JP5188231B2

JP5188231B2 - 高清浄パスボックス

Info

Publication number: JP5188231B2
Application number: JP2008080266A
Authority: JP
Inventors: 龍幾大神
Original assignee: Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Current assignee: Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Priority date: 2008-03-26
Filing date: 2008-03-26
Publication date: 2013-04-24
Anticipated expiration: 2028-03-26
Also published as: JP2009236354A

Description

本発明は、汚染された空気をパスボックスから排出し、クリーンルームを高清浄に保つことが可能なパスボックスに関する。

一般に、クリーンルームは、給気と排気を制御して室外よりも高い室内空気圧に保ちつつ、塵埃等を除去して室内空気を清浄に維持するように制御されている。そのためクリーンルーム内の物品の搬入、搬出の際に、塵埃等がクリーンルームへ入るのを防止するため、クリーンルームと室外とを遮蔽する壁にパスボックスが設けられ、ユーザがパスボックスを介して物品の搬入及び搬出を行うようにしている。

パスボックスを介して物品の搬入を行う際に、パスボックスのクリーンルーム室外側（以降、室外側とする）の扉が開けられ、パスボックスと室外とが同じ空気圧となり、パスボックス内に室外の塵埃等が入る恐れがある。更に、パスボックス内に塵埃等が入った恐れのある状態で室外側の扉が閉じられ、クリーンルーム側の扉が開けられた場合に、パスボックス内に入った恐れのある塵埃等が、クリーンルーム内に入り、クリーンルームが汚染される危険性がある。そこで、クリーンルームの給気ファンの速度よりも、パスボックスの給気ファンの速度を速く設定し、クリーンルームとパスボックスを繋ぐ扉が常に開放状態であっても、クリーンルーム内とパスボックス内の空気の清浄度を所定のレベルに保つことができるパスボックスが開発されている（例えば、特許文献１を参照。）。また、クリーンルーム側のパスボックスに空気導入用開口部と、室外側のパスボックスに空気排出用開口部が設けられ、クリーンルームと室外との空気圧の差を利用して、空気導入用開口部でクリーンルームの高清浄空気がパスボックスへ流入し、空気排出用開口部でパスボックスの空気が室外へ排出し、簡易的にパスボックス内の空気の清浄度をクリーンルームの清浄度と同等に保持することができるパスボックスが開発されている（例えば、特許文献２、３、４を参照。）。
特開２００５−３４０４３５号公報実開昭５６−１２６０３４号公報特開昭６０−１０１４３７号公報実開昭５４−２５７７０号公報

特許文献１には、パスボックスの給気ファンの速度を速く設定し、クリーンルームとパスボックスを繋ぐ扉が常に開放状態であっても、クリーンルーム内とパスボックス内の空気の清浄度を所定のレベルに保つことができるパスボックスが開示されているが、常にファンが稼働される為、多量のエネルギーを要する。また、特許文献２から４には、空気導入用開口部と空気排出用開口部を設け、簡易的にパスボックス内の空気の清浄度をクリーンルームの清浄度と同等に保持することができるパスボックスが開示されているが、物品の搬入と搬出の際にパスボックス内に入ってしまった塵埃が排出されるには、時間がかかってしまう。

そこで本発明では、高清浄パスボックスにおいて、上記問題に鑑み、短時間かつエネルギー消費量を抑えて汚染された空気をパスボックスから排出し、クリーンルームを高清浄に保つことを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の高清浄パスボックスに、クリーンルームの空気をパスボックスに通すクリーンルーム側孔部と、パスボックス内の空気を室外に通す室外側孔部と、空気を通すべき方向に送風する送風部と、空気を送風する送風部の送風能力をパスボックス内の塵埃濃度に基づいて制御する送風部制御部を設けた。

詳細には、本発明は、室外よりも室内空気圧の高いクリーンルームと該クリーンルームの該室外との間で物品の搬入、搬出を行うために、該クリーンルーム及び該室外との間に設けられ、該クリーンルームと該室外のそれぞれに、物品の搬入、搬出用の開閉自在の開閉部を有するパスボックスであって、前記クリーンルーム側に、該クリーンルームの空気を前記パスボックスに通すクリーンルーム側孔部と、前記室外側に、前記パスボックス内の空気を該室外に通す室外側孔部と、前記クリーンルーム側孔部と前記室外側孔部の少なくとも一方に設けられ、空気を該クリーンルームから該室外の方向に送風する送風部と、空気を送風する前記送風部の送風能力を前記パスボックス内の塵埃濃度に基づいて制御する送風部制御部と、を備える。

本発明の高清浄パスボックスは、クリーンルームと室外との空気圧の差により、クリーンルーム側孔部がクリーンルームの空気をパスボックス内へ通し、室外側孔部がパスボックスの空気を室外へ通す。更に、クリーンルーム及び室外に設けられた開閉部が閉められている状態でも、クリーンルーム側孔部と室外側孔部が空気を通すことにより、クリーンルーム内の清浄な空気をパスボックス内に通し、パスボックス内の空気を室外へ通す。従って、本発明のパスボックスは、パスボックス内にクリーンルームの清浄な空気が流れ、パスボックス内の空気が室外に排出されている。

また、送風部は、クリーンルーム側孔部と室外側孔部の少なくとも一方に設けられ、空気をクリーンルームから室外の方向に送風する。そして、送風部制御部は、パスボックス内の塵埃濃度に基づいて、送風部の送風能力を制御する。例えば、パスボックス内の塵埃濃度が高い場合は、送風部の送風能力が上げられる。従って、パスボックス内の塵埃濃度が高い場合でも、本発明の高清浄パスボックスは、短時間でパスボックス内の塵埃を室外に排出することができる。

ここで本発明において、前記送風部制御部は、前記パスボックス内の塵埃濃度に基づき、該パスボックス内の塵埃濃度が前記クリーンルーム内の塵埃濃度と等しくなる為の前記送風部の送風能力を決定する送風能力決定部と、前記送風部制御部が前記送風能力決定部によって決定された送風能力によって、前記パスボックス内の塵埃濃度が前記クリーンルーム内の塵埃濃度と等しく制御した結果、前記送風部からの送風を停止させる管理部と、を有してもよい。

送風能力判断部は、パスボックス内の塵埃濃度が高い場合は、送風部の送風能力を上げるように判断することにより、短時間でパスボックス内の塵埃を室外に排出することができる。管理部は、パスボックスの塵埃濃度がクリーンルームの塵埃濃度と等しくなった際に、送風部からの送風を停止させ、パスボックス内に塵埃が入った時のみ送風部が送風するようにする。従って、本発明の高清浄パスボックスは、短時間でパスボックス内の塵埃を室外に排出し、パスボックス内が清浄の場合は、送風部からの送風を停止することにより、送風部のエネルギー消費量を抑えることができる。

ここで、本発明の高清浄パスボックスは、前記クリーンルーム側孔部と前記室外側孔部の少なくとも一方に、塵埃を取得して空気を清浄させる空気濾過部を更に備えてもよい。

クリーンルーム側孔部と室外側孔部の少なくとも一方に設けられた空気遮蔽部は、孔部を通る空気の塵埃を取得することができる為、クリーンルームへ塵埃が入るのを防止する
ことができる。従って、本発明の高清浄パスボックスは、空気遮蔽部をクリーンルーム側孔部と室外側孔部の少なくとも一方に設けることにより、速やかに且つ効率的に塵埃を取得することができる為、クリーンルームを高清浄に保つことができる。

ここで、本発明の高清浄パスボックスは、高速ジェットエアーにより、前記室外から前記パスボックス内へ搬入する物品に付着している塵埃を取り除く噴射部を更に備えてもよい。

噴射部は、高速ジェットエアーを物品に噴射することにより、物品に付着した塵埃を強制的に取り除くことができる。従って、本発明の高清浄パスボックスは、塵埃が付着した物品をクリーンルームに搬入することが無く、クリーンルームを高清浄に保つことができる。

また、本発明の高清浄パスボックスは、前記クリーンルーム側開閉部と前記室外側開閉部が同時に開かないようにするエアロックを更に備えてもよい。

クリーンルーム側開閉部と室外側開閉部が同時に開いた場合は、室外からの多量の塵埃がパスボックスを通してクリーンルーム内へ入る可能性が高い。従って、本発明の高清浄パスボックスは、エアロックによって両方の開閉部が同時に開かないようにし、クリーンルーム内に塵埃が入らないようにすることができる。

本発明によれば、短時間かつエネルギー消費量を抑えて汚染された空気をパスボックスから排出し、クリーンルームを高清浄に保ち、クリーンルーム内の物品の搬入及び搬出を行う事ができるパスボックスを提供することが可能となる。

ここで、本発明に係る高清浄パスボックス１の実施例について、図面に基づいて説明する。以下に示す実施例は例示であり、本発明はこれらに限定されるものではない。尚、本発明に係る実施例の形態の高清浄パスボックス１は、送風部と空気濾過部をクリーンルーム側孔部と室外側孔部の両方に設けたものとするが、送風部と空気濾過部は、クリーンルーム側孔部と室外側孔部のどちらか一方に設けてもよい。

本発明の実施例に係る高清浄パスボックス１について説明する。図１は、本発明の実施例に係る高清浄パスボックス１を示す斜視図である。図２は、本発明の実施例に係る高清浄パスボックス１の側面図である。図３は、本発明の実施例に係る高清浄パスボックス１のクリーンルーム１１側から見た正面図である。図４は、本発明の実施例に係る高清浄パスボックス１の室外１２側、例えば廊下側から見た正面図である。ここでのクリーンルーム１１は電子工業用とし、クリーンルーム１１を陽圧としている。

パスボックスは、図１に示すように、クリーンルーム１１と室外１２とを遮蔽する壁５に開けられた貫通孔に取り付けられ、室外１２に設けられた開閉部である室外側扉２と、クリーンルーム１１に設けられた開閉部であるクリーンルーム側扉３が備えられている。物品の搬入、搬出の際の扉の動作は次の手順で行われる。物品を搬入する場合は、室外側扉２が開かれ、物品が室外１２からパスボックスに入れられ、室外側扉２が閉められ、クリーンルーム側扉３が開かれ、物品がパスボックスからクリーンルーム１１に搬入され、クリーンルーム側扉３が閉められる。物品を搬出する場合は、クリーンルーム側扉３が開かれ、物品がクリーンルーム１１からパスボックスに入れられ、クリーンルーム側扉３が閉められ、室外側扉２が開かれ、物品がパスボックスから室外１２へ搬出され、室外側扉２が閉められる。

本発明の実施例に係る高清浄パスボックス１の構成について説明する。高清浄パスボックス１は、図２に示すように、クリーンルーム１１側に、クリーンルーム１１の空気をパスボックスに通すクリーンルーム側孔部７と、室外１２側にパスボックスの空気を室外１２に排出する室外側孔部８と、クリーンルーム１１から室外１２への方向に送風する送風部である、クリーンルーム側孔部７に設けられたクリーンルーム側ファン１４２及び室外側孔部８に設けられた室外側ファン１４３と、送風部の送風能力をパスボックス内の塵埃濃度に基づいて制御する送風部制御部を有する制御部１７とを備える。更に、本発明の高清浄パスボックス１は、クリーンルーム側孔部７と室外側孔部８に設けられた、空気の塵埃を取得して空気を浄化する空気濾過部であるフィルタ１０と、物品に付着している塵埃を取り除く噴射部であるノズル９０１及び空気を送風する送風機９０２と、クリーンルーム側扉３と室外側扉２が同時に開かないようにするエアロック１６とを備える。

次に、本発明の実施例に係る高清浄パスボックス１の各構成について具体的に説明する。クリーンルーム側孔部７は、図３に示すように、クリーンルーム側扉３の隣に設けられ、略四角形の形状の孔である。尚、クリーンルーム側孔部７の位置は、クリーンルーム１１側にあればよく、クリーンルーム側扉３の隣に限定されない。クリーンルーム側孔部７は、室内空気圧の高いクリーンルーム１１と室内空気圧の低い室外１２の空気圧の差により、クリーンルーム１１の空気をパスボックス内へ通すことができる。一方、室外側孔部８は、図４に示すように、室外側扉２の下に設けられ、略四角形の孔である。尚、室外側扉２の位置は、室外１２側であればよく、室外側扉２の下に限定されない。室外側孔部８は、室外１２よりも室内空気圧の高いクリーンルーム１１と室外１２との空気圧の差により、パスボックス内の空気を室外１２へ通すことができる。従って、本発明の高清浄パスボックス１は、パスボックス内にクリーンルーム１１の清浄な空気が一方向で流れ、パスボックス内の空気が室外１２に排出される。

クリーンルーム側ファン１４２は、図３に示すように、クリーンルーム側孔部７に設けられ、クリーンルーム１１からパスボックスに通す空気の方向に送風する。室外側ファン１４３は、図４に示すように、室外側孔部８に設けられ、パスボックスから室外１２に通す空気の方向に送風する。各々のファン１４２，１４３が稼働することによって、空気を通すべき方向に送風する。以上により、本発明の高清浄パスボックス１は、短時間でパスボックス内の塵埃を室外１２に排出し、クリーンルーム１１を高清浄にすることができる。

制御部１７は、図２に示すように、パスボックス内に設けられており、クリーンルーム側孔部７に設けられたクリーンルーム側ファン１４２と、室外側孔部８に設けられた室外側ファン１４３と、ノズル９０１と、送風機９０２と、エアロック１６とを接続している。送風部制御部１５は、空気を送風する送風部であるクリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３の送風能力をパスボックス内の塵埃濃度に基づいて制御する。送風部制御部１５は、送風能力決定部１５１と管理部１５４とを有する。送風能力決定部１５１は、パスボックス内の塵埃濃度に基づき、パスボックスの塵埃濃度がクリーンルーム１１の塵埃濃度と等しくなる為のクリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３の送風能力を決定する。

送風能力を決定する方法について説明する。１時間に３０回換気するファンを用いた場合の、ファンの換気回数ｎ回目の塵埃濃度と、塵埃がパスボックスに入った汚染時の塵埃濃度と、ファンの換気回数の関係が、以下に示す（１）式によって規格化されている。（１）式のグラフは、図５に示す。（１）式により、クラス１００００であるクリーンルーム１１と、パスボックスが同じ清浄度になる為のファンの換気回数を求める。次に、（２）式により、（１）式で算出したパスボックスがクリーンルームと同じクラス１００００
になる為のファンの換気回数と、パスボックス内の塵埃を排出する時間と、パスボックスの容積によって、ファンの風量を決定することができる。

（式中、Ｎｒｎは換気回数ｎ回目の塵埃濃度、Ｎｒｏは汚染時の塵埃濃度、ｎは換気回数、クラス１００００は１Ｎｒである。）

（式中、ｈはパスボックスの高さ、ｌはパスボックスの横の長さ、ｗはパスボックスの縦の長さ、ｎはクリーンルームと同じクラス１００００になるファンの換気回数、ｔは塵埃を排出する時間、Ｒはｔ時間に塵埃を排出する為のファンの風量）

管理部１５４は、送風部制御部１５が送風能力決定部１５１によって決定された送風能力によって、パスボックス内の塵埃濃度がクリーンルーム１１の塵埃濃度と等しく制御した結果、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３からの送風を停止させ、パスボックス内に塵埃が入った時のみクリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３が送風するようにする。従って、本発明の高清浄パスボックス１は、短時間でパスボックス内の塵埃を室外１２に排出し、パスボックス内が清浄の場合は、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３からの送風を停止することにより、エネルギー消費量を抑えることができる。送風部制御部１５の制御方法の詳しい説明については後述する。

空気濾過部であるフィルタ１０は、図２に示すように、クリーンルーム側孔部７と室外側孔部８に設けられ、各々の孔部７，８を通る空気の塵埃を取得する。フィルタ１０は、空気に含まれる微粒子を高性能で捕集し、高い清浄度を保つことができるＨＥＰＡフィルタ１０１（high-efficiency particulate air filter）でもよい。ＨＥＰＡフィルタ１０１が、各々の孔部７，８を通る空気の塵埃を速やかに且つ効率的に取得することにより、クリーンルーム１１を高清浄に保つことができる。

循環ファン６は、図２に示すように、パスボックス内の下部に設けられ、常にパスボックス内の空気を循環させている。また、パスボックス内の上部には、ＨＥＰＡフィルタ１０１が設けられ、循環ファン６によって循環している空気がＨＥＰＡフィルタ１０１によって高い清浄度を保つことができる。

噴射部であるノズル９０１及び送風機９０２は、図２に示すように、パスボックス内に設けられ、循環ファン６によって循環され、パスボックス内のＨＥＰＡフィルタ１０１によって清浄された空気を、ノズル９０１及び送風機９０２により高速ジェットエアーで噴射することにより、パスボックス内に搬入された物品に付着している塵埃を強制的に取り除くことができる。従って、本発明の高清浄パスボックス１は、ノズル９０１から噴射された高速ジェットエアーによって物品に付着した塵埃を取り除く為、塵埃が付着した物品をクリーンルーム１１に搬入することがなく、クリーンルーム１１を高清浄に保つことができる。

エアロック１６は、図２に示すように、クリーンルーム側扉３と室外側扉２が同時に開かないようにするために、クリーンルーム側扉３と室外側扉２にそれぞれ設けられている。クリーンルーム側扉３と室外側扉２が同時に開いた場合は、室外１２からの多量の塵埃
がパスボックスを通してクリーンルーム１１内へ入る可能性が高い。従って、本発明の高清浄パスボックス１は、エアロック１６によって両方の扉が同時に開かないようにし、クリーンルーム１１内に塵埃が入らないようにすることができる。

物品の搬入、搬出における、パスボックスの扉の開閉とクリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３と循環ファン６の運転の関係を説明する。尚、循環ファン６を備えないタイプのパスボックスもあり、それによっても本発明は実施できる。図６は、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３と循環ファン６の、室外側扉２とクリーンルーム側扉３の開閉における運転状態を表す表である。図７は、室外側扉２を開け、物品２０をパスボックス内へ搬入させた際の高清浄パスボックス１の側面図である。図８は、物品２０をパスボックス内へ搬入し、室外側扉２を閉めた際の高清浄パスボックス１の側面図である。図９は、パスボックス内の塵埃濃度がクリーンルーム１１の塵埃濃度と等しくなった際の高清浄パスボックス１の側面図である。図１０は、クリーンルーム側扉３を開け、物品２０をクリーンルーム１１へ搬入した際の側面図である。

循環ファン６は、クリーンルーム側扉３と室外側扉２の開閉に係わらず、常に稼働している。循環ファン６は、パスボックス内の空気を循環させ、パスボックス内に設けられているＨＥＰＡフィルタ１０１によってパスボックス内の空気を清浄させている。

物品が室外１２からクリーンルーム１１へ搬入される場合について説明する。図７に示すように、室外側扉２が開けられ、室外１２からパスボックス内へ物品２０が搬入される。室外側扉２が開けられたと同時に、図６に示すように、クリーンルーム側ファン１４２の運転が開始される。図６及び図８に示すように、室外側扉２が閉められると、室外側ファン１４３及びクリーンルーム側ファン１４２はタイマ設定で所定時間運転後停止する。所定時間後のパスボックス内の塵埃濃度がクリーンルーム１１の塵埃濃度よりも高い場合は、室外側ファン１４２及びクリーンルーム側ファン１４２は運転を続ける。パスボックス内の塵埃濃度がクリーンルーム１１の塵埃濃度と等しくなったら、図６及び図９に示すように、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３が停止する。その後、図１０に示すように、クリーンルーム側扉３が開けられ、物品２０がクリーンルーム１１へ搬入される。その際、図６に示すように、クリーンルーム側ファン１４２と、室外側ファン１４３が停止した状態である。そして、クリーンルーム側扉３が閉められると、物品２０を室外１２からクリーンルーム１１へ搬入する一連の動作が終了する。

次に、物品２０がクリーンルーム１１から室外１２へ搬出される場合について説明する。物品２０がクリーンルーム１１から室外１２へ搬出される場合の図は省略する。物品２０がクリーンルーム１１から室外１２へ搬出される場合は、先ず、クリーンルーム側扉３が開けられ、物品２０をパスボックス内へ搬出する。その際、図６に示すように、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３は稼働しない。これは、クリーンルーム１１が室外１２に対して陽圧であるため、クリーンルーム１１から室外１２へ清浄な空気が流出しているからである。クリーンルーム側扉３が閉められ、室外側扉２が開けられると、クリーンルーム側ファン１４２が稼働する。物品２０をパスボックス内から室外１２へ搬出し、室外側扉２が閉められると、室外側ファン１４３も稼働し、パスボックス内がクリーンルーム１１と同じ塵埃濃度になったら、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３の稼働が止まる。クリーンルーム側ファン１４２と、室外側ファン１４３と、循環ファン６の稼働動作により、汚染された空気をパスボックスから排出し、クリーンルーム１１を高清浄に保ち、クリーンルーム１１内の物品の搬入及び搬出を行う事が可能となる。

図１１は、本実施例の高清浄パスボックス１の機能ブロック図である。制御部１７は、ＣＰＵ、メモリ等を含むコンピュータと、コンピュータ上で実行されるプログラムによっ
て実行することができる。制御部１７は、送風部制御部１５内の、塵埃濃度取得部１５２と、塵埃濃度判断部１５３と、送風能力決定部１５１と、送風部指示部１５９と、管理部１５４から構成され、送風能力決定部１５１は、送風部風量決定部１５５と、送風部稼働時間決定部１５６から構成されている。管理部１５４は、送風部稼働時間調整部１５７と、送風部風量調整部１５８から構成されている。制御部１７は更に、扉開閉情報取得部１７１とジェット流指示部１７２を有する。以下、制御部１７内の構成について説明する。

塵埃濃度取得部１５２は、パスボックス内に設けられている塵埃濃度検知部１８によって検知された塵埃濃度を取得する。送風能力決定部１５１内の送風部風量決定部１５５は、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３の風量を決定する。送風能力決定部１５１内の送風部稼働時間決定部１５６は、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３の稼働する時間を判断する。送風部指示部１５９は、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３が稼働するように指示を出す。管理部１５４内の送風部稼働時間調整部１５７は、パスボックス内の塵埃濃度に基づいて、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３の稼働時間を調整する。管理部１５４内の送風部風量調整部１５８は、パスボックス内の塵埃濃度に基づいて、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３の風量を調整する。扉開閉情報取得部１７１は、クリーンルーム側扉３と室外側扉２に設けられた扉開閉検知部１９（図２参照）からクリーンルーム側扉３と室外側扉２の開閉情報を取得する。ジェット流指示部１７２は、ノズル９０１からジェット流が噴射するように指示を出す。

図１２は、本実施例の高清浄パスボックス１の制御フロー図である。図１１に示す機能ブロック図を参照しながら、以下具体的に高清浄パスボックス１の温度調整について説明する。

ステップＳ０１では、扉開閉情報取得部１７１が、扉開閉検知部１９から扉開閉情報を取得し、室外側扉２が開かれたという情報を取得すると、ステップＳ０２へ進む。室外側扉２が開かれていない情報を取得すると、ステップＳ１１へ進む。

ステップＳ０２では、ジェット流指示部１７２がジェット流を噴射するように指示を出し、ノズル９０１と送風機９０２によってジェット流が形成される。ジェット流が形成されることにより、パスボックス内に搬入された物品に付着している塵埃が強制的に取り除かれる。そして、送風部指示部１５９が、一定の風量でクリーンルーム側ファン１４２を稼働させるように指示し、クリーンルーム側ファン１４２が稼働する。クリーンルーム側ファン１４２が稼働することにより、パスボックス内にクリーンルーム１１の清浄な空気が入り、パスボックス内の塵埃が室外１２へ排出され易くなり、更にパスボックス内に塵埃が入りにくくなる。ノズル９０１と送風機９０２によってジェット流が形成され、クリーンルーム側ファン１４２が稼働すると、ステップＳ０３へ進む。

ステップＳ０３では、扉開閉情報取得部１７１が、扉開閉検知部１９から扉開閉情報を取得し、室外側扉２が閉められたという情報を取得する。室外１２からパスボックス内へ物品が搬入されると、室外側扉２が閉められる。室外側扉２が閉められたという情報の取得が完了すると、ステップＳ０４へ進む。

ステップＳ０４では、送風部指示部１５９が、一定風量で室外側ファン１４３を稼働させる。室外側ファン１４３が稼働することにより、パスボックス内の塵埃が室外１２へ排出され易くなる。室外側ファン１４３が稼働するとステップＳ０５へ進む。

ステップＳ０５では、パスボックス内の塵埃濃度を塵埃濃度検知部１８が検知し、塵埃濃度取得部１５２が塵埃濃度を取得する。室外側扉２を開けて、物品をパスボックス内へ
搬入した際に、パスボックス内へ塵埃が入った恐れがあり、パスボックス内の塵埃の濃度が取得される。塵埃濃度が取得されたらステップＳ０６へ進む。

ステップＳ０６では、送風能力決定部１５１が塵埃濃度取得部１５２によって取得された塵埃濃度に基づいて室外側ファン１４３とクリーンルーム側ファン１４２の能力を決定する。送風部風量決定部１５５が、室外側ファン１４３とクリーンルーム側ファン１４２の風量を（１）式と（２）式により決定する。送風部稼働時間決定部１５６は、予め設定されている送風部稼働時間で、送風部風量決定部１５５で決定された風量を、室外側ファン１４３とクリーンルーム側ファン１４２が送風することが難しい場合、予め設定された時間よりも長い時間を送風時間として決定する。一方、室外側ファン１４３とクリーンルーム側ファン１４２が予め設定された時間で送風することができる場合は、予め設定された時間を送風時間として決定する。例えば、パスボックス内に塵埃等が入り、パスボックス内がクラス３０００００まで汚染された場合、パスボックス内がクラス３０００００からクリーンルーム１１と同じクラス１００００にされる。クラス３０００００は３０Ｎｒ、クラス１００００は１Ｎｒである為、（１）式と図５によって、１時間に３０回換気するファンを用いた場合において、換気を１時間に１１回以上行えばよいと判断できる。高さが６００ｍｍ、横が４００ｍｍ、縦が６００ｍｍのパスボックスで、予め設定された時間である１分間でパスボックス内をクラス３０００００からクラス１００００にするように設定されている場合は、送風部風量決定部１５５は、（２）式によって、９６ｍ³／ｈ
の風量をファンが稼働するように判断する。送風部稼働時間決定部１５６は、予め設定された１分間で室外側ファン１４３とクリーンルーム側ファン１４２が９６ｍ³／ｈの風量
を送風することができると決定したら、ステップＳ０７へ進む。

ステップＳ０７では、送風部稼働時間調整部１５７が送風部稼働時間決定部１５６によって決定された稼働時間と、送風部風量調整部１５８が送風部風量決定部１５５によって決定された風量で、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３を稼働させる。クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３が判断された稼働時間と風量で稼働されたら、ステップＳ０８へ進む。

ステップＳ０８では、送風部稼働時間決定部１５６が決定した時間経過後、塵埃濃度判断部１５３が塵埃濃度取得部１５２から取得したパスボックス内の塵埃濃度がクリーンルーム１１内の塵埃濃度と等しいか判断する。パスボックス内の塵埃濃度がクリーンルーム１１内の塵埃濃度と等しい場合は、ステップＳ０９へ進む。パスボックス内の塵埃濃度がクリーンルーム１１内の塵埃濃度と等しくなく、パスボックス内が汚染されている場合は、ステップＳ０５へ戻る。

ステップＳ０９では、ジェット流指示部１７２がノズル９０１と送風機９０２にジェット流の噴射を停止するように指示を出し、ジェット流を停止させる。そして、送風部指示部１５９がクリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３を停止させるように指示し、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３が停止する。ノズル９０１と送風機９０２によるジェット流の停止と、クリーンルーム側ファン１４２と室外側ファン１４３の稼働の停止が完了したら、ステップＳ１０へ進む。

ステップＳ１０では、クリーンルーム側扉３が開けられる。物品をパスボックス内からクリーンルーム１１へ搬入することができる。

ステップＳ１１では、扉開閉情報取得部１７１が、扉開閉検知部１９から扉開閉情報を取得し、クリーンルーム側扉３が開かれた情報を取得した場合、ステップＳ１２へ進む。クリーンルーム側扉３が開かれていない情報を取得した場合は、ステップＳ０１へ戻る。

ステップＳ１２では、扉開閉情報取得部１７１が、扉開閉検知部１９から扉開閉情報を取得し、クリーンルーム側扉３が閉められたという情報を取得する。クリーンルーム１１からパスボックス内へ物品が搬出され、クリーンルーム側扉３が閉められる。クリーンルーム側扉３が閉められたという情報を取得すると、ステップＳ１３へ進む。

ステップＳ１３では、扉開閉情報取得部１７１が、扉開閉検知部１９から扉開閉情報を取得し、室外側扉２が開けられたという情報を取得する。室外側扉２が開けられたという情報を取得すると、ステップＳ１４へ進む。

ステップＳ１４では、送風部指示部１５９が、クリーンルーム側ファン１４２を稼働するように指示し、クリーンルーム側ファン１４２を稼働させる。クリーンルーム側ファン１４２が稼働することにより、パスボックス内にクリーンルーム１１の清浄な空気が入り、パスボックス内の塵埃が室外１２へ排出され易くなり、更にパスボックス内に塵埃が入りにくくなる。クリーンルーム側ファン１４２が稼働すると、ステップＳ１５へ進む。

ステップＳ１５では、ステップＳ０３からステップＳ０８が実行される。ステップＳ０８において、パスボックス内の塵埃濃度がクリーンルーム１１内の塵埃濃度と等しい場合は、ステップＳ１６へ進む。パスボックス内の塵埃濃度がクリーンルーム１１内の塵埃濃度と等しくない場合は、ステップＳ０５へ戻る。

ステップＳ１６は、送風部指示部１５９がクリーンルーム側ファン１４２と、室外側ファン１４３を停止させる。

以上により、本実施例の高清浄パスボックス１は、短時間かつエネルギー消費量を抑えて汚染された空気をパスボックスから排出し、クリーンルームを高清浄に保ち、クリーンルーム内の物品の搬入及び搬出を行う事が可能となる。

実施例の高清浄パスボックスの斜視図である。実施例の高清浄パスボックスの側面図である。実施例の高清浄パスボックスのクリーンルーム側から見た正面図である。実施例の室外から見た正面図である。実施例の高清浄パスボックスの（１）式のグラフである。実施例のクリーンルーム側送風部と室外側送風部と循環ファンとノズルの動作を表す表である。実施例の室外側扉が開けられた際の、高清浄パスボックスを表す断面図である。実施例の室外側扉が閉められた際の、高清浄パスボックスを表す断面図である。実施例の室外側扉が閉められた際の、所定時間経過後の高清浄パスボックスを表す断面図である。実施例のクリーンルーム側扉が開けられた際の、高清浄パスボックスを表す断面図である。本実施例の高清浄パスボックスの機能ブロック図である。本実施例の高清浄パスボックスの制御フロー図である。

符号の説明

１・・・高清浄パスボックス
２・・・室外側扉
３・・・クリーンルーム側扉
６・・・循環ファン
７・・・クリーンルーム側孔部
８・・・室外側孔部
１１・・・クリーンルーム
１２・・・室外
１４２・・・クリーンルーム側ファン
１４３・・・室外側ファン
１５・・・送風部制御部
１５１・・・送風能力決定部
１５２・・・塵埃濃度取得部
１５３・・・塵埃濃度判断部
１５４・・・管理部

Claims

室外よりも室内空気圧の高いクリーンルームと該クリーンルームの該室外との間で物品の搬入、搬出を行うために、該クリーンルーム及び該室外との間に設けられ、該クリーンルームと該室外のそれぞれに、物品の搬入、搬出用の開閉自在の開閉部を有するパスボックスであって、
前記クリーンルーム側に、該クリーンルームの空気を前記パスボックスに通すクリーンルーム側孔部と、
前記室外側に、前記パスボックス内の空気を該室外に通す室外側孔部と、
前記クリーンルーム側孔部と前記室外側孔部の少なくとも一方に設けられ、空気を該クリーンルームから該室外の方向に送風する送風部と、
前記送風部による送風の停止を前記パスボックス内の塵埃濃度に基づいて制御する送風部制御部と、
を備える、
高清浄パスボックス。
前記送風部制御部は、前記室外側の開閉部が開いた際に前記送風部による送風を開始させる、
請求項１に記載の高清浄パスボックス。
前記送風部制御部は、前記クリーンルーム側の開閉部が開いた際には前記送風部による送風を開始させず、前記室外側の開閉部が開いた際に前記送風部による送風を開始させる、
請求項１に記載の高清浄パスボックス。
前記送風部制御部は、前記パスボックス内の塵埃濃度が前記クリーンルーム内の塵埃濃度と等しくなる為の前記送風部の送風時間を決定する送風能力決定部と、
前記送風時間の経過後、前記送風部からの送風を停止させる管理部と、を有する、
請求項１から３の何れか一項に記載の高清浄パスボックス。
前記クリーンルーム側孔部と前記室外側孔部の少なくとも一方に、塵埃を取得して空気
を清浄させる空気濾過部を更に備える、
請求項１から４の何れか一項に記載の高清浄パスボックス。
前記室外側の開閉部が開いた際に高速ジェットエアーの噴射を開始し、前記室外から前記パスボックス内へ搬入する物品に付着している塵埃を取り除く噴射部を更に備える、
請求項１から５の何れか一項に記載の高清浄パスボックス。
前記クリーンルーム側扉と前記室外側扉が同時に開かないようにするエアロックを更に備える、
請求項１から６の何れか一項に記載の高清浄パスボックス。