JP2003100857A

JP2003100857A - クリーンストッカー

Info

Publication number: JP2003100857A
Application number: JP2001291740A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Sugano; 清菅野; Koji Shimizu; 巧治清水; Hiroshi Hirata; 博史平田
Original assignee: Panasonic Environmental Systems and Engineering Co Ltd
Current assignee: Panasonic Environmental Systems and Engineering Co Ltd
Priority date: 2001-09-25
Filing date: 2001-09-25
Publication date: 2003-04-04
Anticipated expiration: 2021-09-25
Also published as: JP4511773B2

Abstract

(57)【要約】【課題】クリーンストッカー内部の空気を清浄に保つ
ことができるクリーンストッカーを提供する。【解決手段】電子部品材料またはその加工品を収納す
る、実質的に密閉可能な収納室２を有し、収納室２に関
連させて送風室３と戻し風室４が設けられ、かつ送風室
３には空気中の微粒子を除去する微粒子除去部１０と、
空気中の化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部１
１が配置され、送風機１７ａからの送風が微粒子除去部
１０のみ、または化学汚染物質除去部１１と微粒子除去
部１０との切替制御を行い、収納室２および戻し風室４
を経て収納室２に循環する構成にして、収納室２の清浄
度をより良い環境にし、電子部品材料またはその加工品
の不良を極限に抑えるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電子部品材料又はそ
の加工品を収納するクリーンストッ力ーに係り、特に、
半導体、液晶表示パネルの加工材料を収納するクリーン
ストッカーに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のクリーンストッカーは、
特開平１１−２３８７８７号公報に記載されているよう
に、送風手段を有しつつ、実質的に密閉されるか，又は
一部が外気と置換される循環風路と、その循環風路に介
在し、開閉可能な扉を有する半導体ウエハー等の収納部
と、前記循環風路に介在し、循環気体中の微粒子を除去
する微粒子除去部と、前記循環路に介在し、循環気体中
の化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部と循環気
体の温度上昇を抑制する温度維持機構とを備えたものが
ある。また、特開２０００−２５９１２号公報に記載さ
れているような多段式で送風が鉛直方向のものが一般的
であった。この装置は図８、図９、図１０にも示されて
いるように、中央の移戴ロボットの両側に多段収納棚を
配置し、半導体、液晶表示パネルの加工材料を枚葉式の
カセットに収納し、そのカセットは空気の流れを保つ開
口をもった仕切り板の上に収納され、最上部全面にファ
ン・フィルターユニットを配置して、清浄空気を吹き出
させ、そして、各収納棚段下部の前記仕切り板の下に各
々ファン・フイルターユニットを設置して各棚段下部で
空気を吸込むと同時にその下の段に清浄空気を吹出すよ
うになし、収納棚側面はパーテーションによって外部の
環境とを遼断するように構成されており、各段の清浄空
気吹出し速度を揃えることにより、前記力セットの収納
部では各段上部のファン・フイルターユニットから鉛直
層流で送風をし、清浄度を保持するようになっていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンストッカーでは隅部の禍流の停滞部分に微粒子
（例えば、パーティクル）及び有機性等の化学汚染物質
が残留し、送風室、収納室および戻し風室を構成する部
材の重ね合せ部やネジ締結部等の隙間部からの空気の漏
れは、クリーンストッカー内の空気の清浄化を阻害して
いた。

【０００４】そして、クリーンストッカーは、製造工程
中の半導体、液晶表示パネルの加工材料を一時的に保管
するものであって、各加工工程とクリーンストッカーの
間を半導体、液晶表示パネルの加工材料が数十回と往来
し、各加工工程では、有機性のガス又は無機性のガス
（総称して「化学物質」という。）や高純度の酸・アル
カリ薬液等を使用して製品化されていく。

【０００５】また、クリーンストッカーは半導体、液晶
表示パネルの加工材料を枚葉式のカセットに収納するが
同時に各加工工程での使用される無機性のガス又は、有
機性のガスの微粒分子も含まれる。（総称して「化学汚
染物質」という。）しかして、上記した特開平１１−２
３８７８７号公報及び特開２０００−２５９１２号公報
に記載されているようなクリーンストッカーでは、浮遊
している化学汚染物質が、長い時間保管された電子部品
材料またはその加工品（例えば、半導体ウエハーや液晶
表示パネルの加工材料等）の表面に付着して不良品の原
因となり歩留まりも悪かった。いわば、クリーンストッ
カーの清浄度もパーティクルカウンターでカウントでき
ない化学物質の残留による化学汚染物質が原因で悪くな
っていた。

【０００６】さらに、クリーンストッカー内の封止材
（例えば、低分子シロキサン）が微量だが揮散し収納時
間の長い電子部品材料またはその加工品（例えば、半導
体ウエハーや液晶表示パネルの加工材料等）に付着して
不良品の原因となり、クリーンストッカーの清浄度も封
止材（例えば、低分子シロキサンの残留微粒子）の浮遊
が原因で悪くなるものであった。

【０００７】そこで、本発明の課題は、上述した従来の
各不都合を解消しようとしたもので、清浄な空気を保ち
得るクリーンストッカーを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に本願発明の第１の発明は、電子部品材料またはその加
工品を収納するクリーンストッカーであって、該クリー
ンストッカーは、送風室、収納室、および戻し風室で構
成し、かつ前記送風室、前記収納室には、空気中の微粒
子を除去する微粒子除去部と、空気中の化学汚染物質を
除去する化学汚染物質除去部とが前記クリーンストッカ
ーを仕切って配置され、前記送風室からの送風が前記収
納室内の前記微粒子除去部、前記化学汚染物質除去部、
および前記戻し風室を経て前記送風室に戻って循環する
構成において、前記送風機からの送風が前記化学汚染物
質を除去する化学汚染物質除去部と前記微粒子を除去す
る微粒子除去部を通過させる前記送風機の運転制御、及
び微粒子を除去する前記微粒子除去部のみを通過させる
前記送風機の運転制御をなし、かつ前記送風室、前記収
納室および前記戻し風室を隙問のない様に封止材で形成
し、前記封止材から硬化後に揮散する低分子の化学汚染
物質を抑制するために揮発性の良い高純度のアルコール
水溶液で前記封止材表面に塗布し、前記アルコール水溶
液からの水分とアルコールの揮発性を利用して、前記封
止材表面を水分により硬化を促進するとともに、アルコ
ールの揮発性により、封止材の低分子を一緒に揮発させ
るとともに、封止材表面を硬化させることによって、封
止材内部からの封止材の低分子の拡散による表面への移
動を抑制することをを要旨としたものである。

【０００９】上記した第１の発明にあっては、収納室に
関連させて前記送風室と、前記戻し風室が設けられ、か
つ前記送風室には空気中の微粒子（例えば、パーティク
ル）を除去するための微粒子除去部と空気中の化学汚染
物質を除去する化学汚染物質除去部が配置され、送風機
からの送風が前記化学汚染物質を除去する化学汚染物質
除去部と前記微粒子を除去する微粒子除去部を通過させ
る前記送風機の運転制御、及び微粒子を除去する前記微
粒子除去部のみを通過させる前記送風機の運転制御をす
ることにより、送風室からの送風が前記微粒子除去部、
化学汚染物質除去部、収納室及び戻し風室を経て前記収
納室に循環してクリーンストッカー内の空気を清浄に保
ち得るとともに、微粒子除去部、化学汚染物質除去部の
長寿命化を可能とするものである。

【００１０】本願発明の第２の発明は、電子部品材料ま
たはその加工品を収納するクリーンストッカーであっ
て、該クリーンストッカーは、送風室、収納室、および
戻し風室で構成し、かつ前記送風室、前記収納室には、
空気中の微粒子を除去する微粒子除去部と、空気中の化
学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部とが前記クリ
ーンストッカーを仕切って配置され、前記送風室からの
送風が前記収納室内の前記微粒子除去部、前記化学汚染
物質除去部、および前記戻し風室を経て前記送風室に戻
って循環する構成において、前記送風機からの送風が前
記化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部と前記微
粒子を除去する微粒子除去部を通過させる前記送風機の
風量制御、及び微粒子を除去する前記微粒子除去部のみ
を通過させる前記送風機の風量制御をなし、かつ前記送
風室、前記収納室および前記戻し風室を隙問のない様に
封止材で形成し、前記封止材から硬化後に揮散する低分
子の化学汚染物質を抑制するために揮発性の良い純度の
高いアルコール水溶液で前記封止材表面に塗布し、前記
アルコール水溶液からの水分とアルコールの揮発性を利
用して、前記封止材表面を水分により硬化を促進すると
ともに、アルコールの揮発性により、封止材の低分子を
一緒に揮発させるとともに、封止材表面を硬化させるこ
とによって、封止材内部のからの封止材の低分子の拡散
による表面への移動を抑制することを要旨としたもので
ある。

【００１１】上記した第２の発明にあっては、収納室に
関連させて前記送風室と、前記戻し風室が設けられ、か
つ前記送風室には空気中の微粒子（例えば、パーティク
ル）を除去するための微粒子除去部と空気中の化学汚染
物質を除去する化学汚染物質除去部が配置され、送風室
からの送風が制御機と連動して送風機の風量制御や出力
制御等により風量調整が行われ、前記微粒子除去部、化
学汚染物質除去部、収納室及び戻し風室を経て前記収納
室に循環する構造と前記微粒子除去部、収納室及び戻し
風室を経て前記収納室に循環する構造の切替運転により
風量調整を行うことにより、クリーンストッカー内の空
気を清浄に保ち得るとともに、微粒子除去部、化学汚染
物質除去部の長寿命化を可能とするものである。

【００１２】本願発明の第３の発明は、請求項１又は請
求項２に記載のクリーンストッカーであって、揮発性の
良い高純度のアルコール水溶液を塗布して後、封止材の
表面を少なくとも約６０℃以上の熱を少なくとも約１分
以上かけ、表面を硬化させると同時に表面に存在してい
た封止材の低分子を揮発させることによって、封止材表
面を硬化することによる封止材内部からの低分子の移動
の抑制と、表面の低分子の揮発を行ない、低分子の化学
物質が揮散しないように処理することを要旨とするもの
である。

【００１３】上記した第３の発明にあっては、各々の室
の隙間部が低分子の化学汚染物質（例えば、低分子シロ
キサン）の揮散を抑制するように揮発性の良い高純度の
アルコール水溶液で封止材表面に塗布し、表面の微粒子
を除去し、かつ、約６０℃以上の温風を封止材表面に約
１分以上吹き付け、表面を硬化させると同時に表面に存
在していた封止材の低分子（例えば、低分子シロキサ
ン）を揮発させることによって、封止材表面を硬化する
ことによる封止材内部からの低分子の移動の抑制と、表
面の低分子の揮発を行ない、低分子の化学物質が揮散し
ないように処理することにより、冷却後に、内部の低分
子の化学汚染物質（たとえば、低分子シロキサン）を揮
発、揮散しにくくするものである。

【００１４】なお、前記送風室には、送風機と、微粒子
除去部と、化学汚染物質除去部とを有するものである。

【００１５】本願発明の第４の発明は、請求項１又は請
求項２に記載のクリーンストッカーであって、電子部品
材料等の一連の製造工程が入力された生産システムの制
御システムと連動させて、この生産システムの制御シス
テムより時間情報を得て、必要に応じて送風機の運転な
いしは風量を制御することを要旨とするものである。

【００１６】上記した第４の発明にあっては、半導体製
造等の一連の工程が入力されている生産システムの制御
システムからの情報とクリーンストッカーの制御機を連
動させることにより、送風機の運転（又は出力）や、風
量（又は扉の開閉度、スクロ―ルダンパーの開閉度）を
調整することができ、さらに電子部品材料またはその加
工品（例えば、半導体ウエハーや液晶表示パネルの加工
材料等の）保管量の多少、保管品の種別、保管時間の長
短等を制御と運動することにより、省コスト化、省エネ
ルギー化、微粒子除去部（例えば、空気中の埃塵等の大
きなものを除去するプレフィルターと、空気中の微粒子
を除去するＨＥＰＡフィルター、ＵＬＰＡフィルター、
低ボロンフィルター、ボロンレスフィルター等をい
う）、汚染物質除去部（例えば、カチオンフィルター、
アニオンフィルター、活性炭フィルター等をいう）の高
価で短寿命の汚染物質除去部の長寿命化が図れ、高効率
なクリーンストッカーを実現できる。

【００１７】なお、上記した第４の発明にあっては、送
風機からの送風が、前記生産システムの制御システムの
情報により、前記化学汚染物質を除去する汚染物質除去
部と、前記微粒子を除去する微粒子除去部を通過する、
または前記微粒子を除去する微粒子除去部のみを通過す
る制御を兼ね備えものであり、また、生産システムの制
御システム（コンピューターによる統合生産）からの時
間情報により、送風機からの送風を前記化学汚染物質を
除去する汚染物質除去部と、前記微粒子を除去する微粒
子除去部を通過させることにより、前記化学汚染物質及
び前記微粒子を除去するが、通常は送風機からの送風に
より前記微粒子を除去する微粒子除去部を通過する切替
運転で、清浄度を保つものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を、図面
を参照して説明する。クリーンルーム内に配置されるク
リーンストッカー１は半導体ウエハー等の収納品を収納
する収納室２と、該収納室２の片側に設けられ収納室２
に空気を送る送風室３と、収納室２の空気を送風室３に
戻す戻し風室４を主体に形成されている。

【００１９】図１、図２、図３に示すように、前記クリ
ーンストッカー１は金属板の加工により前面が開口した
箱形に形成され、底部の四隅に支持脚５を有している。
なお、箱形内の隅部等には適度に補強材６が回設されて
いる。箱形内部の後側は後面に沿う所定間隔の仕切り板
７にて仕切られて後面に平行な狭い空間が前記戻し風室
４および戻り通路４ａとされている。

【００２０】―方、前記仕切り板７で区切られた空間は
三つに分けられ、中央を前記収納室２、その片側には前
記送風室３、もう一方は戻り風室４とされている。

【００２１】微粒子除去部１０には、例えば、空気中の
埃塵等の大きなものを除去するプレフィルター１０ａ
と、空気中の微粒子を除去するＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ、低
ボロンフィルター、ポロンレスフィルター等の微粒子を
除去するフィルター１０ｂ等で構成される。（総称して
「微粒子除去部」という。）

【００２２】また、空気中の化学物質を除去する汚染物
質除去部１１には、カチオンフィルター、アニオンフィ
ルター及び活性炭フィルター１１ａ等で構成される。
（総称して「汚染物質除去部」という）

【００２３】そして、前記微粒子除去部１０の空気中の
微粒子を除去するＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ、低ボロンフィル
ター、ポロンレスフィルター等の微粒子を除去するフィ
ルター１０ｂ、汚染物質除去部１１のカチオンフィルタ
ー、アニオンフィルター及び活性炭フィルター１１ａ等
の両者は、図１に示すように、重ねて前記収納室２と送
風室３との間の枠材８間に取り替え可能に取付けられた
り、又は単独で配置されている。なお、この枠材８は戻
し通路４ａ部位の上下に位置して前記各フィルター１０
ｂ、１１ａを取付けるもので、該戻し通路４ａ全体の流
通状態を妨げるものではない。

【００２４】また、図１に示すように、前記戻し風室４
における戻し通路４ａは前記送風室３側に面しており、
該送風室３と区画する区画板３ａ（仕切り板７）に吸込
み口９が形成され、該吸込み口９は多数のスリット９ａ
（例えば、ルーバー）が設けられて該送風室３と連通さ
れている。なお、前記収納室２の前面の開口には左右一
対の開閉扉２ａが開閉可能に取付けられている。

【００２５】図２、図３に示すように、前記収納室２の
反フィルター側の側面、すなわち、戻し風室４側には内
部空気を排出する排出口１２が形成されている。この排
出口１２はクリーンストッ力ー１、すなわち、戻し風室
４とを区画する側板４ｂ（仕切り板７）に横向きの切込
みをいれかつ切込みの上部を内側に上傾するように曲げ
形成した多数のスリット１２ａ（ルーバー）より構成さ
れている。

【００２６】クリーンストッカー１の全ての隙問部分及
びネジ締結部は図５、図６、図７に示すように低分子の
化学汚染物質（例えば、低分子シロキサン）の揮散がな
い封止材１３により斜状にかつ、塗布幅は数ミリ程度の
規定幅に塗着加工され、この部分に塵埃が留まらないよ
うにされている。（例えば、振動の無い部分に対して塗
布幅は、約１．５ミリ〜２．５ミリを規定幅にし、振
動する部分では塗布幅は、約８ミリ〜５ミリを規定幅に
することが望ましい。）

【００２７】本実施の形態における上記した封止材１３
は、例えば、信越化学工業株式会社製の商品名「ピュア
シーラント」（一成分形・オキシム型）、「ピュアシー
ラントＡタイプ」（一成分形・アルコール型）のいずれ
かを適材適所に直角面に対し約４５度面、塗布幅は、数
ミリ程度の規定幅となるように接着硬化されている。

【００２８】この封止材１３としての「ピュアシーラン
ト」または、「ピュアシーラントＡタイプ」はシリコー
ン（主成分）よりなるペースト状をなすが、塗布する
と、室温で空気中の湿気と反応して塗布面に接着硬化す
るが、硬化速度は「ピュアシーラント」のほうが、速乾
性がある。硬化すると塵埃が付着しにくく、かつ耐久・
耐薬品性の弾性体となるものである。

【００２９】なお、収納室２内の壁面には、図１、図２
及び図３に示すように収納品Ｗを載せるための、支持棒
１４〜１４が所定間隔に突設されている。収納室２の上
下の中間位置には丸棒状の棚板１５が配置されている。

【００３０】そして、図１に示すように、送風室３の空
気取入れ口１６はクリーンストッ力ー１の右側外板１ａ
に横向きの切込みを入れ切込みの上部を下向きに切起こ
した多数のスリット１６ａ（ルーバー）により構成され
ている。なお、空気取入れ口１６の内側には微粒子除去
部１０Ａである空気中の埃塵等の大きなものを除去する
前記プレフイルター１０ａが取付けられている。

【００３１】前記送風室３内には、送風手段１７〜１７
が支持枠１８〜１８を介して固定されている。この送風
手段１７〜１７としては、例えば、送風機１７ａが用い
られ送風機１７ａを駆動させるスイッチは後面の外側部
の制御器１９に取付けられている。送風機１７ａは送風
室３内の空気をファンの中心部より吸込み、前方の送風
口より化学汚染物質除去部１１又は微粒子除去部１０に
生産システムの制御システムにおけるＣＩＭ系コンピュ
ーター２０からの信号を受けた前記制御器１９により切
替送風するように構成されている。

【００３２】上記したクリーンストッカー１の使用に際
しては、まず、収納室２内を純度の高いアルコール水溶
液（例えば、イソプロピルアルコール＝ＩＰＡと略記す
る。）でクリーニングする。

【００３３】上記アルコール類には、エチルアルコー
ル、メチルアルコール、メタノール等のアルコール類が
あるが洗浄力が一番優れているＩＰＡを使用することが
好ましい。

【００３４】また、クリーニングの方法は、ＩＰＡを
含ませた不織布で拭くことにより行われる。このＩＰ
Ａでクリーニングすることにより、収納室２内の汚れの
除去はもちろん、塗布した封止材１３（例えば、シーリ
ング剤）の一層の硬化がＩＰＡの気化とともに促進さ
れ、封止材１３の内部まで完全に硬化される。なお、Ｉ
ＰＡのクリーニング後は、送風手段１７における送風機
１７ａを作動させ、収納室２内に清浄な空気を循環させ
るものである。すなわち、ＩＰＡからの水分とアルコー
ルの揮発性を利用して、前記封止材１３表面を水分によ
り硬化を促進するとともに、アルコールの揮発性によ
り、封止材１３の低分子を一緒に揮発させるとともに、
封止材１３表面を硬化させることによって、封止材内部
のからの封止材の低分子の拡散による表面への移動を抑
制するものである。そして、ＩＰＡを塗布して後、封止
材１３の表面を少なくとも約６０℃以上の熱を少なくと
も約１分以上かけ、表面を硬化させると同時に表面に存
在していた封止材１３の低分子を揮発させることによっ
て、封止材１３表面を硬化することによる封止材１３内
部からの低分子の移動の抑制と、表面の低分子の揮発を
行ない、低分子の化学物質が揮散しないように処理す
る。

【００３５】そして、図２、図３に示すように、空気取
入れ口１６より入った空気は微粒子除去部１０Ａにおけ
るプレフイルター１０ａにおいて空気中の埃塵等の大き
なものを除去され、各送風手段１７における送風機１７
ａを化学汚染物質除去部１１又は微粒子除去部１０に生
産システムの制御システムからの信号を受けた制御器１
９により切替送風する。

【００３６】この送風機１７ａからの送風（空気）が化
学汚染物質除去部１１又は微粒子除去部１０に吹付けら
れ、該化学汚染物質除去部１１又は微粒子除去部１０を
通過し、収納室２内を横方向に流れ、反送風機１７ａ側
の側面に至る。

【００３７】そして、側面に至った空気は、排出口１２
における各スリット１２ａより収納室２外へ排出されて
戻し風室４に入り、戻し風室４を経て送風室３の吸込み
口９におけるスリット９ａより送風室３内に入る。

【００３８】このとき、送風室３内に入る空気は、取入
れ口１６より入る空気と混合しながら冷却効果を伴い、
微粒子除去部１０Ａである空気中の埃塵等の大きなもの
を除去するプレフイルター１０ａを通過して、送風機１
７ａにより化学汚染物質除去部１１又は微粒子除去部１
０に吹付けられるものである。

【００３９】さて、１ＰＡのクリーニング後のクリーン
ストッカー１は、クリーンルーム内でウォーミングアッ
プをし、収納室２の更なる除塵（パーティクル等）、無
機性及び有機性のケミカルが除去されるが、このクリー
ンストッカー１の場合、空気取り入れ口１６からの空気
供給量と戻し風室４から空気量と送風機１７ａからの空
気吐出量のバランスにより、収納室２内は正圧維持さ
れ、送風室３がかなりの負圧になる構造となっていて、
送風機１７ａからの整流させられた清浄な空気を収納室
２に送るため、クリーンルームの清浄度がクラス１０の
パーティクル管理において、従来のクリーンストッカー
では約３０日のウォーミングアップ期間を要するとこ
ろ、７日から１０日のウォーミングアップ期間で使用
可能状態となし得るものである。

【００４０】そして、送風室３に入る空気は、空気取入
れ口１６の微粒子除去部１０Ａである空気中の埃塵等の
大きなものを除去するプレフイルター１０ａにおいて、
空気中に含まれる予め大きな塵埃が除去される。さら
に、送風機１７ａから吹出した空気は微粒子除去部１０
（たとえば、ＨＥＰＡフィルター、ＵＬＰＡフィルタ
ー、低ボロンフィルター又は、ボロンレスフィルター
等）を通過することにより空気中の微粒子を除去され、
有機、無機の化学物質は、化学汚染物質除去部１１（例
えば、力チオンフィルター、アニオンフィルター、活性
炭フィルター）において空気中に含有される化学汚染物
質が除去されるため、清浄な空気流の雰囲気となし得、
さらに、戻し風室４より送風室３内の送風機１７ａに戻
る空気は送風室３の吸込み口９の微粒子除去部１０Ａ
（１０）、化学汚染物質除去部１１において戻し空気中
の微粒子が除去されることにより、収納室２を循環する
空気は常に一方向に流れ清浄に保つことができる。

【００４１】本実施の形態におけるクリーンストッカー
１は、該クリーンストッカー１の全ての隙問部分及びネ
ジ締結部に化学汚染物質（例えば、低分子シ口キサン）
の揮散を抑制する封止材１３を塗着加工するものであ
り、その塗布幅は、振動の無い部分に対して約１．５ミ
リ〜２．５ミリを規定幅にし、振動する部分では塗布幅
は、約８ミリ〜５ミリを規定幅にする。そして、該封止
材１３を規定幅に塗着加工処理したことにより、塵埃の
付着はしにくく、収納室２内部の有機化学汚染物質も浮
遊しにくく、収納室２の内部に気流の乱れを極力無くし
収納室２を清浄になし得る。

【００４２】なお、本実施の形態において、図３に示す
ように、送風機１７ａの送風口側にスクロールダンパー
17ｂを設け、このスクロールダンパー17ｂを前述した生
産システムの制御システム（コンピューターによる統合
生産）の指令により動作制御可能に構成し、該生産シス
テムの制御システムからの情報によリスクロールダンパ
ー17ｂを動作して送風機１７ａの送風口の風量制御を行
なうように構成してもよい。

【００４３】本発明のクリーンストッカーは、収納室２
が開閉可能に密閉できる各種構造のものが適用し得る
が、他の実施の形態、例えば、図４に示すクリーンスト
ッカー１において、送風室３には、送風手段１７として
の送風機１７ａと、微粒子除去部１０と、化学汚染物質
除去部１１とを有するものであって、送風手段１７が１
つで、風量を均等にするためのガイド２１を備え、送風
室３と収納室２との間にシャッター機構２２を設けた仕
切り板７で区画した構成としてもよい。

【００４４】すなわち、クリーンストッカー１は仕切り
板７により、ほぼ中央部から上部が収納室２とし、その
一方側が送風室３とし、他方側から下部が戻し風室４と
して区画形成され、この収納室２を上下に複数棚段（図
では４段の場合を示す。）に区画形成して各収納室２と
送風室３との連通部位における仕切り板７にそれぞれ連
通口２３が形成され、この各連通口２３に対して風量を
均等にするための湾曲したガイド２１が下部段から上部
段に至るしたがって順次長く設定して斜状に取付けら
れ、さらに、該各連通口２３のガイド２１の反対側にこ
の連通口の開度を調整するシャッター機構２２が設けら
れている。なおシャッター機構２２は、生産システムの
制御システム（コンピューターによる統合生産）連動か
らの情報によリそのシャッターの開閉の風量制御を行な
うように構成されている。

【００４５】そして、各収納室２のシャッター機構２２
側には、前述と同様に微粒子除去部１０および空気中の
化学物質を除去する汚染物質除去部１１が形成されてい
る。この実施の形態においては、下段棚と上段棚部に、
例えば、空気中の化学物質を除去するカチオンフィルタ
ー、アニオンフィルター及び活性炭フィルター１１ａ等
で構成される汚染物質除去部１１がそれぞれ設けられ、
中間の２つの棚段には、空気中の埃塵等の大きなものを
除去するプレフィルター１０ａと、空気中の微粒子を除
去するＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ、低ボロンフィルター、ポロ
ンレスフィルター等の微粒子を除去するフィルター１０
ｂ等で構成される微粒子除去部１０がそれぞれ設けられ
ている。

【００４６】そして、送風室３と戻し風室４との下部の
区画板（仕切り板７）には吸込み口９が形成され、該吸
込み口９は多数のスリット９ａ（例えば、ルーバー）が
設けられて該送風室３と連通され、該連通部位には前述
した実施の形態と同様に微粒子除去部１０Ａである空気
中の埃塵等の大きなものを除去する前記プレフイルター
１０ａが取付けられている。

【００４７】この連通部位には、送風室３内において一
つの送風手段１７が支持枠１８を介して固定されてい
る。この送風手段１７としては、前述した実施の形態と
同様に、例えば、送風機１７ａが用いられ送風機１７ａ
を駆動させるスイッチは後面の外側部の制御器１９に取
付けられ、該送風機１７ａは送風室３内の空気をファン
の中心部より吸込み、収納室２の各棚段におけるガイド
２１に対して前方の送風口から生産システムの制御シス
テムにおけるＣＩＭ系コンピューター２０からの信号を
受けた前記制御器１９によりその運転、送風機の風量制
御されて送風するように構成されている。また、前記連
通部位付近には、送風室３の空気取入れ口１６が形成さ
れている。

【００４８】そして、この実施の形態においてもクリー
ンストッカー１の全ての隙問部分及びネジ締結部は、前
述した実施の形態と同様に低分子の化学汚染物質（例え
ば、低分子シロキサン）の揮散がない封止材１３により
規定幅に塗着加工されており、その余の構成にあって、
前述した実施の形態と同様の構成については図中同符号
を付してその説明を省略する。

【００４９】したがって、この実施の形態においても前
述した実施の形態と同様の作用効果を発揮するものであ
る。

【００５０】また、図示していないが、送風手段による
送風方向を鉛直層流で循環した形状のものにも適用で
き、上記した実施の形態と同様の効果を発揮する結果が
得られた。

【００５１】

【発明の効果】請求項１の発明にあっては、クリーンス
トッカー内を循環する空気流に流れの乱れや渦流による
流れの停滞部分を無くし、全ての空気流がスムーズに常
に一方向に流れる状態とすることができ、空気中の微粒
子の除去、電子部品材料またはその加工品、またはクリ
ーンストッカーから発する化学汚染物質を送風機の運転
制御により極めて短時間に空気の清浄を成し得ることが
できる。しかも、封止材から硬化後に揮散する低分子の
有機汚染物質を揮発性の良い純度の高いアルコール水溶
液を塗布し、アルコール水溶液からの水分とアルコール
の揮発性を利用して、封止材表面を水分により硬化を促
進するとともに、アルコールの揮発性により、封止材の
低分子を一緒に揮発させるとともに、封止材表面を硬化
させることによって、封止材内部からの封止材の低分子
の拡散による表面への移動を抑制することができ、クリ
ーンルーム内の清浄度を上げることができる。

【００５２】請求項２の発明にあっては、請求項１の発
明と同様に、クリーンストッカー内を循環する空気流に
流れの乱れや渦流による流れの停滞部分を無くし、全て
の空気流がスムーズに常に一方向に流れる状態とするこ
とができ、空気中の微粒子の除去、電子部品材料または
その加工品、またはクリーンストッカーから発する化学
汚染物質を送風機の風量制御により極めて短時間に空気
の清浄を成し得ることができる。しかも、封止材から硬
化後に揮散する低分子の有機汚染物質を揮発性の良い純
度の高いアルコール水溶液を塗布し、アルコール水溶液
からの水分とアルコールの揮発性を利用して、封止材表
面を水分により硬化を促進するとともに、アルコールの
揮発性により、封止材の低分子を一緒に揮発させるとと
もに、封止材表面を硬化させることによって、封止材内
部からの封止材の低分子の拡散による表面への移動を抑
制することができ、クリーンルーム内の清浄度を上げる
ことができる。

【００５３】請求項３の発明にあっては、クリーンスト
ッカー製造時において封止材を使用し、この封止材の硬
化後に揮発性の良い高純度のアルコール水溶液を塗布し
て封止材の表面を少なくとも約６０℃以上の熱を少なく
とも約１分以上かけ、表面を硬化させると同時に表面に
存在していた封止材の低分子を揮発させることによっ
て、封止材表面を硬化することによる封止材内部からの
低分子の移動の抑制と、表面の低分子の揮発を行ない、
低分子の化学物質が揮散しないように処理することがで
き、クリーンス卜ッカー内に配置した電子部品材料また
はその加工品を清浄な空気の雰囲気で長時間保管するこ
とができる。

【００５４】請求項４の発明にあっては、クリーンルー
ム内の半導体等の生産システムの制御システムとクリー
ンストッカーの制御器との連動により、生産システムの
制御システムより時間情報等を得てクリーンストッカー
の送風機の運転制御、送風紀のモーターヘの出力電力の
制御、送風機の風量制御（例えば、スクロールダンパー
付の送風機のダンパーの開閉度）や、送風室と収納室の
間の仕切り板にシヤッター機構を設けそのシヤッター
（扉）の開閉度を調整することができる。さらに、電子
部品材料又はその加工品（例えば、半導体ウエハーや液
晶表示パネルの加工材料）の保管量の多少、保管品の種
別、保管時間の長短等を制御することにより、高価な化
学物質除去部を構成する部材の長寿命化、それに伴う低
コスト化、また、省エネルギー化を実現することがで
き、極めて高率の良いクリーンストッカーの清浄度を保
った運転ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態のクリーンストッカー全体
を示す上面図である。

【図２】同じく本発明の実施の形態のクリーンストッカ
ー全体を示す縦断面図である。

【図３】同じく本発明の実施の形態のクリーンストッカ
ー全体を示す縦断面図である。

【図４】本発明の別の実施の形態のクリーンストッカー
全体を示す縦断面図である。

【図５】クリーンストッカーに対する封止材の塗着加工
例を示す斜視図である。

【図６】クリーンストッカーに対する封止材の塗着加工
例を示す平面図である。

【図７】クリーンストッカーに対する封止材の塗着加工
例を示す平断面図である。

【図８】従来のクリーンストッカーの態様を示す説明図
である。

【図９】同じく従来のクリーンストッカーの態様を示す
説明図である。

【図１０】同じく従来のクリーンストッカーの態様を示
す説明図である。

【符号の説明】

１クリーンストッカー２収納室３送風室４戻し風室１０微粒子除去部１１汚染物質除去部１３封止材１７送風手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者平田博史大阪府吹田市垂水町３丁目28番33号松下環境空調エンジニアリング株式会社内Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 DA17 NA03 NA16 PA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子部品材料またはその加工品を収納す
るクリーンストッカーであって、該クリーンストッカー
は、送風室、収納室、および戻し風室で構成し、かつ前
記送風室、前記収納室には、空気中の微粒子を除去する
微粒子除去部と、空気中の化学汚染物質を除去する化学
汚染物質除去部とが前記クリーンストッカーを仕切って
配置され、前記送風室からの送風が前記収納室内の前記
微粒子除去部、前記化学汚染物質除去部、および前記戻
し風室を経て前記送風室に戻って循環する構成におい
て、前記送風機からの送風が前記化学汚染物質を除去す
る化学汚染物質除去部と前記微粒子を除去する微粒子除
去部を通過させる前記送風機の運転制御、及び微粒子を
除去する前記微粒子除去部のみを通過させる前記送風機
の運転制御をなし、かつ前記送風室、前記収納室および
前記戻し風室を隙問のない様に封止材で形成し、前記封
止材から硬化後に揮散する低分子の化学汚染物質を抑制
するために揮発性の良い高純度のアルコール水溶液で前
記封止材表面に塗布し、前記アルコール水溶液からの水
分とアルコールの揮発性を利用して、前記封止材表面を
水分により硬化を促進するとともに、アルコールの揮発
性により、封止材の低分子を一緒に揮発させるととも
に、封止材表面を硬化させることによって、封止材内部
からの封止材の低分子の拡散による表面への移動を抑制
することを特徴としたクリーンストッカー。
【請求項２】電子部品材料またはその加工品を収納す
るクリーンストッカーであって、該クリーンストッカー
は、送風室、収納室、および戻し風室で構成し、かつ前
記送風室、前記収納室には、空気中の微粒子を除去する
微粒子除去部と、空気中の化学汚染物質を除去する化学
汚染物質除去部とが前記クリーンストッカーを仕切って
配置され、前記送風室からの送風が前記収納室内の前記
微粒子除去部、前記化学汚染物質除去部、および前記戻
し風室を経て前記送風室に戻って循環する構成におい
て、前記送風機からの送風が前記化学汚染物質を除去す
る化学汚染物質除去部と前記微粒子を除去する微粒子除
去部を通過させる前記送風機の風量制御、及び微粒子を
除去する前記微粒子除去部のみを通過させる前記送風機
の風量制御をなし、かつ前記送風室、前記収納室および
前記戻し風室を隙問のない様に封止材で形成し、前記封
止材から硬化後に揮散する低分子の化学汚染物質を抑制
するために揮発性の良い純度の高いアルコール水溶液で
前記封止材表面に塗布し、前記アルコール水溶液からの
水分とアルコールの揮発性を利用して、前記封止材表面
を水分により硬化を促進するとともに、アルコールの揮
発性により、封止材の低分子を一緒に揮発させるととも
に、封止材表面を硬化させることによって、封止材内部
からの封止材の低分子の拡散による表面への移動を抑制
することを特徴としたクリーンストッカー。
【請求項３】揮発性の良い高純度のアルコール水溶液
を塗布して後、封止材の表面を少なくとも約６０℃以上
の熱を少なくとも約１分以上かけ、表面を硬化させると
同時に表面に存在していた封止材の低分子を揮発させる
ことによって、封止材表面を硬化することによる封止材
内部からの低分子の移動の抑制と、表面の低分子の揮発
を行ない、低分子の化学物質が揮散しないように処理す
ることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のクリ
ーンストッカー。
【請求項４】電子部品材料等の一連の製造工程が入力
された生産システムの制御システムと連動させて、この
生産システムの制御システムより時間情報を得て、必要
に応じて送風機の運転ないしは風量を制御することを特
徴とする請求項１又は請求項２に記載のクリーンストッ
カー。