JP2009236354A - 高清浄パスボックス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
室外よりも室内空気圧の高いクリーンルームと該クリーンルームの該室外との間で物品の搬入、搬出を行うために、該クリーンルーム及び該室外との間に設けられ、該クリーンルームと該室外のそれぞれに、物品の搬入、搬出用の開閉自在の開閉部を有するパスボックスであって、前記クリーンルーム側に、該クリーンルームの空気を前記パスボックスに通すクリーンルーム側孔部と、前記室外側に、前記パスボックス内の空気を該室外に通す室外側孔部と、前記クリーンルーム側孔部と前記室外側孔部の少なくとも一方に設けられ、空気を該クリーンルームから該室外の方向に送風する送風部と、空気を送風する前記送風部の送風能力を前記パスボックス内の塵埃濃度に基づいて制御する送風部制御部と、を備えた。
【選択図】図2
Description
ことができる。従って、本発明の高清浄パスボックスは、空気遮蔽部をクリーンルーム側孔部と室外側孔部の少なくとも一方に設けることにより、速やかに且つ効率的に塵埃を取得することができる為、クリーンルームを高清浄に保つことができる。
になる為のファンの換気回数と、パスボックス内の塵埃を排出する時間と、パスボックスの容積によって、ファンの風量を決定することができる。
がパスボックスを通してクリーンルーム11内へ入る可能性が高い。従って、本発明の高清浄パスボックス1は、エアロック16によって両方の扉が同時に開かないようにし、クリーンルーム11内に塵埃が入らないようにすることができる。
て実行することができる。制御部17は、送風部制御部15内の、塵埃濃度取得部152と、塵埃濃度判断部153と、送風能力決定部151と、送風部指示部159と、管理部154から構成され、送風能力決定部151は、送風部風量決定部155と、送風部稼働時間決定部156から構成されている。管理部154は、送風部稼働時間調整部157と、送風部風量調整部158から構成されている。制御部17は更に、扉開閉情報取得部171とジェット流指示部172を有する。以下、制御部17内の構成について説明する。
搬入した際に、パスボックス内へ塵埃が入った恐れがあり、パスボックス内の塵埃の濃度が取得される。塵埃濃度が取得されたらステップS06へ進む。
の風量をファンが稼働するように判断する。送風部稼働時間決定部156は、予め設定された1分間で室外側ファン143とクリーンルーム側ファン142が96m3/hの風量
を送風することができると決定したら、ステップS07へ進む。
2・・・室外側扉
3・・・クリーンルーム側扉
6・・・循環ファン
7・・・クリーンルーム側孔部
8・・・室外側孔部
11・・・クリーンルーム
12・・・室外
142・・・クリーンルーム側ファン
143・・・室外側ファン
15・・・送風部制御部
151・・・送風能力決定部
152・・・塵埃濃度取得部
153・・・塵埃濃度判断部
154・・・管理部
Claims (5)
- 室外よりも室内空気圧の高いクリーンルームと該クリーンルームの該室外との間で物品の搬入、搬出を行うために、該クリーンルーム及び該室外との間に設けられ、該クリーンルームと該室外のそれぞれに、物品の搬入、搬出用の開閉自在の開閉部を有するパスボックスであって、
前記クリーンルーム側に、該クリーンルームの空気を前記パスボックスに通すクリーンルーム側孔部と、
前記室外側に、前記パスボックス内の空気を該室外に通す室外側孔部と、
前記クリーンルーム側孔部と前記室外側孔部の少なくとも一方に設けられ、空気を該クリーンルームから該室外の方向に送風する送風部と、
空気を送風する前記送風部の送風能力を前記パスボックス内の塵埃濃度に基づいて制御する送風部制御部と、
を備える、
高清浄パスボックス。 - 前記送風部制御部は、前記パスボックス内の塵埃濃度に基づき、該パスボックス内の塵埃濃度が前記クリーンルーム内の塵埃濃度と等しくなる為の前記送風部の送風能力を決定する送風能力決定部と、
前記送風部制御部が前記送風能力決定部によって決定された送風能力によって、前記パスボックス内の塵埃濃度が前記クリーンルーム内の塵埃濃度と等しく制御した結果、前記送風部からの送風を停止させる管理部と、を有する、
請求項1に記載の高清浄パスボックス。 - 前記クリーンルーム側孔部と前記室外側孔部の少なくとも一方に、塵埃を取得して空気を清浄させる空気濾過部を更に備える、
請求項1又は2に記載の高清浄パスボックス。 - 高速ジェットエアーにより、前記室外から前記パスボックス内へ搬入する物品に付着している塵埃を取り除く噴射部を更に備える、
請求項1から3の何れか一項に記載の高清浄パスボックス。 - 前記クリーンルーム側扉と前記室外側扉が同時に開かないようにするエアロックを更に備える、
請求項1から4の何れか一項に記載の高清浄パスボックス。
Priority Applications (1)
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111811101A (zh) * | 2020-07-14 | 2020-10-23 | 华净建设(苏州)有限公司 | 一种负压室内空气循环系统 |
CN112344494A (zh) * | 2020-11-09 | 2021-02-09 | 江苏全众门业有限公司 | 多功能环保净化门 |
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JPH0339582A (ja) * | 1989-07-05 | 1991-02-20 | Hitachi Ltd | 両扉付き収納装置 |
JP2001254979A (ja) * | 2000-03-09 | 2001-09-21 | Toda Constr Co Ltd | パスボックス |
JP2004169951A (ja) * | 2002-11-18 | 2004-06-17 | Nec Robotics Eng Ltd | 物品清浄用パスボックス |
JP2007037422A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Olympus Corp | 培養処理装置および培養処理方法 |
-
2008
- 2008-03-26 JP JP2008080266A patent/JP5188231B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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