形成される下部空間８６に、第一方向Ｘに沿ってダクト８７を配置している。図２に示す例では、ダクト８７は、床部Ｆ（下部床Ｆ２）に固定されている。ダクト８７の内部には、例えば、制御装置８と不活性気体供給装置Ｎやコンベア８８等との間で通信を行うための通信ケーブル、不活性気体供給装置Ｎに不活性気体を供給するためのガス供給管、不活性気体供給装置Ｎやコンベア８８等に作動用の電力を供給するための給電ケーブル等が収容される。
ところで、第一搬送装置１が第二側Ｘ２に移動するに従って、第一上側部分１１の延在方向に沿った長さが長くなり、第一上側部分１１の延在方向における中間部分が自重で垂れ下がりやすくなる。また、第二搬送装置２が第一側Ｘ１に移動するに従って、第二上側部分２１の延在方向に沿った長さが長くなり、第二上側部分２１の延在方向における中間部分が自重で垂れ下がりやすくなる。この点に鑑みて、本実施形態では、図３に示すように、物品搬送設備９は、第一位置Ｐ１と第二位置Ｐ２との間の位置である第三位置Ｐ３に、第一搬送装置１が第三位置Ｐ３よりも第二側Ｘ２に位置する場合に第一上側部分１１を下方から支持し、且つ、第二搬送装置２が第三位置Ｐ３よりも第一側Ｘ１に位置する場合に第二上側部分２１を下方から支持する第一支持部４１を備えている。ここで、第一位置Ｐ１は、第一搬送装置１が第一移動範囲Ｒ１の第二側Ｘ２の端部に位置する場合の第一折り返し部１５の第一方向Ｘの位置であり（図３における上下方向中央部の図参照）、第二位置Ｐ２は、第二搬送装置２が第二移動範囲Ｒ２の第一側Ｘ１の端部に位置する場合の第二折り返し部２５の第一方向Ｘの位置である（図３における下部の図参照）。第一位置Ｐ１は、第二位置Ｐ２よりも第一側Ｘ１の位置である。このような第一支持部４１を設けることで、第一搬送装置１が第三位置Ｐ３よりも第二側Ｘ２に位置する場合には、第三位置Ｐ３に設けられた第一支持部４１によって、第一上側部分１１を下方から支持することができ、第二搬送装置２が第三位置Ｐ３よりも第一側Ｘ１に位置する場合には、第三位置Ｐ３に設けられた第一支持部４１によって、第二上側部分２１を下方から支持することができる。この結果、第一上側部分１１及び第二上側部分２１の双方について、床部Ｆ或いは床部Ｆに配置された他部材との接触を回避することが可能となっている。
図６は、第二搬送装置２が第三位置Ｐ３よりも第一側Ｘ１に位置する状態において、第一支持部４１が、第二上側部分２１の下側に位置して第二上側部分２１を下方から支持可能に配置される状況を示している。図６では、第一支持部４１と第二上側部分２１とが離間している状況を示しているが、第二上側部分２１における第三位置Ｐ３に位置する部分が第一支持部４１の高さまで降下した際に、第二上側部分２１が第一支持部４１によって下方から支持される。なお、第一支持部４１は、第一上側部分１１や第二上側部分２１を下方から支持する支持部と、当該支持部における第二方向Ｙの両端部から上方に向かって立設された一対の壁部とを有しており、第一上側部分１１や第二上側部分２１は、第二方向Ｙの移動が規制される状態で第一支持部４１により下方から支持される。
図３に示すように、本実施形態では、上述した基準位置（図３において上下方向に延びる一点鎖線の位置であり、本実施形態では、第三扉７３の設置位置）は、第一位置Ｐ１と第二位置Ｐ２との間の位置である。そして、本実施形態では、第三位置Ｐ３を、第一位置Ｐ１と第二位置Ｐ２との間の位置であって、当該基準位置に対して第一方向Ｘにずらした位置（本実施形態では、第二側Ｘ２にずらした位置）に設定することで、第三位置Ｐ３に設置される第一支持部４１と、第三扉７３との干渉を回避している。これにより、図４及び図６に示すように、第一支持部４１として、姿勢及び設置位置が固定部材４４に対して固定されるものを用いることが可能となっている。なお、固定部材４４は、第一支持部４１や後述する第二支持部４２及び第三支持部４３を支持するための部材である。本実施形態では、固定部材４４は、収納棚６を構成する枠体に固定されている。
本実施形態では、図３及び図４に示すように、物品搬送設備９は、第一搬送装置１が第二位置Ｐ２よりも第二側Ｘ２に位置する場合に、第二下側部分２２よりも上方において第一上側部分１１を下方から支持する第二支持部４２と、第二搬送装置２が第一位置Ｐ１よりも第一側Ｘ１に位置する場合に、第一下側部分１２よりも上方において第二上側部分２１を下方から支持する第三支持部４３とを備えている。本実施形態では、第一ケーブル体１０と第二ケーブル体２０とは、第二方向Ｙの同じ位置に配置されている。そのため、図３の上下方向中央部の図に示すように、第一搬送装置１が第二位置Ｐ２よりも第二側Ｘ２に位置する場合には、第一上側部分１１が、第二下側部分２２よりも上方であって上下方向Ｚに見て第二下側部分２２と重複するように配置されるが、上記の第二支持部４２により第一上側部分１１を下方から支持することで、第一上側部分１１と第二下側部分２２との接触を回避することが可能となっている。また、図３の下部の図に示すように、第二搬送装置２が第一位置Ｐ１よりも第一側Ｘ１に位置する場合には、第二上側部分２１が、第一下側部分１２よりも上方であって上下方向Ｚに見て第一下側部分１２と重複するように配置されるが、上記の第三支持部４３により第二上側部分２１を下方から支持することで、第二上側部分２１と第一下側部分１２との接触を回避することが可能となっている。
なお、図３に示すように、第二支持部４２は、第二位置Ｐ２よりも第二側Ｘ２に配置され、第三支持部４３は、第一位置Ｐ１よりも第一側Ｘ１に配置されている。そして、本実施形態では、第一ケーブル体１０と第二ケーブル体２０とが、第二方向Ｙの同じ位置に配置される。よって、第一上側部分１１を下方から支持する際には、第二支持部４２は、第二搬送装置２が第二移動範囲Ｒ２を移動する場合に第二折り返し部２５が移動する空間である第二移動空間の内部に位置する。また、第二上側部分２１を下方から支持する際には、第三支持部４３は、第一搬送装置１が第一移動範囲Ｒ１を移動する場合に第一折り返し部１５が移動する空間である第一移動空間の内部に位置する。この点に鑑みて、本実施形態では、第二支持部４２が、第二移動空間の内部に位置して第一上側部分１１を下方から支持する第二支持位置４２ａと、第二移動空間の外部に位置する第二退避位置４２ｂとの間で、姿勢及び設置位置の少なくとも一方を切り替え可能に構成されている。また、本実施形態では、第三支持部４３が、第一移動空間の内部に位置して第二上側部分２１を下方から支持する第三支持位置４３ａと、第一移動空間の外部に位置する第三退避位置４３ｂとの間で、姿勢及び設置位置の少なくとも一方を切り替え可能に構成されている。これにより、第二搬送装置２が第二移動範囲Ｒ２を移動する場合には第二支持部４２の位置を第二退避位置４２ｂに切り替えることで、第二支持部４２と第二ケーブル体２０との干渉を回避することができる。また、第一搬送装置１が第一移動範囲Ｒ１を移動する場合には第三支持部４３の位置を第三退避位置４３ｂに切り替えることで、第三支持部４３と第一ケーブル体１０との干渉を回避することができる。
本実施形態では、第二支持部４２の設置位置は固定であり、第二支持部４２の姿勢を切り替えることで、第二支持位置４２ａと第二退避位置４２ｂとの間で第二支持部４２の位置を切り替えるように構成されている。また、本実施形態では、第三支持部４３の設置位置は固定であり、第三支持部４３の姿勢を切り替えることで、第三支持位置４３ａと第三退避位置４３ｂとの間で第三支持部４３の位置を切り替えるように構成されている。具体的には、図５に示すように、第三支持部４３は、第一方向Ｘに沿う揺動軸心周りに揺動自在に固定部材４４に支持されており、第三支持部４３を当該揺動軸心周りに揺動させることで、第三支持位置４３ａと第三退避位置４３ｂとの間で第三支持部４３の位置が切り替えられる。なお、図５は、第二搬送装置２が第一位置Ｐ１よりも第一側Ｘ１に位置する状態において、第三支持位置４３ａに位置する第三支持部４３が、第一下側部分１２よりも上方において第二上側部分２１を下方から支持可能に配置される状況を示している。図５では、第三支持位置４３ａに位置する第三支持部４３と第二上側部分２１とが離間する状況を示しているが、第二上側部分２１における第三支持部４３の配設位置に位置する部分が第三支持部４３の高さまで降下した際に、第二上側部分２１が第三支持部４３によって下方から支持される。
第二支持部４２は、第一方向Ｘの設置位置を除いて第三支持部４３と同様に構成されている。具体的には、第二支持部４２は、第一方向Ｘに沿う揺動軸心周りに揺動自在に固定部材４４に支持されており、第二支持部４２を当該揺動軸心周りに揺動させることで、第二支持位置４２ａと第二退避位置４２ｂとの間で第二支持部４２の位置が切り替えられる。なお、第二支持部４２の揺動や第三支持部４３の揺動は、作業者により手動で行われ、或いは、制御装置８の制御により自動で行われる。
本実施形態では、物品搬送設備９は、第二位置Ｐ２よりも第二側Ｘ２の複数の位置のそれぞれに第二支持部４２を備えると共に、第一位置Ｐ１よりも第一側Ｘ１の複数の位置のそれぞれに第三支持部４３を備えている。具体的には、図示は省略するが、第二位置Ｐ２よりも第二側Ｘ２の３つの位置のそれぞれに第二支持部４２が設けられ、第一位置Ｐ１よりも第一側Ｘ１の３つの位置のそれぞれに第三支持部４３が設けられている。複数の第二支持部４２のそれぞれの第二支持位置４２ａは、第一方向Ｘの設置位置を除いて同一の位置に設定され、複数の第二支持部４２のそれぞれの第二退避位置４２ｂは、第一方向Ｘの設置位置を除いて同一の位置に設定されている。また、複数の第三支持部４３のそれぞれの第三支持位置４３ａは、第一方向Ｘの設置位置を除いて同一の位置に設定され、複数の第三支持部４３のそれぞれの第三退避位置４３ｂは、第一方向Ｘの設置位置を除いて同一の位置に設定されている。
そして、本実施形態では、図１５に示すように、物品搬送設備９は、第一方向Ｘに検出光を投射して少なくともいずれかの第二支持部４２が第二支持位置４２ａに位置することを検出する第一センサ９１と、第一方向Ｘに検出光を投射して少なくともいずれかの第三支持部４３が第三支持位置４３ａに位置することを検出する第二センサ９２とを備えている。更に、本実施形態では、図１５に示すように、物品搬送設備９は、第一方向Ｘに検出光を投射して少なくともいずれかの第二支持部４２が第二退避位置４２ｂに位置することを検出する第三センサ９３と、第一方向Ｘに検出光を投射して少なくともいずれかの第三支持部４３が第三退避位置４３ｂに位置することを検出する第四センサ９４とを備えている。これらの第一センサ９１、第二センサ９２、第三センサ９３、及び第四センサ９４のそれぞれの検出情報は、制御装置８に入力されるように構成されている。
第一センサ９１及び第三センサ９３は、いずれも第二支持部４２の位置を検出する第二支持部用センサＳ２であり、図３では、第一センサ９１と第三センサ９３とを区別することなく、第二支持部用センサＳ２として示している。また、第二センサ９２及び第四センサ９４は、いずれも第三支持部４３の位置を検出する第三支持部用センサＳ３であり、図３では、第二センサ９２と第四センサ９４とを区別することなく、第三支持部用センサＳ３として示している。図３に示すように、本実施形態では、第二支持部用センサＳ２（第一センサ９１及び第三センサ９３のそれぞれ）は、全ての第二支持部４２を挟んで第一方向Ｘに対向するように配置される一対の素子を有し、当該一対の素子の一方は第一方向Ｘに検出光を投射する投光素子であり、当該一対の素子の他方は投光素子から投射された検出光を受光する受光素子である。すなわち、本実施形態では、第二支持部用センサＳ２は、検出光の非存在により物体の存在を検出する遮光式の光センサである。
具体的には、第一センサ９１の投光素子の投光軸は、第二支持部４２が第二支持位置４２ａに位置する場合には、第二支持部４２或いは第二支持部４２と一体に移動する部材により検出光が遮光され、第二支持部４２が第二退避位置４２ｂに位置する場合には検出光が受光素子に到達する位置に、設定されている。よって、第一センサ９１の受光素子により検出光が受光されていない場合に、少なくともいずれかの第二支持部４２が第二支持位置４２ａに位置すると判別することができる。また、第三センサ９３の投光素子の投光軸は、第二支持部４２が第二退避位置４２ｂに位置する場合には、第二支持部４２或いは第二支持部４２と一体に移動する部材により検出光が遮光され、第二支持部４２が第二支持位置４２ａに位置する場合には検出光が受光素子に到達する位置に、設定されている。よって、第三センサ９３の受光素子により検出光が受光されていない場合に、少なくともいずれかの第二支持部４２が第二退避位置４２ｂに位置すると判別することができる。
また、図３に示すように、本実施形態では、第三支持部用センサＳ３（第二センサ９２及び第四センサ９４のそれぞれ）は、全ての第三支持部４３を挟んで第一方向Ｘに対向するように配置される一対の素子を有し、当該一対の素子の一方は第一方向Ｘに検出光を投射する投光素子であり、当該一対の素子の他方は投光素子から投射された検出光を受光する受光素子である。すなわち、本実施形態では、第三支持部用センサＳ３は、検出光の非存在により物体の存在を検出する遮光式の光センサである。
具体的には、第二センサ９２の投光素子の投光軸は、第三支持部４３が第三支持位置４３ａに位置する場合には、第三支持部４３或いは第三支持部４３と一体に移動する部材により検出光が遮光され、第三支持部４３が第三退避位置４３ｂに位置する場合には検出光が受光素子に到達する位置（図５において“Ｌａ”で示す位置）に、設定されている。よって、第二センサ９２の受光素子により検出光が受光されていない場合に、少なくともいずれかの第三支持部４３が第三支持位置４３ａに位置すると判別することができる。また、第四センサ９４の投光素子の投光軸は、第三支持部４３が第三退避位置４３ｂに位置する場合には、第三支持部４３或いは第三支持部４３と一体に移動する部材により検出光が遮光され、第三支持部４３が第三支持位置４３ａに位置する場合には検出光が受光素子に到達する位置（図５において“Ｌｂ”で示す位置）に、設定されている。よって、第四センサ９４の受光素子により検出光が受光されていない場合に、少なくともいずれかの第三支持部４３が第三退避位置４３ｂに位置すると判別することができる。
上述したように、搬送エリア８４に対して第一側Ｘ１には第一退避エリアＡ１が設けられ、搬送エリア８４に対して第二側Ｘ２には第二退避エリアＡ２が設けられている。そして、第一退避エリアＡ１は、第一移動範囲Ｒ１及び第二移動範囲Ｒ２に対して第一側Ｘ１に設けられるため、第一退避エリアＡ１は、第一接続部１３を第一搬送装置１（後述する第一取付部５１）から取り外した状態で第一搬送装置１を移動させることが可能なエリアである。すなわち、第一ケーブル体１０の第一接続部１３は、第一搬送装置１に固定された第一取付部５１に対して取り外し自在に構成されており、第一搬送装置１を第一退避エリアＡ１に移動させる場合には、第一接続部１３を第一取付部５１から取り外すように構成されている。なお、第一接続部１３を第一取付部５１から取り外す際には、第一ケーブル本体１６における第一搬送装置１との接続部（コネクタや端子等）も、第一搬送装置１に備えられた取付部（コネクタや端子台等）から取り外される。図８に示すように、本実施形態では、第一取付部５１は、第一搬送装置１の走行台車８０の第三側Ｙ１の端部に固定されている。
また、第二退避エリアＡ２は、第一移動範囲Ｒ１及び第二移動範囲Ｒ２に対して第二側Ｘ２に設けられるため、第二退避エリアＡ２は、第二接続部２３を第二搬送装置２（後述する第二取付部５２）から取り外した状態で第二搬送装置２を移動させることが可能なエリアである。すなわち、第二ケーブル体２０の第二接続部２３は、第二搬送装置２に固定された第二取付部５２に対して取り外し自在に構成されており、第二搬送装置２を第二退避エリアＡ２に移動させる場合には、第二接続部２３を第二取付部５２から取り外すように構成されている。なお、第二接続部２３を第二取付部５２から取り外す際には、第二ケーブル本体２６における第二搬送装置２との接続部（コネクタや端子等）も、第二搬送装置２に備えられた取付部（コネクタや端子台等）から取り外される。本実施形態では、第二取付部５２は、第二搬送装置２の走行台車８０の第三側Ｙ１の端部に固定されている。
そして、物品搬送設備９には、図１及び図３に示すように、第一取付部５１から取り外された状態の第一接続部１３を保持する第一保持具６１と、第二取付部５２から取り外された状態の第二接続部２３を保持する第二保持具６２とが設けられている。本実施形態では、第一保持具６１は、搬送エリア８４における第一側Ｘ１の端部に設けられ、第二保持具６２は、搬送エリア８４における第二側Ｘ２の端部に設けられている。また、本実施形態では、第一保持具６１及び第二保持具６２の双方が、レール７（本実施形態では、一対のレール７）に対して第三側Ｙ１に配置されている。本実施形態では、第一保持具６１及び第二保持具６２は、収納棚６を構成する枠体に固定されている。
第一保持具６１は、第二搬送装置２が第二移動範囲Ｒ２の全域を移動する場合に第二搬送装置２及び第二ケーブル体２０と干渉しない姿勢で第一ケーブル体１０が配置されるように、第一接続部１３を保持する。これにより、第一搬送装置１（第一取付部５１）から取り外された状態の第一ケーブル体１０が第二搬送装置２の第二移動範囲Ｒ２における移動の妨げとなることを回避できる。本実施形態では、図３における下部の図に示すように、第一接続部１３が第一保持具６１に保持された状態での第一ケーブル体１０の姿勢は、第一折り返し部１５及び第一接続部１３が第二移動範囲Ｒ２の外側（第一側Ｘ１）に配置されると共に、第一下側部分１２における第二移動範囲Ｒ２に配置される部分が床部Ｆ（下部床Ｆ２）に沿うように配置される姿勢である。本実施形態では、第一下側部分１２は、受け部材４０によって下方から支持された状態で、床部Ｆ（下部床Ｆ２）に沿うように配置される。
第二保持具６２は、第一搬送装置１が第一移動範囲Ｒ１の全域を移動する場合に第一搬送装置１及び第一ケーブル体１０と干渉しない姿勢で第二ケーブル体２０が配置されるように、第二接続部２３を保持する。これにより、第二搬送装置２（第二取付部５２）から取り外された状態の第二ケーブル体２０が第一搬送装置１の第一移動範囲Ｒ１における移動の妨げとなることを回避できる。本実施形態では、図３における上下方向中央部の図に示すように、第二接続部２３が第二保持具６２に保持された状態での第二ケーブル体２０の姿勢は、第二折り返し部２５及び第二接続部２３が第一移動範囲Ｒ１の外側（第二側Ｘ２）に配置されると共に、第二下側部分２２における第一移動範囲Ｒ１に配置される部分が床部Ｆ（下部床Ｆ２）に沿うように配置される姿勢である。本実施形態では、第二下側部分２２は、受け部材４０によって下方から支持された状態で、床部Ｆ（下部床Ｆ２）に沿うように配置される。
後述するように、本実施形態では、物品搬送設備９には、第一取付部５１に対して第一接続部１３を位置決めするための第一ピンと、第二取付部５２に対して第二接続部２３を位置決めするための第二ピンとが設けられる。そして、第一ピンは、第一取付部５１及び第一接続部１３の少なくとも一方に設けられた挿入孔に対して挿脱自在に構成され、第二ピンは、第二取付部５２及び第二接続部２３の少なくとも一方に設けられた挿入孔に対して挿脱自在に構成される。
具体的には、図７及び図８に示すように、第一取付部５１は、第一固定ピン５３ａと第一取付用挿入孔５４ａとを備えている。第一取付部５１は、第一固定ピン５３ａが形成されるピン形成部を備え、第一固定ピン５３ａは、当該ピン形成部の平面状の上面から上方に突出する円柱状に形成されている。本実施形態では、２つの第一固定ピン５３ａが第一方向Ｘに並ぶように形成されている。また、第一取付部５１は、第一搬送装置１（走行台車８０）に対して固定される部分と上記ピン形成部とを接続する板状部を備え、第一取付用挿入孔５４ａは、当該板状部を貫通するように形成されている。本実施形態では、板状部における第一取付用挿入孔５４ａの形成部分に取り付けられた部材にも、第一取付用挿入孔５４ａが形成されている。これら２つの第一取付用挿入孔５４ａは、板状部の板面が沿う面内の位置が互いに等しく、板状部の板面に直交する方向に互いに離間するように形成されている。本実施形態では、ピン形成部は、上面が水平面と平行に配置され、板状部は、板面が第二方向Ｙに直交する面と平行に配置されている。
図７及び図８に示すように、第一接続部１３は、第一固定ピン挿入孔３２ａと、第一挿脱ピン挿入孔３３ａと、第一保持用挿入孔３４ａと、を備えている。第一接続部１３は、第一接続部１３における第一ケーブル体１０の延在方向が水平方向となる場合に水平面と平行に配置される板状の第一部分１３ａを備え、第一固定ピン挿入孔３２ａは、第一部分１３ａを貫通するように形成されている。本実施形態では、２つの第一固定ピン挿入孔３２ａが第一方向Ｘに並ぶように形成されている。２つの第一固定ピン挿入孔３２ａの第一方向Ｘの離間距離は、上記２つの第一固定ピン５３ａの第一方向Ｘの離間距離と一致する。また。第一接続部１３は、第一部分１３ａから下方に延びる板状の第二部分１３ｂを備え、第一挿脱ピン挿入孔３３ａ及び第一保持用挿入孔３４ａは、互いに異なる位置において第二部分１３ｂを貫通するように形成されている。
第一接続部１３を第一取付部５１に取り付ける際には、まず、第一固定ピン５３ａが第一固定ピン挿入孔３２ａに挿入されるように第一接続部１３を第一取付部５１に対して配置する。本実施形態では、第一固定ピン５３ａのそれぞれが、対応する第一固定ピン挿入孔３２ａに挿入されるように、第一接続部１３を第一取付部５１に対して配置する。本実施形態では、第一取付部５１のピン形成部（第一固定ピン５３ａが形成される部分）の上面が水平面と平行に配置されるため、第一接続部１３の第一部分１３ａも水平面と平行に配置される。すなわち、第一接続部１３における第一ケーブル体１０の延在方向が水平方向となるように、第一接続部１３が配置される。そして、第一固定ピン５３ａの第一固定ピン挿入孔３２ａに対する挿入方向は、上下方向Ｚと平行な方向となる。よって、第一固定ピン５３ａのそれぞれが、対応する第一固定ピン挿入孔３２ａに嵌合することで、第一接続部１３は、第一取付部５１に対する水平移動と上下方向Ｚに沿う軸周りの回転移動とが規制される。この状態で、第一挿脱ピン５ａを第一取付用挿入孔５４ａ及び第一挿脱ピン挿入孔３３ａの双方に水平方向（第二方向Ｙに沿う方向）に挿入することで、第一接続部１３は第一取付部５１に対する上下移動も規制され、この結果、第一接続部１３が第一取付部５１に対して全ての方向に位置決めされた状態となる。なお、上述したように、第一取付部５１には２つの第一取付用挿入孔５４ａが設けられており、これら２つの第一取付用挿入孔５４ａの間に第一挿脱ピン挿入孔３３ａが配置された状態で、第一挿脱ピン５ａがこれら３つの孔に対して水平方向に挿入される。詳細は省略するが、第一接続部１３を第一取付部５１から取り外す際には、第一挿脱ピン５ａを第一取付用挿入孔５４ａ及び第一挿脱ピン挿入孔３３ａから引き抜いた後、第一固定ピン５３ａが第一固定ピン挿入孔３２ａから離脱するように第一接続部１３を第一取付部５１に対して移動させる。当然ながら、第一接続部１３と第一取付部５１とが締結ボルトにより締結固定される場合には、第一取付部５１に対する第一接続部１３の取り付けや取り外しの際に、当該締結ボルトの締結作業や締結解除作業も行われる。
図７と図１２とを比較すると明らかなように、第一取付部５１と第二取付部５２とは、第一方向Ｘに直交する面を対称面として、互いに鏡像対称となる形状に形成され、第一接続部１３と第二接続部２３とも、第一方向Ｘに直交する面を対称面として、互いに鏡像対称となる形状に形成されている。すなわち、第二取付部５２は、第一取付部５１を第一方向Ｘに反転させた構成を有し、第二接続部２３は、第一接続部１３を第一方向Ｘに反転させた構成を有している。よって、詳細な説明は省略するが、第二取付部５２は、第一固定ピン５３ａに対応する第二固定ピン５３ｂと、第一取付用挿入孔５４ａに対応する第二取付用挿入孔５４ｂとを備えている。また、第二接続部２３は、第一部分１３ａに対応する第三部分２３ａと、第二部分１３ｂに対応する第四部分２３ｂと、第一固定ピン挿入孔３２ａに対応する第二固定ピン挿入孔３２ｂと、第一挿脱ピン挿入孔３３ａに対応する第二挿脱ピン挿入孔３３ｂと、第一保持用挿入孔３４ａに対応する第二保持用挿入孔３４ｂとを備えている。そして、第二接続部２３を第二取付部５２に取り付ける際には、第二固定ピン５３ｂのそれぞれを、対応する第二固定ピン挿入孔３２ｂに挿入した後、第二取付用挿入孔５４ｂ及び第二挿脱ピン挿入孔３３ｂに第二挿脱ピン５ｂを挿入する。第一挿脱ピン５ａや第二挿脱ピン５ｂとして、例えば、ボールロックピンを用いることができる。
第一接続部１３を第一取付部５１から取り外す際には、第一挿脱ピン５ａが、第一取付用挿入孔５４ａ及び第一挿脱ピン挿入孔３３ａから引き抜かれる。また、第二接続部２３を第二取付部５２から取り外す際には、第二挿脱ピン５ｂが、第二取付用挿入孔５４ｂ及び第二挿脱ピン挿入孔３３ｂから引き抜かれる。本実施形態では、第一挿脱ピン５ａを、第一接続部１３を第一保持具６１に保持させるためにも用い、第二挿脱ピン５ｂを、第二接続部２３を第二保持具６２に保持させるためにも用いるように構成されている。
具体的には、図９及び図１０に示すように、第一保持具６１は、第一挿脱ピン５ａを挿脱自在な第一挿入孔６３ａを備え、第一保持具６１は、第一接続部１３に設けられた第一保持用挿入孔３４ａ及び第一挿入孔６３ａの双方に第一挿脱ピン５ａが挿入された状態で、第一接続部１３を保持するように構成されている。本実施形態では、第一保持具６１は、第一固定ピン挿入孔３２ａに対して挿脱自在な第一保持ピン６４ａを備えている。そして、第一接続部１３を第一保持具６１に保持させる際には、第一保持ピン６４ａが第一固定ピン挿入孔３２ａに挿入されるように第一接続部１３を第一保持具６１に対して配置した状態で、第一挿脱ピン５ａを第一保持用挿入孔３４ａ及び第一挿入孔６３ａの双方に対して水平方向に挿入する。本実施形態では、第一接続部１３には２つの第一固定ピン挿入孔３２ａが形成されているのに対して、第一保持具６１には１つの第一保持ピン６４ａが備えられており、第一保持ピン６４ａは、いずれか一方の第一固定ピン挿入孔３２ａ（本実施形態では、第一側Ｘ１に配置された第一固定ピン挿入孔３２ａ）に対して挿入される。第一保持ピン６４ａが、第一固定ピン挿入孔３２ａと同数備えられる構成とすることもできる。本実施形態では、第一保持ピン６４ａは、第一保持具６１における第二側Ｘ２に向かうに従って上方に向かうように傾斜した上向き面から上方に突出するように形成されている。よって、第一接続部１３が第一保持具６１に保持された状態では、第一接続部１３における第一ケーブル体１０の延在方向は、第二側Ｘ２に向かうに従って上方へ向かう方向（水平面に対して上向きに傾斜した方向）となる。詳細は省略するが、第一接続部１３を第一保持具６１から取り外す際には、第一挿脱ピン５ａを第一保持用挿入孔３４ａ及び第一挿入孔６３ａから引き抜いた後、第一保持ピン６４ａが第一固定ピン挿入孔３２ａから離脱するように第一接続部１３を第一保持具６１に対して移動させる。
また、図１３に示すように、第二保持具６２は、第二挿脱ピン５ｂを挿脱自在な第二挿入孔６３ｂを備え、第二保持具６２は、第二接続部２３に設けられた第二保持用挿入孔３４ｂ及び第二挿入孔６３ｂの双方に第二挿脱ピン５ｂが挿入された状態で、第二接続部２３を保持するように構成されている。本実施形態では、第二保持具６２は、第二固定ピン挿入孔３２ｂに対して挿脱自在な第二保持ピン６４ｂを備えている。そして、第二接続部２３を第二保持具６２に保持させる際には、第二保持ピン６４ｂが第二固定ピン挿入孔３２ｂに挿入されるように第二接続部２３を第二保持具６２に対して配置した状態で、第二挿脱ピン５ｂを第二保持用挿入孔３４ｂ及び第二挿入孔６３ｂの双方に対して水平方向に挿入する。本実施形態では、第二接続部２３には２つの第二固定ピン挿入孔３２ｂが形成されているのに対して、第二保持具６２には１つの第二保持ピン６４ｂが備えられており、第二保持ピン６４ｂは、いずれか一方の第二固定ピン挿入孔３２ｂ（本実施形態では、第二側Ｘ２に配置された第二固定ピン挿入孔３２ｂ）に対して挿入される。第二保持ピン６４ｂが、第二固定ピン挿入孔３２ｂと同数備えられる構成とすることもできる。本実施形態では、第二保持ピン６４ｂは、第二保持具６２における第一側Ｘ１に向かうに従って上方に向かうように傾斜した上向き面から上方に突出するように形成されている。よって、第二接続部２３が第二保持具６２に保持された状態では、第二接続部２３における第二ケーブル体２０の延在方向は、第一側Ｘ１に向かうに従って上方へ向かう方向（水平面に対して上向きに傾斜した方向）となる。詳細は省略するが、第二接続部２３を第二保持具６２から取り外す際には、第二挿脱ピン５ｂを第二保持用挿入孔３４ｂ及び第二挿入孔６３ｂから引き抜いた後、第二保持ピン６４ｂが第二固定ピン挿入孔３２ｂから離脱するように第二接続部２３を第二保持具６２に対して移動させる。
以上のように、第一固定ピン５３ａは、第一取付部５１に対して第一接続部１３を位置決めするためのピンであり、第一固定ピン挿入孔３２ａに対して挿脱自在に構成される。また、物品搬送設備９には、第一取付部５１に対して第一接続部１３を位置決めするための第一挿脱ピン５ａが備えられ、第一挿脱ピン５ａは、第一取付用挿入孔５４ａ、第一挿脱ピン挿入孔３３ａ、及び第一保持用挿入孔３４ａのそれぞれに対して挿脱自在に構成される。すなわち、第一挿脱ピン５ａは、第一取付部５１及び第一接続部１３のそれぞれに設けられた挿入孔（第一挿脱ピン挿入孔３３ａ、第一保持用挿入孔３４ａ、第一取付用挿入孔５４ａ）に対して挿脱自在なピンである。本実施形態では、第一固定ピン５３ａ及び第一挿脱ピン５ａのそれぞれが「第一ピン」に相当し、第一取付用挿入孔５４ａ、第一固定ピン挿入孔３２ａ、第一挿脱ピン挿入孔３３ａ、及び第一保持用挿入孔３４ａのそれぞれが「挿入孔」に相当する。
また、第二固定ピン５３ｂは、第二取付部５２に対して第二接続部２３を位置決めするためのピンであり、第二固定ピン挿入孔３２ｂに対して挿脱自在に構成される。また、物品搬送設備９には、第二取付部５２に対して第二接続部２３を位置決めするための第二挿脱ピン５ｂが備えられ、第二挿脱ピン５ｂは、第二取付用挿入孔５４ｂ、第二挿脱ピン挿入孔３３ｂ、及び第二保持用挿入孔３４ｂのそれぞれに対して挿脱自在に構成される。すなわち、第二挿脱ピン５ｂは、第二取付部５２及び第二接続部２３のそれぞれに設けられた挿入孔（第二挿脱ピン挿入孔３３ｂ、第二保持用挿入孔３４ｂ、第二取付用挿入孔５４ｂ）に対して挿脱自在なピンである。本実施形態では、第二固定ピン５３ｂ及び第二挿脱ピン５ｂのそれぞれが「第二ピン」に相当し、第二取付用挿入孔５４ｂ、第二固定ピン挿入孔３２ｂ、第二挿脱ピン挿入孔３３ｂ、及び第二保持用挿入孔３４ｂのそれぞれが「挿入孔」に相当する。
図１５に示すように、物品搬送設備９は、第一搬送装置１及び第二搬送装置２の作動を制御する制御装置８を備えている。制御装置８は、マイクロコンピュータ等のプロセッサを備えると共に、メモリ等の周辺回路を備え、これらのハードウェアと、プロセッサ等のハードウェア上で実行されるプログラムとの協働により、制御装置８の各機能が実現される。第一搬送装置１及び第二搬送装置２のそれぞれは、走行台車８０を走行させる走行駆動部（電動モータ等）、昇降体８２を昇降させる昇降駆動部（電動モータ等）、及び移載装置８３を作動させる移載駆動部（電動モータ等）を備えている。制御装置８は、第一搬送装置１に備えられた各駆動部の駆動を制御することで第一搬送装置１の作動を制御し、第二搬送装置２に備えられた各駆動部の駆動を制御することで第二搬送装置２の作動を制御する。本実施形態では、第一搬送装置１の各駆動部を駆動するための電力が第一ケーブル体１０により供給され、第二搬送装置２の各駆動部を駆動するための電力が第二ケーブル体２０により供給される。
制御装置８は、第一搬送制御、第二搬送制御、及び第三搬送制御を実行する。第一搬送制御は、図３における上側の図に示すように、第三移動範囲Ｒ３内に第一搬送装置１の移動範囲を制限した状態であって、且つ、第四移動範囲Ｒ４内に第二搬送装置２の移動範囲を制限した状態で、第一搬送装置１及び第二搬送装置２の双方に物品Ｗを搬送させる制御である。本実施形態では、第一搬送制御の実行時には、第三扉７３が閉じ状態に切り替えられる。また、第一搬送制御の実行時には、全ての第二支持部４２の位置を第二退避位置４２ｂに切り替えると共に、全ての第三支持部４３の位置を第三退避位置４３ｂに切り替える。よって、第一センサ９１の検出情報に基づき第二支持位置４２ａに位置する第二支持部４２が存在すると判別される場合や、第二センサ９２の検出情報に基づき第三支持位置４３ａに位置する第三支持部４３が存在すると判別される場合には、制御装置８は第一搬送制御を実行しない。
第二搬送制御は、図３における上下方向中央部の図に示すように、第一搬送装置１及び第二搬送装置２のうちの第一搬送装置１のみが第一移動範囲Ｒ１内に存在する状態において、第一移動範囲Ｒ１の全域における第一搬送装置１の移動を許容する状態で、第一搬送装置１に物品Ｗを搬送させる制御である。言い換えれば、第二搬送制御は、第二搬送装置２が第二退避エリアＡ２に位置する状態において、第一移動範囲Ｒ１の全域における第一搬送装置１の移動を許容する状態で、第一搬送装置１に物品Ｗを搬送させる制御である。第二搬送制御の実行時には、第三扉７３が開き状態に切り替えられる。また、第二搬送制御の実行時には、全ての第二支持部４２の位置を第二支持位置４２ａに切り替えると共に、全ての第三支持部４３の位置を第三退避位置４３ｂに切り替える。よって、第三センサ９３の検出情報に基づき第二退避位置４２ｂに位置する第二支持部４２が存在すると判別される場合や、第二センサ９２の検出情報に基づき第三支持位置４３ａに位置する第三支持部４３が存在すると判別される場合には、制御装置８は第二搬送制御を実行しない。
第二搬送制御の実行時には、図１４に示すように、第二接続部２３が第二搬送装置２（第二取付部５２）から取り外されて第二保持具６２に保持された状態で、第二搬送装置２が第二退避エリアＡ２に位置する。本実施形態では、物品搬送設備９は、第二退避エリアＡ２に位置する第二搬送装置２と第二保持具６２に保持された状態の第二接続部２３とを接続する第四ケーブル体４を備えている。これにより、第二搬送装置２のメンテナンス作業を行う際に、第二ケーブル体２０を有効に利用して、第二搬送装置２に対する給電を行うことや、制御装置８と第二搬送装置２との間での通信を行うことが可能となっている。本実施形態では、第四ケーブル体４は、第二接続部２３から延出する第二ケーブル本体２６の端部（コネクタや端子等）と、第二搬送装置２に備えられた取付部（コネクタや端子台等）とを接続する。
第三搬送制御は、図３における下側の図に示すように、第一搬送装置１及び第二搬送装置２のうちの第二搬送装置２のみが第二移動範囲Ｒ２内に存在する状態において、第二移動範囲Ｒ２の全域における第二搬送装置２の移動を許容する状態で、第二搬送装置２に物品Ｗを搬送させる制御である。言い換えれば、第三搬送制御は、第一搬送装置１が第一退避エリアＡ１に位置する状態において、第二移動範囲Ｒ２の全域における第二搬送装置２の移動を許容する状態で、第二搬送装置２に物品Ｗを搬送させる制御である。第三搬送制御の実行時には、第三扉７３が開き状態に切り替えられる。また、第三搬送制御の実行時には、全ての第二支持部４２の位置を第二退避位置４２ｂに切り替えると共に、全ての第三支持部４３の位置を第三支持位置４３ａに切り替える。よって、第一センサ９１の検出情報に基づき第二支持位置４２ａに位置する第二支持部４２が存在すると判別される場合や、第四センサ９４の検出情報に基づき第三退避位置４３ｂに位置する第三支持部４３が存在すると判別される場合には、制御装置８は第三搬送制御を実行しない。
第三搬送制御の実行時には、図１１に示すように、第一接続部１３が第一搬送装置１（第一取付部５１）から取り外されて第一保持具６１に保持された状態で、第一搬送装置１が第一退避エリアＡ１に位置する。本実施形態では、物品搬送設備９は、第一退避エリアＡ１に位置する第一搬送装置１と第一保持具６１に保持された状態の第一接続部１３とを接続する第三ケーブル体３を備えている。これにより、第一搬送装置１のメンテナンス作業を行う際に、第一ケーブル体１０を有効に利用して、第一搬送装置１に対する給電を行うことや、制御装置８と第一搬送装置１との間での通信を行うことが可能となっている。本実施形態では、第三ケーブル体３は、第一接続部１３から延出する第一ケーブル本体１６の端部（コネクタや端子等）と、第一搬送装置１に備えられた取付部（コネクタや端子台等）とを接続する。
上述したように、本実施形態では、収納部６ａに対して物品Ｗを移載する際に第一搬送装置１が停止する位置は、当該収納部６ａ或いは当該収納部６ａと第一方向Ｘの同じ位置に配置された収納部６ａに対して物品Ｗを移載する際に第二搬送装置２が停止する位置よりも、第一側Ｘ１に位置する。そのため、図１４に示すように、第二搬送制御の実行時に、第二扉７２の位置を、第一移動範囲Ｒ１に侵入しない範囲内で、第一搬送制御の実行時の位置（図１において実線で示す位置、図１４において二点鎖線で示す位置）よりも第一側Ｘ１に移動させても、第二扉７２と第一搬送装置１との干渉は生じない。この点に鑑みて、本実施形態では、第二扉７２を第一方向Ｘに移動可能に構成し、第二搬送制御の実行時に、第二扉７２を、第二保持具６２に保持された状態の第二接続部２３が第二扉７２に対して第二側Ｘ２に配置される位置（図１において一点鎖線で示す位置、図１４において実線で示す位置）まで、第一側Ｘ１に移動させるように構成されている。そして、第二扉７２には、第二扉７２の閉じ状態において第二ケーブル体２０を通すための開口部７２ａが形成されている。これにより、搬送エリア８４と第二退避エリアＡ２との間での空気の流通を抑制しつつ、第二保持具６２に保持された状態の第二接続部２３を搬送エリア８４の外部に配置することができ、この結果、第四ケーブル体４の第二接続部２３に対する接続作業や取り外し作業を行う際の作業性の向上を図ることが可能となっている。なお、上記の開口部７２ａに第二ケーブル体２０を通さないときには、当該開口部７２ａを閉じることが可能に構成されている。
また、本実施形態では、第一扉７１を第一方向Ｘに移動可能に構成し、第三搬送制御の実行時に、第一扉７１を、第一保持具６１に保持された状態の第一接続部１３が第一扉７１に対して第一側Ｘ１に配置される位置（図１において一点鎖線で示す位置、図１１において実線で示す位置）まで、第二側Ｘ２に移動させるように構成されている。そして、第一扉７１には、第一扉７１の閉じ状態において第一ケーブル体１０を通すための開口部７１ａが形成されている。これにより、搬送エリア８４と第一退避エリアＡ１との間での空気の流通を抑制しつつ、第一保持具６１に保持された状態の第一接続部１３を搬送エリア８４の外部に配置することができ、この結果、第三ケーブル体３の第一接続部１３に対する接続作業や取り外し作業を行う際の作業性の向上を図ることが可能となっている。なお、上記の開口部７１ａに第一ケーブル体１０を通さないときには、当該開口部７１ａを閉じることが可能に構成されている。
〔その他の実施形態〕
物品搬送設備の、その他の実施形態について説明する。なお、以下のそれぞれの実施形態で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。
（１）上記の実施形態では、物品搬送設備９が、１つの第一支持部４１を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、物品搬送設備９が、第一位置Ｐ１と第二位置Ｐ２との間に設定される複数の第三位置Ｐ３のそれぞれに、第一支持部４１を備える構成とすることもできる。また、物品搬送設備９が第一支持部４１を備えない構成とすることも可能である。
（２）上記の実施形態では、物品搬送設備９が、複数の第二支持部４２と複数の第三支持部４３とを備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、物品搬送設備９に備えられる第二支持部４２の個数が１つである構成や、物品搬送設備９が第二支持部４２を備えない構成とすることもできる。また、物品搬送設備９に備えられる第三支持部４３の個数が１つである構成や、物品搬送設備９が第三支持部４３を備えない構成とすることもできる。
（３）上記の実施形態では、第二支持部４２の姿勢を切り替えることで、第二支持位置４２ａと第二退避位置４２ｂとの間で第二支持部４２の位置が切り替えられると共に、第三支持部４３の姿勢を切り替えることで、第三支持位置４３ａと第三退避位置４３ｂとの間で第三支持部４３の位置が切り替えられる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第二支持部４２の設置位置を切り替えることで、第二支持位置４２ａと第二退避位置４２ｂとの間で第二支持部４２の位置が切り替えられる構成や、第二支持部４２の姿勢及び設置位置の双方を切り替えることで、第二支持位置４２ａと第二退避位置４２ｂとの間で第二支持部４２の位置が切り替えられる構成とすることもできる。また、第三支持部４３の設置位置を切り替えることで、第三支持位置４３ａと第三退避位置４３ｂとの間で第三支持部４３の位置が切り替えられる構成や、第三支持部４３の姿勢及び設置位置の双方を切り替えることで、第三支持位置４３ａと第三退避位置４３ｂとの間で第三支持部４３の位置が切り替えられる構成とすることもできる。
（４）上記の実施形態では、物品搬送設備９が、第一方向Ｘに検出光を投射して少なくともいずれかの第二支持部４２が第二支持位置４２ａに位置することを検出する第一センサ９１と、第一方向Ｘに検出光を投射して少なくともいずれかの第三支持部４３が第三支持位置４３ａに位置することを検出する第二センサ９２と、第一方向Ｘに検出光を投射して少なくともいずれかの第二支持部４２が第二退避位置４２ｂに位置することを検出する第三センサ９３と、第一方向Ｘに検出光を投射して少なくともいずれかの第三支持部４３が第三退避位置４３ｂに位置することを検出する第四センサ９４と、を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定することなく、物品搬送設備９が、これらの第一センサ９１、第二センサ９２、第三センサ９３、及び第四センサ９４のうちの、一部のセンサのみ（例えば、第一センサ９１及び第二センサ９２のみ）を備える構成とすることもできる。また、物品搬送設備９が、位置を検出するセンサを第二支持部４２のそれぞれに対して個別に備える構成や、物品搬送設備９が、位置を検出するセンサを第三支持部４３のそれぞれに対して個別に備える構成とすることもできる。
（５）上記の実施形態では、第一挿脱ピン挿入孔３３ａとは別に第一保持用挿入孔３４ａが設けられ、第一保持具６１が、第一保持用挿入孔３４ａ及び第一挿入孔６３ａの双方に第一挿脱ピン５ａが挿入された状態で、第一接続部１３を保持する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第一保持具６１が、第一挿脱ピン挿入孔３３ａ及び第一挿入孔６３ａの双方に第一挿脱ピン５ａが挿入された状態で、第一接続部１３を保持する構成とすることもできる。また、上記の実施形態では、第二挿脱ピン挿入孔３３ｂとは別に第二保持用挿入孔３４ｂが設けられ、第二保持具６２が、第二保持用挿入孔３４ｂ及び第二挿入孔６３ｂの双方に第二挿脱ピン５ｂが挿入された状態で、第二接続部２３を保持する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第二保持具６２が、第二挿脱ピン挿入孔３３ｂ及び第二挿入孔６３ｂの双方に第二挿脱ピン５ｂが挿入された状態で、第二接続部２３を保持する構成とすることもできる。
（６）上記の実施形態では、第一挿脱ピン５ａを、第一接続部１３を第一保持具６１に保持させるためにも用い、第二挿脱ピン５ｂを、第二接続部２３を第二保持具６２に保持させるためにも用いる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第一挿脱ピン５ａが、第一接続部１３を第一保持具６１に保持させるために用いられない構成や、第二挿脱ピン５ｂが、第二接続部２３を第二保持具６２に保持させるために用いられない構成とすることもできる。また、第一保持具６１による第一接続部１３の保持構造は、適宜変更可能であり、例えば締結ボルトによる締結固定を用いて第一保持具６１が第一接続部１３を保持する構成とすることもできる。第二保持具６２による第二接続部２３の保持構造も、適宜変更可能であり、例えば締結ボルトによる締結固定を用いて第二保持具６２が第二接続部２３を保持する構成とすることもできる。
（７）上記の実施形態では、第一固定ピン５３ａと第一固定ピン挿入孔３２ａとの嵌合や、第一挿脱ピン５ａと第一取付用挿入孔５４ａ及び第一挿脱ピン挿入孔３３ａとの嵌合のように、ピンと挿入孔との嵌合によって、第一接続部１３を第一取付部５１に対して全ての方向に位置決めする構成を例として説明した。また、上記の実施形態では、第二固定ピン５３ｂと第二固定ピン挿入孔３２ｂとの嵌合や、第二挿脱ピン５ｂと第二取付用挿入孔５４ｂ及び第二挿脱ピン挿入孔３３ｂとの嵌合のように、ピンと挿入孔との嵌合によって、第二接続部２３を第二取付部５２に対して全ての方向に位置決めする構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、少なくとも一部の方向の位置決めを、ピンと挿入孔との嵌合によっては行わない構成とすることもできる。例えば、上記の実施形態におけるピンと挿入孔との嵌合部の少なくとも一部を、締結ボルトによる締結部とすることが可能である。また、上記の実施形態で示した各嵌合部におけるピンや挿入孔の構成は一例であり、嵌合対象となる２つの部材のいずれにピンを設けるかや、ピンを嵌合対象となる２つの部材のいずれかに固定された固定ピンとするか、いずれにも固定されない挿脱ピンとするかは、適宜変更可能である。
（８）上記の実施形態では、物品搬送設備９が第三ケーブル体３及び第四ケーブル体４を備える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、物品搬送設備９が第三ケーブル体３を備えず、第一搬送装置１のメンテナンス作業を行う際に第一ケーブル体１０を利用した給電や通信が行われない構成や、物品搬送設備９が第四ケーブル体４を備えず、第二搬送装置２のメンテナンス作業を行う際に第二ケーブル体２０を利用した給電や通信が行われない構成とすることもできる。
（９）上記の実施形態では、第一ケーブル体１０が、給電用の第一ケーブル本体１６と通信用の第一ケーブル本体１６との双方を備え、第二ケーブル体２０が、給電用の第二ケーブル本体２６と通信用の第二ケーブル本体２６との双方を備える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、第一ケーブル体１０が給電用の第一ケーブル本体１６のみを備え、第二ケーブル体２０が給電用の第二ケーブル本体２６のみを備える構成とすることもできる。この場合、例えば、制御装置８と第一搬送装置１との間での通信や、制御装置８と第二搬送装置２との間での通信を、無線通信により行う構成とすることができる。また、例えば、第一ケーブル体１０が通信用の第一ケーブル本体１６のみを備え、第二ケーブル体２０が通信用の第二ケーブル本体２６のみを備える構成とすることもできる。この場合、例えば、床部Ｆに第一方向Ｘに沿って給電レールを設置し、当該給電レールから電力を集電する集電部を第一搬送装置１や第二搬送装置２に備える構成とすることができる。
（１０）上記の実施形態では、第一ケーブル体１０における第一折り返し部１５と第一接続部１３との間の部分（第一上側部分１１）が、第一ケーブル体１０における第一折り返し部１５と第一端部１４との間の部分（第一下側部分１２）に対して上側に配置され、第二ケーブル体２０における第二折り返し部２５と第二接続部２３との間の部分（第二上側部分２１）が、第二ケーブル体２０における第二折り返し部２５と第二端部２４との間の部分（第二下側部分２２）に対して上側に配置される構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第一ケーブル体１０における第一折り返し部１５と第一接続部１３との間の部分が、第一ケーブル体１０における第一折り返し部１５と第一端部１４との間の部分に対して、第二方向Ｙの一方側（例えば、第四側Ｙ２）に配置され、第二ケーブル体２０における第二折り返し部２５と第二接続部２３との間の部分が、第二ケーブル体２０における第二折り返し部２５と第二端部２４との間の部分に対して、第二方向Ｙの一方側（例えば、第四側Ｙ２）に配置される構成とすることもできる。すなわち、第一折り返し部１５や第二折り返し部２５において、鉛直面内ではなく水平面内で、第一ケーブル体１０や第二ケーブル体２０が屈曲する構成とすることもできる。
（１１）上記の実施形態では、第一退避エリアＡ１が、第一移動範囲Ｒ１及び第二移動範囲Ｒ２に対して第一側Ｘ１に設けられ、第二退避エリアＡ２が、第一移動範囲Ｒ１及び第二移動範囲Ｒ２に対して第二側Ｘ２に設けられる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第一退避エリアＡ１が第一移動範囲Ｒ１内に設けられ、第一接続部１３を第一取付部５１に取り付けた状態で、第一搬送装置１を第一退避エリアＡ１まで移動させることが可能な構成とすることもできる。この場合、第一保持具６１は不要となる。また、第二退避エリアＡ２が第二移動範囲Ｒ２内に設けられ、第二接続部２３を第二取付部５２に取り付けた状態で、第二搬送装置２を第二退避エリアＡ２まで移動させることが可能な構成とすることもできる。この場合、第二保持具６２は不要となる。
（１２）上記の実施形態では、物品Ｗが半導体基板等の基板を収容する容器である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、物品Ｗが、工業製品、食品、医薬品等の基板以外の物を収容する容器である構成としても良い。また、物品Ｗが、容器以外の物品であっても良い。
（１３）その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎないと理解されるべきである。従って、当業者は、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
１：第一搬送装置
２：第二搬送装置
６：収納棚
６ａ：収納部
７：レール
８：制御装置
９：物品搬送設備
１０：第一ケーブル体
１１：第一上側部分
１２：第一下側部分
１３：第一接続部
１４：第一端部
１５：第一折り返し部
１６：第一ケーブル本体（ケーブル本体）
１７：第一ケーブルキャリア（ケーブルキャリア）
２０：第二ケーブル体
２１：第二上側部分
２２：第二下側部分
２３：第二接続部
２４：第二端部
２５：第二折り返し部
２６：第二ケーブル本体（ケーブル本体）
２７：第二ケーブルキャリア（ケーブルキャリア）
４１：第一支持部
４２：第二支持部
４２ａ：第二支持位置
４２ｂ：第二退避位置
４３：第三支持部
４３ａ：第三支持位置
４３ｂ：第三退避位置
９１：第一センサ
９２：第二センサ
９３：第三センサ
９４：第四センサ
Ｆ：床部
Ｐ１：第一位置
Ｐ２：第二位置
Ｐ３：第三位置
Ｒ１：第一移動範囲
Ｒ２：第二移動範囲
Ｗ：物品
Ｘ：第一方向
Ｘ１：第一側
Ｘ２：第二側
Ｙ：第二方向
Ｚ：上下方向

Claims (7)

  1. 物品を収納する複数の収納部が水平方向に沿う第一方向に並べて設けられた収納棚と、床部に前記第一方向に沿って設置されたレールと、前記レールに案内されて前記収納棚の前方を前記第一方向に沿って移動して、前記収納部に又は前記収納部から物品を搬送する第一搬送装置及び第二搬送装置と、前記第一搬送装置に接続されて前記第一方向に延在する給電用又は通信用の第一ケーブル体と、前記第二搬送装置に接続されて前記第一方向に延在する給電用又は通信用の第二ケーブル体と、を備えた物品搬送設備であって、
    前記第一ケーブル体における前記第一搬送装置との接続部とは反対側の端部である第一端部と、前記第二ケーブル体における前記第二搬送装置との接続部とは反対側の端部である第二端部との双方が、前記床部に固定され、
    前記第一ケーブル体は、前記第一搬送装置の前記第一方向に沿った移動に伴い変形することで、前記第一方向に沿った範囲である第一移動範囲において前記第一搬送装置が移動することを許容し、
    前記第二ケーブル体は、前記第二搬送装置の前記第一方向に沿った移動に伴い変形することで、前記第一方向に沿った範囲であって前記第一移動範囲と少なくとも一部で重複する第二移動範囲において前記第二搬送装置が移動することを許容し、
    前記第一搬送装置は、前記第二搬送装置に対して前記第一方向の一方側である第一側に配置され、
    前記第一ケーブル体における前記第一搬送装置との接続部を第一接続部として、前記第一ケーブル体は、前記第一端部及び前記第一接続部に対して前記第一側において、当該第一ケーブル体の前記第一端部から前記第一接続部に向かう延在方向を反転させる第一折り返し部を有し、
    前記第二ケーブル体における前記第二搬送装置との接続部を第二接続部として、前記第二ケーブル体は、前記第二端部及び前記第二接続部に対して前記第一側とは反対側である第二側において、当該第二ケーブル体の前記第二端部から前記第二接続部に向かう延在方向を反転させる第二折り返し部を有し、
    前記第一方向及び上下方向の双方に直交する方向を第二方向として、前記第一ケーブル体及び前記第二ケーブル体が、前記レールに対して前記第二方向の互いに同じ側に、それぞれの前記第二方向の配置領域が少なくとも一部で互いに重複するように配置されている物品搬送設備。
  2. 前記第一ケーブル体における前記第一折り返し部と前記第一接続部との間の部分である第一上側部分は、前記第一ケーブル体における前記第一折り返し部と前記第一端部との間の部分である第一下側部分に対して上側に配置され、
    前記第二ケーブル体における前記第二折り返し部と前記第二接続部との間の部分である第二上側部分は、前記第二ケーブル体における前記第二折り返し部と前記第二端部との間の部分である第二下側部分に対して上側に配置され、
    前記第一搬送装置が前記第一移動範囲の前記第二側の端部に位置する場合の前記第一折り返し部の前記第一方向の位置を第一位置とし、前記第二搬送装置が前記第二移動範囲の前記第一側の端部に位置する場合の前記第二折り返し部の前記第一方向の位置を第二位置として、前記第一位置と前記第二位置との間の位置である第三位置に、前記第一搬送装置が前記第三位置よりも前記第二側に位置する場合に前記第一下側部分及び前記第二下側部分よりも上方の高さで前記第一上側部分を下方から支持し、且つ、前記第二搬送装置が前記第三位置よりも前記第一側に位置する場合に前記第一下側部分及び前記第二下側部分よりも上方の高さで前記第二上側部分を下方から支持する第一支持部が設けられている請求項１に記載の物品搬送設備。
  3. 前記第一ケーブル体における前記第一折り返し部と前記第一接続部との間の部分である第一上側部分は、前記第一ケーブル体における前記第一折り返し部と前記第一端部との間の部分である第一下側部分に対して上側に配置され、
    前記第二ケーブル体における前記第二折り返し部と前記第二接続部との間の部分である第二上側部分は、前記第二ケーブル体における前記第二折り返し部と前記第二端部との間の部分である第二下側部分に対して上側に配置され、
    前記第一搬送装置が前記第一移動範囲の前記第二側の端部に位置する場合の前記第一折り返し部の前記第一方向の位置を第一位置とし、前記第二搬送装置が前記第二移動範囲の前記第一側の端部に位置する場合の前記第二折り返し部の前記第一方向の位置を第二位置として、前記第一搬送装置が前記第二位置よりも前記第二側に位置する場合に、前記第二下側部分よりも上方において前記第一上側部分を下方から支持する第二支持部と、前記第二搬送装置が前記第一位置よりも前記第一側に位置する場合に、前記第一下側部分よりも上方において前記第二上側部分を下方から支持する第三支持部とが設けられ、
    前記第二支持部は、前記第二搬送装置が前記第二移動範囲を移動する場合に前記第二折り返し部が移動する空間である第二移動空間の内部に位置して前記第一上側部分を下方から支持する第二支持位置と、前記第二移動空間の外部に位置する第二退避位置との間で、姿勢及び設置位置の少なくとも一方を切り替え可能に構成され、
    前記第三支持部は、前記第一搬送装置が前記第一移動範囲を移動する場合に前記第一折り返し部が移動する空間である第一移動空間の内部に位置して前記第二上側部分を下方から支持する第三支持位置と、前記第一移動空間の外部に位置する第三退避位置との間で、姿勢及び設置位置の少なくとも一方を切り替え可能に構成されている請求項１又は２に記載の物品搬送設備。
  4. 前記第二位置よりも前記第二側の複数の位置のそれぞれに前記第二支持部が設けられると共に、前記第一位置よりも前記第一側の複数の位置のそれぞれに前記第三支持部が設けられ、
    前記第一方向に検出光を投射して少なくともいずれかの前記第二支持部が前記第二支持位置に位置することを検出する第一センサと、前記第一方向に検出光を投射して少なくともいずれかの前記第三支持部が前記第三支持位置に位置することを検出する第二センサと、が設けられている請求項３に記載の物品搬送設備。
  5. 前記第二位置よりも前記第二側の複数の位置のそれぞれに前記第二支持部が設けられると共に、前記第一位置よりも前記第一側の複数の位置のそれぞれに前記第三支持部が設けられ、
    前記第一方向に検出光を投射して少なくともいずれかの前記第二支持部が前記第二退避位置に位置することを検出する第三センサと、前記第一方向に検出光を投射して少なくともいずれかの前記第三支持部が前記第三退避位置に位置することを検出する第四センサと、が設けられている請求項３又は４に記載の物品搬送設備。
  6. 前記第一ケーブル体及び前記第二ケーブル体のそれぞれが、ケーブル本体と、前記ケーブル本体を収容すると共に前記ケーブル本体の延在方向を規制するケーブルキャリアと、を備えている請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  7. 前記第一搬送装置及び前記第二搬送装置の作動を制御する制御装置を更に備え、
    前記第一搬送装置は、前記第二搬送装置に対して前記第一方向の一方側である第一側に配置され、
    前記制御装置は、第一搬送制御、第二搬送制御、及び第三搬送制御を実行し、
    前記第一搬送制御は、前記第一移動範囲と前記第二移動範囲との重複領域内の任意の位置を基準位置として、前記第一移動範囲における前記基準位置よりも前記第一側の範囲内に前記第一搬送装置の移動範囲を制限した状態であって、且つ、前記第二移動範囲における前記基準位置よりも前記第一側とは反対側である第二側の範囲内に前記第二搬送装置の移動範囲を制限した状態で、前記第一搬送装置及び前記第二搬送装置の双方に物品を搬送させる制御であり、
    前記第二搬送制御は、前記第一搬送装置及び前記第二搬送装置のうちの前記第一搬送装置のみが前記第一移動範囲内に存在する状態において、前記第一移動範囲の全域における前記第一搬送装置の移動を許容する状態で、前記第一搬送装置に物品を搬送させる制御であり、
    前記第三搬送制御は、前記第一搬送装置及び前記第二搬送装置のうちの前記第二搬送装置のみが前記第二移動範囲内に存在する状態において、前記第二移動範囲の全域における前記第二搬送装置の移動を許容する状態で、前記第二搬送装置に物品を搬送させる制御である請求項１から６のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
JP2016176973A 2016-09-09 2016-09-09 物品搬送設備 Active JP6786976B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016176973A JP6786976B2 (ja) 2016-09-09 2016-09-09 物品搬送設備
KR1020170113089A KR102385795B1 (ko) 2016-09-09 2017-09-05 물품 반송 설비
TW106130776A TWI751194B (zh) 2016-09-09 2017-09-08 物品搬送設備
US15/699,070 US10647507B2 (en) 2016-09-09 2017-09-08 Article transport facility
CN201710805481.7A CN107804637B (zh) 2016-09-09 2017-09-08 物品搬运设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016176973A JP6786976B2 (ja) 2016-09-09 2016-09-09 物品搬送設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018039654A JP2018039654A (ja) 2018-03-15
JP6786976B2 true JP6786976B2 (ja) 2020-11-18

Family

ID=61559617

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016176973A Active JP6786976B2 (ja) 2016-09-09 2016-09-09 物品搬送設備

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10647507B2 (ja)
JP (1) JP6786976B2 (ja)
KR (1) KR102385795B1 (ja)
CN (1) CN107804637B (ja)
TW (1) TWI751194B (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6414525B2 (ja) * 2015-09-02 2018-10-31 株式会社ダイフク 保管設備
DE102016009000A1 (de) * 2016-07-21 2018-01-25 Liebherr-Verzahntechnik Gmbh Regalbediengerät für ein Palettenspeichersystem
JP6962306B2 (ja) * 2018-10-18 2021-11-05 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP7115356B2 (ja) * 2019-02-25 2022-08-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
WO2022074953A1 (ja) * 2020-10-06 2022-04-14 村田機械株式会社 ストッカ
JP7494813B2 (ja) * 2021-07-08 2024-06-04 株式会社ダイフク 物品収容設備
JP7400061B1 (ja) * 2022-11-11 2023-12-18 不二輸送機工業株式会社 反転装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07184364A (ja) * 1993-12-24 1995-07-21 Mitsubishi Electric Corp 走行装置
DE19905336A1 (de) * 1999-02-09 2000-08-10 Wampfler Ag Arbeitsplatz-Versorgungsvorrichtung
JP5103714B2 (ja) * 2005-06-22 2012-12-19 村田機械株式会社 搬送設備
JP2007069996A (ja) * 2005-09-02 2007-03-22 Daihatsu Motor Co Ltd 走行設備
JP5089111B2 (ja) * 2006-09-11 2012-12-05 日揮株式会社 スタッカークレーン搬送設備
KR101707068B1 (ko) * 2013-02-15 2017-02-15 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 설비와 자동 창고
CN103482318A (zh) * 2013-09-30 2014-01-01 上海集成电路研发中心有限公司 用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件
KR20150040018A (ko) * 2013-10-04 2015-04-14 한국콘베어공업주식회사 무선통신 방식의 적재물 이송시스템
EP2881905B1 (en) * 2013-12-09 2018-02-07 Cleveron AS Self-service parcel terminal
WO2016031383A1 (ja) * 2014-08-25 2016-03-03 村田機械株式会社 自動倉庫、及び自動倉庫の制御方法
JP6201977B2 (ja) * 2014-12-19 2017-09-27 村田機械株式会社 自動倉庫及びその運転方法
US10294027B2 (en) * 2015-01-09 2019-05-21 Carefusion Germany 326 Gmbh Operating device for an order-picking apparatus
JP2016142033A (ja) * 2015-02-02 2016-08-08 新明和工業株式会社 車両搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN107804637A (zh) 2018-03-16
JP2018039654A (ja) 2018-03-15
KR102385795B1 (ko) 2022-04-11
KR20180028938A (ko) 2018-03-19
US20180072498A1 (en) 2018-03-15
US10647507B2 (en) 2020-05-12
TWI751194B (zh) 2022-01-01
CN107804637B (zh) 2021-02-19
TW201815639A (zh) 2018-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6786976B2 (ja) 物品搬送設備
JP6766584B2 (ja) 物品搬送設備
US9815624B2 (en) Inter-floor transport facility
US10766697B2 (en) Storage rack and article storage facility
CN105752573A (zh) 物品保管设备
TW201816918A (zh) 物品搬送裝置
US9896283B2 (en) Article transport facility
US10957570B2 (en) Article storage facility
KR20210139147A (ko) 물품 반송 장치
US20190031440A1 (en) Storage apparatus and conveyance system
JP2023153247A (ja) 物品搬送設備
JP5401842B2 (ja) 搬送システム
US11942347B2 (en) Storage system
JP5880343B2 (ja) 物品収納設備
JP6586935B2 (ja) 物品搬送設備
WO2003088350A1 (fr) Systeme de convoyage de contenants fermes
JP7222337B2 (ja) 物品搬送設備
JP7184003B2 (ja) 物品搬送設備
JP6477579B2 (ja) 容器支持棚
TWI851782B (zh) 物品搬送設備
CN116605602A (zh) 保管架及搬送车系统
CN118579464A (zh) 物品输送设备

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20181108

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190805

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190813

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191011

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200310

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200507

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200929

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201012

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6786976

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250