JP2007309534A

JP2007309534A - クリーンルーム用給排気管理制御装置

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Publication number: JP2007309534A
Application number: JP2006136132A
Authority: JP
Inventors: Fumio Kakimoto; 文雄柿本
Original assignee: Eisai R&D Management Co Ltd
Current assignee: Eisai R&D Management Co Ltd
Priority date: 2006-05-16
Filing date: 2006-05-16
Publication date: 2007-11-29
Anticipated expiration: 2026-05-16
Also published as: JP4805013B2

Abstract

【課題】意図しない差圧の逆転現象を回避できるクリーンルーム用給排気管理制御装置を提供する。
【解決手段】クリーンルーム１に接続される各ダクト１１〜１６に静圧センサー３１〜３４を取り付けた。また、各ダクト１１〜１６を介して給排気する給排気装置６１〜６４にプログラムコントローラー４１〜４４をそれぞれ取り付けた。そして、このプログラムコントローラー４１〜４４を用いて、あらかじめ定められた必要ダクト内静圧と、各ダクト１１〜１６で測定された静圧とを、あらかじめ定められた複数の中間経由静圧に到達させてから一致させるようにした。また、運転パターン選定装置により運転パターンを選定可能とすると共に、選定された運転パターンで規定された各ダクト１１〜１６の必要ダクト内静圧と、各ダクト１１〜１６で測定された静圧とを、あらかじめ定められた単数の中間経由静圧に到達させてから一致させるようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルーム内にエアフローを形成するクリーンルーム用給排気管理制御装置に関するものである。

クリーンルーム内で医薬品を製造する場合には、そのクリーンルーム内を所要の清浄度及び室内環境に保つ必要がある。例えば、クリーンルームにつき、クロスコンタミネイション（交差汚染）や外部からの汚染物質の浸入等を防止する必要がある。このため、従来から、クリーンルーム内は外部に対して陽圧とすると共に、空調かつ清浄された空気によるエアフローを常時形成していることは良く知られている。

ところで、適正なエアフローを形成するには、クリーンルームに備え付けられた給排気装置を所要の差圧が生じるように常時駆動制御する必要がある。また、医薬品製造レベルでは、クリーンルーム内の換気回数を単位時間当りに１５回から２０回以上とする必要がある。このような給排気装置の駆動制御を含めた空調管理に要するエネルギーコストは、医薬品の製造コストに直接影響を与えるため、できる限り減少させることが望ましい。さらにまた近年は、全外気方式（オールフレッシュ）の採用が推奨されているため空調管理に要するエネルギーコストが膨大となっており、エネルギーコストの削減が急務となっている。また、地球環境保護の観点からも、このエネルギーコスト削減の課題解決が強く求められている。なお、前記換気回数とは、単位時間あたりに部屋の空気を入れ替える量について、その部屋の容積の倍数として表現する数値を指すものであり、広くは、外気との入れ替えを言うが室内清浄度を考慮した場合は、ある種のフィルターを介して入れ替えることを言う（製剤機械技術研究会：技術用語辞典）。

ここで、エネルギーコストを削減する方策としては、長期休暇などクリーンルームを使用しない期間に、通常時よりも差圧を減じたエアフローを形成して換気回数を減らす構成（単位時間当りの換気回数が５回から１０回程度）が既に提案されている。このような低出力の省エネ運転パターンを設定して給排気装置を駆動させることにより、エネルギーコストを削減することができる（例えば、特許文献１参照。）。

特開２００２−１０６９３９号公報

しかしながら、上記従来構成の給排気装置にあっては、差圧の逆転現象が発生して、エアフローを完全に制御しきれない場合があった。また、この乱れにより温湿度制御も一時的に追従できなくなり、管理しきれない場合があった。このような差圧の乱れは、例えば、給排気装置の電源を投入した時、あるいは停電後に給排気装置の電源が復旧した時に発生しやすい。これは、クリーンルーム内で急激な圧力変動が発生したことが原因と考えられる。このため、差圧の逆転による被害を回避すべく、クリーンルームの空間レイアウトを単純化させたり、電源投入時をクリーンルーム内がクリーンである場合等の特別な状況に限定したりして対処していた。しかし、このような使用態様では利便性や生産性が悪く、改善が求められていた。

また、上述したような高出力の通常運転パターンから低出力の省エネ運転パターンに切り換えた時、又はその逆の運転パターン切り換え時にも、差圧の逆転現象が発生しやすい。かかる現象もクリーンルーム内での急激な圧力変動が原因と考えられる。したがって、本来であれば夜間などクリーンルームを使用しない比較的短い時間帯でも省エネ運転パターンで随時運転することが望ましいが、不安定な運転を招くため省エネ運転パターンによる運転機会は控えざるを得ず、結局エネルギーコストを削減するには限界があった。

そこで、本発明は、上記問題を解決することができるクリーンルーム用給排気管理制御装置を提供することを目的とする。

本発明は、メイン通路と、メイン通路に連通した複数のサブ通路と、各サブ通路に連通した複数の工室とで構成されたクリーンルーム内に、メイン通路、サブ通路、工室の順位で所要の差圧を生じさせることによりメイン通路から工室方向にエアフローを形成するクリーンルーム用給排気管理制御装置であって、末端がメイン通路に連通し、かつ当該末端の開口度が固定されてなるメイン通路用給気ダクトを介して、所定温湿度に設定された空気をメイン通路に給気するメイン通路用給気装置と、末端がメイン通路に連通し、かつ当該末端の開口度が固定されてなるメイン通路用排気ダクトを介して、メイン通路内の空気をクリーンルーム外へ排気するメイン通路用排気装置と、末端がサブ通路に連通し、かつ当該末端の開口度が固定されてなるサブ通路用給気ダクトを介して、所定温湿度に設定された空気をサブ通路に給気するサブ通路用給気装置と、末端が工室に連通し、かつ当該末端の開口度が固定されてなる工室用給気ダクトを介して、所定温湿度に設定された空気を工室に給気する工室用給気装置と、末端が工室に連通し、かつ当該末端の開口度が固定されてなる工室用排気ダクトを介して、工室内の空気をクリーンルーム外へ排気する工室用排気装置と、各給気装置及び各排気装置に接続されるダクトにそれぞれ接続され、当該ダクト内の静圧を測定する複数の静圧測定装置と、前記の各給気装置及び各排気装置にそれぞれ接続され、前記の所要の差圧を生じさせるために必要な各ダクト内の静圧である必要ダクト内静圧と、各ダクトの静圧測定装置で測定された静圧とを、あらかじめ定められた単数又は複数の中間経由静圧に到達させてから一致させるように各給気装置及び各排気装置を駆動させる複数の静圧切換制御機器とを備えたことを特徴とするクリーンルーム用給排気管理制御装置である。

ここで、各ダクトの静圧測定装置で測定された静圧が規定の必要ダクト内静圧と相違し、その測定静圧を必要ダクト内静圧に一致させる状況としては、例えば、クリーンルーム用給排気管理制御装置（以下、適宜、給排気管理制御装置という。）に電源を投入した時が挙げられる。すなわち、電源を投入する前は、給気装置及び排気装置（以下、適宜、給排気装置という。）が駆動していないため、ダクト内の静圧は必要ダクト内静圧と異なるが、給排気管理制御装置が通電することにより、適正なエアフローを形成すべく、あらかじめ定められた制御内容に従って給排気装置が駆動するため、ダクト内の静圧が必要ダクト内静圧に一致することとなる。また、その他にも、停電で休止していた給排気管理制御装置が電源復帰した状況も上記状況に含まれる。

本発明にあっては、ダクトの末端は、例えば固定式のダンパーを用いて、その開口度を固定した構成としている。このため、仮に給排気装置に接続されたダクト内の静圧を一定にすれば、ダクトを介して各空間に給気される単位時間当りの風量、及び各空間から排気される単位時間当りの風量が一定となるため、風量の管理が容易となる利点がある。したがって、静圧測定装置を各給排気装置に接続されたダクトにそれぞれ配設し、この静圧測定装置の圧力情報に基づいて各給排気装置を駆動制御する構成とすることにより、エアフローの差圧（圧力差）管理が簡便となる利点がある。ところで本発明は、上述のように静圧切換制御機器を備えており、この静圧切換制御機器と各給排気装置とを連動させて、ダクト内の静圧を最適条件に保ちながら必要ダクト内静圧に変化させるものである。換言すれば、最適条件となるような中間経由静圧をあらかじめ定めておき、ダクト内の静圧を、中間経由静圧を経由させて目標の必要ダクト内静圧とするものである。したがって、仮にクリーンルーム内の空間レイアウトが複雑である、又は当初の静圧と必要ダクト内静圧との差が大きい等の理由でクリーンルーム内の圧力変動が急激となる可能性のある場合であっても、かかる事情をあらかじめ充分に考慮して中間経由静圧を設定して差圧の逆転現象を回避するような態様で給排気装置を駆動させることが可能となる。これにより、仮に工室が使用後未洗浄の場合でも汚染を拡大させることなく電源投入等を行うことができる。

また、必要ダクト内静圧をダクト毎に規定する運転パターンが定められた構成にあって、互いに必要ダクト内静圧が異なる複数の運転パターンのうち、いずれかの運転パターンを順次選定可能とする運転パターン選定手段を備え、各静圧切換制御機器は、運転パターン選定手段により選定された運転パターンで規定された各ダクトの必要ダクト内静圧と、各ダクトの静圧測定装置で測定された静圧とを、あらかじめ定められた単数又は複数の中間経由静圧に到達させてから一致させるように各給気装置及び各排気装置を駆動させる構成が提案される。

かかる構成とすることにより、運転パターンを切り換えた時に、最適条件に保ちながら新しい必要ダクト内静圧に変化させることが可能である。したがって、運転パターン切り換え時に発生しやすいエアフローの乱れの問題を好適に解消することができる。なお、互いに必要ダクト内静圧が異なる複数の運転パターンには、互いに差圧が異なるエアフローが形成される運転パターン、互いに給排気装置の出力が異なる運転パターン、又は複数の工室のうち給排気装置が駆動する工室が互いに異なる運転パターン等、当業者により適宜設定され得るものである。

さらに、運転パターン選定手段は、所定の差圧を生じさせる必要ダクト内静圧をダクト毎に規定する通常運転パターン、及び通常運転パターンに係る差圧より小さい差圧を生じさせる必要ダクト内静圧をダクト毎に規定する省エネ運転パターンのうち、いずれかを選定可能とする構成が好適である。

かかる構成とすることにより、差圧の逆転現象を招くことなく、省エネ運転パターンを選定して適宜運転することが可能となるため、比較的短い期間（例えば夜間）でも省エネ運転パターンで運転することが可能となり、省エネ運転パターンによる運転機会が増えて効果的にエネルギーコストを削減できる。なお、省エネ運転パターンとは、通常運転パターンに比して消費電力が小さい運転パターンである。

また、これまでに述べた構成にあっては、サブ通路用給気装置と工室用給気装置とを、単一の給気装置で構成することができる。

かかる構成とすることにより、給排気管理制御装置の構成を簡略化することが可能となる。なお、このように単一の給気装置でサブ通路と工室とに空気を給気する構成とした場合は、各ダクトに係る末端の開口度を所定値にあらかじめ設定しておくことにより、所望の風量を各空間に送風することが可能となる。

本発明に係るクリーンルーム用給排気管理制御装置は、各ダクトの末端の開口度を固定し、また各給排気装置に接続されたダクトに静圧測定装置を設けると共に、測定静圧をあらかじめ定められた中間経由静圧に到達させてから必要ダクト内静圧に一致させる静圧切換制御機器を設けたため、クリーンルーム内の急激な圧力変動を緩和することが可能となり、差圧の逆転現象を生じさせること無く、適正にエアフローを形成することができる優れた効果がある。

また、各静圧切換制御機器が、運転パターン選定手段により選定された運転パターンの必要ダクト内静圧へ測定静圧をあらかじめ定められた中間経由静圧に到達させてから一致させる構成とした場合は、差圧が異なる運転パターン切り換え時でも差圧の逆転現象を生じさせること無く、適正にエアフローを形成することができる効果がある。

また、通常運転パターンと省エネ運転パターンとの間で運転パターンを切り換える構成とした場合は、運転パターン切り換え時に差圧の逆転現象が発生しないため、省エネ運転パターンを適宜選定してエネルギーコストを削減することができる効果がある。

さらに、サブ通路用給気装置と工室用給気装置とを、単一の給気装置で構成した場合は、配管構成が簡略化されて、設備の保全等が容易となる効果がある。

<第一実施例>
本発明に係るクリーンルーム用給排気管理制御装置１０ａ（以下、給排気管理制御装置１０ａという）を添付図面に従って説明する。
図１に示されるように、給排気管理制御装置１０ａは、クリーンルーム１に備え付けられ、そのクリーンルーム１内にエアフロー（図１の矢印）を形成し、またそのエアフローを適宜制御するものである。

前記クリーンルーム１は、図２に示されるように、単一のメイン通路２と、メイン通路２にそれぞれ連通する第一サブ通路３ａと第二サブ通路３ｂとを備えている。さらに、各サブ通路３ａ，３ｂには、複数の工室４がそれぞれ連通している。このように、クリーンルーム１は、メイン通路２のみで構成される上流区画６と、サブ通路３ａ，３ｂと工室４とで構成される下流区画７とからなるものであり、特に本実施例では、第一サブ通路３ａを備える下流区画７を第一下流区画７ａとし、第二サブ通路３ｂを備える下流区画７を第二下流区画７ｂとしている。

さらに詳述すると、メイン通路２に臨むサブ通路３ａ，３ｂの入口には、パスルーム（図２中のＰＲ）が配設されており、このパスルームを介してメイン通路２から各サブ通路３ａ，３ｂへ入ることができる。また、各サブ通路３ａ，３ｂには、その長手方向に沿って扉付きの工室４が複数列設され、その扉を開放することにより工室４内に入ることができる。そして、この工室４内で、医薬品等の製造又は試験が行われる。なお、上述のクリーンルーム１内は、外部に対して陽圧に設定されると共に、メイン通路２からサブ通路３を経由して工室４に至るエアフロー（図２の矢印）が形成されている。

次に、給排気管理制御装置１０ａの主な配管構成について、図１に従って説明する。なお、図１は、給排気管理制御装置１０ａの説明を簡便にするため、第二下流区画７ｂを省略し、クリーンルーム１内を単純化して示している。

給排気管理制御装置１０ａは、図１に示されるように、メイン通路給気系Ａ、メイン通路排気系Ｂ、サブ通路給気系Ｃ、工室給気系Ｄ、サブ通路排気系Ｅ、及び工室排気系Ｆの各管路により構成されている。

メイン通路給気系Ａには、メイン通路用給気装置６１が備えられている。このメイン通路用給気装置６１は、送風機能を有する公知のファンにより構成されており、メイン給気空調装置５５内に設置されている。このメイン給気空調装置５５は、吸入された空気を所定の温湿度に調整する空調機能を有するものである。また、末端１１ａがメイン通路２に連通したメイン通路用給気ダクト１１がメイン給気空調装置５５を介してメイン通路用給気装置６１に接続されている。かかる構成にあって、メイン通路用給気装置６１が駆動すると、メイン給気空調装置５５内に外部空気が流入し、この外部空気が当該メイン給気空調装置５５によって温湿度調整される。さらに、この空気は、ＨＥＰＡフィルタ７１を通過して清浄化された状態でメイン通路用給気ダクト１１内に送風され、当該メイン通路用給気ダクト１１を介してメイン通路２へ投入される。

メイン通路排気系Ｂには、メイン通路用排気装置６２が備えられている。このメイン通路用排気装置６２も、公知のファンにより構成されている。また、このメイン通路用排気装置６２には、末端１２ａがメイン通路２に連通したメイン通路用排気ダクト１２が接続され、当該メイン通路用排気装置６２が駆動すると、メイン通路２内の空気がメイン通路用排気ダクト１２を介してクリーンルーム１外へ排気される。

サブ通路給気系Ｃと工室給気系Ｄには、ファンにより構成された下流区画用給気装置６３が下流区画用給気空調装置５６内に備えられている。この下流区画用給気装置６３には、末端１３ａがサブ通路３に連通したサブ通路用給気ダクト１３と、末端１４ａが工室４に連通した工室用給気ダクト１４とが下流区画用給気空調装置５６を介して接続されている。なお、サブ通路用給気ダクト１３と工室用給気ダクト１４は、下流区画用給気装置６３側の共通部分給気ダクト１７で単一化されており、全体として枝分かれ構造となっている。そして、この共通部分給気ダクト１７の一端が下流区画用給気空調装置５６に装着されている。

かかる構成にあって、下流区画用給気装置６３が駆動すると、下流区画用給気空調装置５６内に外部空気が流入し、かかる空気が空調された後、ＨＥＰＡフィルタ７２を通過し、各ダクト１３，１４を介してサブ通路３と工室４へそれぞれ投入される。なお、この単一の下流区画用給気装置６３は、サブ通路給気系Ｃと工室給気系Ｄの給気源を兼ねており、配管構造の簡略化を図るものである。

サブ通路排気系Ｅと工室排気系Ｆには、ファンにより構成された下流区画用排気装置６４が備えられている。この下流区画用排気装置６４には、末端１５ａがサブ通路３に連通したサブ通路用排気ダクト１５と、末端１６ａが工室４に連通した工室用排気ダクト１６とが接続されている。なお、サブ通路用排気ダクト１５と工室用排気ダクト１６は、下流区画用排気装置６４側の共通部分排気ダクト１８で単一化されており、全体として枝分かれ構造となっている。そして、この共通部分排気ダクト１８の一端が下流区画用排気装置６４に装着されている。

かかる構成にあって、下流区画用排気装置６４が駆動すると、サブ通路３と工室４内の空気がサブ通路用排気ダクト１５及び工室用排気ダクト１６を介してクリーンルーム１外へ排気される。なお、この単一の下流区画用排気装置６４は、サブ通路排気系Ｅと工室排気系Ｆの排気源を兼ねており、配管構造の簡略化を図るものである。

ところで、各給排気系Ａ〜Ｆにあって、各ダクト１１〜１６の末端１１ａ〜１６ａには、公知の固定式ダンパー２０がそれぞれ配設されており、各ダクト１１〜１６の末端１１ａ〜１５ａはその開口度が固定されている。なお、本実施例では、風量調整、又は清掃等のメンテナンスを容易とするため、各固定式ダンパー２０に配設されたモーター（図示省略）に開度調節器２１が接続されており、この開度調節器２１の外部信号により、ダンパー２０ごとに適宜その開口度を適正な値にあらかじめ設定しておくことが可能である。さらに詳述すると、例えばサブ通路給気系Ｃと工室給気系Ｄは、単一の下流区画用給気装置６３を共用しているため、各ダクト１３，１４内の静圧は理論上等しい。一方、工室４方向へのエアフローを適正に形成するためには、サブ通路３と工室４とで送風量を適宜異ならせる必要がある。そこで、各ダクト１３，１４の末端１３ａ，１４ａに配設された固定式ダンパー２０の開口度を各々所定値にあらかじめ設定しておき、下流区画用給気装置６３を共用しつつサブ通路３と工室４へ異なる送風量の空気を送風できるようにしている。なお、サブ通路排気系Ｅと工室排気系Ｆについても同様である。つまり、本実施例に係る固定式ダンパー２０を用いた構成は、少なくともエアフローを形成する状況では開口度を固定するものであり、風量調整可能ダンパーを用いてダンパーの開度を風量計測値に基づく自動制御により差圧を変化させながらエアフローを制御する従前の構成とは、この点において大きく異なるものである。

また、給排気装置６１〜６４に接続されたダクト１１，１２，１７，１８には、当該ダクト１１，１２，１７，１８内の静圧を測定する静圧センサー３１〜３４がそれぞれ配設されている。例えば、メイン通路用給気ダクト１１には、当該ダクト１１内の静圧を測定するメイン通路用給気静圧センサー３１が取り付けられている。また、共通部分給気ダクト１７には、単一の下流区画用給気静圧センサー３３が取り付けられている。これにより、サブ通路用給気ダクト１３と工室用給気ダクト１４内の静圧が測定可能となる。なお、サブ通路排気系Ｅと工室排気系Ｆも同様の構成である。ここで、本実施例に係る静圧センサー３１〜３４は、公知品が好適に採用され得る。なお、前記静圧センサー３１〜３４により、本発明に係る静圧測定装置が構成される。ところで、静圧センサー３１〜３４が配設された上記ダクト１１，１２，１７，１８は、後述のように静圧管理の対象となるダクトとなる。

また、各静圧センサー３１〜３４には、プログラムコントローラー（プログラム調節計ＰＣ）４１〜４４がそれぞれ信号伝達可能に接続されている。例えば、メイン通路用給気静圧センサー３１には、メイン通路用給気プログラムコントローラー４１が接続されている。ここで、前記プログラムコントローラー４１〜４４は、設定可能なプログラムパターンを複数持ち、汎用のパソコンにより各々プログラムパターンの設定を行うことができるものである。そして、各々プログラムパターンの設定を行うことにより、目標設定値を時間経過に連動したプログラムパターンに沿って上昇又は降下させることが可能である。例えばメイン通路用給気プログラムコントローラー４１は、メイン通路用給気装置６１に対して、メイン通路用給気ダクト１１内の静圧を所定時間で所望の値とする制御内容をあらかじめ設定することができる。また、その他の各プログラムコントローラー４２〜４４についても同様に、対応する給排気装置６２〜６４に対して静圧管理の対象となるダクト１２，１７，１８の静圧を所定時間で所望の値とする制御内容をあらかじめ設定することができる。なお、本実施例に係るプログラムコントローラー４１〜４４により、本発明に係る静圧切換制御機器が構成される。

また、各プログラムコントローラー４１〜４４には、上述の各給排気装置６１〜６４に接続されたインバーター装置８１〜８４がそれぞれ信号伝達可能に接続されている。例えば、メイン通路用給気プログラムコントローラー４１には、メイン通路用給気装置６１に接続されたメイン通路用給気インバーター装置８１が取り付けられている。ここで、前記インバーター装置８１〜８４は、それぞれプログラムコントローラー４１〜４４からの出力信号に応じて、各給排気装置６１〜６４にあるファンモーター電源の周波数を変化させる機能を有するものである。

また、図３に示されるように、給排気管理制御装置１０ａは、給排気装置６１〜６４を遠隔操作可能なコンピューター（中央監視装置）８が備えられている。このコンピューター８には中央処理装置ＣＰＵが内蔵され、かかる中央処理装置ＣＰＵに、各プログラムコントローラー４１〜４４がそれぞれ信号伝達可能に接続されている。そして、適宜、中央処理装置ＣＰＵからプログラムコントローラー４１〜４４に所定信号が送信される。また、中央処理装置ＣＰＵには、記憶装置ＲＯＭと記憶装置ＲＡＭも接続されている。前記記憶装置ＲＯＭには、後述する通常運転パターンと省エネ運転パターンのいずれかを作業者に対して選択可能にする固定データが記憶保持されている。一方、前記記憶装置ＲＡＭには、記憶エリア、ソフトタイマを構成するレジスタ領域、及びワークエリア等が設けられている。

ここで、給排気管理制御装置１０ａの配管構成を図２に従って、再度説明する。
本実施例に係るクリーンルーム１には、上述のように、上流区画６、第一下流区画７ａ、及び第二下流区画７ｂが形成されている。そして、上流区画６には、メイン通路用給気装置６１が一基、メイン通路用排気装置６２が一基備えられている。また、第一下流区画７ａには、第一下流区画用給気装置６３ａが一基、第一下流区画用排気装置６４ａが一基備えられている。したがって、第一下流区画７ａのサブ通路３ａと工室４は、第一下流区画用給気装置６３ａと第一下流区画用排気装置６４ａとを共用している。また、本実施例では、第一下流区画用給気装置６３ａに接続されるプログラムコントローラー４３を第一給気用プログラムコントローラー４３ａとし、第一下流区画用排気装置６４ａに接続されるプログラムコントローラー４４を第一排気用プログラムコントローラー４４ａとしている（図１参照）。さらに、第二下流区画７ｂには、第二下流区画用給気装置６３ｂが一基、第二下流区画用排気装置６４ｂが一基備えられている。したがって、第二下流区画７ｂのサブ通路３ｂと工室４は、第二下流区画用給気装置６３ｂと第二下流区画用排気装置６４ｂとを共用している。また、本実施例では、第二下流区画用給気気装置６３ｂに接続されるプログラムコントローラー４３を第二給気用プログラムコントローラー４３ｂとし、第二下流区画用排気装置６４ｂに接続されるものを第二排気用プログラムコントローラー４４ｂとしている（図１参照）。

次に、前記の通常運転パターンについて説明する。
通常運転パターンは、工室４を実験等で使用する場合に選択されるものであって、主に昼間に運転実行される運転パターンである。この通常運転パターンは、昼間の操業時に必要な差圧Ｘをクリーンルーム１内に生じさせる静圧管理対象の各ダクト１１，１２，１７，１８内の静圧を、必要ダクト内静圧としてそれぞれ規定しており、当該運転パターンが有効に選定されている間は、その必要ダクト内静圧が維持される。そうすると、差圧Ｘのエアフローが適正に形成されると共に、所望の換気回数（単位時間当り１５回から２０回以上）が達成される。具体的に通常運転パターンは、差圧Ｘのエアフローを形成すべく、図４ａ等に示されるように、静圧管理対象のダクト１１，１２，１７，１８について、メイン通路用給気ダクト１１に係る必要ダクト内静圧を0.54KPaに、メイン通路用排気ダクト１２に係る必要ダクト内静圧を0.59KPaに、第一下流区画用給気装置６３ａに接続される共通部分給気ダクト１７ａに係る必要ダクト内静圧を0.54KPaに、第一下流区画用排気装置６４ａに接続される共通部分排気ダクト１８ａに係る必要ダクト内静圧を0.28KPaに、第二下流区画用給気装置６３ｂに接続される共通部分給気ダクト１７ｂに係る必要ダクト内静圧を0.44KPaに、第二下流区画用排気装置６４ｂに接続される共通部分排気ダクト１８ｂに係る必要ダクト内静圧を0.92KPaにそれぞれ規定している。なお、前記差圧Ｘは、実際には工室４内に設置される差圧測定装置（図示省略）により測定され、クリーンルーム１の空間レイアウトやダクト１１〜１６の開口度等によって定まるものであり、直接必要ダクト内静圧から算出されるものではない。

次に、前記省エネ運転パターンについて説明する。
省エネ運転パターンは、工室４を使用しない場合に選択されるものであって、主に夜間に運転実行される運転パターンである。この省エネ運転パターンは、夜間の操業時に必要な差圧Ｙを生じさせる静圧管理対象の各ダクト１１，１２，１７，１８内の静圧を、必要ダクト内静圧としてそれぞれ規定しており、当該運転パターンが有効に選定されている間は、その必要ダクト内静圧が維持される。そうすると、差圧Ｙのエアフローが適正に形成される。なお、上述のように夜間にあっては工室４で作業が行われないため、エネルギーコスト削減の観点から、通常運転パターン実行時に形成するエアフローの差圧Ｘよりも小さな差圧Ｙでエアフローを形成すればよい。したがって、本運転パターンは、通常運転パターン実行時の換気回数より少ない換気回数（単位時間当り５回から１０回程度）となる。具体的には、差圧Ｙのエアフローを形成すべく、図４ｂ等に示されるように、メイン通路用給気ダクト１１に係る必要ダクト内静圧を0.35KPaに、メイン通路用排気ダクト１２に係る必要ダクト内静圧を0.28KPaに、第一下流区画用給気装置６３ａの共通部分給気ダクト１７ａに係る必要ダクト内静圧を0.15KPaに、第一下流区画用排気装置６４ａの共通部分排気ダクト１８ａに係る必要ダクト内静圧を0.1KPaに、第二下流区画用給気装置６３ｂの共通部分給気ダクト１７ｂに係る必要ダクト内静圧を0.14KPaに、第二下流区画用排気装置６４ｂの共通部分排気ダクト１８ｂに係る必要ダクト内静圧を0.26KPaにそれぞれ規定している。

また、図３に示されるように、前記コンピューター８の中央処理装置ＣＰＵには、運転パターン選定装置２５が接続されている。この運転パターン選定装置２５は、コンピューター８に接続された入力手段（例えばキーボード）により構成されており、上述の通常運転パターンと省エネ運転パターンのいずれかを作業者が選定できるように設定されている。具体的には、コンピューター８の画面上に通常運転パターンの表示と省エネ運転パターンの表示がされ、択一的にいずれかのパターンを前記入力手段により選定可能となっている。そして、作業者により一方の運転パターンが選定されると、中央処理装置ＣＰＵは各プログラムコントローラー４１〜４４に、その選定された運転パターンの運転信号を伝送する。これに対し、当該情報を受信した各プログラムコントローラー４１〜４４は、あらかじめ設定されたプログラム制御内容に従って当該運転パターン特有の態様で給排気装置６１〜６４を駆動制御開始する。なお、本実施例に係る運転パターン選定装置２５及びこれに関連する制御内容を実行するコンピューター８により、本発明に係る運転パターン選定手段が構成される。

次に、給排気管理制御装置１０ａの運転態様を説明する。給排気管理制御装置１０ａの運転態様としては、１）通常運転パターンに基づく運転態様と、２）省エネ運転パターンに基づく運転態様と、３）通常運転パターン立ち上げ時の運転態様と、４）省エネ運転パターン立ち上げ時の運転態様と、５）運転パターン切り換え時（通常から省エネ）の運転態様と、６）運転パターン切り換え時（省エネから通常）の運転態様とに大別される。そして、各運転態様ごとに、静圧制御に係る設定内容が異なっており、各運転態様１）〜６）が複数のプログラムパターンとして各プログラムコントローラー４１〜４４にそれぞれ設定されている。以下、各運転態様について説明する。

１）通常運転パターンに基づく運転態様について
かかる運転態様は、差圧Ｘのエアフローを継続的に維持すべく、静圧管理対象のダクト１１，１２，１７，１８内が当該運転パターンで規定される必要ダクト内静圧となるように各給排気装置６１〜６４を駆動制御するものである。

２）省エネ運転パターンに基づく運転態様について
かかる運転態様は、差圧Ｙのエアフローを継続的に維持すべく、静圧管理対象のダクト１１，１２，１７，１８内が当該運転パターンで規定される必要ダクト内静圧となるように各給排気装置６１〜６４を駆動制御するものである。

３）通常運転パターン立ち上げ（自動立上げを含む）時の運転態様について
かかる運転態様は、給排気管理制御装置１０ａに電源が投入された時又は停電時の電源復旧時の運転態様であり、前記通常運転パターンに基づく運転態様への移行まで各給排気装置６１〜６４を特定の制御内容で駆動制御するものである。

具体的には、給排気管理制御装置１０ａが通電し、かつ運転パターン選定装置２５により通常運転パターンが選定されると、中央処理装置ＣＰＵによる通常運転パターンに関する運転信号（図４ａの中央タイミング設定に関する運転信号）に基づき、プログラムコントローラー４１，４２が所定の制御内容を順次実行開始する。まず、図４ａ又は図５に示されるように、まずメイン通路用給気装置６１及びメイン通路用排気装置６２が駆動開始し（すなわち、静圧制御の開始基準となる中央タイミングが0分）、当該ダクト１１，１２内の静圧（0KPa）が最初の中間経由静圧へ所定時間掛けてそれぞれ到達する。メイン通路用給気ダクト１１で言えば、中央タイミングから3分後に0.18KPaに到達する。メイン通路用排気ダクト１２で言えば、中央タイミングから3分後に0.28KPaに到達する。この「0.18KPa」、「0.2KPa」が、中間経由静圧である。

また、中央タイミングから3分経過すると、プログラムコントローラー４１，４２が次のステップの制御内容を実行開始し、この制御内容に従ってメイン通路用給気装置６１及びメイン通路用排気装置６２が駆動する。そして、各ダクト１１，１２内の静圧が中央タイミングから6分後に第二番目の中間経由静圧に到達する。メイン通路用給気ダクト１１で言えば、0.20KPaに到達する。メイン通路用排気ダクト１２で言えば、0.30KPaに到達する。さらに、中央タイミングから11分後には、プログラムコントローラー４１，４２が次のステップの制御内容を実行し、メイン通路用給気ダクト１１の静圧がその必要ダクト内静圧である0.54KPaに、メイン通路用排気ダクト１２の静圧がその必要ダクト内静圧である0.59KPaとなる。

ここで、メイン通路用給気ダクト１１に限定して述べれば、メイン通路用給気ダクト１１の中間経由静圧は、到達すべき時間と合わせてメイン通路用給気プログラムコントローラー４１にあらかじめ設定されている。また、メイン通路用給気ダクト１１内の静圧は、メイン通路用給気静圧センサー３１によりモニタリングされ、その測定情報データは随時メイン通路用給気プログラムコントローラー４１に伝送される。そして、メイン通路用給気プログラムコントローラー４１は、接続されるメイン通路用給気インバーター装置８１を介し、前記測定静圧情報に基づいてメイン通路用給気装置６１の駆動を制御し、所定のダクト内静圧にさせる。

また、前記の中央タイミングから12分後には、中央処理装置ＣＰＵの新たな所定信号に基づき第一給排気用プログラムコントローラー４３ａ，４４ａがプログラムされた制御内容の実行を開始する。そして、第一下流区画用給気装置６３ａと第一下流区画用排気装置６４ａとが駆動開始し、当該ダクト１７ａ，１８ａの静圧が３つの中間経由静圧へそれぞれ所定時間掛けて到達する。そして、中央タイミングから24分後（給排気装置６３ａ，６４ａの駆動開始から12分後）に、当該共通部分給気ダクト１７ａの静圧が必要ダクト内静圧である0.54KPaとなり、当該共通部分排気ダクト１８ａの静圧が必要ダクト内静圧である0.28KPaとなる。

さらに、中央タイミングから25分後には、中央処理装置ＣＰＵの新たな所定信号に基づき第二給排気用プログラムコントローラー４３ｂ，４４ｂがプログラムされた制御内容の実行を開始する。そして、第二下流区画用給気装置６３ｂと第二下流区画用排気装置６４ｂとが駆動開始し、当該ダクト１７ｂ，１８ｂの静圧が３つの中間経由静圧へそれぞれ所定時間掛けて到達する。そして、中央タイミングから37分後（給排気装置６３ｂ，６４ｂの駆動開始から12分後）に共通部分給気ダクト１７ｂの静圧が必要ダクト内静圧である0.44KPaとなり、共通部分排気ダクト１８ｂの静圧が必要ダクト内静圧である0.92KPaとなる。

ここで、メイン通路用給気装置６１及びメイン通路用排気装置６２を初期に立上げる目的はクリーンルーム内を速やかに陽圧復帰し、第一下流区画用排気装置６４ａの排気ダンパー(図中省略)及び第二下流区画用排気装置６４ｂの排気ダンパー(図中省略)を通路用給気装置６１及びメイン通路用排気装置６２と連動し開くことによりクリーンルーム内のエアフローを速やかに復帰させることを意図するものである。さらに、中央タイミングから12分後に、第一下流区画用給気装置６３ａと第一下流区画用排気装置６４ａとを駆動開始し、中央タイミングから25分後に、第二下流区画用給気装置６３ｂと第二下流区画用排気装置６４ｂとを駆動開始する構成としたのは、クリーンルーム１内の圧力変動を可及的に小さくするためであり、下流区画７において徐々に圧力変化を生じさせることを意図するものである。ただし、第一下流区画７ａと第二下流区画７ｂの立上げ順番に規制はないが、中央のタイミング設定を考慮する必要がある。

なお、重ねて説明すると、前記のダクト１１，１２，１７，１８ごとの中間経由静圧は、到達すべき時間と共にあらかじめ対応するプログラムコントローラー４１〜４６にそれぞれ設定される。また、各ダクト１１，１２，１７，１８内の静圧は、対応する静圧センサー３１〜３４によりモニタリングされ、その測定情報データは随時対応するプログラムコントローラー４１〜４６に伝送される。そして、各プログラムコントローラー４１〜４４は、接続されるインバーター装置８１〜８４を介し、前記測定静圧情報に基づいて各給排気装置６１〜６４の駆動を制御し、所定量の空気を送風させる。なお、給排気系Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆについては、単一の給排気装置６３，６４を使用しているため、各ダクト１３，１４，１５，１６から送風される空気の風量は、固定式ダンパー２０の開口度を適宜事前に設定しておくこととなる。

これまで述べたように、静圧管理対象となる各ダクト１１，１２，１７，１８ごとに当初0KPaである静圧を、多段階的に設定された中間経由静圧に順次到達させて最終的に必要ダクト内静圧とすることにより、意図しない差圧の逆転現象を招くことなく、円滑に通常運転パターンに係る差圧Ｘのエアフローを形成することができる。

なお、各ダクト１１，１２，１７，１８にあって、ダクト内の静圧と必要ダクト内静圧とが一致すると、上記した通常運転パターンの運転態様に基づき差圧Ｘを維持する運転態様に切り替わる。なお、上記構成は、複数の中間経由静圧を経由して必要ダクト内静圧に到達させる構成であるが、中間経由静圧は単数であっても良い。

４）省エネ運転パターン立ち上げ（自動立ち上げを含む）時の運転態様について
かかる運転態様は、給排気管理制御装置１０ａの電源が投入された時等の運転態様であり、前記省エネ運転パターンに基づく運転態様への移行まで各給排気装置６１〜６４を特定の制御内容で駆動制御するものである。

具体的には、図４ｂに示されるように、静圧管理対象の各ダクト１１，１２，１７，１８内の静圧（0KPa）を、複数の中間経由静圧へ到達させた後にそれぞれ省エネ運転パターンで規定される必要ダクト内静圧とする。かかる構成とすることにより、省エネ運転パターンに係る差圧Ｙのエアフローを意図しない差圧の逆転現象を招くことなく円滑に形成することができる。なお、静圧管理対象の各ダクト１１，１２，１７，１８内の静圧と必要ダクト内静圧とが一致すると、上記した省エネ運転パターンの運転態様に基づき差圧Ｙを維持する運転態様に切り替わる。

５）運転パターン切り換え（自動切り換えを含む）時（通常→省エネ）の運転態様について
かかる運転態様は、通常運転パターンから省エネ運転パターンに切り換える時に、図６ａ又は図７ａに示されるような態様で各給排気装置６１〜６４を駆動制御するものである。

当初通常運転パターンで運転中に所定タイミングで運転パターン選定装置２５を介して省エネ運転パターンを選定すると、まず、第二下流区画用給気装置６３ｂと第二下流区画用排気装置６４ｂとが駆動を開始し、静圧制御開始の基準となる中央タイミングから5分後に、共通部分給気ダクト１７ｂの静圧が中間経由静圧0.29KPaとなる。また、共通部分排気ダクト１８ｂの静圧が、中間経由静圧0.59KPaとなる。次に、中央タイミングから10分後に、共通部分給気ダクト１７ｂの静圧が省エネ運転パターンに係る必要ダクト内静圧0.14KPaとなる。また、共通部分排気ダクト１８ｂの静圧が省エネ運転パターンに係る必要ダクト内静圧0.26KPaとなる。

また、中央タイミングから11分後に、中央処理装置ＣＰＵの新たな所定信号に基づき第一下流区画用給気装置６３ａと第一下流区画用排気装置６４ａとが駆動開始する。そして、中央タイミングから16分後（給排気装置６３ａ，６４ａの駆動開始から5分後）に、共通部分給気ダクト１７ａの静圧が、中間経由静圧0.41KPaとなる。また、共通部分排気ダクト１８ａの静圧が、中間経由静圧0.13KPaとなる。次に、中央タイミングから21分後（給排気装置６３ａ，６４ａの駆動開始から10分後）に、共通部分給気ダクト１７ａの静圧が省エネ運転パターンに係る必要ダクト内静圧0.28KPaとなる。また、共通部分排気ダクト１８ａの静圧が、省エネ運転パターンに係る必要ダクト内静圧0.1KPaとなる。

さらに、中央タイミングから22分後に中央処理装置ＣＰＵの新たな所定信号に基づきメイン通路用給気装置６１とメイン通路用排気装置６２とが駆動開始する。そして、中央タイミングから27分後（給排気装置６１，６２の駆動開始から5分後）に、メイン通路用給気ダクト１１の静圧が、中間経由静圧0.45KPaとなる。また、メイン通路用排気ダクト１２の静圧が、中間経由静圧0.44KPaとなる。次に、中央タイミングから37分後（給排気装置６１，６２の駆動開始から10分後）に、メイン通路用給気ダクト１１の静圧が、省エネ運転パターンに係る必要ダクト内静圧0.35KPaとなる。また、メイン通路用排気ダクト１２の静圧が、省エネ運転パターンに係る必要ダクト内静圧0.28KPaとなる。

ここで、下流区画７について、第一下流区画７ａと第二下流区画７ｂとを時間差を設けて静圧管理する構成としたのは、クリーンルーム１内の圧力変動を可及的に小さくするためであり、下流区画７において徐々に圧力変化を生じさせることを意図するものである。

上述のように、静圧管理対象のダクト１１，１２，１７，１８ごとに中間経由静圧を設定し、通常運転パターンに係る必要ダクト内静圧から省エネ運転パターンに係る必要ダクト内静圧へ切り換えるための切り換え時間（上記例では10分）を設けることにより、意図しない差圧の逆転現象を招くことなく通常運転パターンから省エネ運転パターンに切り換えることができる。なお、従来は、中間経由静圧を設定せずに、新しい必要ダクト内静圧へ切り換え時間を設けることなく変更していたため、クリーンルーム１内の給気・排気のバランスが一時的に保てなくなりエアフローが乱れるという問題が生じていた。

ところで、図７に示されるように、給排気系Ａ，Ｂにあっては、通常運転パターン時にはメイン通路用給気ダクト１１の必要ダクト内静圧（0.54KPa）の方が、メイン通路用排気ダクト１２の必要ダクト内静圧（0.59KPa）よりも低圧であるが、省エネ運転パターン時にはメイン通路用給気ダクト１１の必要ダクト内静圧（0.35KPa）の方が、メイン通路用排気ダクト１２の必要ダクト内静圧（0.28KPa）よりも高圧となっている。これは、クリーンルーム１内の空間レイアウト及び構造の関係上、差圧Ｙのエアフローを形成するために必要な設定であり、メイン通路２の排気量を大幅に減ずることを意図したものである。この差圧の逆転現象は、設定管理者が意図的に設定したものであって、意図しない差圧の逆転ではない。したがって、全体として差圧Ｙのエアフローは適正に形成されるものである。このように、工室レイアウト、給排気装置６１〜６４レイアウト、あるいは個々の工室４のもつ特殊性から一律な静圧制御の変更ではエアフローを維持できないことがあり、その構成によっては給排気静圧の高低関係を逆転させる必要がある場合もある。なお、中間経由静圧は、複数で設定しても良い。

６）運転パターン切り換え（自動切り換えを含む）時（省エネ→通常）の運転態様について
かかる運転態様は、３）の切り換えとは逆に、図６ｂに示されるような態様で、各給排気装置６１〜６４を駆動制御する。具体的には、メイン通路給排気系Ａ，Ｂに係る給排気装置６１，６２から駆動開始し、次に、第一下流区画７ａに係る給排気装置６３ａ，６４ａを駆動開始し、最後に第二下流区画７ｂに係る給排気装置６３ｂ，６４ｂを駆動開始する。そして、管理対象のダクト１１，１２，１７，１８ごとに、測定静圧をあらかじめ定められた中間経由静圧へ到達させた後で通常運転パターンで規定された必要ダクト内静圧に一致させる。

なお、上記構成の給排気管理制御装置１０ａにあっては、エアフローに関連する自動制御が給気静圧と排気静圧の制御のみであるため、機械的に故障する箇所が比較的少なく、メンテナンスが容易である。また、かかる構成にあっては、少なくとも上流区画６のメイン通路２に給排気装置６１，６２を単独でそれぞれ配設している。このため、この給排気装置６１，６２について常時運転させ、かつ、排気装置６４ａ又は６４ｂのダンパーを開けておくことにより微弱なエアフローを保ち、さらに下流区画７の使用態様に合わせて、不要な下流区画７の給排気装置につき休止させておくことができる。

なお、通常運転パターンと省エネ運転パターンとは、それぞれ消費電力が異なるものである。具体的には、図８に示されるように、本実施例に係る省エネ運転パターンの消費電力は、通常運転パターンの消費電力の約５４％である。したがって、本発明に係る省エネ運転パターンは、消費電力が通常運転パターンのほぼ６０％以下のものが該当する。

<第二実施例>
また、上記構成に代えて、図９に示す構成としても良い。なお、第一実施例と共通する構成については、同符号を付すと共に、説明を簡略又は省略する。

給排気管理制御装置１０ｂは、図９に示されるように、メイン通路給気系Ａ、メイン通路排気系Ｂ、サブ通路給気系Ｃ、サブ通路排気系Ｅ、工室給気系Ｄ、及び工室排気系Ｆの各管路により構成されている。

サブ通路給気系Ｃには、サブ通路用給気装置６５がサブ給気空調装置５７内に備えられている。そして、サブ通路用給気装置６５が駆動すると、清浄化された空気がサブ通路用給気ダクト１３を介してサブ通路３へ投入される。

サブ通路排気系Ｅには、サブ通路用排気装置６６が備えられている。そして、サブ通路用排気装置６６が駆動すると、サブ通路３内の空気がサブ通路用排気ダクト１５を介してクリーンルーム１外へ排気される。

工室給気系Ｄには、工室用給気装置６７が工室給気空調装置５８内に備えられている。そして、工室用給気装置６７が駆動すると、清浄化された空気が工室用給気ダクト１４を介して工室４へ投入される。

工室排気系Ｆには、工室用排気装置６８が備えられている。そして、工室用排気装置６８が駆動すると、工室４内の空気が工室用排気ダクト１６を介してクリーンルーム１外へ排気される。

また、各ダクト１１〜１６には、ダクト１１〜１６内の静圧を測定する静圧センサー３１〜３６がそれぞれ配設されている。また、各静圧センサー３１〜３６には、プログラムコントローラー（プログラム調節計）４１〜４６がそれぞれ信号伝達可能に接続されている。

かかる構成にあっては、下流区画７にあって、サブ通路３及び工室４ごとに給排気装置６３〜６６をそれぞれ配設しているため、各空間領域の使用態様に合わせて必要な給排気装置６３〜６６を選定し、不要な給排気装置６３〜６６につき休止させておくことができる。このため、各空間領域の使用態様が複雑であっても、無駄な給排気装置６３〜６６の運転を排除してエネルギーコストの削減を図ることができる。また、各ダクト１１〜１６ごとにダクト内の静圧を測定する構成であるため、差圧の管理精度が向上する利点もある。なお、上流から下流に差圧を生じさせるべく、メイン通路２の給排気装置６１，６２については常時駆動させておくのが好適である。

<第三実施例>
また、これまでに述べた構成に代えて、図１０に示されるような構成としても良い。なお、第一、第二実施例と共通する構成については、同符号を付すと共に、説明を簡略又は省略する。

本実施例の給排気管理制御装置１０ｃは、サブ通路３に排気用のダクトを接続しない構成である。かかる構成にあっては、工室４に接続される工室用排気ダクト１６の必要ダクト内静圧を適宜設定して適正な排気量を確保することとなる。

かかる構成とすることにより、給排気管理制御装置１０ｃの簡略化を図ることが可能である。

なお、上記第一から第三実施例の構成は、プログラムコントローラー４１〜４６が、運転パターン切り換え時の制御内容と、運転パターン立ち上げ時の制御内容とを備えた構成であるが、これに限定されるものではなく、運転パターン立ち上げ時の制御内容のみを備えた構成であっても本発明に含まれるものである。

また、第一から第ｎまでの工室４で構成されるクリーンルーム１にあって、全ての工室４につき給排気装置がそれぞれ設けられた場合は、使用しない工室４に係る給排気装置について休止して、エネルギーコストの削減を図っても良い。なお、エアフローの下流側に係る給排気装置の駆動を停止しても差圧の乱れは原則生じない。

なお、図１，９，１０では、各空間（メイン通路２、サブ通路３、工室４）に臨むダクト１１〜１６の末端１１ａ〜１６ａは単一であるが、対象となる空間について均一かつ広範囲で空気を入れ替えるために、各ダクト１１〜１６を適宜枝分かれ状に形成し、複数の末端１１ａ〜１６ａがその空間に臨む構成としても勿論良い。

また、本発明に係る、いずれかの運転パターンを順次選定可能とする運転パターン選定手段としては、当業者の知識に基づいて提案されるものであり、上記構成のほか、所定時間にいずれかの運転パターンを自動選定する構成であっても良い。

なお、これまでに述べた実施例は、本発明の主旨を逸脱しない限り適宜その内容を変更することは可能である。

クリーンルーム用給排気管理制御装置１０ａの全体構成図である。クリーンルーム１の構成図である。クリーンルーム用給排気管理制御装置１０ａに係るコンピューター８のブロック回路図である。（ａ）は通常運転パターン立ち上げ時の静圧設定を示し、（ｂ）は省エネ運転パターン立ち上げ時の静圧設定を示す図表である。通常運転パターン立ち上げ時の静圧設定を示すグラフである。運転パターン切り換え時の静圧設定を示す図表である。運転パターン切り換え時（通常→省エネ）の静圧設定を示すグラフである。通常運転パターンと省エネ運転パターンの消費電力を示すグラフである。第二実施例に係るクリーンルーム用給排気管理制御装置１０ｂの全体構成図である。第三実施例に係るクリーンルーム用給排気管理制御装置１０ｃの全体構成図である。

符号の説明

１クリーンルーム
２メイン通路
３サブ通路
４工室
１０ａ〜１０ｃクリーンルーム用給排気管理制御装置
１１〜１８ダクト
１１ａ〜１６ａダクトの末端
２５運転パターン選定装置
３１〜３６静圧センサー（静圧測定装置）
４１〜４６プログラムコントローラー（静圧切換制御機器）
６１，６３，６５，６７給気装置
６２，６４，６６，６８排気装置
Ｘ，Ｙ差圧

Claims

メイン通路と、メイン通路に連通した複数のサブ通路と、各サブ通路に連通した複数の工室とで構成されたクリーンルーム内に、メイン通路、サブ通路、工室の順位で所要の差圧を生じさせることによりメイン通路から工室方向にエアフローを形成するクリーンルーム用給排気管理制御装置であって、
末端がメイン通路に連通し、かつ当該末端の開口度が固定されてなるメイン通路用給気ダクトを介して、所定温湿度に設定された空気をメイン通路に給気するメイン通路用給気装置と、
末端がメイン通路に連通し、かつ当該末端の開口度が固定されてなるメイン通路用排気ダクトを介して、メイン通路内の空気をクリーンルーム外へ排気するメイン通路用排気装置と、
末端がサブ通路に連通し、かつ当該末端の開口度が固定されてなるサブ通路用給気ダクトを介して、所定温湿度に設定された空気をサブ通路に給気するサブ通路用給気装置と、
末端が工室に連通し、かつ当該末端の開口度が固定されてなる工室用給気ダクトを介して、所定温湿度に設定された空気を工室に給気する工室用給気装置と、
末端が工室に連通し、かつ当該末端の開口度が固定されてなる工室用排気ダクトを介して、工室内の空気をクリーンルーム外へ排気する工室用排気装置と、
各給気装置及び各排気装置に接続されるダクトにそれぞれ接続され、当該ダクト内の静圧を測定する複数の静圧測定装置と、
前記の各給気装置及び各排気装置にそれぞれ接続され、前記の所要の差圧を生じさせるために必要な各ダクト内の静圧である必要ダクト内静圧と、各ダクトの静圧測定装置で測定された静圧とを、あらかじめ定められた単数又は複数の中間経由静圧に到達させてから一致させるように各給気装置及び各排気装置を駆動させる複数の静圧切換制御機器と
を備えたことを特徴とするクリーンルーム用給排気管理制御装置。
必要ダクト内静圧をダクト毎に規定する運転パターンが定められた構成にあって、
互いに必要ダクト内静圧が異なる複数の運転パターンのうち、いずれかの運転パターンを順次選定可能とする運転パターン選定手段を備え、
各静圧切換制御機器は、
運転パターン選定手段により選定された運転パターンで規定された各ダクトの必要ダクト内静圧と、各ダクトの静圧測定装置で測定された静圧とを、あらかじめ定められた単数又は複数の中間経由静圧に到達させてから一致させるように各給気装置及び各排気装置を駆動させるものであることを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用給排気管理制御装置。
運転パターン選定手段は、
所定の差圧を生じさせる必要ダクト内静圧をダクト毎に規定する通常運転パターン、及び通常運転パターンに係る差圧より小さい差圧を生じさせる必要ダクト内静圧をダクト毎に規定する省エネ運転パターンのうち、いずれかを選定可能とするものであることを特徴とする請求項２記載のクリーンルーム用給排気管理制御装置。
サブ通路用給気装置と工室用給気装置とを、単一の給気装置で構成してなることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のクリーンルーム用給排気管理制御装置。