KR20130032242A - 청정 공기 송풍 유닛 - Google Patents

청정 공기 송풍 유닛 Download PDF

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Abstract

청정 공기를 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 적절히 유동(流動)시킬 수 있는 동시에, 기판 수납기의 세정을 양호하게 행할 수 있는 청정 공기 송풍 유닛을 제공한다. 기판 수납기 K에 대하여 분리 가능하게 장착되는 청정 공기 송풍 유닛 J로서, 기판 수납기 K는, 보관 장치에 보관되는 수납기이며, 기판 수납기 K의 4개의 측면 중 1개의 측면을 청정 공기 송풍면으로 하고, 또한 그 청정 공기 송풍면에 대향하는 측면을 배기용 면으로 하여, 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 청정 공기를 통풍하는 팬 필터 유닛 F와 기판 수납기 K의 4개의 측면 중, 청정 공기 송풍면 및 배기용 면을 제외한 2개의 측면을 덮는 한쌍의 차폐판(遮蔽板)(10)을 구비한다.

Description

청정 공기 송풍 유닛{CLEAN AIR BLOWER UNIT}
본 발명은, 기판을 상하 방향으로 간격을 두고 배열하는 상태로 수납하는 직육면체형의 기판 수납기에 대하여, 분리 가능하게 장착되는 청정 공기 송풍 유닛에 관한 것이다.
상기와 같은 청정 공기 송풍 유닛은, 예를 들면, 보관 장치에 보관되는 기판 수납기에 장착되어, 기판 수납기에 수납되어 있는 기판에 먼지가 부착되는 것을 억제한다.
즉, 기판 수납기는, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판 등의 기판을 수납한 상태로, 보관 장치의 수납부에 수납된다. 그리고, 기판 수납기에 수납한 기판에 대하여, 에칭이나 세정 등의 각종 처리를 행할 때는, 기판 수납기를, 보관 장치가 구비하는 반송(搬送) 장치에 의해, 수납부로부터 기판 반출입부(搬出入部)에 반송하여, 기판 수납기로부터 인출한 기판에 대하여 각종 처리를 행한다. 또한, 처리를 행한 기판을 다시 기판 수납기에 수납하여, 기판을 수납한 기판 수납기를, 반송 장치에 의해, 기판 반출입부로부터 수납부에 반송한다.
이와 같이, 보관 장치에 기판 수납기를 보관한 상태로, 기판 수납기에 수납되어 있는 기판에 대한 처리가 행해진다. 이 때, 기판 수납기에 유지되어 있는 기판에 먼지가 부착될 우려가 있으므로, 청정 공기 송풍 유닛이 기판 수납기에 장착된다.
청정 공기 송풍 유닛의 종래예로서, 청정 공기 송풍 유닛이, 청정 공기를 송풍하는 팬 필터 유닛을 구비한 판형의 프레임체로서 구성되어, 기판 수납기에 대하여 분리 가능하게 장착되는 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
상기 특허 문헌 1에 있어서는, 기판 수납기가, 가로 방향으로 기운 자세의 각통형(角筒形)으로 구성되어 있다. 청정 공기 송풍 유닛은, 기판 수납기의 개구 상태에 있는 한쌍의 측면 중 한쪽 면을 청정 공기 송풍면으로 하고, 또한, 다른 쪽의 측면을 배기용 면으로 하여, 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 수평 방향을 따라 청정 공기를 송풍한다. 이 청정 공기 송풍 유닛은, 청정 공기 송풍면으로 되는 측면에 위치하는 상태로, 기판 수납기에 장착되어 있다.
청정 공기 송풍 유닛의 다른 종래예로서, 청정 공기 송풍 유닛이, 기판 수납기를 탑재하는 판형의 탑재부의 일단부에, 청정 공기를 송풍하는 팬 필터 유닛을 구비한 판형의 송풍부를 기립 자세로 설치하는 형태로 구성된 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 2 참조).
이 특허 문헌 2에 있어서는, 기판 수납기가, 가로 방향으로 기운 자세의 각통형으로 구성되어 있다. 청정 공기 송풍 유닛의 송풍부는, 기판 수납기의 개구 상태에 있는 한쌍의 측면 중 한쪽 면을 청정 공기 송풍면으로 하고, 또한, 다른 쪽의 측면을 배기용 면으로 하여, 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 수평 방향을 따라 청정 공기를 송풍한다.
즉, 기판 수납기가, 청정 공기 송풍면으로 되는 측면을 청정 공기 송풍 유닛의 송풍부에 대향시킨 상태로, 청정 공기 송풍 유닛의 탑재부에 탑재되어 있다.
일본공개특허 제2010-89835호 공보 일본공개특허 제2011-91270호 공보
기판 수납기는, 적당 기간이 경과할 때마다 세정하는 등, 적절한 때에 세정되고, 그 때는, 청정 공기 송풍 유닛이, 기판 수납기로부터 분리된다.
즉, 기판 수납기를 세정하는 경우에는, 일반적으로, 수용액 등의 세정용의 액체를 사용하여 세정한다. 청정 공기 송풍 유닛에는, 전장(電裝) 부품을 구비하는 팬 필터 유닛이 설치되므로, 청정 공기 송풍 유닛이 세정용의 액체에 젖는 것을 억제하기 위해, 청정 공기 송풍 유닛을, 기판 수납기로부터 분리시킨다.
이와 같이, 기판 수납기는, 청정 공기 송풍 유닛을 분리한 상태에서, 적시에 세정된다. 이 때, 상기한 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2에 기재된 기판 수납기는, 4개의 측면 중, 청정 공기 송풍면과 배기용 면에 대응하는 측면을 제외한 2개의 측면이, 차폐(遮蔽)된 상태로 되어 있으므로, 기판 수납기의 세정을 적절히 행하기 어렵게 될 우려가 있었다.
즉, 가로 방향으로 기운 자세의 각통형의 기판 수납기는, 4개의 측면 중, 청정 공기 송풍면과 배기용 면에 대응하는 측면을 제외한 2개의 측면이, 차폐된 상태로 되므로, 청정 공기 송풍 유닛으로부터의 청정 공기를, 외부로의 누출을 억제한 상태에서, 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 적절히 유동(流動)시킬 수 있다. 그러나, 기판 수납기를 세정할 때, 차폐된 측면이, 기판 수납기의 내부에 세정용의 액체가 유동하는 것을 방해하는 것 등에 기인하여, 기판 수납기의 세정을 적절히 행하기 어려울 우려가 있었다.
본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은, 청정 공기를 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 적절히 유동시킬 수 있는 동시에, 기판 수납기의 세정을 양호하게 행할 수 있는 청정 공기 송풍 유닛을 제공하는 점에 있다.
본 발명의 청정 공기 송풍 유닛은, 기판을 상하 방향으로 간격을 두고 배열하는 상태로 수납하는 직육면체형의 기판 수납기에 대하여, 분리 가능하게 장착되는 청정 공기 송풍 유닛에 있어서, 상기 기판 수납기는, 상기 기판 수납기를 수납하는 복수 개의 수납부와, 상기 기판 수납기에 대하여 상기 기판의 인출 및 수납을 행하는 기판 반출입부와, 상기 수납부와 상기 기판 반출입부와의 사이에서 상기 기판 수납기를 반송하는 반송 장치를 구비한 보관 장치에 보관되는 수납기이며, 상기 기판 수납기의 4개의 측면 중 1개의 측면을 청정 공기 송풍면으로 하고, 또한 그 청정 공기 송풍면에 대향하는 측면을 배기용 면으로 하여, 상기 청정 공기 송풍면으로부터 상기 배기용 면을 향해 청정 공기를 통풍하는 팬 필터 유닛과, 상기 기판 수납기의 4개의 측면 중, 상기 청정 공기 송풍면 및 상기 배기용 면을 제외한 2개의 측면을 덮는 한쌍의 차폐판을 구비한다.
즉, 청정 공기 송풍 유닛에 장비한 팬 필터 유닛이, 기판 수납기의 4개의 측면 중 1개의 측면을 청정 공기 송풍면으로 하고, 또한 그 측면에 대향하는 측면을 배기용 면으로 하여, 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 청정 공기를 송풍한다.
그리고, 청정 공기 송풍 유닛에 장비한 한쌍의 차폐판이, 기판 수납기의 4개의 측면 중, 청정 공기 송풍면 및 배기용 면을 제외한 2개의 측면을 덮으므로, 기판 수납기의 4개의 측면 중, 청정 공기 송풍면 및 배기용 면을 제외한 2개의 측면이 개구 상태로 형성되어 있어도, 청정 공기가 외부로 누출되는 것을 억제한 상태에서, 청정 공기를 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 적절히 유동시킬 수 있다.
이와 같이, 청정 공기를 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 적절히 유동시키는 것을 가능하게 하면서, 기판 수납기의 4개의 측면 중, 청정 공기 송풍면 및 배기용 면을 제외한 2개의 측면을 개구 상태로 할 수 있다. 그러므로, 청정 공기 송풍 유닛을 분리한 상태(떼어낸 상태)에서 기판 수납기를 세정할 때, 그 개구 상태로 된 측면을 통하여, 세정용의 액체를 기판 수납기의 내부에 적절히 유동시킬 수 있는 등, 기판 수납기의 세정을 양호하게 행할 수 있다.
요컨대, 상기한 구성에 의하면, 청정 공기를 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 적절히 유동시킬 수 있는 동시에, 기판 수납기의 세정을 양호하게 행할 수 있는 청정 공기 송풍 유닛을 제공할 수 있다.
본 발명의 청정 공기 송풍 유닛 실시예에서는,
상기 팬 필터 유닛이, 상기 청정 공기 송풍면에 대응하는 개소(箇所)에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 청정 공기 송풍면에 대응하는 개소에 설치된 팬 필터 유닛이, 청정 공기를 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 송풍하므로, 구성의 간소화를 도모하여, 청정 공기를 적절히 송풍할 수 있다.
즉, 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 청정 공기를 송풍할 때, 예를 들면, 청정 공기 송풍 유닛에서의 기판 수납기의 상면에 대응하는 개소 등, 청정 공기 송풍면과는 상이한 개소에 팬 필터 유닛을 설치하고, 그 팬 필터 유닛으로부터의 청정 공기를 청정 공기 송풍면에 안내하는 송풍 덕트(duct)를 설치하는 구성을 생각할 수 있다.
그러나, 이 구성의 경우에는, 송풍 덕트를 설치함으로써, 전체 구성이 복잡해지는 동시에 팬 필터 유닛으로부터의 청정 공기가, 송풍 덕트 내를 유동할 때 속도가 저하되는 것 등에 기인하여, 청정 공기를 적절히 송풍하기 어려울 우려가 있다. 이에 대하여, 팬 필터 유닛을, 청정 공기 송풍면에 대응하는 개소에 설치하는 경우에는, 팬 필터 유닛이 청정 공기 송풍면에 대하여 청정 공기를 직접 송풍하므로 구성의 간소화를 도모하면서, 청정 공기를 적절히 송풍할 수 있다.
요컨대, 상기한 구성에 의하면, 구성의 간소화를 도모하면서, 청정 공기를 적절히 송풍할 수 있는 청정 공기 송풍 유닛을 제공할 수 있다.
본 발명의 청정 공기 송풍 유닛의 실시예에서는,
상기 배기용 면을 덮는 배기용 판상체(板狀體)를 더 포함하고, 상기 배기용 판상체에, 복수 개의 배기용의 통기공이 평면형으로 분산되어 형성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 송풍되는 청정 공기가, 배기용 면을 덮는 배기용 판상체에 형성된 통기공을 통해 외부로 배출되는 상태로 유동하므로, 러닝 코스트(running cost)의 저하를 도모할 수 있다.
즉, 기판 수납기의 배기용 면이 개구 상태이면, 그 개구 상태의 측면(배기용 면)으로부터 기판 수납기의 내부로의 먼지의 침입을 억제하기 위해, 청정 공기의 풍력을 증가시킬 필요가 있다. 이 결과, 팬 필터 유닛의 구동 에너지의 증가에 의해, 러닝 코스트가 증가한다. 이에 대하여, 기판 수납기의 배기용 면을, 통기공이 형성된 배기용 판상체에 의해 덮도록 하면, 청정 공기의 풍력을 저하시켜도, 통기공으로부터는 청정 공기가 분출(噴出)되어, 통기공으로부터 기판 수납기의 내부로의 먼지의 침입을 억제할 수 있다. 그러므로, 청정 공기의 풍력의 저하에 의해, 러닝 코스트의 저하를 도모할 수 있다.
또한, 통기공이, 평면형으로 분산되어 배기용 판상체에 형성되어 있으므로, 청정 공기를, 기판 수납기의 내부 공간의 전체에 걸쳐 유동시키는 것이 가능해진다. 이로써, 기판 수납기에 수납된 복수 개의 기판의 각각에 대하여 그 전체면을 따라 청정 공기를 유동시켜, 기판에 대한 먼지의 부착을 적절히 억제할 수 있다.
요컨대, 상기한 구성에 의하면, 러닝 코스트의 저하를 도모하면서, 기판에 대한 먼지의 부착을 적절히 억제할 수 있는 청정 공기 송풍 유닛을 제공할 수 있다.
본 발명의 청정 공기 송풍 유닛의 실시예에서는,
상기 기판 수납기의 바닥면에 대응하는 개소에, 상기 기판 수납기를 삽입 및 인출하기 위한 용기 삽입용 및 인출용 개구가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 청정 공기 송풍 유닛이, 기판 수납기의 바닥면에 대응하는 개소에, 기판 수납기를 삽입 및 인출하기 위한 용기 삽입용 및 인출용 개구를 구비하고 있으므로, 기판 수납기에 대하여 기판을 수납 또는 인출할 때나, 기판 수납기를 세정할 때, 기판 수납기를, 용기 삽입용 및 인출용 개구를 통해 삽입 및 인출하는 형태로, 청정 공기 송풍 유닛에 대하여 용이하게 착탈(着脫)할 수 있다.
요컨대, 상기한 구성에 의하면, 기판 수납기의 착탈을 용이하게 행할 수 있는 청정 공기 송풍 유닛을 제공할 수 있다.
본 발명의 청정 공기 송풍 유닛 실시예에서는,
상기 기판 수납기가, 상기 배기용 면으로부터 상기 기판을 삽입 및 인출 가능하도록 구성되며,
상기 배기용 판상체에서의, 상기 기판 수납기에 상하 방향으로 배열되어 수납되는 상기 기판 중의 최하단의 기판에 대향하는 대향 위치 또는 상기 대향 위치보다 하방측의 위치에, 상기 기판을 삽통(揷通)시키는 삽통공이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 기판 반출입부에 있어서, 기판 수납기에 대하여 기판을 인출할 때나 수납할 때, 청정 공기 송풍 유닛을 상하 방향의 일정 위치에 유지한 상태로, 기판 수납기를, 용기 삽입용 및 인출용 개구를 통해 삽입 및 분리하면서 상하 방향으로 이동시킨다. 그리고, 삽입 및 인출 대상의 기판의 위치를 배기용 판상체에 형성된 삽통공의 위치에 맞춘 상태로, 삽통공을 통해 상기 기판을 기판 삽입 및 인출 방향(예를 들면, 수평 방향)을 따라 이동시키면서, 기판 수납기에 대하여 삽입 및 인출하는 형태로 행할 수 있다.
설명을 추가하면, 청정 공기 송풍 유닛을 상하 방향의 일정 위치에 유지하는 지지 부재, 기판 수납기를 상하 방향으로 이동시키는 승강 장치, 및 기판을 기판 수납기에 대하여 삽입 및 인출하도록 기판 삽입 및 인출 방향을 따라 이동시키는 기판 이동 장치를, 기판 반출입부에 설치한다.
그리고, 기판 수납기로부터 기판을 인출하는 경우에는, 일반적으로는, 상하 방향으로 배열된 기판의 하방측의 것으로부터 순차적으로 인출하므로, 먼저, 상하 방향으로 배열된 기판 중의 최하단의 기판의 위치가, 배기용 판상체에 형성된 삽통공에 대향하는 위치로 되도록 한다.
그리고, 삽통공이, 상하 방향으로 배열되어 수납되는 기판 중의 최하단의 기판에 대향하는 대향 위치에 형성되어 있는 경우에는, 최하단의 기판이 삽통공에 대향하는 위치에 위치하므로, 기판 수납기를, 상하 방향의 일정 위치에 유지되어 있는 청정 공기 송풍 유닛에 대하여 하강시킬 필요는 없다. 한편, 삽통공이, 상기한 대향 위치보다 하방측의 위치에 형성되어 있는 경우에는, 최하단의 기판을 삽통공에 대향하는 위치에 위치시키기 위해, 기판 수납기를, 상하 방향의 일정 위치에 유지되어 있는 청정 공기 송풍 유닛에 대하여 하강시킨다.
상하 방향으로 배열된 기판 중의 최하단의 기판이, 배기용 판상체에 형성된 삽통공에 대향하는 위치에 위치하는 상태에 있어서, 기판 이동 장치를 작동시켜, 기판을, 배기용 판상체에 형성된 삽통공을 통해 기판 삽입 및 인출 방향을 따라 이동시키면서, 기판 수납기로부터 인출한다.
기판 이동 장치의 작동에 의해 기판의 인출이 종료하면, 인출한 기판의 위쪽으로 인접하는 기판의 위치가, 배기용 판상체에 형성된 삽통공에 대향하는 위치로 되도록, 승강 장치에 의해 기판 수납기를 하강시키고, 그 후, 기판 이동 장치를 작동시켜, 기판 수납기로부터 기판을 인출한다. 최상단의 기판의 인출이 종료할 때까지, 승강 장치에 의해 기판 수납기를 하강시키는 것과 기판 이동 장치에 의해 기판을 인출하는 것을 반복한다.
기판 수납기에 기판을 수납하는 경우에는, 일반적으로는, 상하 방향으로 배열된 기판의 최상단의 것으로부터 순차적으로 수납하므로, 상하 방향으로 배열된 기판 중의 최상단의 기판을 수납하는 위치가, 배기용 판상체에 형성된 삽통공에 대향하는 위치로 되도록, 승강 장치를 작동시킨다.
상하 방향으로 배열된 기판 중의 최상단의 기판을 수납하는 위치가, 배기용 판상체에 형성된 삽통공에 대향하는 위치에 일치하는 상태에 있어서, 기판 이동 장치를 작동시켜, 기판을, 배기용 판상체에 형성된 삽통공을 통해 기판 삽입 및 인출 방향으로 이동시키면서, 기판 수납기에 수납한다.
기판 이동 장치의 작동에 의해 기판의 수납이 종료하면, 수납한 기판의 아래쪽에 인접하는 기판의 수납 위치가, 배기용 판상체에 형성된 삽통공에 대향하는 위치로 되도록, 승강 장치에 의해 기판 수납기를 상승시키고, 그 후, 기판 이동 장치를 작동시켜, 기판 수납기에 기판을 수납한다. 최하단의 기판의 수납이 종료할 때까지, 승강 장치에 의해 기판 수납기를 상승시키는 것과, 기판 이동 장치에 의해 기판을 수납하는 것을 반복한다.
이와 같이, 기판을 기판 수납기로부터 인출할 때나 기판을 기판 수납기에 수납할 때, 배기용 판상체에 형성된 삽통공을 통해 기판을 기판 삽입 및 인출 방향을 따라 이동시킬 수 있으므로, 승강 장치에 의해 기판 수납기를 승강시키는 승강량의 감소에 의해, 승강 장치의 간소화를 도모할 수 있다.
즉, 배기용 판상체가 장비될뿐, 삽통공이 형성되지 않는 경우에 있어서는, 배기용 판상체의 하방측을 통하여, 기판을 기판 삽입 및 인출 방향을 따라 이동시킬 필요가 있다. 이와 같은 경우에는, 기판 수납기를 청정 공기 송풍 유닛의 하방측으로 빼내는 양(하강량)이, 배기용 판상체에 형성된 삽통공을 통해 기판을 기판 삽입 및 인출 방향을 따라 이동시키는 경우보다 커지므로, 승강 장치에 의해 기판 수납기를 승강시키는 승강량이 증가하여, 승강 장치가 복잡해질 우려가 있다. 이에 대하여, 배기용 판상체에 삽통공이 형성되는 경우에는 상기 삽통공을 통해 기판을 이동시킬 수 있으므로, 승강 장치에 의해 기판 수납기를 승강시키는 승강량의 감소에 의해, 승강 장치의 간소화를 도모할 수 있다.
요컨대, 상기한 구성에 의하면, 기판을 기판 수납기로부터 인출할 때나 기판을 기판 수납기에 수납할 때, 기판 수납기를 승강시키는 승강량을 감소시켜, 기판 수납기를 승강시키는 승강 장치의 간소화를 도모할 수 있는 청정 공기 송풍 유닛을 제공할 수 있다.
도 1은 기판 처리 설비의 측면도이다.
도 2는 보관 장치의 주요부 평면도이다.
도 3은 기판 수납기와 청정 공기 송풍 유닛의 사시도이다.
도 4는 기판 반출입부의 정면도이다.
도 5는 기판 반출 상태를 나타낸 절결(切缺) 사시도이다.
도 6은 기판 수납기의 하강 상태를 나타낸 절결 측면도이다.
도 7은 기판 반출 상태를 나타낸 절결 측면도이다.
도 8은 기판 반출 상태를 나타낸 절결 측면도이다.
본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 그리고, 이하의 설명에서의 기판 수납기 K나 청정 공기 송풍 유닛 J에 대한 각각의 방향은, 청정 공기 송풍 유닛 J가 장착된 기판 수납기 K가, 보관 선반(14)의 수납부 S에 수납되어 있는 상태에서의 방향이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 다운플로우식(downflow type)의 청정실 R 내에, 직육면체형의 기판 수납기 K(도 3 참조)를 보관하는 보관 장치 A, 및 기판 처리 장치 W가 병설되고, 기판 수납기 K에 유지되어 있는 직사각형의 기판(1)(도 5 참조)을 기판 처리 장치 W에 의해 처리하는 기판 처리 설비가 구성되어 있다.
기판 수납기 K에는, 청정 공기 송풍 유닛 J(도 5 참조)가 분리 가능하게 장착된다. 즉, 청정 공기 송풍 유닛 J는, 기판 수납기 K에 대하여 착탈 가능(즉, 장착 및 분리의 양쪽이 가능)하게 구성되어 있다. 기판 수납기 K는, 청정 공기 송풍 유닛 J가 장착된 상태로, 보관 장치 A에 보관되어 있다.
본 실시예에 있어서는, 기판(1)은, 직사각형의 유리 기판이며, 기판 처리 장치 W는, 에칭이나 세정 등의 처리를 기판(1)에 대하여 행한다.
청정실 R은, 바닥부에 그레이팅(grating)(2)을 구비하고, 천정부에 HEPA 필터(3)를 구비한다. 그레이팅(2)의 아래쪽의 흡기실(4)과 HEPA 필터(3) 위쪽의 챔버실(5)이, 통풍팬(6) 및 프리필터(7)를 구비한 순환로(8)에 의해 연통 접속되어 있고, 통풍팬(6)의 통풍 작동에 의해, 정화된 공기가 천정부로부터 바닥부를 향해 유동한다.
순환로(8)에서의 통풍팬(6)의 공기 유동 방향 상류측 개소에는, 외기 도입로(8A)가 접속되고, 순환로(8)에서의 통풍팬(6)의 공기 유동 방향 하류측 개소에는, 배기로(8B)가 접속되어, 순환되는 공기의 일부가 외기와 교체되도록 구성되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 기판 수납기 K는, 직사각형의 기판(1)을 상하 방향으로 간격을 두고 배열하는 상태로 수납하는 직육면체형으로 구성되어 있다. 본 명세서에 있어서 「상하 방향」이란, 연직(鉛直) 방향에 한정되지 않고, 연직 방향에 대하여 교차하는 방향을 포함하는 개념으로서 사용하고 있다. 즉, 상하 방향은, 연직 방향에 대하여 경사진 방향으로 될 수 있다. 본 실시예에서는, 설계 상, 상하 방향은 연직 방향과 일치한다. 기판 수납기 K는, 구체적으로는, 상부 프레임체(9a), 하부 프레임체(9b), 연결체(9c), 및 지지부(9d)를 구비하고 있다. 상부 프레임체(9a) 및 하부 프레임체(9b)는, 격자형으로 형성되어 있다. 연결체(9c)는, 상부 프레임체(9a) 및 하부 프레임체(9b)의 양 가로측 에지부 및 뒤쪽 에지부에 배치되어 있다. 연결체(9c)는 복수 구비되고, 복수 개의 연결체(9c)의 각각은, 상부 프레임체(9a)와 하부 프레임체(9b)를 연결하는 밴드판형으로 형성되어 있다. 지지부(9d)는, 가로 방향으로 대향하는 연결체(9c) 사이에 가설(架設)되어 있다. 지지부(9d)는 상하 방향으로 배열된 상태로 복수 구비되고, 복수 개의 지지부(9d)의 각각은, 와이어형으로 형성되어 있다.
구체적으로는, 복수 개의 와이어형의 지지부(9d)는, 상하 방향 및 전후 방향으로 간격을 가로막는 상태로 배치되어, 1개의 기판(1)을 전후 방향으로 배열한 복수 개의 지지부(9d)에 의해 지지하는 상태에서, 복수 개의 기판(1)을 상하 방향으로 배열된 상태로 지지하도록 구성되어 있다.
또한, 기판 수납기 K는, 4개의 측면 중 전방측의 측면에는, 연결체(9c)가 배치되어 있지 않고, 그 전방측의 측면으로부터 기판(1)을 삽입 및 인출할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 기판 수납기 K에 대한 「전후 방향」은, 상하 방향에 대하여 직교하는 방향이며, 기판(1)의 기판 수납기 K에 대한 삽입 및 인출 방향(기판 삽입 및 인출 방향)과 일치한다. 또한, 기판 수납기 K에 대한 「좌우 방향」 또는 「가로 방향」은, 상하 방향 및 전후 방향의 양쪽에 대하여 직교하는 방향이다. 본 실시예에서는, 상하 방향은, 설계 상, 연직 방향과 일치하므로, 전후 방향은, 설계 상, 수평 방향과 일치하고, 좌우 방향은, 설계 상, 전후 방향에 대하여 직교하는 수평 방향과 일치한다.
또한, 상부 프레임체(9a) 및 하부 프레임체(9b)가 격자형으로 형성되고, 또한 복수 개의 연결체(9c)가, 간격을 두고 위치하고, 또한 전방측의 측면에는, 연결체(9c)가 존재하지 않는 것에 의해, 기판 수납기 K는, 세정할 때, 그 상면, 하면, 및 4개의 측면(상면 및 하면 이외의 면)을 통하여, 세정용의 액체가 유출입(流出入)할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 본 실시예에서는, 기판 수납기 K는, 상면, 하면, 및 4개의 측면의, 합계 6개의 면의 각각에, 기판 수납기 K의 내부[기판(1)의 수납 공간]와 외부를 연통시키는 개구부가 형성되어 있다. 즉, 상기 6개의 면의 각각은, 개구 상태로 형성되어 있고, 개구부와 상기 개구부를 형성하는 프레임부를 포함하는 가상면(假想面)에 의해, 상기 6개의 면의 각 면이 형성되어 있다.
도 3 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 청정 공기 송풍 유닛 J는, 팬 필터 유닛 F와한쌍의 차폐판(遮蔽板)(10)을 구비하고 있다. 팬 필터 유닛 F는, 청정 공기 송풍 유닛 J가 기판 수납기 K에 장착된 상태(이하, 「장착 상태」라고 함)에 있어서, 기판 수납기 K의 4개의 측면 중 1개의 측면으로서의 배면(후면)을 청정 공기 송풍면으로 하고, 또한 그 청정 공기 송풍면에 대향하는 측면으로서의 전면(前面)을 배기용 면으로 하여, 청정 공기 송풍면으로부터 배기용 면을 향해 청정 공기를 통풍한다. 즉, 본 실시예에서는, 팬 필터 유닛 F는, 기판 삽입 및 인출 방향인 전후 방향(본 실시예에서는, 수평 방향)을 따라 청정 공기를 통풍한다. 한쌍의 차폐판(10)은, 장착 상태에 있어서, 기판 수납기 K의 4개의 측면 중, 청정 공기 송풍면 및 상기 배기용 면을 제외한 2개의 측면을 덮도록 배치된다. 팬 필터 유닛 F는, 송풍 장치(송풍팬)와 제진(除塵) 필터가 일체로 조립된 송풍 유닛이다. 본 실시예에서는, 한쌍의 차폐판(10)은, 서로 평행하게 배치되어 있다.
즉, 청정 공기 송풍 유닛 J는, 팬 필터 유닛 F가 조립된 세로 자세의 직사각형의 송풍용 프레임체(11)를 구비하고, 이 송풍용 프레임체(11)의 양 가로측부에, 한쌍의 차폐판(10)이 연결 지지되어 있다. 여기서, 「세로 자세」란, 상하 방향을 따르는 자세이다.
또한, 본 실시예의 청정 공기 송풍 유닛 J에는, 장착 상태에 있어서 기판 수납기 K의 상면을 덮는 상판(12)이, 송풍용 프레임체(11)에 연결 지지되고, 또한 한쌍의 차폐판(10)에 연결되어 있다. 본 실시예에서는, 상판(12)은, 법선(法線) 방향이 상하 방향과 평행하게 되도록 배치되어 있다. 또한, 본 실시예에서는, 장착 상태에 있어서 기판 수납기 K의 전면(배기용 면)을 덮는 배기용 판상체(13)가, 한쌍의 차폐판(10) 및 상판(12)에 연결된 상태로 설치되어 있다. 즉, 배기용 판상체(13)는, 배기용 면에 대응하는 개소에 배치되어 있고, 구체적으로는, 배기용 면과 직교하는 방향을 따라 볼 때, 기판 수납기 K의 외측에 있어서 상기 배기용 면의 전체와 중첩되도록 배치되어 있다. 본 실시예에서는, 배기용 판상체(13)는, 송풍용 프레임체(11)와 평행하게 배치되어 있다.
배기용 판상체(13)에는, 복수 개의 배기용의 통기공 T가, 평면형으로 분산되어 형성되어 있다. 구체적으로는, 본 실시예에서는, 복수 개의 통기공 T는, 정방 격자형으로 배치되어 있고, 상하 방향 및 좌우 방향으로 분산되어 배치되어 있다. 또한, 본 실시예에서는, 복수 개의 통기공 T의 각각은, 단면(斷面) 형상이 원형이며, 서로 동일한 구멍 직경을 가지고 있다. 복수 개의 통기공 T가, 육방(六方) 격자형(삼각 격자형)으로 배치된 구성이나, 불규칙하게 배치된 구성으로 하는 것도 가능하다.
또한, 청정 공기 송풍 유닛 J는, 기판 수납기 K의 바닥면(하면)에 대응하는 개소(즉, 아래쪽의 단부인 바닥부)가 개구되어 있고, 청정 공기 송풍 유닛 J는, 기판 수납기 K를 삽입 및 인출하기 위한 용기 삽입용 및 인출용 개구 U를 바닥부에 구비한다. 즉, 청정 공기 송풍 유닛 J에는, 하방향으로 개구되는 용기 삽입용 및 인출용 개구 U가 형성되어 있다. 용기 삽입용 및 인출용 개구 U는, 본 실시예에서는, 한쌍의 차폐판(10)의 각각의 하단부와 송풍용 프레임체(11)의 하단부와, 배기용 판상체(13)의 하단부에 의해 구획되어 형성되어 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에서는, 장착 상태에 있어서, 용기 삽입용 및 인출용 개구 U는, 기판 수납기 K의 바닥면과 상하 방향의 같은 위치에 배치된다. 본 실시예에서는, 한쌍의 차폐판(10)의 각각의 법선 방향은 좌우 방향과 평행하며, 송풍용 프레임체(11) 및 배기용 판상체(13)의 각각의 법선 방향은 전후 방향과 평행이다. 그리고, 이들 한쌍의 차폐판(10), 송풍용 프레임체(11), 및 배기용 판상체(13)의 각각은, 상하 방향에서 볼 때, 기판 수납기 K의 외측에 배치되어 있다. 따라서, 본 실시예에서는, 용기 삽입용 및 인출용 개구 U는 직사각형의 개구인 동시에, 상하 방향에서 볼 때, 기판 수납기 K의 외형보다 크게 형성되어 있다. 즉, 청정 공기 송풍 유닛 J는, 기판 수납기 K보다 큰 직육면체형으로서, 하방향으로 개구되는 직육면체형으로 형성되어 있다.
본 실시예에 있어서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 송풍용 프레임체(11)과 배기용 판상체(13)와의 간격이, 이들 사이에 기판 수납기 K를 위치 결정 유지하게 할 수 있는 간격으로 형성되고, 다음, 도 4에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 차폐판(10)의 간격이, 이들 사이에 기판 수납기 K를 위치 결정 유지하게 할 수 있는 간격으로 형성되어 있다. 그리고, 도 4, 도 6에 있어서는, 송풍용 프레임체(11), 배기용 판상체(13), 및 한쌍의 차폐판(10)의 각각이, 기판 수납기 K에 대하여 접촉하여 유지하는 상태를 나타내지만, 실제로는, 송풍용 프레임체(11), 배기용 판상체(13), 및 한쌍의 차폐판(10)의 각각과 기판 수납기 K와의 사이에는, 기판 수납기 K와 청정 공기 송풍 유닛 J를 상하 방향으로 상대 이동 가능하게 하기 위한 간극이 형성되어 있다.
따라서, 청정 공기 송풍 유닛 J는, 송풍용 프레임체(11)를 기판 수납기 K의 배면에 대응시킨 상태에서, 기판 수납기 K를 위쪽으로부터 덮도록 장착함으로써, 팬 필터 유닛 F가 송풍하는 청정 공기를 기판(1)의 표면을 따라 유동(流動)시키도록 구성되어 있다.
본 실시예에 있어서는, 청정 공기 송풍 유닛 J가, 송풍용 프레임체(11)를 기판 수납기 K의 배면에 대응시킨 상태에서 기판 수납기 K에 장착되므로, 팬 필터 유닛 F가 청정 공기 송풍면에 대응하는 개소에 설치된다. 즉, 팬 필터 유닛 F는, 청정 공기 송풍면과 직교하는 방향을 따라 볼 때, 기판 수납기 K의 외측에 있어서 상기 청정 공기 송풍면 중 적어도 일부(본 예에서는 전체)와 중첩되도록 배치된다. 본 실시예에서는, 팬 필터 유닛 F는, 청정 공기 송풍면에 대향하도록 배치되고, 청정 공기 송풍면은, 팬 필터 유닛 F를 구비한 송풍용 프레임체(11)에 의해 덮힌다.
또한, 배기용 판상체(13)에서의, 기판 수납기 K에 상하 방향으로 배열되어 수납되는 기판(1) 중 최하단의 기판(1)에 대향하는 대향 위치[상기 기판(1)과 상하 방향의 같은 위치]에, 기판(1)을 삽통시키는 삽통공 Q가 형성되어 있다. 후술하는 바와 같이, 이 삽통공 Q를 통해 기판(1)을 이동시킴으로써, 기판 수납기 K에 대하여 기판(1)의 수납 및 인출을 행할 수 있다.
도시하지 않지만, 청정 공기 송풍 유닛 J는, 팬 필터 유닛 F를 구동하는 배터리와, 보관 장치 A에 보관되어 있을 때 전력이 공급되어, 배터리를 충전하는 수전(受電) 단자를 구비하고 있다.
보관 장치 A는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 수납기 K를 수납하는 복수 개의 수납부 S, 기판 수납기 K에 대하여 기판(1)의 인출 및 수납을 행하는 기판 반출입부 SA, 및 수납부 S와 기판 반출입부 SA와의 사이에서 기판 수납기 K를 반송하는 반송 장치로서의 스태커 크레인(stacker crane) D를 구비하고 있다.
본 실시예에서는, 복수 개의 수납부 S가 선반 상하 방향 및 선반 가로 폭 방향으로 병설된 보관 선반(14)이 한쌍 설치되어 있다. 한쌍의 보관 선반(14)은, 물품 출입 방향을 서로 대향시킨 상태로 간격을 두고 설치되고, 상기 한쌍의 보관 선반(14) 사이에, 스태커 크레인 D가 장비되어 있다. 본 실시예에서는, 기판 수납기 K가 수납부 S에 수납된 상태에서, 선반 상하 방향은 기판 수납기 K의 상하 방향과 일치하고, 선반 가로 폭 방향은 기판 수납기 K의 좌우 방향과 일치하고, 선반 전후 방향은 기판 수납기 K의 전후 방향과 일치한다.
보관 선반(14)은, 선반 전후 방향으로 배열된 한쌍의 지주(支柱)(14A)로 이루어지는 지주의 세트를, 선반 가로 폭 방향으로 병설하고, 상기 지주 세트의 각각에, 기판 수납기 K 및 그 기판 수납기 K에 장착된 청정 공기 송풍 유닛 J의 양쪽을 탑재 지지하는 브래킷(bracket)(15)이, 선반 상하 방향으로 배열하여 설치되어 구성되어 있다. 선반 가로 폭 방향으로 인접하는 지주 세트의 사이에, 선반 상하 방향으로 배열된 상태로 복수 개의 수납부 S가 형성되어 있다.
브래킷(15)에는, 청정 공기 송풍 유닛 J에 급전하기 위한 급전 장치 E가 장비되어 있고, 청정 공기 송풍 유닛 J가 브래킷(15)에 탑재 지지되면, 청정 공기 송풍 유닛 J의 수전 단자에 대하여 급전 장치 E로부터 전력이 공급된다.
한쌍의 보관 선반(14) 사이의 바닥부에는, 스태커 크레인 D를 안내하는 한쌍의 주행 레일(16)이 설치되어 있다.
스태커 크레인 D는, 주행 레일(16)에 따라 주행하는 주행 대차(carriage)(17), 그 주행 대차(17)에 세워설치된 마스트(18)[본 예에서는 한쌍의 마스트(mast)(18)]를 따라 승강하는 승강대(19), 및 그 승강대(19)에 장착된 물품 이송탑재 장치 B를 구비하고 있다.
물품 이송탑재 장치 B는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 승강대(19)에 대하여 상하 축심(軸心)(선반 상하 방향을 따른 축심 P) 주위에서 선회(旋回)하는 선회대(20), 기판 수납기 K 및 청정 공기 송풍 유닛 J의 양쪽을 탑재 지지하는 판형의 물품 탑재체(21), 및 그 물품 탑재체(21)를 선회대(20)에 대하여 출퇴(出退) 가능하게 지지하는 한쌍의 굴신(屈伸; bending and stretching) 링크(22)를 구비하고 있다.
굴신 링크(22)의 굴신 작동에 의해, 물품 탑재체(21)를 승강대(19) 측으로 퇴피시킨 퇴피 위치와 외측으로 돌출하는 돌출 위치로 출퇴 조작하고, 또한 승강대(19)의 승강 작동에 의해, 물품 탑재체(21)를 승강 조작함으로써, 기판 수납기 K 및 그 기판 수납기 K에 장착된 청정 공기 송풍 유닛 J를, 수납부 S 및 기판 반출입부 SA에 대하여 이송탑재한다.
기판 반출입부 SA에는, 도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 청정 공기 송풍 유닛 J를 상하 방향의 일정 위치에 유지하는 지지 부재로서의 받이 프레임(23), 기판 수납기 K를 캐치(catch)하여 지지하여, 상하 방향으로 이동시키는 승강 장치(24), 및 기판(1)을 기판 삽입 및 인출 방향인 전후 방향(본 실시예에서는 수평 방향)을 따라 이동시키고, 기판(1)을 기판 수납기 K에 대하여 삽입 및 인출하는 기판 이동 장치로서, 기판(1)을 탑재 반송하는 반송 컨베이어(25)가 장비되어 있다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 컨베이어(25)와 기판 처리 장치 W와의 사이에는, 기판(1)을 탑재 반송하는 중계 반송 컨베이어(26)가 장비되어 있다.
따라서, 기판 수납기 K로부터 인출한 기판(1)을, 반송 컨베이어(25) 및 중계 반송 컨베이어(26)에 의해, 기판 처리 장치 W에 반송하고, 이와는 반대로, 기판 처리 장치 W로부터 반출된 기판(1)을, 중계 반송 컨베이어(26) 및 반송 컨베이어(25)에 의해 반송하여, 기판 수납기 K에 수납할 수 있도록 구성되어 있다.
중계 반송 컨베이어(26)는, 상부 및 양 측부가 차폐벽(27)에 의해 둘러싸이고 또한 천정부에 장비한 정화용의 팬 필터 유닛(28)에 의해 청정 공기가 통풍되는 반송 공간 H에 장비되어 있고, 기판 수납기 K와 기판 처리 장치 W 사이에서의 반송 중에, 기판(1)에 먼지가 부착되는 것을 회피하도록 되어 있다.
받이 프레임(23)은, 본 실시예에서는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 청정 공기 송풍 유닛 J의 바닥부에서의 4개의 코너부를 캐치하여 지지하기 위해, 그 4개의 코너부에 대응하여 4개 설치되어 있다. 받이 프레임(23)의 각각은, 평면에서 볼 때, 형상이 L자형으로 형성되고, 도시하지 않지만, 보관 선반(14)의 지주(14A)에 연결 지지되어 있다.
그리고, 받이 프레임(23)은, 도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 청정 공기 송풍 유닛 J를 유지하는 상하 방향의 일정 위치로서, 반송 컨베이어(25)에 의해 탑재 반송되는 기판(1)이 삽통공 Q를 통과하는 위치에, 청정 공기 송풍 유닛 J를 유지한다.
승강 장치(24)는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 기판 수납기 K의 전후 방향을 따라 장척형(長尺形)으로 형성된 좌우 한쌍의 승강 프레임(24A)을, 승강 구동 장치(24B)(도 1 참조)에 의해, 승강 조작한다.
승강 프레임(24A)의 전후 방향의 길이는, 전후 방향으로 배열된 받이 프레임(23) 사이를 통해 승강할 수 있는 길이이며, 또한 승강 프레임(24A)의 가로 폭은, 기판 수납기 K에 더하여, 청정 공기 송풍 유닛 J를 탑재할 수 있는 가로 폭으로 설정되어 있다.
그리고, 승강 프레임(24A)은, 도 4 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인 D가 기판 반출입부 SA에 대하여 청정 공기 송풍 유닛 J가 장착된 기판 수납기 K(이하, 청정 공기 송풍 유닛 J를 가지는 기판 수납기 K라고 약칭)를 하강시키는 하강 처리를 행할 때나, 스태커 크레인 D가 기판 반출입부 SA로부터 청정 공기 송풍 유닛 J를 가지는 기판 수납기 K를 상승시키는 상승 처리를 행할 때는, 청정 공기 송풍 유닛 J를 가지는 기판 수납기 K를 이송탑재용 높이에 유지하기 위한 이송탑재용 승강 위치로 승강된다.
즉, 스태커 크레인 D는, 기판 반출입부 SA에 대하여 청정 공기 송풍 유닛 J를 가지는 기판 수납기 K를 하강시키는 하강 처리를 행할 때는, 이송탑재용 승강 위치의 승강 프레임(24A)에 대하여, 청정 공기 송풍 유닛 J를 가지는 기판 수납기 K를 하강시킨다. 또한, 스태커 크레인 D는, 기판 반출입부 SA로부터 청정 공기 송풍 유닛 J를 가지는 기판 수납기 K를 상승시키는 상승 처리를 행할 때는, 이송탑재용 승강 위치의 승강 프레임(24A)에 지지되어 있는 청정 공기 송풍 유닛 J를 가지는 기판 수납기 K를 들어올린다.
반송 컨베이어(25)와 이송탑재용 승강 위치의 승강 프레임(24A)에 지지되는 것에 의해 이송탑재용 높이에 유지된 청정 공기 송풍 유닛 J를 가지는 기판 수납기 K와의 사이에는, 스태커 크레인 D에 장비한 물품 이송탑재 장치 B의 물품 탑재체(21)를 삽입 및 인출하기 위한 공간이 형성된다.
또한, 승강 프레임(24A)은, 스태커 크레인 D에 의한 기판 반출입부 SA에 대한 청정 공기 송풍 유닛 J를 가지는 기판 수납기 K를 하강시키는 하강 처리가 종료하면, 도 7에 나타낸 바와 같이, 청정 공기 송풍 유닛 J가 받이 프레임(23)에 의해 캐치하여 지지되는 초기 위치로 하강된다. 그 후, 반송 컨베이어(25)의 작동에 의해 기판(1)이 인출될 때마다, 상하 방향으로 배열된 기판(1)의 상하 간격에 상당하는 승강량으로, 승강 프레임(24A)이 순차적으로 하강된다. 최종적으로는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 상하 방향으로 배열되는 기판(1)의 최상단의 기판(1)이 삽통공 Q와 대향하는 위치(삽통공 Q와 상하 방향이 같은 위치)로 되는 최하강 위치로, 승강 프레임(24A)이 하강된다.
또한, 승강 프레임(24A)은, 기판 처리 장치 W로부터 반출되는 기판(1)을 기판 수납기 K에 수납할 때는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 최하강 위치에 위치한다.
그 상태에서, 반송 컨베이어(25)의 작동에 의해 최초의 기판(1)이 기판 수납기 K에 수납되면, 승강 프레임(24A)은, 상하 방향으로 배열된 기판(1)의 상하 간격에 상당하는 승강량으로 상승된다. 이하, 반송 컨베이어(25)의 작동에 의해 기판(1)이 수납될 때마다, 상하 방향으로 배열된 기판(1)의 상하 간격에 상당하는 승강량으로, 승강 프레임(24A)이 순차적으로 상승된다. 최종적으로는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 상하 방향으로 배열된 기판(1)의 최하단의 기판(1)이 삽통공 Q와 대향하는 위치로 되는 초기 위치로, 승강 프레임(24A)이 상승된다.
그리고, 승강 프레임(24A)은, 기판 수납기 K에 대한 기판(1)의 수납이 종료하면, 이송탑재용 승강 위치로 상승된다.
그 상태에 있어서, 스태커 크레인 D가, 이송탑재용 승강 위치의 승강 프레임(24A)에 유지된 청정 공기 송풍 유닛 J를 가지는 기판 수납기 K를 상승시키는 상승 처리를 행한다.
즉, 본 실시예에 있어서는, 기판 반출입부 SA에 있어서, 기판 수납기 K에 대하여 기판(1)을 인출할 때나 수납할 때는, 청정 공기 송풍 유닛 J를 상하 방향의 일정 위치에 유지한 상태에서, 기판 수납기 K를, 용기 삽입용 및 인출용 개구 U를 통해 삽입 및 분리하면서 상하 방향으로 이동시킨다. 그리고, 삽입 및 인출 대상의 기판(1)의 위치를 배기용 판형체(13)에 형성된 삽통공 Q의 위치에 맞춘 상태에서, 상기 기판(1)을 삽통공 Q를 통해 이동시키면서, 기판 수납기 K에 대하여 삽입 및 인출하는 형태로 행한다.
즉, 기판 수납기 K로부터 기판(1)을 인출하는 경우에는, 일반적으로는, 상하 방향으로 배열된 기판(1)의 하방측의 것으로부터 순차적으로 인출하므로, 상하 방향으로 배열된 기판(1) 중 최하단의 기판(1)의 위치가, 배기용 판상체(13)에 형성된 삽통공 Q와 대향하는 위치로 되도록, 승강 장치(24)를 작동시킨다.
본 실시예에 있어서는, 장착 상태에 있어서, 삽통공 Q가, 상하 방향으로 배열되어 수납되는 기판(1) 중 최하단의 기판(1)에 대향하는 대향 위치에 형성되어 있으므로, 전술한 바와 같은, 승강 프레임(24A)을, 청정 공기 송풍 유닛 J가 받이 프레임(23)에 의해 캐치되는 초기 위치로 하강시킨다.
그리고, 상하 방향으로 배열된 기판(1) 중 최하단의 기판(1)이, 배기용 판상체(13)에 형성된 삽통공 Q와 대향하는 위치에 위치하는 상태에 있어서, 반송 컨베이어(25)를 작동시켜, 기판(1)을, 배기용 판상체(13)에 형성된 삽통공 Q를 통해 이동시키면서, 기판 수납기 K로부터 인출한다.
반송 컨베이어(25)의 작동에 의해 기판(1)의 인출이 종료되면, 인출한 기판(1)의 위쪽에 인접하는 기판(1)의 위치가, 배기용 판상체(13)에 형성된 삽통공 Q와 대향하는 위치로 되도록, 승강 장치(24)에 의해 기판 수납기 K를 하강시키고, 그 후, 반송 컨베이어(25)를 작동시켜, 기판 수납기 K로부터 기판(1)을 인출한다. 최상단의 기판(1)의 인출이 종료할 때까지, 승강 장치(24)에 의해 기판 수납기 K를 하강시키는 것과, 반송 컨베이어(25)에 의해 기판(1)을 인출하는 것을 반복한다.
기판 수납기 K에 기판(1)을 수납하는 경우에는, 일반적으로는, 상하 방향으로 배열된 기판(1)의 최상단의 것으로부터 순차적으로 수납하므로, 상하 방향으로 배열된 기판(1) 중 최상단의 기판(1)을 수납하는 위치가, 배기용 판상체(13)에 형성된 삽통공 Q와 대향하는 위치로 되도록, 승강 장치(24)를 작동시킨다.
본 실시예에 있어서는, 전술한 바와 같은, 승강 프레임(24A)을 최하강 위치에 위치시킨다.
그리고, 상하 방향으로 배열된 기판(1) 중 최상단의 기판(1)을 수납하는 위치가, 배기용 판상체(13)에 형성된 삽통공 Q와 대향하는 위치와 일치하는 상태에 있어서, 반송 컨베이어(25)를 작동시켜, 기판(1)을, 배기용 판상체(13)에 형성된 삽통공 Q를 통해 이동시키면서, 기판 수납기 K에 수납한다.
반송 컨베이어(25)의 작동에 의해 기판(1)의 수납이 종료되면, 수납한 기판(1)의 아래쪽에 인접하는 기판(1)의 수납 위치가, 배기용 판상체(13)에 형성된 삽통공 Q와 대향하는 위치로 되도록, 승강 장치(24)에 의해 기판 수납기 K를 상승시키고, 그 후, 반송 컨베이어(25)를 작동시켜, 기판 수납기 K에 기판(1)을 수납한다. 최하단의 기판(1)의 수납이 종료할 때까지, 승강 장치(24)에 의해 기판 수납기 K를 상승시키는 것과, 반송 컨베이어(25)에 의해 기판(1)을 수납하는 것을 반복한다.
승강 장치(24)에서의 승강 구동 장치(24B)로서는, 승강 프레임(24A)을 승강 가능하게 지지하는 슬라이드식의 지지 기구(機構)나 링크식의 지지 기구를, 전동식 실린더 등의 액추에이터에 의해 승강 조작하도록 구성하는 등, 각종 구성의 것을 적용할 수 있다.
반송 컨베이어(25)는, 지지 프레임체(25A)의 상부에, 구동 상태와 정지 상태로 전환 가능한 다수의 반송용 롤러(25B)를 구비하고 있다.
그리고, 지지 프레임체(25A)에는, 승강 프레임(24A)이 초기 위치로부터 최하강 위치로 하강함에 따라, 기판 수납기 K의 격자형의 하부 프레임체(9b)가 삽입되는 요입부(凹入部) N(홈부)이 형성되어 있다.
이상과 같이, 기판 수납기 K는, 청정 공기 송풍 유닛 J의 바닥부의 용기 삽입용 및 인출용 개구 U를 통하여, 청정 공기 송풍 유닛 J로부터 분리할 수 있다. 환언하면, 청정 공기 송풍 유닛 J는, 기판 수납기 K에 대하여 장착할 수 있는 동시에, 기판 수납기 K로부터 분리해 낼 수 있다. 따라서, 세정액 등을 사용하여 기판 수납기 K를 세정할 때는, 기판 수납기 K로부터 청정 공기 송풍 유닛 J를 분리한 상태에서, 기판 수납기 K를 세정할 수 있다.
기판 수납기 K의 세정 장치는, 기판 처리 장치 W와 마찬가지로, 보관 장치 A의 가로측부에 설치하여, 보관 장치 A로부터 반송하도록 해도 되지만, 세정 대상의 기판 수납기 K를 보관 장치 A로부터 출고하여, 별도 설치한 세정 장치에 의해 세정시키도록 해도 된다.
기판 처리 설비의 운전을 관리하는 관리 장치나, 그 관리 장치로부터의 지령에 기초하여, 스태커 크레인 D, 승강 장치(24), 및 반송 컨베이어(25) 등의 기기 종류의 작동을 제어하는 제어 장치가 장비되어, 기판 수납기 K의 반송이나, 기판 수납기 K에 대한 기판(1)의 인출이나 수납이 행해진다. 그 제어 작동은, 전술한 설명으로부터 명백하므로, 본 실시예에 있어서는, 그 상세한 설명은 생략한다.
〔다른 실시예〕
다음에, 다른 실시예를 설명한다
(1) 전술한 실시예에서는, 청정 공기 송풍 유닛 J가, 기판 수납기 K의 상면을 덮는 상판(12)을 구비하는 경우를 예시했지만, 기판 수납기 K의 상부(상면)가 폐쇄된 상태로 형성되는 경우 등에 있어서는, 청정 공기 송풍 유닛 J가 상판(12)을 구비하지 않는 구성으로 해도 된다.
(2) 전술한 실시예에서는, 기판 수납기 K의 4개의 측면 중, 기판(1)이 삽입 및 인출되는 전면에 대향하는 배면을 청정 공기 송풍면으로 하고, 전면을 배기용 면으로 하는 경우를 예시했지만, 기판 수납기 K의 4개의 측면 중, 한쌍의 가로측 면 중 한쪽을 청정 공기 송풍면으로 하고, 나머지의 가로측 면을 배기용 면으로 하는 형태로 실시해도 된다. 이 경우, 팬 필터 유닛 F에 의한 청정 공기의 통풍 방향은, 기판 삽입 및 인출 방향인 전후 방향에 대하여 직교하는, 좌우 방향으로 된다.
(3) 전술한 실시예에서는, 기판 수납기 K의 바닥면에 대응하는 개소에, 용기 삽입용 및 인출용 개구 U가 형성되는 경우를 예시했지만, 예를 들면, 배기용 면에 대응하는 개소에, 용기 삽입용 및 인출용 개구 U를 형성하거나, 또는 기판 수납기 K의 상면에 대응하는 개소에, 용기 삽입용 및 인출용 개구 U를 형성할 수도 있다. 이 경우, 청정 공기 송풍 유닛 J에서의 기판 수납기 K의 바닥면에 대응하는 개소를 닫도록 구성해도 된다.
(4) 전술한 실시예에서는, 팬 필터 유닛 F가, 청정 공기 송풍 유닛 J에서의 청정 공기 송풍면에 대응하는 개소에 설치되는 경우를 예시했지만, 청정 공기 송풍 유닛 J에서의 청정 공기 송풍면에 대응하는 개소와는 상이한 개소에, 팬 필터 유닛 F를 설치하여, 팬 필터 유닛 F로부터의 청정 공기를 청정 공기 송풍면에 안내하는 송풍 덕트를 설치하는 형태로 실시해도 된다.
(5) 상기 실시예에서는, 청정 공기 송풍 유닛 J에, 배기용 면을 덮는 배기용 판상체(13)를 장비하는 경우를 예시했지만, 배기용 판상체(13)를 장비하지 않는 형태로 실시해도 된다.
(6) 전술한 실시예에서는, 기판 수납기 K가, 배기용 면으로부터 기판(1)을 삽입 및 인출 가능하도록 구성되어, 배기용 면을 덮는 배기용 판상체(13)에서의, 기판 수납기 K에 상하 방향으로 배열되어 수납되는 기판(1) 중 최하단의 기판(1)에 대향하는 대향 위치에, 기판(1)을 삽통시키는 삽통공 Q가 형성되는 경우를 예시했지만, 삽통공 Q를, 상기 대향 위치보다 하방측의 위치에 형성하는 형태로 실시해도 된다.
(7) 전술한 실시예에서는, 기판 반출입부 SA에 장비하여, 기판(1)을 기판 삽입 및 인출 방향(예를 들면, 수평 방향)을 따라 이동시켜, 기판(1)을 기판 수납기 K에 대하여 삽입 및 인출하는 기판 이동 장치로서, 기판(1)을 탑재 반송하는 반송 컨베이어(25)를 예시했지만, 기판 이동 장치로서는, 기판 수납기 K 내로 돌출하는 상태와 퇴피(退避)하는 상태로 전환 가능하고, 또한 승강 가능한 기판 지지체를 구비하는 것 등, 각종 형태의 기판 이동 장치를 적용할 수 있다.
1: 기판
10: 차폐판
13; 배기용 판상체
A: 보관 장치
D: 스태커 크레인(반송 장치)
F: 팬 필터 유닛
J: 청정 공기 송풍 유닛
K: 기판 수납기
Q: 삽통공
S: 수납부
SA: 기판 반출입부
T: 통기공
U: 용기 삽입용 및 인출용 개구

Claims (5)

  1. 기판을 상하 방향으로 간격을 두고 배열하는 상태로 수납하는 직육면체형의 기판 수납기에 대하여, 분리 가능하게 장착되는 청정 공기 송풍 유닛으로서,
    상기 기판 수납기는, 상기 기판 수납기를 수납하는 복수 개의 수납부와, 상기 기판 수납기에 대하여 상기 기판의 인출 및 수납을 행하는 기판 반출입부(搬出入部)와, 상기 수납부와 상기 기판 반출입부와의 사이에서 상기 기판 수납기를 반송하는 반송 장치를 구비한 보관 장치에 보관되는 수납기이며,
    상기 기판 수납기의 4개의 측면 중 1개의 측면을 청정 공기 송풍면으로 하고, 또한 상기 청정 공기 송풍면에 대향하는 측면을 배기용 면으로 하여, 상기 청정 공기 송풍면으로부터 상기 배기용 면을 향해 청정 공기를 통풍하는 팬 필터 유닛과,
    상기 기판 수납기의 4개의 측면 중, 상기 청정 공기 송풍면 및 상기 배기용 면을 제외한 2개의 측면을 덮는 한쌍의 차폐판(遮蔽板)
    을 포함하는, 청정 공기 송풍 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 팬 필터 유닛은, 상기 청정 공기 송풍면에 대응하는 개소(箇所)에 설치되어 있는, 청정 공기 송풍 유닛.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 배기용 면을 덮는 배기용 판상체(板狀體)를 더 포함하고,
    상기 배기용 판상체에, 복수 개의 배기용의 통기공이 평면형으로 분산되어 형성되어 있는, 청정 공기 송풍 유닛.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판 수납기의 바닥면에 대응하는 개소에, 상기 기판 수납기를 삽입 및 인출하기 위한 용기 삽입용 및 인출용 개구가 형성되어 있는, 청정 공기 송풍 유닛.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기판 수납기는, 상기 배기용 면으로부터 상기 기판을 삽입 및 인출 가능하도록 구성되며,
    상기 배기용 판상체에서의, 상기 기판 수납기에 상하 방향으로 배열되어 수납되는 상기 기판 중의 최하단의 기판에 대향하는 대향 위치 또는 상기 대향 위치보다 하방측의 위치에, 상기 기판을 삽통(揷通)시키는 삽통공이 형성되어 있는, 청정 공기 송풍 유닛.
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