JP4511773B2

JP4511773B2 - クリーンストッカー

Info

Publication number: JP4511773B2
Application number: JP2001291740A
Authority: JP
Inventors: 清菅野; 巧治清水; 博史平田
Original assignee: Panasonic Environmental Systems and Engineering Co Ltd
Current assignee: Panasonic Environmental Systems and Engineering Co Ltd
Priority date: 2001-09-25
Filing date: 2001-09-25
Publication date: 2010-07-28
Anticipated expiration: 2021-09-25
Also published as: JP2003100857A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電子部品材料又はその加工品を収納するクリーンストッ力ーに係り、特に、半導体、液晶表示パネルの加工材料を収納するクリーンストッカーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のクリーンストッカーは、特開平１１−２３８７８７号公報に記載されているように、送風手段を有しつつ、実質的に密閉されるか，又は一部が外気と置換される循環風路と、その循環風路に介在し、開閉可能な扉を有する半導体ウエハー等の収納部と、前記循環風路に介在し、循環気体中の微粒子を除去する微粒子除去部と、前記循環路に介在し、循環気体中の化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部と循環気体の温度上昇を抑制する温度維持機構とを備えたものがある。
また、特開２０００−２５９１２号公報に記載されているような多段式で送風が鉛直方向のものが一般的であった。
この装置は図８、図９、図１０にも示されているように、中央の移戴ロボットの両側に多段収納棚を配置し、半導体、液晶表示パネルの加工材料を枚葉式のカセットに収納し、そのカセットは空気の流れを保つ開口をもった仕切り板の上に収納され、最上部全面にファン・フィルターユニットを配置して、清浄空気を吹き出させ、そして、各収納棚段下部の前記仕切り板の下に各々ファン・フイルターユニットを設置して各棚段下部で空気を吸込むと同時にその下の段に清浄空気を吹出すようになし、収納棚側面はパーテーションによって外部の環境とを遼断するように構成されており、各段の清浄空気吹出し速度を揃えることにより、前記力セットの収納部では各段上部のファン・フイルターユニットから鉛直層流で送風をし、清浄度を保持するようになっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のクリーンストッカーでは隅部の禍流の停滞部分に微粒子（例えば、パーティクル）及び有機性等の化学汚染物質が残留し、送風室、収納室および戻し風室を構成する部材の重ね合せ部やネジ締結部等の隙間部からの空気の漏れは、クリーンストッカー内の空気の清浄化を阻害していた。
【０００４】
そして、クリーンストッカーは、製造工程中の半導体、液晶表示パネルの加工材料を一時的に保管するものであって、各加工工程とクリーンストッカーの間を半導体、液晶表示パネルの加工材料が数十回と往来し、各加工工程では、有機性のガス又は無機性のガス（総称して「化学物質」という。）や高純度の酸・アルカリ薬液等を使用して製品化されていく。
【０００５】
また、クリーンストッカーは半導体、液晶表示パネルの加工材料を枚葉式のカセットに収納するが同時に各加工工程での使用される無機性のガス又は、有機性のガスの微粒分子も含まれる。（総称して「化学汚染物質」という。）
しかして、上記した特開平１１−２３８７８７号公報及び特開２０００−２５９１２号公報に記載されているようなクリーンストッカーでは、浮遊している化学汚染物質が、長い時間保管された電子部品材料またはその加工品（例えば、半導体ウエハーや液晶表示パネルの加工材料等）の表面に付着して不良品の原因となり歩留まりも悪かった。
いわば、クリーンストッカーの清浄度もパーティクルカウンターでカウントできない化学物質の残留による化学汚染物質が原因で悪くなっていた。
【０００６】
さらに、クリーンストッカー内の封止材（例えば、低分子シロキサン）が微量だが揮散し収納時間の長い電子部品材料またはその加工品（例えば、半導体ウエハーや液晶表示パネルの加工材料等）に付着して不良品の原因となり、クリーンストッカーの清浄度も封止材（例えば、低分子シロキサンの残留微粒子）の浮遊が原因で悪くなるものであった。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、上述した従来の各不都合を解消しようとしたもので、清浄な空気を保ち得るクリーンストッカーを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するために本願発明の第１の発明は、電子部品材料またはその加工品を収納するクリーンストッカーであって、該クリーンストッカーは、送風室、収納室、および戻し風室で構成し、かつ前記送風室、前記収納室には、空気中の微粒子を除去する微粒子除去部と、空気中の化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部とが前記クリーンストッカーを仕切って配置され、前記送風室からの送風が前記収納室内の前記微粒子除去部、前記化学汚染物質除去部、および前記戻し風室を経て前記送風室に戻って循環する構成において、前記送風機からの送風が前記化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部と前記微粒子を除去する微粒子除去部を通過させる前記送風機の運転制御、及び微粒子を除去する前記微粒子除去部のみを通過させる前記送風機の運転制御をなし、かつ前記送風室、前記収納室および前記戻し風室を隙問のない様に封止材で形成し、前記封止材は、シリコーンを含むペースト状をなし、塗布すると室温で空気中の湿気と反応して塗布面に接着硬化するものであって、前記封止材から硬化後に揮散する低分子の化学汚染物質を抑制するためにアルコール水溶液を前記封止材表面に塗布し、前記アルコール水溶液を塗布した後、前記封止材の表面に少なくとも６０℃以上の熱を少なくとも１分以上かけ、前記アルコール水溶液からの水分とアルコールの揮発性とを利用して、前記封止材表面を水分により硬化を促進するとともに、アルコールの揮発性により、封止材の低分子を一緒に揮発させるとともに、封止材表面を硬化させることによって、封止材内部からの封止材の低分子の拡散による表面への移動の抑制と、低分子の化学物質が揮散しないように処理することを要旨としたものである。
【０００９】
上記した第１の発明にあっては、収納室に関連させて前記送風室と、前記戻し風室が設けられ、かつ前記送風室には空気中の微粒子（例えば、パーティクル）を除去するための微粒子除去部と空気中の化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部が配置され、送風機からの送風が前記化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部と前記微粒子を除去する微粒子除去部を通過させる前記送風機の運転制御、及び微粒子を除去する前記微粒子除去部のみを通過させる前記送風機の運転制御をすることにより、送風室からの送風が前記微粒子除去部、化学汚染物質除去部、収納室及び戻し風室を経て前記収納室に循環してクリーンストッカー内の空気を清浄に保ち得るとともに、微粒子除去部、化学汚染物質除去部の長寿命化を可能とするものである。
【００１２】
また、本願発明の第１の発明は、アルコール水溶液を塗布した後、封止材の表面に少なくとも６０℃以上の熱を少なくとも１分以上かけ、表面を硬化させると同時に表面に存在していた封止材の低分子を揮発させることによって、封止材表面を硬化することによる封止材内部からの低分子の移動の抑制と、表面の低分子の揮発を行ない、低分子の化学物質が揮散しないように処理することを要旨とするものである。
【００１３】
上記した第１の発明にあっては、各々の室の隙間部が低分子の化学汚染物質（例えば、低分子シロキサン）の揮散を抑制するようにアルコール水溶液を封止材表面に塗布し、表面の微粒子を除去し、かつ、６０℃以上の温風を封止材表面に１分以上吹き付け、表面を硬化させると同時に表面に存在していた封止材の低分子（例えば、低分子シロキサン）を揮発させることによって、封止材表面を硬化することによる封止材内部からの低分子の移動の抑制と、表面の低分子の揮発を行ない、低分子の化学物質が揮散しないように処理することにより、冷却後に、内部の低分子の化学汚染物質（たとえば、低分子シロキサン）を揮発、揮散しにくくするものである。
【００１４】
なお、前記送風室には、送風機と、微粒子除去部と、化学汚染物質除去部とを有するものである。
【００１５】
本願発明の第２の発明は、請求項１に記載のクリーンストッカーであって、電子部品材料等の一連の製造工程が入力された生産システムの制御システムと連動させて、この生産システムの制御システムより時間情報を得て、必要に応じて送風機の運転ないしは風量を制御することを要旨とするものである。
【００１６】
上記した第４の発明にあっては、半導体製造等の一連の工程が入力されている生産システムの制御システムからの情報とクリーンストッカーの制御機を連動させることにより、送風機の運転（又は出力）や、風量（又は扉の開閉度、スクロ―ルダンパーの開閉度）を調整することができ、さらに電子部品材料またはその加工品（例えば、半導体ウエハーや液晶表示パネルの加工材料等の）保管量の多少、保管品の種別、保管時間の長短等を制御と運動することにより、省コスト化、省エネルギー化、微粒子除去部（例えば、空気中の埃塵等の大きなものを除去するプレフィルターと、空気中の微粒子を除去するＨＥＰＡフィルター、ＵＬＰＡフィルター、低ボロンフィルター、ボロンレスフィルター等をいう）、汚染物質除去部（例えば、カチオンフィルター、アニオンフィルター、活性炭フィルター等をいう）の高価で短寿命の汚染物質除去部の長寿命化が図れ、高効率なクリーンストッカーを実現できる。
【００１７】
なお、上記した第４の発明にあっては、送風機からの送風が、前記生産システムの制御システムの情報により、前記化学汚染物質を除去する汚染物質除去部と、前記微粒子を除去する微粒子除去部を通過する、または前記微粒子を除去する微粒子除去部のみを通過する制御を兼ね備えものであり、また、生産システムの制御システム（コンピューターによる統合生産）からの時間情報により、送風機からの送風を前記化学汚染物質を除去する汚染物質除去部と、前記微粒子を除去する微粒子除去部を通過させることにより、前記化学汚染物質及び前記微粒子を除去するが、通常は送風機からの送風により前記微粒子を除去する微粒子除去部を通過する切替運転で、清浄度を保つものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
クリーンルーム内に配置されるクリーンストッカー１は半導体ウエハー等の収納品を収納する収納室２と、該収納室２の片側に設けられ収納室２に空気を送る送風室３と、収納室２の空気を送風室３に戻す戻し風室４を主体に形成されている。
【００１９】
図１、図２、図３に示すように、前記クリーンストッカー１は金属板の加工により前面が開口した箱形に形成され、底部の四隅に支持脚５を有している。なお、箱形内の隅部等には適度に補強材６が回設されている。箱形内部の後側は後面に沿う所定間隔の仕切り板７にて仕切られて後面に平行な狭い空間が前記戻し風室４および戻り通路４ａとされている。
【００２０】
―方、前記仕切り板７で区切られた空間は三つに分けられ、中央を前記収納室２、その片側には前記送風室３、もう一方は戻り風室４とされている。
【００２１】
微粒子除去部１０には、例えば、空気中の埃塵等の大きなものを除去するプレフィルター１０ａと、空気中の微粒子を除去するＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ、低ボロンフィルター、ポロンレスフィルター等の微粒子を除去するフィルター１０ｂ等で構成される。（総称して「微粒子除去部」という。）
【００２２】
また、空気中の化学物質を除去する汚染物質除去部１１には、カチオンフィルター、アニオンフィルター及び活性炭フィルター１１ａ等で構成される。（総称して「汚染物質除去部」という）
【００２３】
そして、前記微粒子除去部１０の空気中の微粒子を除去するＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ、低ボロンフィルター、ポロンレスフィルター等の微粒子を除去するフィルター１０ｂ、汚染物質除去部１１のカチオンフィルター、アニオンフィルター及び活性炭フィルター１１ａ等の両者は、図１に示すように、重ねて前記収納室２と送風室３との間の枠材８間に取り替え可能に取付けられたり、又は単独で配置されている。なお、この枠材８は戻し通路４ａ部位の上下に位置して前記各フィルター１０ｂ、１１ａを取付けるもので、該戻し通路４ａ全体の流通状態を妨げるものではない。
【００２４】
また、図１に示すように、前記戻し風室４における戻し通路４ａは前記送風室３側に面しており、該送風室３と区画する区画板３ａ（仕切り板７）に吸込み口９が形成され、該吸込み口９は多数のスリット９ａ（例えば、ルーバー）が設けられて該送風室３と連通されている。なお、前記収納室２の前面の開口には左右一対の開閉扉２ａが開閉可能に取付けられている。
【００２５】
図２、図３に示すように、前記収納室２の反フィルター側の側面、すなわち、戻し風室４側には内部空気を排出する排出口１２が形成されている。この排出口１２はクリーンストッ力ー１、すなわち、戻し風室４とを区画する側板４ｂ（仕切り板７）に横向きの切込みをいれかつ切込みの上部を内側に上傾するように曲げ形成した多数のスリット１２ａ（ルーバー）より構成されている。
【００２６】
クリーンストッカー１の全ての隙問部分及びネジ締結部は図５、図６、図７に示すように低分子の化学汚染物質（例えば、低分子シロキサン）の揮散がない封止材１３により斜状にかつ、塗布幅は数ミリ程度の規定幅に塗着加工され、この部分に塵埃が留まらないようにされている。（例えば、振動の無い部分に対して塗布幅は、約１．５ミリ〜２．５ミリを規定幅にし、振動する部分では塗布幅は、約８ミリ〜５ミリを規定幅にすることが望ましい。）
【００２７】
本実施の形態における上記した封止材１３は、例えば、信越化学工業株式会社製の商品名「ピュアシーラント」（一成分形・オキシム型）、「ピュアシーラントＡタイプ」（一成分形・アルコール型）のいずれかを適材適所に直角面に対し約４５度面、塗布幅は、数ミリ程度の規定幅となるように接着硬化されている。
【００２８】
この封止材１３としての「ピュアシーラント」または、「ピュアシーラントＡタイプ」はシリコーン（主成分）よりなるペースト状をなすが、塗布すると、室温で空気中の湿気と反応して塗布面に接着硬化するが、硬化速度は「ピュアシーラント」のほうが、速乾性がある。硬化すると塵埃が付着しにくく、かつ耐久・耐薬品性の弾性体となるものである。
【００２９】
なお、収納室２内の壁面には、図１、図２及び図３に示すように収納品Ｗを載せるための、支持棒１４〜１４が所定間隔に突設されている。収納室２の上下の中間位置には丸棒状の棚板１５が配置されている。
【００３０】
そして、図１に示すように、送風室３の空気取入れ口１６はクリーンストッ力ー１の右側外板１ａに横向きの切込みを入れ切込みの上部を下向きに切起こした多数のスリット１６ａ（ルーバー）により構成されている。
なお、空気取入れ口１６の内側には微粒子除去部１０Ａである空気中の埃塵等の大きなものを除去する前記プレフイルター１０ａが取付けられている。
【００３１】
前記送風室３内には、送風手段１７〜１７が支持枠１８〜１８を介して固定されている。この送風手段１７〜１７としては、例えば、送風機１７ａが用いられ送風機１７ａを駆動させるスイッチは後面の外側部の制御器１９に取付けられている。送風機１７ａは送風室３内の空気をファンの中心部より吸込み、前方の送風口より化学汚染物質除去部１１又は微粒子除去部１０に生産システムの制御システムにおけるＣＩＭ系コンピューター２０からの信号を受けた前記制御器１９により切替送風するように構成されている。
【００３２】
上記したクリーンストッカー１の使用に際しては、まず、収納室２内を純度の高いアルコール水溶液（例えば、イソプロピルアルコール＝ＩＰＡと略記する。）でクリーニングする。
【００３３】
上記アルコール類には、エチルアルコール、メチルアルコール、メタノール等のアルコール類があるが洗浄力が一番優れているＩＰＡを使用することが好ましい。
【００３４】
また、クリーニングの方法は、ＩＰＡを含ませた不織布で拭くことにより行われる。このＩＰＡでクリーニングすることにより、収納室２内の汚れの除去はもちろん、塗布した封止材１３（例えば、シーリング剤）の一層の硬化がＩＰＡの気化とともに促進され、封止材１３の内部まで完全に硬化される。なお、ＩＰＡのクリーニング後は、送風手段１７における送風機１７ａを作動させ、収納室２内に清浄な空気を循環させるものである。
すなわち、ＩＰＡからの水分とアルコールの揮発性を利用して、前記封止材１３表面を水分により硬化を促進するとともに、アルコールの揮発性により、封止材１３の低分子を一緒に揮発させるとともに、封止材１３表面を硬化させることによって、封止材内部のからの封止材の低分子の拡散による表面への移動を抑制するものである。
そして、ＩＰＡを塗布して後、封止材１３の表面を少なくとも約６０℃以上の熱を少なくとも約１分以上かけ、表面を硬化させると同時に表面に存在していた封止材１３の低分子を揮発させることによって、封止材１３表面を硬化することによる封止材１３内部からの低分子の移動の抑制と、表面の低分子の揮発を行ない、低分子の化学物質が揮散しないように処理する。
【００３５】
そして、図２、図３に示すように、空気取入れ口１６より入った空気は微粒子除去部１０Ａにおけるプレフイルター１０ａにおいて空気中の埃塵等の大きなものを除去され、各送風手段１７における送風機１７ａを化学汚染物質除去部１１又は微粒子除去部１０に生産システムの制御システムからの信号を受けた制御器１９により切替送風する。
【００３６】
この送風機１７ａからの送風（空気）が化学汚染物質除去部１１又は微粒子除去部１０に吹付けられ、該化学汚染物質除去部１１又は微粒子除去部１０を通過し、収納室２内を横方向に流れ、反送風機１７ａ側の側面に至る。
【００３７】
そして、側面に至った空気は、排出口１２における各スリット１２ａより収納室２外へ排出されて戻し風室４に入り、戻し風室４を経て送風室３の吸込み口９におけるスリット９ａより送風室３内に入る。
【００３８】
このとき、送風室３内に入る空気は、取入れ口１６より入る空気と混合しながら冷却効果を伴い、微粒子除去部１０Ａである空気中の埃塵等の大きなものを除去するプレフイルター１０ａを通過して、送風機１７ａにより化学汚染物質除去部１１又は微粒子除去部１０に吹付けられるものである。
【００３９】
さて、１ＰＡのクリーニング後のクリーンストッカー１は、クリーンルーム内でウォーミングアップをし、収納室２の更なる除塵（パーティクル等）、無機性及び有機性のケミカルが除去されるが、このクリーンストッカー１の場合、空気取り入れ口１６からの空気供給量と戻し風室４から空気量と送風機１７ａからの空気吐出量のバランスにより、収納室２内は正圧維持され、送風室３がかなりの負圧になる構造となっていて、送風機１７ａからの整流させられた清浄な空気を収納室２に送るため、クリーンルームの清浄度がクラス１０のパーティクル管理において、従来のクリーンストッカーでは約３０日のウォーミングアップ期間を要するところ、７日から１０日のウォーミングアップ期間で使用可能状態となし得るものである。
【００４０】
そして、送風室３に入る空気は、空気取入れ口１６の微粒子除去部１０Ａである空気中の埃塵等の大きなものを除去するプレフイルター１０ａにおいて、空気中に含まれる予め大きな塵埃が除去される。さらに、送風機１７ａから吹出した空気は微粒子除去部１０（たとえば、ＨＥＰＡフィルター、ＵＬＰＡフィルター、低ボロンフィルター又は、ボロンレスフィルター等）を通過することにより空気中の微粒子を除去され、有機、無機の化学物質は、化学汚染物質除去部１１（例えば、力チオンフィルター、アニオンフィルター、活性炭フィルター）において空気中に含有される化学汚染物質が除去されるため、清浄な空気流の雰囲気となし得、さらに、戻し風室４より送風室３内の送風機１７ａに戻る空気は送風室３の吸込み口９の微粒子除去部１０Ａ（１０）、化学汚染物質除去部１１において戻し空気中の微粒子が除去されることにより、収納室２を循環する空気は常に一方向に流れ清浄に保つことができる。
【００４１】
本実施の形態におけるクリーンストッカー１は、該クリーンストッカー１の全ての隙問部分及びネジ締結部に化学汚染物質（例えば、低分子シ口キサン）の揮散を抑制する封止材１３を塗着加工するものであり、その塗布幅は、振動の無い部分に対して約１．５ミリ〜２．５ミリを規定幅にし、振動する部分では塗布幅は、約８ミリ〜５ミリを規定幅にする。そして、該封止材１３を規定幅に塗着加工処理したことにより、塵埃の付着はしにくく、収納室２内部の有機化学汚染物質も浮遊しにくく、収納室２の内部に気流の乱れを極力無くし収納室２を清浄になし得る。
【００４２】
なお、本実施の形態において、図３に示すように、送風機１７ａの送風口側にスクロールダンパー17ｂを設け、このスクロールダンパー17ｂを前述した生産システムの制御システム（コンピューターによる統合生産）の指令により動作制御可能に構成し、該生産システムの制御システムからの情報によリスクロールダンパー17ｂを動作して送風機１７ａの送風口の風量制御を行なうように構成してもよい。
【００４３】
本発明のクリーンストッカーは、収納室２が開閉可能に密閉できる各種構造のものが適用し得るが、他の実施の形態、例えば、図４に示すクリーンストッカー１において、送風室３には、送風手段１７としての送風機１７ａと、微粒子除去部１０と、化学汚染物質除去部１１とを有するものであって、送風手段１７が１つで、風量を均等にするためのガイド２１を備え、送風室３と収納室２との間にシャッター機構２２を設けた仕切り板７で区画した構成としてもよい。
【００４４】
すなわち、クリーンストッカー１は仕切り板７により、ほぼ中央部から上部が収納室２とし、その一方側が送風室３とし、他方側から下部が戻し風室４として区画形成され、この収納室２を上下に複数棚段（図では４段の場合を示す。）に区画形成して各収納室２と送風室３との連通部位における仕切り板７にそれぞれ連通口２３が形成され、この各連通口２３に対して風量を均等にするための湾曲したガイド２１が下部段から上部段に至るしたがって順次長く設定して斜状に取付けられ、さらに、該各連通口２３のガイド２１の反対側にこの連通口の開度を調整するシャッター機構２２が設けられている。なおシャッター機構２２は、生産システムの制御システム（コンピューターによる統合生産）連動からの情報によリそのシャッターの開閉の風量制御を行なうように構成されている。
【００４５】
そして、各収納室２のシャッター機構２２側には、前述と同様に微粒子除去部１０および空気中の化学物質を除去する汚染物質除去部１１が形成されている。この実施の形態においては、下段棚と上段棚部に、例えば、空気中の化学物質を除去するカチオンフィルター、アニオンフィルター及び活性炭フィルター１１ａ等で構成される汚染物質除去部１１がそれぞれ設けられ、中間の２つの棚段には、空気中の埃塵等の大きなものを除去するプレフィルター１０ａと、空気中の微粒子を除去するＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ、低ボロンフィルター、ポロンレスフィルター等の微粒子を除去するフィルター１０ｂ等で構成される微粒子除去部１０がそれぞれ設けられている。
【００４６】
そして、送風室３と戻し風室４との下部の区画板（仕切り板７）には吸込み口９が形成され、該吸込み口９は多数のスリット９ａ（例えば、ルーバー）が設けられて該送風室３と連通され、該連通部位には前述した実施の形態と同様に微粒子除去部１０Ａである空気中の埃塵等の大きなものを除去する前記プレフイルター１０ａが取付けられている。
【００４７】
この連通部位には、送風室３内において一つの送風手段１７が支持枠１８を介して固定されている。この送風手段１７としては、前述した実施の形態と同様に、例えば、送風機１７ａが用いられ送風機１７ａを駆動させるスイッチは後面の外側部の制御器１９に取付けられ、該送風機１７ａは送風室３内の空気をファンの中心部より吸込み、収納室２の各棚段におけるガイド２１に対して前方の送風口から生産システムの制御システムにおけるＣＩＭ系コンピューター２０からの信号を受けた前記制御器１９によりその運転、送風機の風量制御されて送風するように構成されている。また、前記連通部位付近には、送風室３の空気取入れ口１６が形成されている。
【００４８】
そして、この実施の形態においてもクリーンストッカー１の全ての隙問部分及びネジ締結部は、前述した実施の形態と同様に低分子の化学汚染物質（例えば、低分子シロキサン）の揮散がない封止材１３により規定幅に塗着加工されており、その余の構成にあって、前述した実施の形態と同様の構成については図中同符号を付してその説明を省略する。
【００４９】
したがって、この実施の形態においても前述した実施の形態と同様の作用効果を発揮するものである。
【００５０】
また、図示していないが、送風手段による送風方向を鉛直層流で循環した形状のものにも適用でき、上記した実施の形態と同様の効果を発揮する結果が得られた。
【００５１】
【発明の効果】
請求項１の発明にあっては、クリーンストッカー内を循環する空気流に流れの乱れや渦流による流れの停滞部分を無くし、全ての空気流がスムーズに常に一方向に流れる状態とすることができ、空気中の微粒子の除去、電子部品材料またはその加工品、またはクリーンストッカーから発する化学汚染物質を送風機の運転制御により極めて短時間に空気の清浄を成し得ることができる。
しかも、封止材から硬化後に揮散する低分子の有機汚染物質を揮発性の良い純度の高いアルコール水溶液を塗布し、アルコール水溶液からの水分とアルコールの揮発性を利用して、封止材表面を水分により硬化を促進するとともに、アルコールの揮発性により、封止材の低分子を一緒に揮発させるとともに、封止材表面を硬化させることによって、封止材内部からの封止材の低分子の拡散による表面への移動を抑制することができ、クリーンルーム内の清浄度を上げることができる。
【００５３】
また、請求項１の発明にあっては、クリーンストッカー製造時において封止材を使用し、この封止材の硬化後に揮発性の良い高純度のアルコール水溶液を塗布して封止材の表面を少なくとも約６０℃以上の熱を少なくとも約１分以上かけ、表面を硬化させると同時に表面に存在していた封止材の低分子を揮発させることによって、封止材表面を硬化することによる封止材内部からの低分子の移動の抑制と、表面の低分子の揮発を行ない、低分子の化学物質が揮散しないように処理することができ、クリーンス卜ッカー内に配置した電子部品材料またはその加工品を清浄な空気の雰囲気で長時間保管することができる。
【００５４】
請求項２の発明にあっては、クリーンルーム内の半導体等の生産システムの制御システムとクリーンストッカーの制御器との連動により、生産システムの制御システムより時間情報等を得てクリーンストッカーの送風機の運転制御、送風紀のモーターヘの出力電力の制御、送風機の風量制御（例えば、スクロールダンパー付の送風機のダンパーの開閉度）や、送風室と収納室の間の仕切り板にシヤッター機構を設けそのシヤッター（扉）の開閉度を調整することができる。さらに、電子部品材料又はその加工品（例えば、半導体ウエハーや液晶表示パネルの加工材料）の保管量の多少、保管品の種別、保管時間の長短等を制御することにより、高価な化学物質除去部を構成する部材の長寿命化、それに伴う低コスト化、また、省エネルギー化を実現することができ、極めて高率の良いクリーンストッカーの清浄度を保った運転ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態のクリーンストッカー全体を示す上面図である。
【図２】同じく本発明の実施の形態のクリーンストッカー全体を示す縦断面図である。
【図３】同じく本発明の実施の形態のクリーンストッカー全体を示す縦断面図である。
【図４】本発明の別の実施の形態のクリーンストッカー全体を示す縦断面図である。
【図５】クリーンストッカーに対する封止材の塗着加工例を示す斜視図である。
【図６】クリーンストッカーに対する封止材の塗着加工例を示す平面図である。
【図７】クリーンストッカーに対する封止材の塗着加工例を示す平断面図である。
【図８】従来のクリーンストッカーの態様を示す説明図である。
【図９】同じく従来のクリーンストッカーの態様を示す説明図である。
【図１０】同じく従来のクリーンストッカーの態様を示す説明図である。
【符号の説明】
１クリーンストッカー
２収納室
３送風室
４戻し風室
１０微粒子除去部
１１汚染物質除去部
１３封止材
１７送風手段

Claims

電子部品材料またはその加工品を収納するクリーンストッカーであって、
該クリーンストッカーは、送風室、収納室、および戻し風室で構成し、
かつ前記送風室、前記収納室には、空気中の微粒子を除去する微粒子除去部と、空気中の化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部とが前記クリーンストッカーを仕切って配置され、
前記送風室からの送風が前記収納室内の前記微粒子除去部、前記化学汚染物質除去部、および前記戻し風室を経て前記送風室に戻って循環する構成において、
前記送風機からの送風が前記化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部と前記微粒子を除去する微粒子除去部を通過させる前記送風機の運転制御、及び微粒子を除去する前記微粒子除去部のみを通過させる前記送風機の運転制御をなし、
かつ前記送風室、前記収納室および前記戻し風室を隙問のない様に封止材で形成し、
前記封止材は、シリコーンを含むペースト状をなし、塗布すると室温で空気中の湿気と反応して塗布面に接着硬化するものであって、
前記封止材から硬化後に揮散する低分子の化学汚染物質を抑制するためにアルコール水溶液を前記封止材表面に塗布し、前記アルコール水溶液を塗布した後、封止材の表面に少なくとも６０℃以上の熱を少なくとも１分以上かけ、前記アルコール水溶液からの水分とアルコールの揮発性とを利用して、前記封止材表面を水分により硬化を促進するとともに、アルコールの揮発性により、封止材の低分子を一緒に揮発させるとともに、封止材表面を硬化させることによって、封止材内部からの封止材の低分子の拡散による表面への移動の抑制と、低分子の化学物質が揮散しないように処理することを特徴としたクリーンストッカー。
電子部品材料等の一連の製造工程が入力された生産システムの制御システムと連動させて、この生産システムの制御システムより時間情報を得て、必要に応じて送風機の運転ないしは風量を制御することを特徴とする請求項１に記載のクリーンストッカー。