JPH11340109A - ケミカルクリーンストッカ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ケミカルクリーンストッカにおけるケミカル
フィルタの交換作業を容易に行う。 【解決手段】 クリーンストッカ本体２１と、それとは
別置きされてサプライダクト２３により接続されるケミ
カルフィルタユニット２２から構成される。クリーンス
トッカ本体は、気密保持可能なケーシング１内に、収納
品の保管棚と、スタッカと、送風機と、微粒子除去用の
ＨＥＰＡあるいはＵＬＰＡフィルタを備える。ケミカル
フィルタユニットは、サプライダクトを通してクリーン
ストッカ本体に対して空気を供給する送風機と、ケミカ
ル物質を吸着除去するケミカルフィルタとを備える。ク
リーンストッカ本体から空気をリタンダクト２４を通し
てケミカルフィルタユニットに戻して循環させる。クリ
ーンストッカ本体内を正圧に維持するための加圧用空気
をケミカルフィルタユニットに導入する構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルーム内に
設置されるケミカルクリーンストッカに関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、半導体や液晶パネル製造
工場のクリーンルーム内には、半製品であるウェハやガ
ラス基板等を一時的にクリーンな環境で保管するために
クリーンストッカが設置されることが一般的である。ク
リーンストッカは、たとえば図５に示すように、気密保
持可能なケーシング１内に、収納品を保管するための多
数の保管棚２と、収納品を所定の保管棚２に出し入れす
るためのスタッカ３を備えており、基本的に収納品を自
動的に入庫、保管、出庫させることのできる自動倉庫と
しての機能を有するものである。また、このようなクリ
ーンストッカには、保管している収納品が空気中の微粒
子により汚染されることを防止する機能が要求され、そ
のためケーシング１内にＨＥＰＡ（またはＵＬＰＡ）フ
ィルタ４および送風機５、プレフィルタ６が内蔵され、
それらによりケーシング１内において空気を浄化しなが
ら循環させて清浄度を維持するようにされている。

【０００３】また、最近においては空気中の微粒子のみ
ならずイオン物質や有機物質等のケミカル物質による収
納品の汚染が問題にされるようになってきており、その
ようなケミカル物質に対しても低濃度状態を維持可能な
機能を有するケミカルクリーンストッカも実用化されて
いる。図５はそのようなケミカルクリーンストッカを示
したもので、上記のＨＥＰＡ（またはＵＬＰＡ）フィル
タ４および送風機５に加えて、ケミカル物質を吸着して
除去するためのケミカルフィルタ７と、そのケミカルフ
ィルタ７を通過させつつ空気を循環させるための送風機
８をケーシング１内に備えた構成とされたものである。
なお、図５における符号９は保守時にケーシング１内に
立ち入るための扉、１０は送風機５，８の設置位置に設
けられてその保守を行う際に外されるパネルである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ケミカルフ
ィルタ７はケミカル物質を吸着するものであることか
ら、微粒子用のＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタに
比べて寿命が短く、たとえば９ヶ月〜１年程度の周期で
比較的頻繁に交換を行う必要がある。そして、上記従来
のケミカルクリーンストッカではケミカルフィルタ７の
交換作業は作業員がクリーンストッカの内部に立ち入っ
て行わねばならないものであった。このため、従来にお
いてはフィルタ交換作業による収納品への汚染が懸念さ
れ、そのような汚染を回避するためには収納品を全て出
庫させる必要があるが、フィルタ交換を行うたびに収納
品を出庫させることは生産効率の低下を招いて好ましく
なく、有効な改善策が要望されていた。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記事情に鑑み、請求項
１の発明のケミカルクリーンストッカは、クリーンスト
ッカ本体と、該クリーンストッカ本体と別置きされて該
クリーンストッカ本体にサプライダクトにより接続され
るケミカルフィルタユニットから構成され、前記クリー
ンストッカ本体は、気密保持可能なケーシング内に、収
納品を保管するための保管棚と、収納品を所定の保管棚
に自動的に出し入れするためのスタッカと、ケーシング
内において空気を循環させる送風機と、該送風機による
循環空気中の微粒子を除去するフィルタとを備え、前記
ケミカルフィルタユニットは、前記サプライダクトを通
して前記クリーンストッカ本体に対して空気を供給する
送風機と、該空気中のケミカル物質を吸着除去するケミ
カルフィルタとを備えたものである。

【０００６】請求項２の発明のケミカルクリーンストッ
カは、前記クリーンストッカ本体から前記ケミカルフィ
ルタユニットにリタンダクトを通して空気を戻して循環
させる構成としたものである。

【０００７】請求項３の発明のケミカルクリーンストッ
カは、前記クリーンストッカ本体内を正圧に維持するた
めの加圧用空気を前記ケミカルフィルタユニットに導入
する構成としたものである。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図１〜
図４を参照して説明する。図１は本実施形態のケミカル
クリーンストッカ２０の全体概略構成を示す図、図２は
その配置図である。このケミカルクリーンストッカ２０
は、クリーンストッカ本体２１と、その側方に別置きさ
れてサプライダクト２３およびリタンダクト２４により
接続されているケミカルフィルタユニット２２とにより
構成されている。

【０００９】クリーンストッカ本体２１はこれ自体が従
来一般のクリーンストッカと同様のもので、ケミカルフ
ィルタ７と送風機８とが備えられていないことを除いて
図５に示したものと同様に構成されている。すなわち、
このクリーンストッカ本体２１は、気密保持可能なケー
シング１内に、収納品を保管するための保管棚２と、収
納品を所定の保管棚に自動的に出し入れするためのスタ
ッカ３と、ケーシング１内において空気を循環させる送
風機５と、その送風機による循環空気中の微粒子を除去
するＨＥＰＡ（またはＵＬＰＡ）フィルタ４、プレフィ
ルタ６とを内蔵しているものである（いずれも図５参
照）。

【００１０】一方、ケミカルフィルタユニット２２は、
図３に示すように、ケーシング２５内に送風機２６、ケ
ミカルフィルタ２７、ＨＥＰＡ（またはＵＬＰＡ）フィ
ルタ２８を備えて、ケーシング２５上面に上記サプライ
ダクト２３とリタンダクト２４がそれぞれ接続され、送
風機２６により空気を図示矢印方向に流通させること
で、空気をケミカルフィルタ２７、ＨＥＰＡ（またはＵ
ＬＰＡ）フィルタ２８を通して清浄化し、サプライダク
ト２３によりクリーンストッカ本体２１へ供給し、かつ
そこからリタンダクト２４により戻して循環させるよう
になっている。

【００１１】ケミカルフィルタユニット２２内に設けら
れているケミカルフィルタ２７は各種ケミカル物質を吸
着して除去するもので、本例においては特に酸性ガス成
分処理用のものとハイドロカーボン成分処理用のものが
前後２段にわたって設けられている。ケミカルフィルタ
２７は図４（ａ）に示すような一般的なもののように、
多数枚のフィルタトレー３０をセルボックス３１内に積
層して押さえ板３２を取り付けた構成のものでも良い
が、ケミカルフィルタ２７の交換をケーシング２５の前
面パネル３５を開くことで行うことができるように、ケ
ミカルフィルタ２７をセルボックス３１の横から抜き差
しできる形態のものが良い。また、各フィルタトレー３
０は図４（ｂ）に示すように吸着材を収納した袋体３３
を２枚の樹脂枠３４内に挟み込んだ構成とされている。

【００１２】また、図１および図２に示すように、上記
のサプライダクト２３はクリーンストッカ本体２１の一
方の側面の下部に設けられている送風機保守用のパネル
１０（図５参照）の位置にダンパ３６を介して接続され
ており、これによりケミカルフィルタユニット２２から
サプライダクト２３により供給される清浄なサプライ空
気はクリーンストッカ本体２１内の送風機５（図５参
照）の吸気側に供給され、その送風機５によりケーシン
グ１内において循環するようになっている。同様に、リ
タンダクト２４は他方の側面下部のパネル１０の位置に
ダンパ３７を介して接続され、そこからケーシング１内
の空気の一部が吸引されてリタンダクト２４を通してケ
ミカルフィルタユニット２２に戻るようになっている。

【００１３】また、図２に示すようにリタンダクト２４
の途中には加圧用空気を導入するためのダクト３８がダ
ンパ３９を介して接続されており、そのダンパ３９によ
り調節される加圧用空気の導入量に応じてリタン空気量
もダンパ４０により調節できるようにされている。これ
により、サプライ空気量をリタン空気量よりも若干多く
してクリーンストッカ本体２１内を正圧状態（若干の加
圧状態）に保持して余剰分の空気をクリーンストッカ本
体２１から扉９のガラリ等を通して外部に漏出せしめ、
それと同量の加圧用空気をダクト３８から導入すること
で空気量のバランスをとるようになっている。これによ
り、クリーンストッカ本体２１内が負圧になって外部の
汚染空気が吸引されてしまうといった不測の事態を未然
に回避できるものとなっている。

【００１４】なお、ケミカルフィルタユニット２２から
クリーンストッカ本体２１に供給するサプライ空気量は
要求される清浄度等に応じて適宜設定すれば良いが、送
風機５によりクリーンストッカ本体２１内において循環
する空気量の１０％程度とすることで通常は十分であ
る。また、加圧用空気としてはケミカル物質の汚染度が
低い外気処理空気を用いることが好ましい。

【００１５】上記構成のケミカルクリーンストッカ２０
は、ケミカルフィルタ２７をクリーンストッカ本体２１
内に内蔵させることなくケミカルフィルタユニット２２
としてクリーンストッカ本体２１とは別置きにしたの
で、比較的頻繁に行う必要のあるケミカルフィルタ２７
の交換の際にはケミカルフィルタユニット２２のみ運転
を停止してクリーンストッカ本体２１への空気の供給を
停止すれば、フィルタ交換作業をクリーンストッカ本体
２１に影響を及ぼすことなく自由に行うことができる。
したがって上記のケミカルクリーンストッカ２０によれ
ば、従来のようにフィルタ交換のために作業員がクリー
ンストッカ本体２１に立ち入る必要がなくなり、それ故
に収納品を汚染する恐れはないし、当然にクリーンスト
ッカ本体２１から収納品を取り出す必要もない。なお、
ケミカルフィルタ２７を交換する際には当然にケミカル
物質の処理は一時的に停止することになるが、その作業
は短時間で行い得るから実質的に影響はないし、少なく
とも（ケミカルフィルタ２７を備えていない）通常のク
リーンストッカとしての機能はそのまま維持し得るもの
である。

【００１６】ところで、上記実施形態では、クリーンス
トッカ本体２１からケミカルフィルタユニット２２にリ
タン空気を戻して循環させるように構成したが、必ずし
もそうすることはなく、クリーンストッカ本体２１に供
給した空気を循環させることなくそれを余剰空気として
クリーンストッカ本体２１外に漏出させてしまうことで
も良い。そのようにする場合はリタンダクト２４は不要
であり、クリーンストッカ本体２１内は自ずと正圧に維
持される。

【００１７】また、上記実施形態ではクリーンストッカ
本体２１に対するサプライダクト２３およびリタンダク
ト２４の接続位置をいずれもケーシング１の両側面の下
部としたが、ケミカル処理した清浄空気をクリーンスト
ッカ本体２１内において十分に流通させることができれ
ばそれらの接続位置は任意であり、たとえばそれらダク
トの一方もしくは双方をケーシング１の側面上部や上面
部（天井部）に接続しても良い。勿論、クリーンストッ
カ本体２１やケミカルフィルタユニット２２の各部の構
成はこれが設置されるクリーンルームの用途や規模、要
求される清浄度等に応じて適宜の変更が可能であるし、
クリーンストッカ本体２１におけるフィルタ４や送風機
５の設置位置、ケミカルフィルタユニット２２における
フィルタ２７、２８，送風機２６の設置位置等は任意で
あることは言うまでもない。なお、場合によってはケミ
カルフィルタユニット２２に設けたＨＥＰＡ（またはＵ
ＬＰＡ）フィルタ２８を省略してケミカルフィルタユニ
ット２２をケミカル処理専用とすることも可能である。

【００１８】なお、本発明は、既に設置済みのクリーン
ストッカをケミカル汚染対策用に改良する場合にも大い
に有効なものである。

【００１９】

【発明の効果】以上で説明したように、請求項１の発明
のケミカルクリーンストッカは、ケミカルフィルタを備
えたケミカルフィルタユニットをクリーンストッカ本体
とは別置きとし、そのケミカルフィルタユニットからク
リーンストッカ本体にサプライダクトを通して清浄な空
気を供給するようにしたので、比較的頻繁に行う必要の
あるケミカルフィルタ交換の際にはケミカルフィルタユ
ニットのみ運転を停止してクリーンストッカ本体への空
気の供給を停止すれば、フィルタ交換作業をクリーンス
トッカ本体に影響を及ぼすことなく自由に行うことがで
き、したがって従来一般のケミカルクリーンストッカの
ようにフィルタ交換のために作業員が内部に立ち入る必
要がなくなり、それ故に収納品を汚染する恐れはない
し、当然に収納品を取り出す必要もない。

【００２０】また、請求項２の発明のケミカルクリーン
ストッカは、クリーンストッカ本体からリタンダクトを
通して空気をケミカルフィルタユニットに戻して循環さ
せる構成としたので、ケミカル物質の処理を低濃度で行
うことができ、ケミカルフィルタの寿命を長くすること
ができ、ランニングコストの低減を図ることができる。

【００２１】さらに、請求項３の発明のケミカルクリー
ンストッカは、クリーンストッカ本体内を正圧に維持す
るための加圧用空気をケミカルフィルタユニットに導入
する構成としたので、クリーンストッカ本体内を正圧状
態に保持するような制御が可能であり、そのようにすれ
ばクリーンストッカ本体内が負圧になって外部の汚染空
気が吸引されてしまうといった不測の事態を未然に回避
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態であるケミカルクリーンス
トッカの概略構成を示す全体図である。

【図２】 同、配置図である。

【図３】 同、ケミカルフィルタユニットを示す図であ
る。

【図４】 同、ケミカルフィルタを示す図である。

【図５】 従来のケミカルクリーンストッカの一例を示
す図である。

【符号の説明】

１ ケーシング ２ 保管棚 ３ スタッカ ４ フィルタ ５ 送風機 ２０ ケミカルクリーンストッカ ２１ クリーンストッカ本体 ２２ ケミカルフィルタユニット ２３ サプライダクト ２４ リタンダクト ２６ 送風機 ２７ ケミカルフィルタ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンストッカ本体と、該クリーンス
   トッカ本体と別置きされて該クリーンストッカ本体にサ
   プライダクトにより接続されるケミカルフィルタユニッ
   トから構成され、 前記クリーンストッカ本体は、気密保持可能なケーシン
   グ内に、収納品を保管するための保管棚と、収納品を所
   定の保管棚に自動的に出し入れするためのスタッカと、
   ケーシング内において空気を循環させる送風機と、該送
   風機による循環空気中の微粒子を除去するフィルタとを
   備え、 前記ケミカルフィルタユニットは、前記サプライダクト
   を通して前記クリーンストッカ本体に対して空気を供給
   する送風機と、該空気中のケミカル物質を吸着除去する
   ケミカルフィルタとを備えてなることを特徴とするケミ
   カルクリーンストッカ。
2. 【請求項２】 前記クリーンストッカ本体から前記ケミ
   カルフィルタユニットにリタンダクトを通して空気を戻
   して循環させる構成としたことを特徴とする請求項１記
   載のケミカルクリーンストッカ。
3. 【請求項３】 前記クリーンストッカ本体内を正圧に維
   持するための加圧用空気を前記ケミカルフィルタユニッ
   トに導入する構成としたことを特徴とする請求項１また
   は２記載のケミカルクリーンストッカ。